KR101025907B1

KR101025907B1 - 보호필름 자동 부착장치 및 방법

Info

Publication number: KR101025907B1
Application number: KR1020090005508A
Authority: KR
Inventors: 한동희
Original assignee: 한동희
Priority date: 2009-01-22
Filing date: 2009-01-22
Publication date: 2011-03-30
Also published as: KR20100086242A

Abstract

보호필름 자동 부착장치 및 방법이 개시된다.

본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스; 상기 클린 부스 일 측에 설치되어 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛; 상기 클린 부스 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛에서 상기 기판을 전달받아 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛을 포함한다.

기판, 보호필름, 세정, 부착

Description

보호필름 자동 부착장치 및 방법{AUTOMATIC ATTACHING APPARATUS OF PROTECT FILM AND ATTACHING METHOD THEREOF}

본 발명은 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 관한 것으로, 기판에 파티클의 점착 및 스크래치가 발생하지 않도록 보호필름을 안정적으로 자동 부착할 수 있는 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum FluorescentDisplay) 등이 활발히 연구되고 있다.

액정표시소자는 하부기판과 상부기판 및 상기 하부기판과 상부기판 사이에 형성된 액정층으로 구성되어 있다. 하부기판은 구동 소자 어레이(Array) 기판으로, 상기 하부기판에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜 지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다.

상부기판은 컬러필터(Color Filter)기판으로, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 하부기판 및 상부기판에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다. 상기 하부기판 및 상부기판은 실링재(Sealing material)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층이 형성되어 상기 하부기판에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다. 액정표시소자는 투명한 유리기판상에 형성되며, 상기 유리기판상에 소자가 형성되기 전에 상기 기판을 보호하기 위한 보호필름이 부착되어 있다. 소자가 만들어지기 전, 상기 기판은 그 상부 및 하부면에 상부보호필름 및 하부보호필름이 부착되어 있다. 상기 보호필름은 기판이 이물질로부터 오염되는 것을 방지하고, 표면을 보호하여 스크레치(scratch)가 발생하는 것을 방지한다.

종래 기판에 보호필름을 부착하는 장치는 기판의 단면(일 측면)에만 보호필름을 부착하는 구조로 구성되어, 타 측면에 보호필름을 부착할 때에 대기시간으로 인하여 기판 표면에 파티클 오염이 되는 정체 시간이 존재하고, 보호필름에 파티클(particle)이 오염될 경우 이를 세정(cleaning)할 수 있는 장치가 없어 불량율이 증가하며, 기판 양면에 보호필름 부착 작업시에는 기판의 일 측면에 부착하는 설비, 및 기판의 타 측면에 부착하는 설비, 즉 2대를 구비하고 작업 인원 또한 2배를 추가해야 하는 단점이 있으며, 대기 시간으로 전체적인 부착 공정이 신속하게 처리되지 못하며, 기판에 스크래치가 발생하여 기판의 품질을 떨어뜨리는 문제점이 있 다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 2개의 턴테이블을 동시에 구동하여 기판의 일 측면(전면)과 타 측면(뒷면)을 한 공정에서 동시 처리하여 대기시간으로 인한 오염 발생 및 스크래치 발생을 최소화하고, 세정공정을 부착공정과 동시에 수행하여 오염 등으로 인한 문제점을 개선할 수 있는 보호필름 자동 부착장치 및 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.

상기한 목적을 해결하기 위해서 본 발명의 일례에 따른 보호필름 자동 부착장치는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스; 상기 클린 부스 일측에 설치되어 기판의 일측면에 보호필름을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛; 상기 클린 부스 타측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛에서 상기 기판을 이송받아 상기 기판의 타측면에 보호필름을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛을 포함한다.

상기 제1 보호필름 부착 유닛은 상기 기판을 흡착 고정하고 90°씩 회전시키는 제1 턴테이블; 상기 제1 턴테이블의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블에 상기 기판을 로딩하는 기판 로딩기; 상기 제1 턴테이블의 좌측 방향에 위치하여 상기 제1 턴테이블에 로딩된 상기 기판의 일측면을 세정하는 제1 기판 세정기; 및 상기 제1 턴테이블의 후방에 위치하여 세정된 상기 기판의 일측면에 보호필름을 부착하는 제1 보호필름 부착기;를 포함한다.

상기 제1 턴테이블은 회전 가능하게 설치되는 회전 플레이트; 상기 회전 플레이트의 상부에 네 방향을 향하여 각각 수직으로 설치되며, 상기 기판을 흡착 고정하기 위해 다수의 진공 흡착홀이 형성된 로딩 플레이트; 및 상기 회전 플레이트를 회전시키기 위해 상기 회전 플레이트 하부에 설치되는 회전 모터를 포함한다.

상기 기판 로딩기는 이송 부의 구동력에 의해서 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트; 및 상기 이동 플레이트의 상부에 회동 가능하게 설치되며, 상면에 기판을 흡착 고정하기 위해서 다수의 진공 흡착홀(vacuum hole)이 형성되는 회동 아암을 포함한다.

상기 제1 기판 세정기는 베이스의 수직으로 설치되는 가이드; 상기 가이드와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류; 상기 가이드를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류에 결합되는 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 일 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러가 설치되는 전후진 플레이트; 상기 전후진 플레이트를 전후진 시키기 위하여 상기 승강 플레이트 상에 설치되는 전후진 실린더; 상기 베이스에 설치되며, 상기 점착 롤러에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러; 및 상기 전이 테이프 롤러를 회전시키는 전이 테이프 회전모터;를 포함한다.

상기 제1 보호필름 부착기는 리니어모터에 의해서 상기 제1 턴테이블 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트; 상기 이동 플레이트 상면에 설치되는 보호필름 권취롤러; 상기 보호필름의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러; 상기 보호필름의 좌우 측에 위치하여 상기 보호필름의 이동을 가이드 하는 좌우 가이드; 상기 보호필름을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프; 상기 보호필름을 상기 기판의 일 측면에 밀착시키는 밀착롤러; 및 상기 보호필름을 커팅하는 커터;를 포함한다.

상기 제2 보호필름 부착 유닛은 상기 제1 턴테이블의 우측 방향에 위치하며, 상기 제1 턴테이에서 전달받은 상기 기판을 로딩한 후 90°씩 회전시키는 제2 턴테이블; 상기 제2 턴테이블의 후방에 위치하여 상기 제2 턴테이블에 로딩된 상기 기판의 타측면을 세정하는 제2 기판 세정기; 및 상기 제2 턴테이블의 우측 방향에 위치하여 세정된 상기 기판의 타측면에 보호필름을 부착하는 제2 보호필름 부착기;를 포함한다.

상기 제2 턴테이블은 회전 가능하게 설치되는 회전 플레이트; 상기 회전 플레이트의 상부에 네 방향을 향하여 각각 수직으로 설치되고 전후진 실린더에 의해 이동 가능하게 설치되며, 상기 기판을 흡착 고정하기 위해 다수의 진공 흡착홀이 형성된 로딩 플레이트; 및 상기 회전 플레이트를 네 방향으로 90°씩 회전시키기 위해 상기 회전 플레이트 하부에 설치되는 회전 모터를 포함한다. 상기 제2 턴테이블은 리니어 모터 또는 전후진 실린더에 의해 이동가능하게 설치될 수 있다.

상기 제2 기판 세정기는 베이스의 수직으로 설치되는 가이드; 상기 가이드와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류; 상기 가이드를 따라 승강 가능하도록 상기 이송 스크류에 결합되는 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 타 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러가 설치되는 전후진 플레이트; 상기 전후진 플레이트를 전후진 시키기 위하여 상기 승강 플레이트 상에 설치되는 전후진 실린더; 상기 베이스에 설치되며, 상기 점착 롤러에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러; 및 상기 전이 테이프 롤러를 회전시키는 전이 테이프 회전모터;를 포함한다.

상기 제2 보호필름 부착기는 리니어 모터에 의해서 상기 제2 턴테이블 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트; 상기 이동 플레이트 상면에 설치되는 보호필름 권취롤러; 상기 보호필름의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러; 상기 보호필름의 좌우측에 위치하여 상기 보호필름의 이송을 가이드 하는 좌우측 가이드; 상기 보호필름을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프; 상기 보호필름을 상기 기판의 타 측면에 밀착시키는 밀착롤러; 및 상기 보호필름을 커팅하는 커터;를 포함한다.

상기 제2 턴테이블의 전방에는 양면에 보호필름이 부착된 상기 기판을 언 로딩하는 언로딩기가 설치된다.

본 발명의 다른 예에 따른 보호필름 자동 부착장치는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스; 및 상기 클린 부스 내부에 설치되어 기판의 양쪽면에 보호필름을 부착하는 보호필름 부착 유닛을 포함하되, 상기 보호필름 부착 유닛은 상기 기판을 흡착 고정하고 90°씩 회전시키는 턴테이블; 상기 턴테이블의 전방에 위치하여 상기 턴테이블에 상기 기판을 로딩/언로딩하는 기판 로딩/언로딩 기; 상기 턴테이블의 좌측 방향에 위치하여 상기 턴테이블에 로딩된 상기 기판을 세정하는 기판 세정기; 및 상기 턴테이블의 후방에 위치하여 세정된 상기 기판에 보호필름을 부착하는 보호필름 부착기;를 포함한다.

한편, 본 발명의 보호필름 자동 부착방법은 기판 로딩기가 기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계; 제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일측면을 세정하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계; 제1 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계; 실린더에 의해서 제2 턴테이블의 로딩 플레이트를 상기 제1 턴테이블 쪽으로 이동하여 상기 기판을 전달받는 단계; 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계; 제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타측면을 세정하는 단계; 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계; 및 제2 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 타측면에 보호필름을 부착하는 단계;를 포함한다.

상기 제1 세정기/제2 세정기가 상기 제1 턴테이블/제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일측면/타측면을 세정하는 단계에서는, 이송 스크류를 정회전 회전시켜서 승강 플레이트의 점착 롤러를 상승시키는 단계; 전후진 실린더를 구동하여 상기 점착 롤러를 상기 기판의 일 측면에 밀착시키는 단계; 및 상기 이송 스크류를 역회전시켜서 상기 점착 롤러를 상기 기판의 상부에서 하부로 이동시키면서 상기 기판의 일측면에서 파티클을 제거하는 단계;를 포함한다.

상기 제1 보호필름 부착기/제2 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 일 측면/타 측면에 보호필름을 부착하는 단계에서는, Z축 클램프가 보호필름을 적당한 위치로 당기는 단계; 이동 플레이트를 이동시켜서 상기 기판에 보호필름을 밀착시 키고 밀착롤러의 구동에 의하여 보호필름을 기판에 부착시키는 단계; 커터가 보호필름을 커팅하는 단계; 및 상기 이동 플레이트를 원 위치시키는 단계;를 포함한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 2개의 턴테이블을 동시에 구동하여 기판의 일 측면(전면)과 타 측면(뒷면)을 한 공정에서 동시 처리하여 대기시간 및 이동으로 인한 오염 및 스크래치 발생을 최소화하여 불량을 대폭 감소시킬 수 있다.

또한 보호필름을 부착하는 공정에서 세정공정을 동시에 수행하여 기판의 안정성을 보다 향상시킬 수 있게 된다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치를 보인 구성도, 도 2는 도 1의 제1 턴테이블을 보인 측면도, 도 3은 도 1의 로딩기를 보인 측면도, 도 4는 도 1의 제1 점착 세정기를 보인 측면도, 도 5는 도 1의 제1 보호 필름 부착기를 보인 측면도, 도 6은 도 5의 제1 보호 필름 부착기를 보인 사시도, 도 7은 도 1의 제2 턴테이블을 보인 측면도, 도 8은 도 1의 제2 점착 세정기를 보인 측면도, 그리고 도 9는 도 1의 제2 보호 필름 부착기를 보인 측면도이다.

우선, 도 1을 참조하면, 본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)는 외부로부터의 이물질이 유입되지 않도록 파티클 발생을 제어하는 클린 부스(10); 상기 클린 부스(10) 일 측에 설치되어 기판(G)의 일 측면(전면)에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛(100); 상기 클린 부스(10) 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)에서 상기 기판(G)을 이송받아 상기 기판(G)의 타 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛(200)을 포함한다.

상기 기판(G)은 통상적인 기판 이외에도 터치스크린패널(TSP: Touch Screen Panel)용 ITO(Indium-Tin Oxide) 보호필름, 유리 기판 등을 모두 포함하는 개념이며, 이하에서는 편의상 기판이라 칭한다. 즉, 본 발명은 보호필름으로 보호하고자 하는 다양한 대상물에 적용이 가능한 것이며, 특정한 용도, 재질, 형상에 한정되지 않는다.

상기 보호필름은 합성수지재의 다양한 종류의 필름이 사용될 수 있으며, 예를들면 PET(Polyethylene-terephthalate) 필름 등이 사용될 수 있다.

본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)에 있어서, 제1 보호필름 부착 유닛(100)이 일차적으로 기판의 일 측면(전면)에 보호필름(F1)을 부착하고, 연이어 제2 보호필름 부착 유닛(200)이 기판의 타 측면(뒷면)에 보호필름(F2)을 부착한다.

본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)에서 이러한 일련의 보호필름 부착 공정은 순차적이고 연속적으로 진행되어 다수의 기판에 많은 양의 보호필름을 동시 부착하는 것이 가능하다.

각 구성요소들의 구성을 살펴보면, 우선 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)은 상기 기판(G)을 흡착 고정하고 90°씩 회전시키는 제1 턴테이블(110); 상기 제1 턴테이블(110)의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)에 상기 기판을 로딩하는 기판 로딩기(120); 상기 제1 턴테이블(110)의 좌측 방향에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)에 로딩된 상기 기판의 일측면을 세정하는 제1 기판 세정기(130); 및 상기 제1 턴테이블(110)의 후방에 위치하여 세정된 상기 기판의 일 측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착기(140)를 포함한다.

상기 기판 로딩기(120), 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)의 위치를 제1 턴테이블(110)을 기준으로 전방, 좌측 방향, 후방이라고 하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이다. 즉, 상기 기판 로딩기(120), 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)는 제1 턴테이블(110)을 기준으로 각각 전방, 좌측 방향, 후방이 아닌 다른 방향에 위치할 수 있으며, 기판 로딩기(120), 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)가 연속되게끔 위치하면 된다. 이러한 위치에 관한 설명은 후술하는 제2 보호필름 부착 유닛에서도 동일하게 적용된다.

도 2를 참조하면, 상기 제1 턴테이블(110)은 회전 가능하게 설치되는 회전 플레이트(111); 상기 회전 플레이트(111)의 상부에 네 방향을 향하여 각각 수직으로 설치되며, 상기 기판(G)을 흡착 고정하기 위해 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성된 로딩 플레이트(113); 및 상기 회전 플레이트(111)를 90°씩 회전시키기 위해 상기 회전 플레이트(111) 하부에 설치되는 회전 모터(115)를 포함한다. 상기 진공 흡착홀(H)에는 진공모터(미도시) 등이 연결되어, 이의 동작으로 발생하는 진공력에 의 하여 기판을 흡착 고정하게 된다.

상기 기판 로딩기(120)는 기판(G)을 제1 턴테이블(110)에 로딩시키는 역할을 하는 것으로, 도 3을 참조하면, 상기 기판 로딩기(120)는 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(121); 및 상기 이동 플레이트(121)의 상부에 회동 가능하게 설치되며, 상면에 기판(G)을 흡착 고정하기 위해서 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성되는 회동 아암(123)을 포함한다. 여기서 이동 플레이트(121)의 이동은 실린더(125)와 가이드 레일(126)과 같은 구조에 의하여 실행될 수 있다. 또한 리니어 모터(미도시)와 같은 구조에 의해서도 가능함은 물론이다. 또한 상기 진공 흡착홀(H)에는 진공모터(미도시) 등이 연결되어, 이의 동작으로 발생하는 진공력에 의하여 기판을 흡착 고정하게 된다.

도 4를 참조하면, 상기 제1 기판 세정기(130)는 베이스(131)의 수직으로 설치되는 가이드(132); 상기 가이드(132)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(133)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(134); 상기 가이드(132)를 따라 승하강이 가능하도록 상기 이송 스크류(134)에 결합되는 승강 플레이트(135); 상기 승강 플레이트(135)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 일 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(136); 상기 전후진 플레이트(137)를 전후진 시키기 위하여 상기 승강 플레이트(135) 상에 설치되는 전후진 실린더(137); 상기 베이스(131)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및 상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(138);를 포함한다.

도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 제1 보호필름 부착기(140)는 리니어 모터(LM)에 의해서 상기 제1 턴테이블(110) 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(141); 상기 이동 플레이트(141) 상면에 설치되는 보호필름 권취롤러(142); 상기 보호필름(F1)의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러(143); 상기 보호필름(F1)의 좌우 측에 위치하여 상기 보호필름(F1)의 이동을 가이드 하는 좌우 가이드(144); 상기 보호필름(F1)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(145); 상기 보호필름(F1)을 상기 기판(G)의 일 측면에 밀착시키는 밀착롤러(148); 및 상기 보호필름(F1)을 커팅하는 커터(146)를 포함한다. 상기 z축 클램프(145)와 밀착롤러(148)는 z축 방향으로 승하강이 가능하도록 이루어진다.

이와 같이 구성된 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)에서의 동작을 살펴보면 다음과 같다. 우선 기판 로딩기(120)의 진공 흡착홀(H)에 의해서 기판이 흡착 고정되고, 회동 아암(123)이 회동하여 수직으로 위치한 상태에서 이동플레이트(121)가 제1 턴테이블(110) 방향으로 전진하여 기판(G)을 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 로딩하게 된다. 또는 이동플레이트(121)가 제1 턴테이블(110) 방향으로 전진하고, 회동 아암(123)이 회동하여 수직으로 위치한 상태에서 기판(G)을 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 로딩하게 된다. 기판(G)의 로딩 과정을 조금 더 설명하면, 기판은 기판 로딩기(120)의 진공 흡착홀(H)에 흡착 고정된 상태에서 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 맞닿아지게 된다. 이렇게 맞닿아진 상태에서 기판 로딩기(120)의 진공 흡착홀(H)에 가해지는 진공은 해제되며, 동시에 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 진공이 가해져, 기판(G)이제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 로딩되게 되는 것이다.

다음으로 회전모터(115)의 구동에 의해서 제1 턴테이블(110)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 90°회전하게 된다.

그 다음, 기판 세정기(130)의 서보모터(133)에 의해서 이송 스크류(134)가 정회전한다. 이때 상기 승강 플레이트(135)는 상기 가이드(132)에 의해 가이드 되면서 상승한다.

그 다음 상기 전후진 실린더(137)의 구동으로 상기 전후진 플레이트(136)가 적당한 위치로 전진하고, 이때 점착 롤러(R1)가 상기 기판(G)의 일 측면에 접촉된다. 이 상태에서 서보모터(133)에 의해서 이송 스크류(134)가 역회전하면, 상기 승강 플레이트(135)는 상기 가이드(132)에 의해 가이드 되면서 하강하고, 점착롤러(R1)는 기판(G)의 일 측면에서 파티클을 점착 제거한다.

상기 전이 테이프 롤러(R2)는 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 역할을 하며, 상기 전이 테이프 롤러(R2)는 벨트(B)를 통해서 전이 테이프 회전모터(138)와 연결된다.

그 다음, 상기 제1 보호필름 부착기(140)의 Z축 클램프(145)가 상기 보호필름(F1)을 Z축 방향으로 끌어당기면, 리니어 모터(LM)에 의해서 상기 제1 턴테이블(110) 방향으로 이동 플레이트(141)가 이동한다. 이동 플레이트(141)의 이동에 의하여 보호필름(F1)과 기판(G)이 접근 또는 접촉한 상태에서 밀착롤러(148)가 z축 방향으로 이동하면서 보호필름(F1)을 기판(G)의 일 측면에 부착하게 되고, 이어서 상기 커터(146)가 상기 보호필름(F1)을 커팅한다. 여기서 좌우 가이드(144)는 상기 보호필름(F1)의 이동을 가이드 하고, 상기 다수의 텐션롤러(143)는 상기 보호필름(F1)의 텐션을 유지하는 역할을 한다.

이와 같이 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)이 부착되면, 이 기판(G)은 상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)으로 이동되는 데, 이를 위해서 제2 턴테이블(210)의 로딩플레이트(213)가 상기 제1 턴테이블(110) 쪽으로 근접 이동하여 보호필름(F1)이 부착된 상기 제1 턴테이블(110)의 상기 기판(G)을 로딩한다.

도 1을 참조하여, 상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)의 구성을 살펴본다.

상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)의 구성요소들은 그 위치만 상이할 뿐 전술한 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)의 구성요소들과 동일하므로, 이하 이에 대한 구성은 간략하게 설명하고, 그 동작에 대해서는 생략한다.

상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)은 상기 제1 턴테이블(110)과 나란히 위치하며, 상기 제1 턴테이블(110) 쪽으로 근접 이동하여 보호필름(F1)이 부착된 상기 제1 턴테이블(110)의 상기 기판(G)을 로딩한 후 90°씩 회전시키는 제2 턴테이블(210); 상기 제2 턴테이블(210)의 후방에 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)에 로딩된 상기 기판(G)의 타 측면을 세정하는 제2 기판 세정기(230); 및 상기 제2 턴테이블(210)의 우측 방향에 위치하여 세정된 상기 기판(G)의 타 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착기(240)를 포함한다.

상기 제2 턴테이블(210)은 회전 가능하게 설치되는 회전 플레이트(211); 상 기 회전 플레이트(211)의 상부에 네 방향을 향하여 각각 수직으로 설치되고 전후진 실린더(213a)에 의해 이동 가능하게 설치되며, 상기 기판(G)을 흡착 고정하기 위해 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성된 로딩 플레이트(213); 및 상기 회전 플레이트(211)를 회전시키기 위해 상기 회전 플레이트(211) 하부에 설치되는 회전 모터(215)를 포함한다. 상기 로딩 플레이트(213)는 전후진 실린더(213a)에 의하여 이동 가능하게 형성되는데, 이는 기판(G)을 제1 턴테이블(110)로부터 전달받기 위해서이다. 즉, 제1 턴테이블(110)에서 이루어지는 각 과정을 거친 기판은 제2 턴테이블(210)과 인접한 곳으로 위치하게 된다. 이때 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)가 전후진 실린더(213a)에 의하여 제1 턴테이블(110) 쪽으로 이동하여 기판을 전달받게 되는 것이다. 즉, 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)가 전후진 실린더(213a)에 의하여 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 위치한 기판과 접촉 또는 접근하면, 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)의 진공 흡착홀(H)에는 진공이 해제되고, 동시에 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)의 진공 흡착홀(H)에 진공이 가해져 기판(G)을 전달받게 되고, 최종적으로 전후진 실린더(213a)에 의하여 제2 턴테이블(210)의 로딩플레이트(213)는 원래의 위치로 돌아오게 된다. 이러한 과정을 통하여 제1 턴테이블(110)과 제2 턴테이블(210) 간에 기판이 전달된다. 여기서 제2 턴테이블의 로딩 플레이트만이 전후진 실린더에 의하여 이동되는 것으로 설명하였으나, 제2 턴테이블이 아닌 제1 턴테이블의 로딩 플레이트가 전후진 실린더에 의하여 이동되는 것도 가능하고, 제1턴테이블과 제2 턴테이블의 로딩플레이트가 동시에 전후진 실린더에 의하여 이동하는 것도 가능하다. 또한 리니어 모터와 같은 구성에 의하여 턴테이블 자체가 이동하게끔 하는 구성도 가능하다.

도 8을 참조하면, 상기 제2 기판 세정기(230)는 베이스(231)의 수직으로 설치되는 가이드(232); 상기 가이드(232)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(233)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(234); 상기 가이드(232)를 따라 승하강이 가능하도록 상기 이송 스크류(234)에 결합되는 승강 플레이트(235); 상기 승강 플레이트(235)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 타 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(236); 상기 전후진 플레이트(236)를 전후진 시키기 위하여 상기 승강 플레이트(235) 상에 설치되는 전후진 실린더(237); 상기 베이스(231)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및 상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(238)를 포함한다.

도 9를 참조하면, 상기 제2 보호필름 부착기(240)는 리니어 모터(LM)에 의해서 상기 제2 턴테이블(210) 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(241); 상기 이동 플레이트(241) 상면에 설치되는 보호필름 권취롤러(242); 상기 보호필름(F2)의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러(243); 상기 보호필름(F2)의 좌우측에 위치하여 상기 보호필름(F2)의 이송을 가이드 하는 좌우측 가이드(244); 상기 보호필름(F2)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(245); 상기 보호필름(F2)을 상기 기판(G)의 타 측면에 밀착시키는 밀착롤러(248); 및 상기 보호필름(F2)을 커팅하는 커터(246)를 포함한다. 상기 z축 클램프(245)와 밀착롤러(248)는 z축 방향으로 승하강이 가능하도록 이루어진다.

상기 제2 턴테이블(210)의 전방에는 양면에 보호필름(F1)(F2)이 부착된 상기 기판G을 언 로딩하는 언로딩기(220)가 설치된다. 여기서 언로딩기(220)는 전술한 로딩기(110)과 동일한 구조로 구성하는 것이 가능하다.

상기 기판을 흡착하기 위해서 형성된 진공 흡착홀(H)들은 통상의 진공 펌프(미도시)와 연결되어 이 진공 펌프의 구동에 의한 통상의 흡착(吸着) 고정 방식으로, 이와 같이 진공 펌프를 이용한 흡착 고정 방식은 해당 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 용이하게 실시할 수 있는 것으로 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.

이하에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치에서의 보호필름 부착 방법을 설명한다.

도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착방법을 보인 흐름도, 도 11은 도 10에 있어서 제1 점착 세정기의 세정방법을 보인 흐름도, 도 12는 도 10에 있어서 제1 보호 필름 부착기의 부착방법을 보인 흐름도, 도 13은 도 10에 있어서 제2 점착 세정기의 세정방법을 보인 흐름도, 그리고 도 14는 도 10에 있어서 제2 보호 필름 부착기의 부착방법을 보인 흐름도이다.

우선, 도 10을 참조하면, 본 발명의 일 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착방법은 기판 로딩기가 기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계(S10); 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S20); 제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일측면을 세정하는 단계(S30); 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S40); 제1 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 일측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50); 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S60); 상기 제2 턴테이블이 상기 제1 턴테 이블로부터 상기 기판을 전달 받는 단계(S70); 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S80); 제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타측면을 세정하는 단계(S90); 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S100); 및 제2 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 타측면에 보호필름을 부착하는 단계(S110);를 포함한다.

도 11 및 도 1을 참조하면, 상기 제1 세정기/제2 세정기가 상기 제1 턴테이블/제2 턴테이블에 로딩된 기판의 일측면/타측면을 세정하는 단계(S30)(S90)는 각각, 이송 스크류를 정회전 회전시켜서 승강 플레이트의 점착 롤러를 상승시키는 단계(S31)(S91); 전후진 실린더를 구동하여 상기 점착 롤러를 상기 기판의 일측면에 밀착시키는 단계(S32)(S92); 및 상기 이송 스크류를 역회전시켜서 상기 점착 롤러를 상기 기판의 상부에서 하부로 이동시키면서 상기 기판의 일측면에서 파티클을 제거하는 단계(S33)(S93)를 포함한다.

도 12 및 도 14를 참조하면, 상기 제1 보호필름 부착기/제2 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 일측면/타측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50)(S110)는 각각, Z축 클램프가 보호필름을 적당한 위치로 당기는 단계(S51)(S111); 이동 플레이트를 이동시켜서 상기 기판에 보호필름을 밀착시키고 밀착롤러로 구동하여 보호필름을 기판에 부착하는 단계(S52)(S112); 커터가 보호필름을 커팅하는 단계(S53)(S113); 및 상기 이동 플레이트를 원 위치시키는 단계(S54)(S114)를 포함한다.

한편, 도 15는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치를 보인 구성도이다.

도 15를 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 보호필름 자동 부착장치(2)는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스(10'); 및 상기 클린 부스(10') 내부에 설치되어 기판(G)의 양쪽면에 보호필름(F1)(F2)을 부착하는 보호필름 부착 유닛(400)을 포함한다. 본 발명의 다른 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치(2)가 전술한 본 발명의 일 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치(1)와 다른 점은 하나의 턴테이블로 구성하고, 이를 이용하여 기판의 양쪽 또는 한쪽 면에 보호필름(F1)(F2)을 부착하는 것에 있다.

상기 보호필름 부착 유닛(400)은 상기 기판(G)을 흡착 고정하고 90°씩 회전시키는 턴테이블(410); 상기 턴테이블(410)의 전방에 위치하여 상기 턴테이블(410)에 상기 기판(G)을 로딩/언로딩하는 기판 로딩/언로딩 기(420)(420'); 상기 턴테이블(410)의 좌측 방향에 위치하여 상기 턴테이블(410)에 로딩된 상기 기판을 세정하는 기판 세정기(430); 및 상기 턴테이블(410)의 후방에 위치하여 세정된 상기 기판(G)에 보호필름(F1)(F2)을 부착하는 보호필름 부착기(440)를 포함한다.

이와 같이 구성된 본 발명의 다른 실시예에 따른 보호필름 자동 부착장치(2)에 있어서는, 부착 공정 초기에 로딩기(420)가 턴테이블(410)에 기판을 로딩하면, 턴테이블(410)이 90°회전한다. 기판 세정기(430)는 기판의 일측면을 세정하며, 턴테이블(410)은 다시 90°회전한다. 보호필름 부착기(440)는 기판의 일 측면(전면)에 보호필름(F1)을 부착한다. 언로딩기(420')는 일 측면에 보호필름(F1)이 부착된 기판(G)을 언로딩 한다.

그 다음, 로딩기(420)가 턴테이블(410)에 기판을 로딩한다. 이때, 상기 기 판은 일측면에 보호필름(F1)이 부착된 상태이다. 상기 턴테이블(410)은 90°회전한다. 기판 세정기(420)는 기판의 일측면을 세정하며, 턴테이블(410)은 다시 90°회전한다. 보호필름 부착기(440)는 기판의 타측면(뒷면)에 보호필름(F2)을 부착한다. 언로딩기(420')는 타측면에 보호필름(F2)이 부착된 기판을 언로딩한다.

여기서 로딩기(420)와 언로딩기(420')는 별개로 구성될 수도 있고, 또는 일체로 형성될 수도 있다.

본 발명은 바람직한 실시 예와 첨부한 도면을 참조하여 설명되었지만, 본 발명의 개념 및 범위 내에서 상이한 실시 예가 구성될 수 있다. 따라서 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위에 의해 정해지며, 본 명세서에 기재된 특정 실시 예에 의해 한정되지 않는 것으로 해석되어야 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치를 보인 구성도이다.

도 2는 도 1의 제1 턴테이블을 보인 측면도이다.

도 3은 도 1의 로딩기를 보인 측면도이다.

도 4는 도 1의 제1 점착 세정기를 보인 측면도이다.

도 5는 도 1의 제1 보호 필름 부착기를 보인 측면도이다.

도 6은 도 5의 제1 보호 필름 부착기를 보인 사시도이다.

도 7은 도 1의 제2 턴테이블을 보인 측면도이다.

도 8은 도 1의 제2 점착 세정기를 보인 측면도이다.

도 9는 도 1의 제2 보호 필름 부착기를 보인 측면도이다.

도 10은 본 발명의 일 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착방법을 보인 흐름도이다.

도 11은 도 10에 있어서, 제1 점착 세정기의 세정방법을 보인 흐름도이다.

도 12는 도 10에 있어서, 제1 보호 필름 부착기의 부착방법을 보인 흐름도이다.

도 13은 도 10에 있어서, 제2 점착 세정기의 세정방법을 보인 흐름도이다.

도 14는 도 10에 있어서, 제2 보호 필름 부착기의 부착방법을 보인 흐름도이다.

도 15는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치를 보인 구 성도이다.

*주요부분에 대한 도면부호

10,10': 클린 부스

G: 기판

F1,F2: 보호필름

100,200: 제1/제2 보호필름 부착 유닛

110,210: 제1/제2 턴테이블

120: 기판 로딩기

130,230: 제1/제2 기판 세정기

140,240: 제1/제2 보호필름 부착기

111,211: 회전 플레이트

113,213: 로딩 플레이트

115,215: 회전 모터

120,220: 기판 로딩기

121,221: 이동 플레이트

123,223: 회동 아암

130,230: 제1/제2 기판 세정기

131,231: 베이스

132,232: 가이드

133,233: 서보모터

134,234: 이송 스크류

135,235: 승강 플레이트

136,236: 전후진 플레이트

137,237: 전후진 실린더

R2: 전이 테이프 롤러

138,238: 전이 테이프 회전모터

140,240: 제1/제2 보호필름 부착기

141,241: 이동 플레이트

142,242: 보호필름 권취롤러

143: 텐션롤러

144,244: 좌우 가이드

145,245: Z축 클램프

146,246: 커터

148,248: 압착롤러 유닛

Claims

파티클 발생을 제어하는 클린 부스(10);

상기 클린 부스(10) 일 측에 설치되어 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛(100); 및

상기 클린 부스(10) 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)에서 상기 기판(G)을 이송받아 상기 기판(G)의 타 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛(200);을 포함하며,

상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)은,

상기 기판(G)을 흡착 고정하고 90°씩 회전시키는 제1 턴테이블(110); 상기 제1 턴테이블(110)의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)에 상기 기판(G)을 로딩하는 기판 로딩기(120); 상기 제1 턴테이블(110)의 좌측 방향에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)에 로딩된 상기 기판(G)의 일측면을 세정하는 제1 기판 세정기(130); 및 상기 제1 턴테이블(110)의 후방에 위치하여 세정된 상기 기판(G)의 일측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착기(140);를 포함하고,

상기 제1 턴테이블(110)은,

회전 가능하게 설치되는 회전 플레이트(111); 상기 회전 플레이트(111)의 상부에 네 방향을 향하여 각각 수직으로 설치되며, 상기 기판(G)을 흡착 고정하기 위해 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성된 로딩 플레이트(113); 및 상기 회전 플레이트(111)를 회전시키기 위해 상기 회전 플레이트(111) 하부에 설치되는 회전 모터(115)를 포함하며,

상기 기판 로딩기(120)는,

가이드레일(126)상에 실린더(125)에 의하여 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(121); 및 상기 이동 플레이트(121)의 상부에 회동 가능하게 설치되며, 상면에 기판(G)을 흡착 고정하기 위해서 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성되는 회동 아암(123);을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는보호필름 자동 부착장치.
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제1항에 있어서,

상기 제1 기판 세정기(130)는

베이스(131);

상기 베이스(131)와 수직으로 설치되는 가이드(132);

상기 가이드(132)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(133)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(134);

상기 가이드(132)를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류(134)에 결합되는 승강 플레이트(135);

상기 승강 플레이트(135)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 일측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(136);

상기 전후진 플레이트(136)를 전후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트(135) 상에 설치되는 전후진 실린더(137);

상기 베이스(131)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및

상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(138);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
제1항에 있어서,

상기 제1 보호필름 부착기(140)는

리니어 모터(LM)에 의해서 상기 제1 턴테이블(110) 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(141);

상기 이동 플레이트(141) 상면에 설치되는 보호필름 권취롤러(142);

상기 보호필름(F1)의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러(143);

상기 보호필름(F1)의 좌우 측에 위치하여 상기 보호필름(F1)의 이동을 가이드 하는 좌우 가이드(144);

상기 보호필름(F1)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(145);

상기 보호필름(F1)을 상기 기판(G)의 일 측면에 밀착시키는 밀착롤러(148); 및

상기 보호필름(F1)을 커팅하는 커터(146);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
제1항에 있어서,

상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)은,

상기 제1 턴테이블(110)과 나란히 위치하며, 상기 제1 턴테이블(110)로부터 보호필름(F1)이 부착된 기판을 전달받고, 상기 기판(G)을 로딩한 후 90°씩 회전시키는 제2 턴테이블(210); 상기 제2 턴테이블(210)의 후방에 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)에 로딩된 상기 기판(G)의 타측면을 세정하는 제2 기판 세정기(230); 및 상기 제2 턴테이블(210)의 우측 방향에 위치하여 세정된 상기 기판(G)의 타측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착기(240);를 포함하며,

상기 제2 턴테이블(210)은,

회전 가능하게 설치되는 회전 플레이트(211); 상기 회전 플레이트(211)의 상부에 네 방향을 향하여 각각 수직으로 설치되고, 전후진 실린더(213a)에 의해 이동 가능하게 설치되며, 상기 기판(G)을 흡착 고정하기 위해 다수의 진공 흡착홀(H)이 형성된 로딩 플레이트(213); 및 상기 회전 플레이트(211)를 회전시키기 위해 상기 회전 플레이트(211) 하부에 설치되는 회전 모터(215);를 포함하고,

상기 제2 기판 세정기(230)는,

베이스(231); 상기 베이스(231)와 수직으로 설치되는 가이드(232); 상기 가이드(232)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(233)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(234); 상기 가이드(232)를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류(234)에 결합되는 승강 플레이트(235); 상기 승강 플레이트(235)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 타측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(236); 상기 전후진 플레이트(236)를 전후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트(235) 상에 설치되는 전후진 실린더(237); 상기 베이스(231)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및 상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(238);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
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제7항에 있어서,

상기 제2 보호필름 부착기(240)는

리니어 모터(LM)에 의해서 상기 제2 턴테이블(210) 방향으로 이동 가능하게 설치되는 이동 플레이트(241);

상기 이동 플레이트(241) 상면에 설치되는 보호필름 권취롤러(242);

상기 보호필름(F2)의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러(243);

상기 보호필름(F2)의 좌우측에 위치하여 상기 보호필름(F2)의 이송을 가이드 하는 좌우측 가이드(244);

상기 보호필름(F2)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(245);

상기 보호필름(F2)을 상기 기판(G)의 타 측면에 밀착시키는 밀착롤러(248); 및

상기 보호필름(F2)을 커팅하는 커터(246);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
제7항에 있어서,

상기 제2 턴테이블(210)의 전방에는 양면에 보호필름(F1)(F2)이 부착된 상기 기판G을 언 로딩하는 언로딩기(220)가 설치되는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착장치.
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기판 로딩기가 기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계(S10);

상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S20);

제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일측면을 세정하는 단계(S30);

상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S40);

제1 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 일측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50);

상기 제1 턴테이블이 90° 회전하는 단계(S60);

제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 전달 받는 단계(S70);

상기 제2 턴테이블이 90° 회전하는 단계(S80);

제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타측면을 세정하는 단계(S90);

상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S100); 및

제2 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 타측면에 보호필름을 부착하는 단계(S110);를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착방법.
제13항에 있어서,

상기 제1 세정기/제2 세정기가 상기 제1 턴테이블/제2 턴테이블에 로딩된 기판의 일측면/타측면을 세정하는 단계(S30)(S90)는 각각,

이송 스크류를 정회전시켜서 승강 플레이트의 점착 롤러를 상승시키는 단계(S31)(S91);

전후진 실린더를 구동하여 상기 점착 롤러를 상기 기판의 일측면에 밀착시키는 단계(S32)(S92); 및

상기 이송 스크류를 역회전시켜서 상기 점착 롤러를 상기 기판의 상부에서 하부로 이동시키면서 상기 기판의 일측면에서 파티클을 제거하는 단계(S33)(S93); 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착방법.
제13항에 있어서,

상기 제1 보호필름 부착기/제2 보호필름 부착기가 세정된 상기 기판의 일측면/타측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50)(S110)는 각각,

Z 축 클램프가 보호필름을 적당한 위치로 당기는 단계(S51)(S111);

이동 플레이트를 이동시켜서 상기 기판에 보호필름을 밀착시키고, 밀착롤러에 의하여 보호필름을 기판에 부착시키는 단계(S52)(S112);

커터가 보호필름을 커팅하는 단계(S53)(S113); 및

상기 이동 플레이트를 원 위치시키는 단계(S54)(S114);를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착방법.