CN205332695U - 加热炉 - Google Patents

Abstract

本实用新型的加热炉，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔体，所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进气口位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部分伸入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长度，所述进气管与所述腔体之间为密封连接，所述进气管处于所述热排管内部的部分与所述热排管之间留有间隙。本实用新型的加热炉通过将进气管的靠近出气口的部分设置于热排管内部，使进气管中的工艺气体通过热排管内的热量进行预加热，从而提高了能源利用效率，减少了能量消耗。

Description

加热炉

技术领域

本实用新型涉及工艺设备领域，尤其涉及一种加热炉。

背景技术

目前，在平板显示及半导体行业中，生产显示面板过程中,涉及到面板组装工序。通常采用封胶框来连接两层基板，两层基板之间设置发光层。在对合两个基板后，需要用加热炉对封框胶进行加热固化，从而使两个基板粘合到一起。

相关技术中的加热炉一般包括加热腔、热源组件以及控制系统。在对封框胶进行加热固化过程中，需要支撑物支撑基板。现有技术中，通常加热炉包括进气管、预加热单元和腔体等单元。在使用时进气管与预加热单元相连，使通过进气管的工艺气体进行预加热处理，以避免工艺气体进入腔体内造成腔体内热量不均匀，影响封框胶的固化效果；预加热单元与腔体连接，以使预加热后的工艺气体进入腔体内。

但是，加热炉设置专门的预加热单元提高了能量的消耗。

实用新型内容

本实用新型提供加热炉，以克服现有技术中加热炉设置专门的预加热单元增加了能量的消耗的技术问题。

本实用新型提供加热炉，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔体，

所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进气口位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部分伸入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长度，所述进气管与所述腔体之间为密封连接，所述进气管处于所述热排管内部的部分与所述热排管之间留有间隙。

优选地，所述热排管固定设置于所述腔体内部，且沿竖直方向贴合于所述腔体的侧壁。

优选地，所述支架由石英或不锈钢制成。

优选地，所述进气管伸出所述腔体的部分设置有调节阀。

优选地，所述进气管伸出所述腔体的部分还设置有过滤器，所述过滤器设置于所述调节阀和所述进气管与腔体的接合处之间。

优选地，所述进气管伸出所述腔体的部分还设置有流量计，所述流量计设置于所述调节阀与所述过滤器之间。

优选地，所述热排管伸出所述腔体之外的部分还设置有尾气处理单元。

优选地，所述尾气处理单元的输出端还设置有风机。

优选地，所述进气管内通入氮气。

本实用新型的加热炉，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔体，所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进气口位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部分伸入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长度，所述进气管与所述腔体之间为密封连接，所述进气管处于所述热排管内部的部分与所述热排管之间留有间隙。本实用新型的加热炉通过将进气管的靠近出气口的部分设置于热排管内部，使进气管中的工艺气体通过热排管内的热量进行预加热，从而提高了能源利用效率，减少了能量消耗。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为现有技术的加热炉的示意图；

图2为本实用新型的加热炉的实施例一的示意图；

图3为本实用新型的加热炉的实施例二的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为现有的技术中的加热炉的示意图，如图1所示，现有技术的加热炉包括腔体11、热排管12、进气管13、预加热单元14、过滤器15、流量计16、调节阀17、尾气处理单元18、风机19和支架20。其中，进气管13与腔体11密封连接，工艺气体由进气管13的进气口进入进气管13内，通入腔体11内，工艺气体的流向如图1中箭头所示。在进气管13上还设置有调节阀17，通过调节阀17来调节工艺气体的流量，在调节阀17和腔体11之间还设置有过滤器15和流量计16，在流量计16和腔体11之间还设置有预加热单元14，以将工艺气体进行预加热，避免温度较低的工艺气体进入腔体11内使腔体11内的温度不均匀；腔体11呈竖直放置，腔体11内设置有放置基板的支架20，腔体11周围设置有加热装置，支架20上的基板受热后，基板上涂的光刻胶或封框胶发生固化反应；热排管12设置于腔体11内，并竖直贴合于腔体11的侧壁，热排管12的底部伸出腔体11之外，连接于尾气处理单元18，尾气处理单元18的输出口设置有风机19，以将尾气处理单元18输出的气体冷却，排出于大气中。

现有技术中的加热炉需要设置预加热单元14为进气管13中的工艺气体预加热，同时热排管12的热量很高，如果能将进气管13设置于热排管12中，不但能够使加热炉结构更为简单，同时还能使能源充分利用，节约了能源。基于此构思，发明人设计了如下实用新型。

图2为本实用新型的加热炉的实施例一的示意图，如图2所示，本实施例的加热炉，具体可以包括用于通过工艺气体的进气管21、热排管22和腔体23。

为充分利用温度较高的热排管22为进气管21中的工艺气体预加热，可以将进气管21的一部分设置于热排管22中，具体技术方案如下：所述热排管22与所述腔体23连通，所述进气管21包括进气口和出气口，所述进气口位于所述腔体23之外，所述出气口位于所述腔体23之内，所述进气管21的一部分伸入所述热排管22的内部，且沿所述热排管22延伸一段长度，所述进气管21与所述腔体23之间为密封连接，所述进气管21处于所述热排管22内部的部分与所述热排管22之间留有间隙。

这样将进气管21通入工艺气体后，工艺气体流经进气管21位于热排管22中的一部分，并流过一段长度后，温度升高，达到为工艺气体预加热的目的。且进气管21处于所述热排管22内部的部分与所述热排管22之间留有间隙，不会影响热排管22排出废气的作用。

为放置基板，在腔体23内设置有至少一层用于放置基板的支架24。在具体实施时，腔体23内可以设置多层支架24，以放置多个基板。具体地基板为玻璃基板，支架24为具有耐热性能的支架，可以为石英支架或者不锈钢支架。

由于腔体23内设置有很多层支架24，每层支架24上放置基板，为利于每层支架24上方的空间进行排出废气，将热排管22固定设置于所述腔体23内部，且沿竖直方向贴合于所述腔体23的侧壁，这样每层支架24上方的空间的气体都能流入热排管22中。

在本实施例中，热排管22的作用是使腔体23中的废气(例如，蒸发的光刻胶)通过，并排出腔体23之外。因此，热排管22的数量可以是一个或多个。当设置多个热排管22的情况下，进气管21只设置于其中一个热排管22之内。如图2所示，进气管21由热排管22的底部开口伸出热排管22内，并由热排管22的顶部开口伸入热排管22，使气体通入腔体23，本实施例中的进气管21、热排管22和腔体23连接之处均为密封连接。进气管21与热排管22中间设有隔层，使热排管22中的废气通过。通常情况下中，腔体23中放置要加热的基板，热排管22设置于周边，贴近腔体23侧壁的位置，以充分利用腔体内23的空间。

在具体实施时，由于加热炉的腔体23中温度较高，热排管22设置于腔体23之内，腔体23中的废气通过热排管22，使得热排管22内的温度也较高。工艺气体由进气管21的进气口进入进气管21，进气管21设置于热排管22的内部，进气管21从热排管22的底部开口伸入热排管22内，并从热排管22的顶部开口伸出，可以充分利用热排管22内部的温度使进气管21内的工艺气体预加热，工艺气体在进气管21内经过一段距离的流动，温度得到提高，并达到腔体23内的温度，实现了腔体23内温度均匀的效果。

工艺气体一般为惰性气体，将工艺气体通入腔体23内，将工艺气体分子作为携带热量的介质，使腔体23内的热量分布更为均匀，从而使腔体23内的基板受热更为均匀。

本实施例的加热炉通过将进气管21的靠近出气口的部分设置于热排管22内部，使进气管21中的工艺气体通过热排管内的热量进行预加热，从而提高了能源利用效率，减少了能量消耗。

图3为本实用新型的加热炉的实施例二的示意图，本实施例的加热炉在上述实施例一的基础上，进一步更加详细地介绍本实用新型的技术方案。如图3所示，本实施例的加热炉，在图2所示的实施例一的基础上进一步可以包括：

为能够根据实际情况调节通入进气管21的工艺气体的流量，在进气管21伸出腔体23的部分设置有调节阀25。

在具体实施时，进气管21伸出腔体23的部分，具体是进气管21的进气口附近，以调节进入进气管21的工艺气体的流量。

由于进入进气管21的工艺气体在提纯处理操作时，可能混有水蒸汽，因此，可以设置过滤器26可以将工艺气体中的水蒸气过滤掉，例如，在进气管21伸出腔体23的部分还设置有过滤器26，过滤器26设置于调节阀25和热排管22之间。

进一步可选地，进气管21伸出腔体23的部分还设置有流量计27，流量计27设置于调节阀25与过滤器26之间。

在具体实施时，需要统计进入腔体23内的工艺气体的流量，因此在调节阀和过滤器26之间设置有流量计27。

进一步可选地，热排管22伸出腔体23之外的部分还设置有尾气处理单元28。

在具体实施时，腔体23内设置的热排管22伸出腔体23之外的部分设置尾气处理单元28，对热排管22排出的废气进行处理，分解成无污染的气体后，再排入大气。

进一步可选地，尾气处理单元28的输出端还设置有风机29。

在具体实施时，尾气处理单元28处理后的废气仍为温度较高的气体，由风机29对该气体进行冷却后再排入大气，以减低温度效应。

进一步可选地，工艺气体为氮气，即进气管21内通入氮气。

在具体实施时，由于腔体23内温度较高，所输入的工艺气体最好是较稳定的惰性气体，最好是氮气。当然还包括其他能实现本发明目的的惰性气体。

具体地，如图3所示，本实用新型的加热炉的工作流程如下：氮气由进气管21的进气口端进入进气管21，经过调节阀25调节氮气至合适的流量后，通过流量计27计量所通放氮气的流量，再通过过滤器26滤除氮气中的水气后，氮气进入位于热排管22内部的那段进气管21，通过热排管22的热量的热传导作用使氮气预加热后，由热排管22的顶部开口进入腔体23内，腔体23内的氮分子作为热传导的介质，使腔体23内放置的基板受热更均匀，从而使基板上的光刻胶或封框胶固化得更为均匀。

本实施例的加热炉通过设置调节阀25、过滤器26、流量计27等使进入进气管21的工艺气体更好的控制流量，以及滤除水气；对热排管22所排出的废气进行尾气处理和冷却处理再排入大气，以减少大气污染，减少温室效应。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种加热炉，其特征在于，包括用于通过工艺气体的进气管、热排管和腔体，

所述热排管与所述腔体连通，所述进气管包括进气口和出气口，所述进气口位于所述腔体之外，所述出气口位于所述腔体之内，所述进气管的一部分伸入所述热排管的内部，且沿所述热排管延伸一段长度，所述进气管与所述腔体之间为密封连接，所述进气管处于所述热排管内部的部分与所述热排管之间留有间隙。

2.根据权利要求1所述的加热炉，其特征在于，所述热排管固定设置于所述腔体内部，且沿竖直方向贴合于所述腔体的侧壁。

3.根据权利要求2所述的加热炉，其特征在于，所述腔体内设置有至少一层用于放置基板的支架。

4.根据权利要求3所述的加热炉，其特征在于，所述支架由石英或不锈钢制成。

5.根据权利要求4所述的加热炉，其特征在于，所述进气管伸出所述腔体的部分设置有调节阀。

6.根据权利要求5所述的加热炉，其特征在于，所述进气管伸出所述腔体的部分还设置有过滤器，所述过滤器设置于所述调节阀和所述进气管与腔体的接合处之间。

7.根据权利要求6所述的加热炉，其特征在于，所述进气管伸出所述腔体的部分还设置有流量计，所述流量计设置于所述调节阀与所述过滤器之间。

8.根据权利要求7所述的加热炉，其特征在于，所述热排管伸出所述腔体之外的部分还设置有尾气处理单元。

9.根据权利要求8所述的加热炉，其特征在于，所述尾气处理单元的输出端还设置有风机。

10.根据权利要求4-9任一项所述的加热炉，其特征在于，所述进气管内通入氮气。