TWI232838B - Glass substrate transferring system - Google Patents

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TWI232838B
TWI232838B TW092130314A TW92130314A TWI232838B TW I232838 B TWI232838 B TW I232838B TW 092130314 A TW092130314 A TW 092130314A TW 92130314 A TW92130314 A TW 92130314A TW I232838 B TWI232838 B TW I232838B
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Description

1232838 玖、發明說明： C 明所屬領3 本發明涉及玻璃基板的輸送系統，具體地說，涉及能使在水平 方向裝載的玻璃基板在傾斜立起的狀態下卸載的玻璃基板輸送系 5 統。 I：先前技術;3 衆所周知’在 TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display )、PDP ( Plasma Display Panel)、EL ( Electro Luminescent) 等平板顯示Is製造領域中使用的玻璃基板，經過玻璃溶融爐中溶融 10的熔融玻璃成型爲平板的成型工序、和進行切斷使其符合初級規格 的切斷工序製造後，通過清洗和檢驗工序分選出合格和不合格産品。 作爲一個例子，從本申請人的韓國專利申請2002一30380號來 看，在玻璃基板清洗處（Cleaning Station),將已通過清洗工序的玻 璃基板裝入稱爲盒（cassette)的容器後，轉移到檢查處（Inspecti〇n 15 StaU〇n )，放置在容器中的玻璃基板由輸送裝置（handler)卸載並 裝載到檢查處。在檢查處，檢查存在於玻璃基板中的氣泡、石粒等 雜物的混入、污染、刮痕、齒輪碎屑、切削碎屑' 裂紋等缺陷。 專利文獻：韓國專利申請2002 — 30386號。 爲防止玻璃基板的污染，玻璃基板的清洗處和檢查處爲清 2 0 ^ 、至但疋，由於使用容器和輸送裝置，清潔室的佈局變複雜， 馬了確保工作人員和輸送裝置的活動路線，存在必須使清潔室 的面積增加到必要以上的問題。不僅如此，由於工作人員和輸 込衣置的動作在清潔室産生的紊流的影響，微粒附著在玻璃基 板上産生污染而增加不合格率，存在大量生産性能低劣、生産 χ232838 成本增加的問題。 再者，在玻璃基板裝載和卸載之際，由於輪送裝置產生的物理 接觸和撞擊，恐怕_基板産生着、等缺陷的可能性相當高， 存在浪費時間增多、産量降低的問題。特別是由於在能由輸送裝置 5的夾钳進行夾緊的玻璃基板的夾緊區域容許在各邊緣起8職以内進 行夾持，因此，在大型、薄型玻璃基板的情況下，依靠夹姐的夹緊 難以支撐玻璃基板的重量，同時，玻璃基板因撓性變形而變得易於 破裂，會導致安全事故。因而，確實需要開發從清洗處到檢查處能 夠-條線上輸送玻璃基板的技術，但事實上還沒有開發出能夠穩定 地將玻璃基板在線一條線上輸送的技術。 【發明内容3 本發明鑒於上述事貫，其目的在於提供玻璃基板的輸送系統， 该系統能將在水平方向裝載的玻璃基板在傾斜立起的狀態下卸載。 本發明的另一個目的在於提供玻璃基板的輸送系統，該系 15統能使玻璃基板的物理接觸最小化，能使玻璃基板穩定地、容 易地從水平狀態轉換到傾斜狀態。 本發明的再一個目的在於提供玻璃基板的輸送系統，該系 統能通過簡單的工作轉換，非常容易且有效地實施向靈活性生 産系統的轉換，所述靈活性生産系統能檢查各種尺寸的玻璃基 20 板。 本發明的又一個目的在於提供玻璃基板的輸送系統，該系統能 通過串聯綱基板的輸送線魅量提高且使配置簡單化，就能大大地 降低生産成本。 爲達到上述目的，本發明的玻璃基板輸送系統的特徵在 1232838 於，該系統包括：系統底盤；水平輸送裝置，設置在前述系統底 盤上，此支撐玻璃基板兩端的周緣部分並進行水平輸送；浮動 裝置，通過空氣吹送使裝載在前述水平輸送裝置上的前述玻璃 基板浮升；傾斜裝置，使前述水平輸送裝置傾斜，以使裝載在 5前述水平輸送裝置上的前述玻璃基板能傾斜立起；傾斜輸送裝 置，設置在前述傾斜裝置上，能支撐傾斜立起的前述玻璃基板 的下端並進行輸送。 按照本發明的玻璃基板的輸送系統，能使來自清洗處的水 平裝載的玻璃基板在檢查處以傾斜立起的狀態連續卸載，在使 10玻璃基板的物理接觸最小化的同時，能穩定且容易地將玻璃基 板從水平狀態轉換到傾斜狀態，從而能夠在線形成玻璃基板的 輸送系統。再者，能通過簡單的工作轉換，非常容易且有效地 貝施向i活〖生生産系統的轉換，所述靈活性生産系統能檢查各 種尺寸的玻璃基板。而且，由於在線化玻璃基板的輸送線使産 15 1提*且使配置簡單化，具有能大大降低生産成本的效果。 圖式簡單說明 第1圖是表示本發明輪送系統的結構的正視圖。 第2圖是表示本發明輪送系統的結構的俯視圖。 第3圖是表示本發明輪送綠的結構的側視圖。 第4圖疋表不本發明輪送系統中傾斜裝置傾斜到玻璃基板的傾 斜位置的狀態的正視圖。 第5圖是表示在本發明輪送系統中水平輸送裝置結構的俯視圖。 ^第6·Α2圖和第6-B圖是表示本發明輸送系統中空氣浮動裝置吹 氣管的正視圖和戴面圖。 7 1232838 第7圖疋表不本發明輸送系統中旋轉編碼器結構的正視圖。 第8圖疋表不本發明輸送系統中間隔調節裝置和第五帶傳動裝 置結構的正視圖。 * β 4刀表示本發明輸送系統中另一例水平輸送裝置和間 5隔調節裝置的側視圖。 第10圖是第9圖的俯視圖。 t實方式3 下面根據_ ’相卿本發g㈣玻璃基板輸送系統的優選 實施例。 首先 > 第1圖’按照本發明的輸送系統，能夠在玻璃基板1 的清洗處和檢查處之間將玻璃基板1的輸送線串聯構成，例如，能 夠輪送長(mm)X寬(職)大小爲約逢〜测χ觸、厚度爲約 〇·4〜Umm的玻璃基板1。 參照第1 一5圖，本發明的輸送裝置具有系統底Μ 10，在系統底 ▲ 10的上部以支標玻璃基板丨的兩端並水平輸送的方式設置有水平 衣置20。水平輸送裝置20由設置在系統底盤1〇的兩側部的第 輪送機21和第二輸送機22構成。第一和第二輪送機21、22各自 的輪送機框架21a、22a，沿著玻璃基板丨的輸送方向並列設置在系 統底盤10上部的兩側部；在輸送機框架21a、22a上，支撐玻璃基板 0 兩^ (即，當玻％基板1立起設置時的下端la和上端lb)的邊緣 部分的多個輥 21b、21b-l、21b-2、22b、22b-l、22b-2，以軸 21c、 22c爲中心配置成隔著規定間隔可自由旋轉地安裝。 第一和第二輸送機21、22的輥21b、22b，在第_驅動裝置23的 作動下方疋轉。第一驅動裝置23具備：供給驅動力的伺服馬達％、橫 1232838 牙第和第一輸送機21及22並自由旋轉地設置的主動軸25、將伺 服馬達24的驅動力傳咖主練25的第—帶傳動裝置％、將主動 軸25的旋轉力傳遞給第—輸送機21的各個輥训的多個第二帶傳 動裝置27、將主動軸25的旋轉力傳遞給第二輸送機22的各個輕22b 5的第三帶傳動裝置28。 如第1圖詳不，第-帶傳動裝置26由靠伺服馬達24的驅動旋轉 的主動輪26a、安裝在主動軸25的一端的從動輪鳩、捲繞在主動輪 施和從動輪26b上的帶旅構成。如第5圖詳示，第二帶傳動裝置 27將主動車由25的旋轉力依次傳遞給相互靠近的第一輸送機2ι的親 10 21b。第二帶傳動裝置27具有：交替安裝在親灿的轴^上的多 個主動輪27a、與各自的主動輪27a對應的交替安裝在輥21b的轴η。 上的多個從動輪27b、捲繞在相互對應的每對主動輪27a和從動輪 27b上的帶27c。如圖2、4和5所示，第三帶傳動裝置28具有··安 裝在主動軸25上的主動輪28a、安裝在輥22b的軸22c上的多個從 15動輪28b、捲繞在主動輪28a和從動輪28b上的帶28c。在本實施例 中，第一至第二帶傳動裝置26、27、28各自的主動輪26a、27a、28a 和從動輪26b、27b、28b及帶26c、27c、28c也能替換成驅動定時齒 輪、從動疋時齒輪和同步皮帶。進一步，第二和第三帶傳動裝置27、 28月b替換成由主動鍵輪、從動鍵輪和鍵構成的鍵傳動裝置。在第2'4 20和5圖中示出，主動軸25能與第一和第二輸送機21、22的輥21b、 22b中的一個，例如最下游輥21b-2、22b-2的軸21c、22c連接成一 體，最上游輥21b-l、22b-l的軸21c、22c由從動軸29連接成一體。 在該實施例中也能作如下設置，將已有的軸承安裝在第一和第二輸 送機21、22的各自的輸送機框架2;^、22&上，主動軸25和從動軸 1232838 29各自的兩端由軸承支樓。 如第2、5圖所示，本發明的輪送系統具有阻擋由水平輸送裝置 2〇輸送的玻璃基板1並進行排列的制動單元％。制動單元3〇由擔 塊31和致動為32構成，擔塊31分別安裝在水平輸送裝置2〇下游 5兩側，以便旎擋住玻璃基板1的輸送方向前端兩側；致動器32使擋 塊31在擋住破璃基板丨的輸送方向前端的阻擋位置和容許玻璃基板 1輸送的解除位置之間轉動。 爹妝第2、3、6 —A和ό — Β圖，本發明的輸送系統具有空氣浮 動裝置40 ,該空氣浮動裝置40使由第一和第二輸送機21、22的輥 10 21b、22b支撐下端la和上端lb並進行輸送的玻璃基板丨，從輥21b、 22b上洋起來。該空氣浮動裝置40具有沿玻璃基板1的輸送方向設 置的、沿縱向形成有多個面向玻璃基板1噴出空氣的噴嘴孔41a的 吹氣官41。多個吹氣管41設置成排列在位於底板42上面的任意水 平平面上。在第2和3圖中示出了 5個吹氣管形成等間隔的配置，但 15是，這是示例性的，吹氣管41的數量和位置能夠適當地變化，使玻 璃基板1穩定浮升。 如第1、6 —B圖所示，供給空氣的空氣供給裝置43與空氣浮動 裝置40的吹氣管41相連。空氣供給裝置43由産生空氣的鼓風機44、 和過濾、來自鼓風機44的空氣並供給吹氣管41的空氣篩檢程式45構 2〇 成。鼓風機44由供給驅動力的馬達44a和由該馬達驅動旋轉的葉輪 44b構成。在該實施例中，空氣篩檢程式45可由過濾約〇.3um的微 、田粒子的 HEPA 篩檢程式（High Efficiency Particular Air Filter)構 成。進一步’空氣供給裝置40的鼓風機44可以替換成衆所周知的 空氣壓縮機和控制空氣流量和壓力的空氣控制單元。 10 1232838 爹照第1一5、7圖，本發明的輸送系統具有使水平輸送裝置2〇 和空氣浮動裝置40相對於系統底盤1〇傾斜的傾斜裝置5〇，以便使 在水平輸送裝置20上水平裝載的玻璃基板1傾斜並立起起來。傾斜 裝置50由傾斜支架51和由軸承52支樓以使傾斜支架51相對於系 5統底盤10轉動的軸53構成，傾斜支架51上裝載有··水平輸送裳置 20的第一和第二輸送機21、22，以及第一驅動裝置23和空氣浮動 裝置40的底板42。 傾斜裝置50的軸53由第二驅動裝置54的作用而旋轉。第二驅 動裝置54由安裝在系統底盤1〇上並供給驅動力的伺服馬達％、將 10伺服馬達55的驅動力傳遞到軸53的第四帶傳動裝置56、以及旋轉 編碼器57構成，旋轉編碼器57檢測軸53的旋轉角度，以便能控制 伺服馬達55的驅動。第四帶傳動裝置56由安裝成通過伺服馬達^ 的驅動能旋轉的主動定時齒輪56a、安裝在輛53上的從動定時齒輪 56b'捲繞在主動定時齒輪56a和從動定時齒輪5邰上的同步皮帶5^ 15 構成。 如第7圖所示，旋轉編碼器57由發光的發光感測器w、感受 由該發光感測器57a投射的光的感光感測器57b、安裝在軸兄上且 能配置在發光感測器57a和感光感測器57b之間並具有與光轴對齊
基板1的水平位置和傾斜位置，但旋轉編碼器57的數量可以適當地 开不，傾斜裝置5〇使玻璃基板1相 的傾斜角度（0 )，最好傾斜約10 變化。在該實施例中，如第3圖所示， 對於垂直軸線58傾斜約5 — 20Q的傾名 2的傾斜角度（0)。 Ϊ232838 參照第1-4圖，本發_輸送系統具有支撐玻璃基板丨的下端 la並進行輸送的傾斜輸送裝置6G，把傾斜輪送裝置6㈣第三輪送 機61設置成能與傾斜裝置50白勺傾斜支架51上的第一輸送機21 = 仃。把第二輸达機61的輸送機支架61a沿玻璃基板）的輸送方向2 5並列設置，以便能靠近傾斜裝置50的傾斜支架51上的第一輸送機 21，在輸送機支架61a上，多個輥61b在對應的軸61c上分別自由旋 轉地安裝著。軸61c相互以規定間隔隔離開。在概训的外表面形 成有穩定地容納玻璃基板丨下端la以防止脫離的v字形槽6id。 參照第2-5圖，第三輸送機61的親61b依靠第三驅動裳置幻 10的作動而旋轉。第三驅動裝置62由供給驅動力的伺服馬達幻、能由 該伺服馬達63驅動旋轉地靠近輥61b且沿輸送機支架他的縱向安 裝的軸64、將軸64的旋轉力傳遞給第三輸送機61的各個輥6ib的 齒輪裝置65構成。齒輪裝置65由多個主動齒輪65a和多個從動齒 輪65b構成，主動齒輪65a安裝在位於靠近各個輥61b的軸64上， 15從動齒輪65b安裝在輥61b各自的軸61c上以與主動齒輪65a嚙合。 在該實施例中，第三輸送機61可由第三驅動裝置62來旋轉且安裝 在輸送機支架61a —側的主動輪、安裝在輸送機支架61a另一側的驅 動輪、捲繞在主動輪和驅動輪上的帶構成。而且，第三驅動裝置a 的軸64和齒輪裝置65可替換成將伺服馬達63的驅動力傳遞到輥6ib 20 的帶傳動裝置。 參照第2 — 5、8圖，本發明的輸送系統具有使第二輸送機22相 對於第一輸送機21運動的間隔調節裝置7〇，以便能調節第一輸送機 21和第二輸送機22之間的間隔。通過間隔調節裝置7〇調節第一輸 送機21和第二輸送機22之間的間隔，能支樓大小不同的玻璃基板i 12 1232838 的下端la和上端lb並進行輸送。間隔調節裝置％纟可自由旋轉地 相互並列設置在傾斜支架51上部的第_和第二推_杆爪及 71b、安裝成沿第-和第二推動螺杆仏及爪作螺旋運動並固定在 第二輸送機22的輸送機支架22a上的滾珠軸套72、引導輸送機支架 5 22a的線性運動的線性運動導向裝置73、供給使第一和第二推動螺 杆7U及71b旋轉的驅動力的伺服馬達74、將伺服馬達％的驅動力 傳遞給第-和第二推動螺杆仏及爪的第五帶傳動裝置乃構成。 第-和第二推動螺杆71a及71b的前端受到安裝在傾斜支架Μ 上的安裝托架76的軸承77的支撐。線性運動導向裝置乃由多個導 1〇向杆73a和介於第二輸送機22的輸送機支架咖和導向杆…之間 的滾珠軸套73b構成，所述多個導向杆73a魏第二輸送機22的輸 送機支4 22a和女裝托架76並相互並列設置，以允許第二輸送機22 的線性運動。在該實施例巾，線性運動導向裝置73可由並列設置在 傾斜支架51上面的一對導向軌道和沿該導向執道能滑動且被安裝在 15輸送機支架22a下面的一對滑塊構成。 第五帶傳動裝置75由依靠飼服馬達74的驅動進行旋轉的主動 輪75a、分別安裝在第一和第二推動螺杆7U及7比上的第一和第二 k動輪75b及75c '捲繞在主動輪75a和第一從動輪7兄上的第一帶 75d、捲繞在第一和第二從動輪—及75〇上的第二帶^構成。圖 20 2目4和圖5巾不出的是交替安裝著的第一和第二推動螺杆^及 71b和3個導向杆？3a的結構，但導向杆7Sa的數量可以適當地變化。 多、弟1 2圖’爲了連績地輸送玻璃基板1，本發明的輸送系 統具有设置在系統底盤10的上游的進入側水平輸送裝置80和設置 在系統底盤10的下游的排出側傾斜輸送裝置9〇。進入側水平輸送裝 13 1232838
JL OU /、月b求平輪送來自清洗處的玻璃基板丨的水平輪送裝置 2〇的第—和第二輸送機21、22同樣的輸送機81、82構成。排出側 傾斜輸运衣置9〇可以由與使傾斜輸送裝置&輸送的玻璃基板1傾 斜:L進订輸㈣空氣浮動裝置4()的吹氣管4丨及傾斜輸送裝置⑼的 第二輸运機61同樣的吹氣管91和輸送機92構成。 如第7圖所7F ’本發明的輸送系統具有作爲控制裝置的控制器 ⑽，用於系統的控㈣，控㈣1〇〇才安照可編程邏輯控制 (Programmable l〇gic co咖d控制水平輸送裝置2〇、制動單元％、 空氣浮動裝置40、傾斜裝置5G、傾斜輸送裝置⑼、間隔調節裝置 10 70等的系統作_。控制器勵能夠與玻璃基板1輸送線上配置的衆 所周知的電腦同步，通過電腦_網在整個輸送線上_體控制和管 理玻璃基板1的輸送。 第9、10圖中示出了另一個適用于本發明的輸送系統的水平輸 送衣置。參照第9、1〇圖，另一個例子中的水平輸送裝置12〇具有 15同傾斜裝置50的傾斜支架51分離且設置在系統底盤1〇上的第二輸 送機122。第二輪送機122的輸送機支架122a可移動地設置在系統 底盤10的上部；在輸送機支架122a上，支撐玻璃基板丨上端lb周 緣部分的多個輥122b分別可自由旋轉地安裝在相應的軸122c上。 軸122c相互以規定的間隔隔離開。在輥122b的外表面，形成有能 20 對玻璃基板1上端lb進行支撐排列的凸緣122d。另外，第一和第二 輸送機21、122的輥21b、122b能依靠供給驅動力的驅動裝置123 進行旋轉。驅動裝置123可以是和前面所說明的第三驅動裝置62同 樣的結構。驅動裝置〗23的結構及作動說明參照第三驅動裝置62的 結構及作動。 14 1232838 水平輸U 12〇具有使第二輪送機移動以便能_節第二輸 1^機m相對於第一輸达機^的間隔的間隔調節裝置「ο。間隔調 節裝置170由設置在系統底盤10的上面並供給驅動力的饲服馬達 Π1由伺服馬達m驅動旋轉的主動定時齒輪口2、在玻璃基板i 5的輸达方向的；^向遠離該主動定時齒輪172配置的從動定時齒輪 173、 捲繞在主動定時齒輪172和從動定時齒輪π上的同步皮帶 174、 使第二輸送機122的輸送機支架ma和同步皮帶μ固定的 連接件I75才目對於系統底盤1〇引導輸送機支架的線性運動的 線性運動導向機構m構成。線性運動導向機構1?6由安裝在系統 ίο底盤H)上面位於玻璃基板i的輸送方向橫向兩側的一對導向軌道 服、安裝在輸職支架122a下面沿料向軌道論義的一對滑 塊176b構成。 下面，說明具有這種結構的本發明的玻璃基板的輸送系統的作 用。 15 參照第卜2和5圖，在傾斜裝置5〇的傾斜支架51保持水平且 第-和第一輸达機2卜22的輕21b、22b g己置在同一平面的狀態下， 把由進入側水平輪送裝置80的輸送機81、82水平輸送的玻璃基板i 輸送到第一和第二輸送機2卜22上，玻璃基板i的下端la和上端 ib的周緣部分由最上游輥21b-1、22b-1支撐。第一驅動裝置23的饲 2〇服馬達24 -驅動，伺服馬達24的驅動力就通過第一帶傳動裝置％ 的主動輪26a、從動輪26b和帶26c傳遞到主動軸25 ;主動軸25使 最下游親21b-2、22b-2旋轉。最下游輥211>2、22卜2的旋轉力分別 通過第二帶傳動裝置27的主動輪27a'從動輪27b、帶27c和第三帶 傳動裝置28的主動輪28a、從動輪28b、帶28c傳遞到各個輥21b、 15 1232838 22b ί疋轉的辕21b、22b通過滾動運動使玻璃基板1水平輸送。 另一方面，如第6-A、6-B圖所示，當空氣供給裝置43的鼓風 機44工作，將空氣供給空氣浮動裝置40的吹氣管41時，玻璃基板 1利用吹氣管41的噴嘴la吹出的空氣力從第一和第二輸送機21、 5 22的链2lb、22b浮升例如約〇.5mm，並繼續進行輸送。從而，由於 旎夠在除了下端la和上端lb的部分不進行物理接觸的狀態下輸送 玻璃基板1，因此能有效地防止因物理接觸在玻璃基板丨上産生的缺 陷，例如刮痕、裂紋等；還能夠有效地防止大型玻璃基板丨，例如長 (mm)x寬(mm)大小爲約730χ 92〇以上的玻璃基板丨的撓性變形。 10 如第2圖所示，由水平輸送裝置20的第一和第二輸送機21、22 和空氣浮動裝置40水平輸送的玻璃基板1的輸送方向的前端，被位 於阻止位置的制動單元30的擋塊31擋住，使第一驅動裝置23的伺 服馬達24停止工作。第二驅動裝置54的伺服馬達％ 一開始驅動， 伺服馬達55的驅動力就由第四帶傳動裝置56的主動定時齒輪5如、
15從動定時齒輪56b和同步皮帶56c傳遞到軸53，如第3圖中箭頭A 所示，由軸承52軸支撐的軸53使傾斜支架51從水平位置傾斜到傾 斜位置。如第7圖所示，旋轉編碼器57檢測出軸53的旋轉角度， 並把疑轉編碼器57的檢測信號輸入給控制器1〇〇。控制器根據 從旋轉編碼器57輸入的檢測信號控制馬達44a的驅動速度，從而斤 20制通過吹氣管41的噴嘴孔41a吹氣産生的空氣力。即，爲了不使由 傾斜裝置50的傾斜運動傾斜立起的玻璃基板1從第一和第二輪送機 21、22脫離，要隨著玻璃基板丨的傾斜角度（0 )使空氣力逐漸減 /J、〇 參照第3、4圖，由傾斜裝置50的傾斜運動傾斜立起的破螭美 16 1232838 板1，利用自重在沿著第一和第二輸送機21、22的輥21b、22b滑動 的同時下降。下降的玻板！的下端在落在形成於第三輸送機6ι 的輥61b上的槽61d中的同時受到支撐。此時，玻璃基板i的下端 U和上端lb的周緣部分，在作爲夾緊區域所允許的8mm之内從下 端la和上端lb接觸到第一輸送機21的輥2比和第二輸送機22的輥 22b。 參照第1、3圖，在第三輸送機61的輥61b支撐玻璃基板i的 下端lb日守，根據控制為1〇〇的控制，制動單元3〇的致動器％被驅 動，使擋塊從阻擔位置旋轉到解除位置。在第三驅動裝置62的词服 1〇馬達63被驅動時，依靠伺服馬達63的驅動使轴64旋轉。抽64的 旋轉力通過齒輪裝置65的主動齒輪65a和從動齒輪㈣傳遞到第三 輸送機61的輕61b，親61b通過滾動運動將傾斜立起的玻璃基板工 輸送到下游。 15 20 然後，把由傾斜輸送裝置6〇的第三輸送機61輸送的玻璃基板i 輸送到續接在系統底盤1G下游的排出側傾斜輸送裝置％上，排出 麵斜輪魏置90依靠錢㈣和輪錢92將朗級i輸送到 檢查處。採職這種系統底盤1G的上游把水平輸送的玻璃基板i在 傾斜立起麟^制下稀送作業，在清洗處和檢查處之間能連 續地保持玻璃基板1的輪送，因此，能提高麵基板丨的産量。 “'、第4 5圖’在根據本發明的檢麵統改變玻璃基板1的大 小並進行輸賴情況下，爲了符合摘基板丨的大小，實施由間隔 调師裝置7 0調卽弟一輪逆她91知楚-、、，η 科】运機21和弟一輸顿22之間的間隔的工作 轉換⑽change)。間隔調節裝置7G的伺服馬達％ 一驅動，籠 馬達74的轉力就能㈣五帶傳練置75料動輪〜、第一和第 17 1232838 一從J5b及75c以及第一和第二帶祝及…傳遞到第一和第二 推動螺杆71a、71b。第一和笛-4各去 弟和弟—推動螺杆71a、71b*安裝托架％ ’幸？轴支撐’/α第-和第二推動螺杆川、爪作螺旋運動的 滾珠轴套72使第二輸送機22相對於第—輸送機21運動，並調節第 一和弟二輸送機2卜22之間的間隔。此時，線性運動導向裝置乃 的滾珠軸套73b在沿導向杆〜滑動_時，料第二輸送機^的 線性運動。爲了能騎合_麵基板〗壯小，_對第—和第 輸k機21 22之間的間隔進行調節的工作轉換，就能夠非常容易 且有效地實施向靈活性生產系統的轉換。 10 15 參照第9、1〇圖，利用傾斜裝置％的傾斜運動，使裝載在傾斜 支架51 ±的第一輸送機2卜空氣浮動裝置*的吹氣管Μ和第三輸 送機傾斜，第二輸送機122就會固定在系統底盤ι〇上。利用第 -和第-輸运機2卜122的觀21b、122b的滾動運動，把被輸送的 玻璃基板1的上端lb支撐並排列在第二輸賴122魄⑽上形 成的凸緣122d上。 使間隔調節裝置170的词服馬達171驅動後使主動定時齒輪172 方疋轉％ ’捲繞在從動定時齒輪172和從動定時齒輪173上的同步皮帶 174就開始移動，由連接件175和同步皮帶174連接的第二輸送機122 的輸送機支架122a就和同步皮帶174 一起連動，如第9圖的箭頭B 20所不。線性運動導向機構176的滑塊176在沿導向杆176a滑動的同 時引導第二輸送機122的線性運動。從而，能夠容易且有效地實施 工作轉換來調節第一和第二輸送機21、122之間的間隔以符合玻璃 基板1的大小。 以上雖然說明了本發明的優選實施例，但在不背離本發明 18 1232838 權利要求保護的範圍内，本領域技術人員能作出各種改變。 【圖式簡單《明】 第1圖是表示本發明輸送系統的結構的正視圖。 第2圖是表示本發明輸送系統的結構的俯視圖。 5 第3圖是表示本發明輸送系統的結構的側視圖。 第4圖是表示本發明輸送系統中傾斜裝置傾斜到玻璃基板的傾 斜位置的狀態的正視圖。 第5圖疋表示在本發明輸送系統中水平輸送裝置結構的俯視圖。 第6-A、6-B圖是表示本發明輸送系統中空氣浮動裝置吹氣管的 10 正視圖和截面圖。 第7圖是表示本發明輸送系統中旋轉編碼器結構的正視圖。 第8圖是表示本發明輸送系統中間隔調節裝置和第五帶傳動裝 置結構的正視圖。 15 第9圖是部分表示本發明輸送系統中另一例水平輸送裝置和間 隔調節裝置的側視圖。 第10圖是第9圖的俯視圖。 【圖式之主要元件代表符號表】 玻璃反…1 第二^送機".22 下端...la 輥."21b、21W、 上端".lb 22b-卜 22b-2 輸送方向…2 車由...21c、22c 系統底盤...10 第一驅動裝置...23 水平輸送裝置...20 伺服馬達...24 第一輸送機·· .21 主動軸...25 19 1232838 第一帶傳動裝置...26 第二帶傳動裝置...27 第三帶傳動裝置…28 主動輪…26a、27a、28a 從動輪...26b、27b、28b 帶...26c、27c、28c 從動軸".29 制動單元…30 擋塊"·31 致動器…32 空氣浮動裝置...40 噴嘴孔".41a 吹氣管...41 底板...42 空氣供給裝置...43 鼓風機."44 馬達...44a 葉輪...44b 空氣篩檢程式...45 傾斜裝置…50 傾斜支架...51 軸承...52 軸...53 第二驅動裝置...54 伺服馬達…55 第四帶傳動裝置…56 旋轉編碼器…57 主動定時齒輪...56a 從動定時齒輪...56b 同步皮帶…56c 發光感測器...57a 感光感測器...57b 多夾、縫·· .57c 旋轉圓盤…57d 垂直軸線…58 傾斜角度...0 傾斜輸送裝置...60 第三輸送機...61 輸送機支架...61a 輥…61b 轴...61c V字形槽...61d 第三驅動裝置...62 伺服馬達...63 轴...64 齒輪裝置...65 主動齒輪...65a 從動齒輪·· .65b 20 1232838 間隔調節裝置...70 第一推動螺杆...71a 第二推動螺杆...71b 滾珠軸套"·72 線性運動導向裝置…73 導向杆...73a 滾珠軸套...73b 伺服馬達...74 第五帶傳動裝置…75 主動輪...75a 第一和第二^動輪…75b、75c 第一帶...75d 第二帶...75e 安裝托架...76 軸承...77 進入側水平輸錢置…80 輸送機...81、82 排出側傾斜輸送裝置...90 吹氣管...91 輸送機…92 控制器...100 水平輸送裝置...120 第二^送機...122 輸送機支架... 122a 輥…122b 軸."122c 凸緣…122d 驅動裝置…123 間隔調節裝置...170 伺服馬達...171 主動定時齒輪...172 從動定時齒輪...173 同步皮帶...174 連接件…Π5 線性運動導向機構…176 導向執道…176a 滑塊·.· 21

Claims (1)

1232838 拾、申請專利範圍： 1· 一種玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，包括： 系統底盤； 水平輸送裝置，設置在前述系統底盤上，能支撐玻璃基板兩 5 端的周緣部分並進行水平輸送； 傾斜裝置，使前述水平輸送裝置傾斜，以使裝載在前述水平 輸送裝置上的前述玻璃基板能傾斜立起； 傾斜輸送裝置，設置在前述傾斜裝置上，能支撐傾斜立起的 前述玻璃基板的下端並進行輸送。 10 2.如申請專利範圍第1項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於， 前述水平輸送裝置具備： 弟一輸送機’設置在前述系統底盤一側，且具有支撐前述玻 璃基板一端周緣部分的多個輥； 弟一輸送機，與前述第一輸送機並列設置在前述系統底盤的 15 另一側’且具有支撐前述玻璃基板另一端周緣部分的多個幸昆， 第一驅動裝置，使前述第一和第二輪送機的輥旋轉。 3· 如申請專利範圍第2項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於， 其中前述第一驅動裝置具備： 伺服馬達，安裝在前述傾斜裝置上，供給驅動力； 2〇 主動軸，橫穿前述水平輸送裝置的第一和第二輸送機， 自由旋轉地設置； 第一帶傳動裝置，將前述伺服馬達的驅動力傳遞到前述 主動軸； 多個第二帶傳動裝置，將前述主動軸的旋轉力依次傳遞 22 1232838 至1J相互靠近的前述第一輸送機的輥上； 第二帶傳動裝置，將前述主動軸的旋轉力傳遞到前述第 二輪送機的輥上。 4·如申請專利範圍第2或3項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在 於’還具有間隔調節裝置，使前述第二輸送機相對於前述第一 輪送機線性運動，以便調整前述水平輸送裝置的第一和第二輸 送機之間的間隔。 5·如申請專利範圍第4項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於， 前述間隔調節裝置具備： 夕個第一推動螺杆和第二推動螺杆，在前述傾斜裝置上部自 由旋轉地相互並列設置； 滾珠軸套，安裝成能沿前述第一和第二推動螺杆作螺旋運 動’且固定在前述第二輸送機上； 線性運動導向機構，引導前述第二輸送機的線性運動； 第二驅動裝置，包括：安裝在前述傾斜裝置上並供給驅 動力的伺服馬達、和將前述伺服馬達的驅動力傳遞到前述 第一和第二推動螺杆的第五帶傳動裝置。 6·如申凊專利範圍第1或2項的玻璃基板的輸送系統，其特 徵在於，還具有制動單元，阻擋並排列由前述水平’輪送裝 置輸送的前述玻璃基板， 珂述制動單元包括：擋塊，分別安裝在前述水平輸送裝 置的下游兩側’以能夠阻擋前述玻璃基板的輸送方向前端 的兩側；以及致動器，使前述擋塊在阻擋前述玻璃基板的 輸送的阻擋位置和允許輸送的解除位置之間轉動。 23 1232838 7·如申請專利範圍第i項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，、矛 具有空氣浮動裝置，通過空氣吹送使裝載在前述水平輸送裝置^ 的前述玻璃基板浮升；前述傾斜裝置使前述空氣浮動農置傾斜。 8·如申請專利範圍第7項的破璃基板的輸送系統，其特徵在 於’其中前述空氣浮動裝置具備： 多個吹氣管’沿前賴魅板的輸送方向設置在前述傾 斜裝置上部，且沿縱向形成有對著前述玻璃基板噴出空氣 的多個喷嘴孔； 鼓風機，産生供給前述吹氣管的空氣； 空氣篩檢程式，過濾來自前述鼓風機的空氣並供給前述多個吹 氣管。 9. 如”專利範圍第7或8項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在 於，前述傾斜裝置具備： 裝載有前述水平輸送裝置和空氣浮姆置的傾斜支架·’ 使刖述傾斜支架相對於前述系統底盤轉動的軸； /二驅域置，具有安裝在錢系統絲上並供給能夠使 刖达轴疑轉的驅動力的祠服馬達、和將前述饲服馬達的驅 動力傳遞到前述軸的第四帶傳動裝置； 方疋轉編碼器，檢測出前述軸的旋轉角度，以便控制前述第 二驅動裝置伺服馬達。 10. 如申請專利範圍第丨項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，前 述傾斜輸送裝置具備： 第-輸运機，具有支撐被前述傾斜裝置傾斜立起的前述玻璃基 板下端的多個輥； 24 1232838 第二驅動裝置，具有安裝在前述傾斜裝置上並供給驅動力的伺 服馬達、女裝成能通過前述祠服馬達的驅動而旋轉的軸、將前述軸 的旋轉力傳遞到前述第三輸送機的輥的齒輪裝置。 11·如申請專利範圍第1項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在 於，還具備： 進入側水平輸送裝置，配置在前述系統底盤上游，且具 有將別述玻㈤基板水平裝載在前述水平輸送裝置上並進行 輸送的輸送機； 排出侧傾斜輸送裝置，配置在前述系統底盤下游，且具有輸送 從前述傾斜輸送裝置卸載的前述玻璃基板的吹氣管、和輸送機。 12. 一種玻璃基板的輸送系統，其特徵在於，具備： 系統底盤； 第一輸送機，沿前述玻璃基板的輸送方向設置在前述系統 底盤一側，且具有支撐前述玻璃基板一端周緣部分的多個 輥； 第二輸送機，和前述第一輸送機並列設置在前述系統底盤 的另一側，且具有支撐前述玻璃基板另一端周緣部分的多 個輥，以便和前述第一輸送機協同作動使前述玻璃基板水 平輸送； 多個吹氣管’設置在前述第一輸送機和第二輸送機之間， 以便沿前述玻璃基板的輸送方向吹送空氣使前述玻璃基板 浮升； 傾斜裝置，使前述第一輸送機和前述吹氣管傾斜，以使裝 載在别述弟一輸送機和弟一輸送機上的前述玻璃基板傾斜 25 1232838 立起； 第三輸送機，設置在前述傾斜裝置上，並利用多個輥支撐 傾斜立起的前述玻璃基板下端並進行輸送。 13. 如申請專利範圍第12項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在 5 於，還具有間隔調節裝置，使前述第二輸送機相對於前述第一輸送 · 機線性運動，以便調節前述第一和第二輸送機之間間隔。 ， 14. 如申請專利範圍第13項的玻璃基板的輸送系統，其特徵在 於，前述間隔調節裝置具備： 設置在前述系統底盤上並供給驅動力的伺服馬達； 10 通過前述伺服馬達的驅動進行旋轉的主動定時齒輪； 配置在前述玻璃基板的輸送方向的橫向上的從動定時齒輪； 捲繞在前述主動定時齒輪和從動定時齒輪上的同步皮帶； 固定前述第二輸送機和同步皮帶的連接件； 引導第二輸送機相對於前述系統底盤線性運動的線性運動導向機 15 構。 26
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