KR101334163B1 - 진공 건조 장치 - Google Patents

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Abstract

진공 건조 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 진공 건조 장치는, 압력차 및 열을 이용하여 피건조체를 건조하므로, 피건조체에 도포된 도포액에 혼합된 용매의 건조율이 우수하다. 많은 양의 용매가 건조되면, 도포액이 내부까지 경화되므로, 도포액이 일측으로 쏠리는 현상이나 도포액에 잔존하는 용매로 인해 기공이 발생하는 문제점이 감소한다. 따라서, 본 발명에 따른 진공 건조 장치에서 건조된 피건조체는 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.

Description

진공 건조 장치 {VACUUM DRY APPARATUS}
본 발명은 기판에 도포되는 도포액에 함유된 용매를 진공 및 열을 이용하여 건조시키는 진공 건조 장치에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 디스플레이 또는 FED(Field Emission Display) 등에 사용되는 평판표시소자용 기판에는 포토레지스트 등과 같은 도포액이 도포된다. 이때, 기판에 도포된 도포액이 경화되지 않은 상태에서 기판을 이송하면, 도포액이 일측으로 쏠리는 현상이 발생한다.
이러한 문제점을 해소하기 위하여, 도포액에 솔벤트 등과 같은 용매를 섞어서 도포한 다음, 용매를 건조시켜 도포액을 가경화한 다음 기판을 이송하면, 도포액이 일측으로 쏠리는 현상이 방지된다.
그런데, 도포액을 가경화하기 위해서는 용매를 건조시켜야 한다. 이러한 이유로, 도포액에 함유된 용매를 압력차를 이용하여 강제로 건조시켜 제거하는 진공 건조 장치가 개발되어 사용되고 있다.
일반적으로, 진공 건조 장치는 상호 결합되어 기판이 로딩되어 건조되는 밀폐 공간인 챔버를 형성하는 하부하우징과 상부하우징을 가진다. 상기 하부하우징은 고정되고, 상기 상부하우징은 상기 하부하우징의 상측에서 승강가능하게 설치된다. 상기 상부하우징이 하강하여 상기 하부하우징에 실링 결합되면, 상기 하부하우징과 상기 상부하우징 사이에 상기 챔버가 형성된다.
종래의 진공 건조 장치는 압력차만을 이용하여 솔벤트 등과 같은 용매를 건조시키므로, 용매의 건조효율이 저하된다.
상세히 설명하면, 370 x 470 ㎜의 2세대 기판에 12.5g의 용매가 혼합된 도포액을 도포한 후, 챔버의 압력을 10 torr로 유지하고, 5분 동안 감압하여 건조하였다.
이때, 건조된 용매의 양은 건조하기 전의 기판의 무게와 건조한 후의 기판의 무게 차를 비교하여 계산한 것으로, 기판을 건조하기 전의 무게와 건조한 후의 무게에 차이가 발생하는 것은 도포액에 혼합된 용매의 건조로 인한 요인밖에 없다.
종래의 진공 건조 장치에서 건조된 용매의 양을 보인 표
챔버 압력(torr) 건조시간 (min) 도포액에 혼합된
용매의 양(g)		 건조된 용매의 양(g)
10 5 12.5 0.42
표1에 표시된 바와 같이, 도포액에 혼합된 용매는 3.36％ 정도 건조되어 배출되었다. 즉, 종래의 진공 건조 장치를 이용하여 용매를 건조할 경우, 혼합된 용매에 대한 건조된 용매의 비율이 15％ 이하였다.
이는, 도포액의 내부가 경화되지 못한 것을 의미하므로, 도포액의 내부에는 일측으로 쏠리는 현상이 발생하고, 도포액에 잔존하는 용매로 인해 기공이 발생하는 등, 기판의 신뢰성이 저하되는 단점이 있었다.
진공 건조 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 10-2011-0077338호 등에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 진공과 열을 이용하여 많은 양의 용매를 건조함으로써, 피건조되는 제품의 신뢰성을 향상시킬 수 있는 진공 건조 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 건조 장치는, 본체; 상기 본체에 설치되며, 로딩된 피건조체가 압력차에 의하여 건조되는 챔버를 형성하는 하우징; 상기 하우징의 내부에 설치되어 상기 피건조체를 가열하는 히터를 포함한다.
본 발명에 따른 진공 건조 장치는, 압력차 및 열을 이용하여 피건조체를 건조하므로, 피건조체에 도포된 도포액에 혼합된 용매의 건조율이 우수하다. 많은 양의 용매가 건조되면, 도포액이 내부까지 경화되므로, 도포액이 일측으로 쏠리는 현상이나 도포액에 잔존하는 용매로 인해 기공이 발생하는 문제점이 감소한다. 따라서, 본 발명에 따른 진공 건조 장치에서 건조된 피건조체는 신뢰성이 향상되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 건조 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 하우징의 사시도.
도 3은 도 2의 분리 사시도.
도 4는 도 3의 저면 사시도.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 건조 장치의 히터의 사시도.
도 6a는 도 2의 결합 단면도.
도 6b는 도 6a의 "A"부 확대도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 건조 장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 건조 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 하우징의 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 진공 건조 장치는 외관을 형성하는 본체(110)를 포함하고, 본체(110)의 내부에는 하우징(120)이 설치된다. 하우징(120)의 내부에는 평판표시소자용 기판 등과 같은 피건조체(50)(도 3 참조)가 로딩되어 건조되는 밀폐된 공간인 챔버(120a)가 형성된다.
피건조체(50)에는 포토레지스트 등과 같은 도포액이 도포되고, 도포액에는 솔벤트 등과 같은 용매가 함유된다. 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되면, 챔버(120a)가 감압되어 진공 상태가 되고, 이로 인해 피건조체(50)에 도포된 도포액에 함유된 용매는 압력차에 의하여 강제로 건조되어 하우징(120)의 외측으로 배출된다.
하우징(120)은 본체(110)에 고정된 하부하우징(121)과 하부하우징(121) 상측 본체(110)의 부위에 지지되어 승강가능하게 설치된 상부하우징(125)을 갖는다. 상부하우징(125)은 본체(110)에 고정된 모터 또는 실린더 등과 같은 구동수단(131)에 의하여 승강된다.
상부하우징(125)이 하강하면, 상부하우징(125)과 하부하우징(121)이 실링 결합되어 밀폐된 챔버(120a)가 형성된다. 그리고, 상부하우징(125)이 상승하면, 상부하우징(125)과 하부하우징(121)은 이격되고, 이로 인해 챔버(120a)는 개방된다. 챔버(120a)가 개방되면, 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되거나, 챔버(120a)로부터 언로딩된다.
그리고, 본체(110)의 일측에는 챔버(120a)가 밀폐되었을 때, 챔버(120a)를 진공 상태로 감압하기 위한 진공펌프 등과 같은 펌핑수단(미도시)이 설치된다. 상기 펌핑수단은 피건조체(50)의 균일한 건조를 위하여 하부하우징(121)의 하면 및 상부하우징(125)의 상면과 각각 연통되어 챔버(120a)를 감압하는 것이 바람직하다.
피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되었을 때, 피건조체(50)가 하부하우징(121)의 내부 하면과 접촉하면, 로봇아암(미도시)으로 피건조체(50)를 지지하여 피건조체(50)를 챔버(120a)에 로딩하거나, 피건조체(50)를 챔버(120a)로부터 언로딩할 때, 피건조체(50)와 하부하우징(121)의 내부 하면 사이에는 간격이 없으므로, 불편하다.
이로 인해, 피건조체(50)를 하부하우징(121)의 내부 하면과 이격시켜 지지하기 위한 복수의 지지핀(140)(도 3 참조)이 하부하우징(121)의 하측에 승강가능하게 설치된다.
지지핀(140)은 하부하우징(121)의 하측에 승강가능하게 설치된 승강판(150)(도 4 참조)에 하단부가 결합되어 승강판(150)이 승강함에 따라 승강한다. 지지핀(140)은 하부하우징(121)의 하면을 관통하여 챔버(120a)를 출입하며, 상단부에 피건조체(50)가 탑재 지지된다.
지지핀(140)이 승강가능하게 설치되므로, 지지핀(140)을 필요에 따라 하부하우징(121)의 하면 상측으로 돌출시킬 수 있다. 그러면, 지지핀(140)이 하부하우징(121)의 하면 상측으로 항상 돌출된 구조에 비하여, 챔버(120a)의 공간을 줄일 수 있다.
승강판(150) 하측의 본체(110)의 부위에는 받침판(155)(도 4 참조)이 고정되고, 받침판(155)에는 승강판(150)을 승강시키기 위한 모터 또는 실린더 등과 같은 구동수단(미도시)이 설치된다.
지지핀(140)이 하부하우징(121)의 하면을 관통하므로, 지지핀(140)이 관통하는 하부하우징(121)의 하면 부위를 통하여 챔버(120a)의 진공이 누설될 수 있다. 이를 방지하기 위하여, 하부하우징(121)의 하면 외측 부위에는 신축관(160)(도 4 참조)이 설치된다.
압력차만을 이용하여 상기 용매를 건조시킬 경우에는 상기 도포액에 혼합된 상기 용매의 건조율이 낮다. 이로 인해, 본 실시예에 따른 진공 건조 장치는 압력차뿐만 아니라 열을 이용하여 상기 용매를 건조시킬 수 있도록 히터(170)가 설치된다.
히터(170)에 대하여 도 3 내지 도 5를 참조하여 설명한다. 도 3은 도 2의 분리 사시도이고, 도 4는 도 3의 저면 사시도이며, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 진공 건조 장치의 히터의 사시도이다.
도시된 바와 같이, 히터(170)는 판 형상으로 형성되어 하우징(120)의 내부에 설치되며 피건조체(50)를 가열한다. 더 구체적으로 설명하면, 히터(170)는 하부하우징(121)의 내부 하면 및 상부하우징(125)의 내부 상면에 각각 설치된다.
그리고, 히터(170)는 소정 형상을 가지는 복수개의 단위히터(170a, 170b, 170c, ......)가 구획되어 형성되며, 각 단위히터(170a, 170b, 170c, ......)는 각각 독립적으로 제어된다. 각 단위히터(170a, 170b, 170c, ......)를 독립적으로 제어할 수 있으므로, 필요에 따라 피건조체(50)의 부위별로 상이한 온도로 가열할 수 있다.
각 단위히터(170a, 170b, 170c, ......)는 제 1 보호판(171), 제 1 보호판(171)에 결합된 제 2 보호판(173) 및 제 1 보호판(171)과 제 2 보호판(173) 사이에 개재된 코일(175)을 포함한다.
각 단위히터(170a, 170b, 170c, ......)의 각각의 코일(175)은 균일한 형태로 형성될 수도 있고, 불균일한 형태로 형성될 수도 있다. 그리고, 코일(175)은 용매인 솔벤트와 반응하지 않는 인크로이드(Incroid) 재질로 형성되는 것이 바람직하다.
압력차와 열을 이용한 본 실시예에 따른 진공 건조 장치를 이용하여 피건조체(50)를 건조하였을 때, 건조된 상기 용매의 양에 대하여 설명한다.
370 x 470 ㎜의 2세대 기판에 12.5g의 용매가 혼합된 도포액을 도포하고, 챔버의 압력을 10 torr로 유지한 상태에서, 챔버의 분위기 온도를 30∼80℃로 각각 유지하면서, 피건조체(50)를 3∼5분 동안 각각 건조하였다.
이때, 건조된 용매의 양은 건조하기 전의 피건조체(50)의 무게와 건조한 후의 피건조체(50)의 무게 차를 비교하여 계산한 것으로, 피건조체(50)를 건조하기 전의 무게와 건조한 후의 무게에 차이가 발생하는 것은 상기 도포액에 혼합된 상기 용매의 건조로 인한 요인밖에 없다.
본 실시예에 따른 진공 건조 장치에서 건조된 용매의 양을 보인 표
구분 챔버 압력
(torr)		 도포액에 혼합된
용매의 양(g)		 챔버의 분위기 온도(℃) 가열 시간
(min)		 건조된
용매의 양(g)		 건조율
(％)
1




10




12.5		 30 5 4.50 36.0
2 40 5 4.85 38.8
3
50		 3 5.05 40.4
4 4 5.95 47.6
5 5 7.00 56.0
6
60		 3 8.50 68.0
7 4 9.40 75.2
8 5 9.19 73.5
9
70		 3 9.00 72.0
10 4 9.20 73.6
11 5 9.30 74.4
12
80		 3 9.50 76.0
13 4 9.40 75.2
14 5 9.38 75.0
표 2에 표시된 바와 같이, 챔버의 분위기 온도가 30℃이고 가열 시간이 5분인 경우 상기 용매는 4.50g 건조되었고, 챔버의 분위기 온도가 40℃이고 가열 시간이 5분인 경우 상기 용매는 4.85g 건조되었다.
그리고, 챔버의 분위기 온도를 50℃로 유지한 상태에서 3분, 4분 및 5분 동안 각각 가열한 경우 상기 용매는 5.05g, 5.95g 및 7.00g 각각 건조되었고, 챔버의 분위기 온도를 60℃로 유지한 상태에서 3분, 4분 및 5분 동안 각각 가열한 경우 상기 용매는 8.50g, 9.40g 및 9.19g 각각 건조되었다.
그리고, 챔버의 분위기 온도를 70℃로 유지한 상태에서 3분, 4분 및 5분 동안 각각 가열한 경우 상기 용매는 9.00g, 9.20g 및 9.30g 각각 건조되었고, 챔버의 분위기 온도를 80℃로 유지한 상태에서 3분, 4분 및 5분 동안 각각 가열한 경우 상기 용매는 9.50g, 9.40g 및 9.38g 각각 건조되었다.
즉, 본 실시예에 따른 진공 건조 장치를 이용하여 피건조체(50)를 건조하였을 때, 상기 용매의 건조율은 36∼76％로 종래의 진공 건조 장치에 비하여 건조율이 우수하였다.
표 2에 표시되지는 않았으나, 모든 조건을 동일하게 한 상태에서 챔버의 분위기 온도를 20℃ 로 한 경우 및 모든 조건을 동일하게 한 상태에서 가열 시간을 1분으로 한 경우도 건조율이 35％ 이상 나왔다.
그리고, 모든 조건을 동일하게 한 상태에서 챔버의 압력을 0.1 torr 한 경우에는 챔버의 압력이 10 torr 보다 더 낮으므로, 표 2에 표시된 경우 보다 더 우수한 건조율이 나왔다.
그리고, 챔버의 분위기 온도가 80℃ 이면, 히터(170)의 온도는 그 이상의 온도로 가열되어야 함은 당연하다.
본 실시예에 따른 진공 건조 장치는 상기 용매의 건조율이 우수하다. 이는, 피건조체(50)에 도포된 상기 도포액이 내부까지 경화된 것을 의미하므로, 상기 도포액이 일측으로 쏠리는 현상이나 상기 도포액에 잔존하는 용매로 인해 기공이 발생하는 문제점이 감소한다.
상기 용매는 온도차뿐만 아니라 열에 의하여 건조되어 배출되므로, 상기 용매는 열에 의하여 기화된 후 응축될 수 있다. 그러면, 응축된 상기 용매가 피건조체(50)로 낙하되어 피건조체(50)를 손상시킬 수 있다.
이를 방지하기 위하여, 본 실시예에 따른 진공 건조 장치는 기화된 상기 용매가 하우징(120)의 측면에서 응축되게 한 후, 피건조체(50)의 외면 외측으로 낙하될 수 있도록 구성된다.
응축된 상기 용매가 피건조체(50)의 외면 외측으로 낙하되는 구성을 도 6a 및 도 6b를 참조하여 설명한다. 도 6a는 도 2의 결합 단면도이고, 도 6b는 도 6a의 "A"부 확대도이다.
도시된 바와 같이, 하우징(120)의 내부 중앙부측 온도는 내부 측면측 온도 보다 높게 형성된다. 즉, 하부하우징(121) 및 상부하우징(125)의 내부 측면측 온도는 내부 중앙부측 온도보다 낮게 형성된다. 이는 각 단위히터(170a, 170b, 170c, ......)의 코일(175)을 각각 독립적으로 제어할 수 있으므로 가능하다.
그러면, 기화된 상기 용매는 온도가 낮은 하우징(120)의 측면측으로 이동하고, 하우징(120)의 측면측 온도가 소정 이하이면, 응축된다. 하부하우징(121)의 측면측에서 응축된 상기 용매는 하부하우징(121)의 내부 하면 테두리부측으로 유입된 후, 외부로 배출된다. 이때, 하부하우징(121)의 내부 하면 테두리부측으로 유입된 응축된 상기 용매가 히터(170)와 하부하우징(121) 사이로 유입될 수 있으므로, 하부하우징(121)에 설치된 히터(170)는 하부하우징(121)의 내부 하면과 이격되는 것이 바람직하다.
그리고, 상부하우징(125)의 내부 측면에는 기화된 후 응축된 상기 용매가 맺히는 펜스(Fence)(180)가 설치되고, 펜스(180)에 맺힌 응축된 상기 용매는 하부하우징(121)의 내부 측면과 히터(170)의 외면 사이로 낙하하여 하부하우징(121)의 내부 하면 테두리부측으로 유입된 후, 외부로 배출된다.
펜스(180)의 하단면(下端面)에서 낙하되는 응축된 상기 용매에 의하여 피건조체(50)가 손상되는 것을 방지하기 위하여, 하부하우징(121)의 내부 측면과 히터(170)의 외면 사이에는 간격(121a)이 형성되고, 간격(121a)과 펜스(180)의 하단면(下端面)은 대향하는 것이 바람직하다.
그리고, 간격(121a)과 대향하는 하부하우징(121)의 내부 하면에는 단면(斷面)이 홈 형상인 안내로(122)가 형성된다. 그러면, 하부하우징(121)의 내부 하면 테두리부측으로 유입된 응축된 상기 용매가 안내로(122)에 유입되어 저장되므로, 하부하우징(121)의 내부 하면을 따라 이동하는 것이 방지된다.
안내로(122)는 하우징(120)의 내부를 감압하는 상기 펌핑수단과 연통되며, 안내로(122)에 저장된 응축된 상기 용매는 상기 펌핑수단에 의하여 하부하우징(121)의 외측으로 배출된다.
따라서, 기화된 후 응축된 상기 용매에 의하여 피건조체(50)가 손상되는 것이 방지된다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하여 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
110: 본체
120: 하우징
170: 히터

Claims (17)

  1. 본체;
    상기 본체에 고정된 하부하우징, 상기 하부하우징 상측 부위의 상기 본체에 지지되어 승강가능하게 설치되고 승강함에 따라 상기 하부하우징과 분리되거나 상기 하부하우징에 결합되는 상부하우징을 포함하며, 로딩된 피건조체가 압력차에 의하여 건조되는 챔버를 형성하는 하우징;
    상기 하부하우징의 내부 하면 및 상기 상부하우징의 내부 상면에 각각 설치되어 상기 피건조체를 가열하는 히터;
    상기 상부하우징의 내부 측면에 설치된 펜스(Fence)를 포함하며,
    상기 피건조체에는 용매가 혼합된 도포액이 도포되고,
    기화된 후 응축된 상기 용매는 상기 펜스에 맺혀서 상기 히터의 외면과 상기 하부하우징 내부 측면 사이로 낙하하여 상기 하부하우징의 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 용매는 솔벤트이고,
    상기 용매는 압력차 및 열에 의하여 건조되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  3. 삭제
  4. 제2항에 있어서,
    상기 히터는 판 형상으로 형성된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 히터는 소정 형상을 가지는 복수개의 단위히터가 구획되어 형성된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 단위히터는 각각 독립적으로 제어되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    각각의 상기 단위히터는 제 1 보호판, 상기 제 1 보호판에 결합된 제 2 보호판 및 상기 제 1 보호판과 상기 제 2 보호판 사이에 개재된 코일을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    각각의 상기 단위히터의 상기 코일은 균일한 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  9. 제7항에 있어서,
    각각의 상기 단위히터의 상기 코일은 불균일한 형태를 가지는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 코일의 재질은 인크로이드(Incroid)인 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 챔버의 압력은 0.1∼10 torr이고,
    상기 챔버의 분위기 온도는 20∼80℃ 이며,
    상기 피건조체는 1∼5분 동안 가열되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 하부하우징 및 상기 상부하우징의 내부 측면측 온도는 내부 중앙부측 온도보다 낮은 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  13. 삭제
  14. 제12항에 있어서,
    상기 하부하우징에 설치된 상기 히터는 상기 하부하우징의 내부 하면과 이격된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 하부하우징의 내부 측면과 상기 히터의 외면 사이에는 간격이 형성되고,
    상기 하부하우징과 상기 히터 사이의 상기 간격은 상기 펜스의 하단면(下端面)과 대향하는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 하부하우징의 내부 하면에는 상기 펜스에서 낙하되어 상기 하부하우징과 상기 히터 사이의 상기 간격을 통과하는 응축된 상기 용매가 유입되는 단면(斷面)이 홈 형상인 안내로가 형성된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 하부하우징의 내부 하면으로 낙하한 응축된 상기 용매는 상기 하우징의 내부를 감압하는 펌핑수단에 의하여 상기 하부하우징의 외부로 배출되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
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