JP2013249248A - 基板分断装置及び基板分断装置における基板搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板の搬送方向である第1の方向に沿って間隔を置いて配置され、基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第1のコンベア部及び第2のコンベア部と、前記間隔に設置されて基板をスクライブするスクライブユニットと、第1の方向において第2のコンベア部の上流側に位置する上流側第2のコンベア部と下流側に位置する下流側第2のコンベア部との間に少なくとも第1のローラと第2のローラを備えるダンサーローラユニットを含み、第1のローラは第2のコンベア部のベルト外側に位置し、第2のローラは第2のコンベア部のベルト内側に位置し、第1のローラと第2のローラは第1の方向と交差する第2の方向において互いに反対方向に移動可能に形成され、一体に形成された上流側第2のコンベア部と下流側第2のコンベア部が互いに異なる作動状態になり得る。
【選択図】図3
Description
このような表示パネルを製造する時には、マザーガラス基板を接合させた接合マザー基板を分断することにより、接合マザー基板から複数の表示パネルを作る加工がなされている。このような接合マザー基板を分断するための基板分断装置が、韓国公開特許公報第2006−0125915号(以下、特許文献1という)に開示されている。
図1を参照すると、基板分断装置200は、位置決めユニット部220、スクライブユニット部240、ブレイクコンベア部260、スチームブレイクユニット部280、パネル反転ユニット部320及びパネル端子分離部340を備えている。
また、基板102aが下流側スクライブ部120からピックアップコンベア部130の上に乗り移る時、基板102aに波打ちが発生するようになり、これにより基板102aのスクライブされた部分同士が互いに衝突して基板の一部分が割れるガラスチッピングが発生するようになる。たとえ下流側スクライブ部120及びピックアップコンベア部130の地面からの高さを等しく設計したとしても、実際には下流側スクライブ部120とピックアップコンベア部130の高さが微妙に異なったり、またはいずれか一方が傾いて設置されたりするため、ガラスチッピングが発生するようになる。特に、最近は薄型化された基板を処理する場合が多いため、このような問題はさらに深刻になる。
また、本発明の一実施形態に係る基板分断装置及び基板搬送方法によると、上流側第2のコンベア部と下流側第2のコンベア部を互いに異なるように作動させることができるため、下流側第2のコンベア部上の基板をピックアップするために下流側第2のコンベア部が停止されている状態でも、上流側第2のコンベア部で基板のスクライブ作業を引き続き進行することができる。したがって、基板分断装置の全体的な処理効率を向上することができる。
一方、本発明の実施形態において、“基板”には複数の基板に分断されるマザー基板を含み、また鋼板などの金属基板、木板、プラスチック基板及びセラミックス基板、半導体基板、ガラス基板などの脆性材料基板などの単板が含まれる。また、このような単板に限定されず、一対の基板同士を接合させた接合基板、一対の基板同士を積層させた積層基板も含まれる。
図3を参照すると、本実施形態に係る基板分断装置は、第1のコンベア部10及び第2のコンベア部20と、スクライブユニット30と、ダンサーローラユニット23を含む。
第1のコンベア部10及び第2のコンベア部20は、設置台(不図示)上で基板搬送方向である第1の方向(図3において+Y方向)に沿って互いに間隔を置いて配置される。第1のコンベア部10には複数のローラ11に巻かれて回転するベルト18が設けられ、第2のコンベア部20にも複数のローラ21に巻かれて回転するベルト28が設けられる。そして、本実施形態では、複数のローラ21のうち、第3のローラ21aにベルト駆動モータ40が連結されているため、該ベルト駆動モータ40の作動によって第3のローラ21aの回転が制御され、これによりベルト28が回転するように構成される。
また、前記第1のコンベア部10のベルト18の上には、第1の方向に沿って前後(図3において+Y方向及び−Y方向)に移動可能に設置されたチャックビーム14と、このチャックビーム14の一側に形成され、基板2を把持するチャック16が設置されている。そして、チャックビーム14がスクライブユニット30に向かって前後方向に移動することによって、チャック16に把持されている基板2はスクライブヘッド34の下部を通過しながらスクライブされる。
図4(a)は、基板をスクライブし始める段階を示した図である。
図4(a)を参照すると、スクライブ対象となる基板2がチャック16に把持されている。また、ピックアップコンベア部24上にはスクライブが完了した基板2aが載置されてピックアップされるのを待っている。
図4(b)及び(c)を参照すると、スクライブ作業が完了した基板2はチャック16による把持が解除され、スクライブリアコンベア部22のベルト28上に載置され、チャック16及びチャックビーム14は初期位置に戻る。
図4(d)を参照すると、第1のコンベア部10では、スクライブされる新しい基板2が第1のコンベア部10のベルト18上にローディングされ、初期位置に戻ったチャックビーム14及びチャック16に把持される。
この時、ベルト駆動モータ40は引き続き作動中であるため、ピックアップコンベア部24のベルト28が回転することによって、スクライブリアコンベア部22のベルト28も共に回転するようになり、これによってスクライブリアコンベア部22のベルト28上に載置されていたスクライブ済みの基板がコンベアの乗り移りなしでピックアップコンベア部24のベルト28に搬送され得る。よって、スクライブされた基板に損傷を与えずに次の段階(例えば、ピックアップ段階)の搬送部に移送することができる。
図5を参照すると、基板搬送方向である第1の方向に沿って、スクライブリアコンベアフレーム22a上にスクライブリアコンベア部22が設けられ、ピックアップコンベアフレーム24a上にピックアップコンベア部24が設けられている。ピックアップコンベア部24には、それぞれX、Y、Z軸に移動可能なピックアップX軸ロボット25a、ピックアップY軸ロボット25b、ピックアップZ軸ロボット25cが設置されており、ピックアップハンド27によってピックアップされた基板はこれらのロボットの移動によって所望の位置に移されてアンローディングされる。
図6及び図7を参照すると、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニット23は、ギア駆動モータ232に連結されたピニオンギア234と、このピニオンギア234と噛み合った状態で、このピニオンギア234を挟んで互いに対向配置される第1のラックギア236a及び第2のラックギア236bを含む。そして、第1のラックギア236aには連結部材を介して第1のローラ23aが結合されており、第2のラックギア236bには連結部材を介して第2のローラ23bが結合されている。よって、ギア駆動モータ232の作動によってピニオンギア234が回転すると、第1のラックギア236a及び第2のラックギア236bは、Z方向において互いに反対方向に動くようになり、第1のローラ23a及び第2のローラ23bもガイド238に沿って第1のラックギア236a及び第2のラックギア236bが動く方向に動くようになる。
また、図9を参照するとそして、第1のローラ23aが+Z方向に上昇するとベルト28は張力が維持された平らな状態に回復し、これと同時に第2のローラ23bは−Z方向に下降してベルト28も共に下降する。
このような第1のローラ23a及び第2のローラ23bの移動によって、一つのベルト28であってもダンサーローラユニット23の上流側にあるベルト28の動きとダンサーローラユニット23の下流側にあるベルト28の動きを互いに異なるように制御することができる。よって、ベルト28上に置かれているスクライブ済みの基板をコンベアの乗り移りなしで次の段階に搬送することができ、これによってコンベアの乗り移りによる端材の落下又はガラスチッピングなどの問題点を防止することができる。
10 第1のコンベア部
14 チャックビーム
16 チャック
18 ベルト
20 第2のコンベア部
21 ローラ
21a 第3のローラ
22 上流側第2のコンベア部(スクライブリアコンベア部)
22a スクライブリアコンベアフレーム
23 ダンサーローラユニット
23a 第1のローラ
23b 第2のローラ
24 下流側第2のコンベア部(ピックアップコンベア部)
24a ピックアップコンベアフレーム
25a ピックアップX軸ロボット
25b ピックアップY軸ロボット
25c ピックアップZ軸ロボット
27 ピックアップハンド
28 ベルト
30 スクライブユニット
32 スクライブビーム
34 スクライブヘッド
40 ベルト駆動モータ
50a 第1のストッパ
50b 第2のストッパ
52 ベルトストッパカウンター軸
54 ラック及びピニオン
232 ギア駆動モータ
234 ピニオンギア
236a 第1のラックギア
236b 第2のラックギア
238 ガイド
Claims (13)
- 設置台上で基板の搬送方向である第1の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第1のコンベア部及び第2のコンベア部と、
前記第1のコンベア部と前記第2のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットと、
前記第1の方向において前記第2のコンベア部の上流側に位置する上流側第2のコンベア部と下流側に位置する下流側第2のコンベア部との間に設置され、少なくとも第1のローラ及び第2のローラを備えるダンサーローラユニットを含み、
前記第1のローラは、前記第2のコンベア部のベルト外側に位置し、前記第2のローラは、前記第2のコンベア部のベルト内側に位置し、
前記第1のローラ及び第2のローラは、前記第1の方向と交差する第2の方向において互いに反対方向に移動可能に形成され、一体に形成された前記上流側第2のコンベア部と前記下流側第2のコンベア部とが互いに異なる作動状態になり得ることを特徴とする基板分断装置。 - 前記第1のローラ及び第2のローラが、前記第2の方向において互いに反対方向に移動する時、前記第1のローラの移動距離と第2のローラの移動距離は同一であることを特徴とする請求項1に記載の基板分断装置。
- 前記第1のローラ及び第2のローラのうち少なくともいずれか一つは、前記第2のコンベア部のベルトの張力を維持しながら、該ベルトと接触していることを特徴とする請求項1に記載の基板分断装置。
- 前記第1のローラ及び第2のローラは、ギア駆動モータに連結されたピニオンギアを挟んで互いに対向配置された状態で前記ピニオンギアと噛合する第1のラックギア及び第2のラックギアにそれぞれ結合されることを特徴とする請求項1に記載の基板分断装置。
- 前記複数のローラには第3のローラが含まれ、
前記第3のローラに前記下流側第2のコンベア部のベルトが巻かれており、前記第3のローラにベルト駆動モータが連結されることを特徴とする請求項1に記載の基板分断装置。 - 前記ダンサーローラユニットには、前記上流側第2のコンベア部のベルトの回転を停止させる第1のストッパと、前記下流側第2のコンベア部のベルトの回転を停止させる第2のストッパが設けられていることを特徴とする請求項1に記載の基板分断装置。
- 設置台上で基板の搬送方向である第1の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第1のコンベア部及び第2のコンベア部と、前記第1のコンベア部と前記第2のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットとを含む基板分断装置において、前記第2のコンベア部のベルト上に載置された基板を前記第1の方向に搬送する基板搬送方法であって、
前記基板分断装置には、前記第1の方向において前記第2のコンベア部の上流側に位置する上流側第2のコンベア部と下流側に位置する下流側第2のコンベア部との間に、前記第1の方向と交差する第2の方向において互いに反対方向に移動可能な少なくとも第1のローラと第2のローラを有するダンサーローラユニットが備えられ、
前記第1のローラを前記第2のコンベア部のベルト外側に位置させ、前記第2のローラを前記第2のコンベア部のベルト内側に位置させた状態で、前記第1のローラと第2のローラを互いに反対方向に移動させることにより、一体に形成された前記上流側第2のコンベア部と下流側第2のコンベア部を互いに異なるように作動させることを特徴とする基板搬送方法。 - 前記第1のローラと第2のローラを往復移動させることにより、下流側第2のコンベア部のベルトを停止させた状態で、上流側第2のコンベア部のベルトを時計方向又は反時計方向に回転させ、前記上流側第2のコンベア部のベルト上に載置された基板をスクライブし、
前記スクライブする段階において、停止された状態の下流側第2のコンベア部のベルト上に置かれているスクライブ済みの基板をアンロードし、
前記下流側第2のコンベア部のベルトに巻かれた第3のローラを回転させながら前記第1のローラ及び第2のローラを移動させることにより、上流側第2のコンベア部のベルトを停止させた状態で前記下流側第2のコンベア部のベルトを回転させ、前記下流側第2のコンベア部のベルト上に残置された端材をアンロードし、
前記端材のアンロード後も前記第3のローラを引き続き回転させ、前記上流側第2のコンベア部のベルト上に載置されていたスクライブ済みの基板を前記下流側第2のコンベア部のベルト上に搬送することを特徴とする請求項7に記載の基板搬送方法。 - 前記第3のローラにはベルト駆動モータが連結され、前記基板をスクライブする段階では前記ベルト駆動モータの作動を停止させることを特徴とする請求項8に記載の基板搬送方法。
- 前記端材をアンロードする段階では前記ベルト駆動モータを作動させることを特徴とする請求項9に記載の基板搬送方法。
- 前記ダンサーローラユニットには前記上流側第2のコンベア部のベルトの回転を停止させる第1のストッパと、前記下流側第2のコンベア部のベルトの回転を停止させる第2のストッパが設置され、前記基板をスクライブする段階では前記第2のストッパを作動させることを特徴とする請求項8に記載の基板搬送方法。
- 前記端材をアンロードする段階では前記第1のストッパを作動させることを特徴とする請求項11に記載の基板搬送方法。
- スクライブされた基板が前記下流側第2のコンベア部のベルトに搬送される段階では、前記第1のストッパ及び第2のストッパの作動を全て解除することを特徴とする請求項12に記載の基板搬送方法。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016025344A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-02-08 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板移送装置 |
JP2016083822A (ja) * | 2014-10-24 | 2016-05-19 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
JP2016083821A (ja) * | 2014-10-24 | 2016-05-19 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
JP2016094023A (ja) * | 2016-02-17 | 2016-05-26 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
JP2016137717A (ja) * | 2016-02-17 | 2016-08-04 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101449487B1 (ko) * | 2012-06-01 | 2014-10-14 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법 |
CN104628246B (zh) * | 2013-11-14 | 2019-07-05 | 塔工程有限公司 | 划线装置及划线方法 |
KR101579598B1 (ko) * | 2013-11-14 | 2015-12-23 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법 |
KR101651253B1 (ko) * | 2014-05-29 | 2016-08-26 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 스크라이브 장치용 이송 밸트 및 이를 갖는 스크라이브 장치 |
KR101668778B1 (ko) * | 2014-05-29 | 2016-10-31 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 스크라이브 장치 |
JP6435669B2 (ja) * | 2014-07-04 | 2018-12-12 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
CN104441261B (zh) * | 2014-12-10 | 2017-01-04 | 曾华东 | 一种石材自动卸板装置 |
KR102310157B1 (ko) * | 2015-03-16 | 2021-10-12 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 스크라이빙 장치 |
KR102400552B1 (ko) * | 2015-03-16 | 2022-05-23 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 이송 스테이지, 이를 포함하는 스크라이빙 장치 및 기판 이송 방법 |
CN106353902B (zh) * | 2016-11-08 | 2019-03-22 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种液晶面板移载装置及液晶面板切割系统 |
CN107777869A (zh) * | 2017-11-20 | 2018-03-09 | 魏超军 | 一种能够对玻璃幕墙进行快速精准的切割设备 |
JP7054170B2 (ja) * | 2017-11-30 | 2022-04-13 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | ベルトコンベヤ装置 |
KR102147127B1 (ko) * | 2018-04-03 | 2020-08-25 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 기판 절단 장치 |
CN111421597B (zh) * | 2020-04-13 | 2021-07-30 | 伊书剑 | 一种石英晶体振荡器基板分裂装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4822157B1 (ja) * | 1970-04-01 | 1973-07-04 | ||
JPS4923269B1 (ja) * | 1970-04-01 | 1974-06-14 | ||
JPH05132118A (ja) * | 1991-09-21 | 1993-05-28 | Murata Mfg Co Ltd | 搬送装置 |
JPH0885658A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Totani Giken Kogyo Kk | 連続ウエブ間欠送り装置 |
JP2001261141A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 検査装置 |
JP2007075964A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板分断システム |
JP2010026267A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Shiraitekku:Kk | 液晶パネルの割断装置 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01275316A (ja) * | 1988-04-28 | 1989-11-06 | Iseki Tory Tech Inc | コンベア装置 |
KR910001987Y1 (ko) * | 1988-08-12 | 1991-03-30 | 박경 | 판유리 변형 면취기 |
CN2096563U (zh) * | 1991-07-15 | 1992-02-19 | 秦皇岛市海港耀华玻璃机械厂 | 玻璃掰断器 |
JPH07138039A (ja) * | 1993-11-12 | 1995-05-30 | Fuji Xerox Co Ltd | スクライブ装置 |
JP4149750B2 (ja) * | 2002-06-25 | 2008-09-17 | 中村留精密工業株式会社 | ガラス板の加工装置 |
TW200408061A (en) * | 2002-07-02 | 2004-05-16 | Mitsuboshi Diamond Ind Co Ltd | Substrate slicing system for sealed substrates and the substrate slicing method |
KR100482627B1 (ko) * | 2002-07-15 | 2005-04-13 | 기아자동차주식회사 | 자동차의 주차브레이크 케이블 장력조절장치 |
CN100572004C (zh) * | 2004-03-15 | 2009-12-23 | 三星钻石工业株式会社 | 基片切割系统、基片制造设备、基片划线方法以及基片切割方法 |
KR101096733B1 (ko) * | 2004-12-27 | 2011-12-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판의 절단장치 및 이를 이용한 기판의 절단방법 |
CN200998878Y (zh) * | 2007-01-12 | 2008-01-02 | 李品荣 | 划线机 |
JP4829207B2 (ja) * | 2007-11-30 | 2011-12-07 | Agcテクノグラス株式会社 | ガラス管の切断装置 |
DE102009020106B4 (de) * | 2008-05-27 | 2022-04-07 | Heidelberger Druckmaschinen Intellectual Property Ag & Co. Kg | Folientaktung |
JP5627201B2 (ja) * | 2009-06-17 | 2014-11-19 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 脆性材料基板の割断方法 |
KR101696718B1 (ko) * | 2009-12-15 | 2017-01-16 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 스크라이빙 조립체 및 스크라이빙 방법 |
KR101435126B1 (ko) * | 2009-12-25 | 2014-09-01 | 닛토덴코 가부시키가이샤 | 액정표시소자의 연속제조방법 및 장치 |
JP5514025B2 (ja) * | 2010-07-16 | 2014-06-04 | 株式会社小森コーポレーション | シータ及び該シータにおける搬送方法 |
KR101330148B1 (ko) * | 2010-08-31 | 2013-11-15 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 기판 분단 장치 및 이를 이용한 기판 분단 방법 |
KR101730553B1 (ko) * | 2010-09-29 | 2017-04-27 | 엘지디스플레이 주식회사 | 기판 이송 장치 |
JP2012096936A (ja) * | 2010-10-29 | 2012-05-24 | Asahi Glass Co Ltd | ガラスリボンの耳切断装置および耳切断方法とガラス製品の製造装置および製造方法 |
KR101449487B1 (ko) * | 2012-06-01 | 2014-10-14 | 한국미쯔보시다이아몬드공업(주) | 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법 |
-
2012
- 2012-06-01 KR KR1020120059044A patent/KR101449487B1/ko active IP Right Grant
-
2013
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- 2013-05-01 JP JP2013096121A patent/JP6101143B2/ja active Active
-
2017
- 2017-02-24 JP JP2017033267A patent/JP6365705B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4822157B1 (ja) * | 1970-04-01 | 1973-07-04 | ||
JPS4923269B1 (ja) * | 1970-04-01 | 1974-06-14 | ||
JPH05132118A (ja) * | 1991-09-21 | 1993-05-28 | Murata Mfg Co Ltd | 搬送装置 |
JPH0885658A (ja) * | 1994-09-19 | 1996-04-02 | Totani Giken Kogyo Kk | 連続ウエブ間欠送り装置 |
JP2001261141A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 検査装置 |
JP2007075964A (ja) * | 2005-09-15 | 2007-03-29 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | 基板分断システム |
JP2010026267A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Shiraitekku:Kk | 液晶パネルの割断装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016025344A (ja) * | 2014-07-24 | 2016-02-08 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板移送装置 |
JP2016083822A (ja) * | 2014-10-24 | 2016-05-19 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
JP2016083821A (ja) * | 2014-10-24 | 2016-05-19 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
JP2016094023A (ja) * | 2016-02-17 | 2016-05-26 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
JP2016137717A (ja) * | 2016-02-17 | 2016-08-04 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103449714B (zh) | 2016-03-09 |
CN104150756B (zh) | 2018-01-12 |
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