KR20090088731A - 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자제조장비 - Google Patents

리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자제조장비 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading) 시키는 데 사용되는 리프트 핀(lift pin)의 높이를 용이하게 조정할 수 있도록 한 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비에 관한 것이다.
여기서, 리프트 핀 높이 조정장치는 핀 플레이트(pin plate)에 끝 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 회전조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정볼트와, 이 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.
기판, 높이 조정, 리프트 핀, 볼트, 스테이지 평판표시소자, 플레이트, 탄성

Description

리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비{Device for adjusting height of lift pin and FPD manufacturing machine having the same}
본 발명은 반도체(semiconductor), 평판표시소자(flat panel display ; FPD) 등을 만드는 장비의 스테이지(stage)에 기판을 로딩/언로딩(loading/unloading) 하는 데에 사용되는 리프트 핀(lift pin)의 높이를 간편하면서도 정밀하게 조정할 수 있도록 한 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조장비, 평판표시소자 제조장비 등은 웨이퍼(wafer)나 글라스(glass)와 같은 기판을 스테이지의 윗면에 로딩/언로딩 하기 위한 리프트 핀을 복수 개 가지며, 이 리프트 핀은 핀 플레이트(pin plate)에 의하여 동시에 작동된다.
이와 같은 리프트 핀과 핀 플레이트는 반도체 제조장비든지 평판표시소자 제조장비든지 모두 동일하거나 유사한 방식으로 적용되는 것으로, 이하에서는 리프트 핀, 핀 플레이트 그리고 이 둘과 관련 있는 구성에 관하여 이들이 평판표시소자 제조장비에 적용된 것을 예로 들어 종래기술을 살펴보기로 한다.
최근, 널리 보급되고 있는 평판표시소자로는 액정디스플레이(liquid crystal display ; LCD), 유기발광 다이오드(organic light emitting diodes ; OLED), 플라즈마 표시장치(plasma display panel ; PDP) 등이 있다. 그리고 이들 평판표시소자를 제조하는 장비는 진공 상태에서 작업하는 장비가 주로 사용되는 바, 일반적으로 공정챔버(process chamber), 로드 록 챔버(load lock chamber), 반송챔버(transfer chamber) 등이 사용된다.
공정챔버는 진공 분위기 하에서 플라즈마나 열에너지를 이용, 기판을 식각하는 등 기판의 표면을 처리하는 역할을 한다. 로드 록 챔버는 대기압과 진공 상태를 번갈아 가면서 외부로부터 미처리된 기판을 받아 보관하거나 처리된 기판을 외부로 반출하는 역할을 한다. 반송챔버는 반송로봇(transfer robot)을 갖추고 있어 이 반송로봇에 의하여 처리할 기판을 로드 록 챔버로부터 공정챔버로 운반하거나 처리된 기판을 공정챔버로부터 로드 록 챔버로 운반하는 역할을 한다.
도 1은 위의 챔버들 중 공정챔버가 도시된 구성도이다. 이 도 1에 도시된 바와 같이, 공정챔버는 챔버 바디(chamber body)(11)와, 이 챔버 바디(11) 안에 서로 마주하도록 배치된 상부전극 어셈블리(upper electrode assembly)(13) 및 하부전극 어셈블리(lower electrode assembly)(14)와, 하부전극 어셈블리(14)에 승강 가능하도록 관통된 복수 개의 리프트 핀(15)과, 이 리프트 핀(15) 모두를 받치는 핀 플레이트(pin plate)(16)와, 이 핀 플레이트(16)를 상하 이동시킴으로써 리프트 핀(15)을 동시에 승강시키는 핀 플레이트 승강장치(17)와, 각 리프트 핀(15)의 높이를 각기 조정하는 데 사용되는 리프트 핀 높이 조정장치(20)로 구성된다.
여기에서, 하부전극 어셈블리(14)는 윗면에 반입된 기판이 놓인다. 즉, 기판 탑재대로서의 역할도 하는 바, 이러한 점 때문에 이 하부전극 어셈블리(14)를 스테이지라고도 한다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 단면도이다. 리프트 핀 높이 조정장치(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 핀 플레이트(16)에 끝이 리프트 핀(15)의 하단과 접촉하도록 나사 결합된 핀 높이 조정볼트(21)와, 이 핀 높이 조정볼트(21)에 의하여 높이가 조정된 리프트 핀(15)을 핀 플레이트(16)에 체결하는 복수 개의 체결볼트(22)로 구성된다.
이와 같은 리프트 핀 높이 조정장치(20)는 핀 높이 조정볼트(21)를 회전시키면 회전방향에 따라 이 핀 높이 조정볼트(21)가 상향 또는 하향 이동되고, 이와 동시에 이 핀 높이 조정볼트(21)와 접촉하고 있는 리프트 핀(15)이 승강되어 이 리프트 핀(15)의 높이가 조정된다. 물론, 이 뒤 리프트 핀(15)과 핀 플레이트(16)를 체결볼트(22)에 의하여 체결하면 높이가 조정된 리프트 핀(15)의 위치가 고정된다.
그러나 살펴본 바와 같은 리프트 핀 높이 조정장치(20)는 그 핀 높이 조정볼트(21)에 의하여 리프트 핀(15)의 높이를 조정한 다음 체결볼트(22)에 의하여 리프트 핀(15)을 고정시켜야 하는 바, 리프트 핀(15)을 고정시키는 과정에서 조정된 높이가 변경될 소지가 다분하였고, 이 때문에 리프트 핀(15)의 높이를 정밀하게 조정하는 것이 곤란하였다.
또한, 리프트 핀(15)의 높이를 조정하기 위해서는 반드시 체결볼트(22)를 풀어야 하고, 높이를 조정한 이후에는 다시 죄어야 하므로 작업에 상당한 시간, 인력 등을 필요로 한다는 문제점이 있었다.
또한, 핀 높이 조정볼트(21)와 리프트 핀(15)의 접촉 부분이 양쪽 모두 평평하도록 형성되어 있는 바, 면과 면이 접촉하기 때문에 높이를 조정할 때 마찰이 큰 편이었고, 이에 따라 양자 간의 접촉 부분에 그리스(grease) 따위의 윤활제 도포가 요구되고는 하였다.
본 발명은 설명한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 목적은 높이가 조정된 리프트 핀의 위치를 별도의 조작 없이 고정시킬 수 있고, 아울러 높이를 재조정할 때 리프트 핀의 고정을 해제할 필요 또한 없이 조정할 수 있는 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비를 제공하는 데에 있다.
본 발명의 다른 목적은 리프트 핀의 높이를 조정할 때 이 리프트 핀과 핀 높이 조정볼트가 접촉되는 데 따른 마찰을 대폭 감소시킬 수 있는 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비를 제공하는 데 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 핀 플레이트에 끝 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 회전조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정볼트와; 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정볼트 측으로 당기고 있 도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성될 수 있다.
상기 핀 플레이트는 상기 리프트 핀과 마주하는 부분에 수용 홈이 마련되고, 상기 핀 높이 조정볼트는 몸체가 상기 수용 홈에 위치하도록 설치될 수 있다.
본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 또, 적어도 일부가 상기 수용 홈에 위치하도록 상기 리프트 핀의 하단에 장착된 승강부재를 더 포함할 수 있다. 이 때, 상기 승강부재는 끝 부분이 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 접촉되는 콘택트 핀을 가질 수 있다.
또한, 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 상기 핀 플레이트에 상기 리프트 핀과 마주하고 있도록 설치된 컵 구조의 마운팅 하우징을 더 포함하여 구성될 수 있다. 이 경우, 상기 수용 홈은 상기 마운팅 하우징의 내부일 수 있다.
상기 정지 구조물은 상기 핀 플레이트이고, 상기 탄성시트는 중앙부가 천공된 디스크의 형상으로 형성되어 상기 수용 홈이 상하로 구획되도록 안쪽 둘레는 상기 콘택트 핀의 둘레를 감싸고 바깥쪽 둘레는 상기 수용 홈의 벽면에 둘러질 수 있다. 이 때, 상기 탄성시트는 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강에 따라 펴지거나 원상으로 접혀 있도록 적어도 하나의 주름을 가질 수 있다.
본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하도록 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레에 마련된 가이드를 더 포함하여 구성될 수 있다.
여기에서, 상기 가이드는 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레 중 어느 하나에 상하방향을 따라 형성된 적어도 하나의 가이드 홈과; 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레 중 나머지 하나에 상기 가이드 홈과 결합 가능하도록 형성된 가이드 돌기로 구성될 수 있다.
상기 핀 높이 조정볼트와 콘택트 핀의 접촉 부분은 점접촉을 하는 구조를 가지도록 구성될 수 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 핀 플레이트에 상단 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정용구와; 상기 핀 높이 조정용구를 상하 이동된 위치에 머물러 있도록 하는 위치 유지수단과; 상기 핀 높이 조정용구의 상단 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 할 수도 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치는 핀 플레이트에 리프트 핀과 마주하고 있도록 설치되고 리프트 핀과 마주하는 부분에 수용 홈이 마련된 마운팅 하우징과; 몸체는 상기 수용 홈에 위치하고 머리는 이 수 용 홈의 밖에 위치하는 상태에서 상기 몸체의 끝 부분이 상기 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능하도록 상기 마운팅 하우징과 나사 결합된 핀 높이 조정볼트와; 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단으로 구성된 것을 특징으로 할 수도 있다.
그리고 상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정볼트 측으로 당기고 있도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성될 수 있다. 게다가, 이 같은 리프트 핀 높이 조정장치는 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하는 가이드를 더 포함하여 구성될 수도 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장비는 챔버 바디와; 상기 챔버 바디 안에 배치되고 위에 기판이 놓이는 스테이지와; 상기 스테이지에 승강 가능하도록 설치되어 이 스테이지에 놓이는 기판을 들어 올리거나 내려놓는 복수 개의 리프트 핀과; 상기 복수 개의 리프트 핀을 지지하는 핀 플레이트와; 상기 핀 플레이트를 상하 이동시켜 상기 복수 개의 리프트 핀을 동시에 승강시키는 핀 플레이트 승강장치와; 상기 리프트 핀의 높이를 각각 조정하는 데 사용하는 것으로, 위에 기재된 바와 같은 리프트 핀 높이 조정장치로 구성된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비는 다음과 같은 이점이 있다.
핀 높이 조정볼트가 탄성수단에 의하여 리프트 핀(리프트 핀의 하단에 승강부재가 마련된 경우에는 콘택트 핀)과 항상 접촉하고 있으므로 높이가 조정된 리프트 핀의 위치를 별도의 조작 없이 고정시킬 수 있고, 이에 따라 리프트 핀의 높이를 간단, 신속 그리고 정밀하게 조정할 수 있다.
핀 높이 조정볼트가 리프트 핀(리프트 핀의 하단에 승강부재가 마련된 경우에는 콘택트 핀)과 점접촉을 하므로 접촉 부분에 발생되는 마찰을 대폭 줄일 수 있고, 이 점 때문에 힘을 덜 들이고 리프트 핀의 높이를 조정할 수 있다.
이하, 첨부된 도면을 참조, 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치 및 이를 가지는 평판표시소자 제조장비의 바람직한 실시예를 설명하면 다음과 같다.
참고로, 본 발명의 실시예는 평판표시소자를 제조하는 장비 중 하나인 공정챔버에 적용된 것을 예로 들어 살펴보기로 한다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치가 적용된 공정챔버를 나타내는 구성도로, 이 도 3에서와 같이, 공정챔버는 기판을 처리하기 위한 공간을 제공하는 챔버 바디(51), 이 챔버 바디(51) 안의 상부영역과 하부영역에 마 주하도록 각각 배치된 상부전극 어셈블리(53) 및 하부전극 어셈블리(54), 이 두 전극 어셈블리(53)(54) 중 하부전극 어셈블리(54)에 승강 가능하게 설치된 복수 개의 리프트 핀(55), 이 리프트 핀(55) 모두를 지지하는 핀 플레이트(56), 이 핀 플레이트(56)를 상하로 이동시킴으로써 복수 개의 리프트 핀(55)을 동시에 승강시키는 적어도 하나의 핀 플레이트 승강장치(57), 이 핀 플레이트 승강장치(57)에 의하여 승강되는 리프트 핀(55)의 높이를 각각 조정하는 데에 사용하는 리프트 핀 높이 조정장치(60A) 등으로 이루어진다.
챔버 바디(51)는 기판을 내부로 반입하거나 이와 반대로 반입된 기판을 반출하기 위한 기판 출입구로서의 역할을 하는 게이트 슬릿(gate slit)(51s)이 벽 한쪽에 좌우로 기다랗게 형성되는데, 이 게이트 슬릿(51s)은 여기에 열고 닫는 것이 가능하도록 설치된 게이트 밸브(gate valve)(52)에 의하여 개폐된다.
두 전극 어셈블리(53)(54) 중에서 상부전극 어셈블리(53)는 도시되어 있지는 않으나, 기판을 처리할 때 필요한 공정 가스를 분출하는 샤워 헤드(shower head)를 가진다.
하부전극 어셈블리(54)는 여기에 설치된 리프트 핀(55)의 승강을 위한 핀 홀(pin hole)(54h)을 가지는데, 이 핀 홀(54h)은 하부전극 어셈블리(54)를 상하로 관통하고 있는 형태로 마련된다.
이와 같은 하부전극 어셈블리(54)는 그 위에 반입된 기판이 놓인다. 때문에, 하부전극 어셈블리(54)는 기판 탑재대로서의 역할도 하는 바, 이 같은 이유로 하부전극 어셈블리(54)를 스테이지라고도 한다.
리프트 핀(55)은 핀 홀(54h)에 하나씩 삽입되어 하부전극 어셈블리(54)를 관통한다. 그리고 이러한 상태로 챔버 바디(51)의 바닥(51b)을 관통, 그 하부가 챔버 바디(51)의 외부에 노출된다. 물론, 챔버 바디(51)의 바닥(51b)에도 리프트 핀(55)의 관통을 위한 구멍이 마련된다.
핀 플레이트 승강장치(57)는 일례로, 핀 플레이트(56)에 세워져 있도록 결합된 일직선상의 볼 스크루(ball screw)(58)와, 이 볼 스크루(58)를 정/역회전시키는 모터(motor)(59)로 구성될 수 있다.
도 4, 5는 도 3의 B 부분을 확대한 단면도이고, 도 6은 도 4의 C-C선 단면도로서 모두 리프트 핀 높이 조정장치(60A)의 구성을 나타낸다.
도 4 내지 도 6에서, 도면부호 61은 마운팅 하우징(mounting housing), 62는 핀 높이 조정용구, 63은 승강부재, 64는 탄성수단, 65는 가이드(guide)인데, 리프트 핀 높이 조정장치(60A)는 이들 및 위치 유지수단으로 구성된다.
마운팅 하우징(61)은 컵(cup)의 구조를 가지는데, 이 구조를 위하여 그 상측에 일정한 깊이를 가지는 원통형의 수용 홈(G1)이 형성된다. 이러한 마운팅 하우 징(61)은 핀 플레이트(56)에 이 핀 플레이트(56)를 관통하도록 설치되는데, 자세하게는 리프트 핀(55)과 마주하는 부분에 수용 홈(G1)의 입구가 이 리프트 핀(55)의 하단을 향하고 있도록 설치된다.
여기서의 수용 홈(G1)은 핀 플레이트(56)에 리프트 핀 높이 조정장치(60A)의 핀 높이 조정용구(62), 승강부재(63), 탄성수단(64) 등을 설치하는 데 필요한 공간을 제공한다.
핀 높이 조정용구(62)는 마운팅 하우징(61)의 바닥(61b)에 조작에 따른 상하방향으로의 이동이 가능하도록 설치된다. 따라서 그 위쪽 부분은 수용 홈(G1)에 위치되고, 이에 따라 상단이 리프트 핀(55)의 하단을 향하게 된다.
위치 유지수단은 핀 높이 조정용구(62)를 조작하지 않는 때 이 핀 높이 조정용구(62)가 현 위치에 머물러 있도록 유지시키는 역할을 한다. 이러한 위치 유지수단은 설명한 바의 기능을 갖춘 것이라면 어떠한 타입이라도 적용 가능하겠으나, 여기에서는 핀 높이 조정용구(62)로서 머리에 렌치 홈(wrench groove)(62w)이 형성된 렌치 볼트를 적용하는 것과 함께 마운팅 하우징(61)의 바닥(61b)에 이 렌치 볼트의 몸체에 형성된 수나사(S2)와 결합되는 암나사(S1)를 마련하였다. 즉, 암나사(S1)와 수나사(S2)로 구성된 나사짝을 위치 유지수단으로 한 것이다.
이것에 따르면, 핀 높이 조정용구(62)는 마운팅 하우징(61)과 나사 결합되어 회전조작에 따라 상하로 이동하는 바, 이하에서는 설명의 편의를 도모하고자 이 핀 높이 조정용구(62)를 '핀 높이 조정볼트'라 하기로 한다.
승강부재(63)는 리프트 핀(55)의 하단에 장착되고 적어도 그 일부가 수용 홈(G1)에 위치하도록 마련되어 리프트 핀(55)과 함께 승강한다.
이와 같은 승강부재(63)는 수용 홈(G1)에 비하여 작은 원통형으로 형성된다. 그리고 그 하측에는 끝이 수용 홈(G1)에 위치된 핀 높이 조정볼트(62) 몸체의 끝과 접촉되는 콘택트 핀(contact pin)(63p)이 마련된다. 이 때, 콘택트 핀(63p)은 수용 홈(G1) 벽면과의 사이에 충분한 여유 공간을 확보할 수 있는 굵기를 가진다.
탄성수단(64)은 핀 높이 조정볼트(62)와 콘택트 핀(63p)이 항상 접촉하고 있도록 콘택트 핀(63p)에 일정한 크기의 탄성력을 부여하는 것으로서 콘택트 핀(63p)을 핀 높이 조정볼트(62) 측, 즉 아래쪽으로 당기고 있도록 콘택트 핀(63p)과 수용 홈(G1)에 연결된 적어도 하나의 탄성시트(elastic sheet)로 구성된다.
탄성시트는 탄성물질로 이루어진 것일 수도 있고, 아니면 탄성을 지닐 수 있는 구조를 가지도록 구성된 것일 수도 있다. 이러한 탄성시트는 그 중앙 부분이 천공된 디스크(disk) 모양으로 형성되는데, 안쪽 둘레는 콘택트 핀(63p)에 이 콘택트 핀(63p)의 둘레를 감싸도록 직접 부착되거나 파스너(fastener)와 같은 것에 의하여 체결되고, 바깥쪽 둘레는 수용 홈(G1)이 상하로 구획되도록 이 수용 홈(G1)의 벽면에 이 벽면을 두르도록 마찬가지로 직접 부착되거나 파스너(fastener)와 같은 것에 의하여 체결된다. 이 때, 탄성시트의 안쪽 둘레는 핀 높이 조정볼트(62)를 하향 이동시켜 승강부재(63)를 하강시키면 탄성시트가 원상으로 복원되고 그 반대로 핀 높이 조정볼트(62)를 상향 이동시켜 승강부재(63)를 상승시키면 탄성시트가 변형되도록 바깥쪽 둘레에 비하여 높은 위치에 배치된다. 물론, 이 구조는 탄성시트가 콘택트 핀(63p)을 아래쪽으로 당기도록 하는 것이다.
한편, 탄성시트는 승강부재(63)의 승강에 따라 펴지거나 원상으로 접혀 있도록 적어도 하나의 주름(64w)을 가진다. 이 주름(64w)은 승강부재(63)의 승강운동에 따른 탄성시트의 변형과 복원을 용이하게 한다.
가이드(65A)는 승강부재(63)가 정확하게 승강하도록 안내하는 것으로서 적어도 하나의 가이드 홈(65g) 그리고 이 가이드 홈(65g)과 결합되는 가이드 돌기(65p)로 구성된다.
여기에서, 가이드 홈(65g)은 승강부재(63)의 둘레에 상하방향을 따라 기다랗게 형성된다. 가이드 돌기(65p)는 수용 홈(G1)의 벽면에 이 가이드 홈(65g)에 끼워질 수 있도록 형성된다. 이 때, 가이드 홈(65g)과 가이드 돌기(65p)는 형성되는 위치를 서로 바꿀 수도 있다.
살펴본 바와 같은 리프트 핀 높이 조정장치(60A)는 그 핀 높이 조정볼트(62)를 회전시켜 상향 이동시키면 승강부재(63)가 핀 높이 조정볼트(62)의 작용(승강부재를 들어 올리는 힘)에 의하여 탄성시트의 탄성력을 극복하는 것과 동시에 가이 드(65A)의 안내를 받으면서 상승하게 된다. 이 때, 리프트 핀(55)은 일정한 높이 상승된다.
한편, 핀 높이 조정볼트(62)를 반대로 회전시키면, 승강부재(63)는 자중, 리프트 핀(55)의 무게 그리고 탄성시트의 복원력에 의하여 하강하게 되고, 이에 따라 리프트 핀(55) 또한 하강하게 된다.
이상의 도 3 내지 도 6에서 설명되지 않은 도면부호 62k는 널링(knurling)이고, 62s는 대략 볼록한 반구형으로 형성된 구면이다.
여기에서, 구면(62s)은 핀 높이 조정볼트(62)와 콘택트 핀(63p)의 접촉 부분이 점접촉을 하도록 하는 것으로서 핀 높이 조정볼트(62)의 끝과 콘택트 핀(63p)의 끝 중 어느 하나 또는 둘 모두에 형성된다. 만약, 핀 높이 조정볼트(62)의 끝과 콘택트 핀(63p)의 끝 중 어느 하나에만 구면(62s)이 형성된다면, 다른 하나는 평평하도록 형성된다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치를 나타내는 단면도로, 다음에서는 이 도 7을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치(60A)와 유사한 구성을 가지는 제2실시예에 관하여 살펴보기로 한다.
참고로, 제2실시예는 제1실시예와 비교하였을 때 상이한 부분을 중심으로 설명하기로 하고, 또 도면의 경우에도 해당 부분만을 도시하기로 한다.
도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치(60B)는 제1실시예와 비교하여 볼 때 기타 구성 및 그것의 작용은 모두 동일한 것에 대하여, 핀 높이 조정볼트(62)의 설치구조, 탄성수단(64)의 설치구조, 가이드(65B)의 구성 등이 상이하다.
핀 높이 조정볼트(62)는 제1실시예의 그것과 동일하게 구성되나, 그 끝의 구면(62s)이 리프트 핀(55)의 하단과 마주 보고 있도록 핀 플레이트(56)에 제1실시예의 마운팅 하우징(도 4, 5의 도면부호 61 참조) 없이 직접 설치되고, 또 이렇게 설치된 상태로 끝이 제1실시예의 승강부재(도 4, 5의 도면부호 63 참조) 없이 리프트 핀(55)의 하단과 직접적으로 접촉된다. 즉, 핀 플레이트(56)에 리프트 핀(55)과 접촉 가능한 것과 동시에 회전조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치되는 것이다.
참고로, 핀 플레이트(56)는 각 리프트 핀(55)과 마주하는 부분인 핀 높이 조정볼트(62)의 설치 개소에 제1실시예와 같은 원형의 수용 홈(G2)이 형성되는데, 이 수용 홈(G2)은 그 안에 위치되는 핀 높이 조정볼트(62) 몸체와의 사이에 충분한 여유 공간을 확보할 수 있는 크기를 가진다.
탄성수단(64)은 제1실시예의 그것과 동일하게 구성된다. 즉, 주름(64w)을 가지는 디스크 모양의 탄성시트로 구성되는데, 안쪽 둘레는 리프트 핀(55)의 하단 부분에 연결되고 바깥쪽 둘레는 핀 플레이트(56)의 윗면에 연결되어 리프트 핀(55)을 핀 높이 조정볼트(62) 측으로 당긴다.
참고로, 탄성시트는 디스크 모양이 아닌 다른 모양으로도 형성 가능하다. 예를 들어, 띠 모양으로 형성하는 것도 가능한데, 이 타입은 복수 개 구비하여 그 양쪽의 끝 부분을 리프트 핀(55)과 핀 플레이트(56)에 각각 연결하되, 대칭을 이루도록 배치할 수 있다.
또한, 위에서는 탄성시트가 핀 플레이트(56)에 연결된 것으로 설명하였으나, 연결대상이 반드시 핀 플레이트(56)일 필요는 없는 바, 리프트 핀(55) 주위의 다른 것(즉, 리프트 핀의 높이 조정 시 움직이지 않고 있는 것 : 정지 구조물)에 연결될 수도 있다.
한편, 이와 같은 사항들은 제1실시예에도 동일하게 적용할 수 있는 것이기도 하다.
가이드(65B)는 리프트 핀(55)의 하단에 탄성수단(64)과 간섭 없이 있도록 장착된 가이드 블록(guide block)으로 구성된다. 이 가이드 블록은 수용 홈(G2)에 상하 슬라이딩 이동 가능하게 삽입되는 바, 수용 홈(G2)과 미끄럼접촉 가능한 모양으로 형성되고, 또 수용 홈(G2) 안의 핀 높이 조정볼트(62) 몸체와 간섭이 없도록 파이프(pipe)의 구조를 가진다.
이상, 본 발명을 설명하였으나, 본 발명은 이 명세서에 개시된 실시예 및 첨부된 도면에 의하여 한정되지 않는 바, 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 당업자에 의하여 다양하게 변형될 수 있다.
도 1은 일반적인 공정챔버를 나타내는 구성도이다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 단면도로서 종래기술에 따른 리프트 핀 높이 조정장치를 나타낸다.
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치가 적용된 공정챔버를 나타내는 구성도이다.
도 4, 도 5는 도 3의 B 부분을 확대한 단면도로서 본 발명에 따른 리프트 핀 높이 조정장치의 구성 및 작동관계를 나타낸다.
도 6은 도 5의 C-C선 단면도이다.
도 7은 본 발명의 제2실시예에 따른 리프트 핀 높이 조정장치를 나타내는 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명>
51 : 챔버 바디 53 : 상부전극 어셈블리
54 : 하부전극 어셈블리(스테이지) 55 : 리프트 핀
56 : 핀 플레이트 57 : 핀 플레이트 승강장치
60A, 60B : 리프트 핀 높이 조정장치 61 : 마운팅 하우징
62 : 핀 높이 조정용구(볼트) 63 : 승강부재
63p : 콘택트 핀 64 : 탄성수단
64w : 주름 65A, 65B : 가이드
65g : 가이드 홈 65p : 가이드 돌기
G1, G2 : 수용 홈

Claims (15)

  1. 핀 플레이트에 리프트 핀과 마주하고 있도록 설치되고 리프트 핀과 마주하는 부분에 수용 홈이 마련된 마운팅 하우징과;
    몸체는 상기 수용 홈에 위치하고 머리는 이 수용 홈의 밖에 위치하는 상태에서 상기 몸체의 끝 부분이 상기 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능하도록 상기 마운팅 하우징과 나사 결합된 핀 높이 조정볼트와;
    상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단을 포함하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정볼트 측으로 당기고 있도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하는 가이드를 더 포 함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  4. 핀 플레이트에 끝 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 회전조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정볼트와;
    상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단을 포함하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 탄성수단은 상기 리프트 핀을 상기 핀 높이 조정볼트 측으로 당기고 있도록 상기 리프트 핀과 그 주위의 정지 구조물에 연결된 적어도 하나의 탄성시트로 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 핀 플레이트는 상기 리프트 핀과 마주하는 부분에 수용 홈이 마련되고,
    상기 핀 높이 조정볼트는 그 몸체가 상기 수용 홈에 위치하도록 설치되며,
    상기 리프트 핀 높이 조정장치는 적어도 일부가 상기 수용 홈에 위치하도록 상기 리프트 핀의 하단에 장착된 승강부재를 더 포함하여 구성되고,
    상기 승강부재는 끝 부분이 상기 핀 높이 조정볼트의 끝 부분과 접촉되는 콘택트 핀을 가지는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 리프트 핀 높이 조정장치는 상기 핀 플레이트에 상기 리프트 핀과 마주하고 있도록 설치된 컵 구조의 마운팅 하우징을 더 포함하여 구성되고,
    상기 수용 홈은 상기 마운팅 하우징의 내부인 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  8. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 정지 구조물은 상기 핀 플레이트이고,
    상기 탄성시트는 중앙부가 천공된 디스크의 형상으로 형성되어 상기 수용 홈이 상하로 구획되도록 안쪽 둘레는 상기 콘택트 핀의 둘레를 감싸고 바깥쪽 둘레는 상기 수용 홈의 벽면에 둘러진 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 탄성시트는 상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강에 따라 펴지거나 원상으로 접혀 있도록 적어도 하나의 주름을 가지는 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  10. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하도록 상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레에 마련된 가이드를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  11. 청구항 10에 있어서, 상기 가이드는,
    상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레 중 어느 하나에 상하방향을 따라 형성된 적어도 하나의 가이드 홈과;
    상기 수용 홈의 벽면과 상기 승강부재의 둘레 중 나머지 하나에 상기 가이드 홈과 결합 가능하도록 형성된 가이드 돌기로 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  12. 청구항 6 또는 청구항 7에 있어서,
    상기 핀 높이 조정볼트와 콘택트 핀의 접촉 부분은 점접촉을 하는 구조를 가지도록 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  13. 청구항 4에 있어서,
    상기 핀 높이 조정볼트에 의한 리프트 핀의 승강을 안내하는 가이드를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  14. 핀 플레이트에 상단 부분이 리프트 핀의 하단 부분과 접촉 가능한 것과 동시에 조작에 따른 상하이동이 가능하도록 설치된 핀 높이 조정용구와;
    상기 핀 높이 조정용구를 상하 이동된 위치에 머물러 있도록 하는 위치 유지수단과;
    상기 핀 높이 조정용구의 상단 부분과 리프트 핀의 하단 부분이 접촉하고 있도록 상기 리프트 핀에 탄성력을 부여하는 탄성수단을 포함하는 리프트 핀 높이 조정장치.
  15. 챔버 바디와;
    상기 챔버 바디 안에 배치되고 위에 기판이 놓이는 스테이지와;
    상기 스테이지에 승강 가능하도록 설치되어 이 스테이지에 놓이는 기판을 들어 올리거나 내려놓는 복수 개의 리프트 핀과;
    상기 복수 개의 리프트 핀을 지지하는 핀 플레이트와;
    상기 핀 플레이트를 상하 이동시켜 상기 복수 개의 리프트 핀을 동시에 승강시키는 핀 플레이트 승강장치와;
    상기 리프트 핀의 높이를 각각 조정하는 데 사용하는 것으로서 청구항 1, 청구항 4 및 청구항 14 중 어느 한 항에 기재된 리프트 핀 높이 조정장치를 포함하는 평판표시소자 제조장비.
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