KR20220128530A - 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛 - Google Patents

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KR20220128530A
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Abstract

열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛에 관하여 개시한다. 본 발명은, 기판의 가열 건조를 위해 기판을 수용하는 챔버를 구비하고, 상기 챔버 내에는 복수의 히터 유닛을 실장하여 상기 히터 유닛으로부터 발생되는 열을 통해 기판을 가열하거나 건조 시키는 열처리 오븐; 상기 히터 유닛의 외곽 틀을 형성하도록 전면과 후면 그리고 양측면에 배치되는 히터 프레임; 및 상기 열처리 오븐의 챔버 로내 기류를 외부로 배출하도록 상기 히터 프레임에 통합된 배기 덕트;로 구성될 수 있다.

Description

열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛{Heat treatment oven exhaust duct integrated heater unit}
본 발명은 열처리 오븐에서 히터를 고정하는 프레임에 열처리 오븐의 로내 기류를 외부로 배출하는 배기 덕트를 일체형으로 포함하는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛에 관한 것이다.
최근 디스플레이 시장은 TV, 휴대폰，모니터, 등 여러 종류의 화상 장치에 적용되고 있으며, 급속한 기술의 발달로 인하여, 제품의 성능 향상을 위한 노력이 계속되고 있다. 유기 발광 표시 장치 및 LCD 기판은 차세대 디스플레이 장치중 하나이며 다양한 제품분야에 적용되고 있다. 디스플레이장치를 구성하는 글래스 기판은 열처리를 통해 제조하게 되는데 열처리 시 각 공정마다 요구하는 조건을 만족시키기 위해서는 외기의 영향을 막고 열이 챔버 밖으로 방출되는 것을 최소로 유지하여야 성능 저하를 방지할 수 있고, 제품 불량률을 낮출 수 있다. 또한 완제품의 수율 향상을 위해서는 열처리 시 기판의 면내 편차가 적을수록 좋기 때문에 보다 고성능의 열처리 오븐이 요구되고 있어 지속적인 연구가 이루어지고 있다.
평판 디스플레이의 대표적인 유기 발광 표시 장치의 기판이나 LCD 글라스 기판(이하, '기판' 또는 '글라스 기판'으로 칭한다)을 제조하는데 있어서 온도 관리와 온도 균일도는 양품의 기판 품질과 수율 유지를 위해 반드시 필요하다. 예를 들면, 열처리 오븐을 통한 기판 제조 공정에서는 기판 표면에 유기물층이 형성되어 일정량의 수분을 포함할 수 있기 때문에 수분을 증발시키는 건조 공정을 필요로 하고 있는데 LCD 글라스 기판 제조 공정에서는 기판 표면에 감광막을 코팅하기 전에 세정공정을 거치고 세정공정 후에는 수분을 제거하기 위한 가열 건조 공정을 수행하고 있으며, 기판 제조 공정의 대부분은 가열 및 건조 공정을 수행하여 기판을 제조하고 있다. 이렇게 기판 제조 공정에서 발생되는 수분은 적외선을 활용하거나 히터(sheath heater) 등의 발열체를 포함하는 열처리 오븐의 챔버에 넣어 가열 건조를 통해 제거하고 있다. 이와 관련하여, KR 등록특허공보 10-1238560 및 KR 공개특허공보 10-2013-0028322에는 'LCD 글라스 오븐 챔버'가 제안되어 있다.
한편, 디스플레이장치의 글라스 기판을 열처리 하기 위해서는 각 공정마다 요구하는 조건이 있고, 동일한 시간에 보다 많은 양품을 양산하기 위하여 온도를 보다 빠르게 높이거나 냉각할 수 있는 구조가 필요하며 이를 위해서는 챔버내 구조물을 단순화하는 방안과 배기를 적절하게 제어할 수 있는 제안이 요구되고 있다. 또한, 유지보수 필요 공간을 축소함으로써 한정된 공장 공간내에 보다 용이하게 장비를 배치하고, 유지보수를 쉽게 할 수 있는 열처리 오븐 설계를 필요로 하고 있다.
특허문헌 1. KR 등록특허공보 제10-1238560호(공고일 2013년02월28일) 특허문헌 2. KR 등록특허공보 제10-0722154호(공고일 2007년05월28일) 특허문헌 3. KR 공개특허공보 제10-2013-0028322호(공개일 2013년03월19일)
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리 오븐의 히터와 배기 덕트의 일체화를 통해 열처리 오븐의 구조 단순화와 배기 능력을 향상시키는데 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리 오븐의 히터와 배기 덕트의 일체화를 통해 열처리 오븐의 유지보수 필요 공간을 축소하는데 있다.
본 발명에서 해결하고자 하는 기술적 과제 중 하나는, 열처리 오븐의 히터와배기 덕트의 일체화를 통해 열처리 오븐의 유지보수 작업성을 향상시키는데 있다.
상기 목적들은, 본 발명에 따르면, 기판의 가열 건조를 위해 기판을 수용하는 챔버를 구비하고, 상기 챔버 내에는 복수의 히터 유닛을 실장하여 상기 히터 유닛으로부터 발생되는 열을 통해 기판을 가열하거나 건조 시키는 열처리 오븐; 상기 히터 유닛의 외곽 틀을 형성하도록 전면과 후면 그리고 양측면에 배치되는 히터 프레임; 및 상기 열처리 오븐의 챔버 로내 기류를 외부로 배출하도록 상기 히터 프레임에 통합된 배기 덕트;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛으로부터 달성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 배기 덕트의 하부에는 열처리 오븐의 챔버 로내 기류를 배기 유로를 통해 배기하는 다수의 배출공들을 형성하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 히터 프레임의 하부에는 히터 프레임을 연결하여 보강하고 내부가 비워진 배기 유로를 구비하는 보강대가 장착되며, 상기 보강대에는 열처리 오븐의 챔버 로내 기류를 배기 유로를 통해 배기하는 다수의 배출공들을 형성하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 히터 프레임의 양측면은 히터 프레임과 배기 덕트를 적어도 1개 이상으로 분할 가능하도록 조립하는 조인트 브라켓으로 조립하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 히터 프레임의 양측면에는 열처리 오븐의 내벽에 설치되는 슬라이딩 트랙을 따라 이동하는 구름 베어링을 장착하여 구성될 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 상기 열처리 오븐의 챔버 로내 전면부와 후면부에 위치되는 배기 덕트의 양단에는 열처리 오븐의 챔버 로내 배기 기류를 외부로 배기하는 배기관을 장착하여 구성될 수 있다.
본 발명은, 열처리 오븐 챔버 내의 히터 프레임을 배기 덕트와 일체형으로 구성하여 기존 대비 구조 단순화를 이루어 장비 제조 원가 절감과 배기 능력을 향상시키는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 열처리 오븐 챔버 내의 히터 프레임을 배기 덕트와 일체형으로 구성함으로써 부품 수량을 감소시켜 승온 시간이 짧아지고 챔버 중심부에 배기 홀을 설치하여 상대적으로 냉각성능이 취약한 부분의 직접 배기를 가능하도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 열처리 오븐의 배기 덕트와 일체화된 히터의 프레임을 복수로 나누어지는 분할 구조로 구성하여 열처리 오븐 로내에 순차적으로 도킹(Docking)/언도킹(Undocking)이 가능하도록 함으로써 열처리 오븐의 후면의 도어측 유지보수 필요 공간을 축소할 수 있고, 이를 통해 공장에 열처리 오븐 장비의 배치를 보다 용이하게 하는 동시에 작업성을 개선할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은, 열처리 오븐의 배기 덕트와 일체화되어 분할된 히터의 프레임 좌/우측에 베어링을 설치하여 챔버의 가이드 레일을 따라 슬라이딩 방식으로 도킹/언도킹을 수행하도록 함으로써 히터 유닛의 설치 작업성이 기존에 비해 향상되며 작업시간을 단축시키는 효과가 있다.
도 1은 열처리 오븐을 보인 예시이다.
도 2는 열처리 오븐의 정면을 보인 예시이다.
도 3은 열처리 오븐의 평면을 보인 예시이다.
도 4는 열처리 오븐의 일측면을 보인 예시이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 유닛의 예시로서 (a)는 사시도이다. (b)는 일측면도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 유닛의 예시로서 (a)는 평면도이다. (b)는 정면도이다.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 유닛에서 히터 프레임의 분할 상태를 설명하는 예시이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 유닛의 저면 구조를 나타낸 예시이다.
도 9는 도 8의 A부 상세도로서 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 유닛의 배기 덕트를 통한 배기 상태를 나타낸 예시이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 '열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛'을 설명한다.
기판을 열처리 하기 위한 열처리 오븐은 열처리 대상 기판을 히터가 설치된 챔버 안에 마련된 각단에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버로부터 반출하기 위해 후면부에는 도어를, 전면부에는 셔터를 각각 구비할 수 있다.
또한, 열처리 오븐은 가열 또는 건조를 필요로 하는 기판을 수용하는 챔버를 구비하고, 챔버 내에는 발열체로 이루어지는 히터 유닛을 실장하여 히터 유닛으로부터 발생되는 열을 통해 기판을 가열하거나 수분을 증발 건조 시키도록 구성된다. 그리고, 사양에 따라 다르지만 보통의 경우, 히터를 구성하는 발열체의 상하부에는 상하부열전달판을 밀착되도록 설치하여 기판 가열 공정을 효과적으로 수행하도록 구성되고 있다.
그리고, 열처리 오븐의 챔버 일측으로는 프로세스 가스를 포함하는 유체를 유입시키는 급기구, 챔버내 유체를 배기시키는 배기구를 구비하고, 챔버를 지지하고 받쳐주는 러그들을 포함하는 프레임 및 히터의 발열선을 접속시켜 전류를 통전시키는 다수의 부스바들이 접속된 도전부를 포함하여 구성되고 있다.
한편, 열처리 오븐은 챔버 내부에 기판의 열처리 공정 중 기판상에 잔존하는 수분을 제거하기 위하여 히터 유닛을 포함하고 있으며 제품의 품질 제고를 위해서 보다 효율적이면서도 높은 성능의 공정 능력을 요구하고 있다.
도 1은 열처리 오븐을 보인 예시이다. 도 2는 열처리 오븐의 정면을 보인 예시이다. 도 3은 열처리 오븐의 평면을 보인 예시이다. 도 4는 열처리 오븐의 측면을 보인 예시이다.
도 1 내지 도 4에 도시된 도면은 열처리 오븐(100)의 전체 구조를 나타낸 것으로 챔버(200)를 포함하는 열처리 오븐(100)의 예시이다.
열처리 오븐(100)은 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 열처리 대상 기판을 챔버(200) 안에 마련된 각단에 넣거나 열처리 공정이 완료된 기판을 챔버(200)로부터 반출하기 위해 후면부에는 도어부(110)를, 전면부에는 셔터부(120)를 각각 구비할 수 있다.
또한, 열처리 오븐(100)은 가열 또는 건조를 필요로하는 기판을 수용하는 챔버(200)를 구비하고, 챔버(200) 내에는 발열체로 이루어지는 복수의 히터 유닛(300)들을 실장하여 그 히터 유닛(300)들로부터 발생되는 열로 기판을 가열하거나 수분을 증발 건조 시키도록 구성된다.
그리고, 열처리 오븐(100)은 챔버(200)의 일측으로 프로세스 가스를 포함하는 유체를 유입시키는 급기구 및 챔버(200)내 유체를 배기시키는 배기구를 구비하고, 챔버(200)를 지지하고 받쳐주는 러그들을 포함하는 프레임 및 히터 유닛(300)의 발열선을 접속시켜 전류를 통전시키는 다수의 부스바들이 접속된 도전부를 포함하여 구성되고 있다.
그리고, 사양에 따라 다르지만 보통의 경우, 히터 유닛(300)을 구성하는 발열체인 파이프의 상하부에는 상하부열전달판을 밀착되도록 설치하여 챔버 내에서 이루어지는 기판 가열 공정을 효과적으로 수행하도록 구성되고 있다.
한편, 도 1 및 도 4에서, 미설명 부호 '210'과 '220'은 챔버(200)의 '내외부 케이싱'이다. 그리고, 미설명 부호 '230'은 챔버(200)에 냉각 기류를 형성하여 챔버(200)의 내부에 구성된 냉각 기류 유도로를 통해 챔버를 균일한 온도 분포로 냉각시키는 '냉각 재킷'이다. 미설명 부호 '240'은 피드 스루들을 돌출시켜 이를 통해 챔버내(200)로 전원을 공급하는 '전원공급부'이다.
참고로, 도 1 및 도 4에 도시된 바와 같은, 열처리 오븐을 구성하는 기본적인 구성들, 예를 들면, 챔버의 구조 및 프로세스 가스의 급기 및 배기계통, 히터 유닛에 전원을 공급하는 부스바를 포함하는 도전부 및 전원공급부의 구성은 본 발명과 직접 관련이 없다. 그리고, 열처리 오븐의 기본적인 해당 구성들은 본 발명의 요지와 무관하고 공지된 구성들이므로 본 발명의 구성 및 동작 설명에서 생략하는 것으로 한다.
한편, 열처리 오븐의 발열체로 기능하는 히터 유닛(300)은 파이프(금속 보호관)에 전기 저항으로 발열하는 발열선(발열코일)을 내장하고 절연 분말인 산화마그네슘(MgO)을 넣어 함께 충진하여 열선과 파이프를 절연한 판상형의 히터일 수 있다.
도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 기존 열처리 오븐에 적용되고 있는 히터 유닛은 배기 덕트와 분리되는 분리형 구조이며 열처리 오븐의 전면과 후면(셔터부/도어부)부에만 배기 덕트가 설치되어 있는 구조로 되어 있다.
그러나, 열처리 오븐 설비의 사이즈가 대형화되고 고온 성능을 내는 사양을 요구하는 추세이므로, 전면부와 후면부 부분, 즉 셔터부(120) 및 도어부(110)측에만 배기 덕트를 설치 시 챔버의 로내 중심부는 배기를 통한 냉각이 불가능하기 때문에 이를 해결할 수 있는 구조 변경이 필요한 상태이다.
또한, 히터의 유지보수시 히터 프레임을 열처리 오븐의 설비 후면, 즉 도어부측으로 인출하여 유지보수를 수행하게 되는데, 이 경우 열처리 오븐의 설비 사이즈가 대형화되면서 그 만큼 더 큰 유지보수 공간을 필요로하게 되어 공장에서 주어지는 한정된 공간을 충분히 활용하기 어려운 상태이다.
또한, 열처리 오븐을 구성하는 기존의 히터 및 배기 덕트는 구조적으로 히터 프레임을 챔버 외부로 인출시 히터 프레임 사이즈가 대면적임에 따라 작업이 어렵고，작업시간이 많이 소요되고 있다.
이에 따라, 본 발명에서는, 열처리 오븐의 히터 프레임과 배기 덕트의 일체화를 통해 열처리 오븐의 구조 단순화와 배기 능력을 향상시키는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 제시한다.
또한, 본 발명에서는, 열처리 오븐의 설비 성능 향상과 유지보수의 작업성 개선 및 작업시간 단축을 위해 배기 덕트를 일체화하는 히터 프레임을 제시한다.
또한, 본 발명에서는, 열처리 오븐의 히터 프레임과 배기 덕트의 일체화를 통해 유지보수 필요 공간을 축소할 수 있는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 제시한다.
또한, 본 발명에서는, 열처리 오븐의 히터 프레임과 배기 덕트의 일체화를 통해 유지보수 작업성을 향상시킬 수 있는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 제시한다.
본 발명에 따른 열처리 오븐의 히터 유닛을 구성하는 주요 구성을 도 5 내지 도 9를 참조하여 구체적으로 설명한다.
열처리 오븐(100)은 기판의 가열 건조를 위해 기판을 수용하는 챔버(200)를 구비하고, 챔버(200)의 로내에는 복수의 히터 유닛(300)을 실장하여 히터 유닛(300)으로부터 발생되는 열을 통해 기판을 가열하거나 건조 시킬 수 있도록 구성될 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 포함하는 히터 유닛의 예시로서, (a)는 사시도이다. (b)는 일측면도이다. 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 포함하는 히터 유닛의 예시로서, (a)는 평면도이다. (b)는 정면도이다. 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 포함하는 히터 유닛에서 히터 프레임의 분할 상태를 설명하는 예시이다. 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 포함하는 히터 유닛의 저면 구조를 나타낸 예시이다. 도 9는 도 8의 A부 상세도로서 본 발명의 일실시예에 따른 배기 덕트 일체형 히터 유닛의 배기 덕트를 통한 배기 상태를 나타낸 예시이다.
본 발명에 따른 히터 유닛(300)은, 도 5 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 히터 유닛(300)은 외곽 틀을 형성하도록 전면과 후면 그리고 양측면이 히터 프레임(310)으로 구성될 수 있다.
그리고, 열처리 오븐(100)의 챔버(200) 로내 기류를 외부로 배출하도록 히터 프레임(310)에 통합된 배기 덕트(311a)(311b)(312a)(312b)로 구성될 수 있다.
이를 위하여, 배기 덕트(311a)(31b)(312a)(312b)의 하부에는 도 9에 도시된 바와 같이, 열처리 오븐(100)의 챔버(200) 로내 기류를 배기 유로(315)를 통해 배기하는 다수의 배출공(316)들을 형성하여 구성될 수 있다.
한편, 도 내지 도 9에서, 미설명 부호 '320'은 내부의 발열체(파이프)로부터 발열되는 열을 전도받아 가열되는 '열전달판'이다.
또한, 히터 프레임(310)의 하부에는 도 9에 도시된 바와 같이, 히터 프레임(310)을 연결하여 보강하고 내부가 비워진 배기 유로(310b)를 구비하는 보강대(310a)를 장착하여 구성될 수 있다. 여기서, 보강대(310a)에는 열처리 오븐(100)의 챔버(200) 로내 기류를 배기 유로(310b)를 통해 배기하는 다수의 배출공(310c)들을 형성하여 구성될 수 있다.
이렇게, 히터 프레임(310)에 배기 덕트(311a)(311b)(312a)(312b)가 통합된 일체형 히터 유닛(300)으로 구성하는 경우, 열처리 오븐(100)의 로내에 별도의 배기 덕트를 설치하지 않아도 되므로 그만큼 부품이 줄어들고, 부품이 줄어드는 만큼 온도의 상승이나 냉각시 시간이 적게 소요될 수 있어 고성능의 열처리 오븐을 제작하는데 유리할 수 있다.
또한, 히터 프레임(310)의 보강대(310a)에 구성되는 내부가 비워진 배기 유로(310b)를 배기 덕트로 활용하여 상대적으로 냉각에 취약한 열처리 오븐의 챔버 로내 중심부분의 배기 기류를 신속하게 직접 배기할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따른 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 포함하는 히터 유닛(300)은, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이, 히터 프레임(310)의 양측면은 히터 프레임(310)과 배기 덕트(312a)(312b)를 적어도 1개소 이상으로 분할 가능하도록 조립하는 조인트 브라켓(313)으로 조립하여 구성될 수 있다. 도 7을 참조하면, 히터 프레임(310)과 배기 덕트(312a)(312b)가 4개의 조인트 브라켓(313)를 통해 조립되어 3개로 분할된 상태로 나타나 있다.
도 7에 도시된 바와 같이, 조인트 브라켓(313)은 서로 마주 대하는 양편의 히터 프레임(310)의 대응면을 밀착시킨 후 별도의 체결수단(미도시)을 통해 조여주는 것을 통해 조립할 수 있고, 분해 시 조인트 브라켓(313)을 체결하는 체결수단을 풀어주는 것을 통해 간단히 분해할 수 있다.
이를 통해, 히터 프레임(310)과 배기 덕트 일체형 구조물을 분할(예를 들면, 3구간 등)하여 열처리 오븐의 챔버(200)에 도킹/언도킹 시 순차적으로 히터 유닛(300)을 조립하여 설치할 수 있으므로 히터 프레임 사이즈에 의해 정해지지는 유지보수 공간의 크기를 축소할 수 있게 된다.
또한, 본 발명에 따른 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 포함하는 히터 유닛(300)은, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 히터 프레임(310)의 양측면에는 열처리 오븐의 내벽에 설치되는 슬라이딩 트랙을 따라 이동하는 구름 베어링(314)을 장착하여 구성될 수 있다.
이렇게, 히터 프레임(310)의 양측면에 장착된 구름 베어링(314)을 통해, 열처리 오븐의 챔버(200) 내부에 설치된 가이드 트랙(미도시)을 따라 슬라이딩 이동으로 챔버(200) 내부에 히터 유닛(300)을 용이하게 안착하거나 반대로 간단하게 반출할 수 있으므로, 히터 유닛(300)의 설치 및 보수 등의 유지보수 작업성을 개선할 수 있게된다.
또한, 본 발명에 따른 배기 덕트 일체형 히터 프레임을 포함하는 히터 유닛(300)은, 열처리 오븐(100)의 챔버(200)의 전면부와 후면부에 위치되는 배기 덕트(311a)(311b)의 양단에는 열처리 오븐(100)의 챔버(200) 로내 기류를 외부로 배기하는 배기관(317)을 장착하여 챔버내 기류를 히터 유닛의 프레임에 통합된 배기 덕트를 통해 외부로 배기하도록 구성될 수 있다.
이와 같이, 본 발명에 따른 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛(300)은, 열처리 오븐(100)의 챔버(200) 로내 히터 프레임을 배기 덕트와 통합, 일체형으로 구성함으로써 기존 대비 구조 단순화를 이루어 장비 제조 원가 절감과 배기 능력을 향상시키는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛(300)은, 열처리 오븐(100)의 챔버(200) 로내의 히터 프레임을 배기 덕트와 통합, 일체형으로 구성함으로써 부품 수량을 감소시켜 승온 시간이 짧아지고 챔버 중심부에 배기 유로를 위치시켜 상대적으로 냉각성능이 취약한 부분에 대한 직접 배기를 가능하도록 하는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛(300)은, 열처리 오븐(100)의 챔버(200) 로내의 히터 프레임을 배기 덕트와 통합, 일체형으로 구성하고, 히터 프레임을 복수로 나누어지는 분할 구조로 구성하여, 열처리 오븐 로내에 순차적으로 도킹(Docking)/언도킹(Undocking)이 가능하도록 함으로써 열처리 오븐의 후면의 도어측 유지보수 필요 공간을 축소할 수 있고, 이를 통해 공장내 열처리 오븐 장비 배치를 용이하게 하는 동시에 설치 및 유지보수 작업성을 개선할 수 있는 이점이 있다.
또한, 본 발명에 따른 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛(300)은, 열처리 오븐(100)의 챔버(200) 로내의 히터 프레임을 배기 덕트와 통합, 일체형으로 구성하고, 배기 덕트와 일체화되어 분할된 히터의 프레임 양측면에 베어링을 설치하여 챔버의 가이드 레일을 따라 슬라이딩 방식으로 도킹/언도킹을 수행하도록 함으로써 히터 유닛의 설치 작업성이 기존에 비해 향상되며 작업시간을 단축시키는 이점이 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일실시예를 참고로 설명되었으나 실시 예로 한정되지 않으며 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내에서 수정 및 변형하여 실시할 수 있으며 수정과 변형이 이루어진 것은 본 발명의 기술 사상에 포함된다.
100: 열처리 오븐 200: 챔버
300: 히터 유닛 310: 히터 프레임
310a: 보강대 310b: 배기 유로
310c: 배출공
311a. 311b: 배기 덕트(챔버의 전면/후면부 위치)
312a.312b: 배기 덕트(챔버의 측면부 위치)
313: 조인트 브라켓
314: 구름 베어링 315: 배기 유로
316: 배출공 317: 배기관

Claims (6)

  1. 기판의 가열 건조를 위해 기판을 수용하는 챔버를 구비하고, 상기 챔버 내에는 복수의 히터 유닛을 실장하여 상기 히터 유닛으로부터 발생되는 열을 통해 기판을 가열하거나 건조 시키는 열처리 오븐;
    상기 히터 유닛의 외곽 틀을 형성하도록 전면과 후면 그리고 양측면에 배치되는 히터 프레임; 및
    상기 열처리 오븐의 챔버 로내 기류를 외부로 배출하도록 상기 히터 프레임에 통합된 배기 덕트;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 배기 덕트의 하부에는 열처리 오븐의 챔버 로내 기류를 배기 유로를 통해 배기하는 다수의 배출공들이 형성된 것을 특징으로 하는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 히터 프레임의 하부에는 히터 프레임을 연결하여 보강하고 내부가 비워진 배기 유로를 구비하는 보강대가 장착되며, 상기 보강대에는 열처리 오븐의 챔버 로내 기류를 배기 유로를 통해 배기하는 다수의 배출공들이 형성된 것을 특징으로 하는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 히터 프레임의 양측면은 히터 프레임과 배기 덕트를 적어도 1개 이상으로 분할 가능하도록 조립하는 조인트 브라켓으로 조립된 것을 특징으로 하는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 히터 프레임의 양측면에는 열처리 오븐의 내벽에 설치되는 슬라이딩 트랙을 따라 이동하는 구름 베어링이 장착된 것을 특징으로 하는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 열처리 오븐의 챔버 로내 전면부와 후면부에 위치되는 배기 덕트의 양단에는 열처리 오븐의 챔버 로내 배기 기류를 외부로 배기하는 배기관이 장착된 것을 특징으로 하는 열처리 오븐의 배기 덕트 일체형 히터 유닛.
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