KR101415612B1 - 평판 시트 합착 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법 - Google Patents

평판 시트 합착 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 평판 시트 합착 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 평판 시트 합착 장치는 캐리어 시트가 장착되는 스테이지; 상기 캐리어 시트를 상기 스테이지 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재; 상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치; 복수의 흡착 영역을 구비하고, 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 상기 복수의 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 합착시키는 흡착 스테이지; 상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 제 2 이송 부재; 및 상기 흡착 스테이지 상에 제공되며, 상기 합착액을 경화시키는 경화 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

평판 시트 합착 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법{Apparatus and Method of Bonding Flat Panel Sheet, and Manufacturing Apparatus and Method of Bonded Sheet Having the Same}
본 발명은 평판 시트 합착 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 접착액이 도포된 캐리어 시트 상에 미리 정해진 얇은 두께를 갖는 평판 시트를 제공한 후 진공 흡착과 해제, 및 선택적으로 에어 공급을 이용하여 합착함으로써, 평판 시트가 후속 포토 공정에 사용하기에 충분한 두께의 확보가 가능하며, 종래 기술에서 평판 시트의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 보호막 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막 제거(stripping) 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하고, 실질적으로 사용이 불가능한 라미네이션 롤 방식의 합착 방법을 대체할 수 있으며, 그에 따라 평판 시트의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소되고, 대면적 글래스 시트의 제조에 적합하고 또한 양산이 가능한 평판 시트 합착 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법에 관한 것이다.
정보화 사회의 발전에 따라, 영상 정보를 출력하는 디스플레이 장치에 대한 요구가 다양해지면서 기존의 음극선관(CRT: Cathode Ray Tube)을 대체하는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP: Plasma Display Panel), 액정 디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display), 전계 방출 디스플레이(FED: Field Emission Display), 유기 발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode), PC용 모니터, 태블릿(Tablet) PC용 모니터, 휴대폰, 및 스마트폰 등과 같은 여러가지 평판디스플레이(FPD)가 등장하였다.
상술한 여러 가지 FPD 중에서 휴대폰 화면에서부터 대형 TV 화면에까지 다양하게 쓰이고 있는 PDP, LCD, 또는 유기발광소자(OLED)가 가장 대표적인 평판디스플레이(FPD)로 사용되고 있다.
상술한 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 먼저 베어 글래스(bare glass)와 같은 평판 시트(flat panel sheet)의 상부에 다양한 패턴을 형성한 후 커버 글래스(cover glass)와 같은 상부 시트를 합착하여야 한다.
좀 더 구체적으로, 도 1a는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 포토 인라인 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위한 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 먼저 복수의 평판 시트(110)를 포토 인라인 장치(101)로 제공한다(도 1a 참조). 그 후, 평판 시트(110)를 포토 인라인 장치(101) 상에서 화살표 방향을 따라 순차적으로 이송하면서 평판 시트(110) 상에 필요한 다양한 패턴(120)을 형성한다(도 1b 참조). 이 경우, 평판 시트(110)는 예를 들어 0.8mm의 초기 두께(Ti)를 갖는다.
그 후, 포토 인라인 장치(101)로부터 평판 시트(110)를 보호막 증착 장치(미도시)로 이송하여 패턴(120)을 보호하기 위해 보호막(130)을 형성한다(도 1b 참조). 그 후, 평판 시트(110)를 식각 장치(미도시)로 이송한 후, 평판 시트(110)의 두께를 감소시키기 위해 식각액(142)이 담긴 시각조(140) 내로 이송한다(도 1b 참조). 그 후, 평판 시트(110)의 하부면이 식각액(142)에 의해 식각되어 두께(Tf)가 예를 들어 0.4mm로 감소된다(도 1c 참조).
그 후, 평판 시트(110)의 하부면에 대한 세정 공정이 이루어지고, 평판 시트(110)의 패턴(120) 상부에 형성된 보호막(130)이 제거된다(도 1c 참조). 그 후, 평판 시트(110)는 예를 들어 커버 글래스 합착과 같은 후속 공정에 사용되어 최종적으로 평판디스플레이(FPD)가 제조될 수 있다.
상술한 바와 같이 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)의 제조에서는, 포토 인라인 장치(101)에서 평판 시트(110) 상에 패턴(120)을 형성하는 선포토 공정이 수행된 후, 식각액(142)을 이용한 식각 공정을 통해 평판 시트(110)의 두께를 줄이는 공정이 수행된다.
그에 따라, 평판 시트(110)의 선포토 공정 후 두께를 감소시키기 위해 보호막(130) 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막(130) 제거 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 필수적으로 요구된다.
또한, 상술한 보호막(130) 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막(130) 제거 공정을 수행하는 도중에 평판 시트(110) 상에 형성된 패턴(120)이 오염 또는 손상 발생 가능성이 높으며, 그로 인하여 최종 제품의 불량 발생 가능성이 높아진다.
또한, 종래 기술에서는 상술한 문제점들로 인하여 평판디스플레이(FPD)의 제조 시간 및 비용이 증가하고 또한 양산이 어렵다는 문제가 발생한다.
상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명자들은 평판 시트(110) 상에 선포토 공정 후 식각 공정을 이용하여 평판 시트(110)의 두께를 줄이는 대신, 처음부터 0.4mm 이하의 얇은 두께를 갖는 평판 시트(110)를 사용할 수 있는 방안을 고려하게 되었다.
상술한 방안은 1) 먼저 얇은 두께를 갖는 평판 시트의 하부에 캐리어 시트를 합착하는 공정, 2) 합착 시트를 포토 인라인 장치에 제공하여 후포토 공정을 수행하는 공정, 3) 평판 시트에서 캐리어 시트를 탈착시키는 공정을 포함한다.
따라서, 상술한 바와 같이 얇은 두께를 갖는 평판 시트의 하부에 캐리어 시트를 합착하는 공정을 수행하기 위한 적합한 장치를 고려하였다.
도 2a는 종래 기술에 따른 라미네이팅 롤을 구비한 합착 장치를 사용하여 평판 시트를 캐리어 시트 상에 합착하는 것을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2b는 평판 시트와 캐리어 시트가 합착된 합착 시트를 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 종래 기술에 따른 합착 장치(200)는 라미네이팅 롤(250)을 구비한다. 먼저, 합착 장치(200)의 스테이지(224) 상에 캐리어 시트(220)를 진공 흡착 방식으로 고정시킨 후, 캐리어 시트(220) 상에 합착액(221)을 도포한다. 그 후, 평판 시트(210)를 스테이지(224) 상으로 이송시켜 평판 시트(210)의 일측 단부는 스테이지(224) 상에 위치되는 제 1 지지 장치(260)에 지지하고, 평판 시트(210)의 타측 단부는 제 2 지지 장치(262)의 지지롤(264) 상에 지지되도록 위치시킨다. 그 후, 라미네이팅 롤(250)을 평판 시트(210) 상에서 수평 방향으로 가압 이동시켜 평판 시트(210)를 캐리어 시트(220) 상에 합착시킨다. 이 경우, 라미네이팅 롤(250)의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 제 2 지지 장치(262)가 하강한다. 그에 따라, 평판 시트(210)에 접촉하는 지지롤(264)의 높이가 합착 완료 시점에 캐리어 시트(220)의 표면 높이와 실질적으로 동일한 높이로 하강한다. 그 결과, 최종적으로 평판 시트(210)와 캐리어 시트(220)가 합착된 합착 시트(215)가 얻어진다(도 2b 참조).
상술한 종래 기술의 합착 장치(200)를 사용하면, 평판 시트(210)의 두께(Tb)가 예를 들어 0.4.mm이고, 캐리어 시트(220)의 두께(Tc)가 예를 들어 0.5 내지 1mm인 경우, 합착 시트(215)의 두께(Tf)는 적어도 0.9 내지 1.4mm를 유지하므로 합착 시트(215)를 도 1a에 도시된 포토 인라인 장치(101)로 제공하여 후포토 공정을 수행할 수 있다. 이 경우, 평판 시트(210)가 후포토 공정에 사용하기에 충분한 두께가 확보된다는 장점이 달성된다.
그러나, 상술한 종래 기술의 합착 장치(200)를 사용하여 평판 시트(210)와 캐리어 시트(220)와 합착할 경우 여전히 다음과 같은 문제가 발생한다.
1, 종래 기술의 합착 장치(200)에서는, 라미네이팅 롤(250)을 이용하여 압착 방식으로 평판 시트(210)를 캐리어 시트(220) 상에 합착한다. 이 경우, 평판 시트(210)는 매우 얇은 두께(Tb)를 가지므로 자중에 의해 휘어짐이 발생할 뿐만 아니라 라미네이팅 롤(250)의 압착력이 인가되므로 평판 시트(210)에 크랙(crack)이 발생하거나 심한 경우 파손이 발생할 가능성이 매우 높다.
2. 종래 기술의 합착 장치(200)에서는 평판 시트(210)와 캐리어 시트(220)의 합착 시 평판 시트(210)가 제 1 지지 장치(260) 및 제 2 지지 장치(262)에 지지되어야 한다. 이를 위해, 캐리어 시트(220)의 사이즈는 평판 시트(210)의 사이즈보다 작아야 한다. 그에 따라, 평판 시트(210)와 캐리어 시트(220)의 사이즈가 동일한 경우에는 종래 기술의 라미네이팅 롤(250)을 구비한 합착 장치(200)의 사용이 불가능하다.
또한, 평판 시트(210)의 사이즈가 캐리어 시트(220)의 사이즈보다 큰 경우에도, 최종적으로 얻어지는 합착 시트(215)의 양쪽 측면부(215a)에서의 두께(Ti)는 합착 부분의 두께(Tf)에 비해 얇아 상당히 취약하다. 따라서, 후포토 공정을 위해 합착 시트(215)를 이송하거나 후포토 공정 진행 도중 합착 시트(215)를 이송할 경우 합착 시트(215)의 양쪽 측면부(215a)에서 크랙이 발생하거나 심한 경우 파손이 발생할 가능성이 상당히 높아진다.
3. 상술한 1 및 2의 문제점으로 인하여, 종래 기술의 합착 장치(200)는 특히 평판 시트(210)가 대면적 글래스인 경우에 적용하는 것은 실질적으로 불가능하므로, 궁극적으로 대면적 글래스 시트의 양산이 어렵다는 문제가 발생한다.
따라서, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 접착액이 도포된 캐리어 시트 상에 미리 정해진 얇은 두께를 갖는 평판 시트를 제공한 후 진공 흡착과 해제, 및 선택적으로 에어 공급을 이용하여 합착함으로써, 평판 시트가 후속 포토 공정에 사용하기에 충분한 두께의 확보가 가능하며, 종래 기술에서 평판 시트의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 보호막 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막 제거(stripping) 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하고, 실질적으로 사용이 불가능한 라미네이션 롤 방식의 합착 방법을 대체할 수 있으며, 그에 따라 평판 시트의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소되고, 대면적 글래스 시트의 제조에 적합하고 또한 양산이 가능한 평판 시트 합착 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 패턴 평판 시트 합착 장치는 캐리어 시트가 장착되는 스테이지; 상기 캐리어 시트를 상기 스테이지 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재; 상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치; 복수의 흡착 영역을 구비하고, 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 상기 복수의 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 합착시키는 흡착 스테이지; 상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 제 2 이송 부재; 및 상기 흡착 스테이지 상에 제공되며, 상기 합착액을 경화시키는 경화 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 합착 시트의 제조 장치는 캐리어 시트가 장착되는 스테이지; 상기 캐리어 시트를 상기 스테이지 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재; 상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치; 복수의 흡착 영역을 구비하고, 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 상기 복수의 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 합착시키는 흡착 스테이지; 상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 제 2 이송 부재; 상기 흡착 스테이지 상에 제공되며, 상기 합착액을 경화시키는 경화 장치; 상기 평판 시트가 상기 캐리어 시트 상에 합착된 합착 시트를 검사하는 검사 장치; 및 상기 합착 시트를 합착 시트 카세트로 이송하는 제 3 이송 부재를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 평판 시트의 합착 방법은 a) 제 1 이송 부재를 이용하여 캐리어 시트를 스테이지 상으로 이송시킨 후 노즐 장치를 이용하여 상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하는 단계; b) 복수의 흡착 영역을 구비한 흡착 스테이지를 이용하여 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착한 후 제 2 이송 부재를 이용하여 상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 단계; c) 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 대해 얼라인시킨 후, 상기 복수의 흡착 영역의 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 합착액에 접촉시키는 단계; 및 d) 경화 장치를 이용하여 상기 합착액을 경화시켜 상기 평판 시트와 상기 캐리어 시트가 합착된 합착 시트를 얻는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따른 합착 시트의 제조 방법은 a) 제 1 이송 부재를 이용하여 캐리어 시트를 스테이지 상으로 이송시킨 후 노즐 장치를 이용하여 상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하는 단계; b) 복수의 흡착 영역을 구비한 흡착 스테이지를 이용하여 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착한 후 제 2 이송 부재를 이용하여 상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 단계; c) 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 대해 얼라인시킨 후, 상기 복수의 흡착 영역의 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 합착액에 접촉시키는 단계; d) 경화 장치를 이용하여 상기 합착액을 경화시켜 상기 평판 시트와 상기 캐리어 시트가 합착된 합착 시트를 얻는 단계; 및 e) 상기 합착 시트를 검사하고 합착 시트 카세트로 이송하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 평판 시트 합착 장치 및 합착 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법을 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다.
1. 얇은 두께의 평판 시트를 사용하더라도 캐리어 시트에 의해 합착 글래스가 후속 포토 공정에 사용하기에 충분한 두께의 확보가 가능하다.
2. 평판 시트의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 종래 기술의 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하다.
3. 사용이 불가능하거나, 합착 시트의 크랙 및 파손 발생 가능성이 높은 라미네이션 롤 방식의 합착 방법을 대체할 수 있다.
. 평판 시트의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소된다.
5. 대면적 글래스 시트의 제조에 적합할 뿐만 아니라 양산이 가능하다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 포토 인라인 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위한 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 종래 기술에 따른 라미네이팅 롤을 구비한 합착 장치를 사용하여 평판 시트를 캐리어 시트 상에 합착하는 것을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 평판 시트와 캐리어 시트가 합착된 합착 시트를 도시한 도면이다.
도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트 합착 장치 및 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트의 합착 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.
도 3a 내지 도 3h는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트 합착 장치 및 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치 및 제조 방법을 도시한 도면이다.
도 3a 내지 도 3h를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트 합착 장치(300)는 캐리어 시트(320)가 장착되는 스테이지(324); 상기 캐리어 시트(320)를 상기 스테이지(324) 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재(370); 상기 캐리어 시트(320) 상에 합착액(321)을 도포하기 위한 노즐 장치(326); 평판 시트(310)를 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트(310)를 상기 캐리어 시트(320)에 합착시키는 흡착 스테이지(311); 상기 흡착 스테이지(311)를 상기 캐리어 시트(320) 상으로 이동시키는 제 2 이송 부재(372); 및 상기 흡착 스테이지(311) 상에 제공되며, 상기 합착액(321)을 경화시키는 경화 장치(390)를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 장치(301)는 캐리어 시트(320)가 장착되는 스테이지(324); 상기 캐리어 시트(320)를 상기 스테이지(324) 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재(370); 상기 캐리어 시트(320) 상에 합착액(321)을 도포하기 위한 노즐 장치(326); 평판 시트(310)를 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트(310)를 상기 캐리어 시트(320)에 합착시키는 흡착 스테이지(311); 상기 흡착 스테이지(311)를 상기 캐리어 시트(320) 상으로 이송시키는 제 2 이송 부재(372); 상기 흡착 스테이지(311) 상에 제공되며, 상기 합착액(321)을 경화시키는 경화 장치(390); 상기 평판 시트(310)가 상기 캐리어 시트(320) 상에 합착된 합착 시트(315)를 검사하는 검사 장치(392); 및 상기 합착 시트(315)를 합착 시트 카세트(394)로 이송하는 제 3 이송 부재(374)를 포함한다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 사용되는 제 1 이송 부재(370), 제 2 이송 부재(372), 및 제 3 이송 부재(374)는 각각 예를 들어 로봇 암(robot arm) 또는 진공을 이용하여 탈부착이 가능한 픽업 부재(pick-up element)로 구현될 수 있다. 또한, 제 1 이송 부재(370), 제 2 이송 부재(372), 및 제 3 이송 부재(374)는 서로 별개의 이송 부재이거나 또는 하나의 동일한 이송 부재일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 사용되는 평판 시트(310)는 베어 글래스(bare glass)이고, 캐리어 시트(320)는 캐리어 글래스일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트 합착 장치(300) 및 합착 시트 제조 장치(301)는 예를 들어 임의의 2개의 기재(substrate)를 합착하여 합착 기재를 제조하는데 적용될 수 있다는 점에 유의하여야 한다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트 합착 장치(300) 및 방법, 및 이를 구비한 합착 시트 제조 장치(301)를 상세히 기술한다.
다시 도 3a 내지 도 3h를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에서는, 먼저 캐리어 시트 카세트(320a)에 적재된 복수의 캐리어 시트(320)를 제 1 이송 부재(370)를 이용하여 순차적으로 스테이지(324) 상으로 이송한다. 이 경우, 스테이지(324)는 캐리어 시트(320)를 진공 흡착 방식으로 고정 장착한다. 그 후, 노즐 장치(326)를 이용하여 캐리어 시트(320) 상에 합착액(321)을 도포한 후, 복수의 제 1 얼라인 장치(328a)를 이용하여 캐리어 시트(320)를 얼라인시킨다(도 3a 참조).
한편, 흡착 스테이지(311)를 이용하여 평판 시트 카세트(310a)에 적재된 복수의 평판 시트(310)를 진공 흡착 방식으로 흡착 및 지지한 후, 제 2 이송 부재(372)를 이용하여 순차적으로 스테이지(324) 상에 고정 장착된 캐리어 시트(320) 상으로 이송한다(도 3b에 도시된 제 1 실시예 참조). 대안적으로, 제 2 이송 부재(372)를 이용하여 평판 시트 카세트(310a)에 적재된 복수의 평판 시트(310)를 흡착 스테이지(311) 상으로 순차적으로 이송한다. 그 후, 흡착 스테이지(311)는 평판 시트(310)를 진공 흡착 방식으로 흡착 및 지지한 후, 180도 회전한다. 그 후, 흡착 스테이지(311)는 스테이지(324) 상에 고정 장착된 캐리어 시트(320) 상으로 이송한다(도 3c에 도시된 제 2 실시예 참조). 그 후, 복수의 제 2 얼라인 장치(328b)를 이용하여 평판 시트(310)를 캐리어 시트(320)에 대해 얼라인시킨다(도 3c 참조). 평판 시트(310)와 캐리어 시트(320)가 얼라인된 상태가 도 3d에 도시되어 있다.
도 3d를 참조하면, 흡착 스테이지(311)는 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 평판 시트(310)를 캐리어 시트(320) 상에 도포된 합착액(321)에 접촉시킨다. 이를 위해, 흡착 스테이지(311)는 예를 들어 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)을 구비하며, 이러한 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)은 각각 예를 들어 제 1 관로(381)를 통해 진공 펌핑 장치(380)와 연결된다. 또한, 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)과 각각 연결되는 제 1 관로(381) 상에는 복수의 개폐 밸브(384)가 제공되어 있으며, 이러한 복수의 개폐 밸브(384)의 순차적인 개방 및 폐쇄 동작을 통해 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)의 진공 흡착 상태 및 진공 해제 상태가 제어된다.
또한, 복수의 개폐 밸브(384)는 각각 예를 들어 복수의 제 2 에어 관로(383)를 통해 에어 공급 장치(382)와 추가적으로 연결될 수 있다. 이러한 에어 공급 장치(382)는 선택 사양으로 필수적으로 사용되어야 하는 것은 아니다.
상술한 바와 같이, 흡착 스테이지(311)의 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)은 진공 펌핑 장치(380)에 의해 평판 시트(310)를 진공 흡착 상태로 지지한 상태에서, 복수의 개폐 밸브(384)를 순차적으로 개방한다. 그 결과, 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)이 순차적으로 진공 상태가 해제되면서 평판 시트(310)는 자중에 의해 캐리어 시트(320) 상에 도포된 합착액(321)에 접촉된다. 이 때, 상술한 에어 공급 장치(382)를 사용하는 경우, 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)이 순차적으로 진공 상태가 해제됨과 동시에 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)을 통해 에어 가압력이 순차적으로 인가되므로 평판 시트(310)는 자중 및 에어 가압력에 의해 캐리어 시트(320) 상에 도포된 합착액(321)에 더욱 견고하게 접촉된다.
상술한 진공 펌핑 장치(380)의 진공 펌핑 동작 및 해제, 복수의 개폐 밸브(384)의 순차적인 개방 및 폐쇄 동작, 및 에어 공급 장치(382)의 에어 공급 동작은 모두 진공 펌핑 장치(380), 복수의 개폐 밸브(384), 및 에어 공급 장치(382)와 각각 연결되는 컨트롤러(미도시)에 의해 제어된다.
도 3e에는 흡착 스테이지(311) 상에 구비된 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)의 대안적인 실시예가 도시되어 있다. 도 3e에 도시된 실시예에서는, 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)이 흡착 스테이지(311)의 중앙 부분에서 외곽 부분으로 사각형 형상의 흡착 영역으로 도시되어 있다. 따라서, 도 3e의 실시예에서는 복수의 개폐 밸브(384)를 순차적으로 개방하면, 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)이 예를 들어 중앙 부분에서 외곽 부분으로(즉, 제 1 흡착 영역(Z1)에서 제 4 흡착 영역(Z4)으로) 진공 흡착 상태가 해제되면서 평판 시트(310)가 자중에 의해 제 1 흡착 영역(Z1)에서 제 4 흡착 영역(Z4)을 따라 순차적으로 캐리어 시트(320) 상에 도포된 합착액(321)에 접촉된다.
그 후, 흡착 스테이지(311) 상에 제공되는 경화 장치(390)를 이용하여 합착액(321)을 경화시킴으로써 평판 시트(310)가 캐리어 시트(320)에 합착된 합착 시트(315)가 얻어진다(도 3f 참조). 그 후, 합착 시트(315)는 검사 장치(392)를 이용하여 검사된 후, 제 3 이송 부재(374)에 의해 합착 시트 카세트(394)로 이송된다.
상술한 본 발명의 실시예에 의해 제조된 합착 시트(315)는 평판 시트(310)와 캐리어 시트(310)가 합착된 것으로 그 두께가 캐리어 시트(310)에 의해 증가되므로, 도 1a에 도시된 포토 인라인 장치(101)로 제공되어 패턴이 형성되는 후속 포토 공정에 사용될 때 충분한 두께의 확보가 가능하다. 좀 더 구체적으로, 캐리어 시트(310)의 두께가 예를 들어 0.1T 내지 1.0T이고, 평판 시트(310)의 두께가 예를 들어 0.1T 내지 0.4T인 경우에도, 합착 시트(315)의 두께는 0.6T 내지 1.4T를 가지므로 후속 포토 공정에 사용될 때 파손 등의 문제가 발생하지 않는다.
또한, 평판 시트의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 복잡하고 번거로운 별도의 추가 공정의 사용이 불필요할 뿐만 아니라, 포토 공정이 완료된 후 예를 들어 자외선 경화 장치 등을 이용하여 합착액(321)을 용융시켜 캐리어 시트(310)를 평판 시트(310)로부터 분리함으로써, 포토 공정에 의해 패턴이 형성된 얇은 두께의 평판 시트(310)를 얻을 수 있다.
또한, 합착 시트(315)를 구성하는 평판 시트(310) 및 캐리어 시트(310)의 사이즈가 동일한 경우에 적용되므로, 도 2b에 도시된 바와 같은 합착 시트(215)의 양쪽 측면부(215a)에서의 두께(Ti)와 합착 부분의 두께(Tf)와의 차이에 따른 취약성 문제가 발생하지 않는다.
상술한 장점들 인하여, 본 발명은 특히 대면적 글래스 시트의 제조에 적합할 뿐만 아니라 양산이 가능해진다.
도 4a는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트의 합착 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4a를 도 3a 내지 도 3f와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트 합착 방법(400)은 a) 제 1 이송 부재(370)를 이용하여 캐리어 시트(320)를 스테이지(324) 상으로 이송시킨 후 노즐 장치(326)를 이용하여 상기 캐리어 시트(320) 상에 합착액(321)을 도포하는 단계(410); b) 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)을 구비한 흡착 스테이지(311)를 이용하여 평판 시트(310)를 진공 흡착 방식으로 흡착한 후 제 2 이송 부재(372)를 이용하여 상기 흡착 스테이지(311)를 상기 캐리어 시트(320) 상으로 이동시키는 단계(420); c) 상기 평판 시트(310)를 상기 캐리어 시트(320)에 대해 얼라인시킨 후, 상기 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)의 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트(310)를 상기 합착액(321)에 접촉시키는 단계(443); 및 d) 경화 장치(390)를 이용하여 상기 합착액(321)을 경화시켜 상기 평판 시트(310)와 상기 캐리어 시트(320)가 합착된 합착 시트(315)를 얻는 단계(440)를 포함한다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트 합착 방법(400)의 상기 c) 단계에서는 상기 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)이 상기 흡착 스테이지(311)의 중앙 부분에서 외곽 부분으로 사각형 형상의 흡착 영역으로 구현되어, 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하면 상기 중앙 부분에서 상기 외곽 부분으로 상기 진공 흡착 상태가 해제된다.
또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 평판 시트 합착 방법(400)에서, 상기 c) 단계는 c1) 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제함과 동시에 에어 공급 장치(382)를 이용하여 상기 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)에 에어 가압력을 순차적으로 인가하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4b를 도 3a 내지 도 3h와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 방법(401)은 a) 제 1 이송 부재(370)를 이용하여 캐리어 시트(320)를 스테이지(324) 상으로 이송시킨 후 노즐 장치(326)를 이용하여 상기 캐리어 시트(320) 상에 합착액(321)을 도포하는 단계(410); b) 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)을 구비한 흡착 스테이지(311)를 이용하여 평판 시트(310)를 진공 흡착 방식으로 흡착한 후 제 2 이송 부재(372)를 이용하여 상기 흡착 스테이지(311)를 상기 캐리어 시트(320) 상으로 이동시키는 단계(420); c) 상기 평판 시트(310)를 상기 캐리어 시트(320)에 대해 얼라인시킨 후, 상기 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)의 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트(310)를 상기 합착액(321)에 접촉시키는 단계(430); d) 경화 장치(390)를 이용하여 상기 합착액(321)을 경화시켜 상기 평판 시트(310)와 상기 캐리어 시트(320)가 합착된 합착 시트(315)를 얻는 단계(440); 및 e) 상기 합착 시트(315)를 검사하고 합착 시트 카세트(394)로 이송하는 단계(450)를 포함한다.
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 방법(401)의 상기 c) 단계에서는 상기 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)이 상기 흡착 스테이지(311)의 중앙 부분에서 외곽 부분으로 사각형 형상의 흡착 영역으로 구현되어, 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하면 상기 중앙 부분에서 상기 외곽 부분으로 상기 진공 흡착 상태가 해제된다.
또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 합착 시트 제조 방법(401)에서, 상기 c) 단계는 c1) 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제함과 동시에 에어 공급 장치(382)를 이용하여 상기 복수의 흡착 영역(Z1,Z2,Z3,Z4)에 에어 가압력을 순차적으로 인가하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
101: 포토 인라인 장치 110,210,310: 평판 시트 120: 패턴
130: 보호막 140: 식각조 142: 식각액 200: 합착 장치
215,315: 합착 시트 215a; 측면부 220,320: 캐리어 시트
221,321: 합착액 224,324: 스테이지 250: 라미네이팅 롤
260,262: 지지 장치 264: 지지롤 300: 평판 시트 합착 장치
310a: 평판 시트 카세트 311: 흡착 스테이지
320a: 캐리어 시트 카세트 326; 노즐 장치 328a,328b: 얼라인 장치
370,372,374: 이송 부재 380: 진공 펌핑 장치 381: 관로
382: 에어 공급 장치 383: 에어 관로 384: 개폐 밸브
390: 경화 장치 392: 검사 장치 394: 합착 시트 카세트

Claims (18)

  1. 평판 시트 합착 장치에 있어서,
    캐리어 시트가 장착되는 스테이지;
    상기 캐리어 시트를 상기 스테이지 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재;
    상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치;
    복수의 흡착 영역을 구비하고, 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 상기 복수의 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 합착시키는 흡착 스테이지;
    상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 제 2 이송 부재; 및
    상기 흡착 스테이지 상에 제공되며, 상기 합착액을 경화시키는 경화 장치
    를 포함하는 평판 시트 합착 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 흡착 스테이지는 상기 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착 및 지지한 후, 상기 제 2 이송 부재를 이용하여 상기 캐리어 시트 상으로 이송하는 평판 시트 합착 장치.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 평판 시트는 상기 제 2 이송 부재에 의해 상기 흡착 스테이지 상으로 이송되고,
    상기 흡착 스테이지는 상기 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착 및 지지한 후, 180도 회전하여 상기 캐리어 시트 상으로 이송되는
    평판 시트 합착 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 평판 시트는 베어 글래스이고,
    상기 캐리어 시트는 캐리어 글래스인
    평판 시트 합착 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 흡착 스테이지는 복수의 흡착 영역을 구비하고,
    상기 복수의 흡착 영역은 각각 제 1 관로를 통해 진공 펌핑 장치와 연결되며,
    상기 복수의 흡착 영역과 각각 연결되는 상기 제 1 관로 상에는 복수의 개폐 밸브가 제공되는
    평판 시트 합착 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 복수의 개폐 밸브는 각각 복수의 제 2 에어 관로를 통해 에어 공급 장치와 추가적으로 연결되는 평판 시트 합착 장치.
  7. 합착 시트 제조 장치에 있어서,
    캐리어 시트가 장착되는 스테이지;
    상기 캐리어 시트를 상기 스테이지 상으로 이송시키는 제 1 이송 부재;
    상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치;
    복수의 흡착 영역을 구비하고, 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착하며, 상기 복수의 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 합착시키는 흡착 스테이지;
    상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 제 2 이송 부재;
    상기 흡착 스테이지 상에 제공되며, 상기 합착액을 경화시키는 경화 장치;
    상기 평판 시트가 상기 캐리어 시트 상에 합착된 합착 시트를 검사하는 검사 장치; 및
    상기 합착 시트를 합착 시트 카세트로 이송하는 제 3 이송 부재
    를 포함하는 합착 시트 제조 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 흡착 스테이지는 상기 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착 및 지지한 후, 상기 제 2 이송 부재를 이용하여 상기 캐리어 시트 상으로 이송하는 합착 시트 제조 장치.
  9. 제 7항에 있어서,
    상기 평판 시트는 상기 제 2 이송 부재에 의해 상기 흡착 스테이지 상으로 이송되고,
    상기 흡착 스테이지는 상기 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착 및 지지한 후, 180도 회전하여 상기 캐리어 시트 상으로 이송되는
    합착 시트 제조 장치.
  10. 제 7항에 있어서,
    상기 평판 시트는 베어 글래스이고,
    상기 캐리어 시트는 캐리어 글래스인
    평판 시트 합착 장치.
  11. 제 7항 내지 제 10항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 흡착 스테이지는 복수의 흡착 영역을 구비하고,
    상기 복수의 흡착 영역은 각각 제 1 관로를 통해 진공 펌핑 장치와 연결되며,
    상기 복수의 흡착 영역과 각각 연결되는 상기 제 1 관로 상에는 복수의 개폐 밸브가 제공되는
    합착 시트 제조 장치.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 복수의 개폐 밸브는 각각 복수의 제 2 에어 관로를 통해 에어 공급 장치와 추가적으로 연결되는 합착 시트 제조 장치.
  13. 평판 시트 합착 방법에 있어서,
    a) 제 1 이송 부재를 이용하여 캐리어 시트를 스테이지 상으로 이송시킨 후 노즐 장치를 이용하여 상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하는 단계;
    b) 복수의 흡착 영역을 구비한 흡착 스테이지를 이용하여 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착한 후 제 2 이송 부재를 이용하여 상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 단계;
    c) 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 대해 얼라인시킨 후, 상기 복수의 흡착 영역의 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 합착액에 접촉시키는 단계; 및
    d) 경화 장치를 이용하여 상기 합착액을 경화시켜 상기 평판 시트와 상기 캐리어 시트가 합착된 합착 시트를 얻는 단계
    를 포함하는 평판 시트 합착 방법.
  14. 제 13항에 있어서,
    상기 c) 단계에서, 상기 복수의 흡착 영역이 상기 흡착 스테이지의 중앙 부분에서 외곽 부분으로 사각형 형상의 흡착 영역으로 구현되어, 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하면 상기 중앙 부분에서 상기 외곽 부분으로 상기 진공 흡착 상태가 해제되는 평판 시트 합착 방법.
  15. 제 13항 또는 제 14항에 있어서,
    상기 c) 단계는 c1) 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제함과 동시에 에어 공급 장치를 이용하여 상기 복수의 흡착 영역에 에어 가압력을 순차적으로 인가하는 단계를 추가로 포함하는 평판 시트 합착 방법.
  16. 합착 시트 제조 방법에 있어서,
    a) 제 1 이송 부재를 이용하여 캐리어 시트를 스테이지 상으로 이송시킨 후 노즐 장치를 이용하여 상기 캐리어 시트 상에 합착액을 도포하는 단계;
    b) 복수의 흡착 영역을 구비한 흡착 스테이지를 이용하여 평판 시트를 진공 흡착 방식으로 흡착한 후 제 2 이송 부재를 이용하여 상기 흡착 스테이지를 상기 캐리어 시트 상으로 이동시키는 단계;
    c) 상기 평판 시트를 상기 캐리어 시트에 대해 얼라인시킨 후, 상기 복수의 흡착 영역의 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하여 상기 평판 시트를 상기 합착액에 접촉시키는 단계;
    d) 경화 장치를 이용하여 상기 합착액을 경화시켜 상기 평판 시트와 상기 캐리어 시트가 합착된 합착 시트를 얻는 단계; 및
    e) 상기 합착 시트를 검사하고 합착 시트 카세트로 이송하는 단계
    를 포함하는 합착 시트 제조 방법.
  17. 제 16항에 있어서,
    상기 c) 단계에서, 상기 복수의 흡착 영역이 상기 흡착 스테이지의 중앙 부분에서 외곽 부분으로 사각형 형상의 흡착 영역으로 구현되어, 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제하면 상기 중앙 부분에서 상기 외곽 부분으로 상기 진공 흡착 상태가 해제되는 합착 시트 제조 방법.
  18. 제 16항 또는 제 17항에 있어서,
    상기 c) 단계는 c1) 상기 진공 흡착 상태를 순차적으로 해제함과 동시에 에어 공급 장치를 이용하여 상기 복수의 흡착 영역에 에어 가압력을 순차적으로 인가하는 단계를 추가로 포함하는 합착 시트 제조 방법.
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KR960032351U (ko) * 1995-03-20 1996-10-24 현대전자산업주식회사 유리기판 회전장치
KR100836588B1 (ko) 2007-09-28 2008-06-10 주식회사 성진하이메크 글라스패널에의 편광필름 부착장치
KR101158267B1 (ko) 2009-10-26 2012-06-19 주식회사 나래나노텍 기판 부상 유닛에 사용되는 부상 플레이트, 및 이를 구비한 기판 부상 유닛, 기판 이송 장치 및 코팅 장치

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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