KR101297689B1 - 진공 건조 장치 - Google Patents

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Abstract

진공 건조 장치가 개시된다. 본 발명에 따른 진공 건조 장치는, 고정된 하부하우징과 승강가능하게 설치된 상부하우징에 의하여 밀폐된 챔버가 형성된 상태에서, 챔버를 감압하면, 압력차에 의하여 상부하우징이 더 하강하므로, 상부하우징과 상부하우징을 승강시키기 위한 부품들이 손상되는 것이 방지되는 효과가 있다. 그리고, 압력차에 의하여 상부하우징이 하강하면, 상부하우징이 실링부재에 더욱 밀착되므로, 챔버가 더욱 견고하게 실링되는 효과가 있다.

Description

진공 건조 장치 {VACUUM DRY APPARATUS}
본 발명은 압력차를 이용하여 기판을 건조하는 진공 건조 장치에 관한 것이다.
LCD(Liquid Crystal Display), OLED(Organic Light Emitting Diode) 또는 FED(Field Emission Display) 등에 사용되는 평판표시소자용 기판에는 포토레지스트 등과 같은 도포액이 도포된다. 이때, 기판에 도포된 도포액이 경화되지 않은 상태에서 기판을 이송하면, 도포액이 일측으로 쏠리는 현상이 발생한다.
이러한 문제점을 해소하기 위하여, 도포액에 솔벤트 등과 같은 용매를 섞어서 도포한 다음, 용매를 건조시켜 도포액을 가경화한 다음 기판을 이송하면, 도포액이 일측으로 쏠리는 현상이 방지된다.
그런데, 도포액을 가경화하기 위해서는 용매를 건조시켜야 한다. 이러한 이유로, 도포액에 함유된 용매를 압력차를 이용하여 강제로 건조시키는 진공 건조 장치가 개발되어 사용되고 있다.
일반적으로, 진공 건조 장치는 기판이 로딩되어 건조되는 밀폐 공간인 챔버를 형성하는 하우징을 포함한다. 상기 하우징은 고정된 하부하우징과 승강가능하게 설치되어 상기 하부하우징에 접촉 또는 분리되는 상부하우징을 가진다.
그리하여, 실린더 또는 모터 등과 같은 구동수단에 의하여, 상기 상부하우징이 하강하여 상기 상부하우징의 하단면(下端面)이 상기 하부하우징이 상단면(上端面)에 설치된 실링부재에 접촉되면, 상기 하부하우징과 상기 상부하우징 사이에 상기 챔버가 형성되고, 상기 상부하우징이 상승하면 상기 상부하우징과 상기 하부하우징은 분리된다.
그리고, 상기 상부하우징이 상기 하부하우징에 접촉되면, 상기 구동수단이 정지하고, 이로 인해 상기 상부하우징은 자중에 의해서 상기 실링부재와 접촉한다. 그 후, 진공펌프 등과 같은 감압수단으로 상기 챔버를 감압한다.
상기와 같은 종래의 진공 건조 장치는, 그 구조상, 상기 상부하우징이 상기 실링부재와 접촉하면, 더 이상 하강하지 못한다. 즉, 상기 상부하우징이 자중에 의하여 상기 실링부재와 접촉한 상태에서, 상기 감압수단으로 상기 챔버를 감압하면, 상기 상부하우징은 더 하강하려고 함에도 불구하고, 하강하지 못한다.
그러면, 상기 상부하우징 또는 상기 상부하우징과 상기 구동수단을 연결하는 연결부품들이 손상될 우려가 있었다.
진공 건조 장치와 관련한 선행기술은 한국공개특허공보 10-2011-0077338호 등에 개시되어 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 승강가능하게 설치되어 고정된 하부하우징과의 사이에 챔버를 형성하는 상부하우징이, 챔버가 감압되면, 압력차에 의하여 하강할 수 있도록 유격을 허용하여 부품들이 손상되는 것을 방지할 수 있는 진공 건조 장치를 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공 건조 장치는, 본체; 상기 본체에 고정되며 상단면(上端面)에는 실링부재가 설치된 하부하우징; 상기 하부하우징 상측의 상기 본체에 승강가능하게 설치되며, 하강하면 자중에 의하여 하단면(下端面)이 상기 실링부재와 접촉하여 피건조체가 건조되는 공간인 챔버를 형성하고, 상승하면 상기 하부하우징과 분리되는 상부하우징; 상기 본체에 설치되어 상기 하부하우징을 승강시키는 구동수단; 상기 본체의 일측에 설치되며, 상기 상부하우징이 자중에 의하여 상기 실링부재에 접촉되면, 상기 챔버를 감압하는 감압수단; 상기 감압수단에 의하여 상기 챔버가 감압되면, 상기 상부하우징이 더 하강할 수 있도록 유격(裕隔)을 허용하는 수단을 포함한다.
본 발명에 따른 진공 건조 장치는, 고정된 하부하우징과 승강가능하게 설치된 상부하우징에 의하여 밀폐된 챔버가 형성된 상태에서, 챔버를 감압하면, 압력차에 의하여 상부하우징이 더 하강하므로, 상부하우징과 상부하우징을 승강시키기 위한 부품들이 손상되는 것이 방지되는 효과가 있다.
그리고, 압력차에 의하여 상부하우징이 하강하면, 상부하우징이 실링부재에 더욱 밀착되므로, 챔버가 더욱 견고하게 실링되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진공 건조 장치의 사시도.
도 2는 도 1에 도시된 하우징 부위의 사시도.
도 3은 2에 도시된 하우징의 분리 사시도.
도 4는 도 2의 "A"부 확대 사시도.
도 5a 내지 도 5e는 도 2에 도시된 상부하우징의 동작을 설명하기 위한 개략 단면도.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 진공 건조 장치의 요부 개략 단면도.
도 7a 내지 도 7d는 도 6에 도시된 상부하우징의 동작을 설명하기 위한 개략 단면도.
후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시하여 도시한 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있도록 충분히 상세하게 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 상호 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 특정 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미가 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에 도시된 실시예들의 길이, 면적, 두께 및 형태는, 편의상, 과장되어 표현될 수도 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 따른 진공 건조 장치를 상세히 설명한다.
제 1 실시예
도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진공 건조 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 하우징 부위의 사시도이며, 도 3은 2에 도시된 하우징의 분리 사시도이다.
도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 진공 건조 장치는 외관을 형성하는 본체(110)를 포함하고, 본체(110)의 내부에는 하우징(120)이 설치된다. 하우징(120)의 내부에는 평판표시소자용 기판 등과 같은 피건조체(50)가 로딩되어 건조되는 밀폐된 공간인 챔버(120a)가 형성된다.
피건조체(50)에는 포토레지스트 등과 같은 도포액이 도포되고, 도포액에는 솔벤트 등과 같은 용매가 함유된다. 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되면, 챔버(120a)가 감압되어 진공 상태가 되고, 이로 인해 피건조체(50)에 도포된 도포액에 함유된 용매는 압력차에 의하여 강제로 증발된다.
하우징(120)은 본체(110)에 고정된 하부하우징(121)과 하부하우징(121) 상측의 본체(110)에 승강가능하게 설치된 상부하우징(125)을 갖는다. 상부하우징(125)이 하강하면, 상부하우징(125)의 하단면(下端面)이 하부하우징(121)의 상단면(上端面)에 설치된 실링부재(122)에 접촉되어 밀폐된 챔버(120a)가 형성된다. 실링부재(122)의 하측 부위는 하부하우징(121)의 상면에 형성된 삽입홈에 삽입되고, 상측 부위는 하부하우징(121)의 상단면 상측으로 노출된다.
그리고, 상부하우징(125)이 상승하면, 상부하우징(125)과 하부하우징(121)은 분리되고, 이로 인해 챔버(120a)는 개방된다. 챔버(120a)가 개방되면, 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되거나, 챔버(120a)로부터 언로딩된다.
상부하우징(125)은 본체(110)에 설치된 모터 또는 실린더 등과 같은 구동수단(130)에 의하여 승강된다.
상세히 설명하면, 본체(110)에 고정된 구동수단(130)에는 메인브라켓(133)이 결합되고, 메인브라켓(133)에는 제 1 브라켓(161)이 결합된다. 그리고, 제 1 브라켓(161)에는 상부하우징(125)에 결합된 제 2 브라켓(162)이 연결된다. 그리하여, 구동수단(130)에 의하여 메인브라켓(133)이 승강하면, 제 1 브라켓(161) → 제 2 브라켓(162)에 의하여 상부하우징(125)이 승강한다.
메인브라켓(133)은 본체(110)에 고정된 지지레일(135)에 의하여 안정되게 승강하며, 제 1 브라켓(161) 및 제 2 브라켓(162)에 대해서는 후술한다.
본체(110)의 일측에는 상부하우징(125)이 하강하여 밀폐된 챔버(120a)가 형성되었을 때, 챔버(120a)를 진공 상태로 감압하기 위한 진공펌프 등과 같은 감압수단(미도시)이 설치된다. 상기 감압수단은 피건조체(50)의 균일한 건조를 위하여 하부하우징(121)의 하면 복수의 부위 및 상부하우징(125)의 상면 복수의 부위와 각각 연통되어 챔버(120a)를 감압하는 것이 바람직하다.
피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되었을 때, 피건조체(50)가 하부하우징(121)의 내부 하면과 접촉하면, 로봇의 아암(미도시)으로 피건조체(50)를 지지하여 피건조체(50)를 챔버(120a)에 로딩하거나, 피건조체(50)를 챔버(120a)로부터 언로딩할 때, 피건조체(50)와 하부하우징(121)의 내부 하면 사이에는 간격이 없으므로, 불편하다.
그리고, 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되었을 때, 피건조체(50)가 하부하우징(121)의 내부 하면과 접촉하면, 상기 감압수단에 의한 하부하우징(121)의 하면 외측으로의 펌핑이 방해를 받을 수 있다.
이로 인해, 피건조체(50)가 챔버(120a)에 로딩되었을 때, 피건조체(50)를 하부하우징(121)의 내부 하면과 이격시켜 지지하기 위한 복수의 지지핀(140)이 승강가능하게 설치된다.
지지핀(140)은 하부하우징(121)의 하측에 승강가능하게 설치된 승강판(150)에 하단부가 설치되어, 승강판(150)이 승강함에 따라 승강한다. 즉, 지지핀(140)의 상단부측은 챔버(120a)를 출입하면서 챔버(120a)에 로딩된 피건조체(50)를 지지한다.
지지핀(140)이 승강가능하게 설치되므로, 지지핀(140)을 필요에 따라 하부하우징(121)의 하면 상측으로 돌출시킬 수 있다. 그러면, 지지핀(140)이 하부하우징(121)의 하면 상측으로 항상 돌출된 구조에 비하여, 챔버(120a)의 공간을 줄일 수 있다.
상부하우징(125)이, 구동수단(130)에 의하여 하강하여, 실링부재(122)와 접촉하면, 구동수단(130)은 정지한다. 그러면, 상부하우징(125)은 자중에 의하여 실링부재(122)와 접촉한다. 이러한 상태에서, 상기 감압수단에 의하여 챔버(120a)가 감압된다.
하부하우징(121)은 고정되어 있고, 상부하우징(125)은 승강가능하게 설치되어 있으므로, 챔버(120a)가 감압되면, 상부하우징(125)이 더 하강하려고 한다. 그런데, 상부하우징(125)이 하강하지 못하면, 상부하우징(125), 구동수단(130) 또는 상부하우징(125)과 구동수단(130)을 연결하는 연결부품들이 손상될 수 있다.
본 실시예에 따른 진공 건조 장치에는 상부하우징(125)이 자중에 의하여 실링부재(122)와 접촉한 상태에서, 상기 감압수단에 의하여, 챔버(120a)가 감압되면, 상부하우징(125)이 더 하강할 수 있도록 유격(裕隔)을 허용하는 수단이 설치된다.
상기 수단에 대하여 도 2, 도 4 및 도 5a를 참조하여 설명한다. 도 4는 도 2의 "A"부 확대 사시도이고, 도 5a는 도 2에 도시된 상부하우징의 동작을 설명하기 위한 개략 단면도이다.
도시된 바와 같이, 상기 수단은 제 1 브라켓(161), 제 2 브라켓(162), 연결부재(164), 제 1 지지부재(166) 및 제 2 지지부재(167)로 마련된다.
제 1 브라켓(161)은 구동수단(130)에 결합된 메인브라켓(133)에 결합되어, 구동수단(130)에 의하여 승강하며 제 1 관통공(161a)이 형성된다. 제 2 브라켓(162)은 상부하우징(125)에 결합되어 제 1 브라켓(161)의 상측에 위치되고, 제 1 관통공(161a)과 대향하는 제 2 관통공(162a)이 형성되며, 제 1 브라켓(161)에 의하여 승강하면서 상부하우징(125)을 승강시킨다.
연결부재(164)는 바 형상으로 형성되어 제 1 브라켓(161)과 제 2 브라켓(162)을 연결한다. 상세히 설명하면, 연결부재(164)의 하측 부위(164a)는 제 1 브라켓(161)의 내부에 위치되어 제 1 브라켓(161)에 지지되고, 상측 부위(164b)는 제 2 브라켓(162)의 내부에 위치되어 제 2 브라켓(162)에 지지되며, 중간 부위(164c)는 제 1 및 제 2 관통공(161a, 162a)을 관통하여 제 1 브라켓(161)과 제 2 브라켓(162)을 연결한다.
이때, 연결부재(164)의 중간 부위(164a)의 길이(L)는 제 1 브라켓(161)의 두께(t1)와 제 2 브라켓(162)의 두께(t2)를 합한 것보다 길게 형성되어, 상부하우징(125)의 승강방향과 동일한 방향으로 유동가능하게 설치된다. 그리하여, 연결부재(164)는, 제 1 브라켓(161) 및 제 2 브라켓(162)에 지지된 상태에서, [연결부재(164)의 중간 부위(164a)의 길이(L) - {제 1 브라켓(161)의 두께(t1) + 제 2 브라켓(162)의 두께(t2)}]만큼의 거리를 유동한다.
제 1 및 제 2 지지부재(166, 167)는 연결부재(164)의 하측 부위 외주면 및 상측 부위 외주면에 각각 결합되며, 제 1 브라켓(161) 및 제 2 브라켓(162)에 각각 걸려서 연결부재(164)가 제 1 브라켓(161)과 제 2 브라켓(162)에서 이탈하는 것을 방지한다.
연결부재(164)의 하측 부위 외주면과 제 1 지지부재(166)의 내주면에는 상호 맞물리는 치(齒)(미도시)가 각각 형성되고, 연결부재(164)의 상측 부위 외주면과 제 2 지지부재(167)의 내주면에는 상호 맞물리는 치(齒)(미도시)가 각각 형성된다. 그리하여, 제 1 지지부재(166) 또는 제 2 지지부재(167)를 정역회전시키면, 연결부재(164)의 중간 부위(164c)의 길이는 조절된다. 즉, 제 1 지지부재(166) 또는 제 2 지지부재(167)를 정역회전시키면, 연결부재(164)의 중간 부위(164c)의 길이가 조절되므로, 제 1 브라켓(161) 및 제 2 브라켓(162)에 지지된 연결부재(164)의 유동 거리가 조절된다.
연결부재(164)의 하측 부위 외주면 및 상측 부위 외주면에는 제 1 및 제 2 탄성부재(168, 169)가 각각 설치된다. 제 1 탄성부재(168)의 상면은 제 1 브라켓(161)과 접촉하고 하면은 제 1 지지부재(166)와 접촉하며, 제 2 탄성부재(169)의 하면은 제 2 브라켓(162)과 접촉하고 상면은 제 2 지지부재(167)와 접촉한다.
제 1 및 제 2 탄성부재(168, 169)는, 구동수단(130)에 의하여 상부하우징(125)이 승강할 때, 제 1 및 제 2 브라켓(161, 162)에 가해지는 충격 등을 흡수한다. 그리고, 제 1 탄성부재(168)는 금속제인 제 1 브라켓(161)과 제 1 지지부재(166)가 직접 접촉하는 것을 방지하고, 제 2 탄성부재(169)는 금속제인 제 2 브라켓(162)과 제 2 지지부재(167)가 직접 접촉하는 것을 방지한다.
필요에 따라, 제 1 및 제 2 지지부재(166, 167)는 각각 복수개 설치될 수 있다.
본 실시예에 따른 진공 건조 장치의 상부하우징(125)의 승강운동에 대하여 도 5a 내지 도 5e를 참조하여 설명한다. 도 5a 내지 도 5e는 도 2에 도시된 상부하우징의 동작을 설명하기 위한 개략 단면도이다.
도 5a에 도시된 바와 같이, 본체(110)(도 1 참조)에 고정된 하부하우징(121)의 상측에 상부하우징(125)이 위치되어, 하부하우징(121)과 상부하우징(125)이 분리된 상태를 최초의 상태라 가정한다. 최초의 상태에서는 연결부재(164)에 의하여 상호 연결된 제 1 브라켓(161)과 제 2 브라켓(162)이 상호 접촉되어 있다.
최초의 상태에서, 구동수단(130)(도 2 참조)을 구동시켜, 도 5b에 도시된 바와 같이, 상부하우징(125)의 하단면(下端面)이 하부하우징(121)의 상단면(上端面)에 설치된 실링부재(122)에 접촉될 때까지 메인브라켓(133)을 하강시킨다.
그리고, 상부하우징(125)의 하단면이 실링부재(122)에 접촉되면, 구동수단(130)은 정지한다. 구동수단(130)이 정지하면, 도 5c에 도시된 바와 같이, 상부하우징(125)은 자중에 의하여 실링부재(122)와 접촉하고, 메인브라켓(133)은 자중에 의하여 더 하측으로 하강한다. 메인브라켓(133)이 더 하측으로 하강할 수 있는 이유는, 제 1 브라켓(161)과 제 2 브라켓(162)이 상호 결합되어 있지 않고, 제 1 브라켓(161)과 제 2 브라켓(162)이 연결부재(164)에 의하여 상호 연결되어, 연결부재(164)의 중간 부위(164c)에서 상호 소정 거리 유동할 수 있기 때문이다.
그러면, 제 1 브라켓(161)도 메인브라켓(133)과 함께 하강하므로, 제 1 브라켓(161)과 제 2 브라켓(162)은 연결부재(164)의 중간 부위(164c)가 허용하는 유격(裕隔)만큼 간격을 가진다.
이후, 상기 감압수단에 의하여 챔버(120a)(도 1 및 도 2 참조)가 감압되면, 도 5d에 도시된 바와 같이, 압력차에 의하여 상부하우징(125)이 더 하강하여 실링부재(122)를 압착한다.
그리고, 피건조체(50)(도 3 참조)의 건조가 완료되면, 챔버(120a)가 승압되고, 구동수단(130)에 의하여 메인브라켓(133)이 상승하여, 도 5e에 도시된 바와 같이, 제 1 브라켓(161)이 제 2 브라켓(162)에 접촉한다. 그 후, 메인브라켓(133)이 더 상승하면, 도 5a에 도시된 최초의 상태로 복귀된다.
본 실시예에 따른 진공 건조 장치는, 상부하우징(125)과 하부하우징(121)에 의하여 밀폐된 챔버(120a)가 형성된 상태에서, 챔버(120a)를 감압하면, 압력차에 의하여 상부하우징(125)이 더 하강하므로, 상부하우징(125)과 상부하우징(125)을 승강시키기 위한 부품들이 손상되는 것이 방지된다.
그리고, 압력차에 의하여 상부하우징(125)이 하강하면, 상부하우징(125)이 실링부재(122)에 더욱 밀착되므로, 챔버(120a)가 더욱 견고하게 실링된다.
제 2 실시예
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 진공 건조 장치의 요부 개략 단면도로서, 도 4 및 도 5a와의 차이점만을 설명한다.
도시된 바와 같이, 상기 감압수단에 의하여, 챔버(220a)(도 7b 참조)가 감압되면, 상부하우징(225)이 더 하강할 수 있도록 유격(裕隔)을 허용하는 상기 수단은 제 1 브라켓(261), 제 2 브라켓(262), 연결부재(264), 제 1 지지부재(266) 및 제 2 지지부재(267)로 마련된다.
제 1 브라켓(261)은 구동수단(130)(도 2 참조)에 결합된 메인브라켓(233)에 결합되어, 구동수단(130)에 의하여 승강하며 제 1 관통공(261a)이 형성된다. 제 2 브라켓(262)은 상부하우징(225)에 결합되어 제 1 브라켓(261)의 하측에 위치되고, 제 1 관통공(261a)과 대향하는 제 2 관통공(262a)이 형성되며, 제 1 브라켓(261)에 의하여 승강하면서 상부하우징(225)을 승강시킨다.
그리고, 제 1 브라켓(261)과 제 2 브라켓(262)을 연결하는 연결부재(264)의 상측 부위(264a)는 제 1 브라켓(161)의 내부에 위치되어 제 1 브라켓(261)에 지지되고, 하측 부위(264b)는 제 2 브라켓(262)의 내부에 위치되어 제 2 브라켓(262)에 지지되며, 중간 부위(264c)는 제 1 및 제 2 관통공(261a, 262a)을 관통한다.
제 1 및 제 2 지지부재(266, 267)는 연결부재(264)의 상측 부위 외주면 및 하측 부위 외주면에 각각 결합되며, 제 1 브라켓(261) 및 제 2 브라켓(262)에 각각 걸려서 연결부재(264)가 제 1 브라켓(261)과 제 2 브라켓(262)에서 이탈하는 것을 방지한다.
제 1 탄성부재(268)는 연결부재(264)의 상측 부위 외주면에 설치되어 하면은 제 1 브라켓(261)과 접촉하고 상면은 제 1 지지부재(266)와 접촉한다. 그리고, 제 2 탄성부재(269)는 연결부재(264)의 하측 부위 외주면에 설치되어 상면은 제 2 브라켓(262)과 접촉하고 하면은 제 2 지지부재(267)와 접촉한다.
즉, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 진공 건조 장치는 제 1 브라켓(161)이 제 2 브라켓(162)의 하측에 위치된 것이고, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 진공 건조 장치는 제 1 브라켓(261)이 제 2 브라켓(262)의 상측에 위치된 것으로, 제 1 브라켓(161, 261)과 제 2 브라켓(162, 262)의 위치에 차이가 있고, 그 이외의 구성은 동일하다.
본 발명의 제 2 실시예에 따른 상부하우징(225)의 승강운동에 대하여 도 6 내지 7d를 참조하여 설명한다. 도 7a 내지 도 7d는 도 6에 도시된 상부하우징의 동작을 설명하기 위한 개략 단면도이다.
도 6에 도시된 바와 같이, 고정된 하부하우징(221)의 상측에 상부하우징(225)이 위치되어, 하부하우징(221)과 상부하우징(225)이 분리된 상태를 최초의 상태라 가정한다. 최초의 상태에서는 연결부재(264)에 의하여 상호 연결된 제 1 브라켓(261)과 제 2 브라켓(262)이 상호 이격되어 있다.
제 1 브라켓(261)과 제 2 브라켓(262)이 간격을 가지면서 이격될 수 있는 이유는, 제 1 브라켓(261)과 제 2 브라켓(262)이 연결부재(264)에 의하여 연결되어, 연결부재(264)의 중간 부위(264c)에서 상호 소정 거리 유동할 수 있기 때문이다.
최초의 상태에서, 구동수단(130)(도 2 참조)을 구동시켜, 도 7a에 도시된 바와 같이, 상부하우징(225)의 하단면(下端面)이 하부하우징(221)의 상단면(上端面)에 설치된 실링부재(222)에 접촉될 때까지 메인브라켓(233)을 하강시킨다.
그리고, 상부하우징(225)의 하단면이 실링부재(222)에 접촉되면, 구동수단(130)은 정지한다. 구동수단(130)이 정지하면, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상부하우징(225)은 메인브라켓(233)과 상부하우징(225)의 자중에 의하여 실링부재(222)와 접촉하고, 연결부재(264)는 제 2 브라켓(262)측으로 하강한다.
이후, 상기 감압수단에 의하여 챔버(220a)가 감압되면, 도 7c에 도시된 바와 같이, 압력차에 의하여 상부하우징(225)이 더 하강하여 실링부재(222)를 압착한다.
그리고, 피건조체(50)(도 3 참조)의 건조가 완료되면, 챔버(220a)가 승압되고, 구동수단(130)에 의하여 메인브라켓(233)이 상승하여, 도 7d에 도시된 바와 같이, 제 1 브라켓(261)과 제 2 브라켓(262)이 상호 분리된다. 그 후, 메인브라켓(233)이 더 상승하면, 도 6에 도시된 최초의 상태로 복귀된다.
본 발명은 상술한 바와 같이 바람직한 실시예를 예로 들어 도시하여 설명하였으나, 상기 실시예에 한정되지 아니하며 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형과 변경이 가능하다. 그러한 변형예 및 변경예는 본 발명과 첨부된 특허청구범위의 범위 내에 속하는 것으로 보아야 한다.
110: 본체
121: 하부하우징
125: 상부하우징
130: 구동수단
161: 제 1 브라켓
162: 제 2 브라켓
164: 연결부재
166: 제 1 지지부재
167: 제 2 지지부재

Claims (12)

  1. 본체; 상기 본체에 고정되며 상단면(上端面)에는 실링부재가 설치된 하부하우징; 상기 하부하우징 상측의 상기 본체에 승강가능하게 설치되며, 하강하면 자중에 의하여 하단면(下端面)이 상기 실링부재와 접촉하여 피건조체가 건조되는 공간인 챔버를 형성하고, 상승하면 상기 하부하우징과 분리되는 상부하우징; 상기 본체에 설치되어 상기 상부하우징을 승강시키는 구동수단; 상기 본체의 일측에 설치되며, 상기 상부하우징이 자중에 의하여 상기 실링부재에 접촉되면, 상기 챔버를 감압하는 감압수단을 포함하는 진공 건조 장치로서,
    상기 구동수단측에는 제 1 관통공이 형성된 제 1 브라켓이 결합되어 상기 구동수단에 의하여 승강하고,
    상기 상부하우징에는 상기 제 1 브라켓의 상측에 위치되고 상기 제 1 관통공과 대향하는 제 2 관통공이 형성되며, 상기 제 1 브라켓에 의하여 승강하면서 상기 상부하우징을 승강시키는 제 2 브라켓이 결합되며,
    하측 부위는 상기 제 1 브라켓의 내부에 위치되어 상기 제 1 브라켓에 지지되고, 상측 부위는 상기 제 2 브라켓의 내부에 위치되어 상기 제 2 브라켓에 지지되며, 중간 부위는 상기 제 1 및 제 2 관통공을 관통하여 상기 제 1 브라켓과 상기 제 2 브라켓을 연결함과 동시에 상기 상부하우징의 승강방향으로 유동가능하게 설치되어 상기 감압수단에 의하여 상기 챔버가 감압되면, 상기 상부하우징이 더 하강할 수 있도록 유격(裕隔)을 허용하는 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 연결부재의 중간 부위의 길이는 상기 제 1 브라켓의 두께와 상기 제 2 브라켓의 두께를 합한 것보다 길게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 연결부재의 하측 부위 및 상측 부위에는 상기 제 1 브라켓 및 제 2 브라켓에 각각 걸려서 상기 연결부재가 상기 제 1 브라켓과 상기 제 2 브라켓에서 이탈하는 것을 방지하는 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재가 각각 결합된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 연결부재의 하측 부위 외주면과 상기 제 1 지지부재의 내주면에는 상호 맞물리는 치(齒)가 각각 형성되고,
    상기 연결부재의 상측 부위 외주면과 상기 제 2 지지부재의 내주면에는 상호 맞물리는 치(齒)가 각각 형성되며,
    상기 제 1 지지부재 또는 상기 제 2 지지부재가 정역회전함에 따라 상기 연결부재의 중간 부위 길이는 조절되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 연결부재의 하측 부위에는 상면은 상기 제 1 브라켓과 접촉하고 하면은 상기 제 1 지지부재와 접촉하는 제 1 탄성부재가 설치되고,
    상기 연결부재의 상측 부위에는 하면은 상기 제 2 브라켓과 접촉하고 상면은 상기 제 2 지지부재와 접촉하는 제 2 탄성부재가 설치된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  7. 본체; 상기 본체에 고정되며 상단면(上端面)에는 실링부재가 설치된 하부하우징; 상기 하부하우징 상측의 상기 본체에 승강가능하게 설치되며, 하강하면 자중에 의하여 하단면(下端面)이 상기 실링부재와 접촉하여 피건조체가 건조되는 공간인 챔버를 형성하고, 상승하면 상기 하부하우징과 분리되는 상부하우징; 상기 본체에 설치되어 상기 상부하우징을 승강시키는 구동수단; 상기 본체의 일측에 설치되며, 상기 상부하우징이 자중에 의하여 상기 실링부재에 접촉되면, 상기 챔버를 감압하는 감압수단을 포함하는 진공 건조 장치로서,
    상기 구동수단측에는 제 1 관통공이 형성된 제 1 브라켓이 결합되어 상기 구동수단에 의하여 승강하고,
    상기 상부하우징에는 상기 제 1 브라켓의 하측에 위치되고, 상기 제 1 관통공과 대향하는 제 2 관통공이 형성되며, 상기 제 1 브라켓에 의하여 승강하면서 상기 상부하우징을 승강시키는 제 2 브라켓이 결합되며,
    상측 부위는 상기 제 1 브라켓의 내부에 위치되어 상기 제 1 브라켓에 지지되고, 하측 부위는 상기 제 2 브라켓의 내부에 위치되어 상기 제 2 브라켓에 지지되며, 중간 부위는 상기 제 1 및 제 2 관통공을 관통하여 상기 제 1 브라켓과 상기 제 2 브라켓을 연결함과 동시에 상기 상부하우징의 승강방향으로 유동가능하게 설치되어 상기 감압수단에 의하여 상기 챔버가 감압되면, 상기 상부하우징이 더 하강할 수 있도록 유격(裕隔)을 허용하는 연결부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 연결부재의 중간 부위의 길이는 상기 제 1 브라켓의 두께와 상기 제 2 브라켓의 두께를 합한 것보다 길게 형성된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 연결부재의 상측 부위 및 하측 부위에는 상기 제 1 브라켓 및 제 2 브라켓에 각각 걸려서 상기 연결부재가 상기 제 1 브라켓과 상기 제 2 브라켓에서 이탈하는 것을 방지하는 제 1 지지부재 및 제 2 지지부재가 각각 결합된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 연결부재의 상측 부위 외주면과 상기 제 1 지지부재의 내주면에는 상호 맞물리는 치(齒)가 각각 형성되고,
    상기 연결부재의 하측 부위 외주면과 상기 제 2 지지부재의 내주면에는 상호 맞물리는 치(齒)가 각각 형성되며,
    상기 제 1 지지부재 또는 상기 제 2 지지부재가 정역회전함에 따라 상기 연결부재의 중간 부위 길이는 조절되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 연결부재의 상측 부위에는 하면은 상기 제 1 브라켓과 접촉하고 상면은 상기 제 1 지지부재와 접촉하는 제 1 탄성부재가 설치되고,
    상기 연결부재의 하측 부위에는 상면은 상기 제 2 브라켓과 접촉하고 하면은 상기 제 2 지지부재와 접촉하는 제 2 탄성부재가 설치된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  12. 제6항 또는 제11항에 있어서,
    상기 제 1 지지부재와 상기 제 2 지지부재는 각각 복수개 설치된 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
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