WO2017110356A1

WO2017110356A1 - ガラスフィルム積層体の製造方法及び製造装置

Info

Publication number: WO2017110356A1
Application number: PCT/JP2016/084786
Authority: WO
Inventors: 博司瀧本; 薫鑑継
Original assignee: 日本電気硝子株式会社
Priority date: 2015-12-21
Filing date: 2016-11-24
Publication date: 2017-06-29
Also published as: TW201733810A; TWI698343B; JP6631785B2; JP2017114688A

Abstract

ガラスフィルム積層体ＬＧの製造方法は、上ステージ２の保持面５に支持ガラスＳＧを吸着させる工程と、下ステージ３の支持面６に樹脂フィルム８を載置する工程と、樹脂フィルム８上にガラスフィルムＧＦを載置する工程と、樹脂フィルム８を下ステージ３の支持面６に吸着させる工程と、樹脂フィルム８を下ステージ３の支持面６に吸着させた後に、上ステージ２に保持されている支持ガラスＳＧと下ステージ３に支持されているガラスフィルムＧＦとを密着させる工程と、を備える。

Description

ガラスフィルム積層体の製造方法及び製造装置

　本発明は、支持ガラスにガラスフィルムを積層してなるガラスフィルム積層体の製造方法及び製造装置に関する。

　省スペース化の観点から、従来普及していたＣＲＴ型ディスプレイに替わり、近年は液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。

　フラットパネルディスプレイ等のデバイスに使用される基板やカバーガラスには、高い可撓性と更なる大型化を実現することへのニーズが高まっている。ガラス基板に可撓性を付与するには、ガラス基板を薄く形成することが有効であり、特許文献１には、厚みが２００μｍ以下のガラスフィルム（超薄板ガラス）が開示されている。

　フラットパネルディスプレイ等のデバイスに使用されるガラス基板には、加工処理や洗浄処理等、様々な製造関連処理が施される。ところが、これらの電子デバイスに使用されるガラス基板を薄く形成すると、ガラスは脆性材料であるため、応力変化により破損に至り、上記の製造関連処理を行う際に、取扱いが大変困難であるという問題がある。加えて、厚みが２００μｍ以下のガラスフィルムは可撓性に富むため、処理を行う際に位置決めを行い難いという問題もある。

　ガラスフィルムの取り扱い性を向上させるために、特許文献１では、支持ガラス上にガラスフィルムを積層させたガラスフィルム積層体が開示されている。これによれば、単体では強度や剛性のないガラスフィルムを剛性の高い支持ガラスに積層しているため、処理の際にガラスフィルム積層体全体として位置決めが容易となる。

　また、ガラスフィルム積層体は、処理終了後にガラスフィルムを破損することなく速やかに支持ガラスから剥離することが可能である。さらに、ガラスフィルム積層体の厚みを従来のガラス基板の厚みと同一とすれば、従来のガラス基板用の電子デバイス製造ラインを共用して、電子デバイスを製造することも可能になる。

特開２０１１－１８３７９２号公報

　ガラスフィルム積層体を製造する際には、ガラスフィルムに歪みが生ずることなく、しかもガラスフィルムと支持ガラスとの間に泡（気泡）が生ずることのないように、ガラスを支持ガラスに貼り合せる必要がある。従来、この貼り合せは手作業（手貼り）によって行われていた。しかしながら、近年におけるデバイスの大型化の傾向に伴い、手貼りによって大型のガラスフィルム積層体を製造することが困難になりつつある。

　本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、大型のガラスフィルム積層体の製造も可能な製造方法及び製造装置を提供することを目的とする。

　本発明は上記の課題を解決するためのものであり、保持面を有する上ステージで保持する支持ガラスと、支持面を有する下ステージで支持するガラスフィルムとを積層することによりガラスフィルム積層体を製造する方法であって、前記上ステージの前記保持面に前記支持ガラスを吸着させる工程と、前記下ステージの前記支持面に樹脂フィルムを載置する工程と、前記樹脂フィルム上に前記ガラスフィルムを載置する工程と、前記樹脂フィルムを前記下ステージの前記支持面に吸着させる工程と、前記樹脂フィルムを前記下ステージの前記支持面に吸着させた後に、前記上ステージに保持されている前記支持ガラスと前記下ステージに支持されている前記ガラスフィルムとを密着させる工程と、を備えることを特徴とする。

　かかる構成によれば、上ステージの保持面に支持ガラスを吸着させ、下ステージの支持面に支持されるガラスフィルムを支持ガラスに密着させることにより、ガラスフィルム積層体を形成できる。ガラスフィルム積層体を形成するにあたり、ガラスフィルムは、樹脂フィルムを介して下ステージの支持面に支持される。この樹脂フィルムは、支持面に吸着されることから、この樹脂フィルムに支持されるガラスフィルムは、支持ガラスに密着する際に、その位置がずれることがない。また、ガラスフィルムと下ステージの支持面との間に樹脂フィルムを介在させているため、ガラスフィルムに歪みや泡（気泡）が発生することもない。

　すなわち、樹脂フィルムを使用することなくガラスフィルムを支持ガラスに密着させる場合を考えると、このガラスフィルムを支持面に吸着させることになるが、このとき、支持面における孔や溝等の面性状がガラスフィルムに転写され、これによる凹凸等がガラスフィルムに生じてしまう。したがって、このガラスフィルムを支持ガラスに密着させると、ガラスフィルムに歪が生じ、支持ガラスとの間で泡が発生してしまう。本発明では、樹脂フィルムを下ステージの支持面に吸着させることで、このようなガラスフィルム積層体の不良の発生を防止できる。これにより、大型のガラスフィルム積層体であっても好適に製造することが可能である。

　また、本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法は、前記ガラスフィルムを搬送装置によって所定の搬送方向に搬送する工程をさらに備え、前記搬送装置は、前記樹脂フィルムを移動させることにより前記ガラスフィルムを搬送することが可能である。このように、樹脂フィルムを移動させることでガラスフィルムを搬送することにより、ガラスフィルムの搬送と支持面への設置とを効率良く行うことができる。

　前記搬送装置は、前記ガラスフィルムを前記樹脂フィルムに移送する搬入コンベアを含むことが望ましい。これにより、ガラスフィルム積層体をより効率的に搬送できる。

　また、前記搬送装置は、前記ガラスフィルムが載置される前記樹脂フィルムの上下位置を変更する位置変更部を備え得る。前記位置変更部は、前記樹脂フィルムによって前記ガラスフィルムを前記下ステージの前記支持面に向かって搬送するときに前記樹脂フィルムが前記支持面から離間するように前記樹脂フィルムを上昇させ、前記樹脂フィルムを前記支持面に吸着させるときに上昇させた前記樹脂フィルムを下降させることができる。これにより、樹脂フィルムは、下ステージの支持面と接触することなくガラスフィルムを搬送でき、支持面の所定位置にガラスフィルムを載置できる。

　より具体的には、前記位置変更部は、前記下ステージの上流側で前記樹脂フィルムを支持する昇降可能な第１支持部と、前記下ステージの下流側で前記樹脂フィルムを支持する昇降可能な第２支持部とを備え、前記樹脂フィルムを下降させるときに、前記第１支持部を下降させた後に前記第２支持部を下降させることができる。ガラスフィルムのサイズや重量にもよるが、第１支持部と第２支持部とを同時に下降させると、このガラスフィルムの位置がずれるおそれがある。これに対し、本方法では、搬送方向における上流側に位置する第１支持部を下降させた後に下流側の第２支持部を下降させることにより、ガラスフィルムと樹脂フィルムの接触を維持することで、ガラスフィルムの位置ずれを防止し、支持面の所定位置に確実に載置できる。

　また、前記搬送装置は、前記支持ガラスと前記ガラスフィルムとを密着させてなるガラスフィルム積層体を前記樹脂フィルムから搬出する搬出コンベアを含むことが望ましい。これにより、ガラスフィルム積層体を効率良く搬送できる。また、前記搬出コンベアによって前記樹脂フィルム上の前記ガラスフィルム積層体を搬出するときに、前記位置変更部は、前記樹脂フィルムが前記支持面から離間するように、前記樹脂フィルムを上昇させることが望ましい。これにより、樹脂フィルムが下ステージの支持面に接触することなく、形成されたガラスフィルム積層体を搬出できる。

　本発明は、上記の課題を解決するためのものであり、ガラスフィルムと支持ガラスとを有するガラスフィルム積層体を製造する装置であって、前記支持ガラスを吸着する保持面を有する上ステージと、樹脂フィルムを介して前記ガラスフィルムを支持する支持面を有する下ステージと、を備え、前記下ステージの前記支持面は、前記樹脂フィルムを吸着するように構成され、前記支持面によって前記樹脂フィルムを吸着した状態で、前記上ステージに保持される前記支持ガラスと、前記下ステージに支持されるガラスフィルムとを密着させることによりガラスフィルム積層体を形成することを特徴とする。

　かかる構成によれば、上ステージの保持面に支持ガラスを吸着させ、下ステージの支持面に支持されるガラスフィルムを支持ガラスに密着させることにより、ガラスフィルム積層体を形成できる。ガラスフィルム積層体を形成するにあたり、ガラスフィルムは、樹脂フィルムを介して下ステージの支持面に支持される。この樹脂フィルムは、支持面に吸着されていることから、この樹脂フィルムに支持されるガラスフィルムは、支持ガラスに密着する際に、その位置がずれることがない。また、ガラスフィルムと下ステージの支持面との間に樹脂フィルムを介在させているため、ガラスフィルムに歪みや泡（気泡）が発生することもない。

　すなわち、樹脂フィルムを使用することなくガラスフィルムを支持ガラスに密着させる場合、このガラスフィルムを支持面に吸着させることになるが、このとき、支持面における孔や溝等の面性状がガラスフィルムに転写され、これによる凹凸等がガラスフィルムに生じてしまう。したがって、このガラスフィルムを支持ガラスに密着させると、ガラスフィルムに歪が生じ、支持ガラスとの間で泡が発生してしまう。本発明では、樹脂フィルムを下ステージの支持面に吸着させることで、このようなガラスフィルム積層体の不良の発生を防止できる。これにより、大型のガラスフィルム積層体であっても好適に製造することが可能である。

　本発明によれば、大型のガラスフィルム積層体であっても製造が可能になる。

図１は、第１実施形態に係るガラスフィルム積層体の製造装置を示す側面図である。図２は、ガラスフィルム積層体の製造方法の一工程を示す製造装置の側面図である。図３は、ガラスフィルム積層体の製造方法の一工程を示す製造装置の側面図である。図４は、ガラスフィルム積層体の製造方法の一工程を示す製造装置の側面図である。図５は、ガラスフィルム積層体の製造方法の一工程を示す製造装置の側面図である。図６は、ガラスフィルム積層体の製造方法の一工程を示す製造装置の側面図である。図７は、ガラスフィルム積層体の製造方法の一工程を示す製造蔵置の側面図である。図８は、ガラスフィルム積層体の製造方法の一工程を示す製造装置の側面図である。図９は、第２実施形態に係るガラスフィルム積層体の製造装置を示す側面図である。図１０は、ガラスフィルム積層体の製造方法に係る一工程を示す製造装置の側面図である。

　以下、本発明を実施するための形態について図面を参照しながら説明する。図１乃至図８は、本発明に係るガラスフィルム積層体の製造方法及び製造装置の第１実施形態を示す。なお、本発明によって製造されるガラスフィルム積層体ＬＧは、透明な矩形状の支持ガラスＳＧに、同じく透明な矩形状のガラスフィルムＧＦを積層してなるものである。ガラスフィルムＧＦとしては、厚みが２００μｍ以下の超薄板ガラスが用いられるが、これに限定されるものではない。

　図１に示すように、本発明に係る製造装置１は、支持ガラスＳＧを保持する上ステージ２と、ガラスフィルムＧＦを支持する下ステージ３と、ガラスフィルムＧＦ及びガラスフィルム積層体ＬＧを搬送する搬送装置４とを備える。

　上ステージ２は、支持ガラスＳＧが固定される保持面５を有する。図１に示すように、保持面５には、支持ガラスＳＧを吸着する複数の孔５ａが形成されている。各孔５ａは、図示しない真空ポンプに接続されている。保持面５は、この孔５ａを介して支持ガラスＳＧとの間に負圧を生じさせることで、この支持ガラスＳＧを吸着する。このように、上ステージ２は、真空吸着法により支持ガラスＳＧを吸着するが、これに限らず、静電吸着法により支持ガラスＳＧを吸着するように構成してもよい。また、保持面５として、自己粘着性部材をその全面、好ましくは一部の面に使用することで、支持ガラスＳＧを保持してもよい。

　上ステージ２は、図示しない反転装置により、保持面５が上方を向く第１姿勢（図１において二点鎖線で示す姿勢）と、保持面５が下方を向く第２姿勢（図１において実線で示す姿勢）とに姿勢変更可能に構成される。

　下ステージ３は、ガラスフィルムＧＦを支持する支持面６を有する。図１に示すように、支持面６には、搬送装置４の一部を吸着可能な複数の孔６ａが形成されている。各孔６ａは、図示しない真空ポンプに接続されている。支持面６は、この孔６ａを介して搬送装置４の一部との間に負圧を生じさせることで、この搬送装置４の一部を吸着する。このように、下ステージ３は、真空吸着法により搬送装置４の一部を吸着するが、これに限らず、静電吸着法によりこれを吸着するように構成してもよい。

　また、下ステージ３は、支持面６が上方を向く状態で、第２姿勢となった上ステージ２の保持面５と対向するように配置されている。また、図１に示すように、下ステージ３は、その下部に設けられる昇降装置７により、上下動自在に構成される。

　搬送装置４は、ガラスフィルムＧＦを下ステージ３の近傍位置まで搬送する第１搬送装置４ａと、第１搬送装置４ａからガラスフィルムＧＦを受け取って、下ステージ３に係る支持面６の所定位置に載置する第２搬送装置４ｂと、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとを密着させることにより形成されるガラスフィルム積層体ＬＧを下ステージ３から搬出する第３搬送装置４ｃとを備える。

　第１搬送装置４ａは、第２搬送装置４ｂよりも搬送方向の上流側に配置されている。第１搬送装置４ａは、ローラコンベアにより構成されるが、これに限定されず、ベルトコンベアその他の既存の各種搬送装置を使用し得る。第１搬送装置４ａは、ガラスフィルムＧＦを第２搬送装置４ｂへと移送することにより、このガラスフィルムＧＦを下ステージ３へと搬入するコンベア（搬入コンベア）として機能する。

　第２搬送装置４ｂは、ガラスフィルムＧＦを搬送する樹脂フィルム８と、この樹脂フィルム８を所定の方向に移動させる駆動部９と、樹脂フィルム８の一部における上下方向の位置を変更する位置変更部１０とを備える。

　樹脂フィルム８は、その一部が下ステージ３の上流側の位置から下流側の位置にわたって水平状に架け渡されている。樹脂フィルム８は、第１搬送装置４ａによって搬送されたガラスフィルムＧＦを受け取って下ステージ３の支持面６まで搬送するとともに、この製造装置１によって製造されたガラスフィルム積層体ＬＧを、第３搬送装置４ｃへと移送する。

　駆動部９は、下ステージ３の下流側に位置する駆動ローラ１１と、下ステージ３の上流側に位置する被動ローラ１２とを有する巻取り装置である。駆動部９は、被動ローラ１２に巻かれた樹脂フィルム８を駆動ローラ１１によって巻き取ることによって、この樹脂フィルム８を移動させる。これにより、樹脂フィルム８は、第１搬送装置４ａから受け取ったガラスフィルムＧＦを搬送方向に沿って移動させることができる。なお、駆動ローラ１１は、図示しないモータ等の駆動手段により回転駆動される。

　位置変更部１０は、下ステージ３よりも上流側に配置されるとともに、樹脂フィルム８を支持する昇降可能な第１支持部１３と、下ステージ３よりも下流側に配置されるとともに、樹脂フィルム８を支持する昇降可能な第２支持部１４とを備える。第１支持部１３は、第１ローラ１５と、この第１ローラ１５を昇降させるアクチュエータ１６とを備える。第２支持部１４は、第２ローラ１７と、この第２ローラ１７を昇降させるアクチュエータ１８とを備える。図１に示すように、樹脂フィルム８の一部は、第１ローラ１５及び第２ローラ１７により、張力を付与された状態で水平状に支持されている。

　位置変更部１０は、第１支持部１３及び第２支持部１４の昇降動作により、樹脂フィルム８の一部の上下位置を変更する。具体的には、位置変更部１０は、各アクチュエータ１６，１８の動作により、各ローラ１５，１７を上昇させて、支持面６から上方に離間する第１の位置と、各ローラ１５，１７を下降させて支持面６に接触する第２の位置とに樹脂フィルム８の位置を変更させることができる。

　すなわち、位置変更部１０は、樹脂フィルム８によってガラスフィルムＧＦを下ステージ３の支持面６に向かって搬送するときに樹脂フィルム８が支持面６から離間するように樹脂フィルム８を上昇させ、樹脂フィルム８を支持面６に吸着させるときに上昇させた樹脂フィルム８を下降させる。

　第３搬送装置４ｃは、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとを密着させてなるガラスフィルム積層体ＬＧを第２搬送装置４ｂの樹脂フィルム８から受け取って、下ステージ３から搬出するコンベア（搬出コンベア）である。第３搬送装置４ｃは、第１搬送装置４ａと同様に、ローラコンベアにより構成されるが、これに限定されず、ベルトコンベアその他の既存の各種搬送装置を使用し得る。第３搬送装置４ｃによってガラスフィルム積層体ＬＧを搬出する場合、第２搬送装置４ｂの位置変更部１０は、樹脂フィルム８の一部を第１の位置から第２の位置へと変更する。

　以下、上記構成の製造装置１を使用して、ガラスフィルム積層体ＬＧを製造する方法について図１乃至図８を参照しながら説明する。

　まず、図１に示すように、第１姿勢（二点鎖線で示す姿勢）にある上ステージ２の保持面５に支持ガラスＳＧを載置する。その後、真空ポンプの動作により、孔５ａを介して保持面５に支持ガラスＳＧを吸着させる。その後、反転装置の動作により、上ステージ２は、その姿勢を第２姿勢（実線で示す姿勢）へと変更する。

　次に図２に示すように、第１搬送装置４ａにより搬送されるガラスフィルムＧＦを第２搬送装置４ｂへと移送する。このとき、第２搬送装置４ｂは、第１ローラ１５及び第２ローラ１７を同時に上昇させ、樹脂フィルム８の一部を第２の位置から第１の位置へと変更する。これにより、樹脂フィルム８の一部は、下ステージ３の支持面６から離間して上方に位置することになる。その後、第２搬送装置４ｂは、駆動ローラ１１を始動させて樹脂フィルム８を巻き取ることにより樹脂フィルム８を移動させる。これにより、樹脂フィルム８は、第１搬送装置４ａから受け取ったガラスフィルムＧＦを搬送方向に沿って下流に移動させる。

　図３に示すように、ガラスフィルムＧＦを所定位置（支持ガラスＳＧの下方位置）まで移動させると、第２搬送装置４ｂは、駆動ローラ１１を停止させ、樹脂フィルム８を停止させる。

　その後、位置変更部１０は、樹脂フィルム８の一部を第２の位置から第１の位置へと変更する。具体的には、位置変更部１０は、図４に示すように、第２支持部１４の第２ローラ１７を上方位置にて維持したままで、第１支持部１３の第１ローラ１５を先に下降させ、下方位置へと戻す。第１ローラ１５が下方位置へと移動すると、第２搬送装置４ｂは、図５に示すように、第２ローラ１７を上方位置から下降させて下方位置へと戻す。

　このように、第１支持部１３の第１ローラ１５を下降させた後に、第２支持部１４の第２ローラ１７を下降させることにより、樹脂フィルム８上のガラスフィルムＧＦを、位置ずれを生じさせることなく下ステージ３の支持面６に載置させることができる。すなわち、ガラスフィルムＧＦは、その厚みが２００μｍ以下のものである場合、非常に軽量であることから、第１ローラ１５と第２ローラ１７とを同時に下降させてしまうと、樹脂フィルム８から浮き上がり、位置ずれを生じるおそれがある。これに対し、本実施形態では、上流側の第１ローラ１５を先に下降させ、下流側の第２ローラ１７を後に下降させることで、樹脂フィルム８とガラスフィルムＧＦとの間の摩擦力を利用することにより、ガラスフィルムＧＦの位置ずれを防止できる。

　当然ながら、第２ローラ１７を先に下降させ、第１ローラ１５を後に下降させることも可能であり、ガラスフィルムＧＦが十分な重量を有する場合には、第１ローラ１５と第２ローラ１７とを同時に下降させるようにしてもよい。

　上述のように、第１支持部１３及び第２支持部１４の動作により樹脂フィルム８の一部が下降して第２の位置に移動すると、ガラスフィルムＧＦは、下ステージ３の支持面６に載置される。下ステージ３は、真空ポンプを作動させ、支持面６の孔６ａに樹脂フィルム８を吸着させる。これにより、樹脂フィルム８は支持面６に密着して固定される。その後、下ステージ３は、図６に示すように、昇降装置７の動作により、上方に移動する。これにより、下ステージ３に支持されるガラスフィルムＧＦは、上ステージ２に保持される支持ガラスＳＧに密着する。この状態を所定時間維持した後、上ステージ２は、真空ポンプを停止させ、支持ガラスＳＧの保持を解除する。

　その後、図７に示すように、下ステージ３は、昇降装置７の動作によって下降する。そうすると、上ステージ２に保持されていた支持ガラスＳＧは、ガラスフィルムＧＦと共に下ステージ３とともに下降する。支持ガラスＳＧが上ステージ２から離間することにより、下ステージ３には、ガラスフィルムＧＦと支持ガラスＳＧとが密着してなるガラスフィルム積層体ＬＧが載置されることになる。

　次に、第２搬送装置４ｂの位置変更部１０は、図８に示すように、第１支持部１３の第１ローラ１５及び第２支持部１４の第２ローラ１７を同時に上昇させ、樹脂フィルム８の一部を下ステージ３の支持面６から上方に離間させる。さらに、第２搬送装置４ｂは、駆動部９の駆動ローラ１１を作動させ、樹脂フィルム８を移動させることで、ガラスフィルム積層体ＬＧを第３搬送装置４ｃに向かって搬送する。最後に、ガラスフィルム積層体ＬＧは、第２搬送装置４ｂから第３搬送装置４ｃへと移送され、下ステージ３から搬出される。

　以上説明した本実施形態に係るガラスフィルム積層体ＬＧの製造方法及び製造装置１によれば、上ステージ２の保持面５に支持ガラスＳＧを吸着させ、この支持ガラスＳＧと、下ステージ３の支持面６に支持されるガラスフィルムＧＦとを密着させることにより、ガラスフィルム積層体ＬＧを形成できる。

　ガラスフィルム積層体ＬＧを形成するにあたり、ガラスフィルムＧＦは、樹脂フィルム８を介して下ステージ３の支持面６に支持される。樹脂フィルム８は、支持面６に吸着されることから、この樹脂フィルム８に支持されるガラスフィルムＧＦは、支持ガラスＳＧに密着する際に、その位置がずれることがない。また、ガラスフィルムＧＦと下ステージ３の支持面６との間に樹脂フィルム８を介在させているため、ガラスフィルムＧＦに歪みや泡（気泡）が発生することもない。

　すなわち、樹脂フィルム８を使用することなくガラスフィルムＧＦを支持ガラスＳＧに密着させる場合を考えると、このガラスフィルムＧＦを支持面６に吸着させることになるが、このとき、支持面６における孔６ａ等の面性状がガラスフィルムＧＦに転写され、これによる凹凸等がガラスフィルムＧＦに生じてしまう。したがって、このガラスフィルムＧＦを支持ガラスＳＧに密着させると、ガラスフィルムＧＦに歪が生じ、支持ガラスＳＧとの間で泡（気泡）が発生してしまう。本実施形態では、樹脂フィルム８を下ステージ３の支持面６に吸着させることで、このようなガラスフィルム積層体ＬＧの不良の発生を防止できる。これにより、大型のガラスフィルム積層体ＬＧであっても好適に製造することが可能になる。

　図９及び図１０は、本発明に係るガラスフィルム積層体ＬＧの製造方法及び製造装置１の第２実施形態を示す。本実施形態では、下ステージ３の構成が第１実施形態とは異なる。

　図９に示すように、下ステージ３は、上下動可能なダイヤフラム１９を有する。このダイヤフラム１９はゴム等の弾性体により構成される。ダイヤフラム１９には、複数の孔１９ａが貫通形成されている。ダイヤフラム１９は、図示しないポンプ装置により、この孔１９ａを通じて樹脂フィルム８を吸着できる。

　また、ダイヤフラム１９は、このポンプ装置により、図１０に示すように、上方に凸となるように膨張できる。ダイヤフラム１９は、この膨張により、樹脂フィルム８に支持されているガラスフィルムＧＦを上方に移動させ、上ステージ２に保持される支持ガラスＳＧに密着させる。

　ガラスフィルムＧＦが支持ガラスＳＧに密着すると、上ステージ２は支持ガラスＳＧの保持を解除し、膨張していたダイヤフラム１９は、収縮して元の位置に戻る。これにより、支持ガラスＳＧは、ガラスフィルムＧＦと一体となって、すなわち、ガラスフィルム積層体ＬＧとなってダイヤフラム１９上に載置される。その後、このガラスフィルム積層体ＬＧは、第１実施形態と同様に、第２搬送装置４ｂから第３搬送装置４ｃへと移送される。

　なお、本発明は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、上記した作用効果に限定されるものでもない。本発明は、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

　上記の実施形態では、搬送装置４によりガラスフィルムＧＦを搬送する構成を例示したが、これに限定されず、第１搬送装置４ａ及び第３搬送装置４ｃを省略することも可能である。また、第２搬送装置４ｂにおける駆動部９及び位置変更部１０を省略してもよい。この場合には、ガラスフィルムＧＦは作業員によって下ステージ３の支持面６に載置される。具体的には、ガラスフィルムＧＦよりも大きな矩形の樹脂フィルム８を支持面６に載置した後に、ガラスフィルムＧＦをこの樹脂フィルム８上に載置でき、あるいはガラスフィルムＧＦを矩形の樹脂フィルム８に載置した後に、これらを支持面６に載置できる。

　上記の実施形態では、下ステージ３を昇降装置７によって上昇させることにより、ガラスフィルムＧＦを支持ガラスＳＧに密着させていたが、これに限定されない。例えば、上ステージ２を下ステージ３に向かって下降させることによって、支持ガラスＳＧをガラスフィルムＧＦに密着させ、ガラスフィルム積層体ＬＧを形成してもよい。あるいは、上ステージ２から支持ガラスＳＧを落下させることで、ガラスフィルムＧＦに支持ガラスを密着させてもよい。

　上記の実施形態では、樹脂フィルム８を駆動ローラ１１によって巻き取ることで樹脂フィルム８の移動、回収を行っていたが、これに限定されない。例えば、樹脂フィルム８の表裏面を固定しないニップローラで挟むことで樹脂フィルム８を移動させ、図示しない回収ボックス内にこの樹脂フィルム８を回収しても良い。

　１          ガラスフィルム積層体の製造装置
　２          上ステージ
　３          下ステージ
　４          搬送装置
　４ａ        第１搬送装置（搬入コンベア）
　４ｂ        第２搬送装置
　４ｃ        第３搬送装置（搬出コンベア）
　５          保持面
　６          支持面
　８          樹脂フィルム
１０          位置変更部
ＧＦ          ガラスフィルム
ＬＧ          ガラスフィルム積層体
ＳＧ          支持ガラス

Claims

　保持面を有する上ステージで保持する支持ガラスと、支持面を有する下ステージで支持するガラスフィルムとを積層することによりガラスフィルム積層体を製造する方法であって、
　前記上ステージの前記保持面に前記支持ガラスを吸着させる工程と、
　前記下ステージの前記支持面に樹脂フィルムを載置する工程と、
　前記樹脂フィルム上に前記ガラスフィルムを載置する工程と、
　前記樹脂フィルムを前記下ステージの前記支持面に吸着させる工程と、
　前記樹脂フィルムを前記下ステージの前記支持面に吸着させた後に、前記上ステージに保持されている前記支持ガラスと前記下ステージに支持されている前記ガラスフィルムとを密着させる工程と、
を備えることを特徴とするガラスフィルム積層体の製造方法。
　前記ガラスフィルムを搬送装置によって所定の搬送方向に搬送する工程をさらに備え、
　前記搬送装置は、前記樹脂フィルムを移動させることにより前記ガラスフィルムを搬送する請求項１に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
　前記搬送装置は、前記ガラスフィルムを前記樹脂フィルムに移送する搬入コンベアを含む請求項２に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
　前記搬送装置は、前記ガラスフィルムが載置される前記樹脂フィルムの上下位置を変更する位置変更部を備える請求項２又は３に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
　前記位置変更部は、前記樹脂フィルムによって前記ガラスフィルムを前記下ステージの前記支持面に向かって搬送するときに前記樹脂フィルムが前記支持面から離間するように前記樹脂フィルムを上昇させ、前記樹脂フィルムを前記支持面に吸着させるときに上昇させた前記樹脂フィルムを下降させる請求項４に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
　前記位置変更部は、前記下ステージの上流側で前記樹脂フィルムを支持する昇降可能な第１支持部と、前記下ステージの下流側で前記樹脂フィルムを支持する昇降可能な第２支持部とを備え、前記樹脂フィルムを下降させるときに、前記第１支持部を下降させた後に前記第２支持部を下降させる請求項５に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
　前記搬送装置は、前記支持ガラスと前記ガラスフィルムとを密着させてなるガラスフィルム積層体を前記樹脂フィルムから搬出する搬出コンベアを含む請求項２から６のいずれか１項に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
　前記搬出コンベアによって前記樹脂フィルム上の前記ガラスフィルム積層体を搬出するときに、前記位置変更部は、前記樹脂フィルムが前記支持面から離間するように、前記樹脂フィルムを上昇させる請求項７に記載のガラスフィルム積層体の製造方法。
　ガラスフィルムと支持ガラスとを有するガラスフィルム積層体を製造する装置であって、
　前記支持ガラスを吸着する保持面を有する上ステージと、樹脂フィルムを介して前記ガラスフィルムを支持する支持面を有する下ステージと、を備え、
　前記下ステージの前記支持面は、前記樹脂フィルムを吸着するように構成され、
　前記支持面によって前記樹脂フィルムを吸着した状態で、前記上ステージに保持される前記支持ガラスと、前記下ステージに支持されるガラスフィルムとを密着させることによりガラスフィルム積層体を形成することを特徴とするガラスフィルム積層体の製造装置。