KR20230146174A - 열처리로의 히터 전원 공급장치 - Google Patents

열처리로의 히터 전원 공급장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20230146174A
KR20230146174A KR1020220044674A KR20220044674A KR20230146174A KR 20230146174 A KR20230146174 A KR 20230146174A KR 1020220044674 A KR1020220044674 A KR 1020220044674A KR 20220044674 A KR20220044674 A KR 20220044674A KR 20230146174 A KR20230146174 A KR 20230146174A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
power supply
heat treatment
treatment furnace
power
heater
Prior art date
Application number
KR1020220044674A
Other languages
English (en)
Inventor
사토루 나카니시
김민철
하재욱
Original Assignee
(주) 한국제이텍트써모시스템
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by (주) 한국제이텍트써모시스템 filed Critical (주) 한국제이텍트써모시스템
Priority to KR1020220044674A priority Critical patent/KR20230146174A/ko
Publication of KR20230146174A publication Critical patent/KR20230146174A/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/02—Details
    • H05B3/03—Electrodes
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
    • H05B3/00—Ohmic-resistance heating
    • H05B3/62—Heating elements specially adapted for furnaces

Landscapes

  • Resistance Heating (AREA)
  • Furnace Details (AREA)

Abstract

열처리로의 히터 전원 공급장치에 관하여 개시한다. 본 발명은, 열처리로의 챔버 내에 실장되어 기판을 가열하거나 건조 시키기 위해 일단에 전원을 통전 시키는 전원접속단자를 구비하며, 상기 전원접속단자를 통해 전기를 급전 받아 발열하는 복수의 히팅 플레이트들을 포함하는 히터 유닛; 및 상기 히팅 플레이트들에 외부 전원을 통전시켜 전원을 공급하는 비발열 시스 케이블을 통해 배선되는 전원공급부와 급전부;로 구성될 수 있다.

Description

열처리로의 히터 전원 공급장치{Heater power supply for heat treatment furnace}
본 발명은 열처리로의 챔버에 실장되어 기판을 열처리하는 히터에 전원을 효과적으로 급전하고 통전 성능과 급전 및 유지보수의 안전성 그리고 기판 제조 수율을 향상시키는 열처리로의 히터 전원 공급장치에 관한 것이다.
디스플레이장치를 구성하는 글라스 기판은 열처리를 통해 제조하게 되는데 열처리 시 각 공정마다 요구하는 조건을 만족시키기 위해서는 외기의 영향을 막고 열이 챔버 밖으로 방출되는 것을 최소로 유지하여야 성능 저하를 방지할 수 있고, 제품 불량률을 낮출 수 있다. 또한 완제품의 수율 향상을 위해서는 열처리 시 기판의 면내 편차가 적을수록 좋기 때문에 보다 고성능의 열처리로(또는 열처리 오븐)가 요구되고 있다. 기판을 제조하는데 있어서 온도 관리와 온도 균일도의 유지는 양품의 기판 품질과 수율 유지를 위해 반드시 필요로하는 요소이다. 예를 들면, 열처리로를 통한 기판 제조 공정에서는 기판 표면에 유기물층이 형성되어 일정량의 수분을 포함할 수 있기 때문에 수분을 증발시키는 건조 공정을 필요로 하고 있는데 글라스 기판 제조 공정에서는 가열 및 건조 공정을 수행하여 기판을 제조하고 있다. 이렇게 기판 제조 공정에서 발생되는 수분은 히터(sheath heater) 등의 발열체를 포함하는 열처리로 내의 챔버에 넣어 가열 건조를 통해 기판에 잔류하는 수분을 제거하고 있다. 한편, 열처리로의 히터 유닛은 전기 저항으로 발열하는 발열선(발열코일)을 내장하고 그 상하부에는 판상의 히팅 플레이트를 설치하여 열처리로 내의 챔버 내에서 이루어지는 기판 가열 및 건조 공정을 수행하도록 구성되는데, 히터 유닛에 전기를 공급하고 발열시키기 위해 히팅 플레이트에 전기를 접속시켜 통전시키는 다수의 부스 바들이 접속된 도전부를 포함하는 히터 전원 공급장치를 구비하고 있다.
이와 같이, 열처리로의 히팅 플레이트에 전원을 공급하는 종래의 히터 전원 공급장치는, 열처리로 내에 다수의 금속제 부스 바를 노출된 상태로 배치하고 그 부스 바를 통해 전기를 히팅 플레이트에 공급하는 방식이다. 그러나, 종래의 히터 전원 공급장치는 유지보수를 위해 작업자가 부스 바에 전원이 인가된 상태에서 열처리로 내부 작업시 감전 사고로 이어질 수 있는 위험성이 높은 실정이다. 또한, 다수의 부스 바 및 부스 바들을 챔버 내에 고정시 절연을 위한 고가의 세라믹 등의 절연재가 필요하므로 원가 상승의 원인이 되고, 부스 바에서 전원선을 연결하여 열처리로 외부로 인출 시 실링이 용이하지 않아 작업 난이도가 높은 문제가 있고, 복잡한 배선으로 인해 기판 제조 공정에서 다량의 분진 발생을 억제하기 어려운 문제가 있다. 또한, 히터에 전원을 공급하기 위해서는 열처리로의 내부로 전원선(케이블)이 인입되어야 하며, 열처리로 내에 포설되는 전원선이 열처리로 내의 다른 금속 등의 도전성 구조물과 접촉되어 쇼트가 발생될 수 있으므로 전기절연성능 및 열처리로의 고온 분위기에서 사용할 수 있고, 기판 제조 공정에서 이물질에 의한 제품 불량 줄이기 위해 상온 및 고온에서 분진이 발생을 억제할 수 있는 새로운 히터 전원 공급장치의 설계가 요구되고 있다.
특허문헌 1. KR 등록특허공보 제10-1238560호(공고일 2013년02월28일) 특허문헌 2. KR 등록특허공보 제10-0722154호(공고일 2007년05월28일) 특허문헌 3. KR 공개특허공보 제10-2013-0028322호(공개일 2013년03월19일)
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리로의 챔버에 실장되는 히터에 대한 통전 성능을 제고시키는데 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리로의 챔버에 실장되는 히터의 단자부에서 발생되는 내구성 저하를 포함하여 쇼트 및 단락 등의 문제를 해결하는데 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 비교적 간단한 구성으로 열처리로의 히터에 전원을 효과적으로 공급하고 제조 원가를 낮추는 히터 전원 공급장치를 제공하는데 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리로의 히터 전원 공급장치로부터 발생되는 안전 사고의 위험을 회피하는 히터 전원 공급장치를 제공하는데 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 기판 제조 공정 중 열처리로의 히터 전원 공급장치로의 케이블로부터 발생되는 분진을 억제하여 제품 수율을 향상시키는데 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리로의 히터 전원공급장치의 제조 비용을 줄여 열처리로의 제작 원가를 절감하는데 있다.
상기 목적들은, 본 발명에 따르면, 열처리로의 챔버 내에 실장되어 기판을 가열하거나 건조 시키기 위해 일단에 전원을 통전 시키는 전원접속단자를 구비하며, 상기 전원접속단자를 통해 전기를 급전 받아 발열하는 복수의 히팅 플레이트들을 포함하는 히터 유닛; 및 상기 히팅 플레이트들에 외부 전원을 통전시켜 전원을 공급하는 비발열 시스 케이블을 통해 배선되는 전원공급부와 급전부;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치로부터 달성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 전원공급부를 통해 히팅 플레이트들에 공급되는 전원은 상기 비발열 시스 케이블을 경유하여 상기 히팅 플레이트의 급전부측에 직접 급전되도록 배치하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 비발열 시스 케이블은 상기 히팅 플레이트에 전원을 급전하기 위해 일단이 상기 열처리로의 외부로 노출되어 전원을 통전시키는 전원공급단;으로 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 비발열 시스 케이블은 상기 히팅 플레이트에 전원을 급전하기 위해 일단이 상기 히팅 플레이트의 전원접속단자에 매칭되어 전원을 급전하는 터미널로 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 비발열 시스 케이블은 일단이 상기 열처리로의 외부로 노출되어 전기를 통전시키는 전원공급단;으로 이루어지고, 타단은 상기 히팅 플레이트의 전원접속단자에 매칭되어 전기를 급전하는 터미널;로 이루어지며, 상기 전원공급단과 상기 터미널을 연결하는 케이블;로 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 전원공급단의 일부분은 열처리로의 챔버 외부에 위치하는 구조물에 체결 조립되는 가공나사부;를 구비하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 케이블은 상기 전원공급단과 상기 터미널을 전기적으로 통전시키는 심선; 상기 심선의 외부를 보하는 피막을 형성하는 금속튜브막; 및 상기 심선과 금속튜브막 사이의 공극에 마그네시아(MgO)를 채워서 충진된 절연제층;을 포함하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 금속튜브막은 스테인레스강을 모재로하여 중공형의 관체로 제조된 것을 사용하는 것이 바람직할 수 있다.
본 발명은, 열처리로의 챔버 내에 위치하는 히터에 전원을 급전하는 전원선을 내부 절연체가 충진된 금속 피복의 비발열 시스 케이블(sheathed cable)을 사용함으로써 충분한 내열성 및 전기 절연성을 확보할 수 있는 효과가 있다.
또한, 열처리로의 챔버 내 고온 분위기에서 분진 발생을 방지하여 기판 제조공정에서 제품 수율을 향상시키고 히터에 전원을 급전하는 전원 케이블의 급전 불량 발생 가능성을 현저히 낮추는 효과가 있다.
또한, 열처리로의 챔버 외부로 노출되는 비발열 시스 케이블의 단부 부분을 가공나사부로 구성하고, 이를 통해 비발열 시스 케이블을 구조물에 견고한 상태로 장착하도록 유도함으로써 히터에 전원 급전 시 케이블의 유동으로 인한 전원 공급의 불안정성을 해결하고 안정적으로 히터에 전원을 공급할 수 있는 효과가 있다.
또한, 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는데 있어서 부스 바에 전원선을 연결하는 급전 방식을 다이렉트 케이블 공급방식으로 대체하여 유지보수시 발생되는 감전 사고의 위험을 배제하고 유지보수성을 향상시키는 효과가 있다.
도 1은 열처리로를 보인 예시이다.
도 2는 열처리로의 정면을 보인 예시이다.
도 3은 종래의 열처리로의 평면을 보인 예시로서 부스 바를 사용한 히터 전원 공급장치의 예시이다.
도 4는 도 3의 'A'부를 발췌하여 나타낸 종래의 히터 전원 공급장치의 예시이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 전원공급부와 급전부을 나타낸 예시이다.
도 6은 도 5의 'B'부를 발췌하여 나타낸 것으로 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 전원공급부의 예시이다.
도 7은 도 5의 'C'부를 발췌하여 나타낸 것으로 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 급전부의 예시이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 비발열 시스 케이블을 발췌하여 나타낸 예시이다.
도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 비발열 시스 케이블의 구조를 단면도 나타낸 예시이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 '열처리로의 히터 전원 공급장치'를 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 설명에 앞서, 먼저 기존의 열처리로의 히터 전원 공급장치를 도 1 내지 도 4를 참조하여 설명한다.
도 1은 열처리로를 보인 예시이다. 도 2는 열처리로의 정면을 보인 예시이다. 도 3은 종래의 열처리로의 평면을 보인 예시로서 부스 바를 사용한 히터 전원 공급장치의 예시이다. 도 4는 도 3의 'A'부를 발췌하여 나타낸 종래의 히터 전원 공급장치의 예시이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 도면은 열처리로(100)의 전체 구조를 보인 것으로 챔버(200)를 포함하여 구성된 열처리로(100)의 예시이다.
열처리로(100)는 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 기판을 열처리 하기 위하여 열처리 대상 기판을 챔버(200) 안에 마련된 각단에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버(200)로부터 반출하기 위해 후면부에는 도어부(110)를, 전면부에는 셔터부(120)를 각각 구비할 수 있다.
그리고, 열처리로(100)는 챔버(200)의 일측으로 프로세스 가스를 포함하는 유체를 유입시키는 급기구 및 챔버(200)내 유체를 배기시키는 배기구를 구비하여 구성되고 있다.
그리고, 열처리로(100)는 가열 또는 건조를 필요로하는 기판을 수용하는 챔버(200)를 구비하며, 챔버(200) 내에는 발열체로 이루어지는 복수의 히터 유닛(300)들을 실장하여 그 히터 유닛(300)의 히팅 플레이트(311)들로부터 발생되는 열로 기판을 가열하거나 수분을 증발 건조 시키도록 구성되고 있다.
그리고, 사양에 따라 다르지만 보통의 경우, 히터 유닛(300)을 구성하는 발열체(310)의 상하부에는 히팅 플레이트(311)를 밀착되도록 설치하여 챔버 내에서 이루어지는 기판 가열 공정을 수행하도록 구성되고 있다.
도 1 내지 도 4에서, 미설명 부호 '210'과 '220'은 챔버(200)의 '내외부 케이싱'이다. 그리고, 미설명 부호 '230'은 챔버(200)에 냉각 기류를 형성하여 챔버(200)의 내부에 구성된 냉각 기류 유도로를 통해 챔버를 균일한 온도 분포로 냉각시키는 '냉각 재킷'이다.
참고로, 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같은, 열처리로을 구성하는 기본적인 구성들, 예를 들면, 챔버의 구조 및 프로세스 가스의 급기 및 배기계통 및 등의 구성은 본 발명과 직접 관련이 없다. 그리고, 열처리로의 기본적인 해당 구성들은 본 발명의 요지와 무관하고 공지된 구성들이므로 본 발명의 구성 및 동작 설명에서 생략하는 것으로 한다.
한편, 히터 유닛(300)에 전원을 공급하기 위하여 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 히터 전원 공급장치(240)가 구성된다. 기존의 히터 전원 공급장치(240)는 챔버(200)의 외부로 다수의 피드 스루(241)들을 돌출시켜 이를 통해 챔버내(200)로 전원을 공급하도록 되어 있다.
기존의 히터 전원 공급장치(240)를 구체적으로 살펴보면, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 챔버(200) 내 양편 세로 방향으로 다수의 부스 바(243)들을 설치하고, 히터 유닛(300)을 구성하는 히팅 플레이트(311)의 접속단자(312)에 전원선(245)을 접속시켜 전기를 통전시키도록 되어 있다.
즉, 부스 바(243)에 도전 플레이트(244)를 설치하고, 피드 스루(241)로부터 통전되는 전류를 전원선(242)을 통해 부스 바(243)에 패스시킨 후 도전 플레이트(244)와 접속 단자(312)를 연결하는 또 다른 전원선(245)를 통해 히팅 플레이트(311)에 전기를 공급하도록 되어 있다.
한편, 열처리로 히터에 전원을 공급하는 기존의 히터 전원 공급장치는 유지보수를 위해 작업자가 부스 바에 전원이 인가된 상태에서 열처리로 내부 작업시 노출된 부스 바(243)에 신체가 접촉하는 경우 감전 사고로 이어질 수 있는 위험성이 높은 실정이다.
또한, 다수의 부스 바(243) 및 부스 바들을 챔버(200) 내에 고정시 절연을 위한 고가의 세라믹 등의 절연재가 필요하므로 원가 상승의 원인이 되고, 부스 바(243)에서 전원선(242)을 연결하여 열처리로 외부로 인출 시 실링이 용이하지 않아 작업 난이도가 높은 문제가 있다.
또한, 복잡한 배선으로 인해 기판 제조 공정에서 다량의 분진 발생을 억제하기 어려운 문제가 있다.
또한, 히터에 전원을 공급하기 위해서는 열처리로의 내부로 전원선(242)이 인입되어야 하며, 열처리로 내에 포설되는 전원선(242)(245)이 열처리로 내의 다른 금속 등의 도전성 구조물과 접촉되어 쇼트가 발생될 수 있다.
이에 따라, 본 발명은, 고효율의 전기절연성능을 유지하여 열처리로의 고온 분위기에서 사용할 수 있고, 기판 제조 공정 중 상온 및 고온에서 분진 발생을 억제하여 기판 제조 수율을 효과적으로 향상시킬 수 있는 열처리로의 히터 전원 공급장치를 제시한다.
또한, 본 발명은, 열처리로의 챔버 내에 위치하는 히터에 전원을 급전하는 전원선을 내부 절연체가 충진된 금속 피복의 비발열 시스 케이블(sheathed cable)을 사용함으로써 충분한 내열성 및 전기 절연성을 확보할 수 있는 열처리로의 히터 전원 공급장치를 제시한다.
또한, 본 발명은, 열처리로의 챔버 내 고온 분위기에서 분진 발생을 방지하여 기판 제조공정에서 제품 수율을 향상시키고 히터에 전원을 급전하는 전원 케이블의 급전 불량 발생 가능성을 낮추는 열처리로의 히터 전원 공급장치를 제시한다.
또한, 본 발명은, 열처리로의 챔버 외부로 노출되는 비발열 시스 케이블의 단부 부분을 가공나사부로 구성하고, 이를 통해 비발열 시스 케이블을 구조물에 견고한 상태로 장착하도록 유도함으로써 히터에 전원 급전 시 케이블의 유동으로 인한 전원 공급의 불안정성을 해결하고 안정적으로 히터에 전원을 공급할 수 있는 열처리로의 히터 전원 공급장치를 제시한다.
또한, 본 발명은, 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는데 있어서 기존 부스 바에 전원선을 연결하는 급전 방식을 다이렉트 케이블 공급방식으로 대체하여 유지보수시 발생되는 감전 사고의 위험을 배제하고 유지보수성을 향상시키는 열처리로의 히터 전원 공급장치를 제시한다.
본 발명의 실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 주요 구성을 도 5 내지 도 9를 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 전원공급부와 급전부을 나타낸 예시이다. 도 6은 도 5의 'B'부를 발췌하여 나타낸 것으로 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 전원공급부의 예시이다. 도 7은 도 5의 'C'부를 발췌하여 나타낸 것으로 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 급전부의 예시이다. 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 비발열 시스 케이블을 발췌하여 나타낸 예시이다. 도 9는 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는 비발열 시스 케이블의 구조를 단면도 나타낸 예시이다.
본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치는, 도 5 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 열처리로(100)의 챔버(200) 내에 실장되어 기판을 가열하거나 건조 시키기 위해 일단에 전원을 통전 시키는 전원접속단자(312)를 구비하며, 상기 전원접속단자(312)를 통해 전원을 급전 받아 발열하는 복수의 히팅 플레이트(311)들을 포함하는 히터 유닛(300)으로 구성될 수 있다.
그리고, 히팅 플레이트(311)들에 외부 전원을 통전시켜 전원을 공급하는 비발열 시스 케이블(410)을 포함하는 전원공급부(400)와 급전부(320)로 구성될 수 있다.
이에 따라, 본 발명은, 열처리로(100)의 히터 전원 공급장치를 구성하는데 있어서 기존 부스 바에 전원선을 연결하는 급전 방식을 비발열 시스 케이블(410)를 통한 다이렉트 배선 방식으로 대체하여 유지보수시 발생되는 감전 사고의 위험을 배제하고 유지보수성을 향상시키는 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성할 수 있게 된다.
그리고, 열처리로(100)의 챔버(200) 내에 위치하는 히터 유닛(300)에 전원을 급전하는 전원선을 내부 절연체가 충진된 금속 피복의 비발열 시스 케이블(410)을 사용함으로써 충분한 내열성 및 전기 절연성을 확보하는 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성할 수 있게 된다.
또한, 전원공급부(400)를 통해 히팅 플레이트(311)들에 공급되는 전원은 도 5 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 비발열 시스 케이블(410)을 경유하여 히팅 플레이트(311)의 급전부(320)측에 기존 처럼 부스 바에 전원선을 연결하는 별도의 복잡한 전원선 배선 작업 없이 직접 다이렉트 급전 방식으로 대체되도록 배치 구성될 수 있다.
이에 따라, 복잡한 배선이 비발열 시스 케이블(410)로 대체되어, 배선 작업이 간결해지고, 전기절연성능 및 열처리로의 고온 분위기에서 사용할 수 있으며, 기판 제조 공정에서 이물질에 의한 제품 불량 줄이기 위해 상온 및 고온에서 분진 발생을 억제할 수 있게 된다.
또한, 비발열 시스 케이블(410)은 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 히팅 플레이트(311)에 전원을 급전하기 위해 일단이 열처리로(100)의 외부로 노출되어 전원을 통전시키는 전원공급단(411)으로 구성될 수 있다.
또한, 비발열 시스 케이블(410)은 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이,히팅 플레이트(311)에 전원을 급전하기 위해 일단이 히팅 플레이트(311)의 전원접속단자(312)에 매칭되어 전원을 급전하는 터미널(412)을 구비하여 구성될 수 있다.
이에 따라, 열처리로(100)의 챔버(200) 내 고온 분위기에서 대부분의 전원선이 비발열 시스 케이블(410)로 대체되어 다이렉트로 히팅 플레이트(311)에 전원을 급전할 수 있으므로, 전원선 배치에 따르는 분진 발생을 방지할 수 있게 된다.
이를 통해, 열처리로(100) 내 기판 제조공정에서 제품 수율을 향상시키고 히터에 전원을 급전하는 전원 케이블의 급전 불량 발생 가능성을 현저히 낮출 수 있게된다.
또한, 비발열 시스 케이블(410)은 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 일단이 상기 열처리로(100)의 외부로 노출되어 전원을 통전시키는 전원공급단(411)으로 이루어지고, 타단은 히팅 플레이트(311)의 전원접속단자(312)에 매칭되어 전원을 급전하는 터미널(412)로 이루어지며, 전원공급단(411)과 터미널(412)을 연결하는 케이블(413)로 구성될 수 있다.
또한, 비발열 시스 케이블(410)은 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 전원공급단(411)의 일부분은 열처리로(100)의 챔버(200) 외부에 위치하는 구조물(500)에 체결 조립되는 가공나사부(414)를 구비하여 구성될 수 있다.
여기서, 가공나사부(414)는 도 6에 도시된 바와 같이, 구조물(500)측에 너트(418)를 통해 체결될 수 있다.
이렇게, 열처리로(100)의 챔버(200) 외부로 노출되는 비발열 시스 케이블(410)의 단부 부분을 가공나사부(414)로 구성하여 구조물(500)에 고정하는 경우,비발열 시스 케이블(410)을 구조물(500)에 견고한 상태로 장착할 수 있게되고, 히터 유닛(300)에 전원 급전 시 케이블의 유동으로 인한 전원 공급의 불안정성을 해결하고 복잡한 배선 없이 안정적으로 히터 유닛(300)에 전원을 공급할 수 있게 된다.
또한, 비발열 시스 케이블(410)은 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 케이블(413)은 전원공급단(411)과 터미널(412)을 전기적으로 통전시키는 심선(415)과 심선(415)의 외부를 보하는 피막을 형성하는 금속튜브막(416) 및 심선(415)과 금속튜브막(416) 사이의 공극에 마그네시아(MgO)를 채워서 충진된 절연제층(417)을 포함하여 구성될 수 있다.
또한, 비발열 시스 케이블(410)의 금속튜브막(416)은 도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 스테인레스강을 모재로하여 중공형의 관체로 제조된 것을 사용하는 것이 바람직하다.
이렇게, 열처리로(100)의 챔버(200) 내에 위치하는 히터 유닛(300)에 전원을 급전하는 대부분의 전원선을, 내부가 절연체층(417)으로 충진된 금속튜브막(416)으로 이루어지는 비발열 시스 케이블(410)을 사용함으로써 충분한 내열성 및 전기 절연성을 확보할 수 있고, 배선 작업이 간결해지는 동시에 고온 분위기에서 전원선에서 발생되는 분진을 억제하고, 이를 통해, 열처리로 내 기판 제조 공정에서 분진 유입에 의한 제품 불량 발생 문제를 효과적으로 해결할 수 있게 된다.
또한, 비발열 시스 케이블(410)은 도 8에 도시된 바와 같이, 케이블(413) 부분과 터미널(412)간 상호 연결을 고열에 의한 쇼트 및 단선을 방지하기 위하여 확장 튜브(419)를 통해 연결하여 구성하는 것이 바람직하다. 확장 튜브(419)를 통해, 케이블(413)과 터미널(412)측 단자간 연결의 견고성과 내구성을 유지시킬 수 있으며, 배선 작업시 이웃하는 다른 케이블들과 식별되는 시인성을 제공할 수 있으므로, 초기 배선 작업 및 유지보수 작업성을 개선할 수 있게 된다.
이와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 열처리로의 히터 전원 공급장치는, 고효율의 전기절연성능을 유지하여 열처리로의 고온 분위기에서 사용할 수 있고, 기판 제조 공정 중 상온 및 고온에서 분진 발생을 억제하여 기판 제조 수율을 효과적으로 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은, 열처리로의 챔버 내에 위치하는 히터에 전원을 급전하는 전원선을 내부 절연체가 충진된 금속 피복의 비발열 시스 케이블(sheathed cable)을 사용함으로써 열러치로 내에 설치 운용하는 경우 충분한 내열성 및 전기 절연성을 확보할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은, 열처리로의 챔버 내 고온 분위기에서 분진 발생을 방지하여 기판 제조공정에서 제품 수율을 향상시키고 히터에 전원을 급전하는 전원 케이블의 급전 불량 발생 가능성을 낮추는 이점이 있다.
또한, 본 발명은, 열처리로의 챔버 외부로 노출되는 비발열 시스 케이블의 단부 부분을 가공나사부로 구성하고, 이를 통해 비발열 시스 케이블을 구조물에 견고한 상태로 장착하도록 유도함으로써 히터에 전원 급전 시 케이블의 유동으로 인한 전원 공급의 불안정성을 해결하고 히터에 전원을 안정적으로 공급할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명은, 열처리로의 히터 전원 공급장치를 구성하는데 있어서 기존 부스 바에 전원선을 연결하는 급전 방식을 비발열 시스 케이블을 통한 다이렉트 배선방식으로 대체하여 유지보수시 발생되는 감전 사고의 위험을 배제하고 유지보수성을 향상시키는 유리한 이점이 있다.
이상, 설명된 바와 같이 본 발명은 도면에 도시된 일실시예를 참고로 설명되었으나 실시 예로 한정되지 않으며 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있으며 수정과 변형이 이루어진 것은 본 발명의 기술 사상에 포함된다.
100: 열처리로 200: 챔버
300: 히터 유닛
311: 히팅 플레이트(Thick Flim Heater) 312: 전원접속단자
320: 급전부 400: 전원공급부
410: 비발열 시스 케이블(sheathed cable)
411: 전원공급단 412: 터미널
413: 케이블 414: 가공나사부
415: 심선 416: 금속튜브막
417: 절연제층 500: 구조물

Claims (8)

  1. 열처리로의 챔버 내에 실장되어 기판을 가열하거나 건조 시키기 위해 일단에 전원을 통전 시키는 전원접속단자를 구비하며, 상기 전원접속단자를 통해 전기를 급전 받아 발열하는 복수의 히팅 플레이트들을 포함하는 히터 유닛; 및 상기 히팅 플레이트들에 외부 전원을 통전시켜 전원을 공급하는 비발열 시스 케이블을 통해 배선되는 전원공급부와 급전부;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 전원공급부를 통해 히팅 플레이트들에 공급되는 전원은 상기 비발열 시스 케이블을 경유하여 상기 히팅 플레이트의 급전부측에 직접 급전되도록 배치하여 구성된 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 비발열 시스 케이블은 상기 히팅 플레이트에 전원을 급전하기 위해 일단이 상기 열처리로의 외부로 노출되어 전원을 통전시키는 전원공급단;으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 비발열 시스 케이블은 상기 히팅 플레이트에 전원을 급전하기 위해 일단이 상기 히팅 플레이트의 전원접속단자에 매칭되어 전원을 급전하는 터미널로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 비발열 시스 케이블은 일단이 상기 열처리로의 외부로 노출되어 전기를 통전시키는 전원공급단;으로 이루어지고, 타단은 상기 히팅 플레이트의 전원접속단자에 매칭되어 전기를 급전하는 터미널;로 이루어지며, 상기 전원공급단과 상기 터미널을 연결하는 케이블;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 전원공급단의 일부분은 열처리로의 챔버 외부에 위치하는 구조물에 체결 조립되는 가공나사부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 케이블은 상기 전원공급단과 상기 터미널을 전기적으로 통전시키는 심선; 상기 심선의 외부를 보하는 피막을 형성하는 금속튜브막; 및 상기 심선과 금속튜브막 사이의 공극에 마그네시아(MgO)를 채워서 충진된 절연제층;을 포함하는 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 금속튜브막은 스테인레스강을 모재로하여 중공형의 관체로 제조된 것을 사용하는 것을 특징으로 하는 열처리로의 히터 전원 공급장치.
KR1020220044674A 2022-04-11 2022-04-11 열처리로의 히터 전원 공급장치 KR20230146174A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220044674A KR20230146174A (ko) 2022-04-11 2022-04-11 열처리로의 히터 전원 공급장치

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020220044674A KR20230146174A (ko) 2022-04-11 2022-04-11 열처리로의 히터 전원 공급장치

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20230146174A true KR20230146174A (ko) 2023-10-19

Family

ID=88507957

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020220044674A KR20230146174A (ko) 2022-04-11 2022-04-11 열처리로의 히터 전원 공급장치

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20230146174A (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100722154B1 (ko) 2005-08-16 2007-05-28 주식회사 제우스 밀폐가 개선된 ｌｃｄ 글라스 기판용 오븐챔버
KR101238560B1 (ko) 2012-11-29 2013-02-28 주식회사 디엠텍 Lcd 글라스 오븐챔버
KR20130028322A (ko) 2011-09-09 2013-03-19 주식회사 아이비원 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100722154B1 (ko) 2005-08-16 2007-05-28 주식회사 제우스 밀폐가 개선된 ｌｃｄ 글라스 기판용 오븐챔버
KR20130028322A (ko) 2011-09-09 2013-03-19 주식회사 아이비원 스틸 히터를 이용한 챔버 타입 글라스 건조장치
KR101238560B1 (ko) 2012-11-29 2013-02-28 주식회사 디엠텍 Lcd 글라스 오븐챔버

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN104416244B (zh) 放电加工机器
US20140097174A1 (en) Heat treatment furnace and method of replacing heater of same
KR20230146174A (ko) 열처리로의 히터 전원 공급장치
TWI463103B (zh) 熱處理裝置
JP5473127B2 (ja) 誘導加熱コイル
JP7256243B2 (ja) 熱処理オーブンのヒーターユニット
CN106282914A (zh) 加热腔室以及半导体加工设备
JP3655308B2 (ja) 電気的溶融装置
JP6435541B2 (ja) 熱処理装置
JP7444816B2 (ja) 熱処理オーブンのヒーターユニット
KR102579400B1 (ko) 열처리 오븐의 히터 전원 연결장치
KR102591804B1 (ko) 관형 전기 히터 장비 유닛
JP7237112B2 (ja) 熱処理オーブンの排気ダクト一体型ヒーターユニット
KR20190089553A (ko) 히터 및 기판처리 장치
JP2018200744A (ja) ランプユニット
JP2011228133A (ja) プラズマ処理装置、プラズマ処理方法および半導体素子の製造方法
CN209259682U (zh) 氨分解炉
TW202146827A (zh) 熱處理爐的加熱器供電裝置
KR100811617B1 (ko) 저압 주조 보온로용 히터 전극장치
WO2008118120A1 (en) Heater assembly and method for molten metal processing
KR100517150B1 (ko) 절연부싱 냉각장치
KR20010063894A (ko) 반도체 제조용 전극의 온도 제어를 위한 냉각 장치
KR20170004751A (ko) 허니콤 구조의 탄화규소(SiC)세라믹 히터의 유수 가열을 위한 직접 코팅 구조 및 그 방법
JPH06220622A (ja) ランプヒータを用いた加熱装置

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal