KR101580645B1 - 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제1 단턱부를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버의 상기 제1 단턱부에, 제2 단턱부를 구비한 렉산(Lexan)이 복수의 결합볼트에 의해 나사결합되어, 상기 렉산이 상기 복수의 결합볼트를 따라 전체적으로 상측 방향 또는 하측 방향으로 평탄하게 이동될 수 있는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버에 관한 것으로, 제1 단턱부(110)를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)와; 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 제1 단턱부(110)에 대응되는 제2 단턱부(210)를 구비한 렉산(Lexan, 200); 및 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 상기 제1 단턱부(110)에, 상기 제2 단턱부(210)를 구비한 상기 렉산(200)을 나사결합시키기 위한 복수의 결합볼트(270);를 구비하여, 상기 렉산(200)이 상기 복수의 결합볼트(270)를 따라 전체적으로 상측 방향 또는 하측 방향으로 평탄하게 이동되는 것을 특징으로 한다.

Description

분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버{SAFETY COVER OF LOAD LOCK MODULE CHAMBER WITH SEPSRATED LEXAN}

본 발명은 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제1 단턱부를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버의 상기 제1 단턱부에, 제2 단턱부를 구비한 렉산(Lexan)이 복수의 결합볼트에 의해 나사결합되어, 상기 렉산이 상기 복수의 결합볼트를 따라 전체적으로 상측 방향 또는 하측 방향으로 평탄하게 이동될 수 있는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버에 관한 것이다.

일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스 등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상기 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Load Lock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 공정 챔버로 구성된다.

상기 로드락 챔버는 다수개의 처리 전 기판을 적재한 외부에 구비된 카세트에서 운송수단에 의해 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 한다.

상기 반송 챔버는 반송 로봇이 구비되어 있어, 처리 전 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 한다.

상기 공정 챔버는 진공 상태에서 플라즈마 등을 이용하여 기판상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 한다.

상기 로드락 챔버에는 그 내부를 진공 분위기로 형성하기 위한 진공 형성 장치(도면에 미도시)와, 대기압 분위기로 만들기 위한 대기압 형성 장치(도면에 미도시)가 구비되어 있다.

따라서, 상기 로드락 챔버는 계속하여 대기압 분위기와 진공 분위기를 오가면서 기판의 반입과 반출을 담당하므로 상기 로드락 챔버의 내부에 구비된 상기 진공 형성 장치 또는 대기압 형성 장치에 고장이 발생할 수 있다.

이러한 고장에 대비하여, 상기 진공 형성 장치 또는 대기압 형성 장치를 유지 보수하거나 교체를 할 때 상기 로드락 챔버의 내부를 개폐할 수 있도록 별도의 커버가 마련된다.

종래의 로드락 챔버와 커버의 재질은 양자가 모두 렉산으로 형성되어 있고 상기 커버가 로드락 챔버의 상부에 직접 결합되는 방식을 취하고 있어, 상기 진공 형성 장치의 작동시 상기 로드락 챔버 내부가 저압 상태로 변화됨에 따라, 외부와의 압력차에 의해 상기 로드락 챔버 및 대면적 커버의 각 변의 중심부가 상대적으로 취약해져서, 상기 로드락 챔버의 내부 방향으로 치우치는 현상이 발생 된다.

특히, 상기 커버와 상기 로드락 챔버와의 결합면의 일단과 타단은 상기 커버의 하방을 향한 처짐에 의해 서로 크기가 다른 압력을 가하게 된다.

한편, 대기압 형성 장치의 작동시 상기 로드락 챔버 내부가 고압 상태로 변화됨에 따라 외부와의 압력차에 의해 상기 로드락 챔버 및 대면적 커버의 각 변의 중심부가 상대적으로 취약하여 외부 방향으로 치우치는 현상이 발생 된다.

여기서, 상기 커버의 중심부가 하방으로 치우치면, 상기 로드락 챔버의 내측벽 상단 모서리부와 접촉하는 커버가 상기 로드락 챔버의 내측벽 상단 모서리부를 가압하게 되어 상기 커버와 로드락 챔버 둘다가 파손되는 결과를 초래한다.

따라서, 상기 로드락 챔버의 파손된 파티클(Particle)이 기판에 낙하하여, 기판의 공정불량이 발생하고, 공정 수율이 저하되면서, 생산성을 저하시키는 문제점이 있었다.

이러한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것이 한국 등록특허 제10-0974856호 이다.

도 1에 도시된 바와 같이, 상기 선행특허는 챔버와; 상기 챔버의 일측을 개폐하는 커버와; 상기 챔버와 상기 커버의 접촉을 방지하기 위해, 상기 챔버와 상기 커버 사이에는 댐퍼가 설치되어 있어, 상기 챔버와 커버의 접촉으로 인해 발생되는 파티클의 발생을 억제함으로써, 파티클로 인한 기판의 공정불량을 방지하여 공정 수율을 향상시킬 수 있다.

그러나, 선행특허는 상부가 개방된 로드락 챔버를 덮어 상면을 개폐하는 커버의 재질이 전체적으로 렉산으로 이루어져 있으며, 진공 형성 장치의 작동시 상기 로드락 챔버 내부가 저압 상태로 변화되면 상기 커버의 테두리부를 제외한 부분이 하방으로 쳐지고 이에 따라 상기 테두리부와 인접한 하방으로 쳐진 부분이 상기 로드락 챔버의 내측벽과 접촉하여 진공 분위기가 형성되게 되며, 대기압 형성 장치의 작동시 상기 로드락 챔버 내부가 고압 상태로 변화되면 상기 커버의 테두리부를 제외한 부분이 상방으로 들어 올려지고 이에 따라 상기 테두리부가 상기 로드락 챔버의 내측벽과 분리되어 대기압 분위기가 형성되게 되며, 이러한 과정을 무수히 반복하면서, 상기 커버의 테두리부 및 테두리부와 인접한 부분에 도 2a 내지 2c에 도시된 바와 같이 크랙이 발생하여 진공 분위기가 깨지거나, 상기 커버의 크랙으로 인해 발생된 파티클에 의해 기판의 공정불량이 발생하고, 공정 수율이 저하되면서, 생산성을 저하시키는 문제점이 여전하였다.

1. 한국 등록특허 제10-0974856호 "로드락 챔버" (등록일자 : 2010. 08. 03.)

따라서 본 발명의 목적은 상기와 같은 문제를 해결하기 위해 안출된 것으로, 제1 단턱부를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버의 상기 제1 단턱부에, 제2 단턱부를 구비한 렉산이 복수의 결합볼트에 의해 나사결합되어, 진공 형성 장치가 작동되면 렉산이 전체적으로 하측 방향으로 이동되어 렉산이 장착된 커버가 로드락 모듈 챔버와 밀착되고, 대기압 형성 장치가 작동되면 렉산이 전체적으로 상측 방향으로 이동되어 렉산이 장착된 커버가 로드락 모듈 챔버와 이격되게 됨으로써,

커버의 테두리부 및 테두리부와 인접한 부분에

렉산에 크랙이 발생하지 않아 렉산의 수명이 연장되며, 렉산의 크랙으로 인한 파티클이 발생하지 않아 공정 수율이 향상되고 이로 인해 생산성이 향상될 수 있는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버를 제공하고자 하는 것이다.

본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버는 제1 단턱부를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버와; 제2 단턱부를 구비하고, 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버의 중공과 제1 단턱부를 이용하여 상기 중공의 금속 재질의 커버에 장착되는 렉산; 및

상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버의 상기 제1 단턱부에, 상기 제2 단턱부를 구비한 상기 렉산을 나사결합시키기 위한 복수의 결합볼트;를 구비하여, 상기 렉산이 상기 복수의 결합볼트를 따라 전체적으로 상측 방향 또는 하측 방향으로 평탄하게 이동되는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버는 진공 형성 장치가 작동되면 렉산만이 전체적으로 하측 방향으로 이동되어 렉산이 장착된 커버가 로드락 모듈 챔버와 밀착되게 됨으로써, 로드락 모듈 챔버가 진공 분위기를 형성하고, 대기압 형성 장치가 작동되면, 렉산만이 전체적으로 상측 방향으로 이동되어 렉산이 장착된 커버가 로드락 모듈 챔버와 이격됨으로써 대기압 분위기를 형성하기에, 렉산에 크랙이 발생하지 않는다는 이점이 있다.

또한, 중공의 금속 재질로 형성된 커버의 제1 단턱부 상에 구비된 오링에 의해 기밀성이 향상된다는 이점이 있다.

또한, 렉산의 크랙에 의해 발생된 파티클로 인한 기판의 공정불량이 발생하지 않아 공정 수율이 향상되고 이로 인해 생산성이 향상된다는 이점이 있다.

또한, 렉산에 크랙이 발생하지 않아 렉산의 수명이 연장되고 내구성이 향상된다는 이점이 있다.

또한, 렉산이 중공의 금속 재질로 형성된 커버로부터 분리되기에, 렉산의 파손 및 변형이 발생 되었을 경우 용이하게 교체할 수 있는 이점이 있다.

도 1은 종래의 로드락 챔버의 커버의 사시도.
도 2a 내지 2c는 도 1에 도시된 커버에 발생된 크랙을 도시한 도시도.
도 3은 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버의 분해사시도.
도 4는 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버의 결합사시도.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버의 작동상태를 도시한 단면도.
도 6a 및 도 6b는 도 5의 요부의 확대 단면도.

이하, 도면을 참조한 실시 예들의 상세한 설명을 통하여 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버를 보다 상세히 기술하기로 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지기술 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략될 것이다. 그리고, 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 클라이언트나 운용자, 사용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

도면 전체에 걸쳐 같은 참조번호는 같은 구성 요소를 가리킨다.

도 3은 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버의 분해사시도이며, 도 4는 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버의 결합사시도이며, 도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버의 작동상태를 도시한 단면도이며, 도 6a 및 도 6b는 도 5의 요부의 확대 단면도이다.

도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버는 제1 단턱부(110)를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 상기 제1 단턱부(110)에, 제2 단턱부(210)를 구비한 렉산(200)이 복수의 결합볼트(270)에 의해 나사결합된다.

여기서, 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 제1 단턱부(110) 상에 오링(120)이 구비되어 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)와 렉산(200)과의 기밀성을 향상시킨다.

또한, 상기 렉산(200)의 일면의 가장자리에는 복수의 U자형 홀(230)이 형성되어 있다.

또한, 상기 복수의 U자형 홀(230)에는 상기 렉산(200)의 제2 단턱부(210)를 관통하여 상기 렉산(200)을 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 제1 단턱부(110)에 나사결합시키기 위한 복수의 결합볼트(270)가 삽입된다.

또한, 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 제1 단턱부(110)에는 상기 복수의 결합볼트(270)가 장착되기 위한 복수의 나사홈(150)이 대응되게 형성되어 있으며, 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)는 알루미늄 재질인 것이 바람직하다.

또한, 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 외측 일면에는 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)를 여닫기 위한 손잡이(도시되지 않음)가 장착되는 것이 바람직하다.

한편, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 상기 복수의 U자형 홀(230)은 상기 복수의 결합볼트(270)가 관통되게 상기 결합볼트(270)의 형상과 동일한 형상을 구비하여 위쪽은 넓고 아래쪽은 좁은 굴곡진 형태인데, 상기 결합볼트(270)의 헤드부의 하부과 상기 U자형 홀(230)의 굴곡부(240) 사이에는 스프링와셔(250)가 장착된다. 여기서, 상기 결합볼트(270)는 상기 나사홈(150)에 대응되게 하부에만 나사산이 형성되어 있다.

또한, 상기 굴곡부(240)에 장착된 스프링와셔(250)가 상기 복수의 결합볼트(270)의 헤드부의 하부의 일부를 감쌈으로써, 상기 결합볼트(270)의 헤드부는 상기 스프링와셔(250)의 팽창 또는 수축된 두께만큼 상기 굴곡부(240)와 이격되어 있으며, 상기 복수의 결합볼트(270)의 상단부에는 일자 또는 십자홈(260)이 형성되어 있어 일자 또는 십자 드라이버에 의해 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)에 나사결합되거나 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)로부터 분리된다.

또한, 상기 복수의 결합볼트(270)의 헤드부의 표면이 상기 렉산(200)에 형성된 복수의 U자형 홀(230)의 상면과 그 높이가 상호 동일하게 상기 복수의 U자형 홀(230)에 삽입되어 결합된다. 따라서, 상기 결합볼트(270)는 상기 렉산(200)이 상측 방향 또는 하측 방향으로 평탄하게 이동할 시에 렉산(200)의 이동을 가이드하는 역할을 한다.

이제, 도 5a 및 도 5b를 참조하여, 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버의 작동상태를 살펴보고자 한다.

도 5b에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버는 인입구를 통해 로드락 모듈 챔버의 내부로 기판이 이송된 후 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)가 로드락 모듈 챔버에 닫힌 상태에서, 진공 형성 장치가 작동되어 렉산(200)이 소정의 간격(예를 들어, 2~3mm)만큼 전체적으로 하측 방향으로 평탄하게 이동되어 렉산(200)이 결합된 커버(100)가 로드락 모듈 챔버와 밀착됨으로써 진공 분위기가 형성된다.

여기서, 상기 렉산(200)은 상기 복수의 결합볼트(270)에 의해 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)에 나사결합된 상태이며, 가이드 역할을 하는 결합볼트(270)를 따라 상기 렉산(200)이 전체적으로 하측 방향으로 소정의 간격만큼 평탄하게 이동된다. 이때, 상기 렉산(200)의 하측 방향으로의 이동거리만큼 상기 렉산(200)의 복수의 U자형 홀(230)에 형성된 굴곡부(240)에 장착된 스프링와셔(250)가 팽창된다(도 6b 참조).

이와 반대로, 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)가 로드락 모듈 챔버에 닫힌 상태에서, 대기압 형성 장치가 작동되어 렉산(200)이 전체적으로 상측 방향으로 소정의 간격만큼 평탄하게 이동되어 렉산(200)이 결합된 커버(100)가 로드락 모듈 챔버와 이격됨으로써 대기압 분위기가 형성된다.

여기서, 상기 렉산(200)은 상기 복수의 결합볼트(270)에 의해 상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)에 나사결합된 상태이며, 가이드 역할을 하는 결합볼트(270)를 따라 상기 렉산(200)이 전체적으로 상측 방향으로 소정의 간격만큼 평탄하게 이동된다. 이때, 상기 렉산(200)의 상측 방향으로의 이동거리만큼 상기 렉산(200)의 복수의 U자형 홀(230)에 형성된 굴곡부(240)에 장착된 스프링와셔(250)가 수축된다(도 6a 참조).

전술된 바와 같은 본 발명에 따른 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버는 진공 형성 장치가 작동되면 렉산만이 전체적으로 하측 방향으로 평탄하게 이동되어 렉산이 장착된 커버가 로드락 모듈 챔버와 밀착되게 됨으로써, 로드락 모듈 챔버가 진공 분위기를 형성하고, 대기압 형성 장치가 작동되면, 렉산만이 전체적으로 상측 방향으로 평탄하게 이동되어 렉산이 장착된 커버가 로드락 모듈 챔버와 이격됨으로써 대기압 분위기를 형성하기에, 렉산에 크랙이 발생하지 않는다. 또한, 중공의 금속 재질로 형성된 커버의 제1 단턱부 상에 구비된 오링에 의해 기밀성이 향상된다. 또한, 렉산의 크랙에 의해 발생된 파티클로 인한 기판의 공정불량이 발생하지 않아 공정 수율이 향상되고 이로 인해 생산성이 향상된다. 또한, 렉산에 크랙이 발생하지 않아 렉산의 수명이 연장되고 내구성이 향상된다. 또한, 렉산이 중공의 금속 재질로 형성된 커버로부터 분리되기에, 렉산의 파손 및 변형이 발생 되었을 경우 용이하게 교체할 수 있다.

이상과 같이 본 발명은 양호한 실시 예에 근거하여 설명하였지만, 이러한 실시 예는 본 발명을 제한하려는 것이 아니라 예시하려는 것이므로, 본 발명이 속하는 기술분야의 숙련자라면 본 발명의 기술사상을 벗어남이 없이 위 실시 예에 대한 다양한 변화나 변경 또는 조절이 가능할 것이다. 그러므로, 본 발명의 보호 범위는 본 발명의 기술적 사상의 요지에 속하는 변화 예나 변경 예 또는 조절 예를 모두 포함하는 것으로 해석되어야 할 것이다.

100: 커버 110: 제1 단턱부
120: 오링 140: 내측평면
150: 나사홈 200: 렉산
210: 제2 단턱부 230; U자형 홀
240: 굴곡부 250: 스프링와셔
260: 일자 또는 십자홈 270: 결합볼트

Claims (5)

1. 제1 단턱부(110)를 구비한 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)와;
   상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 제1 단턱부(110)에 대응되는 제2 단턱부(210)를 구비한 렉산(Lexan, 200); 및
   상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 상기 제1 단턱부(110)에, 상기 제2 단턱부(210)를 구비한 상기 렉산(200)을 나사결합시키기 위한 복수의 결합볼트(270);를 구비하여, 상기 렉산(200)이 상기 복수의 결합볼트(270)를 따라 전체적으로 상측 방향 또는 하측 방향으로 평탄하게 이동되는 것을 특징으로 하는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버.
   
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 제1 단턱부(110) 상에 오링(120)이 구비된 것을 특징으로 하는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버.
   
3. 청구항 1에 있어서,
   상기 렉산(200)의 일면의 가장자리에는 상기 복수의 결합볼트(270)를 수용하는 U자형 홀(230)이 형성되고,
   상기 복수의 결합볼트(270)는 하부에만 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버.
   
4. 청구항 3에 있어서,
   상기 중공의 금속 재질로 형성된 커버(100)의 제1 단턱부(110)에는 상기 복수의 결합볼트(270)가 장착되기 위한 복수의 나사홈(150)이 형성된 것을 특징으로 하는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버.
   
5. 청구항 3에 있어서,
   상기 복수의 U자형 홀(230)은 굴곡부(240)를 구비하고;
   상기 굴곡부(240) 상에는 스프링와셔(250)가 장착된 것을 특징으로 하는 분리되는 렉산을 구비한 로드락 모듈 챔버의 안전커버.

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