JP2007071510A - ローラハース式熱処理炉における防塵装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 簡単な構造でもって、炉内への塵の侵入を防止する。
【解決手段】 炉体側壁23に、処理品搬送用ハースローラ33を貫通させてその端部を側方に突出させたローラ貫通孔31が形成されている。ローラ貫通孔31より上方レベルに位置するように同炉体側壁23外側面にクリンエアーダクト41が取付られている。クリンエアーダクト41にエアー吹出口43が下向きに設けられている。エアー吹出口43を側方から被覆するようにクリンエアーダクト41にスカート44が設けられている。
【選択図】 図３

Description

この発明は、例えば、プラズマディスプレイパネル製造工程等に用いられるガラス基板やその中間加工物のような処理品を熱処理するために使用されるローラハース式熱処理炉内に塵が侵入することを防止する防塵装置に関する。

この種の防塵装置としては、炉体側壁に、処理品搬送用ハースローラが貫通させられてその端部を側方に突出させており、ハースローラの突出端部に、２つのシールリングがローラ軸方向に並んで互いに相対する側面同士を当接させるようにはめ被せられており、炉体側壁に近い側の一方のシールリングは、炉体側壁外面に密着状に固定されており、他方のシールリングは、ローラ軸方向に移動自在かつバネによって一方のシールリングに接近する方向に付勢されているものが知られている（例えば、特許文献１参照。）。

この従来の防塵装置には、つぎのような問題点がある。第１に、シールリング材質の耐熱性に難がある。第２に、炉体側壁のローラ貫通部から発塵する。第３に、ローラおよびシールリング間の隙間を皆無とすることはできず、その隙間を通じて、炉外から炉内に塵が侵入する。２つのシールリングおよびバネを、炉体側壁およびハースローラに組立てるための構造が複雑であり、コストが掛かる。
特開平６−２６５２７３号公報

この発明の目的は、簡単な構造でもって、炉内への塵の侵入を防止できるローラハース式熱処理炉における防塵装置を提供することにある。

この発明による防塵装置は、炉体側壁に、処理品搬送用ハースローラを貫通させてその端部を側方に突出させたローラ貫通孔が形成されているローラハース式熱処理炉において、ローラ貫通孔より上方レベルに位置するように同炉体側壁外側面にクリンエアーダクトが取付られており、クリンエアーダクトにエアー吹出口が下向きに設けられており、エアー吹出口を側方から被覆するようにクリンエアーダクトにスカートが設けられているものである。

この発明による防塵装置では、ローラ貫通孔の外方開口縁部の周囲は、クリンエアーダクトおよびスカートによって挟まれたスペースに臨ませられ、そのスペース内には吹出口から吹出されたクリーンエアーによって充満され、同スペース内には塵が侵入することがない。ローラ貫通孔周面およびハースローラ外面間から炉外のエアーが侵入したとしても、そのエアーはクリンエアーだけでそれには塵が含まれていない。したがって、炉内への塵の侵入を防止することができる。

さらに、スカートの下縁部がハースローラの突出端部より下方レベルに位置させられており、スカートの下縁部に、ハースローラの突出端部を貫通させた切欠が形成されていると、ローラ貫通孔の周囲がスカートによって広く覆われることとなって、塵の侵入防止効果が大である。

また、ローラ貫通孔周面およびハースローラ外面間に、金属または耐熱ガラス製保護スリーブが介在させられていると、通常断熱材でできている炉体側壁のローラ貫通孔周面からの塵の発生を防止することができる。

この発明によれば、簡単な構造でもって、炉内への塵の侵入を防止することができる。

この発明の実施の形態を図面を参照しながらつぎに説明する。

以下の説明において、左右とは、図１を基準として、その左右の側を左右というものとする。

ローラハース式熱処理炉は、横断面方形状炉体11を備えている。炉体11は、頂壁21、底壁22および左右の両側壁23よりなる。これらの頂壁21、底壁22および両側壁23は、断熱材によって形成されている。また、頂壁21、底壁22および両側壁23にはヒータ（図示略）が備えられている。さらに、頂壁21、底壁22および両側壁23の内面には耐熱ガラス製防塵壁（図示略）で被覆されている。

両側壁23の長さ方向複数カ所には、ローラ貫通孔31が各所において同心となるように形成されている。各ローラ貫通孔31には金属製保護スリーブ32が挿入されている。保護スリーブ32の材質としては、金属に代わって、耐熱ガラスを採用してもよい。

保護スリーブ32を介して、各所におけるローラ貫通孔31にはセラミック製水平丸棒状処理品搬送用ハースローラ33がその端部を側方に突出させるように貫通させられている。

左右のローラ貫通孔31よりもそれぞれ上方レベルに位置するように両側壁23外側面に、左右の横断面方形状クリンエアーダクト41が片持状に取付られている。両クリンエアーダクト41は、左右の向きは逆であるが、同一構造のものである。以下、右側のクリンエアーダクト41について説明する。

クリンエアーダクト41の頂壁適所にはクリンエアー供給パイプ42が接続されている。クリンエアーダクト41の底壁には長さ方向に一定間隔をおいてエアー吹出口43が下向きに設けられている。クリンエアーダクト41の、炉体11と反対側の側壁には垂直板状テフロン（登録商標）製スカート44が設けられている。スカート44の下縁部は、ハースローラ33突出端部よりも下方レベルに位置させられている。スカート44の下縁部に、ハースローラ33の突出端部を貫通させた切欠45が形成されている。切欠45は、逆Ｕ字状の輪郭をなし、上部に円弧状部を有している。この円弧状部とハースローラ33外面上半部の間には若干の隙間がある。この隙間は、空気の流通を殆ど許さない程度に小さい方が好ましい。

エアー吹出口43から吹出されたクリーンエアは、炉体側壁23、クリンエアーダクト41およびスカート44によって区画された下方開放スペース内に充満させられる。ハースローラ33および保護スリーブ32間の隙間から炉体11内にエアが浸入したとしても、そのエアはクリーンエアであり、炉体11外の塵が炉体11内に浸入する心配はない。とくに、熱処理炉のうち、昇温・脱バインダーゾーンでは炉体11内排気により、マイナス圧に保持されるため、炉体11外の塵が炉内に浸入する恐れが大であるが、同スペース内のクリーンエアにより、その恐れが皆無となる。さらに、ローラ貫通孔31の周面からは、炉体11を形成している断熱材の繊維状ないし粒子状の塵が発生するが、その飛散を保護スリーブ32が阻止する。

上記において、クリーンエアダクト、エア吹出口、スカートおよび切欠の形状は、図示のものに限定されない。切欠は、これに代えて、例えば、丸孔としてもよい。さらに、スカートの材質とし、テフロン（登録商標）に代えて、耐熱性プラスチックを採用してもよい。

この発明による防塵装置をローラハース式熱処理炉とともに示す横断面図である。 図１の一部を拡大して示す断面図である。 図２に示す部分の斜視図である。

符号の説明

23 炉体側壁
31 ローラ貫通孔
33 ハースローラ
41 クリーンエアダクト
43 エア吹出口
44 スカート

Claims (3)

1. 炉体側壁に、処理品搬送用ハースローラを貫通させてその端部を側方に突出させたローラ貫通孔が形成されているローラハース式熱処理炉において、
   ローラ貫通孔より上方レベルに位置するように同炉体側壁外側面にクリンエアーダクトが取付られており、クリンエアーダクトにエアー吹出口が下向きに設けられており、エアー吹出口を側方から被覆するようにクリンエアーダクトにスカートが設けられている防塵装置。
2. スカートの下縁部がハースローラの突出端部より下方レベルに位置させられており、スカートの下縁部に、ハースローラの突出端部を貫通させた切欠が形成されている請求項１に記載の防塵装置。
3. ローラ貫通孔周面およびハースローラ外面間に、金属または耐熱ガラス製保護スリーブが介在させられている請求項１または２に記載の防塵装置。
   

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