JP2004149320A - ガラス基板の移送システム - Google Patents

Abstract

【課題】水平にローディングされるガラス基板を傾斜して立設した状態でアンローディングさせることができるガラス基板の移送システムを提供する。
【解決手段】システムボディ１０と、システムボディ１０にガラス基板１の両端の周縁部を支持して水平に移送させるように設けられる水平移送手段２０と、水平移送手段２０に載置されるガラス基板１を空気のブローイングによって浮揚させるエアフローティング手段４０と、水平移送手段２０に載置されるガラス基板１を傾斜して立設することができるように水平移送手段２０とエアフローティング手段４０をティルティングさせるティルティング手段と、ティルティング手段に傾斜して立設されるガラス基板１の下端を支持して移送させることができるように設けられる傾斜移送手段６０とを含む。
【選択図】図３

Description

本発明は、ガラス基板の移送システムに関し、更に詳しくは、水平にローディングされるガラス基板を傾斜して立設した状態でアンローディングさせることができるガラス基板の移送システムに関する。

周知のように、ＴＦＴ−ＬＣＤ（Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display）、ＰＤＰ（Plasma Display Panel）、ＥＬ（Electro Luminescent）などのフラットディスプレイの製造分野で用いられるガラス基板は、ガラス溶解炉で溶解された溶解ガラスをフラットに成型する成型工程や、一次規格に合うように切断する切断工程により製造した後、洗浄と検査工程を通して良品と不良品に選別している。

一例として本出願人の特許文献１中のガラス基板の洗浄ステーションでは、洗浄工程を通ったガラス基板を、カセットとも呼ばれるコンテナに収納して、検査ステーションに移載し、コンテナに収納されているガラス基板は、ハンドラ（handler）によってアンローディングすることにより、検査ステーションにローディングしている。検査ステーションでは、ガラス基板に存在する気泡、ストーンなどの異物の混入、汚染、スクラッチ、ベベルチップ、カッティングチップ、クラックなどの欠点を検査している。

ところで、ガラス基板の洗浄ステーションや検査ステーションは、ガラス基板の汚染を防止するために、クリーンルームから構成しているが、コンテナやハンドラを用いることで、クリーンルームのレイアウトが複雑になり、作業者やハンドラの動線を確保するために、クリーンルームの面積を必要以上に増加させなければならない問題がある。それだけでなく、作業者やハンドラの動作によってクリーンルームに発生する乱流の影響により、ガラス基板に微粒子が付着されて汚染されることで不良率を増加して量産性を低下し、生産費用が嵩張る問題がある。

なお、ハンドラによるガラス基板のローディング及びアンローディングの際の物理的な接触と衝撃により、ガラス基板のスクラッチ、クラックなどが発生する恐れがかなり高いという欠点があり、無駄時間が多く、量産性が低下する問題がある。特に、ハンドラのグリッパによってチャッキングすることができるガラス基板のチャッキング領域は、各エッジから８ｍｍ以内に許容していることから、大型、薄型のガラス基板の場合、グリッパのチャッキングによってガラス基板の重量を支えることが困難であり、ガラス基板の撓み変形により割れやすくなることで安全事故を引起す問題が伴っている。従って、洗浄ステーションから検査ステーションにガラス基板をインラインで移送することができる技術の開発が切実に求められているが、ガラス基板を安定して移送することができる移送ラインのインライン化技術は開発されていない実情である。
韓国特願２００２−３０３８６号

本発明は上記事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、水平にローディングされるガラス基板を傾斜して立設した状態でアンローディングさせることができるガラス基板の移送システムを提供することにある。

本発明の他の目的は、ガラス基板の物理的な接触を最小化することができると供に、ガラス基板を水平状態から傾斜状態に安定、且つ容易に切り換えることができるガラス基板の移送システムを提供することにある。

本発明の更に他の目的は、簡単なジョブチェンジ（job change）により、様々な大きさのガラス基板を検査することができる柔軟性生産システムへの切換をとても容易、且つ効果的に実施することができるガラス基板の移送システムを提供することにある。

本発明の更に他の目的は、ガラス基板の移送ラインをインライン化して量産性を向上させ、且つレイアウトを単純化させることにより、生産費用を大いに低減することができるガラス基板の移送システムを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明のガラス基板の移送システムは、システムボディと、前記システムボディにガラス基板の両端の周縁部を支持して水平に移送させるように設けられる水平移送手段と、前記水平移送手段に載置される前記ガラス基板を空気のブローイングによって浮揚させるエアフローティング手段と、前記水平移送手段に載置される前記ガラス基板を傾斜して立設することができるように前記水平移送手段とエアフローティング手段をティルティングさせるティルティング手段と、前記ティルティング手段に傾斜して立設される前記ガラス基板の下端を支持して移送させることができるように設けられる傾斜移送手段とを含むことを特徴とする。

本発明によるガラス基板の移送システムによれば、洗浄ステーションから水平にローディングされるガラス基板を検査ステーションに傾斜して立設した状態で連続的にアンローディングさせることができ、ガラス基板の物理的な接触を最小化することができると共に、ガラス基板を水平状態から傾斜状態に安定、且つ容易に切り換えることができる構造にすることにより、ガラス基板の移送ラインをインラインで構成することができる。なお、簡単なジョブチェンジにより、様々な大きさのガラス基板を検査することができる柔軟性生産システムへの切換をとても容易、且つ効果的に実施することができる。更に、ガラス基板の移送ラインをインライン化して量産性を向上させ、レイアウトを単純化させることにより、生産費用を大きく低減することができる効果を奏する。

以下、本発明によるガラス基板の移送システムについて好適な実施の形態を添付の図面に基づいて詳細に説明する。

まず、図１を参照すると、本発明の移送システムにより、ガラス基板１の洗浄ステーションと検査ステーションとの間にガラス基板１の移送ラインをインラインで構成することができ、例えば、縦（ｍｍ）×横（ｍｍ）の大きさが約３７０×４７０〜１，５００×１，８００、厚さが約０．４〜１．１ｍｍであるガラス基板１を移送することができる。

図１乃至図５を参照すると、本発明の移送システムは、システムボディ１０を備え、システムボディ１０の上部には、ガラス基板１の両端を支持して水平に移送させるように水平移送装置２０が設けられている。水平移送装置２０は、システムボディ１０の両側部に設けられている第１コンベヤ２１と第２コンベヤ２２から構成されている。第１及び第２コンベヤ２１、２２のそれぞれのコンベヤフレーム２１ａ、２２ａは、システムボディ１０の上部の両側部にガラス基板１の移送方向２に沿って並設されており、コンベヤフレーム２１ａ、２２ａには、ガラス基板１の両端、すなわち、ガラス基板１を立設するとき、下端１ａと上端１ｂの周縁部を支持する多数のローラ２１ｂ、２１ｂ−１、２１ｂ−２、２２ｂ、２２ｂ−１、２２ｂ−２がシャフト２１ｃ、２２ｃを中心に一定の間隔を置いて回転自在に装着されている。

第１及び第２コンベヤ２１、２２のローラ２１ｂ、２２ｂは、第１駆動装置２３の作動によって回転される。第１駆動装置２３は、駆動力を提供するサボモータ２４と、第１及び第２コンベヤ２１、２２を横切って回転自在に設けられている原動シャフト２５と、サボモータ２４の駆動力を原動シャフト２５に伝達する第１ベルト伝動装置２６と、第１コンベヤ２１のローラ２１ｂのそれぞれに原動シャフト２５の回転力を伝達する多数の第２ベルト伝動装置２７と、第２コンベヤ２２のローラ２２ｂのそれぞれに原動シャフト２５の回転力を伝達する第３ベルト伝動装置２８から構成されている。

図１に詳細に示すように、第１ベルト伝動装置２６は、サボモータ２４の駆動によって回転される原動プーリ２６ａと、原動シャフト２５の一端に装着されている従動プーリ２６ｂと、原動プーリ２６ａと従動プーリ２６ｂに巻取されるベルト２６ｃから構成されている。図５に詳細に示すように、第２ベルト伝動装置２７は、原動シャフト２５の回転力を互いに隣接する第１コンベヤ２１のローラ２１ｂに順次伝達する。第２ベルト伝動装置２７は、ローラ２１ｂのシャフト２１ｃに交互に装着されている多数の原動プーリ２７ａと、ローラ２１ｂのシャフト２１ｃに交互にそれぞれの原動プーリ２７ａに対応するように装着されている多数の従動プーリ２７ｂと、互いに対応する各対の原動プーリ２７ａと従動プーリ２７ｂに巻取されるベルト２７ｃから構成されている。図２、図４及び図５に示すように、第３ベルト伝動装置２８は、原動シャフト２５に装着されている原動プーリ２８ａと、ローラ２２ｂのシャフト２２ｃに装着されている多数の従動プーリ２８ｂと、原動プーリ２８ａと従動プーリ２８ｂに巻取されるベルト２８ｃから構成されている。この実施の形態では、第１乃至第３ベルト伝動装置２６、２７、２８のそれぞれの原動プーリ２６ａ、２７ａ、２８ａ、従動プーリ２６ｂ、２７ｂ、２８ｂ及びベルト２６ｃ、２７ｃ、２８ｃは、駆動タイミングギヤ、従動タイミングギヤ及びタイミングベルトにて代えることもできる。更に、第２及び第３ベルト伝動装置２７、２８は、原動スプロケット、従動スプロケット及びチェーンから構成されるチェーン伝動装置にて代えることができる。図２、図４及び図５には、原動シャフト２５が第１及び第２コンベヤ２１、２２のローラ２１ｂ、２２ｂのうちの１つ、例えば、最下流ローラ２１ｂ−２、２２ｂ−２のシャフト２１ｃ、２２ｃを一体に連結するように構成されており、最上流ローラ２１ｂ−１、２２ｂ−１のシャフト２１ｃ、２２ｃは、従動シャフト２９によって一体に連結されているものが示されている。この実施の形態では、第１及び第２コンベヤ２１、２２のコンベヤフレーム２１ａ、２２ａのそれぞれに、周知の軸受を装着し、原動シャフト２５と従動シャフト２９のそれぞれの両端は、軸受によって支持されるように設けることもできる。

図２及び図５に示すように、本発明の移送システムは、水平移送装置２０によって移送されるガラス基板１を係止して整列させるストッピングユニット３０を備える。ストッピングユニット３０は、水平移送装置２０の下流の両側にガラス基板１の移送方向先端の両側を係止することができるようにそれぞれ装着されているストッパ３１と、ガラス基板１の移送方向先端を係止する係止位置とガラス基板１の移送を許容する解除位置との間でストッパ３１を回動させるアクチュエータ３２から構成されている。

図２、図３、図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照すると、本発明の移送システムは、第１及び第２コンベヤ２１、２２のローラ２１ｂ、２２ｂによって下端１ａと上端１ｂが支持されて移送されるガラス基板１をローラ２１ｂ、２２ｂから浮揚させるエアフローティング装置４０を備える。エアフローティング装置４０は、ガラス基板１の移送方向に沿って設けられており、ガラス基板１に向かって空気を噴出する多数のノズル孔４１ａが長手方向に沿って形成されている複数のエアブローイングパイプ４１を備えている。複数のエアブローイングパイプ４１は、ベースプレート４２の上面に位置する任意の水平平面に整列されるように設けられている。図２及び図３には、５個のエアブローイングパイプ４１が等間隔をなすように配置されているものが示されているが、これは例示的なもので、エアブローイングパイプ４１の数及び位置は、ガラス基板１を安定して浮揚させるように適切に変更することができる。

図１及び図６（ｂ）に示すように、エアフローティング装置４０のエアブローイングパイプ４１には、空気を供給するエア供給装置４３が連結されている。エア供給装置４３は、空気を発生するエアブロア４４と、エアブロア４４からの空気をろ過してエアブローイングパイプ４１に供給するエアフィルタ４５から構成されている。エアブロア４４は、駆動力を提供するモータ４４ａと、このモータ４４ａの駆動によって回転するインペラ４４ｂから構成されている。この実施の形態では、エアフィルタ４５は、約０．３μｍの微細粒子をろ過するＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particular Air Filter）から構成することができる。更に、エア供給装置４０のエアブロア４４は、周知のエアコンプレッサと、空気の流量や圧力を制御するエアコントロールユニットにて代えることができる。

図１乃至図５、図７を参照すると、本発明の移送システムは、水平移送装置２０に水平に載置されるガラス基板１を傾斜して立設するように、システムボディ１０に対して水平移送装置２０とエアフローティング装置４０をティルティングさせるティルティング装置５０を備える。ティルティング装置５０は、水平移送装置２０の第１及び第２コンベヤ２１、２２、第１駆動装置２３及びエアフローティング装置４０のベースプレート４２が搭載されているティルティングフレーム５１と、システムボディ１０に対してティルティングフレーム５１が回動するように軸受５２によって支持されているシャフト５３から構成されている。

ティルティング装置５０のシャフト５３は、第２駆動装置５４によって回動する。第２駆動装置５４は、システムボディ１０に装着されて駆動力を提供するサボモータ５５と、サボモータ５５の駆動力をシャフト５３に伝達する第４ベルト伝動装置５６と、サボモータ５５の駆動を制御できるようにシャフト５３の回転角度を検出するロータリエンコーダ５７から構成されている。第４ベルト伝動装置５６は、サボモータ５５の駆動によって回転できるように装着されている原動タイミングギヤ５６ａと、シャフト５３に装着されている従動タイミングギヤ５６ｂと、原動タイミングギヤ５６ａと従動タイミングギヤ５６ｂに巻取されるタイミングベルト５６ｃから構成されている。

図７に示すように、ロータリエンコーダ５７は、光を発光する発光センサ５７ａと、この発光センサ５７ａから投射される光を受光する受光センサ５７ｂと、発光センサ５７ａと受光センサ５７ｂとの間に配置されるようにシャフト５３に装着されており、且つ光軸に整列されるスリット５７ｃを有するロータリディスク５７ｄから構成されている。図７には、シャフト５３の回転角度に対応してガラス基板１の水平位置や傾斜位置を制御することができるように、４個のロータリエンコーダ５７が設けられているものが示されているが、ロータリエンコーダ５７の数は適切に変更することができる。この実施の形態では、ティルティング装置５０は、図３に示すように、ガラス基板１を垂直軸線５８に対して約５〜２０°の傾斜角度（θ）にティルティングさせ、好ましくは、約１０°の傾斜角度（θ）にティルティングさせる。

図１乃至図４を参照すると、本発明の移送システムは、ガラス基板１の下端１ａを支持して移送させる傾斜移送装置６０を備え、傾斜移送装置６０の第３コンベヤ６１は、ティルティング装置５０のティルティングフレーム５１に第１コンベヤ２１と平行をなすように設けられている。第３コンベヤ６１のコンベヤフレーム６１ａは、ティルティング装置５０のティルティングフレーム５１に第１コンベヤ２１に近接するようにガラス基板１の移送方向２に沿って並設されており、コンベヤフレーム６１ａには、多数のローラ６１ｂが対応するシャフト６１ｃにそれぞれ回転自在に装着されている。シャフト６１ｃは、互いに所定間隔で離隔されている。ローラ６１ｂの外面には、ガラス基板１の下端１ａを安定して受容することにより離脱を防止することができるＶ字状の溝６１ｄが形成されている。

図２乃至図５を参照すると、第３コンベヤ６１のローラ６１ｂは、第３駆動装置６２の作動によって回転される。第３駆動装置６２は、駆動力を提供するサボモータ６３と、サボモータ６３の駆動によって回転できるようにローラ６１ｂに近接してコンベヤフレーム６１ａの長手方向に沿って装着されているシャフト６４と、シャフト６４の回転力を第３コンベヤ６１のローラ６１ｂのそれぞれに伝達するギヤ装置６５から構成されている。ギヤ装置６５は、ローラ６１ｂのそれぞれに近接する位置のシャフト６４に装着されている多数の原動ギヤ６５ａと、原動ギヤ６５ａと歯合されるようにローラ６１ｂのそれぞれのシャフト６１ｃに装着されている多数の従動ギヤ６５ｂから構成されている。この実施の形態では、第３コンベヤ６１は、第３駆動装置６２によって回転できるようにコンベヤフレーム６１ａの一側に装着される原動プーリと、コンベヤフレーム６１ａの他側に装着される駆動プーリと、原動プーリと駆動プーリに巻取されるベルトから構成することもできる。なお、第３駆動装置６２のシャフト６４及びギヤ装置６５は、サボモータ６３の駆動力をローラ６１ｂに伝達するベルト伝動装置にて代えることができる。

図２乃至図５、図８を参照すると、本発明の移送システムは、第１コンベヤ２１と第２コンベヤ２２との間の間隔を調節することができるように、第１コンベヤ２１に対して第２コンベヤ２２を運動させる間隔調節装置７０を備え、間隔調節装置７０によって第１コンベヤ２１と第２コンベヤ２２との間隔を調節することにより大きさが異なるガラス基板１の下端１ａと上端１ｂを支持して移送させることができる。間隔調節装置７０は、ティルティングフレーム５１の上部に回転自在に互いに並設されている第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂと、第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂに沿ってネジ運動するように装着されており、第２コンベヤ２２のコンベヤフレーム２２ａに固定されているボールブッシュ７２と、コンベヤフレーム２２ａの直線運動をガイドするリニアモーションガイド７３と、第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂを回転させる駆動力を提供するサボモータ７４と、サボモータ７４の駆動力を第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂに伝達する第５ベルト伝動装置７５から構成されている。

第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂの先端は、ティルティングフレーム５１に装着されるマウンティングブラケット７６の軸受７７に支持されている。リニアモーションガイド７３は、第２コンベヤ２２の直線運動を許容するように第２コンベヤ２２のコンベヤフレーム２２ａとマウンティングブラケット７６を貫通して互いに並設される複数のガイドバー７３ａと、第２コンベヤ２２のコンベヤフレーム２２ａとガイドバー７３ａとの間に介在されているボールブッシュ７３ｂから構成されている。この実施の形態では、リニアモーションガイド７３は、ティルティングフレーム５１の上面に並設される一対のガイドレールと、このガイドレールに沿って摺動するようにコンベヤフレーム２２ａの下面に装着される一対のスライドから構成することができる。

第５ベルト伝動装置７５は、サボモータ７４の駆動によって回転される原動プーリ７５ａと、第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂのそれぞれに装着されている第１及び第２従動プーリ７５ｂ、７５ｃと、原動プーリ７５ａと第１従動プーリ７５ｂに巻取される第１ベルト７５ｄと、第１及び第２従動プーリ７５ｂ、７５ｃに巻取される第２ベルト７５ｅから構成されている。図２、図４及び図５には、第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂと３個のガイドバー７３ａが交互に装着されているものが示されているが、ガイドバー７３ａの数は適切に変更することができる。

図１及び図２を参照すると、本発明の移送システムは、ガラス基板１の連続的な移送のために、システムボディ１０の上流に設けられる進入側水平移送装置８０と、システムボディ１０の下流に設けられる排出側傾斜移送装置９０を備える。進入側水平移送装置８０は、洗浄ステーションからのガラス基板１を水平に移送することができるように水平移送装置２０の第１及び第２コンベヤ２１、２２と同様のコンベヤ８１、８２から構成することができる。排出側傾斜移送装置９０は、傾斜移送装置６１から移送されたガラス基板１を傾斜して移送することができるようにエアフローティング装置４０のエアブローイングパイプ４１と、傾斜移送装置６０の第３コンベヤ６１と同様のエアブローイングパイプ９１と、コンベヤ９２から構成することができる。

図７に示すように、本発明の移送システムは、システムの制御のための制御手段としてコントローラ１００を備え、コントローラ１００は、プログラム可能論理制御（Programmable logic control）によって、水平移送装置２０、ストッピングユニット３０、エアフローティング装置４０、ティルティング装置５０、傾斜移送装置６０、間隔調節装置７０などのシステムの作動を制御する。コントローラ１００は、ガラス基板１の移送ラインに構成される、周知のコンピュータとインタペースさせ、コンピュータのネットワーキングによって移送ラインの全体でガラス基板１の移送を一括して制御し、管理することができる。

図９及び図１０には、本発明の移送システムに適用される他の例の水平移送装置が示されている。図９及び図１０を参照すると、他の例の水平移送装置１２０は、ティルティング装置５０のティルティングフレーム５１から分離されてシステムボディ１０に設けられる第２コンベヤ１２２を備える。第２コンベヤ１２２のコンベヤフレーム１２２ａは、システムボディ１０の上部に移動可能に設けられており、コンベヤフレーム１２２ａには、ガラス基板１の上端１ｂの周縁部を支持する多数のローラ１２２ｂが対応するシャフト１２２ｃにそれぞれ回転自在に装着されている。シャフト１２２ｃは、互いに所定の間隔で離隔されている。ローラ１２２ｂの外面には、ガラス基板１の上端１ｂを支持して整列することができるようにフランジ１２２ｄが形成されている。また、第１及び第２コンベヤ２１、１２２のローラ２１ｂ、１２２ｂは、駆動力を提供する駆動装置１２３によって回転させることができ、駆動装置１２３は、前で説明した第３駆動装置６２と同様に構成することができる。駆動装置１２３の構成や作動の説明は、第３駆動装置６２の構成や作動を参考にする。

水平移送装置１２０は、第１コンベヤ２１に対して第２コンベヤ１２２の間隔を調節することができるように第２コンベヤを運動させる間隔調節装置１７０を備える。間隔調節装置１７０は、システムボディ１０の上面に設けられ駆動力を提供するサボモータ１７１と、サボモータ１７１の駆動によって回転する原動タイミングギヤ１７２と、当該原動タイミングギヤ１７２に対してガラス基板１の移送方向２の幅方向に離隔配置されている従動タイミングギヤ１７３と、原動タイミングギヤ１７２と従動タイミングギヤ１７３に巻取されるタイミングベルト１７４と、第２コンベヤ１２２のコンベヤフレーム１２２ａとタイミングベルト１７４を固定させるジョイント１７５と、システムボディ１０に対してコンベヤフレーム１２２ａの直線運動をガイドするリニアモーションガイド１７６から構成されている。リニアモーションガイド１７６は、システムボディ１０の上面にガラス基板１の移送方向２の幅方向の両側に装着されている一対のガイドレール１７６ａと、このガイドレール１７６ａに沿って摺動するようにコンベヤフレーム１２２ａの下面に装着されている一対のスライド１７６ｂから構成されている。

以下に、このような構成を有する本発明によるガラス基板の移送システムについての作用を説明する。

図１、図２及び図５を参照すると、ティルティング装置５０のティルティングフレーム５１が水平に保持され、第１及び第２コンベヤ２１、２２のローラ２１ｂ、２２ｂが同一平面に配置されている状態で、進入側水平移送装置８０のコンベヤ８１、８２によって水平に移送されるガラス基板１は、第１及び第２コンベヤ２１、２２に移送され、ガラス基板１の下端１ａと上端１ｂの周縁部は最上流ローラ２１ｂ−１、２２ｂ−１によって支持される。第１駆動装置２３のサボモータ２４が駆動されると、サボモータ２４の駆動力は、第１ベルト伝動装置２６の原動プーリ２６ａ、従動プーリ２６ｂ及びベルト２６ｃによって、原動シャフト２５に伝達され、原動シャフト２５は、最下流ローラ２１ｂ−２、２２ｂ−２を回転させる。最下流ローラ２１ｂ−２、２２ｂ−２の回転力は、第２ベルト伝動装置２７の原動プーリ２７ａ、従動プーリ２７ｂ、ベルト２７ｃと、第３ベルト伝動装置２８の原動プーリ２８ａ、従動プーリ２８ｂ、ベルト２８ｃによって、ローラ２１ｂ、２２ｂのそれぞれに伝達され、回転されるローラ２１ｂ、２２ｂはガラス基板１を転がり運動によって水平に移送させる。

一方、図６（ａ）及び図６（ｂ）に示すように、エア供給装置４３のエアブロア４４が作動し、エアフローティング装置４０のエアブローイングパイプ４１に空気を供給すると、ガラス基板１は、エアブローイングパイプ４１のノズル孔４１ａを介してブローイングされる空気力によって、第１及び第２コンベヤ２１、２２のローラ２１ｂ、２２ｂから、例えば、約０．５ｍｍ浮揚されつつ移送される。従って、ガラス基板１は、下端１ａと上端１ｂを除く部分の物理的な接触のない状態で移送させることができるから、物理的な接触によってガラス基板１に発生する欠点、例えば、スクラッチ、クラックなどを効果的に防止することができる。また、大型ガラス基板１、例えば、縦（ｍｍ）×横（ｍｍ）の大きさが約７３０×９２０以上のガラス基板１の撓み変形を効果的に防止することができる。

図２に示すように、水平移送装置２０の第１及び第２コンベヤ２１、２２とエアフローティング装置４０によって水平に移送されていたガラス基板１の移送方向先端は、係止位置に位置されているストッピングユニット３０のストッパ３１に係止され、第１駆動装置２３のサボモータ２４は停止される。第２駆動装置５４のサボモータ５５が駆動されると、サボモータ５５の駆動力は、第４ベルト伝動装置５６の原動タイミングギヤ５６ａ、従動タイミングギヤ５６ｂ及びタイミングベルト５６ｃによって、シャフト５３に伝達され、軸受５２に軸支されるシャフト５３は、ティルティングフレーム５１を、図３の矢印Ａのように、水平位置から傾斜位置にティルティングさせる。図７に示すように、シャフト５３の回転角度は、ロータリエンコーダ５７によって検出され、ロータリエンコーダ５７の検出信号は、コントローラ１００に入力される。コントローラ１００は、ロータリエンコーダ５７から入力される検出信号に対応してモータ４４ａの駆動速度を制御し、ブローイングパイプ４１のノズル孔４１ａを介してブローイングされる空気力を制御する。すなわち、ティルティング装置５０のティルティング運動によって傾斜して立設されるガラス基板１が、第１及び第２コンベヤ２１、２２から離脱しないように、ガラス基板１の傾斜角度（θ）に対応するように空気力を漸進的に減少させる。

図３及び図４を参照すると、ティルティング装置５０のティルティング運動によって傾斜して立設されるガラス基板１は、自重によって、第１及び第２コンベヤ２１、２２のローラ２１ｂ、２２ｂに沿ってスライディングしながら下降する。下降されるガラス基板１の下端は、第３コンベヤ６１のローラ６１ｂに形成されている溝６１ｄに収容されると共に支持される。このとき、ガラス基板１の下端１ａと上端１ｂの周縁部は、下端１ａと上端１ｂから第１コンベヤ２１のローラ２１ｂ及び第２コンベヤ２２のローラ２２ｂにチャッキング領域として許容されている８ｍｍ以内の範囲で接触される。

図１と図３を参照すると、第３コンベヤ６１のローラ６１ｂによってガラス基板１の下端１ｂが支持されると、コントローラ１００の制御によって、ストッピングユニット３０のアクチュエータ３２が駆動され、ストッパ３１を係止位置から解除位置に回転させる。第３駆動装置６２のサボモータ６３が駆動されると、サボモータ６３の駆動によって、シャフト６４が回転される。シャフト６４の回転力は、ギヤ装置６５の原動ギヤ６５ａと従動ギヤ６５ｂを通して、第３コンベヤ６１のローラ６１ｂに伝達され、ローラ６１ｂは、転がり運動によって、傾斜して立設されているガラス基板１を下流に移送する。

次に、傾斜移送装置６０の第３コンベヤ６１によって移送されるガラス基板１は、システムボディ１０の下流に連続する排出側傾斜移送装置９０に移送され、排出側傾斜移送装置９０は、エアブローイングパイプ９１とコンベヤ９２によって、ガラス基板１を検査ステーションに移送する。このようにシステムボディ１０の上流から水平に移送されたガラス基板１を傾斜して立設した状態で下流に移送する移送動作によって、洗浄ステーションと検査ステーションとの間でガラス基板１の移送を連続的に保持することができるから、ガラス基板１の量産性を向上させることができる。

図４及び図５を参照すると、本発明の検査システムによってガラス基板１の大きさを変更して移送しようとする場合は、ガラス基板１の大きさに符合するように、第１コンベヤ２１と第２コンベヤ２２との間の間隔を間隔調節装置７０によって調節するジョブチェンジ（job change）を施す。間隔調節装置７０のサボモータ７４が駆動すると、サボモータ７４の駆動力は、第５ベルト伝動装置７５の原動プーリ７５ａ、第１及び第２従動プーリ７５ｂ、７５ｃ並びに第１及び第２ベルト７５ｄ、７５ｅによって、第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂに伝達される。第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂは、マウンティングブラケット７６の軸受７７に軸支され、第１及び第２リードスクリュー７１ａ、７１ｂに沿ってネジ運動するボールブッシュ７２は、第１コンベヤ２１に対して第２コンベヤ２２を運動させ、第１及び第２コンベヤ２１、２２間の間隔を調節する。このとき、リニアモーションガイド７３のボールブッシュ７３ｂは、ガイドバー７３ａに沿って摺動すると共に、第２コンベヤ２２の直線運動をガイドする。このようにガラス基板１の大きさに符合するように、第１及び第２コンベヤ２１、２２間の間隔を調節するジョブチェンジによって、柔軟性生産システムへの切換をとても容易、且つ効果的に実施することができる。

図９及び図１０を参照すると、ティルティング装置５０のティルティング運動によって、ティルティングフレーム５１に搭載されている第１コンベヤ２１、エアフローティング装置４０のエアブローイングパイプ４１及び第３コンベヤ６１がティルティングされ、第２コンベヤ１２２は、システムボディ１０に固定されていることになる。第２コンベヤ１２２のローラ１２２ｂに形成されているフランジ１２２ｄには、第１及び第２コンベヤ２１、１２２のローラ２１ｂ、１２２ｂの転がり運動によって移送されるガラス基板１の上端１ｂが支持されて整列される。

間隔調節装置１７０のサボモータ１７１が駆動されて原動タイミングギヤ１７２が回転されると、原動タイミングギヤ１７２と従動タイミングギヤ１７３に巻取されているタイミングベルト１７４が走行し、タイミングベルト１７４とジョイント１７５によって連結されている第２コンベヤ１２２のコンベヤフレーム１２２ａが、図９の矢印Ｂのように、タイミングベルト１７４と共に連動する。リニアモーションガイド１７６のスライド１７６ｂは、ガイドレール１７６ａに沿って摺動すると共に、第２コンベヤ１２２の直線運動をガイドする。従って、ガラス基板１の大きさに符合するように、第１及び第２コンベヤ２１、１２２間の間隔を調節するジョブチェンジを容易、且つ効果的に実施することができる。

上記において、本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明の請求範囲を逸脱することなく、当業者は種々の改変をなし得るであろう。

図１は、本発明による移送システムの構成を示す正面図である。 図２は、本発明による移送システムの構成を示す平面図である。 図３は、本発明による移送システムの構成を示す側面図である。 図４は、本発明による移送システムにおいて、ティルティング装置がガラス基板の傾斜位置にティルティングされている状態を示す正面図である。 図５は、本発明による移送システムにおいて、水平移送装置の構成を示す平面図である。 図６（ａ）は、本発明による移送システムにおいて、エアフローティング装置のエアブローイングパイプを示す正面図であり、 図６（ｂ）は、本発明による移送システムにおいて、エアフローティング装置のエアブローイングパイプを示す断面図である。 図７は、本発明による移送システムにおいて、ロータリエンコーダの構成を示す正面図である。 図８は、本発明による移送システムにおいて、間隔調節装置及び第５ベルト伝動装置の構成を示す正面図である。 図９は、本発明による移送システムにおいて、水平移送装置及び間隔調節装置の他の例を部分的に示す側面図である。。 図１０は、図９中の水平移送装置及び間隔調節装置を示す平面図である。

符号の説明

１… ガラス基板；１０…システムボディ；２０，１２０…水平移送装置；２１…第１コンベヤ；２２…第２コンベヤ；２３…第１駆動装置；２４、５５、６３、７４、１７１…サボモータ；２５…原動シャフト；２６…第１ベルト伝動装置；２７…第２ベルト伝動装置；２８…第３ベルト伝動装置；２９…従動シャフト；３０…ストッピングユニット；３１…ストッパ；３２…アクチュエータ；４０…エアフローティング装置；４１…エアブローイングパイプ；４３…エア供給装置；４４…エアブロア；５０…ティルティング装置；５１…ティルティングフレーム；５４…第２駆動装置；５６…第４ベルト伝動装置；５７…ロータリエンコーダ；６０…傾斜移送装置；６１…第３コンベヤ；６２…第３駆動装置；６４…シャフト；６５…ギヤ装置；７０、１７０…間隔調節装置；７５…第５ベルト伝動装置；８０…進入側水平移送装置；９０…排出側傾斜移送装置；１００…コントローラ

Claims (14)

1. システムボディと、
   前記システムボディにガラス基板の両端の周縁部を支持して水平に移送させるように設けられる水平移送手段と、
   前記水平移送手段に載置される前記ガラス基板を傾斜して立設することができるように前記水平移送手段をティルティングさせるティルティング手段と、
   前記ティルティング手段に傾斜して立設される前記ガラス基板の下端を支持して移送させることができるように設けられる傾斜移送手段とを含むガラス基板の移送システム。
2. 前記水平移送手段は、
   前記システムボディの一側に設けられ、前記ガラス基板の一端の周縁部を支持する多数のローラを有する第１コンベヤと、
   前記システムボディの他側に前記第１コンベヤと並設され、前記ガラス基板の他端の周縁部を支持する多数のローラを有する第２コンベヤと、
   前記第１及び第２コンベヤのローラを回転させる第１駆動手段から構成される請求項１に記載のガラス基板の移送システム。
3. 前記第１駆動手段は、
   前記ティルティング手段に装着され、駆動力を提供するサボモータと、
   前記水平移送手段の第１及び第２コンベヤを横切って回転自在に設けられる原動シャフトと、
   前記サボモータの駆動力を前記原動シャフトに伝達する第１ベルト伝動装置と、
   互いに隣接する前記第１コンベヤのローラに前記原動シャフトの回転力を順次伝達する多数の第２ベルト伝動装置と、
   前記第２コンベヤのローラに前記原動シャフトの回転力を伝達する第３ベルト伝動装置から構成される請求項２に記載のガラス基板の移送システム。
4. 前記水平移送手段の第１及び第２コンベヤ間の間隔を調整するように前記第１コンベヤに対して前記第２コンベヤを直線運動させる間隔調節手段を更に備える請求項２又は請求項３に記載のガラス基板の移送システム。
5. 前記間隔調節手段は、
   前記ティルティング手段の上部に回転自在に互いに並設される多数の第１リードスクリュー及び第２リードスクリューと、
   前記第１及び第２リードスクリューに沿ってネジ運動できるように装着され、前記第２コンベヤに固定されるボールブッシュと、
   前記第２コンベヤの直線運動をガイドするリニアモーションガイドと、
   前記ティルティング手段に装着され、駆動力を提供するサボモータと、前記サボモータの駆動力を前記第１及び第２リードスクリューに伝達する第５ベルト伝動装置を有する第２駆動手段から構成される請求項４に記載のガラス基板の移送システム。
6. 前記水平移送手段によって移送される前記ガラス基板を係止して整列させるストッピングユニットを更に備え、前記ストッピングユニットは、前記水平移送手段の下流の両側に前記ガラス基板の移送方向先端の両側を係止することができるようにそれぞれ装着されているストッパと、前記ガラス基板の移送を係止する係止位置と移送を許容する解除位置との間に前記ストッパを回動させるアクチュエータから構成される請求項１又は請求項２に記載のガラス基板の移送システム。
7. 前記水平移送手段に載置される前記ガラス基板を空気のブローイングによって浮揚させるエアフローティング手段を更に備え、前記ティルティング手段は、前記エアフローティング手段をティルティングさせる請求項１に記載のガラス基板の移送システム。
8. 前記エアフローティング手段は、
   前記ティルティング手段の上部に前記ガラス基板の移送方向に沿って設けられ、前記ガラス基板に対して空気を噴出する多数のノズル孔が長手方向に沿って形成される複数のエアブローイングパイプと、
   前記エアブローイングパイプに供給される空気を発生するエアブロアと、
   前記エアブロアからの空気をろ過して前記複数のエアブローイングパイプに供給するエアフィルタから構成される請求項７に記載のガラス基板の移送システム。
9. 前記ティルティング手段は、
   前記水平移送手段とエアフローティング手段が搭載されるティルティングフレームと、
   前記システムボディに対して前記ティルティングフレームが回動するようにするシャフトと、
   前記システムボディに装着され、前記シャフトを回転させることができる駆動力を提供するサボモータと、前記サボモータの駆動力を前記シャフトに伝達する第４ベルト伝動装置を有する第２駆動手段と、
   前記第２駆動手段のサボモータを制御することができるように前記シャフトの回転角度を検出するロータリエンコーダから構成される請求項７又は請求項８に記載のガラス基板の移送システム。
10. 前記傾斜移送手段は、
    前記ティルティング手段によって傾斜して立設される前記ガラス基板の下端を支持する多数のローラを有する第３コンベヤと、
    前記ティルティング手段に装着され、駆動力を提供するサボモータと、前記サボモータの駆動によって回転できるように装着されるシャフトと、前記シャフトの回転力を前記第３コンベヤのローラに伝達するギヤ装置を有する第３駆動手段から構成される請求項１に記載のガラス基板の移送システム。
11. 前記システムボディの上流に配置され、前記水平移送手段に前記ガラス基板を水平にローディングして移送するコンベヤを有する進入側水平移送手段と、前記システムボディの下流に配置され、前記傾斜移送手段からアンローディングされる前記ガラス基板が移送されるエアブローイングパイプとコンベヤを有する排出側傾斜移送手段を更に備える請求項１に記載のガラス基板の移送システム。
12. システムボディと、
    前記システムボディの一側に前記ガラス基板の移送方向に沿って設けられ、前記ガラス基板の一端の周縁部を支持する多数のローラを有する第１コンベヤと、
    前記システムボディの他側に前記第１コンベヤと並設され、前記第１コンベヤと協働して前記ガラス基板を水平に移送させるように前記ガラス基板の他端の周縁部を支持する多数のローラを有する第２コンベヤと、
    前記第１コンベヤと第２コンベヤとの間に前記ガラス基板の移送方向に沿って空気をブローイングして前記ガラス基板を浮揚させるように設けられる複数のエアブローイングパイプと、
    前記第１コンベヤと第２コンベヤに載置される前記ガラス基板を傾斜して立設するように前記第１コンベヤと前記エアブローイングパイプをティルティングさせるティルティング手段と、
    前記ティルティング手段に傾斜して立設される前記ガラス基板の下端を多数のローラによって支持して移送させるように設けられる第３コンベヤからなるガラス基板の移送システム。
13. 前記第１及び第２コンベヤ間の間隔を調節するように前記第１コンベヤに対して前記第２コンベヤを直線運動させる間隔調節手段を更に備える請求項１２に記載のガラス基板の移送システム。
14. 前記間隔調節手段は、
    前記システムボディの上面に設けられ、駆動力を提供するサボモータと、
    前記サボモータの駆動によって回転する原動タイミングギヤと、
    前記ガラス基板の移送方向の幅方向に配置される従動タイミングギヤと、
    前記原動タイミングギヤと従動タイミングギヤに巻取されるタイミングベルトと、
    前記第２コンベヤとタイミングベルトを固定させるジョイントと、
    前記システムボディに対して第２コンベヤの直線運動をガイドするリニアモーションガイドから構成される請求項１３に記載のガラス基板の移送システム。
    
    

Images