WO2019134194A1 - 基板取放设备及取放方法 - Google Patents

基板取放设备及取放方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2019134194A1
WO2019134194A1 PCT/CN2018/073598 CN2018073598W WO2019134194A1 WO 2019134194 A1 WO2019134194 A1 WO 2019134194A1 CN 2018073598 W CN2018073598 W CN 2018073598W WO 2019134194 A1 WO2019134194 A1 WO 2019134194A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
substrate
foldable bracket
driving unit
operating
foldable
Prior art date
Application number
PCT/CN2018/073598
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
宋立
Original Assignee
惠科股份有限公司
重庆惠科金渝光电科技有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 惠科股份有限公司, 重庆惠科金渝光电科技有限公司 filed Critical 惠科股份有限公司
Priority to US16/082,879 priority Critical patent/US10952359B2/en
Publication of WO2019134194A1 publication Critical patent/WO2019134194A1/zh

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/067Sheet handling, means, e.g. manipulators, devices for turning or tilting sheet glass
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Definitions

  • Step S211 operating the second driving unit to lower the foldable bracket, so that the adsorption structures at the bottom of the foldable bracket are attached to the substrate for adsorption;

Abstract

一种基板取放设备(1)及取放方法,其结构包括:一承载平台(11),用以承载一基板(10);一伸缩装置(12),包括:一可折叠式支架(121),可折叠式支架(121)设置于承载平台(11)上方,进行水平方向的伸缩;多个吸附结构,设置于可折叠式支架(121)的底部,该些吸附结构平均分布于可折叠式支架(121)的区域范围,用以吸附基板(10);第一驱动单元(123),用以驱动可折叠式支架(121)进行水平方向的伸缩;以及第二驱动单元(124),用以驱动伸缩装置(12)进行垂直方向的升降;以及一输运装置,运作于承载平台(11)与可折叠式支架(121)之间;基板取放方式采取由上方以吸附结构进行基板(10)取放。

Description

基板取放设备及取放方法 技术领域
本申请涉及一种基板取放设备及取放方法,特别是涉及一种采用吸附式结构的基板取放设备及取放方法。
背景技术
在液晶面板的制程中,紫外光固化主制程(UVM,Ultraviolet main curing)对于液晶的配向过程起着关键的作用,紫外光固化主制程的基本原理为:将液晶面板运送至UVM机台后,对液晶面板进行紫外线曝光,之后即可完成配向制程。
然而目前在将液晶面板的基板运送至UVM机台后,对基板进行紫外线曝光的阶段中,基板取放设备是通过机械手臂配合升降支撑杆的运作进行取放片:
1.出片时:升降支撑杆从基板承载平台中间和四周升起将基板顶起,机械手臂从升降支撑杆中间插入,抬起基板取出;
2.进片时:机械手臂上的基板放置在升降支撑杆上,升降支撑杆再下降,将基板放置在承载平台上。
唯,升降支撑杆由于数量少,所以对基板支撑压力很大,可以达到100N以上,液晶面板基板在承受到这个压力时,压力点会造成图像不均,造成产品液晶面板报废。
又,如果增多支撑杆数量,承载平台孔洞增多,由于配向紫外线液晶照射机的承载平台为均温控制平台,生产时要求液晶基板的温度保持一致,如果孔洞增多,孔洞处温度和实地处温度有差异,造成产品异常。另外配向紫外线液晶照射机对基板进行紫外线照射,要求照度均匀性一致,孔洞处和实地处的照度有差异,造成产品异常。
所以在设备设计和制作前需要先确定产品的规格和尺寸,在产品设计定型后,再进行机台的设计,升降支撑杆支撑基板的位置不能在显示屏的显示区域。设备制作定型后,能够生产的产品也定型,如果后期需要生产其他尺寸的产品,需要重新进行设备的制作。产生了产品设计不灵活、设备制作成本大等问题。
发明内容
为了解决上述技术问题,本申请的目的在于提供一种基板取放设备及取放方法,特别是涉及一种采用吸附式结构的基板取放设备及取放方法。
本申请的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
本申请提供了一种基板取放设备,包括:一承载平台,用以承载一基板;一伸缩装置,包括:一可折叠式支架,所述可折叠式支架设置于所述承载平台上方,进行水平方向的伸缩,所述可折叠式支架伸出为展开状态时进入所述基板的区域范围,缩回为收起状态时退出所述基板的区域范围;多个吸附结构,设置于所述可折叠式支架的底部,该些吸附结构平均分布于所述可折叠式支架于展开状态时的区域范围,用以吸附所述基板;第一驱动单元,用以驱动所述可折叠式支架进行水平方向的伸缩;以及第二驱动单元,用以驱动所述伸缩装置进行垂直方向的升降;以及一输运装置,运作于所述承载平台与所述可折叠式支架之间,伸出时进入所述承载平台的区域范围,缩回时退出所述承载平台的区域范围。
在本申请的一实施例中,所述承载平台为封闭不开孔的平面结构。
在本申请的一实施例中,所述可折叠式支架于展开状态时为网格状结构。
在本申请的一实施例中,所述吸附结构为真空吸嘴。
在本申请的一实施例中,所述第一驱动单元为马达或油压缸。
在本申请的一实施例中,所述第二驱动单元为马达或油压缸。
在本申请的一实施例中,所述输运装置为机械手臂。
本申请的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。
本申请提供了一种基板取放方法,其步骤包括:操作一输运装置输运一基板进入一承载平台的区域范围;操作一第一驱动单元伸出展开一可折叠式支架于所述基板上方,所述可折叠式支架底部设置有多个吸附结构;操作一第二驱动单元降下所述可折叠式支架使所述可折叠式支架底部的该些吸附结构贴合所述基板进行吸附;操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架,同时升起吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板;操作所述输运装置伸出所述承载平台的区域范围;操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架,同时降下吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板于所述承载平台上;操作该些吸附结构停止吸附所述基板;操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架;以及操作所述第一驱动单元缩回退出所述可折叠式支架于所述基板上方。
在本申请的一实施例中,所述基板取放方法于操作所述第一驱动单元缩回退出所述可折叠式支架于所述基板上方之后,更包括以下步骤:操作所述第一驱动单元伸出展开所述可折叠式支架于所述基板上方;操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架使所述可折叠式支架底部的该些吸附结构贴合所述基板进行吸附;操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架,同时升起吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板;操作所述输运装置伸入所述基板下方;操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架,同时降下吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的 所述基板于所述输运装置上;操作该些吸附结构停止吸附所述基板;操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架;操作所述第一驱动单元缩回所述可折叠式支架退出所述基板上方;以及操作所述输运装置输运所述基板退出承载平台的区域范围。
经过本申请的改进之后,采用吸附式结构取放基板可避免承载平台挖孔洞造成紫外线照度不均和温度不均的问题,提高产品良率;亦可以灵活设计产品,无需考虑承载平台孔洞问题,节省产品设计和设备制作成本。
附图说明
图1A是范例性通过机械手臂进行取放片的上视示意图。
图1B是范例性通过机械手臂进行取放片的前视示意图。
图2A是本申请一实施例所述伸缩装置的展开状态示意图。
图2B是本申请一实施例所述伸缩装置的收起状态示意图。
图3A是本申请一实施例所述吸附式取放片的取片示意图。
图3B是本申请一实施例所述吸附式取放片的放片示意图。
图4A是本申请一实施例所述基板取放方法的流程图。
图4B是本申请另一实施例所述基板取放方法的流程图。
具体实施方式
以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本申请可用以实施的特定实施例。本申请所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本申请,而非用以限制本申请。
附图和说明被认为在本质上是示出性的,而不是限制性的。在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。另外,为了理解和便于描述,附图中示出的每个组件的尺寸和厚度是任意示出的,但是本申请不限于此。
在附图中,为了清晰起见,夸大了层、膜、面板、区域等的厚度。在附图中,为了理解和便于描述,夸大了一些层和区域的厚度。将理解的是,当例如层、膜、区域或基底的组件被称作“在”另一组件“上”时,所述组件可以直接在所述另一组件上,或者也可以存在中间组件。
另外,在说明书中,除非明确地描述为相反的,否则词语“包括”将被理解为意指包括所述组件,但是不排除任何其它组件。此外,在说明书中,“在......上”意指位于目标组件上方或者下方,而不意指必须位于基于重力方向的顶部上。
为更进一步阐述本申请为达成预定申请目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本申请提出的一种基板取放设备及取放方法,其具体实施方式、结构、特征及 其功效,详细说明如后。
首先,请参考图1A及图1B,图1A及图1B为范例性通过机械手臂进行取放片的上视及前视示意图,如图所示,本申请所欲解决的问题是目前在紫外光固化主制程中,将液晶面板的基板10运送至UVM机台后,对基板10进行紫外线曝光的阶段中,基板取放设备1'是通过机械手臂13配合升降支撑杆12'的运作进行取放片:
1.出片时:升降支撑杆12'升起并通过基板承载平台11'中间和四周的孔洞111'将基板顶起,机械手臂13从升降支撑杆12'中间插入,抬起基板10取出;
2.进片时:机械手臂13上的基板10放置在升降支撑杆12'上,升降支撑杆12'再下降,将基板10放置在承载平台11'上。
唯,升降支撑杆12'由于数量少,所以对基板10支撑压力很大,可以达到100N以上,液晶面板基板10在承受到这个压力时,压力点会造成图像不均,造成产品液晶面板报废。
又,如果增多升降支撑杆12'数量,承载平台11'孔洞111'则须相应增多,但由于配向紫外线液晶照射机的承载平台11'为均温控制平台,生产时要求液晶基板10的温度保持一致,如果孔洞111'增多,孔洞111'处温度和实地处温度有差异,容易造成产品异常;另外配向紫外线液晶照射机对基板10进行紫外线照射时,要求照度均匀性一致,孔洞111'处和实地处的照度有差异,也会造成产品异常的情形。
因此有关本申请的结构敬请参阅图2A到图3B,本申请的目的及解决其技术问题包括一种基板取放设备1,包括:一承载平台11,用以承载一基板10;一伸缩装置12,包括:一可折叠式支架121,所述可折叠式支架121设置于所述承载平台11上方,进行水平方向的伸缩,所述可折叠式支架121伸出为展开状态121A时进入所述基板10的区域范围,缩回为收起状态121B时退出所述基板10的区域范围;多个吸附结构,设置于所述可折叠式支架121的底部,该些吸附结构平均分布于所述可折叠式支架121于展开状态121A时的区域范围,用以吸附所述基板10;第一驱动单元123,用以驱动所述可折叠式支架121进行水平方向的伸缩;以及第二驱动单元124,用以驱动所述伸缩装置12进行垂直方向的升降;以及一输运装置,运作于所述承载平台11与所述可折叠式支架12之间,伸出时进入所述承载平台11的区域范围,缩回时退出所述承载平台11的区域范围。
在此一实施例中,所述输运装置为机械手臂13。
在此一实施例中,所述承载平台11为封闭不开孔的平面结构;将配向紫外线液晶照射机的承载平台10做成封闭不开孔的完整平面结构可避免紫外线照度不均匀、温度不均匀等问题,使基板10接受紫外线液晶照射更为均匀达到更好的照射效果。
敬请参阅图2A与图2B,如图2A展开的基板取放设备1A与图2B基板取放设备1B所示,所述可折叠式支架121于展开状态121A时(如图2A所示)为网格状结构,于收起状态121B时(如图2B所示)缩回基板10以外的区域。所述可折叠式支架121利用第一驱动组件123驱动,在基板10照射时缩回为收起状态121B,于基板取放时伸出为展开状态121A,可避免遮挡基板10上方灯管的光线,影响紫外线照射均匀性。
在此一实施例中,所述吸附结构为真空吸嘴122。
敬请参阅图3A与图3B,基板取放方式采取由上方以真空吸嘴122将基板10吸附抬起,以便机械手臂13进行基板10取放。实际运作时,基板取放设备利用真空吸嘴122将基板10吸附住,利用第二驱动组件124驱动伸缩装置12的升降将基板10抬起(如图3A所示)或放下(如图3B所示),该些真空吸嘴122平均分布于所述可折叠式支架121于展开状态121A时的区域范围,如本案实施例总计设计76个真空吸嘴122吸附点,以降低每个吸附点的吸附力度,避免产生基板10弯曲、基板10受力过大等问题。
在此一实施例中,所述第一驱动单元123为马达或油压缸。
在此一实施例中,所述第二驱动单元124为马达或油压缸。
续请参阅图4A,本申请的目的及解决其技术问题更包括一种基板取放方法S1,其步骤包括:
步骤S101:操作一输运装置输运一基板进入一承载平台的区域范围;
步骤S102:操作一第一驱动单元伸出展开一可折叠式支架于所述基板上方,所述可折叠式支架底部设置有多个吸附结构;
步骤S103:操作一第二驱动单元降下所述可折叠式支架使所述可折叠式支架底部的该些吸附结构贴合所述基板进行吸附;
步骤S104:操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架,同时升起吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板;
步骤S105:操作所述输运装置伸出所述承载平台的区域范围;
步骤S106:操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架,同时降下吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板于所述承载平台上;
步骤S107:操作该些吸附结构停止吸附所述基板;
步骤S108:操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架;以及
步骤S109:操作所述第一驱动单元缩回退出所述可折叠式支架于所述基板上方。
最后请参阅图4B,本申请的目的及解决其技术问题更包括一种基板取放方法S2,其步骤 包括:
步骤S201:操作一输运装置输运一基板进入一承载平台的区域范围;
步骤S202:操作一第一驱动单元伸出展开一可折叠式支架于所述基板上方,所述可折叠式支架底部设置有多个吸附结构;
步骤S203:操作一第二驱动单元降下所述可折叠式支架使所述可折叠式支架底部的该些吸附结构贴合所述基板进行吸附;
步骤S204:操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架,同时升起吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板;
步骤S205:操作所述输运装置伸出所述承载平台的区域范围;
步骤S206:操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架,同时降下吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板于所述承载平台上;
步骤S207:操作该些吸附结构停止吸附所述基板;
步骤S208:操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架;
步骤S209:操作所述第一驱动单元缩回退出所述可折叠式支架于所述基板上方;
步骤S210:操作所述第一驱动单元伸出展开所述可折叠式支架于所述基板上方;
步骤S211:操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架使所述可折叠式支架底部的该些吸附结构贴合所述基板进行吸附;
步骤S212:操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架,同时升起吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板;
步骤S213:操作所述输运装置伸入所述基板下方;
步骤S214:操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架,同时降下吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板于所述输运装置上;
步骤S215:操作该些吸附结构停止吸附所述基板;
步骤S216:操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架;
步骤S217:操作所述第一驱动单元缩回所述可折叠式支架退出所述基板上方;以及
步骤S218:操作所述输运装置输运所述基板退出承载平台的区域范围。
“在一些实施例中”及“在各种实施例中”等用语被重复地使用。该用语通常不是指相同的实施例;但它亦可以是指相同的实施例。“包含”、“具有”及“包括”等用词是同义词,除非其前后文意显示出其它意思。
以上所述,仅是本申请的较佳实施例而已,并非对本申请作任何形式上的限制,虽然本 申请已以较佳实施例揭露如上,然而并非用以限定本申请,任何熟悉本专业的技术人员,在不脱离本申请技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本申请技术方案的内容,依据本申请的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰,均仍属于本申请技术方案的范围内。

Claims (20)

  1. 一种基板取放设备,包括:
    一承载平台,用以承载一基板;
    一伸缩装置,包括:
    一可折叠式支架,所述可折叠式支架设置于所述承载平台上方,进行水平方向的伸缩,所述可折叠式支架伸出为展开状态时进入所述基板的区域范围,缩回为收起状态时退出所述基板的区域范围;
    多个吸附结构,设置于所述可折叠式支架的底部,该些吸附结构平均分布于所述可折叠式支架于展开状态时的区域范围,用以吸附所述基板;
    第一驱动单元,用以驱动所述可折叠式支架进行水平方向的伸缩;以及
    第二驱动单元,用以驱动所述伸缩装置进行垂直方向的升降;以及
    一输运装置,运作于所述承载平台与所述可折叠式支架之间,伸出时进入所述承载平台的区域范围,缩回时退出所述承载平台的区域范围。
  2. 如权利要求1所述的基板取放设备,其中,所述承载平台为封闭不开孔的平面结构。
  3. 如权利要求1所述的基板取放设备,其中,所述可折叠式支架于展开状态时为网格状结构。
  4. 如权利要求1所述的基板取放设备,其中,所述吸附结构为真空吸嘴。
  5. 如权利要求1所述的基板取放设备,其中,所述第一驱动单元为马达。
  6. 如权利要求1所述的基板取放设备,其中,所述第一驱动单元为油压缸。
  7. 如权利要求1所述的基板取放设备,其中,所述第二驱动单元为马达。
  8. 如权利要求1所述的基板取放设备,其中,所述第二驱动单元为油压缸。
  9. 如权利要求1所述的基板取放设备,其中,所述输运装置为机械手臂。
  10. 一种基板取放设备,包括:
    一封闭不开孔的承载平台,用以承载一基板;
    一伸缩装置,包括:
    一可折叠式支架,所述可折叠式支架设置于所述承载平台上方,进行水平方向的伸缩,所述可折叠式支架伸出为展开状态时进入所述基板的区域范围,缩回为收起状态时退出所述基板的区域范围;
    多个真空吸嘴,设置于所述可折叠式支架的底部,该些真空吸嘴平均分布于所述可折叠式支架于展开状态时的区域范围,用以吸附所述基板;
    第一驱动单元,用以驱动所述可折叠式支架进行水平方向的伸缩;以及
    第二驱动单元,用以驱动所述伸缩装置进行垂直方向的升降;以及
    一机械手臂,运作于所述承载平台与所述可折叠式支架之间,伸出时进入所述基板的区域范围,缩回时退出所述基板的区域范围。
  11. 一种基板取放方法,其步骤包括:
    操作一输运装置输运一基板进入一承载平台的区域范围;
    操作一第一驱动单元伸出展开一可折叠式支架于所述基板上方,所述可折叠式支架底部设置有多个吸附结构;
    操作一第二驱动单元降下所述可折叠式支架使所述可折叠式支架底部的该些吸附结构贴合所述基板进行吸附;
    操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架,同时升起吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板;
    操作所述输运装置伸出所述承载平台的区域范围;
    操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架,同时降下吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板于所述承载平台上;
    操作该些吸附结构停止吸附所述基板;
    操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架;以及
    操作所述第一驱动单元缩回退出所述可折叠式支架于所述基板上方。
  12. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,于操作所述第一驱动单元缩回退出所述可折叠式支架于所述基板上方之后,更包括以下步骤:
    操作所述第一驱动单元伸出展开所述可折叠式支架于所述基板上方;
    操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架使所述可折叠式支架底部的该些吸附结构贴合所述基板进行吸附;
    操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架,同时升起吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板;
    操作所述输运装置伸入所述基板下方;
    操作所述第二驱动单元降下所述可折叠式支架,同时降下吸附于所述可折叠式支架底部的该些吸附结构的所述基板于所述输运装置上;
    操作该些吸附结构停止吸附所述基板;
    操作所述第二驱动单元升起所述可折叠式支架;
    操作所述第一驱动单元缩回所述可折叠式支架退出所述基板上方;以及
    操作所述输运装置输运所述基板退出承载平台的区域范围。
  13. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,所述承载平台为封闭不开孔的平面结构。
  14. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,所述可折叠式支架于展开状态时为网格状结构。
  15. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,所述吸附结构为真空吸嘴。
  16. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,所述第一驱动单元为马达。
  17. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,所述第一驱动单元为油压缸。
  18. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,所述第二驱动单元为马达。
  19. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,所述第二驱动单元为油压缸。
  20. 如权利要求11所述的基板取放方法,其中,所述输运装置为机械手臂。
PCT/CN2018/073598 2018-01-05 2018-01-22 基板取放设备及取放方法 WO2019134194A1 (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US16/082,879 US10952359B2 (en) 2018-01-05 2018-01-22 Substrate pick-and-place equipment

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201810011877.9 2018-01-05
CN201810011877.9A CN108082940B (zh) 2018-01-05 2018-01-05 基板取放设备及取放方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2019134194A1 true WO2019134194A1 (zh) 2019-07-11

Family

ID=62182010

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/CN2018/073598 WO2019134194A1 (zh) 2018-01-05 2018-01-22 基板取放设备及取放方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN108082940B (zh)
WO (1) WO2019134194A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109917588A (zh) * 2019-03-21 2019-06-21 深圳市华星光电技术有限公司 配向紫外线照射机
CN111897149B (zh) * 2020-08-04 2023-04-28 北京七星华创集成电路装备有限公司 紫外线固化设备

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN200992434Y (zh) * 2006-09-20 2007-12-19 阳程科技股份有限公司 取放薄板装置
JP2009071117A (ja) * 2007-09-14 2009-04-02 Toppan Printing Co Ltd 基板搬送台車及びそれを用いた基板の受け取り、搬送、投入方法
CN202330960U (zh) * 2011-11-16 2012-07-11 京东方科技集团股份有限公司 一种机械手设备
CN102874598A (zh) * 2012-09-06 2013-01-16 东莞市五株电子科技有限公司 基板投放方法
CN207726345U (zh) * 2018-01-05 2018-08-14 惠科股份有限公司 基板取放设备

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN200992434Y (zh) * 2006-09-20 2007-12-19 阳程科技股份有限公司 取放薄板装置
JP2009071117A (ja) * 2007-09-14 2009-04-02 Toppan Printing Co Ltd 基板搬送台車及びそれを用いた基板の受け取り、搬送、投入方法
CN202330960U (zh) * 2011-11-16 2012-07-11 京东方科技集团股份有限公司 一种机械手设备
CN102874598A (zh) * 2012-09-06 2013-01-16 东莞市五株电子科技有限公司 基板投放方法
CN207726345U (zh) * 2018-01-05 2018-08-14 惠科股份有限公司 基板取放设备

Also Published As

Publication number Publication date
CN108082940A (zh) 2018-05-29
CN108082940B (zh) 2019-05-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100700836B1 (ko) 레이저 열 전사 장치 및 레이저 열 전사법 그리고 이를이용한 유기 발광소자의 제조방법
US20160372343A1 (en) Substrate support device, substrate support method and vacuum drying equipment
WO2019134194A1 (zh) 基板取放设备及取放方法
JP2013168461A (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
JP2011175016A (ja) 液晶基板貼合システム
JP3070006B2 (ja) 薄板状ワークの搬送方法
CN207726345U (zh) 基板取放设备
TW201347078A (zh) 基板處理裝置及基板處理方法
KR101209654B1 (ko) 트레이 틸트 장치
US20170108717A1 (en) Processing platform for display panel
JP5104257B2 (ja) 基板貼り合せシステム
KR102588603B1 (ko) 리프트핀 어셈블리를 및 이를 갖는 기판 처리 장치
KR101826592B1 (ko) 수직형 기판 이송장치
KR100819496B1 (ko) 평판 표시소자의 배기, 봉착장치 및 방법
CN106654065A (zh) 一种用于柔性屏基板的剥离设备及柔性屏的制造方法
KR101330726B1 (ko) 기판 척킹 디척킹 장치 및 이를 이용한 기판 척킹 디척킹 방법
WO2019054345A1 (ja) 検査装置
JP5642239B2 (ja) 液晶基板貼合システム
US10952359B2 (en) Substrate pick-and-place equipment
JPWO2009060861A1 (ja) 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法
KR101688842B1 (ko) 기판 처리 장치
KR20190014262A (ko) 유연기판 벤딩장치
KR101356026B1 (ko) 인쇄 회로 기판 지지 장치, 및 이를 구비한 하부 기판 리프트 유닛, 리프트 방법, 및 기판 합착 장치
KR101069154B1 (ko) 기판 처리장치
KR102543214B1 (ko) 진공챔버를 이용한 라미네이팅 방법

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18898502

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

32PN Ep: public notification in the ep bulletin as address of the adressee cannot be established

Free format text: NOTING OF LOSS OF RIGHTS PURSUANT TO RULE 112(1) EPC (EPO FORM 1205A DATED 16.10.2020)