KR20130028322A - 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치 - Google Patents

스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치에 관한 것으로, 특히, 엘씨디 글라스 건조를 위한 건조 작업 공간을 형성하는 프레임과; 상기 건조 작업 공간 내외부로 상기 엘씨디 글라스를 이송하는 이송부와; 상기 엘씨디 글라스를 가열하는 히터와; 설정 입력된 건조조건에 따라 상기 이송부 및 상기 히터를 구동하는 제어부를 포함하되, 상기 히터는 금속판과, 상기 금속판 일측면에 마련되어 전기저항열을 발생하는 저항체를 포함하여, 상기 금속판을 통하여 적외선 및 열을 상기 엘씨디 글라스에 조사하는 판 상의 스틸 히터로 마련되는 것을 특징으로 한다.
이에 의해, 피가열물을 고효율로 균일하게 가열함으로서 작업신뢰성을 향상시킬 수 있음은 물론, 빛에 의한 작업자의 불편을 덜어 작업능률을 향상시킬 수 있다.

Description

스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치{CHAMBER TYPE DRYING APPARATUS FOR GLASS USING IR STEEL HEATER}
본 발명은 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치에 관한 것으로, 스틸 히터를 구비하여 빠른 온도응답을 구현할 수 있을 뿐 아니라, 가열면적을 균일하게 가열함으로써 작업 효율은 물론 작업 신뢰성을 향상시킬 수 있는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치에 관한 것이다.
일반적으로 엘씨디 글라스는 액정표시장치의 베이스가 되는 기판에 해당되는 것으로, 기판상의 이물질을 제거하는 초기세정공정 - 감광성 물질을 도포하는 PR 도포공정 - 마스크를 통해 빛을 투과하는 노광공정 - 빛에 의해 분해된 PR을 제거하는 현상공정 - 증착막을 PR형상으로 식각하는 식각공정 - STRIP 약액으로 PR을 제거하는 PR박리공정 - 공정완료 후 이상유무를 확인하는 검사공정 - 기판 상에 박막을 증착시키는 증착공정을 거쳐 가공된다.
이와 같은 공정 중 표면의 불순물을 제거하는 세정공정이 더 포함되는데, 상기 세정공정 후에는 세정액을 건조하여 제거시키기 위해 건조 공정이 요구된다.
이러한 건조 공정은 통상적으로 히팅플레이트, 즉, 발열체인 히터를 이용하여 글라스 표면을 건조시키거나, 상기 히터를 고온고압의 챔버 내에 탑재시켜 열풍을 투입 및 배출함으로써 건조하고 있다.
종래에는 이러한 건조장치의 히터로서 할로겐 히터나 니크롬 히터 등이 많이 사용되었다. 그런데, 할로겐 히터의 경우에는 열과 함께 많은 양의 빛이 조사되므로 작업자에게 혐오감이나 위협감을 주게 되어 작업능률을 저하시키는 문제점이 있었다. 한편, 니크롬 히터의 경우에는 온도저항계수가 상대적으로 낮기 때문에 원활한 작업을 수행하기 위한 분위기 온도까지 많은 시간이 소요된다는 문제점이 있었다.
또한, 양자 모두 면조사 방식이 아니라 점이나 선조사 방식이므로 피가열물인 엘씨디 글라스 전영역을 균일한 온도를 가열하기가 어려운 문제점이 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은, 피가열물을 고효율로 균일하게 가열함으로서 작업신뢰성을 향상시킬 수 있음은 물론, 빛에 의한 작업자의 불편을 덜어 작업능률을 향상시킬 수 있는 스틸 히터를 이용한 엘씨디 글라스 건조장치를 제공하는 데 있다.
또한, 본 발명의 목적은, 판상의 스틸 히터를 엘씨디 글라스에 대하여 상하 또는 좌우로 이동가능하게 마련함으로써 잘못된 분위기온도에서 신속한 대응이 가능할 뿐 아니라, 전면가열은 물론 국부가열도 선택적으로 수행할 수 있는 스틸 히터를 이용한 엘씨디 글라스 건조장치를 제공하는데 있다.
상기 목적은, 본 발명의 일실시예에 따라, 내부에 엘씨디 글라스 건조를 위한 건조 작업 공간을 형성하는 챔버와; 상기 챔버내에서 상기 엘씨디 글라스를 이송하는 이송부와; 상기 엘씨디 글라스를 가열하는 히터와; 설정 입력된 건조조건에 따라 상기 이송부 및 상기 히터를 구동하는 제어부를 포함하되, 상기 히터는 금속판과, 상기 금속판 일측면에 마련되어 전기저항열을 발생하는 저항체를 포함하여, 상기 금속판을 통하여 적외선 및 열을 상기 엘씨디 글라스에 조사하는 판 상의 스틸 히터로 마련되는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치에 의해 달성된다.
상기 스틸 히터는 상기 건조 작업 공간 내의 가열면적을 2 이상으로 분할하여 가열가능하도록 복수 개로 마련될 수 있다.
상기 엘씨디 글라스에 인접하여 마련되는 온도감지센서를 더 포함하며, 상기 제어부는 상기 온도감지센서의 감지결과에 기초하여 상기 엘씨디 글라스 측의 감지온도가 설정된 가열온도를 유지하도록 상기 스틸 히터를 구동할 수 있다.
상기 프레임에 마련되어 상기 스틸 히터와 상기 엘씨디 글라스 사이의 간격 조절이 가능하도록 상기 스틸 히터를 상기 엘씨디 글라스의 판면방향으로 상하로 이동하게 하는 히터 수직구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 프레임에 마련되어 상기 스틸 히터가 상기 엘씨디 글라스의 판면방향의 가로 방향으로 수평으로 이동하게 하는 히터 수평구동부를 더 포함할 수 있다.
상기 스틸 히터가 복수로 마련되는 경우, 상기 수평구동부는 상기 각 스틸 히터가 전후 또는 좌우 방향으로 독립적으로 이동이 가능하도록 구동할 수 있다.
상기 챔버 내 일측에 마련되어 상기 각 스틸 히터가 이송부 외측으로 이송되어 수용되는 히터수용부가 더 마련될 수 있다.
상기 스틸 히터의 수평 구동이 직진성을 가지도록 가이드하는 수평가이드를 더 포함할 수 있다.
상기 스틸 히터는 상기 엘씨디 글라스의 상부 또는 하부 중 하나 이상에 마련될 수 있다.
상기 프레임 일측에 마련되며, 상기 엘씨디 글라스를 향하여 건조공기를 발생시키는 송풍기를 더 포함할 수 있다.
전술한 구조를 갖는 본 발명에 따른 스틸 히터를 이용한 엘씨디 글라스 건조장치에 의하면, 피가열물을 고효율로 균일하게 가열함으로서 작업신뢰성을 향상시킬 수 있음은 물론, 빛에 의한 작업자의 불편을 덜어 작업능률을 향상시킬 수 있다.
또한, 판상의 스틸 히터를 엘씨디 글라스에 대하여 상하 또는 좌우로 이동가능하게 마련함으로써 잘못된 분위기온도에서 신속한 대응이 가능할 뿐 아니라, 전면가열은 물론 국부가열도 선택적으로 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치의 구성블록도,
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치의 정면도 및 측면도,
도 3 및 도 4는 도 2에 도시된 본 발명에 따른 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치에 포함된 스틸 히터 측 요부 평면도,
도 5는 도 3에 도시된
본 발명의 일실시예에 따른 스틸 히터를 이용한 엘씨디 글라스 건조장치의 사시도,
도 6은 도 5에 도시된 스틸 히터를 이용한 엘씨디 글라스 건조장치의 이송부 측 확대도,
도 7는 도 5에 도시된 스틸 히터를 이용한 엘씨디 글라스 건조장치의 하부측 사시도,
도 8 및 도 9은 본 발명의 히터 수평구동부에 따른 스틸 히터의 작동상태를 나타낸 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다.
설명에 앞서, 본 발명은 그 건조 대상을 엘씨디 글라스(100)를 예로 들어 설명하나, 본 발명의 적용이 이에 한정되는 것은 아니며, 반도체 기판 등 적용가능한 다양한 대상에 광범위하게 적용될 수 있음을 물론, 세척 후 건조과정을 포함하여 증착공정, 식각공정 등 다양한 공정에도 제한없이 적용될 수 있음을 미리 밝혀둔다.
먼저, 도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치(1)는, 내부에 엘씨디 글라스(100) 건조를 위한 건조 작업 공간을 형성하는 챔버(5)와, 챔버(5) 내에서 엘씨디 글라스(100)를 이송하는 이송부(20)와, 스틸 히터(30)와, 제어부(40)를 포함한다.
챔버(5)는 도 2에 도시된 바와 같이, 프레임(10)에 의해 내부에 소정 크기의 구분된 건조 작업 공간을 갖는다.
여기서, 챔버(5)는 도 3에 도시된 바와 같이, 챔버(5) 내부로 엘씨디 글라스(100)를 로딩하는 로더(13)를 더 포함할 수 있다.
이송부(20)는 상기 건조 작업 공간의 내외부로 엘씨디 글라스(100)를 이송한다.
이송부(20)는 설정된 건조조건에 따라 제어부(40)에 의해 구동이 제어된다. 즉, 건조할 엘씨디 글라스(100)의 종류 및 공정에 따라 이송속도를 증가시킬 수도 있고 감속시킬수도 있다.
또는, 이송부(20)는 설정속도로 엘씨디 글라스(100)를 지속적으로 이송시킬 수도 있고, 엘씨디 글라스(100)가 상기 건조 작업 공간의 소정 위치에 위치하는 경우 건조작업을 위해 이송을 정지하고, 설정된 건조작업 시간이 경과하면 이송을 시작하여 건조된 엘씨디 글라스(100)를 상기 건조 작업 공간 외부로 배출할 수 있다.
이송부(20)는 다양한 종류로 마련될 수 있는 바, 예를 들어, 도 6에 도시된 바와 같이, 엘씨디 글라스(100)의 하부에 위치하며 회전하는 다수의 이송롤러(21)와, 프레임(10)에 지지되며 이송롤러(21)로 회전력을 발생시켜 전달하는 이송모터(23)를 포함할 수 있다.
여기서, 이송부(20)의 이송구조는 전술한 롤러타입 이외에도 벨트 타입 등 다양한 종류로 마련될 수 있음은 물론이다.
스틸 히터(30)는 프레임(10)에 의해 지지되며, 원적외선 및 열을 발생시켜 엘씨디 글라스(100)를 가열 건조한다.
스틸 히터(30)는 다양한 종류로 마련될 수 있으며, 예를 들어, 스텐레스(금속)와 글라스 및 귀금속재질로 구성될 수 있다. 즉, 스텐레스 기판 위에 절연 글라스층을 형성하고, 절연글라스층 위에는 높은 저항온도계수를 갖는 저항체와 귀금속 재질의 단자를 형성할 수 있으며, 마지막으로 저항체와 단자 상부는 보호글라스로 실링하여 구성한다. 추가로, 상기 구성들 전체를 오버 코트 글라스로 마무리함으로써 청정도를 더욱 향상시킬 수 있다.
스틸 히터(30)는 종래 할로겐 히터와 달리, 진공 또는 불량성 가스 환경 하에서도 피가열물을 빠르고 균일하게 가열할 수 있다는 장점이 있다.
즉, 스틸 히터(30)는 전술한 바와 같이, 종래 니크롬 히터에 비해 높은 저항온도계수를 가지므로 원하는 설정온도(분위기온도)에 빠른 시간 내에 도달할 수 있다는 장점이 있다.
또한, 스틸 히터(30)는 고효율의 원적외선을 조사하며, 점이나 선이 아닌 면조사를 하게 되므로 판상의 엘씨디 글라스(100)를 균일하게 가열할 수 있다는 장점이 있다. 즉, 베이스(전술한 예에서 스텐레스기판)이 금속이기 때문에 열전도도가 높아 히터 전체의 온도가 균일하다.
한편, 스틸 히터(30)는 종래 할로겐 히터나 니크롬 히터와 달리 빛을 발생하지 않기 때문에 작업자에게 불편을 주지 않으므로 작업환경이 개선된다.
스틸 히터(30)는 다양한 크기 및 형상으로 마련될 수 있는 바, 예를 들어, 이송되는 엘씨디 글라스(100)의 크기 및 형상에 대응하여 마련될 수도 있고, 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 2 이상으로 분할되어 마련될 수도 있다.
스틸 히터(30)는 피가열물인 엘씨디 글라스(100)에 크기 및 형상에 대응하여 마련될 수 있고, 가열하고자 하는 소정 부위에 대응하여 마련될 수도 있다.
후자의 경우, 도 3에 도시된 바와 같이, 스틸 히터(30)는 소정 크기로 마련되어 후술한 히터 수평구동부(35)에 의해 구동되어 전후좌우로 이동되면서 엘씨디 글라스(100)의 소정 부위만을 가열하거나 전체 면적을 순차적으로 가열할 수도 있다.
또한, 스틸 히터(30)는 전체가 하나의 모듈로 마련될 수도 있으나, 도 4 또는 5에서 보는 바와 같이, 2 이상으로 분할되어 마련될 수도 있다.
후자의 경우, 스틸 히터(30)는 분할된 각 부분이 모두 조합된 상태에서 또는 개별적으로 엘씨디 글라스(100)의 전면적 또는 일정 부분만을 가열건조하는 것이 가능하도록 마련될 수도 있다.
즉, 도 5에 도시된 바와 같이, 2개의 스틸 히터(30)가 모두 조합되어 엘씨디 글라스(100) 전면을 건조하는 것도 가능하며, 도 4에 도시된 바와 같이, 서로 분리되어 엘씨디 글라스(100)의 일부분(예를 들어, 갭건조 등)만을 가열할 수도 있다.
이 경우, 각 스틸 히터(301, 302)는 그 모양이나 배치가 다양하게 마련될 수 있으며, 그 수평이동 방향 또한 각각 독립적으로 마련될 수 있다.
한편, 스틸 히터(30)는 도 2에 도시된 바와 같이, 이송부(20)를 중심으로 상하에 대응하여 2개가 마련될 수도 있다.
또한, 스틸 히터(30)를 중심으로 엘씨디 글라스(100)의 반대측에는 스틸 히터(30)에서 발생된 적외서 및 열을 반사시키는 반사판이 더 마련될 수 있다.
제어부(40)는 설정 입력된 건조조건에 따라 이송부(20) 및 히터를 구동한다.
이 경우, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 엘씨디 글라스(100)에 인접하여 마련되는 온도감지센서(50)를 더 포함할 수 있다. 온도감지센서(50)는 필요한 위치에 필요한 수로 다양하게 마련될 수 있다.
이 경우, 제어부(40)는 온도감지센서(50)의 감지결과에 기초하여 엘씨디 글라스(100) 측의 감지온도가 설정된 가열온도를 유지하도록 스틸 히터(30)를 구동한다.
히터 수직구동부(31)는 프레임(10)에 마련되어 스틸 히터(30)와 엘씨디 글라스(100) 사이의 간격조절이 가능하도록 스틸 히터(30)를 엘씨디 글라스(100)의 판면방향으로 상하로 이동하도록 마련된다. (여기서, 판면방향이란 판상의 엘씨디 글라스(100)에서 판면의 법선방향을 의미한다.)
히터 수직구동부(31)는 스틸 히터(30)와 피가열물은 엘씨디 글라스(100) 사이의 간격이 너무 가깝거나 멀어서 설정된 가열온도(분위기 온도)에 영향이 있는 경우 스틸 히터(30)와 피가열물 사이의 간격을 이격시키거나 접근시키는 용도로 구동될 수 있다.
엘씨디 글라스(100)의 가열온도를 적정하게 유지하는 방법으로는 전술한 바와 같이, 스틸 히터(30)의 구동제어와 히터 수직구동부(31)에 의한 사이간격 제어 2가지 방식이 모두 사용될 수 있다.
특히, 히터 수직구동부(31)에 의한 제어는 예를 들어, 엘씨디 글라스(100)가 과열된 경우 신속하게 스틸 히터(30)를 엘씨디 글라스(100)로부터 이격시켜 온도를 낮출 수 있으므로 스틸 히터(30) 구동에 의한 전자의 방법보다 신속한 대응이 가능하다는 장점이 있다.
한편, 히터 수직구동부(31)는 상기 건조 작업 공간 내부로 유입되는 엘씨디 글라스(100)의 두께가 다양한 경우에, 엘씨디 글라스(100)의 두께에 따라서 스틸 히터(30)를 상하로 이동시켜 엘씨디 글라스(100)와의 사이 간격을 일정하게 유지시킬 수 있다.
여기서, 히터 수직구동부(31)는 스틸 히터(30)가 2 이상의 복수로 마련되는 경우, 각 부분마다 서로 달리 구동되도록 마련될 수 있다.
히터 수평구동부(35)는 프레임(10)에 마련되어 스틸 히터(30)가 엘씨디 글라스(100)의 판면방향의 가로 방향으로 수평으로 이동하도록 마련된다.
전술한 히터 수직구동부(31) 및 히터 수평구동부(35)는 필요에 따라 2개 모두 마련될 수도 있으며, 어느 하나만 마련될 수도 있다.
이 경우, 히터 수평구동부(35)는 각 스틸 히터(301, 302)가 전후 또는 좌우 방향으로 각각 독립적으로 이동이 가능하도록 구동할 수 있다.
스틸 히터(30)는 도 4 또는 도 5에 도시된 바와 같이, 엘씨디 글라스(100)의 이송방향의 가로방향으로 상호 접근 및 이격이 가능하도록 2개로 마련되는 경우에는, 히터 수평구동부(35)는 각 스틸 히터(30)에 대응하여 프레임(10)의 양측에 각각 마련될 수 있다.
수평가이드(36)는 스틸 히터(30)의 수평 구동시 스틸 히터(30)가 직진성을 가지고 이동할 수 있도록 가이드한다.
도 5에 도시된 바와 같이, 히터 수평구동부(35)와 나란하게 배치된 수평가이드(36)를 따라서 스틸 히터(30)가 좌우로 구동하게 되므로 이동의 직진성을 향상시키는 것이다.
한편, 프레임(10)의 양측에는 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 2개의 스틸 히터(30)가 각각 이격되는 방향으로 이동되어 수용되는 히터 수용부(37)가 더 마련될 수 있다.
즉, 히터 수평구동부(35)에 의해서, 스틸 히터(30)의 사용시에는 도 8에 도시된 바와 같이, 히터 수용부(37)에서 인출되어 엘씨디 글라스(100) 상부에 위치하게 되며, 스틸 히터(30)를 사용하지 않는 경우에는 도 9에 도시된 바와 같이, 히터 수용부(37)에 수용할 수 있다.
전술한 바와 같이, 스틸 히터(30)가 히터 수용부(37)에 수용된 상태에서는 외부의 충격으로부터 스틸 히터(30)가 보호할 수 있으므로 제품의 수명을 연장시키고, 외력에 의한 고장을 미연에 방지할 수 있다.
여기서, 스틸 히터(30)는 히터 수용부(37)에 완전히 수용된 상태 또는 인출된 상태 중 어느 하나로만 마련되는 것이 아니라, 갭건조 등과 같이 엘씨디 글라스(100)의 일부분을 건조하는 경우에는 스틸 히터(30)의 일부만이 히터 수용부(37)에 수용된 상태에서 작동될 수 있음은 물론이다.
송풍기(60)는 프레임(10) 일측에 마련되며, 엘씨디 글라스(100)를 향하여 건조공기를 발생시킨다.
이는, 전술한 복사열에 의한 가열건조 방식인 스틸 히터(30)와 더불어, 숭풍방식으로 엘씨디 글라스(100)를 건조할 수 있도록 하기 위함이다.
송풍기(60)는 프레임(10)의 다양한 위치에 고정될 수 있으며, 필요에 따라 2 이상으로 마련될 수도 있음은 물론이다.
1 : 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치
10 : 프레임 20 : 이송부
21 : 이송롤러 23 : 이송모터
30 : 스틸 히터 31 : 히터 수직구동부
35 : 히터 수평구동부 36 : 수평가이드
37 : 히터 수용부 38 : 히터 커버
40 : 제어부 50 : 온도감지센서
60 : 송풍기 100 : 엘씨디 글라스

Claims (10)

  1. 내부에 엘씨디 글라스 건조를 위한 건조 작업 공간을 형성하는 챔버와;
    상기 챔버내에서 상기 엘씨디 글라스를 이송하는 이송부와;
    상기 엘씨디 글라스를 가열하는 히터와;
    설정 입력된 건조조건에 따라 상기 이송부 및 상기 히터를 구동하는 제어부를 포함하되,
    상기 히터는 금속판과, 상기 금속판 일측면에 마련되어 전기저항열을 발생하는 저항체를 포함하여, 상기 금속판을 통하여 적외선 및 열을 상기 엘씨디 글라스에 조사하는 판 상의 스틸 히터로 마련되는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 스틸 히터는 상기 건조 작업 공간 내의 가열면적을 2 이상으로 분할하여 가열가능하도록 복수 개로 마련되는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 엘씨디 글라스에 인접하여 마련되는 온도감지센서를 더 포함하며,
    상기 제어부는 상기 온도감지센서의 감지결과에 기초하여 상기 엘씨디 글라스 측의 감지온도가 설정된 가열온도를 유지하도록 상기 스틸 히터를 구동하는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 프레임에 마련되어 상기 스틸 히터와 상기 엘씨디 글라스 사이의 간격 조절이 가능하도록 상기 스틸 히터를 상기 엘씨디 글라스의 판면방향으로 상하로 이동하게 하는 히터 수직구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 프레임에 마련되어 상기 스틸 히터가 상기 엘씨디 글라스의 판면방향의 가로 방향으로 수평으로 이동하게 하는 히터 수평구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 스틸 히터가 복수로 마련되는 경우, 상기 히터 수평구동부는 상기 각 스틸 히터가 전후 또는 좌우 방향으로 독립적으로 이동이 가능하도록 구동하는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 챔버 내 일측에 마련되어 상기 각 스틸 히터가 이송부 외측으로 이송되어 수용되는 히터수용부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 스틸 히터의 수평 구동이 직진성을 가지도록 가이드하는 수평가이드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 스틸 히터는 상기 엘씨디 글라스의 상부 또는 하부 중 하나 이상에 마련되는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 프레임 일측에 마련되며, 상기 엘씨디 글라스를 향하여 건조공기를 발생시키는 송풍기를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치.
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