JP6435541B2 - 熱処理装置 - Google Patents
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Description
本願は、2014年7月7日に日本に出願された特願2014−139629号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
図1は、本開示の第1実施形態である熱処理装置1の概略構成を示す縦断面図である。なお、図1の紙面上側は、装置における鉛直方向上側を示す。本実施形態の熱処理装置1は、被処理物Wの加熱処理を行う装置であり、図1に示すように、加熱室2と、断熱材3と、載置台4と、ヒータ5と、電源ユニット6と、マッフル板7(熱伝導隔壁)と、ガス供給部8と、第1排気管9と、第2排気管10と、撹拌機11とを備えている。
下部断熱材3aは、底部枠体2b1上に設けられた円環状に形成されている。側部断熱材3bは、加熱室2の側壁部2aの内壁に貼り合されている。すなわち、側部断熱材3bも円筒状に形成されている。上部断熱材3cは、加熱室2の蓋部2cの内側(すなわち下側)に配置されており、その中央部に着脱可能に設けられた蓋部3c1と、この蓋部3c1を囲って配置されヒータ5が挿通される貫通孔3c2とを有している。なお、後述のように本実施形態においては、ヒータ5が12本設けられていることから、貫通孔3c2は、蓋部3c1を囲って環状に12個配列されている。このような断熱材3は、例えばセラミックスファイバーボード等からなる断熱材と、セラミックスボードとが積層されて形成されていてもよい。
そして、真空ポンプによる減圧も停止し、加熱室2内から被処理物Wを取り出す。その後、新たな被処理物Wを加熱室2内にセットし、上述の操作を繰り返すことにより、新たな被処理物Wに対しても熱処理を行うことができる。
したがって、本実施形態の熱処理装置1において、ヒータ5の温度制御を容易にかつ正確に行うことが可能となる。
以下、図5〜9を参照して、本開示の第2実施形態に係る熱処理装置について説明する。本実施形態において、上述した第1実施形態と同様の構成及び機能を有する構成要素には上記第1実施形態と同一の符号を付し、重複した説明は省略する場合がある。
2 加熱室
2a 側壁部
2b 底部
2b1 底部枠体
2b2 底部本体
2c 蓋部
3 断熱材
3a 下部断熱材
3b 側部断熱材
3c 上部断熱材
3c1 蓋部
3c2 貫通孔
4 載置台
5 ヒータ
5a 下ヒータ
5b 上ヒータ
5c フランジ
5d 下ヒータ
5d1 下ヒータ本体
5d2 下ヒータ連結部
5d3 正端子(入側端子)
5d4 負端子(出側端子)
5e 上ヒータ
5e1 上ヒータ本体
5e2 上ヒータ連結部
5e3 正端子(入側端子)
5e4 負端子(出側端子)
6 電源ユニット
6a 下ヒータ用電源ユニット
6a1 結線入側ユニット
6a2 結線出側ユニット
6a3 電極棒
6a4 ブスバー
6a5 電極棒
6a6 ブスバー
6b 上ヒータ用電源ユニット
6b1 結線入側ユニット
6b2 結線出側ユニット
6b3 電極棒
6b4 ブスバー
6b5 電極棒
6b6 ブスバー
7 マッフル板(熱伝導隔壁)
8 ガス供給部
9 第1排気管
10 第2排気管
11 撹拌機
11a 駆動部
11b 駆動軸
11c 撹拌羽根
12 支持部
R 収容領域
W 被処理物
Claims (3)
- 被処理物の加熱処理を行う熱処理装置であって、
内部に前記被処理物を収容する加熱室と、
前記被処理物が収容される前記加熱室内の領域である収容領域の下部を加熱する電気式ヒータである複数の下ヒータと、
前記収容領域の上部を加熱する電気式ヒータである複数の上ヒータと、
前記複数の下ヒータ及び前記複数の上ヒータと前記収容領域との間に配置される熱伝導隔壁と、
全ての前記複数の上ヒータに給電する単一の上ヒータ用電源ユニットと、
全ての前記複数の下ヒータに給電する単一の下ヒータ用電源ユニットと
を備え、
前記上ヒータ用電源ユニット及び前記下ヒータ用電源ユニットの各々が、前記電気式ヒータの電力の入側端子に接続された電極棒を複数有する結線入側ユニットと、前記電気式ヒータの電力の出側端子に接続された電極棒を複数有する結線出側ユニットとを備え、
前記上ヒータ用電源ユニットの前記結線入側ユニットの同一の前記電極棒に接続された前記電気式ヒータが、前記上ヒータ用電源ユニットの前記結線出側ユニットの異なる電極棒に接続され、
前記下ヒータ用電源ユニットの前記結線入側ユニットの同一の前記電極棒に接続された前記電気式ヒータが、前記下ヒータ用電源ユニットの前記結線出側ユニットの同一の電極棒に接続されている
熱処理装置。 - 前記下ヒータは、鉛直方向に延びる一対の下ヒータ本体と、該一対の下ヒータ本体の端部を互いに連結する下ヒータ連結部とを有し、
前記上ヒータは、鉛直方向に延びる一対の上ヒータ本体と、該一対の上ヒータ本体の端部を連結する上ヒータ連結部とを有する
請求項1記載の熱処理装置。 - 前記下ヒータ連結部及び前記上ヒータ連結部は、導電性を有し、一対のヒータ本体の一方から他方に通電可能に構成され、
前記一対の下ヒータ本体の一方に電力の入側端子が設けられ、前記一対の下ヒータ本体の他方に電力の出側端子が設けられ、
前記一対の上ヒータ本体の一方に電力の入側端子が設けられ、前記一対の上ヒータ本体の他方に電力の出側端子が設けられている
請求項2に記載の熱処理装置。
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