JP2014109543A

JP2014109543A - 恒温装置

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Publication number: JP2014109543A
Application number: JP2012265397A
Authority: JP
Inventors: Tsutomu Ihara; 努井原; Irin Ri; 乙松李
Original assignee: Kyushu Nissho KK
Current assignee: Kyushu Nissho KK
Priority date: 2012-12-04
Filing date: 2012-12-04
Publication date: 2014-06-12
Anticipated expiration: 2032-12-04
Also published as: CN103852704A; TW201433807A; JP5749240B2; CN103852704B; TWI603105B

Abstract

【課題】ＬＥＤの温度加速寿命試験において、複数のＬＥＤを均一な温度で安定した雰囲気に保持することができる恒温装置を提供する。
【解決手段】恒温装置１００は、加熱手段である電気ヒータ１１及び冷却手段である通液経路を有する恒温プレート１０と、恒温プレート１０上に積層された均熱プレート２０上に配列された複数の供試体搭載ステージ３０と、複数の供試体搭載ステージ３０を開閉可能に覆う蓋部材５０とを備えている。蓋部材５０は、複数の供試体搭載ステージ３０の周囲を包囲する開口部５１ａを有する隔壁部材５１と、隔壁部材５１の上方を閉塞する透光性の天井部材５２とを有する。恒温プレート１０、供試体搭載ステージ３０及び蓋部材５０などの供試体加熱部７０を覆うカバー９０が、ケーシング８０に蝶番９１を介して取り付けられ、カバー９０の天井部９０ａの下面に給気ファン９２が取り付けられている。
【選択図】図１

Description

本発明は、ＬＥＤ（ＬｉｇｈｔＥｍｉｔｔｉｇＤｉｏｄｅ）の温度加速寿命試験に使用される恒温装置に関する。

ＬＥＤは長寿命を特長とする光源であるが、その明るさは点灯時間の増大に伴って徐々に減衰していくのが実状である。そこで、ＬＥＤ寿命の評価方法の一つとして「北米照明エンジニアリング協会」が策定した「ＩＥＳＬＭ−８０」という規格が知られている。この規格はＬＥＤの点灯時間に対する明るさの維持率（光束維持率）を試験して、その試験結果が一定値以上であるか否かによってＬＥＤ寿命を評価するものである。

具体的には、同一の電流値で駆動する供試体ＬＥＤについて、５５℃，８５℃及びメーカーが決めた任意の温度（最高１２５℃）の３種類の温度条件下で６０００時間（２５０日間）連続的に点灯して、１０００時間ごとにＬＥＤの明るさを測定するという試験方法である。このような試験を行う場合、供試体であるＬＥＤを長期間に亘って一定温度に保持する必要があるが、従来、温風循環式の恒温槽が多用されている。

しかしながら、温風循環式の恒温槽内に供試体であるＬＥＤをセットした場合、温度維持のために恒温槽内を循環する温風が直接ＬＥＤに当たることがあるので、試験結果に悪影響を及ぼす可能性がある。また、従来の温風循環式の恒温槽は、槽内の温度分布の均一性に劣る面があるので、複数のＬＥＤを収容した場合、試験精度が低下することがある。

一方、ＬＥＤの温度加速寿命試験を行う装置として、従来、様々な種類の試験装置が提案されているが、本発明に関連するものとして、例えば、特許文献１，２記載の試験装置がある。

特開２０１１−１７９９３７号公報特開２０１０−２４５３４８号公報

特許文献１記載のＬＥＤ寿命試験装置は、一つの被試験ＬＥＤをＨＡＳＴ装置内に配置して試験を行うので、温度分布の均一性は優れているが、複数のＬＥＤについて寿命試験を行う場合、効率が悪い。

特許文献２記載の試験装置は、恒温恒湿槽内に複数の発光装置を配置することができるので、複数のＬＥＤの寿命試験を行う場合の効率は良好であるが、現実には複数のＬＥＤの温度を均一に保つことが困難である。また、連続して発光する複数のＬＥＤの光線に含まれる熱線成分によって恒温恒湿槽内の温度が上昇して設定温度を超えてしまい、試験結果に悪影響を及ぼすことがある。このような状況は、試験対象であるＬＥＤが高出力（高輝度）であるほど顕著であるため、近年、高輝度化する傾向にあるＬＥＤに対し、正確な寿命試験を行うことが困難となっている。

本発明が解決しようとする課題は、ＬＥＤの温度加速寿命試験において、複数のＬＥＤを均一な温度で安定した雰囲気に保持することができる恒温装置を提供することにある。

本発明に係る第一の恒温装置は、加熱手段及び冷却手段を有する恒温プレートと、前記恒温プレート上に配列された複数の供試体搭載ステージと、前記供試体搭載ステージを覆うように配置され前記供試体搭載ステージの周囲を包囲する隔壁部材及び前記隔壁部材で包囲された前記供試体搭載ステージの上方を閉塞する透光性の天井部材を有する蓋部材と、前記恒温プレート、前記供試体搭載ステージ及び前記蓋部材を覆うカバーと、前記カバー内に気体を導入する給気ファン若しくは前記カバー内の気体を排出する排気ファンの少なくとも一方を備えたことを特徴とする。

また、本発明に係る第二の恒温装置は、加熱手段及び冷却手段を有する恒温プレートと、前記恒温プレート上に配列された複数の供試体搭載ステージと、前記供試体搭載ステージを覆うように配置され前記供試体搭載ステージの周囲を包囲する隔壁部材及び前記隔壁部材で包囲された前記供試体搭載ステージの上方を閉塞する透光性の天井部材を有する蓋部材と、前記恒温プレート、前記供試体搭載ステージ及び前記蓋部材を覆うカバーと、前記カバー内の温度を調整する調温手段とを備えたことを特徴とする。

また、前記恒温装置において、前記天井部材に通気孔を設けることが望ましい。

さらに、前記恒温装置において、前記恒温プレートの冷却手段として、冷却液が流動可能な通液経路を前記恒温プレートに設けることができる。

この場合、前記冷却液を、前記恒温プレートの中央部に位置する前記通液経路に導入し、前記恒温プレートの周辺部に位置する前記通液経路から排出することが望ましい。

また、前記通液経路に供給する冷却液を昇温若しくは降温させる液温調整手段を設けることが望ましい。

一方、前記恒温プレートの冷却手段として、ヒートシンク若しくはヒートパイプの少なくとも一方を前記恒温プレートに付設し、前記ヒートシンク若しくは前記ヒートパイプを冷却する送風ファンを設けることもできる。

また、前記恒温プレートの冷却手段として、ペルティエ素子を有する冷却部材を前記恒温プレートに付設することもできる。

なお、前記供試体搭載ステージと前記天井部材との隙間は３ｍｍ〜１５ｍｍ（望ましくは８ｍｍ〜１０ｍｍ）が好適である。

本発明により、ＬＥＤの温度加速寿命試験において、複数のＬＥＤを均一な温度で安定した雰囲気に保持することができる恒温装置を提供することができる。

本発明の実施形態である恒温装置を示す一部省略斜視図である。図１に示す恒温装置の一部省略正面図である。図１に示す恒温装置を構成する供試体加熱部を示す平面図である。図３に示す供試体加熱部の正面図である。図３に示す供試体加熱部の斜視図である。図１に示す恒温装置を構成する供試体加熱部及び予熱プレートを示す正面図である。図６中に示す供試体加熱部を斜め下方から見た斜視図である。図６中のＢ−Ｂ線における予熱プレートの平面図である。図３中のＡ−Ａ線における断面図である。その他の実施形態である恒温装置の概要を示す一部省略正面図である。

以下、図面に基づいて本発明の実施形態について説明する。図１〜図５に示すように、本実施形態の恒温装置１００は、加熱手段である電気ヒータ１１及び冷却手段である通液経路１２（図７参照）を有する恒温プレート１０と、恒温プレート１０上に積層された均熱プレート２０上に配列された複数の供試体搭載ステージ３０と、複数の供試体搭載ステージ３０を開閉可能に覆う蓋部材５０とを備えている。蓋部材５０は、複数の供試体搭載ステージ３０の周囲を包囲する開口部５１ａを有する隔壁部材５１と、隔壁部材５１で包囲された供試体搭載ステージ３０の上方を閉塞する透光性の天井部材５２とを有する。

蓋部材５０は、恒温プレート１０及び均熱プレート２０の背面に配置された複数の蝶番５３を介して起伏可能に係止され、蓋部材５０の正面には、蓋部材５０の開閉操作時に使用される握持具５４と、均熱プレート２０の上面を蓋部材５０で覆ったときにその状態を維持するためのロック部材５５と、が設けられている。天井部材５２には、複数の供試体搭載ステージ３０の配列間隔と同位相をなす複数の通気孔５２ａが開設されている。

また、恒温プレート１０、供試体搭載ステージ３０及び蓋部材５０などで構成される供試体加熱部７０は直方体形状のケーシング８０の上面に配置され、供試体加熱部７０を覆う開閉式のカバー９０が、ケーシング８０上面の背面側に複数の蝶番９１を介して起伏可能に取り付けられている。カバー９０は下面が開口した直方体箱状の部材であり、カバー９０内に気体を導入するための給気ファン９２がカバー９０の天井部９０ａの下面に取り付けられている。給気ファン９２の下方には、天井部９０ａと平行をなす平板状の隔壁９３が配置され、隔壁９３には複数の通気孔９３ａが開設されている。また、天井部９０ａの給気ファン９２直上部分にも複数の通気孔（図示せず）が開設されている。隔壁９３に開設された複数の通気孔９３ａは、複数の供試体搭載ステージ３０の配列間隔と同位相をなしている。

図５，図６に示すように、恒温プレート１０、均熱プレート２０、供試体搭載ステージ３０及び蓋部材５０などで構成される供試体加熱部７０の直下のケーシング８０内には、液温調整手段である予熱プレート４０が配置されている。図１，図２に示すように、ケーシング８０の正面には、恒温プレート１０の通液孔１２（図７参照）に供給される冷却液の流量を表示する流量計８１及び前記流量を増減する流量調節ダイアル８２が配置されている。ケーシング８０の左側面の背面寄りの位置には、複数の発光部８３ａ，８３ｂ，８３ｃを有するシグナルタワー８３が立設されている。複数の発光部８３ａ，８３ｂ，８３ｃは恒温装置１００の稼働状況に応じてそれぞれ異なる色光で発光するように設定されている。

次に、図３〜図５を参照し、供試体加熱部７０について説明する。図３〜図５に示すように、供試体加熱部７０において、平面視形状が略正方形状の恒温プレート１０に積層された均熱プレート２０上面には、複数の供試体搭載ステージ３０が、左右方向Ｗ及び前後方向Ｖに沿ってそれぞれ５個ずつ均等間隔で合計２５個、着脱可能に配置されている。均熱プレート２０上面において、前後方向Ｖに隣り合う供試体搭載ステージ３０の間には、それぞれ左右方向Ｗに貫通する溝２１が開設されている。これらの溝２１は、供試体搭載ステージ３０上にセットされたＬＥＤへの給電線（図示せず）やＬＥＤ近傍の温度を測定する温度センサの信号線（図示せず）などの配線スペースとして利用することができる。

蓋部材５０を構成する隔壁部材５１は、均熱プレート２０上に配置された複数の供試体搭載ステージ３０と同じ位相で開設された略円形の開口部５１ａを有する平板状の部材である。隔壁部材５１において左右方向Ｗに隣り合う開口部５１ａを区画する複数の隔壁５１ｂは前後方向Ｖに連続しており、それぞれの隔壁５１ｂ内に収容された状態で電気ヒータ５６が配置されている。

蓋部材５０を水平に倒伏させ、均熱プレート２０上面を覆うと、複数の供試体搭載ステージ３０がそれぞれ隔壁部材５１の開口部５１ａ内に嵌まり込み、均熱プレート２０上面と隔壁部材５１下面とが密着した状態となる。なお、恒温装置１００においては、供試体搭載ステージ３０及び開口部５１ａの平面視形状はいずれも略円形状としているが、これらに限定するものではないので、互いに嵌合する形状であれば他の形状（例えば、平面視形状が正方形状、楕円形状あるいは多角形状など）とすることもできる。

また、前後方向Ｖに隣り合う供試体搭載ステージ３０の間に位置する隔壁部材５１には切欠き部５１ｃが設けられている。切欠き部５１ｃは、均熱プレート２０上面の溝２１と同様、供試体搭載ステージ３０上にセットされたＬＥＤへの給電線（図示せず）やＬＥＤ近傍の温度を測定する温度センサの信号線（図示せず）などの配線スペースとして利用することができる。均熱プレート２０上面と隔壁部材５１の下面とが密着したとき、切欠き部５１ｃは均熱プレート２０の溝２１と連通した状態となる。

次に、図６〜図８を参照して、恒温プレート１０及び予熱プレート４０について説明する。図６〜図８に示すように、恒温プレート１０は略正方形状の金属板で形成された部材であり、その正面と背面との間であって上面寄りの領域に板面方向及び前後方向Ｖと平行をなすように複数のヒータ収容孔１３が等間隔に開設され、これらのヒータ収容孔１３内にそれぞれ電気ヒータ１１が収容されている。また、恒温プレート１０の右側面と左側面との間であって下面寄りの領域に板面方向及び左右方向Ｗと平行をなすように複数の通液経路１２が等間隔に形成されている。

複数のヒータ収容孔１３と複数の通液経路１２とは恒温プレート１０内において互いに立体交差した状態となっている。また、通液経路１２の両端部分はそれぞれ恒温プレート１０の右側面及び左側面に開口し、それぞれの開口部１２ａにコネクタ１４が取り付けられている。複数の通液経路１２の中央部分はそれぞれ恒温プレート１０の下面に開設された開口部１２ｂに連通し、それぞれの開口部１２ｂにコネクタ１８が接続されている。

図６，図８に示すように、予熱プレート４０は、略正方形状の金属板で形成されたプレート本体４３の上下両面にそれぞれ平面状の電気ヒータ４４を貼着して形成されている。プレート本体４３背面の左右２箇所の開口部４１には、冷却液を予熱プレート４０内へ導入する給液管８５が接続され、予熱プレート４０の上面には、予熱プレート４０内で温度調整された冷却液を恒温プレート１０に向かって流出させるための複数の開口部４２ｄが設けられ、各開口部４２ｄに取り付けられたコネクタ４２ｅを介して冷却液パイプ４５が接続されている。

図８に示すように、予熱プレート４０を構成するプレート本体４３の内部には、プレート本体４３背面の左右の開口部４１から、プレート本体４３の左右方向Ｗの中央部分に位置する複数の開口部４２ｄに至る通液経路４２が形成されている。通液経路４２は、プレート本体４３内において前後方向Ｖと平行に並列状に配置された直管部４２ａと、プレート本体４３内の正面側及び背面側において、隣り合う直管部４２ａ同士を連通する折り返し部４２ｂと、左右方向Ｗの中央寄りに位置する二本の直管部４２ａを一本化する合流管部４２ｃとを有し、合流管部４３ｃの長手方向に沿って所定距離を隔てて複数の開口部４２ｄが開設されている。

複数の給液管８５を経由して、電気ヒータ４４で所定温度に加熱された状態にある予熱プレート４０の通液経路４２内へ送り込まれた冷却液は、直管部４２ａ及び折り返し部４２ｂなどを通過する間に所定温度まで加熱されて合流管部４２ｃへ流れ込み、複数の開口部４２ｄからそれぞれコネクタ４２ｅを経て冷却液パイプ４５内へ流出する。

冷却パイプ４５内へ流出した冷却液はそれぞれの冷却パイプ４５内を上昇し、冷却パイプ４５の上端と接続された、恒温プレート１０下面のコネクタ１８及び開口部１２ｂを経由して恒温プレート１０内の通液経路１２の中央部分へ流入する。通液経路１２に流入した冷却液は、その内部で左右に分流し、恒温プレート１０の左右側面の開口部１２ａから排出され、開口部１２ａにコネクタ１４を介して接続された排液管８６を経由して所定の排液経路に廃棄されるか、所定の処理工程を経て再利用される。

恒温装置１００を使用する場合、図１，図５に示すように、カバー９０及び蓋部材５０を開いて複数の供試体搭載ステージ３０上に供試体であるＬＥＤをそれぞれ載置し、給電線及び温度センサの信号線の配線を行った後、蓋部材５０を閉止し、ロック部材５５で蓋部材５０をロックし、供試体加熱部７０をカバー９０で覆う。この後、恒温プレート１０の電気ヒータ１１、蓋部材５０の電気ヒータ５６及び予熱プレート４０の電気ヒータ４４への給電を開始するとともに、給液管８５への冷却液（例えば、水）の供給を開始し、冷却ファン９２を稼働させる。これにより、供試体搭載ステージ３０上のＬＥＤは、予め設定された温度（例えば、５５℃，８５℃あるいは１２５℃）まで上昇し、その温度に保持される。

恒温装置１００においては、複数の供試体搭載ステージ３０はそれぞれ隔壁５１ｂ及び天井部材５２によって大気から区画され、且つ、加熱機能を有する恒温プレート１０及び蓋部材５０によって所定温度に連続的に加熱されるので、各供試体搭載ステージ３０にセットされた複数のＬＥＤを均一な温度で安定した雰囲気に保持することができる。また、供試体搭載ステージ３０付近は天井部材５２の通気孔５２ａを介して通気が確保されているため、ＬＥＤの過熱を防止することができる。従って、複数のＬＥＤの温度加速寿命試験を高精度で効率良く行うことができる。

また、カバー９０の天井部９０ａに設けられた給気ファン９２から隔壁９３の通気孔９３ａを経由してカバー９０内へ外気が送り込むことにより、カバー９０内の温度上昇を抑制することができるため、ＬＥＤの過熱防止に有効である。なお、給気ファン９２によってカバー９０内へ送り込まれた外気は、カバー９０下面の周縁部９０ｂとケーシング８０の上面に設けられた隙間を通過して排出されるので、カバー９０内の気圧が異常上昇することはない。

さらに、図９に示すように、供試体搭載ステージ３０と天井部材５２との隙間Ｘを３ｍｍ〜１５ｍｍ（望ましくは８ｍｍ〜１０ｍｍ）とし、ＬＥＤを天井部材５２に最接近配置すれば、ＬＥＤから発生した光の大部分が天井部材５２を透過して発散するようになるため、隔壁部材５１などに照射されるＬＥＤの光を大幅に減少させることができる。従って、ＬＥＤの光に含まれる熱線の照射に起因する隔壁部材５１などの温度上昇を防止することができる。

また、恒温プレート１０の冷却手段として、冷却液が流動可能な複数の通液孔１２が恒温プレート１０に設けられていることにより、電気ヒータ１２によって連続的に加熱されている恒温プレート１０を確実かつ均等に冷却することができるため、過熱を防止することができ、温度精度の向上に有効である。

この場合、通液経路１２に供給する冷却液を昇温させる液温調整手段として、予熱プレート４０を設けたことにより、恒温プレート１０の通液経路１２に供給される冷却液の温度を、恒温プレート１０自体の設定温度に近づけて供給することができるので、恒温プレート１０の温度変動を抑制することができ、加熱温度の安定化に有効である。

さらに、冷却液は、恒温プレート１０の左右方向Ｗの中央部に位置する開口部１２ｂから通液経路１２内へ導入し、恒温プレート１０の周縁部である左右側面に位置する通液経路１２開口部１２ａから排出するので、冷却水の流入による恒温プレート１０の温度変動を抑制する上で有効である。

また、蓋部材５０を構成する隔壁部材５１に副加熱手段である電気ヒータ５６を設けたことにより、隔壁部材５１自体も加熱機能を有することとなるので、均熱性の向上を図ることができる。

前述したように、恒温装置１００は、供試体加熱部７０（恒温プレート１０、供試体搭載ステージ３０及び蓋部材５１など）を覆う開閉式のカバー９０を備えているため、供試体加熱部７０全体をカバーで覆うことにより、熱の散逸や外気による熱影響を防止することができる。

次に、図１０に基づいて、本発明のその他の実施形態である恒温装置２００について説明する。なお、図１０に示す恒温装置２００において、前述した恒温装置１００の構成部分と同様の構造、機能を有する部分は図１〜図９中の符号と同符号を付して説明を省略する。

図１０に示すように、恒温装置２００は、恒温プレート１０、均熱プレート２０及び蓋部材５０などで構成される供試体加熱部７０をケーシング８０上面に配置するとともに、供試体加熱部７０を覆う内カバー９０ｘと、内カバー９０ｘの外周を覆う外カバー９０ｙと、を設け、内カバー９０ｘと外カバー９０ｙとの間に形成された通気経路９５内に調温手段９６及び送風ファン９７が配置されている。また、内カバー９０ｘの右側壁９０ｘａ及び左側壁９０ｘｂは通気性を有している。

供試体加熱部７０を使用してＬＥＤの温度加速寿命試験を行う場合、調温手段９６及び送風ファン９７を稼働させると、調温手段９６によって所定温度に調整された温調気体が送風ファン９７から右側壁９０ｘａを通過して内カバー９０ｘ内へ気体が送り込まれ、内カバー９０ｘの内部を通過した後、左側壁９０ｘｂを通過して通気経路９５内へ排出され、温調手段９６によって温度調整された後、再び送風ファン９７によって内カバー９０ｘ内へ送り込まれる。

このように、送風ファン９７及び調温手段９６を稼働させ、内カバー９０ｘの内部と通気経路９５との間で温調気体を循環させることにより、内カバー９０ｘ内の温度を所定温度に保持することができるので、外気による熱影響を防止することができ、ＬＥＤの温度加速寿命試験において、複数のＬＥＤを均一な温度で安定した雰囲気に保持することができる。

一方、恒温プレート１０の冷却手段は前述したものに限定しないので、その他の冷却手段として、図示していないが、恒温プレート１０の下面や外周面などにヒートシンクを付設し、このヒートシンクを冷却する送風ファンを設けることもできる。この場合、ヒートシンクと送風ファンとの間に気流整流用のカバーを設けることが望ましい。

また、恒温プレート１０の冷却手段として、図示していないが、恒温プレート１０の下面や外周面などに熱伝導部材を介してヒートパイプを取り付けるとともに、このヒートパイプの一部にヒートシンクを取り付け、当該ヒートシンクを冷却する送風ファンを設けることもできる。この場合も、ヒートシンクと送風ファンとの間に気流整流用のカバーを設けることができる。

さらに、恒温プレート１０の冷却手段として、図示していないが、ペルティエ素子を有する冷却部材を恒温プレート１０に付設することもできる。

なお、図１〜図１０に基づいて説明した恒温装置１００，２００などは本発明の一例を示すものであり、本発明の恒温装置は前述した恒温装置１００，２００に限定されない。

本発明に係る恒温装置は、各種ＬＥＤの温度加速寿命試験が行われる電子・電気機器産業あるいは機械産業などの分野において広く利用することができる。

１０恒温プレート
１１，４４，５６電気ヒータ
１２通液経路
１２ａ，４１，４２ｄ開口部
１３ヒータ収容孔
１４，１８，４２ｅコネクタ
２０均熱プレート
２１溝
３０供試体搭載ステージ
４０予熱プレート
４２通液経路
４２ａ直管部
４２ｂ折り返し部
４２ｃ合流管部
４３プレート本体
５０蓋部材
５１隔壁部材
５１ａ開口部
５１ｂ隔壁
５１ｃ切欠き部
５２天井部材
５２ａ，９３ａ通気孔
５３，９１蝶番
５４把持具
５５ロック部材
７０供試体加熱部
８０ケージング
８１流量計
８２流量調整ダイアル
８３シグナルタワー
８３ａ，８３ｂ，８３ｃ発光部
９０カバー
９０ａ天井部
９０ｂ周縁部
９０ｘ内カバー
９０ｙ外カバー
９２給気ファン
９３隔壁
９６調温手段
９７送風ファン
１００，２００恒温装置
Ｖ前後方向
Ｗ左右方向
Ｘ隙間

Claims

加熱手段及び冷却手段を有する恒温プレートと、前記恒温プレート上に配列された複数の供試体搭載ステージと、前記供試体搭載ステージを覆うように配置され前記供試体搭載ステージの周囲を包囲する隔壁部材及び前記隔壁部材で包囲された前記供試体搭載ステージの上方を閉塞する透光性の天井部材を有する蓋部材と、前記恒温プレート、前記供試体搭載ステージ及び前記蓋部材を覆うカバーと、前記カバー内に気体を導入する給気ファン若しくは前記カバー内の気体を排出する排気ファンの少なくとも一方を備えた恒温装置。
加熱手段及び冷却手段を有する恒温プレートと、前記恒温プレート上に配列された複数の供試体搭載ステージと、前記供試体搭載ステージを覆うように配置され前記供試体搭載ステージの周囲を包囲する隔壁部材及び前記隔壁部材で包囲された前記供試体搭載ステージの上方を閉塞する透光性の天井部材を有する蓋部材と、前記恒温プレート、前記供試体搭載ステージ及び前記蓋部材を覆うカバーと、前記カバー内の温度を調整する調温手段とを備えた恒温装置。
前記天井部材に通気孔を設けた請求項１または２記載の恒温装置。
前記恒温プレートの冷却手段として、冷却液が流動可能な通液経路を前記恒温プレートに設けた請求項１〜３のいずれかに記載の恒温装置。
前記冷却液を、前記恒温プレートの中央部に位置する前記通液経路に導入し、前記恒温プレートの周辺部に位置する前記通液経路から排出する請求項４記載の恒温装置。
前記通液経路に供給する冷却液を昇温若しくは降温させる液温調整手段を設けた請求項４または５記載の恒温装置。
前記恒温プレートの冷却手段として、ヒートシンク若しくはヒートパイプの少なくとも一方を前記恒温プレートに付設し、前記ヒートシンク若しくは前記ヒートパイプを冷却する送風ファンを設けた請求項１〜３のいずれかに記載の恒温装置。
前記恒温プレートの冷却手段として、ペルティエ素子を有する冷却部材を前記恒温プレートに付設した請求項１〜３のいずれかに記載の恒温装置。
前記供試体搭載ステージと前記天井部材との隙間を３ｍｍ〜１５ｍｍとした請求項１〜８のいずれかに記載の恒温装置。