TWI806695B - 加熱器端子罩、加熱器單元及熱處理裝置 - Google Patents
加熱器端子罩、加熱器單元及熱處理裝置 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI806695B TWI806695B TW111125636A TW111125636A TWI806695B TW I806695 B TWI806695 B TW I806695B TW 111125636 A TW111125636 A TW 111125636A TW 111125636 A TW111125636 A TW 111125636A TW I806695 B TWI806695 B TW I806695B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- heater
- terminal cover
- cylindrical
- cylindrical portion
- terminals
- Prior art date
Links
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 34
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims abstract description 57
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 43
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 12
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 7
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 claims abstract description 6
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 62
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 36
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 9
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 5
- YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N bis($l^{2}-silanylidene)molybdenum Chemical compound [Si]=[Mo]=[Si] YXTPWUNVHCYOSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 25
- 229910021343 molybdenum disilicide Inorganic materials 0.000 abstract description 25
- 238000000227 grinding Methods 0.000 abstract description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 9
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 5
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000607479 Yersinia pestis Species 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67098—Apparatus for thermal treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/02—Details
- H05B3/04—Waterproof or air-tight seals for heaters
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B3/00—Ohmic-resistance heating
- H05B3/10—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor
- H05B3/12—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material
- H05B3/14—Heating elements characterised by the composition or nature of the materials or by the arrangement of the conductor characterised by the composition or nature of the conductive material the material being non-metallic
- H05B3/141—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds
- H05B3/143—Conductive ceramics, e.g. metal oxides, metal carbides, barium titanate, ferrites, zirconia, vitrous compounds applied to semiconductors, e.g. wafers heating
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Resistance Heating (AREA)
- Furnace Details (AREA)
- Muffle Furnaces And Rotary Kilns (AREA)
- Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)
Abstract
本發明之課題在於提供一種加熱器端子罩、加熱器單元及熱處理裝置，其可更可確實地抑制二矽化鉬加熱器的粉化。
本發明之解決手段在於一種加熱器端子罩50，其覆蓋加熱器10中的利用含有鉬的材料所形成的端子11A、11B的至少一部分。加熱器端子罩50具有：本體51，其具有以遍及全周來包圍端子11A、11B的露出部23、23之外周部之方式所構成的筒狀部58、58；及噴嘴61，其形成於本體51，用以朝向筒狀部58、58內供給惰性氣體。
Description
本發明有關加熱器端子罩、加熱器單元及熱處理裝置。
習知有用以對半導體材料等被處理物進行加熱的加熱器(例如，參照專利文獻1至5)。
作為上述加熱器的一種，具有使用二矽化鉬加熱器的情形。二矽化鉬加熱器係以二矽化鉬為主要成分，通常形成為一部分具有彎曲形狀的棒狀。該加熱器具有端子部和發熱部。在端子部的表面，藉由熔射鋁等金屬而形成金屬膜。該金屬膜經由電線等而與電源連接。從電源所被輸出的電力係經由電線及金屬膜而傳遞至發熱部，而使發熱部發熱。藉此，對收納被處理物的爐內之氣體環境進行加熱。
[先前技術文獻]
[專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2012-114327號公報
專利文獻2：日本專利特開2000-208236號公報
專利文獻3：日本專利特開平7-248193號公報
專利文獻4：日本專利特公平2-51234號公報
專利文獻5：日本專利實開平5-61992號公報
(發明所欲解決之問題)
加熱器動作時上述爐內的溫度成為接近1400℃的高溫，另一方面，配置於爐的外部端子部之溫度則成為與室溫差別不大的值。因此，在端子部與加熱部之間產生1000度以上的溫度差。因此，對於加熱器存在有約600℃的區域。二矽化鉬在約350℃～600℃的溫度區域中會產生氧化現象。當加熱器的使用期間變長而導致上述氧化進行時，二矽化鉬的氧化物則會粉化。即，會有產生二矽化鉬的粉化現象(pest)。如果二矽化鉬的粉化現象進行，則具有強度降低而破損之虞。
用來抑制二矽化鉬的粉化，例如如專利文獻1所記載，考慮對二矽化鉬中的容易氧化的溫度區域部分供給氮氣等惰性氣體。但是，在專利文獻1所記載的構成中，用以對大型的罩內填充惰性氣體，則可能消耗大量的惰性氣體。另外，如果罩的密閉性較低時，則惰性氣體的消耗量有更為增加之虞。
本發明係鑒於上述情況所成，其目的在於提供可減少惰性氣體的消耗量並且更確實地抑制二矽化鉬加熱器的粉化的加熱器端子罩、加熱器單元及熱處理裝置。
(解決問題之技術手段)
(1)用以解決上述課題，本發明之一態樣的加熱器端子罩係覆蓋包含利用含有鉬的材料所形成的端子的加熱器之上述端子至少一部分的加熱器端子罩，該加熱器端子罩具有：本體，其具有以遍及全周來包圍上述端子的外周部之方式所構成的筒狀部；及噴嘴，其形成於上述本體，用以朝向上述筒狀部內供給惰性氣體。
根據該構成，藉由對筒狀部內供給來自噴嘴的惰性氣體，可使端子的外周部的周邊的氣體環境遍及端子的全周設為惰性氣體氣體環境。藉此，可抑制起因於二矽化鉬之氧化的粉化現象之產生。而且，由於對利用筒狀部所被包圍的狹窄之區域供給惰性氣體，因此可更確實地對端子的外周部中的容易氧化的溫度區域部分供給惰性氣體，而且可減少惰性氣體的消耗量。因此，其可更確實地抑制二矽化鉬加熱器的粉化。
(2)上述本體包含：上述筒狀部，其形成有上述噴嘴；外周壁部，其以包圍上述筒狀部的外周部的方式所配置；及埠，其用以向上述外周壁部與上述筒狀部之間供給上述惰性氣體；如此之情形。
根據該構成，來自埠的惰性氣體進入至外周壁部與筒狀部之間，進而通過筒狀部的噴嘴而被供給至筒狀部的內側空間。外周壁部與筒狀部之間的空間可作為惰性氣體的腔室空間而發揮功能，因此可利用更穩定的流量從噴嘴對筒狀部的內側空間供給惰性氣體。
(3)上述噴嘴沿著上述筒狀部的圓周方向相互隔離地形成有複數個；如此之情形。
根據該構成，可在加熱器端子的圓周方向上更均等地供給從噴嘴向筒狀部的內側空間所供給的惰性氣體。
(4)上述筒狀部被設置一對以分別包圍一對上述端子，而上述外周壁部包圍一對上述筒狀部；有如此之情形。
根據該構成，可利用1個加熱器端子罩將一對端子各自的周圍設為惰性氣體氣體環境。
(5)上述加熱器端子罩更進一步具有將上述本體與上述端子之間予以封閉的密封構件；如此之情形。
根據該構成，可更確實地抑制氧氣從加熱器端子罩的外部侵入至本體與端子之間。
(6)在上述本體中的上述筒狀部的軸向一端側部分有被構成為與安裝有上述加熱器端子罩的構件相對向，上述密封構件係配置在上述筒狀部的軸向另一端側部分；如此之情形。
根據該構成，藉由遠離加熱器端子罩所被安裝的高溫部分而在溫度較低的軸向另一端側部分來配置密封構件，可減小對密封構件的熱的負荷。另外，在筒狀部的軸向一端側部分中的筒狀部與端子之間的區域，係藉由安裝有加熱器端子罩的構件來抑制氧氣的進入。
(7)上述本體有利用導電性材料所形成，在上述筒狀部的徑向內側，配置有筒狀的絕緣體；如此之情形。
根據該構成，可利用較高強度的材質來形成本體，並且可更確實地抑制本體與加熱器端子的短路。
(8)用以解決上述課題，本發明之一態樣的加熱器單元具有：加熱器，其包含利用含有鉬的材料所形成的端子；及上述加熱器端子罩，其覆蓋上述端子的至少一部分。
(9)用以解決上述課題，本發明發明之一態樣的熱處理裝置具有：熱處理室，其用以對被處理物進行熱處理；及上述加熱器單元，其用以對上述熱處理室內的氣體環境進行加熱。
根據上述(8)、(9)的構成，可更確實地抑制二矽化鉬加熱器的粉化。
(對照先前技術之功效)
根據本發明，可更確實地抑制二矽化鉬加熱器的粉化。
以下，參照圖式對用以實施本發明的形態進行說明。
圖1係本發明的一個實施形態的熱處理裝置1的主要部分之示意性剖面圖。圖2係示意性地顯示熱處理裝置1的加熱器單元3的主要部分的立體圖。圖3係放大顯示圖1的加熱器單元3的主要部分的圖。圖4係沿著圖3的IV-IV線的剖面圖。圖5係沿著圖3的V-V線的剖面圖。
參照圖1至圖5，熱處理裝置1係被設置為用以對被處理物100實施熱處理者。在本實施形態中，熱處理裝置1係半導體製造用的熱處理裝置，被構成為可對圓板狀的被處理物100實施氧化處理、擴散處理等。熱處理裝置1例如被設置於工廠的無塵室。另外，熱處理裝置1亦可被使用於半導體以外之零件的製造，例如，亦可被使用於電子零件、金屬零件的製造。
熱處理裝置1具有：絕熱體2；加熱器單元3，其被保持在絕熱體2；及管件4，其被收納於絕熱體2內的空間2a。
絕熱體2係熱處理裝置1的框體。絕熱體2係使用陶瓷等絕熱材料所形成，構成熱處理裝置1的外殼部。絕熱體2的下端部呈開口且其內部形成為中空的形狀。
管件4例如以石英為主要成分所形成，其周圍被絕熱體2所包圍。管件4被未圖示的支撐構件所支撐。管件4係被形成為筒狀，並且具有被封閉的上端部。管件4係形成用以對被處理物100進行熱處理的熱處理室5。管件4的下端部朝向下方呈開口，構成為可使晶舟6進出於管件4。在晶舟6上載置有被處理物100。
加熱器單元3係設為用以對熱處理室5內的氣體環境進行加熱。加熱器單元3被設置複數個於絕熱體2，且被絕熱體2所支撐。加熱器單元3係被配置複數個於絕熱體2的圓周方向(例如，2個)，並且配置1個或複數個在上下方向。各加熱器單元3的構成為相同，因此以下對1個加熱器單元3的構成進行說明。
加熱器單元3具有：加熱器10，其包含：以含有鉬的材料所形成的一對端子11A、11B；及加熱器端子罩50，其覆蓋端子11A、11B的至少一部分。
加熱器10係被設為用以對管件4內的熱處理室5進行加熱。加熱器10係二矽化鉬加熱器。在本實施形態中，加熱器10的最高溫度約為1400℃左右。藉由使用二矽化鉬加熱器作為加熱器10，其可迅速地對管件4內的氣體環境進行加熱。在本實施形態中，加熱器10形成為左右對稱(對稱於圖4的左右方向)。在本實施形態中，加熱器10係形成為細長的形狀，在與加熱器10之長度方向正交的剖面中形成為圓形狀。另外，加熱器10亦可形成為扁平的板狀，加熱器10具體的剖面形狀並未被限定。
加熱器10係具有以二矽化鉬為主要成分所形成的本體部12、及分別形成於本體部12之一對端部的金屬部13、13。本體部12形成為細長的軸狀。各金屬部13、13例如為鋁合金等導電構件。而且，藉由此等本體部12及金屬部13、13，在加熱器10中形成有發熱部14及一對端子11A、11B。即，加熱器10具有發熱部14及一對端子11A、11B。
發熱部14係在向加熱器10供給電力時發熱的部分。發熱部14係本體部12的一部分，被配置於絕熱體2內的空間2a。在本實施形態中，發熱部14形成為U字狀。另外，發熱部14的形狀亦可為波形狀等其他形狀，具體的形狀並未被限定。在本實施形態中，發熱部14的直徑比一對端子11A、11B的直徑小。一對端子11A、11B與發熱部14的一對端部連續。
各端子11A、11B具有：連接部16，其在絕熱體2內的空間2a中沿著絕熱體2的內壁面2d延伸並與發熱部14連接；彎曲部17，其在絕熱體2內的空間2a中隨著遠離發熱部14而朝向絕熱體2的外側彎曲；及延伸部18，其與該彎曲部17連續並朝向絕熱體2的外側延伸。另外，在圖1和圖3中，雖然省略了圖示，但是端子11B係與端子11A左右對稱(在與圖1、圖3的紙面正交的方向上對稱)的形狀。連接部16可在上下方向延伸，亦可在水平方向延伸，亦可在上下方向及水平方向之兩方向上延伸。在本實施形態中，延伸部18呈直線狀地延伸，較佳為水平地延伸。
連接部16和彎曲部17係藉由以二矽化鉬為主要成分的本體部12所形成。另外，延伸部18的大部分係藉由本體部12所形成，並且延伸部18的剩餘的一部分即端子端部22係藉由本體部12及金屬部13、13所形成。換言之，延伸部18具有藉由本體部12所形成的延伸部本體21、及藉由本體部12及金屬部13、13所形成的端子端部22。
延伸部本體21的大部分係配置於被形成在絕熱體2的貫通孔部2b內，被絕熱體2所支撐。延伸部本體21的一部分係被配置在絕熱體2的外側，成為從絕熱體2所露出的露出部23。而且，延伸部本體21的露出部23的一部分被加熱器端子罩50所覆蓋。端子端部22連續於延伸部本體21的突出部23。
在一對端子11A、11B的各端子端部22連接有匯流條(bus bar)24。在本實施形態中，在匯流條24上覆蓋有絕緣材料製的罩25。一對端子11A、11B係使用匯流條24等電氣性地連接於電源(未圖示)。
在具有上述構成的加熱器10中，一對端子11A、11B的各露出部23中靠近絕熱體2的部分在發熱部14發熱時成為約350℃～600℃的溫度。在該溫度區域中，本體部12的二矽化鉬的氧化被促進而可容易產生二矽化鉬的粉化。另一方面，即使本體部12的溫度為上述容易氧化的溫度，亦可藉由使本體部12的周圍設為低氧氣體環境來抑制本體部12的粉化。加熱器端子罩50係藉由向本體部12的各露出部23的周圍供給惰性氣體而使各露出部23的周圍設為低氧氣體環境。作為惰性氣體，可例示氮氣。另外，若為可使端子11A、11B中成為發生粉化的溫度的部分設為低氧氣體環境的話，則亦可為氮氣以外的氣體，具體的氣體其種類並未被限定。
如上述，加熱器端子罩50以覆蓋端子11A、11B中被配置於絕熱體2之外側的露出部23之一部分的方式所配置。加熱器端子罩50係沿著絕熱體2的外壁面2c，在本實施形態中被固定在絕熱體2。加熱器端子罩50係形成為包圍一對端子11A、11B各個露出部23、23周圍的中空之塊形狀。
加熱器端子罩50具有：本體51、被本體51所保持的絕緣體52、52、密封構件53、及用以將密封構件53安裝於本體51的按壓構件54。
在本實施形態中，本體51係使用不鏽鋼等金屬材料所形成，亦可說是利用導電性材料所形成。本體51沿著絕熱體2的外壁面2c。本體51形成為收納各露出部23的容器狀。在本實施形態中，本體51係藉由對金屬板進行鈑金加工等所形成。
本體51具有作為一對側壁的第1側壁55及第2側壁56、及配置於第1側壁55與第2側壁56之間的外周壁部57及筒狀部58、58。
在本實施形態中，第1側壁55及第2側壁56被配置為相互平行。第1側壁55係沿著絕熱體2的外壁面2c的例如平坦部分，第2側壁56係朝向自絕熱體2所隔離的方向而自第1側壁55隔離既定距離。在本實施形態中，第1側壁55及第2側壁56形成為矩形的板狀。在從一對端子11A、11B相互平行的露出部23、23的長度方向觀察時，第2側壁56的形狀比第1側壁55的形狀為大。在第1側壁55形成有一對端子11A、11B所貫通的一對貫通孔部55a、55a。同樣地，在第2側壁56形成有一對端子11A、11B所貫通的一對貫通孔部56a、56a。
外周壁部57係連接至第1側壁55與第2側壁56。外周壁部57形成為環狀，在本實施形態中形成為四角柱狀。另外，外周壁部57可形成為矩形以外的多邊形的筒狀，亦可形成為圓筒狀或者橢圓形狀。外周壁部57的一端係連續於第1側壁55的外周緣部。外周壁部57的另一端係相對於第2側壁56中的第2側壁56的外周緣部被固定於內側部分。藉此，在第2側壁56中，向外周壁部57的外側所突出的部分成為凸緣56b。外周壁部57係以包圍筒狀部58、58的外周部的方式所配置。
筒狀部58、58係以遍及全周來包圍在端子11A、11B中的露出部23、23之外周部的方式所構成，在本實施形態中，被設有一對用以分別包圍一對露出部23、23之筒狀部。各筒狀部58係連接於第1側壁55與第2側壁56。在本實施形態中，各筒狀部58形成為圓筒狀。另外，各筒狀部58若形成為包圍端子11A、11B相對應的露出部23、23之外周部的形狀即可，其可形成為圓筒以外的多邊形的筒狀，亦可形成為橢圓形狀。各筒狀部58的一端係連續於第1側壁55相對應的貫通孔部55a、55a。各筒狀部58的另一端係連續於第2側壁56相對應的貫通孔部56a、56a。各筒狀部58係配置為被外周壁部57所包圍，並且遍及全周來包圍一對端子11A、11B相對應的露出部23、23之周圍。
根據上述構成，本體51的第1側壁55、第2側壁56、外周壁部57及一對筒狀部58、58構成腔室59。腔室59係形成利用第1側壁55、第2側壁56、外周壁部57及一對筒狀部58、58所包圍的空間，向該腔室59內供給惰性氣體。更具體而言，在本體51形成有埠60。埠60係設置為用以對外周壁部57與筒狀部58、58之間的空間即腔室59內供給惰性氣體，在本實施形態中被形成在外周壁部57。另外，埠60亦可形成在第2側壁56等本體51的其他構件。
埠60包含形成於本體51的貫通孔部，在埠60連接有惰性氣體供給管63。惰性氣體供給管63係連接於儲存有惰性氣體的儲氣瓶等惰性氣體供給源(未圖示)。惰性氣體係從惰性氣體供給源通過惰性氣體供給管63而被導入至腔室59內。腔室59內的惰性氣體係通過於本體51的各筒狀部58所形成的噴嘴61及於各絕緣體52、52所形成的噴嘴62而被供給至一對端子11A、11B的露出部23、23的周圍即絕緣體52、52的內側空間64、64。在圖中利用箭頭F來顯示惰性氣體的流動。
噴嘴61係設為用以對各筒狀部58內(內側空間64)供給惰性氣體。噴嘴61係形成為沿著相對應的筒狀部58、58的徑向，貫通相對應的筒狀部58、58。噴嘴61在各筒狀部58至少形成有1個。在本實施形態中，噴嘴61係在各筒狀部58沿著筒狀部58的圓周方向相互隔離地形成有複數個，較佳為在筒狀部58的圓周方向等間距地形成有複數個。在各筒狀部58中噴嘴61的數量例如為2個、3個或者4個(在本實施形態中為4個)，並可例如為5個以上。
各噴嘴61在沿相對應的筒狀部58、58的徑向觀察時例如形成為圓形。各噴嘴61的直徑未被特別被限定。雖然在本實施形態中，在露出部23的軸向上的噴嘴61的位置為在各筒狀部58的中央，但是亦可並非為各筒狀部58的中央。又在各筒狀部58的徑向內側被配置有筒狀的絕緣體52。
絕緣體52、52係設來用以防止本體51與端子11A、11B發生短路。在本實施形態中，各絕緣體52利用石英所形成。絕緣體52、52係形成為沿著相對應的筒狀部58、58內周面形狀的形狀，在本實施形態中形成為圓筒狀。
在本實施形態中，絕緣體52、52的內周面與相對應的端子11A、11B之露出部23、23的距離D1為露出部23、23的直徑D2以下。較佳為該距離D1為露出部23、23的直徑D2的3倍以下左右。藉由如此設定距離D1的上限，可減小絕緣體52、52與相對應的露出部23、23之間的空間(惰性氣體所被供給的內側空間64、64)，並且可對二矽化鉬的粉化所發生的溫度區域之露出部23、23之周圍的空間即絕緣體52、52的內側空間64、64供給充分量的惰性氣體。
噴嘴62係被設為與噴嘴61協同動作用以朝向各露出部23、23供給惰性氣體。噴嘴62係形成為沿著相對應的絕緣體52、52的徑向，並貫通相對應的絕緣體52、52。各絕緣體52的噴嘴62的數量係與相對應的筒狀部58、58的噴嘴61的數量相同。各絕緣體52的噴嘴62係排列配置於與相對應的筒狀部58、58的噴嘴61相對應的筒狀部58、58之徑向。各噴嘴62在沿相對應的絕緣體52、52的徑向觀察時例如形成為圓形。另外，各噴嘴62的直徑未被特別被限定。
根據上述的構成，腔室59內的惰性氣體係通過噴嘴61、62而被供給至一對端子11A、11B的露出部23、23的周圍，即絕緣體52、52的內側空間64、64。腔室59的一端部係沿著絕熱體2的外壁面2c。另一方面，在腔室59的另一端部配置有密封構件53。即，在本體51中作為筒狀部58、58之軸向一端側部分的第1側壁55係構成為與安裝有加熱器端子罩50的絕熱體2相對向。另一方面，密封構件53係被配置在筒狀部58、58的軸向之另一端側部分。
密封構件53係將本體51與端子11A、11B的露出部23、23之間封閉。密封構件53可對本體51與露出部23、23之間予以氣密性地密封，其亦可為促進在加熱器端子罩50內的惰性氣體之流動而設置間隙。密封構件53係具有600℃以上之耐熱溫度的構件，在本實施形態中為陶瓷布且為具有撓性的片材。
密封構件53係沿設於第2側壁56的外側面。於密封構件53形成有一對貫通孔部53a、53a。於一對貫通孔部53a、53a分別貫通有一對端子11A、11B的露出部23、23。較佳為各貫通孔部53a係以遍及露出部23、23的圓周方向整個區域之方式與相對應的露出部23、23的外周面接觸。密封構件53被配置在第2側壁56與按壓構件54之間。
按壓構件54係被設來用以將密封構件53安裝於本體51。按壓構件54係將密封構件53按壓至本體51。按壓構件54例如利用與本體51的材料相同的材料所形成。另外，按壓構件54的材料亦可與本體51的材料不同。按壓構件54在實質上為剛體的板。在本實施形態中，按壓構件54形成為矩形的板狀。另外，按壓構件54若為可將密封構件53按壓於第2側壁56的構成即可，具體的形狀並未被限定。
在按壓構件54形成有貫通孔部54a、54a。貫通孔部54a、54a係設為一對端子11A、11B的露出部23、23所貫通的部分，且用以允許在密封構件53中的貫通孔部53a、53a周圍之部分的撓曲變形。貫通孔部54a、54a係分別與相對應的貫通孔部53a、53a相鄰，形成為比相對應的貫通孔部53a、53a之直徑為大的直徑。
在按壓構件54的外周部配置有複數個密封固定構件65。密封固定構件65例如為螺絲構件。在本實施形態中，密封固定構件65分別配置在按壓構件54的四角。各密封固定構件65係貫通按壓構件54及密封構件53，並且與形成在第2側壁56之凸緣56b的內螺絲部56c螺絲相結合。藉此，按壓構件54係將密封構件53安裝於本體51的第2側壁56，並且被第2側壁56所支撐。
另外，在按壓構件54的外周部配置有複數個本體固定構件66。本體固定構件66例如為螺絲構件。在本實施形態中，本體固定構件66在按壓構件54的左右方向中央配置有上下一對。各本體固定構件66係貫通按壓構件54、密封構件53及第2側壁56的凸緣56b，並且例如與於絕熱體2所形成的內螺絲部螺絲相結合。藉此，包含本體51、密封構件53及按壓構件54的加熱器端子罩50係被絕熱體2所支撐。
根據上述構成，腔室59內的惰性氣體係通過噴嘴61、62而被供給至絕緣體52、52相對應的內側空間64、64，主要朝向絕熱體2側被排出。
如以上說明，根據本實施形態，藉由將來自噴嘴61、62的惰性氣體供給至筒狀部58、58內，可遍及露出部23、23之全周使端子11A、11B的露出部23、23之周邊的氣體環境設為惰性氣體氣體環境。藉此，可抑制起因於二矽化鉬之氧化的粉化現象之產生。而且，由於對利用筒狀部58、58所包圍的狹窄之內側空間64、64供給惰性氣體，因此可更確實地對端子11A、11B的外周部中的容易氧化的溫度區域部分(露出部23、23)供給惰性氣體。因此，可更確實地抑制二矽化鉬加熱器10的粉化。此外，若使筒狀部58、58內的狹窄之內側空間64、64設為惰性氣體氣體環境即可，因此其可減少惰性氣體的消耗量。
另外，根據本實施形態，來自埠60的惰性氣體係進入至外周壁部57與筒狀部58、58之間，進而通過噴嘴61、62而被供給至筒狀部58、58的內側空間64、64。外周壁部57與筒狀部58、58之間的空間可作為惰性氣體的腔室空間而發揮功能，因此其可利用更穩定的流量從噴嘴61、62向筒狀部58、58的內側空間64、64供給惰性氣體。
另外，根據本實施形態，噴嘴61、62係分別沿著相對應的筒狀部58、58的圓周方向相互隔離地形成有複數個。根據該構成，可在加熱器端子11A、11B的圓周方向上更均等地供給惰性氣體，該惰性氣體係從噴嘴61、62被供給至筒狀部58、58的內側空間64、64。
另外，根據本實施形態，用以分別包圍一對端子11A、11B而設置有一對筒狀部58，而外周壁部57包圍一對筒狀部58、58。根據該構成，可利用1個加熱器端子罩50使一對端子11A、11B各個露出部23、23的周圍設為惰性氣體氣體環境。
另外，根據本實施形態，密封構件53將一對端子11A、11B的露出部23、23與本體51之間予以封閉。根據該構成，可更確實地抑制氧氣從加熱器端子罩50的外部侵入至內側空間64、64。
另外，根據本實施形態，在本體51中的筒狀部58、58的軸向一端側部分即第1側壁55係配置為與安裝有加熱器端子罩50的絕熱體2相對向，並且密封構件53係被配置在筒狀部58、58的軸向另一端側部分(第2側壁56側部分)。根據該構成，藉由遠離加熱器端子罩50所被安裝的高溫部分而在溫度較低的部分來配置密封構件53，其可減小對密封構件53的熱的負荷。另外，在第1側壁55附近的筒狀部58、58與一對端子11A、11B相對應的露出部23、23之間的區域，則藉由安裝有加熱器端子罩50的絕熱體2來抑制氧氣的進入。
另外，根據本實施形態，本體51係利用導電性材料所形成，在筒狀部58、58的徑向內側配置有筒狀的絕緣體52、52。根據該構成，可利用較高強度的材質(在本實施形態中為不鏽鋼材料)形成本體51，並且可更確實地抑制本體51與加熱器端子11A、11B的短路。
以上，雖然已對本發明的實施形態進行了說明，但是本發明並未被限定於上述實施形態。本發明可在申請專利範圍所記載的範圍內進行各種變更。
(1)在上述的實施形態中，雖對在本體51的第2側壁56側設置有1個密封構件53為例進行了說明。但是，其亦可並非如此。如變形例的主要部分剖面圖即圖6所示，密封構件53除了設置於本體51的第2側壁56側以外，亦可設置於第1側壁55側。第1側壁55側的密封構件53被夾在第1側壁55與絕熱體2之間，於一對貫通孔部53a、53a貫通有一對端子11A、11B相對應的露出部23、23。根據該變形例，可利用一對密封構件53、53封閉絕緣體52、52的內側空間64、64的軸向兩端。藉此，可進一步減少絕緣體52、52的內側空間64、64內的惰性氣體向外部所漏出的量。因此，其可進一步減少惰性氣體的消耗量。
(2)在上述的實施形態中，雖以加熱器端子罩50被固定於絕熱體2的方式為例進行了說明。但是，加熱器端子罩50所被設置的構件並未被限定，其亦可為絕熱體2以外的其他構件。
(3)在上述的實施形態中，雖以利用加熱器端子罩50包圍加熱器10的一對端子11A、11B中的露出部23、23的一部分的方式為例進行了說明。但是，加熱器端子罩50若為將加熱器10的一對端子11A、11B的至少一部分的周圍包圍的構成即可，其具體的構成並未被限定。
(4)在上述的實施形態中，雖以利用1個加熱器端子罩50包圍一對端子11A、11B各自的露出部23、23的方式為例進行了說明。但是，亦可對每個端子11A、11B設置加熱器端子罩。在該情況下，其構成為1個加熱器端子罩包圍1個端子。
(5)在上述的實施形態中，雖以利用導電性材料形成本體51並且設置絕緣體52、52的方式為例進行了說明。但是，其亦可省略絕緣體52、52。在省略絕緣體52、52的情況下，較佳為本體51為絕緣材料製。
(6)在上述的實施形態中，雖以在各筒狀部58形成有噴嘴61的方式為例進行了說明。但是，噴嘴61若為可對各筒狀部58的內側空間64供給惰性氣體即可，其亦可形成在筒狀部58以外。噴嘴61例如亦可利用從第2側壁56延伸並在內側空間64、64呈開口的配管所形成，其具體的形狀並未被限定。
(產業上之可利用性)
本發明可適用在加熱器端子罩、加熱器單元及熱處理裝置。
1:熱處理裝置
2:絕熱體
2a:空間
2b:貫通孔部
2c:外壁面
2d:內壁面
3:加熱器單元
4:管件
5:熱處理室
6:晶舟
10:加熱器
11A、11B:端子
12:本體部
13:金屬部
14:發熱部
16:連接部
17:彎曲部
18:延伸部
21:延伸部本體
22:端子端部
23:露出部
24:匯流條
25:罩
50:加熱器端子罩
51:本體
52:絕緣體
53:密封構件
53a:貫通孔部
54:按壓構件
54a:貫通孔部
55:第1側壁
55a:貫通孔部
56:第2側壁
56a:貫通孔部
56b:凸緣
56c:內螺絲部
57:外周壁部
58:筒狀部
59:腔室
60:埠
61:噴嘴
62:噴嘴
63:惰性氣體供給管
64:內側空間
65:密封固定構件
66:本體固定構件
100:被處理物
D1、D2:距離
F:箭頭
圖1係本發明的一個實施形態的熱處理裝置的主要部分之示意性剖面圖。
圖2係示意性顯示熱處理裝置的加熱器單元之主要部分的立體圖。
圖3係放大顯示圖1的加熱器單元的主要部分的圖。
圖4係沿著圖3的IV-IV線的剖面圖。
圖5係沿著圖3的V-V線的剖面圖。
圖6係變形例的主要部分的剖面圖。
3:加熱器單元
10:加熱器
11A、11B:端子
18:延伸部
21:延伸部本體
23:露出部
50:加熱器端子罩
51:本體
52:絕緣體
55:第1側壁
57:外周壁部
58:筒狀部
59:腔室
60:埠
61:噴嘴
62:噴嘴
63:惰性氣體供給管
64:內側空間
D1、D2:距離
F:箭頭
Claims (9)
- 一種加熱器端子罩，係覆蓋包含利用含有鉬的材料所形成的端子的加熱器之上述端子之至少一部分； 該加熱器端子罩具備： 本體，其具有以遍及全周包圍上述端子的外周部之方式所構成的筒狀部；及 噴嘴，其形成於上述本體，用以朝向上述筒狀部內供給惰性氣體。
- 如請求項1之加熱器端子罩，其中， 上述本體包含： 上述筒狀部，其形成有上述噴嘴； 外周壁部，其以包圍上述筒狀部的外周部的方式所配置；及 埠，其用以向上述外周壁部與上述筒狀部之間供給上述惰性氣體。
- 如請求項2之加熱器端子罩，其中， 上述噴嘴沿著上述筒狀部的圓周方向相互隔離地形成有複數個。
- 如請求項2之加熱器端子罩，其中， 上述筒狀部被設置一對，以分別包圍一對上述端子， 上述外周壁部包圍一對上述筒狀部。
- 如請求項1之加熱器端子罩，其中， 更進一步具備有，將上述本體與上述端子之間予以封閉的密封構件。
- 如請求項5之加熱器端子罩，其中， 在上述本體中的上述筒狀部的軸向一端側部分係被構成為與安裝有上述加熱器端子罩的構件相對向， 上述密封構件係配置在上述筒狀部的軸向另一端側部分。
- 如請求項1之加熱器端子罩，其中， 上述本體係利用導電性材料所形成， 在上述筒狀部的徑向內側，配置有筒狀的絕緣體。
- 一種加熱器單元，其具備： 加熱器，其包含利用含有鉬的材料所形成的端子；及 在請求項1至7中任一項所記載之加熱器端子罩，其覆蓋上述端子的至少一部分。
- 一種熱處理裝置，其具備： 熱處理室，其用以對被處理物進行熱處理；及 在請求項8所記載之加熱器單元，其用以對上述熱處理室內的氣體環境進行加熱。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021120844A JP2023016497A (ja) | 2021-07-21 | 2021-07-21 | ヒータ端子カバー、ヒータユニット、および、熱処理装置 |
| JP2021-120844 | 2021-07-21 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TW202308073A TW202308073A (zh) | 2023-02-16 |
| TWI806695B true TWI806695B (zh) | 2023-06-21 |
Family
ID=85060292
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| TW111125636A TWI806695B (zh) | 2021-07-21 | 2022-07-08 | 加熱器端子罩、加熱器單元及熱處理裝置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2023016497A (zh) |
| KR (1) | KR20230014622A (zh) |
| CN (1) | CN115696663A (zh) |
| TW (1) | TWI806695B (zh) |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050082281A1 (en) * | 2002-11-25 | 2005-04-21 | Susumu Uemori | Electric heater for a semiconductor processing apparatus |
| JP2014232577A (ja) * | 2013-05-28 | 2014-12-11 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| TW201738963A (zh) * | 2016-04-28 | 2017-11-01 | Koyo Thermo Systems Co Ltd | 熱處理裝置 |
| CN111739779A (zh) * | 2019-03-25 | 2020-10-02 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体装置的制造方法以及存储介质 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0251234A (ja) | 1988-08-12 | 1990-02-21 | Fuji Electric Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
| JPH0561992A (ja) | 1991-09-04 | 1993-03-12 | Fukushima Nippon Denki Kk | 定積分回路 |
| JPH07248193A (ja) | 1994-03-11 | 1995-09-26 | Nkk Corp | 電気抵抗加熱式炉 |
| JP2000208236A (ja) | 1999-01-08 | 2000-07-28 | Daido Steel Co Ltd | 炉壁へのセラミックヒ―タ取付構造 |
| JP2012114327A (ja) | 2010-11-26 | 2012-06-14 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
-
2021
- 2021-07-21 JP JP2021120844A patent/JP2023016497A/ja active Pending
-
2022
- 2022-05-09 CN CN202210496998.3A patent/CN115696663A/zh active Pending
- 2022-05-30 KR KR1020220065849A patent/KR20230014622A/ko not_active Application Discontinuation
- 2022-07-08 TW TW111125636A patent/TWI806695B/zh active
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20050082281A1 (en) * | 2002-11-25 | 2005-04-21 | Susumu Uemori | Electric heater for a semiconductor processing apparatus |
| JP2014232577A (ja) * | 2013-05-28 | 2014-12-11 | 光洋サーモシステム株式会社 | 熱処理装置 |
| TW201738963A (zh) * | 2016-04-28 | 2017-11-01 | Koyo Thermo Systems Co Ltd | 熱處理裝置 |
| CN111739779A (zh) * | 2019-03-25 | 2020-10-02 | 株式会社国际电气 | 基板处理装置、半导体装置的制造方法以及存储介质 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20230014622A (ko) | 2023-01-30 |
| JP2023016497A (ja) | 2023-02-02 |
| TW202308073A (zh) | 2023-02-16 |
| CN115696663A (zh) | 2023-02-03 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2007258585A (ja) | 基板載置機構および基板処理装置 | |
| JP5570938B2 (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
| TWI806695B (zh) | 加熱器端子罩、加熱器單元及熱處理裝置 | |
| TW201003818A (en) | Vacuum container and plasma processing device | |
| TWI463103B (zh) | 熱處理裝置 | |
| JP2001208478A (ja) | 熱処理装置 | |
| US4882129A (en) | Ozone generator cell | |
| JP5439018B2 (ja) | 触媒ｃｖｄ装置 | |
| JPH08120469A (ja) | ドライエッチング装置 | |
| WO2016006500A1 (ja) | 熱処理装置 | |
| JP2007157552A (ja) | 石英ガラス製加熱装置 | |
| JP2002045683A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH05299382A (ja) | プラズマ処理装置およびその方法 | |
| JP2012004495A (ja) | 電力導入端子およびそれを備えたプラズマ処理装置 | |
| JP2007059782A (ja) | スペーサー部材およびプラズマ処理装置 | |
| JP5272956B2 (ja) | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 | |
| JP2005072468A (ja) | 半導体ウエハの熱処理装置 | |
| JPH09229561A (ja) | 横型加圧焼結炉 | |
| JP2723110B2 (ja) | 熱処理装置 | |
| JP2010053393A (ja) | 基板処理装置 | |
| WO2010008076A1 (ja) | プラズマ処理装置用電力導入端子およびプラズマ処理装置 | |
| US8007632B2 (en) | Semiconductor manufacturing apparatus and manufacturing method of semiconductor device | |
| JP4798545B2 (ja) | 放電発生装置 | |
| JP2010219542A (ja) | 半導体製造装置 | |
| KR100880966B1 (ko) | 열처리 장치 및 열처리 장치를 조립하는 방법 |