KR20080003970U

KR20080003970U - 안전 커버가 구비된 가스라인의 블록 히터

Info

Publication number: KR20080003970U
Application number: KR2020070004243U
Authority: KR
Inventors: 이철웅
Original assignee: 이철웅
Priority date: 2007-03-14
Filing date: 2007-03-14
Publication date: 2008-09-19

Abstract

본 고안은 반도체 장치의 가스라인을 균일하게 가열하는 상하로 분리된 블록 히터에 안전수단을 제공함으로써 작업자를 화상의 위험으로부터 보호할 수 있도록 한 안전커버가 구비된 가스라인의 블록 히터에 관한 것이다.

본 고안의 기술적 과제는 상하로 분리되어 가스라인이 끼워지는 안착부가 형성된 한쌍의 블록; 상기 블록에 구비되어 콘트롤러에 의해 제어되는 히터;를 구비하는 것에 있어서, 상기 블록이 넣어지는 삽입부가 형성된 커버; 상기 커버를 블록에 결합하는 나사; 상기 커버와 블록 사이에 위치하여 공간부를 형성하는 이격부재;로 이루어진 안전 커버가 구비된 가스라인의 블록히터에 의하여 달성되어진다.

반도체, 가스라인, 블록히터

Description

안전 커버가 구비된 가스라인의 블록 히터 {omitted}

도 1은 본 고안의 안전 커버를 보인 블록 히터의 분해사시도

도 2는 본 고안의 결합상태사시도

도 3은 도 2의 A-A선 단면도

[도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명]

10 : 블록 11 : 안착부

20 : 히터 30,30a : 커버

31 : 삽입부 32 : 공간부

33 : 측벽 34 : 틈새

35 : 방열구멍

일반적으로 반도체 장치의 가스라인을 균일한 온도로 가열하기 위한 수단으 로 콘트롤러에 의해 제어되는 히터가 구비된 블록 히터가 사용되는데, 종래의 블록 히터는 상하로 분리된 블록의 표면온도가 100℃가 넘는 고온임에도 불구하고 작업자를 보호할 수 있는 수단이 제공되어 있지 않았다.

작업자의 신체가 블록에 접촉하는 경우 화상을 입을 수 있다는 점 때문에 가스라인 전체를 밀폐된 케이스의 내부에 설치하기도 하나 가스라인 전체를 케이스의 내부에 설치한다는 것이 비효율적일 뿐만 아니라 점검시에는 케이스를 열어야 하기 때문에 작업자는 여전히 위험에 노출될 수 밖에 없었다.

본 고안이 이루고자 하는 기술적 과제는 히터가 구비되고 상하로 분리된 한쌍의 블록에 열을 차단할 수 있는 커버를 설치함으로써 작업자가 블록에 직접 접촉할 수 없도록 한 안전 커버가 구비된 가스라인의 블록 히터를 제공하기 위한 것이다.

본 고안의 바람직한 실시예를 첨부 도면에 의거 상세히 설명하면 다음과 같다.

도 1은 본 고안의 커버와 블록의 분해사시도이고, 도 2는 안전커버가 결합된 블록히터의 사시도이며, 도 3은 도 2의 단면도이다.

본 고안은 도시된 바와 같이 상하로 분리되어 가스라인(50)이 끼워지는 안착부(11)가 형성된 한쌍의 블록(10); 상기 블록(10)에 구비되어 콘트롤러(도시되지 않음)에 의해 제어되는 히터(20);를 구비하는 것에 있어서, 상기 블록(10)이 넣어지는 삽입부(31)가 형성된 커버(30); 상기 커버(30)를 블록(10)에 결합하는 나사; 상기 커버(30)와 블록(10) 사이에 위치하여 공간부(32)를 형성하는 이격부재(40);로 이루어진 안전 커버가 구비된 가스라인의 블록히터에 관한 것이다.

상기 블록(10)은 표면이 하드 아노다이징 처리된 알루미늄재가 사용되며, 커버(30)는 고온에서 사용 가능한 합성수지재가 사용된다.

도 1 내지 도 3에서는 별도의 체결부재(60)를 이용하여 커버(30)와 블록(10)을 결합하는 블록(10)과 커버(30)를 볼트로 결합하는 방식의 블록히터를 포함하여 블록(10)이 상하로 분리된 블록 히터라면 히터의 종류는 물론 설치 위치나 모양에 관계없이 본 고안의 커버(30)가 사용될 수 있다.

상기 커버(30)의 삽입부(31)의 폭은 블록(10)보다 넓게 형성되어 있고, 상기 커버(30)는 이격부재(40)에 의해 공간부(32)가 형성되도록 블록(10)에 결합된다.

이렇게 결합되는 커버(30)는 양측벽(33)의 길이가 블록(10)보다 짧아 마주 결합되는 커버(30a)와의 사이에 틈새(34)가 형성되도록 하거나 커버(30)에 다수의 방열구멍(35)를 형성하는 것이 바람직하다.

상기 공간부(32)는 블록(10)에서 발생된 열을 커버(30)쪽으로 직접 전달되지 않도록 차단하는 역활을 하며, 상기 틈새(33)와 방열구멍(34)은 블록(10)에서 발생된 열이 외부로 신속히 방출될 수 있게 하는 역활을 한다.

이와같이 본 고안은 블록을 감싸는 상태에서 공간부를 사이에 두고 이격되게 결합되는 안전 커버가 구비된 가스라인의 블록 히터에 관한 것으로 작업자의 신체가 고온의 블록에 닿을 염려가 없어 안심하고 작업할 수 있도록 한 효과가 있은 유용한 고안이다.

이상에서는 본 고안을 첨부된 도면에 한정하여 설명하였으나 여기에 한정되는 것은 아니며, 본 고안의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변형이 가능함은 물론이다.

Claims

상하로 분리되어 가스라인(50)이 끼워지는 안착부(11)가 형성된 한쌍의 블록(10); 상기 블록(10)에 구비되어 콘트롤러에 의해 제어되는 히터(20);를 구비하는 것에 있어서, 상기 블록(10)이 넣어지는 삽입부(31)가 형성된 커버(30); 상기 커버(30)를 블록(10)에 결합하는 나사; 상기 커버(30)와 블록(10) 사이에 위치하여 공간부(32)를 형성하는 이격부재(40);로 이루어진 안전 커버가 구비된 가스라인의 블록히터.
청구항 1에 있어서, 상기 커버(30)에는 다수의 방열구멍(35)이 형성된 것을 특징으로 하는 안전 커버가 구비된 가스라인의 블록히터.