KR102588603B1 - 리프트핀 어셈블리를 및 이를 갖는 기판 처리 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 리프트 핀 어셈블리를 제공한다. 리프트 핀 어셈블리는 승강 장치에 의해 승강되는 제1프레임에 장착되는 레벨 볼트; 하단에 무게추를 갖고, 상기 레벨 볼트에 지지되는 리프트 핀; 및 상기 리프트 핀이 핀 홀에 걸렸을 때 강제 다운시키기 위한 눌림 브라켓을 포함하되; 상기 눌림 브라켓은 상기 무게추의 상면과 일정 갭을 유지한 상태로 세팅되도록 높낮이 조절이 가능할 수 있다.

Description

리프트핀 어셈블리를 및 이를 갖는 기판 처리 장치{lift pin assembly and Apparatus for treating substrate with the assembly}
본 발명은 기판을 처리하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평판 패널 또는 기판을 스테이지 상에서 상승 및 하강시키기 위해 사용되는 리프트 핀 어셈블리 및 이를 갖는 기판 처리 장치에 관한 것이다.
최근 영상 표시장치의 제조에는 액정 디스플레이소자(LCD) 및 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 소자 등이 사용되며, 이는 평판표시장치(FPD, Flat Panel Display)의 기판이 사용된다.
평판표시장치를 제작하는 과정으로는, 기판을 제작하는 공정, 셀 제작공정, 모듈 제작공정 등 많은 공정들이 진행된다. 특히, 기판 제작 공정에는 기판 상에 다양한 패턴들을 형성하기 위한 사진 공정이 진행된다. 사진 공정은 기판 상에 포토레지스트와 같은 감광액을 도포하는 도포 공정, 도포된 감광막 위에 특정 패턴을 형성하는 노광 공정, 그리고 노광된 감광막에 대응되는 영역을 현상 처리하는 현상공정을 순차적으로 수행한다. 이 중 도포공정 및 현상 공정이 수행되기 전후 각각에는 기판을 열 처리하는 베이크 공정이 수행된다.
이러한 베이크 유닛에는 기판을 열처리 플레이트에 승/하강시키기 위한 승강 장치가 사용된다. 기존의 승강 장치는 열처리 플레이트의 하부에 다수개의 리프트 핀(20)들이 고정되어 있는 승강 프레임을 포함한다. 승강 프레임은 구동 모터(32) 및 볼 스크류 등에 의해 승강될 수 있도록 구성된다.
그러나, 상기와 같이 다수개의 리프트 핀들을 동시에 승강시킬 수 있도록 구성되는 경우, 리프트 핀은 그 리프트 핀의 하단이 승강 프레임에 대하여 볼트 등의 결합수단에 의해 직립된 상태로 고정,결합되어 있는바, 그 높이 조절이 매우 어려운 문제점이 있었다.
최근에는 기판이 대형화됨에 따라 기판을 로딩/언로딩 시키기 위한 리프트 핀이 다수개 구비되는데, 이 다수의 리프트 핀들 중 어느 하나 또는 그 이상의 리프트 핀 높이가 미세하게 다른 리프트 핀들과 다를 경우, 전체 리프트 핀 높이를 동일하게 정렬시키기 위한 세팅 작업에 어려움이 있다. 이러한 리프트 핀들의 세팅 불량은 기판의 공정처리시 불량 발생의 원인으로 작용되기도 한다.
또한, 리프트 핀이 결합수단에 의해 승강 프레임에 수직방향으로 고정,결합되어 있는바, 승강 프레임이 수평상태에서 변형될 경우 어느 하나 또는 그 이상의 리프트 핀 각각의 높이 세팅이 필요한 문제점이 있다.
본 발명의 일 과제는 리프트 핀들의 레벨 작업 효율성 향상 및 세팅 불량을 개선할 수 있는 리프트 핀 어셈블리 및 이를 갖는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 일 과제는 리프트 핀이 핀홀에 걸렸을 때 강제 다운시키기 위한 눌림 브라켓의 높이 세팅이 용이한 리프트 핀 어셈블리 및 이를 갖는 기판 처리 장치를 제공하는데 있다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 승강 장치에 의해 승강되는 제1프레임에 장착되는 레벨 볼트; 하단에 무게추를 갖고, 상기 레벨 볼트에 지지되는 리프트 핀; 및 상기 리프트 핀이 핀 홀에 걸렸을 때 강제 다운시키기 위한 눌림 브라켓을 포함하되; 상기 눌림 브라켓은 상기 무게추의 상면과 일정 갭을 유지한 상태로 세팅되도록 높낮이 조절이 가능한 리프트 핀 어셈블리가 제공될 수 있다.
또한, 상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트의 레벨 조정시 그 높이가 함께 조절되도록 제공될 수 있다.
또한, 상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트에 일단이 고정되고, 상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지한 상태로 위치되는 눌림부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 눌림 브라켓은 상기 눌림부의 일측으로부터 하방으로 수직하게 연장 형성되는 수직부; 및 상기 수직부의 하단으로부터 수평방향으로 연장되어 상기 레벨 볼트의 하부 탭에 의해 고정되는 고정부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 눌림 브라켓은 상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지한 상태로 위치되는 눌림부; 상기 눌림부의 일단으로부터 수직 방향으로 연장 형성되고, 상기 제1프레임의 측면에 고정되는 고정부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 고정부는 고정 볼트가 상기 제1프레임의 측면에 고정되도록 수직방향으로 형성된 슬릿홀을 포함할 수 있다.
또한, 상기 눌림부는 상기 무게추의 직경보다 작고 상기 리프트 핀의 직경보다 큰 관통공을 포함하되; 상기 관통공은 일측이 개방된 형태로 제공될 수 있다.
또한, 상기 제1프레임의 저면에 수평하게 고정결합되는 볼트 플레이트를 더 포함하고, 상기 레벨 볼트는 상기 볼트 플레이트에 수직하게 장착될 수 있다.
또한, 상기 레벨 볼트는 상기 볼트 플레이트의 상면에 위치되는 볼트 헤드; 및 상기 볼트 플레이트의 저면에 위치되는 하부 탭을 포함할 수 있다.
또한, 상기 눌림 브라켓은 상기 고정부는 상기 볼트 플레이트 상에서 높낮이 조절되는 상기 레벨 볼트의 상기 하부 탭에 고정될 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판에 대한 공정 처리가 진행는 처리공간을 제공하는 하우징; 상기 처리 공간에 제공되고, 기판이 놓여지는 상면과 핀홀들을 갖는 기판 지지 플레이트; 및 상기 기판 지지 플레이트로/로부터 기판을 로딩/언로딩시키기 위한 리프트 핀 어셈블리를 포함하되; 상기 리프트 핀 어셈블리는 승강 장치; 상기 승강 장치에 의해 승강되는 제1프레임; 상기 제1프레임에 장착되는 레벨 볼트들; 하단에 무게추를 갖고, 상기 제1프레임의 상승 동작에서는 상기 레벨 볼트들 각각에 지지되어 상승 이동하고, 상기 제1프레임의 하강 동작에서는 자중에 의해 하강 이동하는 리프트 핀들; 및 상기 제1프레임의 하강 동작에서 상기 리프트 핀이 핀 홀에 걸렸을 때 상기 리프트 핀을 강제 다운시키기 위한 눌림 브라켓들을 포함하며; 상기 눌림 브라켓은 상기 무게추의 상면과 일정 갭을 유지한 상태로 세팅되도록 높낮이 조절이 가능한 기판 처리 장치가 제공될 수 있다.
또한, 상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트의 하단에 고정되는 고정부; 상기 고정부로부터 상방으로 수직하게 연장 형성되는 수직부; 및 상기 수직부로부터 수평하게 연장 형성되어 상기 무게추 상면에 위치되고, 상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지하도록 제공되는 눌림부를 포함하여, 상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트의 레벨 조정시 그 높이가 함께 조절될 수 있다.
또한, 상기 제1프레임의 저면에 수평하게 고정 결합되는 볼트 플레이트들을 더 포함하고, 상기 레벨 볼트들은 각각의 상기 볼트 플레이트들에 수직하게 장착될 수 있다.
또한, 상기 레벨 볼트는 상기 볼트 플레이트의 상면에 위치되고, 상기 제1프레임의 상승 동작시 상기 리프트 핀의 상기 무게추를 지지하는 볼트 헤드; 및 상기 볼트 플레이트의 저면에 위치되고 상기 눌림 브라켓의 고정부가 고정되는 하부 탭을 포함할 수 있다.
또한, 상기 눌림 브라켓은 상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지한 상태로 위치되는 눌림부; 상기 눌림부의 일단으로부터 수직 방향으로 연장 형성되고, 상기 제1프레임의 측면에 고정되는 고정부를 포함할 수 있다.
또한, 상기 고정부는 고정 볼트가 상기 제1프레임의 측면에 고정되도록 그리고 상기 눌림 브라켓의 고정 높이를 조절할 수 있도록 수직방향으로 형성된 슬릿홀을 포함할 수 있다.
또한, 상기 눌림부는 상기 무게추의 직경보다 작고 상기 리프트 핀의 직경보다 큰 관통공을 포함하되; 상기 관통공은 일측이 개방된 형태로 제공될 수 있다.
또한, 상기 승강 장치는 상기 제1프레임 아래에 제공되는 베이스 프레임; 상기 베이스 프레임의 중심으로부터 일정간 간격을 두고 배치되며, 상기 베이스 프레임 상에서 승강 가능하게 제공되는 승강부들; 상기 승강부들이 동시에 상승 및 하강하도록 구동하는 구동부; 및 상기 구동부의 구동력을 상기 승강부들로 동시에 전달하는 동력전달부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, 승강 장치에 의해 승강되는 제1프레임; 상기 제1프레임에 장착되는 레벨 볼트들; 하단에 무게추를 갖고, 상기 제1프레임의 상승 동작에서는 상기 레벨 볼트들 각각에 지지되어 상승 이동하고, 상기 제1프레임의 하강 동작에서는 자중에 의해 하강 이동하는 리프트 핀들; 및 상기 제1프레임의 하강 동작에서 상기 리프트 핀이 핀 홀에 걸렸을 때 상기 리프트 핀을 강제 다운시키기 위한 눌림 브라켓들을 포함하되; 상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트의 하단에 고정되는 고정부; 상기 고정부로부터 상방으로 수직하게 연장 형성되는 수직부; 및 상기 수직부로부터 수평하게 연장 형성되어 상기 무게추 상면에 위치되고, 상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지하도록 제공되는 눌림부를 포함하여, 상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트의 레벨 조정시 그 높이가 함께 조절되는 리프트 핀 어셈블리가 제공될 수 있다.
또한, 상기 제1프레임의 저면에 수평하게 고정 결합되는 볼트 플레이트들을 더 포함하고, 상기 레벨 볼트들은 각각의 상기 볼트 플레이트들에 수직하게 장착되며, 상기 레벨 볼트는 상기 볼트 플레이트의 상면에 위치되고, 상기 제1프레임의 상승 동작시 상기 리프트 핀의 상기 무게추를 지지하는 볼트 헤드; 및 상기 볼트 플레이트의 저면에 위치되고 상기 눌림 브라켓의 고정부가 고정되는 하부 탭을 포함할 수 있다.
또한, 상기 눌림부는 상기 무게추의 직경보다 작고 상기 리프트 핀의 직경보다 큰 관통공을 포함하되; 상기 관통공은 일측이 개방된 형태로 제공될 수 있다.
본 발명의 실시예에 의하면,
을 억제할 수 있다.
발명의 효과가 상술한 효과들로 제한되는 것은 아니며, 언급되지 아니한 효과들은 본 명세서 및 첨부된 도면으로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확히 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 포토리소그래피 공정을 위한 설비의 구성도이다.
도 2는 베이크 유닛의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 베이크 챔버를 보여주는 도면이다.
도 4는 리프트 핀 어셈블리를 보여주는 도면이다.
도 5 및 도 6은 리프트 핀 어셈블리의 요부 확대 사시도이다.
도 7A 및 도 7B는 리프트 핀의 업다운 상태를 각각 보여주는 도면들이다.
도 8은 레벨 볼트의 높낮이 조절을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 및 도 10은 눌림 브라켓의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
도 11은 승강 장치를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면을 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
본 발명의 실시예에서는 포토리소그래피 설비에 사용되는 베이크 장치를 예로 들어 설명한다.
본 실시예에서 기판은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 것으로, FPD는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display) 일 수 있다.
본 발명에 따른 기판 처리 장치(apparatus for treating substrate)는 포토리소그래피 공정에서 기판을 가열 냉각하기 위해 사용되는 베이크 장치이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 포토리소그래피 공정을 위한 설비(1)는 인덱스 모듈(10), 도포 모듈(20), 인터페이스 모듈(30), 에지 노광 장치(40), 액처리 모듈(50) 그리고 노광 모듈(60)을 포함할 수 있다.
인덱스 모듈(10)에서는 기판(W)이 유입되거나 유출된다. 인덱스 모듈(10)은 그 길이 방향이 제2방향(14)을 따라 배치된다. 여기서, 제2방향(14)은 인덱스 모듈(10)이 배치된 방향이다. 상부에서 바라 볼 때, 제2방향(14)과 수직한 방향을 제1방향(12)이라 한다. 제1방향(12)과 제2방향(14)에 모두 수직한 방향을 제3방향(16)이라 한다.
일 예로 인덱스 모듈(10)은 기판(W)을 반송하는 반송 롤러나 별도의 이송 로봇을 통해서 기판(W)을 유입하거나 유출 시킬 수 있다.
도포 모듈(20)은 기판(W)에 도포 공정 등을 수행한다. 도포 모듈(20)은 인덱스 모듈(10)의 일측과 인접하게 제공된다. 도포 모듈(20)은 그 길이 방향이 제1방향(12)을 따라 배치된다. 도포 모듈(20)은 세정 유닛(21), 도포 유닛(22), 진공건조 유닛(23) 그리고 베이크 유닛(100)을 포함할 수 있다. 도포 모듈(20)에서는 세정 공정, 도포 공정, 진공 건조 공정(VCD), 그리고 베이크 공정이 순차적으로 수행될 수 있다. 세정 유닛(21)은 기판(W)의 도포 공정이 수행되기 전에 기판(W)을 세정한다. 세정 유닛(21)은 세정액을 기판(W)에 공급하여 공정을 수행한다. 일 예로 세정 유닛(21)은 기판(W)의 상부에 제공되는 세정액 공급 수단에서 세정액을 공급 할 수 있다. 일 예로 세정액은 순수로 공급될 수 있다.
도포 유닛(22)은 기판(W)에 도포 공정을 수행한다. 도포 공정이 끝난 기판(W)은 진공건조 유닛으로 이동한다. 진공건조 유닛(23)은 포토레지스트(이하, PR이라 약칭함.)내에 포함된 유기용제(Solvent)를 제거함과 동시에 건조하는 공정을 수행한다.
베이크 유닛(100)은 기판(W)에 베이크 공정을 수행한다. 일 예로 베이크 공정은 기판(W)의 하부에 설치된 가열수단으로 기판(W)을 가열할 수 있다.
도포 모듈(20)에서 공정이 완료된 기판(W)은 인터페이스 모듈(30)로 이동한다. 인터페이스 모듈(30)은 도포 모듈(20)과 액처리 모듈(50) 그리고 노광 모듈(60)에 기판(W)을 반송한다. 인터페이스 모듈(30)은 도포 모듈(20)과 액처리 모듈(50)에 인접하게 배치된다. 인터페이스 모듈(30)은 인덱스 모듈(10)과 평행하게 배치된다. 인터페이스 모듈(30)은 그 길이 방향이 제2방향(14)을 따라 배치된다. 인터페이스 모듈(30)에서 기판(W)을 반송 시 이송 로봇을 이용하여 기판(W)을 반송 할 수 있다.
에지 노광 장치(40)는 기판(W)에 대해 기판(W)의 가장자리 영역에 광을 조사하는 에지 노광 공정을 수행한다. 에지 노광 장치(40)는 인터페이스 모듈(30)과 액처리 모듈(50)의 사이에 배치된다. 이와 달리, 에지 노광 장치(40)는 도포 모듈(20)과 인터페이스 모듈(30)에 배치될 수 있다.
노광 모듈(60)에서는 기판(W)에 대해 노광 공정을 수행한다. 노광 모듈(60)은 인터페이스 모듈(30)의 일측에 인접하여 배치된다.
액처리 모듈(50)은 기판(W)에 대해 현상 공정을 수행하는 현상 모듈로 제공될 수 있다. 액처리 모듈(50)의 일측에는 인덱스 모듈(10)이 인접하게 배치된다. 액처리 모듈(50)은 도포 모듈(20)과 평행하며 그 길이 방향이 제1방향(12)을 따라 배치된다.
액처리 모듈(50)은 액처리 유닛(51), 린스 유닛(52), 건조 유닛(53) 그리고 검사기(54)를 포함한다. 액처리 모듈(50)에서는 액처리 유닛(51)에서 액처리 공정 후 린스 유닛(52)과 건조 유닛(53)에서 세정 공정과 건조 공정을 진행 한 후 검사기(54)에서 검사를 진행한다. 일 예로 액처리 공정은 현상 공정일 수 있다.
도 2는 베이크 유닛의 구성을 개략적으로 보여주는 도면이다.
도 2를 참조하면, 베이크 유닛(100)은 베이크 챔버(200)와 반송 챔버(120)를 포함할 수 있다.
반송 챔버(120)에는 기판 반송을 위한 반송 로봇(122)이 제공될 수 있다. 반송 로봇(122)은 컨베이어 반송로(101)를 통해 반송된 기판을 베이크 챔버(200)로 반송하거나, 베이크 챔버(200)에서 열처리된 기판을 쿨링 챔버(140)로 반송한다.
베이크 챔버(200)는 수직 방향으로 다수개가 적층 배치될 수 있다. 각각의 베이크 챔버(200)는 기판의 반입 반출을 위한 개구를 개폐하는 셔터를 포함할 수 있다. 베이크 챔버(200)는 기판에 대한 열처리 공정을 수행하는 기판 처리 장치이며, 이러한 기판 처리 장치는 도 3에서 상세히 설명하기로 한다.
도 3은 도 2에 도시된 베이크 챔버를 보여주는 도면이고, 도 4는 리프트 핀 어셈블리를 보여주는 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 베이크 챔버(200)는 하우징(210), 기판 지지 플레이트(220) 그리고 리프트 핀 어셈블리(300)를 포함할 수 있다.
하우징(210)은 기판에 대한 베이크 공정 처리가 진행는 처리공간을 제공한다. 기판 지지 플레이트(220)는 하우징(210)의 내부에 위치되며, 기판이 놓여지는 상면(222)과 핀홀(224)들을 포함한다.
리프트 핀 어셈블리(300)는 기판 지지 플레이트(220)로/로부터 기판을 로딩/언로딩시킨다. 일 예로, 리프트 핀 어셈블리(300)는 승강 장치(310), 제1프레임(320), 레벨볼트(330)들, 리프트 핀(340)들 그리고 눌림 브라켓(350)들을 포함할 수 있다.
제1프레임(320)은 서로 이격되어 평행하게 제공되는 가로 지지바(322)들과, 가로 지지바(322)들을 가로 질러 가로 지지바(322)들과 연결되는 세로 지지바(324)들을 포함할 수 있다.
승강 장치(310)는 제1프레임(320) 아래에 제공되는 베이스 프레임(302) 상에 설치될 수 있다. 승강 장치(310)는 복수의 승강부(312)와 구동부(314) 그리고 동력전달부(326)를 포함할 수 있다.
도 11은 승강 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 3 및 도 11을 참고하면, 복수의 승강부(312)는 한 쌍의 제1승강부(312a)와 한 쌍의 제2승강부(312b)를 포함할 수 있다. 한 쌍의 제1승강부(312a)와 한 쌍의 제2승강부(312b)는 베이스 프레임(302)의 중심으로부터 일정간 간격을 두고 배치되며, 베이스 프레임(302) 상에서 승강 가능하게 제공될 수 있다. 한 쌍의 제1승강부(312a)와 한 쌍의 제2승강부(312b)는 일단이 제1프레임(220)에 연결되어 제1프레임(220)을 상승 및 하강시킨다.
구동부(314)는 한 쌍의 제1승강부(312a)와 한 쌍의 제2승강부(312b)가 동시에 상승 및 하강하도록 구동력을 제공한다. 구동부(314)의 구동력은 동력전달부(326)를 통해 한 쌍의 제1승강부(312a)와 한 쌍의 제2승강부(312b)에 전달될 수 있다. 일 예로, 구동부(314)는 모터일 수 있고, 동력전달부(326)는 모터의 회전력을 전달하는 구동축(326a), 기어박스(326b)들, 각각의 승강부에 연결되는 회전축(326c)들을 포함할 수 있다. 이처럼, 한 쌍의 제1승강부(312a)와 한 쌍의 제2승강부(312b)는 서로 물리적으로 연결되어 동시에 동작됨으로써 동기 제어를 위한 별도의 제어장치가 불필요하다.
상술한 바와 같이, 승강 장치(310)는 하나의 구동부(314)의 구동에 의해 한 쌍의 제1승강부(312a)와 한 쌍의 제2승강부(312b)가 동시에 상승 및 하강하도록 하는 것을 특징으로 한다.
도 5 및 도 6은 리프트 핀 어셈블리의 요부 확대 사시도이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 레벨볼트(330)는 제1프레임(220) 상에 고정 설치될 수 있다. 레벨볼트(330)의 중심축은 기판 지지 플레이트(220)의 핀홀(224)들과 일직선상에 위치된다.
레벨 볼트(330)는 볼트 플레이트(390)의 관통공(392)에 수직하게 장착될 수 있다. 볼트 플레이트(390)는 제1프레임(220)의 저면에 수평하게 고정결합된다. 레벨 볼트(330)는 볼트 헤드(332)와 하부 탭(334) 그리고 고정너트(336)을 포함할 수 있다. 볼트 헤드(332)는 볼트 플레이트(390)의 상면에 위치되고, 하부 탭(334)은 볼트 플레이트(390)의 관통공(392)을 통과하여 볼트 플레이트(390) 저면에 위치된다. 레벨 볼트(330)는 리프트 핀(340)의 레벨 조정을 위해 볼트 플레이트(390) 상에서 수직방향으로 높이를 조절할 수 있다.
리프트 핀(340)은 핀(342)과 무게추(344)를 포함할 수 있다. 무게추(344)는 핀(342) 하단에 제공될 수 있다. 리프트 핀(340)은 기판 지지 플레이트(220)의 저면에 고정된 가이드 부시(346)를 통해 핀홀(224)에 위치된다. 가이드 부시(346)는 승강 동작하는 리프트 핀의 핀(342)을 가이드 한다.
도 7A 및 도 7B는 리프트 핀의 업다운 상태를 각각 보여주는 도면들이다.
도 5 내지 도 7B를 참조하면, 제1프레임(320)의 업 동작시, 리프트 핀(340)은 레벨 볼트(330)에 지지되어 상승 이동된다. 그리고 제1프레임(320)의 다운 동작시, 리프트 핀(340)은 자중에 의해 하강 이동된다. 리프트 핀(340)의 다운 위치는 리프트 핀(340)의 상단이 기판 지지 플레이트(220)의 상면으로부터 소정 간격(t1)(예를 들면 2mm) 아래에 위치되는 것이 바람직하다. 리프트 핀(340)의 업 위치는 기판(W)이 기판 지지 플레이트(220)의 상면(222)으로부 이격되어 기판 반송 장치가 기판을 로딩/언로딩할 수 있는 높이일 수 있다.
눌림 브라켓(350)은 제1프레임(320)의 다운 동작에서 리프트 핀(340)이 핀 홀(224)에 걸렸을 때 리프트 핀(340)을 강제 다운시키기 위해 제공된다. 눌림 브라켓(350)은 무게추(344)의 상면과 일정 갭을 유지한 상태로 세팅되는 것이 바람직하며, 눌림 브라켓(350)은 장비 세팅시 높낮이 조절이 가능하도록 제공된다. 예컨대, 눌림 브라켓(350)은 레벨 볼트(330)의 레벨 조정시 그 높이가 함께 조절될 수 있다.
일 예로, 눌림 브라켓(350)은 고정부(352), 수직부(354) 그리고 눌림부(356)를 포함할 수 있다. 눌림 브라켓(350)은 대략적으로 "ㄷ"자 형상의 단면을 갖는다. 고정부(352)는 레벨 볼트(330)의 하단에 고정된다. 수직부(354)는 고정부(352)로부터 상방으로 수직하게 연장 형성된다. 눌림부(356)는 수직부(354)로부터 수평하게 연장 형성되어 무게추(344) 상면에 위치된다. 눌림부(356)는 무게추(344) 상면으로부터 일정 갭(t2)(예를 들면 1.5mm)을 유지하도록 제공된다. 눌림부(356)에는 관통공(357)이 형성된다. 관통공(357)은 무게추의 직경보다 작고 리프트 핀의 직경보다 크게 형성된다. 관통공(357)은 일측이 개방된 개구(358)를 갖는다.
여기서, 눌림부(356)와 무게추(344) 사이의 간격이 필요한 이유는 핀 대기 포지션(다운 위치)이 기판 지지 플레이트(220)의 상면(222) 기준 최소 0.5mm 아래에 위치되어야만 기판 투입시 간섭 회피가 가능하기 때문이다.
이처럼, 눌림 브라켓(350)은 레벨 볼트(330)와 동일한 조립 기준면(제1프레임의 저면)을 갖는다.
눌림 브라켓(350)의 설치는 다음과 같다. 먼저 제1프레임(320)의 저면(329)을 조립 기준면으로 하여 레벨 볼트(330)의 볼트 헤드(332)를 볼트 플레이트(390) 상면까지 조립한다. 그럼, 레벨 볼트(330)의 볼트 헤드(332)는 항상 일정하기 때문에 볼트 헤드(332)의 상면에 지지되는 리프트 핀(340)의 높이를 모두 동일하게 세팅된다.
참고로, 제1프레임(320)이 수평상태가 변형된 경우, 제1프레임(320)의 위치별 리프트 핀 높이가 상이하게 세팅될 수 있다. 이 경우, 레벨 볼트(330)를 도 8에서와 같이 볼트 플레이트(390)에서 그 높이를 변경하는 것으로 리프트 핀(340)의 세팅 높이로 조정할 수 있다. 이렇게, 레벨 볼트(330) 및 리프트 핀(340)의 세팅이 끝나면, 눌림 브라켓(350)의 고정부(352)를 레벨 볼트(330)의 하부 탭을 이용하여 고정하면, 레벨 볼트(330), 리프트 핀(340) 그리고 눌림 브라켓(350)이 모두 동일면을 기준으로 조립(적층)이 되고, 항상 눌림부(356)와 무게추(344) 사이의 간격은 자동으로 세팅된다. 이처럼, 레벨 볼트(330)와 눌림 브라켓(350)은 동일한 위치의 조립 기준을 가져가기 때문에 추가적인 작업이나 지그(Jig) 없이 제1프레임(320)에 리프트 핀(340)을 세팅할 수 있다.
상술한 바와 같이, 리프트 핀 어셈블리(300)는 레벨 볼트(330)의 높이만 조정하면 눌림 브라켓(350)도 같이 높이가 조정됨으로써, 눌림부(356)와 무게추(344) 사이의 간격은 항상 일정간 갭을 유지할 수 있다.
도 9 및 도 10은 눌림 브라켓의 다른 실시예를 보여주는 도면이다.
도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 눌림 브라켓(350a)은 무게추(332) 상면으로부터 일정 갭을 유지한 상태로 위치되는 눌림부(356a) 및 눌림부(356a)의 일단으로부터 수직 방향으로 연장 형성되고, 제1프레임(320)의 측면에 고정되는 고정부(352a)를 포함한다. 고정부(352a)는 고정 볼트에 의해 제1프레임(320)의 측면에 고정되며, 높낮이를 조절할 수 있도록 고정부(352a)에는 수직방향으로 형성된 슬릿홀(355)을 포함한다.
상술한 구성을 갖는 눌림 브라켓(350a)은 레벨 볼트(330)와는 별개로 그 높이를 조정할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
300 : 리프트 핀 어셈블리 310 : 승강 장치
320 : 제1프레임 330 : 레벨 볼트
340 : 리프트 핀 350 : 눌림 브라켓

Claims (20)

  1. 승강 장치에 의해 승강되는 제1프레임에 장착되는 레벨 볼트;
    하단에 무게추를 갖고, 상기 레벨 볼트에 지지되는 리프트 핀; 및
    상기 리프트 핀이 핀 홀에 걸렸을 때 강제 다운시키기 위한 눌림 브라켓을 포함하되;
    상기 눌림 브라켓은
    상기 무게추의 상면과 일정 갭을 유지한 상태로 세팅되도록 높낮이 조절이 가능하고,
    상기 레벨 볼트의 레벨 조정시 그 높이가 함께 조절되도록 제공되는 리프트 핀 어셈블리.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 눌림 브라켓은
    상기 레벨 볼트에 일단이 고정되고, 상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지한 상태로 위치되는 눌림부를 포함하는 리프트 핀 어셈블리.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 눌림 브라켓은
    상기 눌림부의 일측으로부터 하방으로 수직하게 연장 형성되는 수직부; 및
    상기 수직부의 하단으로부터 수평방향으로 연장되어 상기 레벨 볼트의 하부 탭에 의해 고정되는 고정부를 더 포함하는 리프트 핀 어셈블리.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 눌림 브라켓은
    상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지한 상태로 위치되는 눌림부;
    상기 눌림부의 일단으로부터 수직 방향으로 연장 형성되고, 상기 제1프레임의 측면에 고정되는 고정부를 포함하는 리프트 핀 어셈블리.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 고정부는
    고정 볼트가 상기 제1프레임의 측면에 고정되도록 수직방향으로 형성된 슬릿홀을 포함하는 리프트 핀 어셈블리.
  7. 제3항 또는 제4항에 있어서,
    상기 눌림부는
    상기 무게추의 직경보다 작고 상기 리프트 핀의 직경보다 큰 관통공을 포함하되;
    상기 관통공은 일측이 개방된 형태로 제공되는 리프트 핀 어셈블리.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 제1프레임의 저면에 수평하게 고정결합되는 볼트 플레이트를 더 포함하고,
    상기 레벨 볼트는 상기 볼트 플레이트에 수직하게 장착되는 리프트 핀 어셈블리.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 레벨 볼트는
    상기 볼트 플레이트의 상면에 위치되는 볼트 헤드; 및
    상기 볼트 플레이트의 저면에 위치되는 하부 탭을 포함하고,
    상기 눌림 브라켓은
    상기 고정부는 상기 볼트 플레이트 상에서 높낮이 조절되는 상기 레벨 볼트의 상기 하부 탭에 고정되는 리프트 핀 어셈블리.
  10. 기판 처리 장치에 있어서,
    기판에 대한 공정 처리가 진행는 처리공간을 제공하는 하우징;
    상기 처리 공간에 제공되고, 기판이 놓여지는 상면과 핀홀들을 갖는 기판 지지 플레이트; 및
    상기 기판 지지 플레이트로/로부터 기판을 로딩/언로딩시키기 위한 리프트 핀 어셈블리를 포함하되;
    상기 리프트 핀 어셈블리는
    승강 장치;
    상기 승강 장치에 의해 승강되는 제1프레임;
    상기 제1프레임에 장착되는 레벨 볼트들;
    하단에 무게추를 갖고, 상기 제1프레임의 상승 동작에서는 상기 레벨 볼트들 각각에 지지되어 상승 이동하고, 상기 제1프레임의 하강 동작에서는 자중에 의해 하강 이동하는 리프트 핀들; 및
    상기 제1프레임의 하강 동작에서 상기 리프트 핀이 핀 홀에 걸렸을 때 상기 리프트 핀을 강제 다운시키기 위한 눌림 브라켓들을 포함하되;
    상기 눌림 브라켓은
    상기 무게추의 상면과 일정 갭을 유지한 상태로 세팅되도록 높낮이 조절이 가능하고,
    상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트의 레벨 조정시 그 높이가 함께 조절되는 기판 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 눌림 브라켓은
    상기 레벨 볼트의 하단에 고정되는 고정부;
    상기 고정부로부터 상방으로 수직하게 연장 형성되는 수직부; 및
    상기 수직부로부터 수평하게 연장 형성되어 상기 무게추 상면에 위치되고, 상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지하도록 제공되는 눌림부를 포함하여,
    상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트의 레벨 조정시 그 높이가 함께 조절되는 기판 처리 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제1프레임의 저면에 수평하게 고정 결합되는 볼트 플레이트들을 더 포함하고,
    상기 레벨 볼트들은 각각의 상기 볼트 플레이트들에 수직하게 장착되는 기판 처리 장치.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 레벨 볼트는
    상기 볼트 플레이트의 상면에 위치되고, 상기 제1프레임의 상승 동작시 상기 리프트 핀의 상기 무게추를 지지하는 볼트 헤드; 및
    상기 볼트 플레이트의 저면에 위치되고 상기 눌림 브라켓의 고정부가 고정되는 하부 탭을 포함하는 기판 처리 장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 눌림 브라켓은
    상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지한 상태로 위치되는 눌림부;
    상기 눌림부의 일단으로부터 수직 방향으로 연장 형성되고, 상기 제1프레임의 측면에 고정되는 고정부를 포함하는 기판 처리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 고정부는
    고정 볼트가 상기 제1프레임의 측면에 고정되도록 그리고 상기 눌림 브라켓의 고정 높이를 조절할 수 있도록 수직방향으로 형성된 슬릿홀을 포함하는 기판 처리 장치.
  16. 제11항 또는 제14항에 있어서,
    상기 눌림부는
    상기 무게추의 직경보다 작고 상기 리프트 핀의 직경보다 큰 관통공을 포함하되;
    상기 관통공은 일측이 개방된 형태로 제공되는 기판 처리 장치.
  17. 제10항에 있어서,
    상기 승강 장치는
    상기 제1프레임 아래에 제공되는 베이스 프레임;
    상기 베이스 프레임의 중심으로부터 일정간 간격을 두고 배치되며, 상기 베이스 프레임 상에서 승강 가능하게 제공되는 승강부들;
    상기 승강부들이 동시에 상승 및 하강하도록 구동하는 구동부; 및
    상기 구동부의 구동력을 상기 승강부들로 동시에 전달하는 동력전달부를 포함하는 기판 처리 장치.
  18. 승강 장치에 의해 승강되는 제1프레임;
    상기 제1프레임에 장착되는 레벨 볼트들;
    하단에 무게추를 갖고, 상기 제1프레임의 상승 동작에서는 상기 레벨 볼트들 각각에 지지되어 상승 이동하고, 상기 제1프레임의 하강 동작에서는 자중에 의해 하강 이동하는 리프트 핀들; 및
    상기 제1프레임의 하강 동작에서 상기 리프트 핀이 핀 홀에 걸렸을 때 상기 리프트 핀을 강제 다운시키기 위한 눌림 브라켓들을 포함하되;
    상기 눌림 브라켓은
    상기 레벨 볼트의 하단에 고정되는 고정부;
    상기 고정부로부터 상방으로 수직하게 연장 형성되는 수직부; 및
    상기 수직부로부터 수평하게 연장 형성되어 상기 무게추 상면에 위치되고, 상기 무게추 상면으로부터 일정 갭을 유지하도록 제공되는 눌림부를 포함하여,
    상기 눌림 브라켓은 상기 레벨 볼트의 레벨 조정시 그 높이가 함께 조절되는 리프트 핀 어셈블리.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 제1프레임의 저면에 수평하게 고정 결합되는 볼트 플레이트들을 더 포함하고,
    상기 레벨 볼트들은 각각의 상기 볼트 플레이트들에 수직하게 장착되며,
    상기 레벨 볼트는
    상기 볼트 플레이트의 상면에 위치되고, 상기 제1프레임의 상승 동작시 상기 리프트 핀의 상기 무게추를 지지하는 볼트 헤드; 및
    상기 볼트 플레이트의 저면에 위치되고 상기 눌림 브라켓의 고정부가 고정되는 하부 탭을 포함하는 리프트 핀 어셈블리.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 눌림부는
    상기 무게추의 직경보다 작고 상기 리프트 핀의 직경보다 큰 관통공을 포함하되;
    상기 관통공은 일측이 개방된 형태로 제공되는 리프트 핀 어셈블리.
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