JP7256243B2 - 熱処理オーブンのヒーターユニット - Google Patents
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Description
200 チャンバー
300 ヒーターユニット
301 バスバー(busbar)
310 発熱体(Ml Heater-micro sheathed heater)
311 上部プレート
312 下部プレート
312a 冷却空気流動ホール
313 ヒーター線(wire)
314 スリーブ(sleeve)
315 スリーブ固定ブロック
316 半円形の溝
317 上部側のスリーブ固定ブロック
318 下部側のスリーブ固定ブロック
320 冷却ダクト
321 プレート
Claims (3)
- 熱処理オーブンのヒーターユニットであって、
発熱体を挟んで上部側及び下部側にそれぞれ上部プレート及び下部プレートがサンドイッチ構造で結合し、前記上部プレート及び下部プレートの一端に装着されてヒーター線が外部に露出するように誘導するスリーブと;
前記スリーブの上部側と下部側に位置し、それぞれ上部プレートと下部プレートとの間の密閉度を高めるように前記上部プレート及び下部プレートの一端部に装着されて前記上部プレートと下部プレートとの相互間の摩擦によるパーティクルの発生を抑制するスリーブ固定ブロックと;
前記ヒーターユニットに装着され、外部側の冷却流体を流動させる冷却手段と;を備え、
前記スリーブと上部プレート及び下部プレートとの間の隙間を最小限に抑えるために、前記スリーブの外形を円筒状に形成し、前記スリーブ固定ブロックは、それぞれのスリーブを密着させて結合することができるように、スリーブが結合する対応位置に半円形の溝を加工して構成されたことを特徴とする、熱処理オーブンのヒーターユニット。 - 熱処理オーブンのヒーターユニットであって、
発熱体を挟んで上部側及び下部側にそれぞれ上部プレート及び下部プレートがサンドイッチ構造で結合し、前記上部プレート及び下部プレートの一端に装着されてヒーター線が外部に露出するように誘導するスリーブと;
前記スリーブの上部側と下部側に位置し、それぞれ上部プレートと下部プレートとの間の密閉度を高めるように前記上部プレート及び下部プレートの一端部に装着されて前記上部プレートと下部プレートとの相互間の摩擦によるパーティクルの発生を抑制するスリーブ固定ブロックと;
前記ヒーターユニットに装着され、外部側の冷却流体を流動させる冷却手段と;を備え、
前記スリーブ固定ブロックは、上部側のスリーブ固定ブロックと下部側のスリーブ固定ブロックに分けられており、上部側のスリーブ固定ブロックと下部側のスリーブ固定ブロックは、それぞれ円形のスリーブを密着させて結合することができるように対応位置に半円形の溝を備えることを特徴とする、熱処理オーブンのヒーターユニット。 - 熱処理オーブンのヒーターユニットであって、
発熱体を挟んで上部側及び下部側にそれぞれ上部プレート及び下部プレートがサンドイッチ構造で結合し、前記上部プレート及び下部プレートの一端に装着されてヒーター線が外部に露出するように誘導するスリーブと;
前記スリーブの上部側と下部側に位置し、それぞれ上部プレートと下部プレートとの間の密閉度を高めるように前記上部プレート及び下部プレートの一端部に装着されて前記上部プレートと下部プレートとの相互間の摩擦によるパーティクルの発生を抑制するスリーブ固定ブロックと;
前記ヒーターユニットに装着され、外部側の冷却流体を流動させる冷却手段と;を備え、
前記冷却手段は、
前記下部プレートに設けられ、冷却ダクトに沿って流動する冷却流体を発熱体に接触するように流動させる冷却空気流動ホールをさらに備えることを特徴とする、熱処理オーブンのヒーターユニット。
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