JP6288884B2 - 熱処理装置 - Google Patents

Description

本発明は、熱処理装置に関する。
本願は、２０１４年７月７日に日本に出願された特願２０１４−１３９６３０号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。

被処理物である金属材を加熱処理する熱処理装置として、多室型熱処理装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。このような多室型熱処理装置では、被処理物が収容される加熱室（熱処理室）を備え、加熱室内部に設けられたヒータによって被処理物を加熱することで熱処理を行う。また、加熱室内には、被処理物が配置される空間を囲むように断熱材が設けられている。

また、下記特許文献２〜４にも、断熱材を備える加熱室内で被処理物を
加熱処理する熱処理装置が開示されている。

日本国特開２０１２−１３３４１号公報 日本国特開平１０−２６７５４７号公報 日本国特開平０５−０１８６７１号公報 日本国特開２００３−３３６９７２号公報

上述のような断熱材により囲われた空間内には、例えば被処理物を載置する載置台や被処理物を均一に熱処理するためのマッフル板等が設置されている。このため、断熱材に囲まれた空間に設置される部材、または断熱材の内壁面等を定期的に点検する必要がある。しかしながら、このような点検を行う場合には、加熱室を分解した後に、さらに断熱材を分解する必要があり、作業が煩雑になる場合がある。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、被処理物の収容領域を囲う断熱材を加熱室の内部に備えると共に断熱材の内部に対する点検等の作業を容易に行える熱処理装置を提供することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。

本発明の第１の態様は、内部にて被処理物に対する加熱処理を行う熱処理室と、この熱処理室の内部に配置されると共に上記被処理物の収容領域を囲う断熱材とを備える熱処理装置である。上記熱処理室が、熱処理室本体と、この熱処理室本体に対して着脱可能とされた蓋部とを備える。上記断熱材が、断熱材本体と、この断熱材本体に対して着脱可能とされた断熱材蓋部とを備える。また、断熱材蓋部は、上記蓋部に対して一体化されている。

本発明の第２の態様では、上記第１の態様に係る熱処理装置において、上記熱処理室本体の一部が、上記熱処理室の側壁部を構成している。上記蓋部は、上記側壁部の上部に着脱可能とされている。上記断熱材は、上記熱処理室の上記蓋部の内側に配置された天井部を備える。また、上記断熱材蓋部は、上記天井部の少なくとも一部を構成している。

本発明の第３の態様では、上記第１の態様に係る熱処理装置において、上記断熱材蓋部は、端縁面がテーパー面とされる板状に形成されている。また、上記断熱材本体は、上記断熱材蓋部の端縁面と面接触するテーパー面を有する枠部を備える。

本発明の第４の態様では、上記第２の態様に係る熱処理装置において、上記断熱材蓋部は、端縁面がテーパー面とされる板状に形成されている。また、上記天井部は、上記断熱材蓋部の端縁面と面接触するテーパー面を有する枠部をさらに備える。

本発明の第５の態様では、上記第３又は第４の態様に係る熱処理装置において、上記断熱材蓋部は、周面がテーパー面とされる円板状に形成されている。

本発明の第６の態様では、上記第１から第５のいずれか一つの態様に係る熱処理装置は、上記熱処理室の内部に配置されると共に上記蓋部及び上記断熱材蓋部に着脱可能とされたヒータをさらに備える。

本発明によれば、被処理物の収容領域を囲う断熱材の天井部の少なくとも一部が断熱材蓋部とされており、この断熱材蓋部が加熱室の蓋部と一体化されている。また、加熱室の蓋部は、加熱室の側壁部に対して着脱可能とされている。このため、加熱室の蓋部を側壁部から取り外す場合に、蓋部と同時に断熱材蓋部も取り外すことができる。したがって、加熱室の蓋部を取り外す作業のみで、断熱材の内側を点検等することが可能となる。よって、本発明によれば、加熱室の内部に被処理物の収容領域を囲う断熱材を備える熱処理装置において、断熱材の内部に対する点検等の作業を容易に行うことが可能となる。

本発明の一実施形態である熱処理装置の概略構成を示す縦断面図である。 本発明の一実施形態である熱処理装置が備える蓋部ユニットの概略構成を示す縦断面図である。 本発明の一実施形態である熱処理装置が備えるヒータユニットの概略構成を示す縦断面図である。 本発明の一実施形態である熱処理装置において蓋部ユニットが基部ユニットから取り外された状態を示す縦断面図である。 本発明の一実施形態である熱処理装置において蓋部ユニット及びヒータユニットが基部ユニットから取り外された状態を示す縦断面図である。

以下、図面を参照して、本発明に係る熱処理装置について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。

図１は、本発明の一実施形態である熱処理装置１の概略構成を示す縦断面図である。なお、図１〜６の紙面上側は、装置における鉛直方向上側を示す。本実施形態の熱処理装置１は、被処理物Ｗを加熱処理する装置であり、図１に示すように、加熱室２（熱処理室）と、断熱材３と、載置台４と、ヒータ５と、電源ユニット６と、マッフル板７と、ガス供給部８と、第１排気管９と、第２排気管１０と、撹拌機１１とを備えている。

加熱室２は、略円筒状に形成され、その中心軸を鉛直方向に配した縦置き型の容器である。この加熱室２には、略円筒状の側壁部２ａ（熱処理室本体）に対して底部２ｂ（熱処理室本体）および蓋部２ｃが設けられており、これによって加熱室２の内部が閉空間とされている。すなわち、加熱室２は、側壁部２ａと、底部２ｂと、蓋部２ｃとを備え、その内部にて被処理物Ｗに対する加熱処理を行うように構成されている。この閉空間、すなわち加熱室２の内部には、断熱材３、載置台４、ヒータ５及びマッフル板７等が収容されている。本実施形態では、側壁部２ａ及び底部２ｂが、熱処理室本体に相当する。言い換えれば、この熱処理室本体の一部が、加熱室２の側壁部２ａを構成している。

側壁部２ａは、上部２ａ１と下部２ａ２とによって形成されている。これらの上部２ａ１と下部２ａ２とは、図１に示すように、ボルト２０によって締結されており、着脱可能とされている。底部２ｂは、円環状の底部枠体２ｂ１と、この底部枠体２ｂ１の中央開口に着脱可能に取り付けられてこれを気密に閉塞する底部本体２ｂ２とを有している。底部本体２ｂ２は、螺子止め等によって底部枠体２ｂ１に着脱可能に取り付けられている。この底部本体２ｂ２は、底部枠体２ｂ１と当接するように形成配置されている。このような底部本体２ｂ２は、加熱室２の内部に被処理物Ｗを出し入れするための、開閉部材（開閉扉）として機能する。蓋部２ｃは、図１に示すように、ボルト３０によって側壁部２ａ（上部２ａ１）に締結されており、側壁部２ａに対して着脱可能とされている。すなわち、蓋部２ｃは、側壁部２ａの上部に着脱可能とされている。

断熱材３は、下部断熱材３ａ（断熱材本体）と、側部断熱材３ｂ（断熱材本体）と、上部断熱材３ｃ（天井部）とを有している。下部断熱材３ａは、底部枠体２ｂ１上に設けられた円環状に形成されている。側部断熱材３ｂは、加熱室２の側壁部２ａ（下部２ａ２）の内壁に貼り合されている。すなわち、側部断熱材３ｂも円筒状に形成されている。上部断熱材３ｃは、加熱室２の蓋部２ｃの内側（すなわち下側）に配置されており、上部断熱材３ｃの中央部に設けられる断熱材蓋部３ｃ１と、この断熱材蓋部３ｃ１を囲う環状の枠部３ｃ３（断熱材本体）とを有している。本実施形態では、下部断熱材３ａ、側部断熱材３ｂ及び枠部３ｃ３が、断熱材本体に相当する。言い換えれば、この断熱材本体が、枠部３ｃ３を備えている。断熱材蓋部３ｃ１は、上部断熱材３ｃの少なくとも一部を構成しており、接続部材（後述するガス供給部８及び第２排気管１０）を介して加熱室２の蓋部２ｃに一体的に接続されている。また、断熱材蓋部３ｃ１は、枠部３ｃ３に対して着脱可能に構成されている。断熱材蓋部３ｃ１は、周面（端縁面）が斜め下方を向くテーパー面とされる円板状に形成されている。すなわち、断熱材蓋部３ｃ１の周面は、下方に向かうに従い縮径するテーパー面を有している。本実施形態の断熱材蓋部３ｃ１は、鉛直方向に重ねられた２枚の板状断熱材から構成されており、上記テーパー面は下側に位置する板状断熱材の端縁面に形成されている。なお、本発明はこの構成に限定されず、断熱材蓋部３ｃ１が１枚の板状断熱材から構成されており、上記テーパー面がこの板状断熱材の端縁面の少なくとも一部に形成されていてもよい。また、枠部３ｃ３は、断熱材蓋部３ｃ１の周面と面接触する斜め上方を向いたテーパー面を有している。すなわち、枠部３ｃ３の内周面は、上方に向かうに従い拡径すると共に断熱材蓋部３ｃ１の周面（端縁面）と接触可能なテーパー面を有している。断熱材蓋部３ｃ１は、周面を枠部３ｃ３のテーパー面に面接触させた状態で枠部３ｃ３に支持されることにより、枠部３ｃ３の中央部に設けられた開口を閉じるように構成されている。また、枠部３ｃ３は、断熱材蓋部３ｃ１を囲うように配置されると共にヒータ５が挿通される複数の貫通孔３ｃ２を有している。なお、後述のように本実施形態においては、ヒータ５が１２本設けられていることから、貫通孔３ｃ２は、枠部３ｃ３において断熱材蓋部３ｃ１を囲って環状に１２個配列されている。このような断熱材３は、例えばセラミックスファイバーボード等からなる断熱材と、セラミックスボードとが積層されて形成されていてもよい。

載置台４は、底部本体２ｂ２上に配置されており、被処理物Ｗが載置される。この載置台４は、底部本体２ｂ２が底部枠体２ｂ１から取り外されたときに、底部本体２ｂ２と一緒に移動し、加熱室２の外部に取り出される。

ヒータ５は、給電されることにより発熱する電気式ヒータである。本実施形態においては、このヒータ５として、長尺の本体部を有する下ヒータ５ａと、短尺の本体部を有する上ヒータ５ｂとを有している。下ヒータ５ａは、本体部の下端部側（下端を含む部位）が発熱領域とされており、被処理物Ｗの収容領域Ｒの下部を加熱する。上ヒータ５ｂは、本体部の下端部側（下端を含む部位）が発熱領域とされており、被処理物Ｗの収容領域Ｒの上部を加熱する。

これらのヒータ５の上部には、フランジ５ｃが設けられている。側壁部２ａに対しては、枠部３ｃ３の上方に配置される環状の支持部１２が固定されており、この支持部１２にフランジ５ｃが支えられることにより、ヒータ５は吊下支持されている。これらのヒータ５は、貫通孔３ｃ２を通じて、断熱材３の上方から断熱材３で囲われた空間内に挿入されている。すなわち、ヒータ５は、加熱室２の内部に配置されている。

電源ユニット６は、ヒータ５に対して、給電を行う装置であり、耐熱電線を介して各ヒータ５と接続されている。本実施形態においては、電源ユニット６は、下ヒータ用電源ユニット６ａと、上ヒータ用電源ユニット６ｂとから構成されている。下ヒータ用電源ユニット６ａは、全ての下ヒータ５ａに給電し、上ヒータ用電源ユニット６ｂは、全ての上ヒータ５ｂに給電する。

マッフル板７は、その中心軸が側壁部２ａの中心軸にほぼ一致するようにして側壁部２ａに対して一定の間隔を空けて沿う円筒状部材であり、熱伝導性のよい耐火物によって形成されている。このマッフル板７は、ヒータ５よりも加熱室２の中心寄りに設けられており、側壁部２ａとの間にヒータ５の収容空間を形成している。また、このマッフル板７の上端には、上部断熱材３ｃ（枠部３ｃ３）が配置されている。なお、このマッフル板７によって囲われた空間が、被処理物Ｗが加熱処理のときに収容される空間である。以下のこの空間を収容領域Ｒと称する。本実施形態の断熱材３は、加熱室２の内部でこの収容領域Ｒを囲うように配置されている。

ガス供給部８は、蓋部２ｃを貫通して設けられており、蓋部２ｃの外方において配管（図示せず）を介して雰囲気形成ガス（例えば炭化水素系ガス）の供給源（図示せず）に接続された装置である。ガス供給部８の先端側（下端側）が上部断熱材３ｃの断熱材蓋部３ｃ１を貫通し、この先端部が収容領域Ｒに配置されている。

第１排気管９は、蓋部２ｃに対し斜め上方に向けて配設され、蓋部２ｃと上部断熱材３ｃとの間の空間に連通して配置され、先端側（蓋部２ｃの逆側）が図示しない真空ポンプに接続されている。また、この第１排気管９には、第２排気管１０の先端側（上部断熱材３ｃの逆側）が途中まで内挿されている。第２排気管１０は、収容領域Ｒに連通するように蓋部２ｃ及び上部断熱材３ｃの断熱材蓋部３ｃ１を貫通して設けられている。第２排気管１０は、第１排気管９側の外径が第１排気管９の内径に対して充分に小さく形成されており、これによって第１排気管９が塞がれないように構成されている。これらの第１排気管９及び第２排気管１０は、真空ポンプに接続され、加熱室２の内部が真空ポンプによって強制排気されるように構成されている。

撹拌機１１は、蓋部２ｃに対して固定されており、モータ等からなる駆動部１１ａと、この駆動部１１ａの下方に駆動軸１１ｂを介して取り付けられた撹拌羽根１１ｃと、を有して構成されている。駆動軸１１ｂは、上記上部断熱材３ｃの断熱材蓋部３ｃ１を貫通して配置され、撹拌羽根１１ｃは、駆動軸１１ｂの下端部に取り付けられたことで収容領域Ｒ内の上部に配置されている。このような撹拌機１１は、撹拌羽根１１ｃの回転駆動によって収容領域Ｒ内の気体を撹拌し、収容領域Ｒ内の温度やガス濃度を均一にする。

このような熱処理装置１によって被処理物Ｗの熱処理を行うには、まず、載置台４上に被処理物Ｗをセットしてこれを加熱室２内に配置する。次に、電源ユニット６からヒータ５に通電して収容領域Ｒ内を所望の温度に加熱する。また、不図示の真空ポンプを作動させることにより、第１排気管９及び第２排気管１０を介して、加熱室２を減圧する。加熱室２の減圧は、ヒータ５の通電よりも先に行ってもよい。

そして、加熱室２が所望の温度の減圧雰囲気となったら、撹拌機１１を駆動させて撹拌羽根１１ｃを回転させ、必要に応じてガス供給部８から雰囲気形成ガスを供給する。これにより、被処理物Ｗに対して加熱処理を行う。このとき、例えば、収容領域Ｒの下部の温度が上部と比較して低い場合には、下ヒータ用電源ユニット６ａから供給する電力を増大させ、これによって下ヒータ５ａの発熱量を高める。これによって、収容領域Ｒの下部により多くの熱量が投入されることになり、収容領域Ｒの温度を均一にすることができる。

このようにして熱処理を予め設定した時間行ったら、ヒータ５による加熱を停止する。そして、真空ポンプによる減圧も停止し、加熱室２内から被処理物Ｗを取り出す。その後、新たな被処理物Ｗを加熱室２内にセットし、上述の操作を繰り返すことにより、新たな被処理物Ｗに対しても熱処理を行うことができる。

本実施形態の熱処理装置１においては、図２に示すように、加熱室２の蓋部２ｃに対して、断熱材３の上部断熱材３ｃの一部である断熱材蓋部３ｃ１が一体化（一体的に接続）されている。また、蓋部２ｃに対しては、他に、ガス供給部８、第１排気管９、第２排気管１０及び撹拌機１１が一体化（一体的に接続）されている。これらの部材が一体化されてなるユニットを、以下、蓋部ユニット１００と称する。この蓋部ユニット１００では、図２に示すように、ガス供給部８及び第２排気管１０を介して、断熱材蓋部３ｃ１が加熱室２の蓋部２ｃに対して一体的に接続されている。なお、断熱材蓋部３ｃ１と蓋部２ｃとの接続のために、ガス供給部８及び第２排気管１０と共に、又はガス供給部８及び第２排気管１０に代えて、他の接続部材が用いられてもよい。

また、本実施形態の熱処理装置１においては、図３に示すように、ヒータ５と、側壁部２ａの上部２ａ１と、支持部１２と、電源ユニット６とが一体化され、それによりヒータユニット２００が構成されている。また、蓋部ユニット１００の構成部材及びヒータユニット２００の構成部材を除く、他の構成部材（側壁部２ａの下部２ａ２、加熱室２の底部２ｂ、断熱材３の下部断熱材３ａ及び側部断熱材３ｂ、上部断熱材３ｃの枠部３ｃ３、載置台４並びにマッフル板７）が、基部ユニット３００（図１、図４及び図５参照）を構成している。

蓋部ユニット１００は、図１に示すボルト３０によって蓋部２ｃと側壁部２ａ（上部２ａ１）とが締結されることにより、ヒータユニット２００を介して、基部ユニット３００に対して固定されている。一方で、蓋部ユニット１００は、ボルト３０を取り外すことによって、ヒータユニット２００から離脱させ、さらには基部ユニット３００から取り外すことができる。すなわち、本実施形態の熱処理装置１では、加熱室２の蓋部２ｃと、断熱材３の上部断熱材３ｃの一部である断熱材蓋部３ｃ１とが、一体的に基部ユニット３００に対して着脱可能とされている。

ヒータユニット２００は、図１に示すボルト２０によって側壁部２ａの上部２ａ１と下部２ａ２とが締結されることにより、基部ユニット３００に固定されている。また、ヒータユニット２００は、ボルト３０で締結されることによって、蓋部ユニット１００と一体化されている。このようなヒータユニット２００は、ボルト２０を外すことによって基部ユニット３００から取り外せ、ボルト３０を外すことによって蓋部ユニット１００から取り外せる。すなわち、本実施形態の熱処理装置１では、ヒータ５が、蓋部ユニット１００（つまり蓋部２ｃ及び断熱材蓋部３ｃ１）に対して着脱可能とされている。

図４は、基部ユニット３００に対して、ヒータユニット２００を固定させた状態で、蓋部ユニット１００のみを基部ユニット３００及びヒータユニット２００から取り外した状態を示す分解断面図である。また、図５は、ヒータユニット２００と蓋部ユニット１００とを一体化させた状態で基部ユニット３００から取り外した状態を示す分解断面図である。

図４及び図５に示すように、本実施形態の熱処理装置１では、基部ユニット３００（及びヒータユニット２００）から蓋部ユニット１００のみを取り外した場合、並びに蓋部ユニット１００及びヒータユニット２００を一体的に基部ユニット３００から取り外した場合のいずれの場合であっても、蓋部２ｃと断熱材蓋部３ｃ１とが一体的に基部ユニット３００から取り外されて、断熱材３の内部が上方に向けて露出される。すなわち、本実施形態の断熱材蓋部３ｃ１は、蓋部２ｃを加熱室２の側壁部２ａから取り外すと同時に、上部断熱材３ｃの枠部３ｃ３から取り外されるように構成されている。このため、断熱材蓋部３ｃ１の取り外し作業を個別に行う必要がなく、断熱材３の内壁、載置台４及びマッフル板７を上方から容易に点検等することができる。
また、図５に示すように、ヒータ５を蓋部２ｃに対して一体化された状態で、蓋部ユニット１００及びヒータユニット２００を基部ユニット３００から取り外すことにより、ヒータ５を容易に加熱室２内から取り出すことができる。
また、断熱材蓋部３ｃ１の周面にはテーパー面が形成され、枠部３ｃ３にも上記周面に対応するテーパー面が形成されているため、断熱材蓋部３ｃ１を枠部３ｃ３に装着するときに、枠部３ｃ３の内側に蓋部３ｃ１を挿入しやすくなっており、蓋部３ｃ１を枠部３ｃ３に容易に嵌合できる。このため、加熱室２の蓋部２ｃを側壁部２ａに装着するときに、断熱材蓋部３ｃ１と枠部３ｃ３との水平方向での正確な位置決めが難しい場合であっても、両者に上記テーパ面が形成されているため、単に蓋部２ｃを鉛直方向下方（直線方向、側壁部の中心軸方向）へ移動させて側壁部２ａに当接させるのみで、断熱材蓋部３ｃ１の枠部３ｃ３への嵌合を完了することができる。よって、蓋部２ｃ及び蓋部３ｃ１の取付作業を簡略化できる。

以上のような本実施形態の熱処理装置１によれば、被処理物Ｗの収容領域Ｒを囲う断熱材３の天井部である上部断熱材３ｃの一部が断熱材蓋部３ｃ１とされており、この断熱材蓋部３ｃ１が加熱室２の蓋部２ｃと一体化されている。また、加熱室２の蓋部２ｃは、加熱室２の側壁部２ａに対して着脱可能とされている。このため、加熱室２の蓋部２ｃを側壁部２ａから取り外した場合には、蓋部２ｃと同時に断熱材蓋部３ｃ１も枠部３ｃ３から取り外すことができる。したがって、加熱室２の蓋部２ｃを取り外す作業のみで、断熱材３の内側を点検等することが可能となる。よって、本実施形態の熱処理装置１によれば、断熱材３の内部に対する点検等の作業を容易に行うことが可能となる。

また、本実施形態の熱処理装置１においては、断熱材３の天井部である上部断熱材３ｃが、周面がテーパー面とされる円板状の断熱材蓋部３ｃ１と、断熱材蓋部３ｃ１の周面と面接触するテーパー面を有する枠部３ｃ３とを備えている。このため、断熱材蓋部３ｃ１を枠部３ｃ３に当接させた場合（すなわち蓋部ユニット１００を基部ユニット３００に対して装着している場合）には、断熱材蓋部３ｃ１と枠部３ｃ３とが広い領域で面接触されるため、収容領域Ｒの外部に雰囲気形成ガス（例えば炭化水素系ガス）が漏出することを抑制することができる。したがって、収容領域Ｒの外部の部材に対して煤等が付着することを抑制することができる。

また、本実施形態の熱処理装置１においては、加熱室２の内部に配置されると共に蓋部２ｃ及び断熱材蓋部３ｃ１に着脱可能とされたヒータ５を備える。このため、蓋部ユニット１００と同時にヒータ５を基部ユニット３００から取り外すことができる。したがって、ヒータ５の点検や交換を容易に行うことができる。

以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき、構成の負荷、省略、置換、及びその他の変更が可能である。

例えば、上記実施形態においては、断熱材３の上部断熱材３ｃの一部のみが断熱材蓋部３ｃ１とされた構成について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、断熱材３の上部断熱材３ｃの全体を断熱材蓋部とする構成を採用することもできる。このような場合は、断熱材蓋部（上部断熱材）が、側部断熱材３ｂに支持されると共に着脱可能に構成され、この上部断熱材の全体が加熱室２の蓋部２ｃに一体的に接続されていてもよい。すなわち、蓋部２ｃが側壁部２ａから取り外されると同時に、上部断熱材が側部断熱材から取り外されてもよい。

また、上記実施形態においては、断熱材蓋部３ｃ１と枠部３ｃ３とがテーパー面により面接触されている構成を採用している。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、断熱材蓋部３ｃ１と枠部３ｃ３とに対して、嵌合可能な階段状の段差部を設け、これらの段差部を嵌合させるように断熱材蓋部３ｃ１と枠部３ｃ３とを面接触させるようにしても良い。このような場合にも、収容領域Ｒの外部に雰囲気形成ガス（例えば炭化水素系ガス）が漏出することを抑制することができる。

また、上記実施形態においては、断熱材蓋部３ｃ１は円板状に形成され、その周面がテーパー面とされているが、本発明はこの構成に限定されず、断熱材蓋部３ｃ１が円板状以外の板状部材（例えば、平面視で多角形状となる板状部材）であってもよい。この場合、上記板状部材の端縁面に、下方に向かうに従い縮径するテーパー面等が形成されていてもよい。

また、上記実施形態においては、加熱室２や断熱材３が円筒状に形成されているが、本発明はこの構成に限定されず、円筒状以外の形状、例えば角筒状に形成されていてもよい。

また、上記実施形態においては、蓋部２ｃが加熱室２（熱処理室）の上部に設けられ、断熱材蓋部３ｃ１が断熱材３の上部に設けられているが、本発明はこの構成に限定されず、被処理物の搬送方向に応じて蓋部及び断熱材蓋部の設置位置が変更されてもよい。例えば、被処理物が左右方向で加熱室内に搬送される場合は、蓋部が加熱室の側部に着脱可能に設けられ、断熱材蓋部が断熱材の側部に着脱可能に設けられると共に上記蓋部に一体化されていてもよい。被処理物が加熱室の下方からその内部に搬送される場合は、蓋部が加熱室の底部に着脱可能に設けられ、断熱材蓋部が断熱材の底部に着脱可能に設けられると共に上記蓋部に一体化されていてもよい。なお、このような場合、加熱室（熱処理室）における蓋部以外の部位が熱処理室本体に相当し、断熱材における断熱材蓋部以外の部位が断熱材本体に相当する。また、上記蓋部が加熱室の複数の面（例えば、上面及び側面）に亘って設けられ、上記断熱材蓋部が断熱材の複数の面（例えば、上面及び側面）に亘って設けられていてもよい。

また、上記実施形態においては、本発明を熱処理装置１に適用した例について説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、真空浸炭炉等に適用することも可能である。

本発明は、断熱材を備える加熱室（熱処理室）内で被処理物を加熱処理する熱処理装置に適用できる。

１ 熱処理装置
２ 加熱室（熱処理室）
２ａ 側壁部（熱処理室本体）
２ａ１ 上部
２ａ２ 下部
２ｂ 底部（熱処理室本体）
２ｂ１ 底部枠体
２ｂ２ 底部本体
２ｃ 蓋部
３ 断熱材
３ａ 下部断熱材（断熱材本体）
３ｂ 側部断熱材（断熱材本体）
３ｃ 上部断熱材（天井部）
３ｃ１ 断熱材蓋部
３ｃ２ 貫通孔
３ｃ３ 枠部（断熱材本体）
４ 載置台
５ ヒータ
５ａ 下ヒータ
５ｂ 上ヒータ
５ｃ フランジ
６ 電源ユニット
６ａ 下ヒータ用電源ユニット
６ｂ 上ヒータ用電源ユニット
７ マッフル板
８ ガス供給部
９ 第１排気管
１０ 第２排気管
１１ 撹拌機
１１ａ 駆動部
１１ｂ 駆動軸
１１ｃ 撹拌羽根
１２ 支持部
２０ ボルト
３０ ボルト
１００ 蓋部ユニット
２００ ヒータユニット
３００ 基部ユニット
Ｒ 収容領域
Ｗ 被処理物

Claims (6)

1. 内部にて被処理物に対する加熱処理を行う熱処理室と、当該熱処理室の内部に配置されると共に前記被処理物の収容領域を囲う断熱材とを備える熱処理装置であって、
   前記熱処理室が、熱処理室本体と、当該熱処理室本体に対して着脱可能とされた蓋部とを備え、
   前記断熱材が、断熱材本体と、当該断熱材本体に対して着脱可能とされた断熱材蓋部とを備え、
   前記断熱材蓋部は、前記蓋部に対して一体化され、
   前記熱処理室本体の一部が、前記熱処理室の側壁部を構成し、
   前記側壁部の上部と、前記側壁部の上部に支持部を介して支持されて前記熱処理室の内部に配置されるヒータとを含むヒータユニットを備え、
   前記ヒータユニットが、前記蓋部及び前記断熱材蓋部を有する蓋部ユニットと、前記側壁部の下部及び前記断熱材本体を有する基部ユニットとに対して着脱可能とされている熱処理装置。
2. 前記蓋部は、前記側壁部の上部に着脱可能とされ、
   前記断熱材は、前記熱処理室の前記蓋部の内側に配置された天井部を備え、
   前記断熱材蓋部は、前記天井部の少なくとも一部を構成している請求項１に記載の熱処理装置。
3. 前記断熱材蓋部は、端縁面がテーパー面とされる板状に形成され、
   前記断熱材本体は、前記断熱材蓋部の端縁面と面接触するテーパー面を有する枠部を備える請求項１に記載の熱処理装置。
4. 前記断熱材蓋部は、端縁面がテーパー面とされる板状に形成され、
   前記天井部は、前記断熱材蓋部の端縁面と面接触するテーパー面を有する枠部を備える請求項２に記載の熱処理装置。
5. 前記断熱材蓋部は、周面がテーパー面とされる円板状に形成されている請求項３に記載の熱処理装置。
6. 前記断熱材蓋部は、周面がテーパー面とされる円板状に形成されている請求項４に記載の熱処理装置。

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