JP2005093880A - 基板スピン処理装置及び基板スピン処理方法並びに液晶パネル - Google Patents
基板スピン処理装置及び基板スピン処理方法並びに液晶パネル Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005093880A JP2005093880A JP2003327851A JP2003327851A JP2005093880A JP 2005093880 A JP2005093880 A JP 2005093880A JP 2003327851 A JP2003327851 A JP 2003327851A JP 2003327851 A JP2003327851 A JP 2003327851A JP 2005093880 A JP2005093880 A JP 2005093880A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- stage
- transport
- spin processing
- spin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】ローラコンベアからなるステージ内搬送手段4はステージ外搬送手段から基板1を処理ステージ2内に導入するための搬入側搬送部30と、主搬送部31とを備え、ローラはスピンドル3における基板支持部材11の支持ピン14,位置決めピン15と干渉しないように配設されており、基板1が処理ステージ2内に搬送されると、減速センサ47の配設位置から搬送速度が減速し、停止センサ48を設けた位置で停止する。スピンドル3の基板支持部材11を上昇させ、主搬送部31を下降させることによって、基板1はスピンドル3により回転可能な状態になる。
【選択図】図1
Description
2 処理ステージ
3 スピンドル
4 ステージ内搬送手段
5 スピンカップ
10 回転軸
11 基板支持部材
14 支持ピン
15 位置決めピン
23 昇降駆動手段
30 搬入側搬送路
31 主搬送路
34,38,41 ローラ
39 可変速回転駆動部材
45 ガイドローラ
47 減速センサ
48 停止センサ
49 カップ本体
50 カップ昇降手段
53 液供給手段
54 アーム
55 回動軸
Claims (10)
- 搬送コンベアからなり、基板を概略水平状態にして搬送する搬送経路から、この基板をスピン処理ステージに移行させて、このスピン処理ステージに配設したスピンドルにより水平回転させることにより前記基板に対する所定の処理を行うための基板スピン処理装置において、
前記スピンドルの先端に連結して設けられ、前記基板の裏面を複数箇所で支持する支持ピンと、基板の周囲の端面を位置決めする位置決めピンとを装着した複数の支持アームとを有する基板支持部材と、
前記基板を前記スピン処理ステージ内で前記基板支持部材の配設位置に搬送するために、少なくとも前記基板の搬送方向における全長より基板停止位置と基板減速開始位置との間の搬送長さ分だけ長い搬送路を有するステージ内搬送手段と、
前記処理ステージ内搬送手段により搬送される前記基板が減速開始位置に到達したことを検出して、この基板の搬送速度を減速させる第1の検出手段と、
前記基板が停止位置に到達したことを検出して、前記ステージ内搬送手段を停止させる第2の検出手段と、
前記スピンドルと前記ステージ内搬送手段による前記基板の搬送面との間を相対的に上下動可能とする昇降手段と
を備える構成したことを特徴とする基板スピン処理装置。 - 前記スピン処理ステージには、前記基板の回転中に、この基板表面に所定の液体を供給する液供給手段を設ける構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板スピン処理装置。
- 前記基板に付着している液が前記スピンドルによる回転駆動時に飛散するのを規制するためのスピンカップと、このスピンカップにより前記基板が囲繞される作動位置と、前記ステージ内搬送手段により前記基板の搬送を可能にする開放位置となるように昇降させるカップ昇降手段とを備える構成としたことを特徴とする請求項1または請求項2記載の基板スピン処理装置。
- 前記ステージ内搬送手段はローラコンベアと、このローラコンベアを駆動する可変速モータとを備える構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板スピン処理装置。
- 前記ステージ内搬送手段には、その前記基板の搬送方向上流側に位置させて、この基板の搬送方向の左右両側部に接離可能な位置決め部材を設ける構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板スピン処理装置。
- 前記液供給手段は、前記基板の上部位置と、この基板の上部位置から離間した位置との間で往復移動可能な構成としたことを特徴とする請求項2記載の基板スピン処理装置。
- 前記昇降動作手段は、前記スピンドルを、その支持アームに設けた前記支持ピンの先端が、前記ステージ内搬送手段の搬送面より低い位置と、それより高い位置とに昇降駆動する基板昇降部材と、前記ステージ内搬送手段の搬送面を前記搬送コンベアの搬送面と同じ高さ位置と、それより低い位置との間に昇降駆動させる搬送面昇降部材とから構成したことを特徴とする請求項1記載の基板スピン処理装置。
- 搬送コンベアからなり、基板を概略水平状態にして搬送する搬送経路から、この基板をスピン処理ステージに移行させて、このスピン処理ステージに配設したスピンドルにより水平回転させることにより前記基板に対する所定の処理を行うスピン処理方法であって、
前記搬送コンベアにより所定の搬送速度で搬送される基板を前記スピン処理ステージのステージ内搬送手段に移行させ、
前記基板がこのステージ内搬送手段に完全に移行した後に、この基板の搬送速度を減速するようになし、
前記基板が前記スピン処理ステージ内の所定の位置に到達したときに、この基板の搬送を停止させ、
この基板がスピン処理ステージの所定の位置で停止した後に、前記ステージ内搬送手段による搬送面から前記基板を離間させると共に基板支持部材により支持させて、前記スピンドルにより前記基板を水平状態で回転駆動する
ことを特徴とする基板スピン処理方法。 - 搬送コンベアからなり、基板を概略水平状態にして搬送する搬送経路から、この基板をスピン処理ステージに移行させて、このスピン処理ステージに配設したスピンドルにより水平回転させることにより前記基板に対する所定の処理を行うスピン処理方法であって、
前記搬送コンベアにより所定の搬送速度で搬送される基板を前記スピン処理ステージのステージ内搬送手段に移行させ、
このステージ内搬送手段により前記基板が搬送される間に、この基板の左右両側部を位置決めガイドし、
前記基板がこのステージ内搬送手段に完全に移行した後に、この基板の搬送速度を減速するようになし、
前記基板が前記スピン処理ステージ内の所定の位置に到達したときに、この基板の搬送を停止させ、
この基板がスピン処理ステージの所定の位置で停止した後に、前記ステージ内搬送手段による搬送面から前記基板を離間させると共に基板支持部材により支持させて、前記スピンドルにより前記基板を水平状態で回転駆動し、
この回転中に前記基板に対して所定の処理液を供給する
ことを特徴とする基板スピン処理方法。 - 請求項9の基板スピン処理方法により液晶パネルを構成する基板に対して液処理を行うことにより製造された液晶パネル。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003327851A JP4479881B2 (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | 基板スピン処理装置及び基板スピン処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003327851A JP4479881B2 (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | 基板スピン処理装置及び基板スピン処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005093880A true JP2005093880A (ja) | 2005-04-07 |
JP4479881B2 JP4479881B2 (ja) | 2010-06-09 |
Family
ID=34457601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003327851A Expired - Fee Related JP4479881B2 (ja) | 2003-09-19 | 2003-09-19 | 基板スピン処理装置及び基板スピン処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4479881B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100446215C (zh) * | 2005-09-05 | 2008-12-24 | 东京毅力科创株式会社 | 基板定位装置和基板收纳单元 |
KR100970213B1 (ko) * | 2007-02-05 | 2010-07-16 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 진공 처리 장치, 진공 처리 방법 및 기억 매체 |
KR101997248B1 (ko) * | 2019-01-15 | 2019-07-05 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 패널 이송부의 승하강을 이용하여 패널을 회전시키고 반송하는 패널 반송장치 |
-
2003
- 2003-09-19 JP JP2003327851A patent/JP4479881B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100446215C (zh) * | 2005-09-05 | 2008-12-24 | 东京毅力科创株式会社 | 基板定位装置和基板收纳单元 |
KR100970213B1 (ko) * | 2007-02-05 | 2010-07-16 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 진공 처리 장치, 진공 처리 방법 및 기억 매체 |
US8280545B2 (en) | 2007-02-05 | 2012-10-02 | Tokyo Electron Limited | Vacuum processing apparatus and method, and storage medium for executing the method |
KR101997248B1 (ko) * | 2019-01-15 | 2019-07-05 | 주식회사 에이치비테크놀러지 | 패널 이송부의 승하강을 이용하여 패널을 회전시키고 반송하는 패널 반송장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4479881B2 (ja) | 2010-06-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JPS6236943B2 (ja) | ||
JP2007250671A (ja) | 基板バッファ装置、基板バッファリング方法、基板処理装置、制御プログラムおよびコンピュータ読取可能な記憶媒体 | |
JP2004149320A (ja) | ガラス基板の移送システム | |
JP2002329761A (ja) | 搬送装置、洗浄装置及び現像装置 | |
TWI462215B (zh) | 基板處理裝置、轉換方法、及轉移方法 | |
KR20020091776A (ko) | 반송장치 | |
JP4982306B2 (ja) | 塗布装置および塗布方法 | |
JP2009268973A (ja) | 塗布装置 | |
JP4479881B2 (ja) | 基板スピン処理装置及び基板スピン処理方法 | |
JP3485990B2 (ja) | 搬送方法及び搬送装置 | |
TW529072B (en) | Lift-type substrate treatment device, and substrate treatment system with the substrate treatment device | |
JP2006245125A (ja) | 基板の処理装置及び処理方法 | |
JP3818858B2 (ja) | 液処理装置 | |
JP3458063B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
JP2004077592A (ja) | ワークの処理方法、ワークの処理装置、及びガラス基板の搬送装置 | |
KR102222263B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR101620547B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법, 그리고 상기 장치를 포함하는 기판 처리 시스템 | |
JP3472713B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
JP6552363B2 (ja) | 基板乾燥装置および基板処理装置 | |
JP4363593B2 (ja) | 薄膜除去装置 | |
JP2008296088A (ja) | 洗浄装置、フラットパネルディスプレイの製造装置及びフラットパネルディスプレイ | |
JP2001102283A (ja) | 基板処理装置 | |
JP2635476B2 (ja) | 塗布装置及び塗布方法 | |
KR102604151B1 (ko) | 기판 반송 장치, 현상 장치 및 현상 방법 | |
JP3859370B2 (ja) | 塗布装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060313 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20060516 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081106 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090116 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090805 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091104 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20091112 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100127 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100127 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100224 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130326 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100309 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140326 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |