KR100688872B1 - 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법 - Google Patents

불량 유리기판의 적재 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR100688872B1
KR100688872B1 KR1020040113667A KR20040113667A KR100688872B1 KR 100688872 B1 KR100688872 B1 KR 100688872B1 KR 1020040113667 A KR1020040113667 A KR 1020040113667A KR 20040113667 A KR20040113667 A KR 20040113667A KR 100688872 B1 KR100688872 B1 KR 100688872B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass substrate
tilting hand
conveyor
tilting
hand
Prior art date
Application number
KR1020040113667A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20060075106A (ko
Inventor
이창하
김택천
김성철
전양근
Original Assignee
삼성코닝정밀유리 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 삼성코닝정밀유리 주식회사 filed Critical 삼성코닝정밀유리 주식회사
Priority to KR1020040113667A priority Critical patent/KR100688872B1/ko
Publication of KR20060075106A publication Critical patent/KR20060075106A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100688872B1 publication Critical patent/KR100688872B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/46—Machines having sequentially arranged operating stations
    • H01J9/48—Machines having sequentially arranged operating stations with automatic transfer of workpieces between operating stations
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67778—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading involving loading and unloading of wafers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Re-Forming, After-Treatment, Cutting And Transporting Of Glass Products (AREA)

Abstract

본 발명은 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법에 관한 것으로서, 크레이트(10)내에 수직으로 적재된 불량 유리기판(1)을 진공 흡착하여 취출하는 로봇암(20)과, 로봇암(20)의 회전에 의하여 유리기판(1)이 놓여지는 틸팅핸드(30)와, 틸팅핸드(30)의 하부에 설치되어 틸팅핸드(30) 전체를 전방에 위치된 컨베이어(60) 측으로 이송시키는 이송수단(40)과, 틸팅핸드(30)의 하부에 설치되어 틸팅핸드(30)를 소정 각도로 회동시키는 회동수단(50)을 포함한다. 따라서 재세정 및 재면취가 필요한 대형의 불량 유리기판을 안정적으로 자동 적재시킬 수 있게 되어 생산성 향상의 효과가 있다.

Description

불량 유리기판의 적재 장치 및 방법{LOADING DEVICE AND METHOD OF BADNESS GLASS}
도 1은 본 발명에 따른 불량 유리기판의 적재장치의 전체적인 평면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 불량 유리기판의 적재장치의 정면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 불량 유리기판의 적재장치의 측면도이고,
도 4는 본 발명에 따라 불량 유리기판의 적재 방법을 도시한 순서도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1 : 유리기판 10 : 크레이트
20 : 로봇암 22 : 흡착패드
30 : 틸팅핸드(tilting hand) 32 : 진공패드
40 : 이송수단 41 : 서보모터
42 : 볼스크류축 43 : 너트하우징
44 : 플레이트 50 : 회동수단
51 : 기어드모터(geared motor) 52 : 타이밍벨트
53 : 회전축 60 : 컨베이어
70 : 감지센서
본 발명은 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가공 공정 중에서 크레이트(crate)에 수직상태로 적재된 불량의 유리기판을 1매씩 취출하여 컨베이어 상에 안전적으로 적재시킬 수 있는 불량 유리기판 적재 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로 TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent)등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 유리 용해로(Glass melting furnace)에서 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되어 일차 규격에 맞도록 절단되고, 표면에 보호용 필름을 코팅하여 가공라인으로 운반된다.
유리기판의 가공라인에서는 유리기판으로부터 필름을 제거한 후 유리기판을 평판디스플레이의 규격에 맞는 크기로 재차 절단하고, 후속하는 코팅공정에서 유리 기판의 표면에 실리카(SiO2)막과 같은 절연막과 ITO(Indium tin oxide)막과 같은 도전막으로 코팅하고 있다.
한편, 이러한 가공 공정 중에서 대형 유리기판의 일부분 또는 에지부에 손상이 발생되거나 재세정이 필요하면, 이를 재세정 및 재면취하기 위하여 불량 유리기판을 별도의 크레이트에 적재하였다가 재작업을 통하여 재활용하였다.
따라서 종래에는 불량 유리기판이 적재된 크레이트를 재작업 가공라인으로 이송시킨 후, 작업자가 직접 한 매씩 수동으로 취출하여 컨베이어 상에 적재시키곤 하였다.
그런데, 유리기판이 점차 대형화됨에 따라, 유리기판의 하중과 크기의 증가로 작업자가 직접 수동으로 취출하여 컨베이어 상에 적재시키기가 불가능하였다. 따라서 대형의 불량 유리기판을 재가공시키기 위한 자동의 적재시스템이 요구되었다.
본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 재세정 및 재면취가 필요한 대형의 불량 유리기판을 안정적으로 자동 적재시킬 수 있는 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 불량 유리기판의 적재장치에 있어서, 크레이트내에 수직으로 적재된 상기 불량 유리기판을 진공 흡착하여 취출하는 로봇암과, 상기 로봇암의 회전에 의하여 상기 유리기판이 놓여지며 최초 기설정 각도로 기울어져 있고 전면 상에 다수개의 진공패드가 설치되는 틸팅핸드와, 상기 틸팅핸드의 하부에 설치되어 상기 틸팅핸드 전체를 전방에 위치된 컨베이어 측으로 이송시키는 이송수단과, 상기 틸팅핸드의 하부에 설치되어 상기 틸팅핸드를 소정 각도로 회동시키는 회동수단을 포함하는 불량 유리기판의 적재장치를 제공한다.
또한 본 발명은, 불량 유리기판의 적재 방법에 있어서, 로봇암의 흡착패드를 통해 크레이트내에 수직으로 적재된 상기 불량의 유리기판을 진공 흡착하는 단계와, 상기 진공 흡착된 상기 유리기판을 상기 로봇암의 회전으로 틸팅핸드에 올려놓는 단계와, 상기 틸팅핸드 위에 올려진 상기 유리기판을 상기 틸팅핸드의 패드를 통하여 진공으로 밀착시키는 단계와, 상기 유리기판이 흡착된 상기 틸팅핸드를 전방에 위치된 컨베이어까지 이송시키는 단계와, 상기 이송이 완료된 상기 틸팅핸드를 상기 컨베이어 측으로 회동시켜 상기 유리기판을 상기 컨베이어에 적재시키는 단계를 포함하는 불량 유리기판의 적재 방법을 제공한다.
본 발명의 상기 목적과 여러 가지 장점은 이 기술 분야에 숙련된 사람들에 의해 첨부된 도면을 참조하여 아래에 기술되는 발명의 바람직한 실시 예로부터 더욱 명확하게 될 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 불량 유리기판의 적재장치의 전체적인 평면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 불량 유리기판의 적재장치의 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 불량 유리기판의 적재장치의 측면도이고, 도 4는 본 발명에 따라 불량 유리기판의 적재 방법을 도시한 순서도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 불량 유리기판의 적재장치은, 재세정이나 재면취가 필요한 대형의 유리기판(1)이 수직하게 적재되는 크레이트(10)와, 크레이트(10)에 적재된 유리기판(1)을 1매씩 취출하는 로봇암(20)과, 로봇암(20)에 의하여 취출된 유리기판(1)이 놓여지는 틸팅핸드(30)와, 틸팅핸드(30)의 이송 및 회동으로 유리기판(1)을 컨베이어(60) 상에 적재시킬 수 있는 이송수단(40)과 회동수단(50)으로 크게 구성된다.
여기서 로봇암(20)은 360°의 회전이 가능하며, 선단에 흡착패드(22)가 설치되어 크레이트(10)에 적재된 유리기판(1)을 1매씩 취출하게 된다.
도 2 및 도 3에 도시된 틸팅핸드(30)는 사각의 판상으로 이루어지며, 그 전면 상에 다수개의 진공패드(32)가 설치된다. 그리고 틸팅핸드(30)는 최초 소정의 각도로 기울어져 있어서 유리기판(1)의 안착이 가능하다.
또한, 틸팅핸드(30)는 그 하부에, 틸팅핸드(30) 전체를 전방에 위치된 컨베이어(60) 측으로 이송시키는 이송수단(40)과, 틸팅핸드(30)를 소정 각도로 회동시키는 회동수단(50)이 설치된다.
이송수단(40)은, 서보모터(41)와, 서보모터(41)와 축연결되어 회전되는 볼스크류축(42)과, 볼스크류축(42) 상에 설치되어 볼스크류축(42)의 회전에 따라 전, 후진 이동되는 너트하우징(43)과, 너트하우징(43)과 일체를 이루며, 회동수단(40)과 틸팅핸드(30)가 설치되는 플레이트(44)로 구성된다.
그리고 회동수단(50)은, 플레이트(44) 상에 기어드모터(51)가 설치되며, 기어드모터(51)의 구동력을 전달하는 타이밍벨트(52)가 설치되고, 타이밍벨트(52)에 연결되어, 틸팅핸드(30)를 회동 가능하게 하는 회전축(53)으로 이루어진다.
한편, 기어드모터(51)는 감속기가 내장된 모터이다.
또한, 컨베이어(60) 상에 유리기판(1)의 적재를 인식할 수 있는 감지센서(70)가 더 설치된다.
이와 같이 구성된 본 발명에 따른 불량 유리기판의 적재방법의 작용을 설명하면 다음과 같다.
도 4에 도시된 것과 같이, 불량 유리기판의 적재 방법은, 로봇암의 진공패드를 통해 크레이트내에 수직으로 적재된 불량의 유리기판을 진공 흡착하는 단계(100)와, 진공 흡착된 유리기판을 로봇암의 회전으로 틸팅핸드에 올려놓는 단계(110)와, 틸팅핸드 위에 올려진 유리기판을 틸팅핸드의 패드를 통하여 진공으로 밀착시키는 단계(120)와, 유리기판이 흡착된 틸팅핸드를 전방에 위치된 컨베이어까지 이송시키는 단계(130)와, 이송이 완료된 틸팅핸드를 컨베이어 측으로 회동시켜 유리기판을 컨베이어에 적재시키는 단계(140)를 포함한다.
또한, 컨베이어에 적재되는 유리기판을 감지센서가 감지하여 컨베이어를 구동시키는 단계(150)가 더 포함된다.
위의 방법을 좀 더 자세히 설명하면, 재세정 및 재면취가 필요한 유리기판(1)이 적재된 크레이트(10)에서 로봇암(20)의 흡착패드(22)를 이용하여 순차적으로 먼저 1매를 취출하고, 로봇암(20)의 회전으로 기울어져 있는 틸팅핸드(30)의 전면 상에 유리기판(1)을 올려놓게 된다.
틸팅핸드(30)에 놓여진 유리기판(1)은 다수개의 진공패드(32)에 의하여 안정적으로 밀착되어진다.
이후, 이송수단(40)의 구동으로 플레이트(44)와 플레이트(44) 상의 틸팅핸드(30)가 컨베이어(60)측으로 이송된다.
이송수단(40)은 서보모터(41) 구동으로 볼스크류축(42)이 회전되고, 볼스크류축(42)상의 너트하우징(43)과 플레이트(44)가 이미 서보모터(41)에 입력된 설정 값에 의하여 그 길이만큼 이송된다.
다음, 컨베이어(60) 측까지 이송된 틸팅핸드(30)가 회동수단(50)에 의하여 대략 108°정도 회동되어 유리기판(1)을 컨베이어(60)에 적재시키게 된다.
회동수단(50)은, 기어드모터(51)의 구동으로 타이밍벨트(52)가 회전되고, 타이밍벨트(52)에 의하여 회전축(53)이 회동되어 틸팅핸드(30)를 서서히 기울이게 되며, 기울어진 틸팅핸드(30)는 진공패드(32)의 진공력이 해제되어 유리기판(1)을 컨베이어(60) 상에 안전하게 놓게 된다.
한편, 컨베이어(60) 상에 유리기판(1)의 적재를 감지센서(70)에서 인식하게 되면, 컨베이어(60)가 재구동을 하게 된다.
컨베이어(60)에 의하여 적재된 유리기판(1)이 재세정 및 재면취 공정으로 이송이 이루어지면, 위와 같은 유리기판(1)의 적재시스템이 반복 작동된다.
이처럼 재세정 및 재면취가 필요한 대형의 불량 유리기판을 이송 및 회동이 가능한 틸팅핸드(30)로 하여 안정적으로 자동 적재시킬 수 있게 되었다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 불량 유리기판의 적재장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법은, 재세정 및 재면취가 필요한 대형의 불량 유리기판을 안정적으로 자동 적재 시킬 수 있게 되어 생산성 향상의 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 불량 유리기판의 적재장치에 있어서,
    크레이트내에 수직으로 적재된 상기 불량 유리기판을 진공 흡착하여 취출하는 로봇암과,
    상기 로봇암의 회전에 의하여 상기 유리기판이 놓여지며, 최초 기설정 각도로 기울어져 있고, 전면 상에 다수개의 진공패드가 설치되는 틸팅핸드와,
    상기 틸팅핸드의 하부에 설치되어 상기 틸팅핸드 전체를 전방에 위치된 컨베이어 측으로 이송시키는 이송수단과,
    상기 틸팅핸드의 하부에 설치되어 상기 틸팅핸드를 소정 각도로 회동시키는 회동수단을,
    포함하는 불량 유리기판의 적재장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 이송수단은,
    서보모터와,
    상기 서보모터와 축연결되는 볼스크류축과,
    상기 볼스크류축 상에 설치되어 상기 볼스크류축의 회전에 따라 전, 후진 이동되는 너트하우징과,
    상기 너트하우징와 일체를 이루며, 상기 틸팅핸드가 설치되는 플레이트로,
    구성되는 불량 유리기판의 적재장치.
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 컨베이어 상에 설치되어 상기 유리기판의 적재를 인식하게 되는 감지센서가 더 포함되는 불량 유리기판의 적재장치.
  6. 불량 유리기판의 적재 방법에 있어서,
    로봇암의 흡착패드를 통해 크레이트내에 수직으로 적재된 상기 불량의 유리기판을 진공 흡착하는 단계와,
    상기 진공 흡착된 상기 유리기판을 상기 로봇암의 회전으로 틸팅핸드에 올려놓는 단계와,
    상기 틸팅핸드 위에 올려진 상기 유리기판을 상기 틸팅핸드의 패드를 통하여 진공으로 밀착시키는 단계와,
    상기 유리기판이 흡착된 상기 틸팅핸드를 전방에 위치된 컨베이어까지 이송시키는 단계와,
    상기 이송이 완료된 상기 틸팅핸드를 상기 컨베이어 측으로 회동시켜 상기 유리기판을 상기 컨베이어에 적재시키는 단계,
    를 포함하는 불량 유리기판의 적재 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 컨베이어에 적재되는 상기 유리기판을 감지센서가 감지하여 상기 컨베이어를 구동시키는 단계가, 더 포함되는 불량 유리기판의 적재 방법.
KR1020040113667A 2004-12-28 2004-12-28 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법 KR100688872B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040113667A KR100688872B1 (ko) 2004-12-28 2004-12-28 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020040113667A KR100688872B1 (ko) 2004-12-28 2004-12-28 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060075106A KR20060075106A (ko) 2006-07-04
KR100688872B1 true KR100688872B1 (ko) 2007-03-02

Family

ID=37167692

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040113667A KR100688872B1 (ko) 2004-12-28 2004-12-28 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100688872B1 (ko)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200496368Y1 (ko) * 2021-04-02 2023-01-12 주식회사 스마트터치 대형 전자칠판 조립대

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0159156B1 (ko) * 1995-08-28 1998-11-16 김정국 자동차용 측.후면 유리 로딩 시스템
KR20040038301A (ko) * 2002-10-31 2004-05-08 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 이송시스템

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR0159156B1 (ko) * 1995-08-28 1998-11-16 김정국 자동차용 측.후면 유리 로딩 시스템
KR20040038301A (ko) * 2002-10-31 2004-05-08 삼성코닝정밀유리 주식회사 유리기판의 이송시스템

Also Published As

Publication number Publication date
KR20060075106A (ko) 2006-07-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4632470B2 (ja) 基板のアンローディング装置及びアンローディング方法
JP2009252877A (ja) ウエーハの搬送方法および搬送装置
JP4293150B2 (ja) 基板移載装置、基板移載方法、および電気光学装置の製造方法
JP2001233452A (ja) 薄板状材の定点搬送装置
KR101826592B1 (ko) 수직형 기판 이송장치
KR100688872B1 (ko) 불량 유리기판의 적재 장치 및 방법
JP2007238291A (ja) ワーク搬送装置
JP2003218187A (ja) ガラス基板移載装置
KR101025907B1 (ko) 보호필름 자동 부착장치 및 방법
JP2002270674A (ja) 搬出装置
KR100622410B1 (ko) 티에프티-엘시디 모듈 어셈블리 조립장치 및 이 조립장치를 이용한 티에프티-엘시디 모듈 어셈블리 조립방법
CN115483129A (zh) 输送系统及处理系统
KR100962687B1 (ko) 표시패널 제조를 위한 패널 로딩장치 및 패널 로딩방법
JP2007246244A (ja) ガラス板引き上げ装置
JPH07276174A (ja) ワーク加工方法および装置
JP2005026554A (ja) 基板処理方法および基板処理装置
JP2005338757A (ja) 平面表示装置の生産装備及び製造工程
KR102500323B1 (ko) 진공롤러유닛을 이용한 디스플레이 패널용 글라스 이송장치
JP4474672B2 (ja) 基板移載装置
KR102428167B1 (ko) 초박형 유리의 합착방법
JP4087578B2 (ja) 基板搬送装置および基板搬送方法
KR100626555B1 (ko) 비금속재 절단장치
JP2007216357A (ja) ワーク加工装置
KR102096981B1 (ko) 카세트, 기판 반입 장치, 기판 반출 장치와 이를 이용한 기판 이송 시스템 및 방법
KR101346890B1 (ko) 원장 이송 로봇

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130111

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131211

Year of fee payment: 8

LAPS Lapse due to unpaid annual fee