JP2001510548A - クリーンエアカーテンによる領域の動的分離方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 少なくとも１つの分離ゾーン（１１）を介して連通する汚染領域（１２）と保護領域（１０）を動的に分離するために、向きが同じで互いに近接する２つのクリーンな噴気を分離ゾーン（１１）に噴出させる。より正確には、エアスクリーン（１４）は、舌（１６）が分離ゾーン（１１）全体を覆う低速噴気と、低速噴気と保護領域の間に噴出し、噴出速度は低速気流と接触する表面で励起される気流の流速が低速噴気の速度の概略半分である高速噴気とを有する。好ましくは、クリーンな換気流が、保護領域内（１０）に少なくとも換気流と接触するエアスクリーンによって励起される気流と同じ流速であり、いずれの場合にも０．１ｍ／ｓ以上である。

Description

【発明の詳細な説明】 クリーンエアカーテンによる領域の動的分離方法技術分野 本発明は、少なくとも１つの分離ゾーンを介して互いに連通する汚染領域と保 護領域とを、少なくとも２つのクリーンエア噴気を同じ方向に向けて分離ゾーン 内に噴出させて形成するクリーンエアカーテンで動的に分離する方法に関する。 本発明の方法は産業界において広い利用可能性を有する。 本発明が利用可能性を有する産業の第１のグループは、作業領域の空気を温度 、細菌、および／または特定のガスからなる汚染源を含む外気から保護する必要 が有る総ての（食品加工、医療、バイオテクノロジー、ハイテク等）産業を含む 。 本発明が利用される産業の他のグループは、人間とその環境を、密封領域に封 入された有毒または危険な物質から保護しなければならない（原子力、化学、医 学等）産業である。背景技術 現在、１つあるいはそれ以上の分離ゾーンを介して互いに連通する２つの領域 を動的に分離する方法、たとえば、物体の入出を許容する分離方法として２種類 の方法が用いられている；すなわち、換気による保護とエアカーテンによる保護 である。 換気による保護とは、保護すべき領域の圧力が汚染領域の圧力よりも高くなる ように領域間に気圧差を設ける方法である。保護すべき領域の中に、外気にさら されることで汚染される物体が収容されているなら、保護領域から分離ゾーンに 向けて層状の気流を吹き出す。汚染領域の外にいる人とその周りの環境を保護し なければならない、上記とは逆の場合、汚染領域から空気を排出することによっ て動的な密封を行う。いずれの場合にも、実験的には、保護領域に汚染が侵入し ないようにするには分離ゾーン面において少なくとも０．５ｍ／ｓの流速が必要 である。 しかし、この換気による保護は、特に、物体が領域を区画する分離ゾーンを通 って出入りするいわゆる「侵害」と称する状況では有効でない。さらに、このタ イプの保護を行うには、保護領域すべてを外気またはすべての汚染領域から保護 し制御することが必要になる。保護し制御しなければならない領域が広い場合に は、投資および維持費用が大きなものになる。最後に、この換気による保護は一 方向のみの保護を可能にするものである、すなわち、汚染の伝達が一方向にのみ 起こるような場合にのみ有効である。 エアカーテンによる保護は２つの領域の中間に位置する分離ゾーンに向けて同 じ方向に１つまたは複数の近接する清浄な気流を噴出し、汚染領域と保護領域の 間に無形のドアを形成するものである。 平面気流の理論によれば、平面気流は２つの領域に区分される；移動領域（ま たは中心領域）と発達領域である。 移動領域は、ノズル近傍の気流の中心に位置し速度ベクトルは一定である。こ の領域は、噴出した気体とその両側の気体が交じり合わない領域である。分離ゾ ーンの平面と垂直な平面方向の断面に基づけば、移動領域の幅はノズルからの距 離が増加するにつれて次第に減少する。そのため、明細書においては、この領域 を「舌」と称する。 気流の発達領域は、気流の移動領域の外側に位置する。発達領域では、外部の 空気が気流につれて移動する。このことによって速度ベクトルの変化と気体の混 合が起こる。気流の両側で起きる外部空気の移動を「励起」と称する。気流は、 その両側で、気流に依存して起きる気体の流れを励起する。 日本特許公告公報第３６７２２８号には、分離ゾーンに同一方向に向けて３つ の近接する気体の流れを噴出させて形成するエアカーテンを提案するものである 。より正確には、２つの比較的低速な気流の間に１つの比較的高速な気流を噴出 させる。この構成によって、中央の気流によって励起され混合される気体は両側 の比較的低速な噴気に由来するものであり汚染が少ないために、単一の噴気を使 用する場合に比較して効果的である。 しかし、この公報では舌の長さについてもその噴気の流れについても考慮され ておらず、従って密封効果は極めて不安定である。 フランス特許出願公開第２５３０１６３号は、同一方向に噴出する２つのクリ ーンな近接する気流によって形成するエアカーテンで、開口を有する汚染した室 内を封じ込める技術を開示する。より正確には、舌が完全に開口を覆う第１の比 較的低速の気流（「低速気流」と称する）によって分離が行なわれる。第２の気流 （「高速気流」と称する）は、低速気流よりも速度が早く、保護領域と低速気流の 間に位置する。第２の気流の機能は低速気流と高速気流を接触させる吸引効果に よって低速気流を安定させることである。 フランス特許出願公開第２５３０１６３号は、低速気流の噴出ノズルの幅が保 護領域の開口高さの６分の１以上であれば低速気流の舌が開口全面を覆うことが できると記載している。さらに、２つの気流の噴気は、低速気流と接触する高速 気流の表面に励起された気流の流速が概略低速気流の噴出流と同じ速さでなけれ ばならない旨を記載している。 フランス特許出願公開第２６５２５２０号は、汚染された外部から、開口を有 するクリーンな作業領域をエアカーテンで保護することを提案している。エアカ ーテンの基本的な特徴は、フランス特許公開第２５３０１６３号に記載されたも のに類似している。さらに、低速気流の噴出速度は０．４ｍ／ｓまたは０．５ｍ ／ｓ程度でなければならない旨の記載がある。さらに、高速気流の外表面が開口 平面の端に到達するよう噴気を定める必要があることが記載されている。噴気の 拡散角度を考慮すると、噴気の中心平面と開口の平面がなす角が凡そ１２度に相 当する。 フランス特許出願公開第２６５２５２０号はさらに、保護すべき作業領域の内 部に所望の温度のクリーンな換気を同時に送出することを提案している。明細書 によれば、クリーンな換気は、クリーンな換気と接触する速い気流に励起された 気流と凡そ同じ速度で噴出させなければならない。 さらに、フランス特許出願公開第２６５２５２０号は、２つの気流を吸引する 吸引グリルが開口の外でワークステーションの下部に位置し、汚染領域の換気を 制御することができる構成を開示する。さらに、開口の２つの側壁が少なくとも エアカーテンの厚さ分だけ外に向かって延長されている。 フランス特許出願公開第２６５９７８２号は、フランス特許出願公開第２５３ ０１６３号に記載された２つのクリーンな噴気の間に、第３の比較的クリーンな 空気の低速な噴気を追加して、高速気流が同一方向を向いた２つの近接する低速 気流の間に挟まれる構成を開示する。 フランス特許出願公開第２５３０１６３号とフランス特許出願公開第２６５２ ５２０号の主要な特徴を組み合わせたこの構成によれば、保護領域へのクリーン な空気による換気量は顕著に低減することができる。さらに、それ以前の例とは 異なり双方向の動的封じ込めが達成されている。 保護領域内へのクリーンな空気換気量の減少は、保護領域内の励起流が、２つ の噴気を使用したエアカーテンの場合とは異なり、高速気流に伴う発達領域では なく、低速気流に伴う発達領域によってもたらされることに由来している。 これらの文献によって開示されたエアカーテンの改良技術にもかかわらず、本 発明の発明者らが実施した実験および解析の結果によれば、特に侵害と呼ばれる 状況下での封じ込め効果に関して、フランス特許出願公開第２５３０１６３号、 フランス特許出願公開第２６５２５２０号およびフランス特許出願公開第２６５ ９７８２号の技術は大いに改善の余地があることが分かった。発明の開示 本発明の対象は、エアカーテンを使用した少なくとも１つの分離ゾーンを介し て連通する２つの領域の動的分離方法であって、原理的にはフランス特許出願公 開第２５３０１６３号、フランス特許出願公開第２６５２５２０号およびフラン ス特許出願公開第２６５９７８２号に近いものであるが、侵害状況における封じ 込め効果を顕著に改善したものである。 本発明に従えば、この効果は、少なくとも１つの分離ゾーンを介して連通する 汚染領域と保護領域とを動的に分離する方法であって、 −分離ゾーンの全域を覆うことが出きる舌を有する比較的低速のクリーンな空 気を第１の噴気として分離ゾーンに噴出させ、 −保護領域と第１の噴気との間であって、第１の噴気の近傍に、第１の噴気と 同じ向きに、分離ゾーン内に向けて比較的高速のクリーンな空気を第２の噴気と して噴出させる ことからなる方法であって、第２の噴気は、第１の噴気と接触する表面に励起 される気流の流速が第１の噴気の流速の凡そ半分以下である方法によって達成さ れる。 出願人は、実験および解析によって、これらの特徴はいずれも２つの領域の間 に「バリア効果」を達成するために不可欠である、換言すれば、舌が分離ゾーン 全面を覆うために不可欠であることを発見し確認した。 噴気によって第１の気流の表面に励起される気流が早すぎると、低速気流の舌 が早く消費されて短くなる；したがって、保護領域の被覆が不完全になる(これ は先行技術に開示された方法総てが有する問題である)。一方、高速噴気の速度 が遅すぎると、高速気流が低速気流を接触して生じる励起流による低速気流の安 定化が不充分になる。このことにより、第１の（低速）気流と接触する第２の（ 高速）気流の表面に励起された気流の流速が、第１の気流の流速よりも遅く、望 ましくは第１の噴気の流速の凡そ半分であり、フランス特許出願公開２５３０１ ６３号、フランス特許出願公開第８９１２８６１号およびフランス特許出願公開 第２６５９７８２号とは異なり、噴気の速度と同一ではないことが本発明にとっ て肝要であると出願人は考えた。 上記の２つの噴気に比較的低速の第３の噴気を追加すれば、エアカーテンは動 的な封じ込め効果を発揮する。この場合、比較的低速でクリーンな空気の第３の 噴気は、第２の噴気の近傍で第１、第２の噴気と同じ向きに、保護領域と第２の 噴気の間に、分離ゾーンに向けて噴出させる。第３の噴気は、第１の噴気と同じ で、第２および第３の気流と接触する第２の気流表面による励起流の流速が第１ および第３の噴気の概略半分以上にならないよう設定される。上記の特徴により 、第３の噴気が分離ゾーンの全面を効果的に覆うことになる。 保護領域には、（エアカーテンが２つの噴気を有するか３つの噴気を有するか によって）第２または第３の噴気によって、クリーンな換気と接触する表面に励 起される気流と同じだけのクリーンな換気を供給することが望ましい。出願人は 、この技術的特徴によって、保護領域に、特にエアカーテンを通って侵害が行な われる状況で、「クリーン効果」が得られることを発見した。 クリーン効果をより効果的に発揮するために、エアカーテンを構成する噴気の 数に無関係に、クリーンな換気流を、分離ゾーンの平面に対するクリーンな換気 流の流速が少なくとも０．１ｍ／ｓであるように設定することが望ましい。 内部換気を使用する場合には、クリーンな換気を保護領域の背面または頂部の 全面にわたって、分離ゾーンに向けて噴出させる。 保護領域の温度管理を行う必要が有る場合は、所定温度に制御したクリーンな 換気を噴出させる。 エアカーテンのバリア効果をさらに向上させるには、総ての噴気を分離ゾーン の平面と概略平行に噴出させる。さらに、クリーンな空気の噴気を、好ましくは 、クリーンな空気の噴出方向と概略直行する平面に設けた空気取り入れ口から取 り込む。 バリア効果は、クリーンな空気の噴気の両側の開口側壁を、汚染領域に向けて 少なくとも、噴気の最大厚さに相当する距離だけ延長することでさらに高められ る。図面の簡単な説明 非限定的な実施例を図面を参照しながら説明するが、参照する図面は以下のと おりである。 図１は、本発明の第１の実施例に基づく、２つの近接する噴気を有するエアカ ーテンによる作業領域の保護を簡単に示す斜視図である。 図２は、本発明の第２の実施例に基づく、３つの近接する噴気を有するエアカ ーテンによる、第１の実施例に類似した作業領域の保護を示す斜視図である。発明を実施するための最良の形態 図１において、保護領域と汚染領域をそれぞれ符号４０と１２によって示す。 図示した実施例においては、保護領域１０は作業ステーションにあたるクリー ンな空間を有し、汚染領域１２には作業ステーション以外の総ての領域が含まれ る。外部空間は、温度、物質、ガスおよび／または細菌によって作業領域を汚染 する汚染源である。 保護領域１０の作業ステーションは、図１において右側に示される部分以外は 総て気密壁に囲まれている。より正確には、図１において作業ステーションの右 側で、開口１１を介して保護領域１０が汚染領域１２と連通している。開口１１ は、汚染領域１２から保護領域１０に物体を出し入れするため、または、汚染領 域から保護領域内の物体を取り扱うために使用される。図に示す構成は例示に過 ぎず、限定的なものではない点に注意すべきである。保護領域１０と汚染領域１ ２とは、開口という形で実現されるとは限らないひとつまたはそれ以上の、また 、任意の方向に設けられた分離ゾーンによって連通することも可能であり、これ らも総て本発明の概念に包含される。 特に、図示していないが、保護領域が直線状、円弧状または曲線状の経路上を 移動するコンベアであるような実施例では、保護領域と汚染領域とを分離する分 離ゾーンはコンベアに沿って延在することになる。 開口１１の存在にもかかわらず保護領域１０と汚染領域１２との間の動的な分 離を維持するために、図示した構成の場合には恒久的なエアカーテン１４を設置 する。図１に簡単に示した実施例の場合には、エアカーテン１４は、同一方向に 向けた近接するクリーンな空気の噴気によって実現される。 より正確には、第１のクリーンな比較的低速の噴気を開口１１内に噴出させ( 舌のみを示す)、同時に第２のクリーンな比較的高速の噴気（舌１８のみを図中 に示す）を開口１１に噴出させる。第２の噴気は、第１の噴気の保護領域１０の 側に噴出させる。単純化するために、第１の噴気と第２の噴気は、明細書中にお いてそれぞれ「低速噴気」と「高速噴気」と称する。 低速噴気と高速噴気は開口１１に向けてそれぞれノズル２０と２２から噴出す る。 開口部が長方形で２つの水平な縁部と２つの垂直な縁部（限定的な特徴ではな い）からなる図に示した実施例では、噴気ノズル２０、２２は、エアカーテン１ ４が開口１１の全面にわたって形成されるよう、開口１１の上縁部の全長さにわ たって設けられている。エアカーテン１４を形成する２つの噴気は、開口１１の 下縁部の全長に渡って延在する単一の吸気部２４によって完全に吸収される。開 口１１の垂直縁部は、エアカーテン１４を形成する噴気部の両側に位置する２つ の側壁２６で構成される。この側壁２６は、少なくとも噴気の最大厚さと同じ距 離だけ汚染領域１２の内部に延長されている。 図１に簡単に示すように、ノズル２０から噴出する低速気流のサイズは、舌１ ６が開口１１の全面を覆うように決定される。これは、舌１６のレンジと長さが 少なくとも開口の高さと同じになるようにすることによって実現可能である。し たがって、図１の平面に平行な方向に計ったノズル２０の幅は、保護領域の開口 １１の高さの少なくとも１／６好ましくは１／５以上である。例として示せば、 高さ１ｍの開口に対してノズル２０の幅は０．２ｍである。 さらに、乱流の発生を極力抑制するために、また経済的な理由から、ノズル２ ０から噴出する低速噴気の流速は０．５ｍ／ｓに固定する。低速気流の舌１６の 長さは、少なくとも保護領域の開口の高さに相当し、気流の流速は比較的低速な ので、気流は封じ込めを破ることなくエアカーテン１４を通過する物体の輪郭に 追従する。 しかし、ノズル２０から噴出する気流の速度が低速なために、単独で用いられ た場合には、エアカーテンの近傍で発生する流体的または機械的な外乱によって 気流が乱され作業領域の封じ込めが破られる可能性を有する。そのために、ノズ ル２２から低速気流の近傍に高速噴気を噴出させ、第１の気流を安定させエアカ ーテン１４で作られた動的バリアによる侵害状況での封じ込め効果を高める。限 定的でない例として記載すれば、高速噴気を噴出させるノズル２２の幅は、ノズ ル２０の幅の１／４０であり、上記の例に従えば０．００５ｍとなる。 ２つの噴気を組み合わせたバリア効果を最大限に発揮させるために、ノズル２ ２から噴出する高速噴気は、ノズル２０から噴出する低速噴気と接触する高速噴 気の表面によって励起される気流の流速が低速気流の速度よりも低速、好ましく はその２分の１程度となるように設定されなければならない。実験および解析に よれば、この特徴によって、速い気流の速度を低速気流との接触面で励起される 気流の速度が低速気流の噴出速度と同程度となる従来技術に比較してバリア効果 が飛躍的に向上することが明らかになった。 限定的でない例として記載すれば、ノズル２２から噴出する低速気流が３６０ ｍ³／ｈであれば、ノズル２２から噴出する高速気流は４２ｍ³／ｈである。この 流量を先行技術において推奨されている８４ｍ³／ｈと比較する必要がある。 ノズル２０、２２から噴出した総ての空気とエアカーテン１４が帯同した空気 を総て回収するために、吸気部２４にはこの目的を考慮して吸引装置（図示しな い）が接続されている。実際は、吸気部２４で回収した空気は好ましくは特定の 浄化装置（図示しない）によって浄化され、噴出しノズル２０、２２に循環する 。余剰の空気は、再度浄化された後に外部に放出される。 上記に示した数値例に従えば、吸気部２４からの吸入量は８２５ｍ³／ｈであ る。 バリア効果は、２つの噴気が共に開口１１の垂直面に概略平行な方向に向けら れ、吸気部２４がこの方向に直角な面に設けられた時にさらに高められる。換言 すれば、ノズル２０と２２の噴気オリフィスが同一の水平面に位置し、吸気部２ ４が他の水平面であってノズル２０と２２の下に位置することが望ましい。 さらに、保護領域内に内部換気装置を設けこの内部換気装置を駆動することで 、保護領域１０内の浄化効果を上げることができる。エアカーテン１４によるバ リア効果に加えて浄化効果を達成することで侵害状態における封じ込め効果が一 層向上する。 同一方向に向いた２つの隣接する噴気を有するエアカーテン１４を有する図１ の実施例において、保護領域１０内のクリーン空気の換気はノズル２２から噴出 する高速気流の、クリーン空気と接触する側、つまり高速気流の保護領域１０に 面する側の表面に励起された気流と同程度である。さらに、クリーン換気は、開 口１１平面に対する流速が少なくとも０．１ｍ／ｓとなるように噴出する。 図１に簡単に示した実施例によれば、クリーンな空気は、保護領域の全背面に 渡って設置されたグリル２８をとおって、別な言い方をすれば、作業領域の開口 １１に正対する壁の全面から保護領域１０に噴出する。クリーンな空気が噴出す るグリル２８は、図面では左端に位置する。 保護領域が所定の経路にしたがって移動するコンベアである前出の実施例（図 示しない）によれば、浄化空気が噴出する壁面は保護領域の天井の部分である。 この表面はコンベアに面し、分離ゾーンの平面に概略直交する。 保護領域１０の内部の温度を所定の一定温度に維持する必要がある場合、クリ ーンな換気がグリル２８から所定の温度で噴出する。したがって、ヒートイクス チェンジャのような温度制御手段（図示しない）が換気回路のグリル２８の上流 側に設けられる。 上記の限定的でない例の場合、内部換気ブロアの送風量は３６０ｍ³／ｈであ る。 実験および解析によれば、上記の条件が満たされた場合、従来技術に比較して １０倍ないし１００倍優れた封じ込め効果が得られる。保護領域の粒子またはガ ス状の汚染物質に対する汚染領域の粒子状またはガス状の汚染物質の密度比とし て定義される動的バリアの封じ込め効果は１０⁴ないし１０⁶である。 図２は、本発明に基づく方法の第２の実施例である。第２の実施例は、図１に 示した主要な特徴を総て有し、さらに、高速気流と保護領域の間に第三の比較的 低速な気流を有する。図１に示した装置と同じ番号で参照した部分は同様の内容 であるので詳細な説明を省略する。 図２には、保護領域１０、汚染領域１２、開口１１、低速気流と高速気流をそ れぞれ噴出するノズル２０、２２と、ノズルの舌はそれぞれ１６、１８で示され ている、開口１１の側壁２６および保護領域に内部換気を供給するグリル２８が 示されている。 この例の場合、番号１４’で示すエアカーテンは、ノズル２２の近傍で高速の 気流と保護領域１０の間に高速気流に比較して低速な気流を噴出するノズル３０ を有する。この低速気流は、高速気流の近傍で他の気流と同じ方向を向いている 。この第３の気流の舌は図２では３２で示されている。 ノズル３０の寸法は、舌３２が開口全体を覆うように設定される。したがって 、ノズル３０は、ノズル２０、２２と同様に、開口１１の上縁部全体にわたって 延在し、このノズル３０の幅は開口１１の高さの少なくとも１／６好ましくは１ ／５以上である。実際には、図１に関連して示した数値例に従えば、ノズル２０ と３０の幅は同じで、例えば０．２０ｍである。 本発明の方法の第２の実施例では、ノズル３０からの低速噴気は、ノズル２０ からの低速噴気と同じ流速になるように調整する。したがって、低速気流のそれ ぞれと接触するノズル２２からの高速気流の表面に励起される気流は、これら低 速噴気の噴出速度の半分以下、好ましくは半分程度である。 図２に示されているように、グリルの幅は、２４’で示す例の場合、噴出した すべての気流がこの吸気グリル２４’から回収されるように、エアカーテンの幅 に対応して定められる。より正確には、エアカーテン１４’のための吸気グリル ２４’は、２つの気流で構成されるエアカーテン１４の吸気グリル２４よりも幅 が広い。 同一方向の、近接する３つの噴気によって形成されるエアカーテン１４’によ って優れた双方向の動的分離が達成される。 さらに、図２に示した第２の実施例の場合、高速気流と保護領域１０との間に 低速の噴気を設けたことで、第１の実施例に比較して内部換気の噴出量を低減す ることができる。ブロアグリル２８から供給されるクリーンな空気の換気量は、 ノズル３０からの噴気によって第３の気流の換気の側に励起される流量と少なく とも同じである。 前出の数値例に従えば、低速噴気それぞれの流量は３６０ｍ³／ｈ、内部換気 ブロアの流量は３６０ｍ³／ｈ、吸気グリル２４’の吸引量は１１８５ｍ³／ｈで ある。 第１の実施例の場合と同様に、３つの噴気は開口１１の面と平行に噴出し、吸 気グリルは噴射ノズル２０、２２、３０の下方に開口の平面とは垂直方向に位置 する。さらに、保護領域内に噴出する換気の流速は、好ましくは少なくとも０． １ｍ／ｓである。 図２に示した本発明の第２の実施例の封じ込め効果は、図１に示した第１の実 施例の封じ込め効果と同様である。 本発明の技術的思想の範囲内で多くの変更例が可能であることに留意する必要 がある。 これらの変更例は、第１には、ガス、粒子および／または細菌的な濃度が異な る複数の領域（クリーンな領域と汚染した領域、さらに温度も異なることもある ）を温度および動的に分離すると同時に、クリーンな領域を汚染することなく物 体が両領域の間を行き来することを許容する必要がある総ての場合に適用するこ とができる。この例としては、食品加工、医学、生物学またはハイテク作業場所 、繊細な製品の表示装置等である。 可能な変更例は、また、形状、位置、２つの領域が連通する分離ゾーンの数、 噴出ノズルと吸気ノズルを設置する場所に関して例示した実施例とは異なるもの とすることができる。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 モショ，ヴィクトル，マニュエル フランス国 Ｆ―93100 モンルイユ，リ ュ デュ プティ ボワ 27

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．少なくともひとつの分離ゾーン（１１）を介して連通する保護領域（１０） と汚染領域（１２）を動的に分離する方法であって、 −比較的低速のクリーンな空気の第１の噴気を、舌（１６）が分離ゾーン全域を 覆うように分離ゾーン（１１）に噴出させ、 −同時に、比較的高速のクリーンな空気の第２の噴気を分離ゾーン（１１）に、 第１の噴気の近傍で第１の噴気と同じ方向に、保護領域（１０）と第１の噴気の 間に噴出させ、 第２の気流が第１の気流と接触することで第２の気流の表面に励起される気流の 速度が、第１の噴気の速度のおよそ半分未満であることを特徴とする動的分離方 法。 ２．第２の気流が第１の気流と接触することで第２の気流の表面に励起される気 流の流速が、第１の噴気の流速のおよそ半分である請求項１に記載の動的分離方 法。 ３．同時に、クリーンな換気が、保護領域（１０）の内部に、第２の気流の表面 がクリーンな換気と接触して励起された気流と同じ流量だけ供給される請求項１ または２に記載の動的分離方法。 ４．比較的低速の第３の噴気を、第２の噴気の近傍で第１および第２の噴気と同 じ方向で、保護領域（１０）と第２の噴気の間に、分離ゾーン（１１）に噴出さ せ、第３の噴気は分離ゾーン（１１）全体を覆う舌（３２）を有し、噴出速度は 、第１の噴出速度と概略同じで、第２の気流が第１と第３の気流と接触すること で励起された気流の速度が、第１および第３の噴気の速度の半分程度以下である 請求項１または２に記載の動的分離方法。 ５．第３の噴気は、第１および第３の気流と接触する第２の噴気の表面に励起さ れる第１または第３の噴気の流速のおよそ半分である請求項４に記載の動的分離 方法。 ６．クリーンな換気が同時に保護領域（１０）に、第３の噴気にクリーンな換気 が接触して励起される気流と少なくとも同じ流速で放出される請求項４または５ に記載の動的分離方法。 ７．クリーンな換気が、分離ゾーン（１１）の平面に対する流速が少なくとも０ ．１ｍ／ｓであることを特徴とする請求項３または６に記載の動的分離方法。 ８．クリーンな換気が、クリーンな保護領域の壁面全体から分離ゾーン（１１） の方向に噴出することを特徴とする請求項３、６または７に記載の動的分離方法 。 ９．クリーンな換気が噴出する壁面は、分離ゾーン（１１）の平面と平行な保護 領域（１０）の後背面であることを特徴とする請求項８に記載の動的分離方法。 １０．クリーンな換気が噴出する壁面は、分離ゾーン（１１）と概略直交する保 護領域（１０）の上面であることを特徴とする請求項８に記載の動的分離方法。 １１．クリーンな換気の温度が制御されていることを特徴とする請求項３、６が ら１０のいずれかに記載の動的分離方法。 １２．総てのクリーンな噴気が分離ゾーン（１１）と概略平行に噴出する前記請 求項のいずれかに記載の動的分離方法。 １３．総てのクリーンな噴気が、噴気が噴出するノズル（２０、２２、３０）に 対面する位置でクリーンな噴気の向きとは概略直交する平面に設けられている吸 気グリル（２４，２４’）に吸引されることを特徴とする前記請求項のいずれか に記載の動的分離方法。 １４．分離ゾーン（１１）は、正常な気流の両側に位置し汚染領域（１２）のほ うに少なくとも噴気の最大厚さと同じ距離だけ延長された側壁（２６）によって 区画されたことを特徴とする前記請求項のいずれかに記載の動的分離方法。