KR101730553B1 - 기판 이송 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판표시장치의 기판 이송 장치에 관한 것으로 특히, 에어플로팅장치를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 기판 절단장비의 스크라이빙유닛과 브레이킹유닛의 제 1및 제 2 컨베이어 사이에 에어플로팅장치를 더욱 구비하는 것이다.
이를 통해, 대상물이 스크라이빙유닛의 제 1 컨베이어로부터 브레이킹유닛의 제 2 컨베이어로 이송되는 과정에서 제 1 컨베이어와 제 2 컨베이어의 이격된 사이영역을 통해 걸림이 발생하거나, 제 2 컨베이어와의 마찰이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이를 통해, 대상물의 파손이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Description

기판 이송 장치{Apparatus for conveying substrate}
본 발명은 평판표시장치의 기판 이송 장치에 관한 것으로 특히, 에어플로팅장치를 포함하는 기판 이송 장치에 관한 것이다.
근래에 들어 사회가 본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라 대량의 정보를 처리 및 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전해 왔고, 이에 부응하여 여러 가지 다양한 평판표시장치가 개발되어 각광받고 있다.
이 같은 평판표시장치의 구체적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device : LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device : PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device : FED), 전기발광표시장치(Electroluminescence Display device : ELD) 등을 들 수 있는데, 이들 평판표시장치는 박형화, 경량화, 저소비전력화의 우수한 성능을 보여 기존의 브라운관(Cathode Ray Tube : CRT)을 빠르게 대체하고 있다.
이중 특히 액정표시장치는 콘트라스트 비(contrast ratio)가 크고 동화상 표시에 적합하며 소비전력이 적다는 특징을 보여 노트북, 모니터, TV 등의 다양한 분야에서 활용되고 있는데, 이의 화상구현원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용하는 것으로, 주지된 바와 같이 액정은 분자구조가 가늘고 길며 배열에 방향성을 갖는 광학적 이방성과, 전기장 내에 놓일 경우 그 크기에 따라 분자배열 방향이 변화되는 분극성질을 띤다.
즉, 일반적인 액정표시장치는 액정구동을 위한 어레이층(array layer)과 컬러구현을 위한 컬러필터층(color-filter layer)이 갖추어진 제 1 및 제 2 기판 사이로 액정층을 개재해서 합착시킨 액정패널을 필수구성요소로 하며, 이는 내부의 전기장으로 액정분자의 배열방향을 변화시켜 투과율 차이를 발생시키게 된다.
이러한 액정패널의 투과율 차이는 그 배면에 놓인 백라이트(back light)의 빛을 통해 컬러필터의 색 조합이 반영되어 컬러화상의 형태로 디스플레이 된다.
한편, 일반적인 액정표시장치 제조공정은 제 1 및 제 2 기판을 얻기 위한 기판제조공정과, 액정패널을 완성하는 셀(cell)공정 그리고 액정패널과 백라이트를 일체화시키는 모듈(module)공정으로 구분될 수 있다.
이중 셀 공정은 통상 공정단축 내지는 수율향상의 효과를 위하여 복수의 셀 영역이 포지션(position) 별로 구분된 제 1 및 제 2 대면적 기판(bare or mother glass)을 대상으로 진행된다.
이에 따라 기판제조공정에서는 제 1 및 제 2 대면적 기판 각각을 대상으로 박막증착(thin film deposition), 포토리소그라피(photo-lithography), 식각(etching) 등을 수 차례 반복해서 셀 영역 별로 화소 및 박막트랜지스터 등을 구현한다.
한편, 셀 공정에서는 제 1 또는 제 2 대면적 기판 중 어느 하나의 셀 영역에 각각 합착을 위한 씰패턴(seal pattern)을 형성한 다음 액정층을 사이에 두고 양 기판을 대면 합착시킨 후 각각의 셀 영역 별로 절단해서 복수의 액정패널을 얻는다.
이중, 대면적 기판을 다수의 단위기판으로 절단하는 절단 공정은 별도의 절단시스템 즉, 스크라빙장치라고도 불리는 기판 절단 시스템을 통해 이루어진다.
기판 절단 시스템은 휠(wheel)을 이용하여 셀 영역별로 스크라이빙(scribing)해서 선 모양의 흠집을 내는 스크라이빙유닛(scribing unit)과, 흠집을 따라 대면적 기판을 실질적으로 절단하여 다수의 단위기판으로 형성하는 브레이킹유닛(breaking unit)으로 나뉘게 된다.
한편, 이와 같은 액정표시소자를 구성하는 기판은 박판형의 유리를 사용하므로 취급시 상당한 주의를 요하는데, 유리기판이 이송되는 과정에서 발생하는 마찰, 충격 등으로 인하여 기판이 미세하게 틀어지는 현상이 일어난다.
이러한 현상으로 인하여 컨베이어 내에서 기판이 한쪽으로 치우치게 되고 결국 기판이 파손될 위험이 매우 높다.
즉, 기판 절단 시스템은 기판 이송용 트랙을 통해 대상물이 일방향으로 슬라이딩 이동하도록 함으로써 진행되는데, 이때, 스크라이빙유닛과 브레이킹유닛은 별도의 기판 이송용 트랙으로 이루어져, 스크라이빙유닛의 기판 이송용 트랙과 브레이킹유닛 사이의 기판 이송용 트랙이 일정간격 이격하여 위치하게 된다.
이에, 스크라이빙유닛으로부터 브레이킹유닛으로 대상물이 이동하는 과정에서 스크라이빙유닛의 기판 이송용 트랙과 브레이킹유닛의 기판 이송용 트랙의 이격된 사이영역에 의해 기판의 걸림이 발생하게 된다.
이를 통해, 기판의 틀어짐이 발생하게 되며, 기판의 파손을 유발하게 된다.
또한, 스크라이빙유닛의 기판 이송용 트랙과 브레이킹유닛의 기판 이송용 트랙의 이격된 사이영역으로 기판의 처짐이 발생하게 되는데, 이렇게 기판의 처짐이 발생될 경우 기판은 브레이킹유닛의 기판 이송용 트랙과 많은 마찰을 갖게 된다.
이 또한, 기판의 파손을 유발하게 된다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명은 기판의 파손을 방지할 수 있는 액정표시소자용 기판 이송장치를 제공하고자 하는 것을 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 평판표시패널을 제 1 방향으로 전, 후진 슬라이딩시키는 제 1 컨베이어와; 상기 제 1 컨베이어와 일정간격 이격하여 이웃하며, 상기 평판표시패널을 상기 제 1 컨베이어로부터 전달받아 상기 제 1 방향으로 슬라이딩시키는 제 2 컨베이어와; 상기 제 1및 제 2 컨베이어의 이격된 사이영역에 위치하며, 상기 평판표시패널을 향해 공기를 분사하는 에어플로팅장치(Air floating device)를 포함하는 기판 이송 장치를 제공한다.
이때, 상기 에어플로팅장치는 상기 평판표시패널의 이송방향에 수직하게 구비되며, 길이방향을 따라 공기를 분사하는 다수의 에어토출공이 형성되며, 상기 다수의 에어토출공 상부에는 파티클을 여과하는 필터(filter) 역할의 다공성플레이트가 구비된다.
그리고, 상기 다공성플레이트는 메쉬(mash) 크기의 그물 망 구조로 이루어지며, 상기 다공성플레이트는 다수개 구비된다.
또한, 상기 다공성플레이트는 10 ~ 50 ㎛의 기공 크기를 가지며, 30% ~ 70%의 기공률을 가지며, 상기 에어토출공은 에어공급부와 연결되며, 상기 에어공급부는 에어블로워(Air blower), 에어컴프레서(Air compressor), 에어컨트롤유닛(Air control unit) 중 선택된 하나로 이루어진다.
또한, 상기 제 1및 제 2 컨베이어는 벨트 컨베이어 타입(belt conveyor type) 또는 롤러 타입(roller type) 중 선택된 하나이며, 상기 제 1 컨베이어는 스크라이빙유닛에 구비되며, 상기 제 2 컨베이어는 브레이킹유닛에 구비된다.
이때, 상기 스크라이빙유닛은 상기 제 1 컨베이어의 상, 하단에 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향을 따라 각각 구비되는 제 1 및 제 2 리니어와; 상기 제 1 및 제 2 리니어에 장착되어, 상기 제 2 방향을 따라 슬라이딩 가능하게 장착되며, 회전가능한 휠을 포함하는 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드를 포함하며, 상기 브레이킹유닛은 상기 평판표시패널을 흡착하여 승강 또는 수평이동하는 클램프가 구비된다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 스크라이빙유닛과 브레이킹유닛의 제 1 컨베이어와 제 2 컨베이어 사이에 에어플로팅장치를 더욱 구비함으로써, 대상물이 제 1 컨베이어로부터 제 2 컨베이어로 이송되는 과정에서 제 1 컨베이어와 제 2 컨베이어의 이격된 사이영역을 통해 걸림이 발생하거나, 제 2 컨베이어와의 마찰이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이를 통해, 대상물의 파손이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있으며, 대상물의 이송을 원할히 함으로써, 공정시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조공정을 단계적으로 도시한 흐름도.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단장비의 모습을 개략적으로 도시한 사시도.
도 3은 도 2의 에어플로팅장치가 구비된 기판 절단장비를 확대 도시한 사시도.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 액정표시장치의 제조공정을 단계적으로 도시한 흐름도이다.
액정표시장치는 먼저, TFT-LCD 셀(cell) 공정(St10)을 진행하는데, 이러한 셀 공정(St10)을 통해 액정셀을 형성한다.
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, TFT-LCD 셀 공정(St10)은 크게 컬러필터기판과 어레이기판 형성(St11), 배향막 형성(St12), 실패턴 및 스페이서 형성(St13), 액정적하(St14), 합착(St15), 절단(St16) 그리고, 검사공정(St17)으로 이루어진다.
이에, TFT-LCD 셀 공정(St10)의 제 1 단계(St11)는, 컬러필터기판인 상부기판과 어레이기판인 하부기판을 각각 형성하는 단계이다.
이때, 어레이기판 내면에는 다수의 게이트라인과 데이터라인이 교차하여 화소(pixel)가 정의되고, 각각의 교차점마다 박막트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)가 구비되어 각 화소에 형성된 투명 화소전극과 일대일 대응 연결된다.
그리고 컬러필터기판 내면으로는 각 화소에 대응되는 일례로 적(R), 녹(G), 청(B) 컬러의 컬러필터(color filter) 및 이들 각각을 두르며 게이트라인과 데이터라인 그리고 박막트랜지스터 등의 비표시요소를 가리는 블랙매트릭스(black matrix)가 구비되고, 이들을 덮는 투명 공통전극이 구비된다.
제 2 단계(St12)는, 컬러필터기판과 어레이기판 상에 배향막을 형성하는 단계이며, 배향막의 도포 및 경화 그리고, 러빙(rubbing)처리 공정이 포함된다.
제 3 단계(St13)는, 컬러필터기판과 어레이기판 사이에 개재될 액정이 새지 않도록 실패턴을 인쇄하고, 컬러필터기판과 어레이기판 사이의 갭을 정밀하고 균일하게 유지하기 위해 일정한 크기의 스페이서를 산포하는 공정이다.
TFT-LCD 셀 공정(St10)의 제 4 단계(St14)는, 양 기판 중 선택된 한 기판 상에 액정을 적하하는 단계이며, 제 5 단계(St15)는, 컬러필터기판과 어레이기판의 합착공정 단계이며 이후, 기판을 셀 단위로 절단하는 제 6 단계(St16)를 진행한다.
마지막으로 TFT-LCD 셀 공정(St10)의 제 7 단계(St17)는 액정셀의 검사 공정이다. 검사 공정을 거쳐 양질의 액정셀을 선별하게 된다.
이로써, TFT-LCD 셀(cell) 공정(St10)이 완료되며, 액정셀을 완성하게 된다.
다음으로, 완성된 액정셀의 어레이기판 및 컬러필터기판의 각 외측으로 편광판을 부착하는 편광판 부착공정(St20)을 진행하는데, 편광판은 액정셀을 중심으로 양면에서 광원을 직선광으로 바꿔주는 역할을 한다.
그리고, 다음으로 구동회로 부착공정(St30)을 진행하는데, 구동회로는 액정셀의 어레이기판과 전기적 신호를 연결하는 구동회로를 테이프 캐리어 패키지(Tape carrier package : TCP) 상에 직접 실장하는 TAB방식으로, 액정셀에 부착한다.
이로써, 실제 구동 가능한 액정패널을 완성하게 된다.
이 같은 구동회로는 액정패널의 게이트라인으로 박막트랜지스터의 온/오프(on/off) 신호를 스캔 전달하는 게이트구동회로 그리고 데이터라인으로 프레임별 화상신호를 전달하는 데이터구동회로로 구분되어 액정패널의 서로 인접한 두 가장자리로 위치될 수 있다.
이에 상술한 구조의 액정패널은 스캔 전달되는 게이트구동회로의 온/오프(on/off) 신호에 의해 각 게이트라인 별로 선택된 박막트랜지스터가 온(on) 되면 데이터구동회로의 신호전압이 데이터라인을 통해서 해당 화소전극으로 전달되고, 이에 따른 화소전극과 공통전극 사이의 전기장에 의해 액정분자의 배열방향이 변화되어 투과율 차이를 나타낸다.
다음은 셀 테스트 공정(St40)으로, 셀 테스트 공정은 구동회로까지 부착된 하나의 액정패널이 완성되면 이를 완전히 구동하여 디스플레이 가능한지를 검사한다.
이러한 검사 공정을 거쳐 양질의 액정패널을 선별하게 된다.
다음은 백라이트 유닛 조립 및 케이스 조립공정(St50)으로, 백라이트 유닛 조립공정은 액정패널 하면에 광원과, 광원을 가이드 하는 광원가이드와, 광원으로부터 입사된 빛을 액정패널 방향으로 진행하게 하는 도광판 및 다수의 광학시트를 포함한다.
또는, 이상의 설명에 있어서 도광판을 사용하는 에지(edge)형 방식에 대해 설명하였지만, 도광판을 생략한 상태로 다수개의 광원을 액정패널 하부에 나란하게 배열하는 직하(direct)형도 가능하다.
백라이트 유닛 조립공정 후 케이스 조립을 한다. 케이스 조립은 탑커버과 서포트메인 그리고 커버버툼을 통해 모듈화 되는데, 탑커버는 액정패널의 상면 및 측면 가장자리를 덮도록 단면이“ㄱ”형태로 절곡된 사각테 형상으로, 탑커버의 전면을 개구하여 액정패널에서 구현되는 화상을 표시하도록 구성한다.
또한, 액정패널 및 백라이트 유닛이 안착하여 액정표시장치모듈 전체 기구물 조립에 기초가 되는 커버버툼은 사각모양의 하나의 판 형상으로 이의 네 가장자리를 소정높이 수직 절곡하여 구성한다.
또한, 이러한 커버버툼 상에 안착되며 액정패널 및 백라이트 유닛의 가장자리를 두르는 서포트메인이 탑커버 및 커버버툼과 조립 체결되어 액정표시장치모듈을 완성한다.
한편, 전술한 바와 같이 한편, 셀 공정은 액정표시장치(도 1의 10)를 제조하는데 있어서 생산성을 높이고자, 복수의 셀 영역이 포지션(position) 별로 구분된 제 1 및 제 2 대면적 기판(mother substrate)을 대상으로 진행된다.
즉, 제 1 또는 제 2 대면적 기판 중 어느 하나의 셀 영역에 각각 합착을 위한 씰패턴(seal pattern)을 형성한 다음 액정층을 사이에 두고 양 기판을 대면 합착시킨 후 각각의 셀 영역 별로 절단해서 복수의 액정패널을 얻는다.
여기서, 절단공정은 휠(wheel)을 이용하여 셀 영역별로 스크라이빙해서 선 모양의 흠집을 낸 후 충격을 주어 절단하는데, 이러한 공정은 기판 절단장비에 의해 이루어진다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 절단장비의 모습을 개략적으로 도시한 사시도이다.
한편, 설명에 앞서 대상물(102)은 액정층을 사이에 두고 제 1 및 제 2 대면적 기판을 합착시킨 상태이며, 이하 간략하게 대상물(102)이라 칭하도록 한다.
본 발명에 따른 기판 절단장비(100)는 외부와 차단되도록 정의된 내부 공간 내에 위치며, 대상물(102)이 놓여져 정렬되는 로딩(loading) 및 언로딩(unloading) 유닛(110a, 110b)과, 로딩 및 언로딩 유닛(110a, 110b) 사이에 위치하여 대상물(102)의 절단선을 따라 대상물(102)의 앞, 뒷면 표면에 크랙(114a, 114b, 116a, 116b)을 발생시키는 스크라이빙유닛(scribing unit : 120)과 대상물(102)을 각각의 절단선 별로 분리하는 브레이킹유닛(break unit : 130)으로 나누어질 수 있다.
이들 각각에 대해 자세히 살펴보면, 먼저 로딩유닛(110a)은 대상물(102)이 최초로 놓여지는 부분으로, 대상물(102)은 별도의 로봇(미도시)에 의해 로딩유닛(110a)에 로딩될 수 있다.
로딩유닛(110a)은 일 방향으로 회전하는 복수의 샤프트축(shaft : 111)이 나란히 배열되어, 대상물(102)을 슬라이딩 이동시키기 위한 이동경로를 구성한다.
이때 회전 가능한 다수의 샤프트축(111)에는 환형상을 갖는 복수개의 회전롤러(113)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착되어 있다. 따라서 대상물(102)은 각 샤프트축(111)에 장착된 회전롤러(113)에 얹혀져, 샤프트축(111)과 회전롤러(113)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동된다.
그리고, 스크라이빙유닛(120)은 제 1 컨베이어(125)의 상, 하단에 구비되어 각각 대상물(102)의 이동방향에 수직한 한 쌍의 제 1 및 제 2 리니어(121a, 121b)를 포함한다.
스크라이빙유닛(120)의 제 1 컨베이어(125)는 벨트 컨베이어 타입(belt conveyor type)으로 이루어질 수도 있으며, 또는 롤러 타입(roller type)으로 이루어질 수도 있다.
이때, 대상물(102)은 제 1 컨베이어(125)에 의해 전,후진 슬라이딩 이동된다.
그리고 각각의 제 1 및 제 2 리니어(121a, 121b)에는 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드(123a, 123b)가 제 1 및 제 2 리니어(121a, 121b) 각각의 길이방향을 따라 슬라이딩 가능하게 장착된다.
이때 제 1 컨베이어(125)에 의한 대상물(102)의 이송방향을 X축 방향이라 하면, 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드(123a, 123b)는 Y축 방향으로 슬라이딩 가능하다.
이러한 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드(123a, 123b)에는 대상물(102)의 앞, 뒷면에 각각 밀착 회전되는 제 1 및 제 2 휠(127a, 127b)을 포함한다.
이때, 제 1 및 제 2 휠(127a, 127b) 외에도 대상물(102)의 앞, 뒷면에 각각 크랙(114a, 114b, 116a, 116b) 발생을 위한 레이저를 조사하는 레이저발진유닛(미도시)이 구비될 수도 있다.
이들 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드(123a, 123b)는 제 1 및 제 2 휠(127a, 127b)을 통해 대상물(102)의 앞, 뒷면에 Y축 방향을 향해 제 1 및 제 2 크랙(114a, 114b) 그리고 대상물(102)의 앞, 뒷면에 X축 방향을 향하는 제 3 및 제 4 크랙(116a, 116b)을 각각 형성한다.
다음으로 대상물(102)은 브레이킹유닛(130)으로 전달되는데, 대상물(102)은 스크라이빙유닛(120)의 제 1 컨베이어(125)로부터 브레이킹유닛(130)의 제 2 컨베이어(135)로 전달된다.
제 2 컨베이어(135) 또한 벨트 컨베이어 타입(belt conveyor type)으로 이루어질 수도 있으며, 또는 롤러 타입(roller type)으로 이루어질 수도 있다.
여기에서는 스크라이빙유닛(120)에 의해 형성된 대상물(102)의 앞, 뒷면의 제 1 내지 제 4 크랙(114a, 114b, 116a, 116b) 각각에 고온 증기를 가하며, 이를 통해 모든 방향의 크랙(114a, 114b, 116a, 116b)을 해당 절단선 전체로 균열 성장시키게 된다.
또한 브레이킹유닛(130)은 비록 도시하지는 않았지만, 클램프(미도시)를 사용하여 대상물(102)의 일지점을 흡착한 후 승강 또는 수평이동해서 대상물(102)의 각 절단선 별로 완전히 분리되도록 한다.
이때, 브레이킹유닛(130)에서 고온 고압의 증기를 분사하여 대상물(102)의 불필요한 부분을 제거하게 된다.
그리고, 언로딩유닛(110b)을 통해 대상물(102)은 외부로 이송되는데, 언로딩유닛(110b) 또한 로딩유닛(110a)과 같이 일 방향으로 회전하는 복수의 샤프트축(111)이 나란히 배열되어, 대상물(102)을 슬라이딩 이동시키기 위한 이동경로를 구성한다.
이때 회전 가능한 다수의 샤프트축(111)에는 환형상을 갖는 복수개의 회전롤러(113)가 일정 간격을 유지하도록 둘러 장착되어, 대상물(102)은 각 샤프트축(111)에 장착된 회전롤러(113)에 얹혀져, 샤프트축(111)과 회전롤러(113)의 회전에 의해 슬라이딩 방식으로 이동된다.
이와 같은 기판 절단장비(100)는 다음과 같이 작동한다.
외부에서 대상물(102)이 로딩유닛(110a)으로 위치하면, 로딩유닛(110a)의 샤프트축(111)과 회전롤러(113)의 회전에 의해 절단될 대상물(102)을 스크라이빙유닛(120)의 제 1 컨베이어(125) 상으로 이송한다.
이에 따라 스크라이빙유닛(120)으로 진입된 대상물(102)은 제 1 컨베이어(125)에 의해 X축 방향을 향하는 주행 중간의 주기적 정지시점마다 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드(123a, 123b)가 각각 제 1 및 제 2 리니어(121a, 121b)의 길이방향을 따라 Y축 방향으로 슬라이딩되어 제 1 및 제 2 휠(127a, 127b)을 통해 Y축 방향을 향하는 복수개의 제 1 및 제 2 크랙(114a, 114b)을 각각 대상물(102) 앞, 뒷면에 형성한다.
이후 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드(123a, 123b)의 주기적 정지시점에 따른 제 1 컨베이어(125)의 역방향과 순방향 주행을 통해 X축 방향을 향하는 복수개의 제 3 및 제 4 크랙(116a, 116b)을 대상물(102) 앞, 뒷면에 형성한다.
다음으로 대상물(102)은 브레이킹유닛(130)으로 이동되어져, 서로 다른 지점을 물리적으로 접촉하는 적어도 하나의 클램프(미도시)를 통해, 대상물(102)을 크랙(114a,114b,116a,116b)별로 완전히 분리된다.
이러한 과정을 통해 절단이 완료된 대상물(102)은 언로딩유닛(110b)을 통해 외부로 이송된다.
이때, 도면상에 도시하지는 않았지만 제 1 및 제 2 리니어(121a, 121b)를 상, 하로 이동시켜주는 가이드가 구비되어 있는데, 가이드를 통해 대상물(102)이 스크라이빙유닛(120)으로 진입하면, 제 1 및 제 2 리니어(121a, 121b)에 장착되어 있는 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드(123a, 123b)의 제 1 및 제 2 휠(127a, 127b)이 대상물(102)의 앞, 뒷면에 밀착되도록 한다.
가이드는 별도의 구동장치에 연결되어 구동될 수 있다.
한편, 본 발명의 기판 절단장비(100)는 스크라이빙유닛(120)의 제 1 컨베이어(125)와 브레이킹유닛(130)의 제 2 컨베이어(135) 사이에, 대상물(102)의 일 가장자리를 부양시키는 에어플로팅장치(Air floating device: 200)를 구비하는 것을 특징으로 한다.
에어플로팅장치(200)는 제 1 및 제 2 컨베이어(125, 135) 사이에서 대상물(102)의 이송방향에 수직하게 설치되어 있으며, 대상물(102)에 대하여 공기를 분출하는 다수의 에어토출공(210)이 길이방향을 따라 형성되어 있다.
여기서, 에어플로팅장치(200)의 에어토출공(210)은 등간격을 이루도록 배치되어 있는 것이 도시되어 있으나 이는 일 예로써 에어토출공(210)의 숫자 및 위치는 대상물(102)의 일 가장자리를 안정적으로 부양시킬 수 있도록 적절하게 변경할 수 있다.
여기서, 다수의 에어토출공(210)은 공기를 공급하는 에어공급부(220)가 연결되어 있으며, 에어공급부(220)는 공기를 발생하는 에어블로워(Air blower)로 이루어질 수 있다.
에어블로워는 구동력을 제공하는 모터(미도시)와, 이 모터(미도시)의 구동에 의하여 회전하는 임펠러(미도시)로 구성될 수 있으며, 에어블로워 외에도 에어컴프레서(Air compressor)와, 공기의 유량과 압력을 제어하는 에어컨트롤유닛(Air control unit)이 구비될 수도 있다.
그리고, 에어토출공(210) 상에는 다공성플레이트(230)가 구비된다.
다공성플레이트(230)는 에어토출공(210)을 통해 분사되는 공기를 대상물(102) 쪽으로 배출하면서도 대상물(102)에 크랙(114a, 114b, 116a, 116b)을 형성할 때 발생하는 파티클(particle)의 유입을 차단하는 역할을 하게 된다.
즉, 다공성플레이트(230)는 파티클을 여과하는 필터(filter) 역할을 하게 된다.
이러한 다공성플레이트(230)는 메쉬(mash) 크기의 그물 망 구조로 이루어져, 내부에서는 개구된 기공부분이 공기를 안내하여 배출하는 미세 유로를 형성하며, 이 기공부분을 통해 다공성플레이트(230)가 대상물(102)을 향해 공기를 공급하게 된다.
다공성플레이트(230)는 절연을 유지하기 위해 절연성 소재로 이루어지는데, 내열성의 다공성 엔지니어링 플라스틱 소재(porous plastic)를 사용하거나, 다공성 세라믹 소재(porous ceramic)를 사용하는 것이 바람직하다.
이러한 다공성플레이트(230)는 강도가 낮아, 대상물(102)과의 마찰력이 발생될 경우 손상될 수 있으므로 다수개 구비하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명에서 다공성플레이트(230)는 1 ~ 100 ㎛의 기공 크기를 가지며, 더욱 바람직하게는 10 ~ 50 ㎛의 기공 크기를 갖는 것이 더욱 바람직하다.
이는 기공 크기가 10 ㎛ 미만인 경우라면 에어토출공(210)으로부터 분사되는 공기가 대상물(102) 상으로 공급되기 어려운 문제가 있고, 또한 기공 크기가 50 ㎛를 초과하는 경우라면 파티클의 유입을 차단하는 효과가 미흡해지는 문제가 발생하기 때문이다.
또한, 다공성플레이트(230)의 기공률(개구율)은 30% ~ 70%로 하는 것이 바람직하며, 30% 미만으로 하는 경우 공기의 흐름이 원활하지 못하는 문제가 있고, 70%를 초과하는 경우 파티클의 유입을 차단하는 효과가 미흡해지는 문제가 발생하기 때문이다.
이러한 에어플로팅장치(200)와 다공성플레이트(230)는 제 1 및 제 2 컨베이어(125, 135)와 동일 평면을 이루도록 형성되어, 제 1 및 제 2 컨베이어(125, 135)를 통해 대상물(102)이 이송되는 과정에서 걸림이 발생하지 않도록 한다.
따라서, 대상물(102)은 스크라이빙유닛(120)의 제 1 컨베이어(125)로부터 브레이킹유닛(130)의 제 2 컨베이어(135)로 전달되는 과정에서, 대상물(102)의 이송방향의 일 가장자리가 에어플로팅장치(200)를 통해 제 1 및 제 2 컨베이어(125, 135)로부터 일정 높이 부양된다.
이에, 대상물(102)이 스크라이빙유닛(120)의 제 1 컨베이어(125)로부터 브레이킹유닛(130)의 제 2 컨베이어(135)로 전달되는 과정에서, 대상물(102)이 제 1 및 제 2 컨베이어(125, 135)의 사이영역을 통해 걸림이 발생하거나, 제 2 컨베이어(135)와의 마찰이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 대상물(102)의 파손을 방지할 수 있다.
도 3은 도 2의 에어플로팅장치가 구비된 기판 절단장비를 확대 도시한 사시도이다.
도시한 바와 같이, 스크라이빙유닛(도 2의 120)의 제 1 컨베이어(125)와 브레이킹유닛(도 2의 130)의 제 2 컨베이어(135) 사이에 에어플로팅장치(200)가 구비되며, 에어플로팅장치(200)의 다수의 에어토출공(210) 상부에는 다공성플레이트(230)가 안착된다.
그리고, 이러한 제 1 컨베이어(125)와 제 2 컨베이어(135)를 통해 대상물(102)이 일 방향으로 이송되는데, 이때, 대상물(102)은 제 1 컨베이어(125)로부터 제 2 컨베이어(135)로 이송되는 과정에서 에어플로팅장치(200)의 에어토출공(210)에서 공기가 분출됨에 따라, 제 1및 제 2 컨베이어(125, 135)로부터 일정 높이 부양된다.
이때, 에어토출공(210)은 에어공급부(220)를 통해 공기를 공급받는다.
따라서, 대상물(102)이 스크라이빙유닛(도 2의 120)의 제 1 컨베이어(125)로부터 브레이킹유닛(도 2의 130)의 제 2 컨베이어(135)로 전달되는 과정에서, 대상물(102)이 제 1 및 제 2 컨베이어(125, 135)의 사이영역을 통해 걸림이 발생하거나, 제 2 컨베이어(135)와의 마찰이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이에 대해 좀더 자세히 살펴보면, 기존의 기판 절단장비는 스크라이빙유닛의 제 1 컨베이어와 브레이킹유닛의 제 2 컨베이어 사이는 일정 간격 이격하여 형성되어, 제 1 컨베이어와 제 2 컨베이어의 이격된 사이영역에 의해 대상물이 제 1 컨베이어로부터 제 2 컨베이어로 이송되는 과정에서 대상물의 이송방향의 일 가장자리의 처짐이 발생하게 된다.
따라서, 대상물의 틀어짐이 발생하게 되며, 파손을 유발하게 된다.
또한, 대상물의 처짐 발생시, 대상물의 이송 방향의 일 가장자리와 제 2 컨베이어의 마찰이 발생하게 된다. 이를 통해 대상물이 파손될 수 있다.
이에 반해, 본 발명은 제 1 컨베이어(125)와 제 2 컨베이어(135) 사이에 에어플로팅장치(200)를 구비함으로써, 제 1 컨베이어(125)와 제 2 컨베이어(135)의 이격된 사이영역을 없앰으로써, 대상물(102)이 제 1 컨베이어(125)로부터 제 2 컨베이어(135)로 이송되는 과정에서 제 1 컨베이어(125)와 제 2 컨베이어(135)의 이격된 사이영역에 의해 걸림 현상이 발생하는 것을 방지하게 된다.
또한, 대상물(102)은 에어플로팅장치(200)를 통해 제 1 컨베이어(125)와 제 2 컨베이어(135) 사이의 이격된 영역이 제 1및 제 2 컨베이어(125, 135)로부터 일정 높이 부양되어 이송됨에 따라, 대상물(102)과 제 2 컨베이어(135)의 마찰이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
따라서, 대상물(102)의 이송이 원할하고 신속하게 이루어져 전체 작업시간을 줄일 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 기판 절단장비(도 2의 100)는 스크라이빙유닛(도 2의 120)과 브레이킹유닛(도 2의 130)의 제 1 컨베이어(125)와 제 2 컨베이어(135) 사이에 에어플로팅장치(200)를 더욱 구비함으로써, 대상물(102)이 스크라이빙유닛(도 2의 120)으로부터 브레이킹유닛(도 2의 130)으로 이송되는 과정에서 제 1 컨베이어(125)와 제 2 컨베이어(135)의 이격된 사이영역을 통해 걸림이 발생하거나, 제 2 컨베이어(135)와의 마찰이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
이를 통해, 대상물(102)의 파손이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
한편, 본 발명은 에어플로팅장치(200)를 기판 절단장비(도 2의 100)의 스크라이빙유닛(도 2의 120)과 브레이킹유닛(도 2의 130)의 제 1 및 제 2 컨베이어(125, 135) 사이에 형성됨을 일예로 하였으나, 액정표시장치 전체 공정 중 이웃하는 컨베이어의 이격된 사이영역 어디에도 에어플로팅장치(200)를 구비할 수 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도 내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
100 : 기판 절단장비, 102 : 대상물, 110a, 110b : 로딩 및 언로딩 유닛
111 : 샤프트, 113 : 회전롤러
114a, 114b, 116a, 116b : 제 1 내지 제 4 크랙
120 : 스크라이빙유닛, 121a, 121b : 제 1 및 제 2 리니어
123a, 123b : 제 1및 제 2 스크라이빙헤드, 125 : 제 1 컨베이어
127a, 127b : 제 1 및 제 2 휠
130 : 브레이킹유닛, 135 : 제 2 컨베이어

Claims (11)

  1. 평판표시패널을 제 1 방향으로 전, 후진 슬라이딩시키는 제 1 컨베이어와;
    상기 제 1 컨베이어와 일정간격 이격하여 이웃하며, 상기 평판표시패널을 상기 제 1 컨베이어로부터 전달받아 상기 제 1 방향으로 슬라이딩시키는 제 2 컨베이어와;
    스크라이빙유닛에 구비된 상기 제 1 컨베이어와 브레이킹유닛에 구비된 상기 제 2 컨베이어의 이격된 사이영역에 위치하며, 상기 평판표시패널을 향해 공기를 분사하는 에어플로팅장치(Air floating device)를 포함하며,
    상기 에어플로팅장치는, 상기 평판표시패널의 이송방향에 수직하게 구비되며, 길이방향을 따라 공기를 분사하는 다수의 에어토출공을 포함하고,
    상기 다수의 에어토출공 상부에는 상기 다수의 에어토출공으로 유입되는 파티클을 여과하는 필터(filter) 역할의 그물망 구조의 다공성플레이트가 구비되며,상기 다공성플레이트는 내부에 미세 유로를 포함하고,
    상기 평판표시패널이 상기 에어플로팅장치 상부에 슬라이딩될 때, 상기 다공성플레이트는 상기 평판표시패널의 하부면과 직접 마주하는기판 이송 장치.

  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 다공성플레이트는 다수개 구비되는 기판 이송 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 다공성플레이트는 10 ~ 50 ㎛의 기공 크기를 가지며, 30% ~ 70%의 기공률을 갖는 기판 이송 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 에어토출공은 에어공급부와 연결되며, 상기 에어공급부는 에어블로워(Air blower), 에어컴프레서(Air compressor), 에어컨트롤유닛(Air control unit) 중 선택된 하나로 이루어지는 기판 이송 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1및 제 2 컨베이어는 벨트 컨베이어 타입(belt conveyor type) 또는 롤러 타입(roller type) 중 선택된 하나인 기판 이송 장치.


  9. 삭제
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 스크라이빙유닛은 상기 제 1 컨베이어의 상, 하단에 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향을 따라 각각 구비되는 제 1 및 제 2 리니어와;
    상기 제 1 및 제 2 리니어에 장착되어, 상기 제 2 방향을 따라 슬라이딩 가능하게 장착되며, 회전가능한 휠을 포함하는 제 1 및 제 2 스크라이빙헤드를 포함하는 기판 이송 장치.
  11. 제 1 항에 있어서,
    상기 브레이킹유닛은 상기 평판표시패널을 흡착하여 승강 또는 수평이동하는 클램프가 구비되는 기판 이송 장치.
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