KR101362298B1 - 지그 타입 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법 - Google Patents

지그 타입 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 지그 타입 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 기판 합착 장치는 하부 기판이 장착되는 스테이지; 상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치; 클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드; 에어 흡입 관로를 통해 상기 지그 타입 플렉시블 패드의 일측면에 연결되며, 상기 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 제어하는 진공 펌핑 장치; 상기 클램핑 영역을 고정 지지하는 제 1 지지 장치; 상기 지지롤 영역을 지지하는 지지롤; 상기 지지롤을 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치; 및 상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동하여 상기 하부 기판 상에 합착시키는 라미네이팅 롤을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

지그 타입 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법{Apparatus and Method of Bonding Substrates Using Jig-Type Flexible Pad}
본 발명은 지그 타입 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 미리 정해진 얇은 두께를 갖는 상부 기판을 적어도 클램핑 영역, 흡착 영역, 및 지지롤 영역을 구비한 지그 타입 플렉시블 패드를 이용하여 클램핑 영역 및 지지롤 영역을 각각 제 1 지지 장치 및 제 2 지지 장치의 지지롤 상에 지지되도록 위치시킨 후, 라미네이팅 롤을 상부 기판 상에서 수평 방향으로 가압 이동시켜 상부 기판을 하부 기판에 합착시킴으로써, 합착 기판이 후속 포토 공정에 사용하기에 충분한 두께의 확보가 가능하며, 상부 기판의 자중에 의한 영향이 제거되고, 종래 기술에서 상부 기판의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 보호막 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막 제거(stripping) 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하며, 상부 기판과 하부 기판의 사이즈가 동일한 경우에도 라미네이션 롤 방식의 합착 방법의 사용이 가능하고, 그에 따라 상부 기판의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소되며, 대면적 합착 기판의 제조에 적합하고 또한 양산이 가능한 지그 타입 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법에 관한 것이다.
정보화 사회의 발전에 따라, 영상 정보를 출력하는 디스플레이 장치에 대한 요구가 다양해지면서 기존의 음극선관(CRT: Cathode Ray Tube)을 대체하는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP: Plasma Display Panel), 액정 디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display), 전계 방출 디스플레이(FED: Field Emission Display), 유기 발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode), PC용 모니터, 태블릿(Tablet) PC용 모니터, 휴대폰, 및 스마트폰 등과 같은 여러가지 평판디스플레이(FPD)가 등장하였다.
상술한 여러 가지 FPD 중에서 휴대폰 화면에서부터 대형 TV 화면에까지 다양하게 쓰이고 있는 PDP, LCD, 또는 유기발광소자(OLED)가 가장 대표적인 평판디스플레이(FPD)로 사용되고 있다.
상술한 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 먼저 베어 글래스(bare glass)와 같은 하부 기판의 상부에 다양한 패턴을 형성한 후 커버 글래스(cover glass)와 같은 상부 기판을 합착하여야 한다.
좀 더 구체적으로, 도 1a는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 포토 인라인 장치를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 1b 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위한 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1a 내지 도 1c를 참조하면, 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 먼저 복수의 상부 기판(110)을 포토 인라인 장치(101)로 제공한다(도 1a 참조). 그 후, 상부 기판(110)을 포토 인라인 장치(101) 상에서 화살표 방향을 따라 순차적으로 이송하면서 상부 기판(110) 상에 필요한 다양한 패턴(120)을 형성한다(도 1b 참조). 이 경우, 상부 기판(110)은 예를 들어 0.8mm의 초기 두께(Ti)를 갖는다.
그 후, 포토 인라인 장치(101)로부터 상부 기판(110)을 보호막 증착 장치(미도시)로 이송하여 패턴(120)을 보호하기 위해 보호막(130)을 형성한다(도 1b 참조). 그 후, 상부 기판(110)를 식각 장치(미도시)로 이송한 후, 상부 기판(110)의 두께를 감소시키기 위해 식각액(142)이 담긴 시각조(140) 내로 이송한다(도 1b 참조). 그 후, 상부 기판(110)의 하부면이 식각액(142)에 의해 식각되어 두께(Tf)가 예를 들어 0.4mm로 감소된다(도 1c 참조).
그 후, 상부 기판(110)의 하부면에 대한 세정 공정이 이루어지고, 상부 기판(110)의 패턴(120) 상부에 형성된 보호막(130)이 제거된다(도 1c 참조). 그 후, 상부 기판(110)은 예를 들어 상부 기판 합착과 같은 후속 공정에 사용되어 최종적으로 평판디스플레이(FPD)가 제조될 수 있다.
상술한 바와 같이 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)의 제조에서는, 포토 인라인 장치(101)에서 상부 기판(110) 상에 패턴(120)을 형성하는 선포토 공정이 수행된 후, 식각액(142)을 이용한 식각 공정을 통해 상부 기판(110)의 두께를 줄이는 공정이 수행된다.
그에 따라, 상부 기판(110)의 선포토 공정 후 두께를 감소시키기 위해 보호막(130) 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막(130) 제거 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 필수적으로 요구된다.
또한, 상술한 보호막(130) 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막(130) 제거 공정을 수행하는 도중에 상부 기판(110) 상에 형성된 패턴(120)이 오염 또는 손상 발생 가능성이 높으며, 그로 인하여 최종 제품의 불량 발생 가능성이 높아진다.
또한, 종래 기술에서는 상술한 문제점들로 인하여 평판디스플레이(FPD)의 제조 시간 및 비용이 증가하고 또한 양산이 어렵다는 문제가 발생한다.
상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해, 본 발명자들은 상부 기판(110) 상에 선포토 공정 후 식각 공정을 이용하여 상부 기판(110)의 두께를 줄이는 대신, 처음부터 0.4mm 이하의 얇은 두께를 갖는 상부 기판(110)을 사용할 수 있는 방안을 고려하게 되었다.
상술한 방안은 1) 먼저 얇은 두께를 갖는 상부 기판의 하부에 하부 기판을 합착하는 공정, 2) 합착 시트를 포토 인라인 장치에 제공하여 후포토 공정을 수행하는 공정, 3) 상부 기판에서 하부 기판을 탈착시키는 공정을 포함한다.
따라서, 상술한 바와 같이 얇은 두께를 갖는 상부 기판의 하부에 하부 기판을 합착하는 공정을 수행하기 위한 적합한 장치를 고려하였다.
도 2a는 종래 기술에 따른 라미네이팅 롤을 구비한 합착 장치를 사용하여 상부 기판을 하부 기판 상에 합착하는 것을 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2b는 상부 기판과 하부 기판이 합착된 합착 시트를 도시한 도면이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 종래 기술에 따른 합착 장치(200)는 라미네이팅 롤(250)을 구비한다. 먼저, 합착 장치(200)의 스테이지(224) 상에 하부 기판(220)을 진공 흡착 방식으로 고정시킨 후, 하부 기판(220) 상에 합착액(221)을 도포한다. 그 후, 상부 기판(210)을 스테이지(224) 상으로 이송시켜 상부 기판(210)의 일측 단부는 스테이지(224) 상에 위치되는 제 1 지지 장치(260)에 지지하고, 상부 기판(210)의 타측 단부는 제 2 지지 장치(262)의 지지롤(264) 상에 지지되도록 위치시킨다. 그 후, 라미네이팅 롤(250)을 상부 기판(210) 상에서 수평 방향으로 가압 이동시켜 상부 기판(210)을 하부 기판(220) 상에 합착시킨다. 이 경우, 라미네이팅 롤(250)의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 제 2 지지 장치(262)가 하강한다. 그에 따라, 상부 기판(210)에 접촉하는 지지롤(264)의 높이가 합착 완료 시점에 하부 기판(220)의 표면 높이와 실질적으로 동일한 높이로 하강한다. 그 결과, 최종적으로 상부 기판(210)과 하부 기판(220)이 합착된 합착 기판(215)이 얻어진다(도 2b 참조).
상술한 종래 기술의 합착 장치(200)를 사용하면, 상부 기판(210)의 두께(Tb)가 예를 들어 0.4.mm이고, 하부 기판(220)의 두께(Tc)가 예를 들어 0.5 내지 1mm인 경우, 합착 기판(215)의 두께(Tf)는 적어도 0.9 내지 1.4mm를 유지하므로 합착 기판(215)을 도 1a에 도시된 포토 인라인 장치(101)로 제공하여 후포토 공정을 수행할 수 있다. 이 경우, 상부 기판(210)이 후포토 공정에 사용하기에 충분한 두께가 확보된다는 장점이 달성된다.
그러나, 상술한 종래 기술의 합착 장치(200)를 사용하여 상부 기판(210)과 하부 기판(220)을 합착할 경우 여전히 다음과 같은 문제가 발생한다.
1. 종래 기술의 합착 장치(200)에서는, 라미네이팅 롤(250)을 이용하여 압착 방식으로 상부 기판(210)을 하부 기판(220) 상에 합착한다. 이 경우, 상부 기판(210)은 매우 얇은 두께(Tb)를 가지므로 자중에 의해 휘어짐이 발생할 뿐만 아니라 라미네이팅 롤(250)의 압착력이 인가되므로 상부 기판(210)에 크랙(crack)이 발생하거나 심한 경우 파손이 발생할 가능성이 매우 높다.
2. 종래 기술의 합착 장치(200)에서는 상부 기판(210)과 하부 기판(220)의 합착 시 상부 기판(210)이 제 1 지지 장치(260) 및 제 2 지지 장치(262)에 지지되어야 한다. 이를 위해, 하부 기판(220)의 사이즈는 상부 기판(210)의 사이즈보다 작아야 한다. 그에 따라, 상부 기판(210)과 하부 기판(220)의 사이즈가 동일한 경우에는 종래 기술의 라미네이팅 롤(250)을 구비한 합착 장치(200)의 사용이 불가능하다.
또한, 상부 기판(210)의 사이즈가 하부 기판(220)의 사이즈보다 큰 경우에도, 최종적으로 형성된 합착 기판(215)의 양쪽 측면부(215a)에서의 두께(Ti)는 합착 부분의 두께(Tf)에 비해 얇아 상당히 취약하다. 따라서, 후포토 공정을 위해 합착 기판(215)을 이송하거나 후포토 공정 진행 도중 합착 기판(215)을 이송할 경우 합착 기판(215)의 양쪽 측면부(215a)에서 크랙이 발생하거나 심한 경우 파손이 발생할 가능성이 상당히 높아진다.
3. 상술한 1 및 2의 문제점으로 인하여, 종래 기술의 합착 장치(200)는 특히 상부 기판(210)이 대면적 글래스인 경우에 적용하는 것은 실질적으로 불가능하므로, 궁극적으로 대면적 합착 기판의 양산이 어렵다는 문제가 발생한다.
따라서, 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 미리 정해진 얇은 두께를 갖는 상부 기판을 적어도 클램핑 영역, 흡착 영역, 및 지지롤 영역을 구비한 지그 타입 플렉시블 패드를 이용하여 클램핑 영역 및 지지롤 영역을 각각 제 1 지지 장치 및 제 2 지지 장치의 지지롤 상에 지지되도록 위치시킨 후, 라미네이팅 롤을 상부 기판 상에서 수평 방향으로 가압 이동시켜 상부 기판을 하부 기판에 합착시킴으로써, 합착 기판이 후속 포토 공정에 사용하기에 충분한 두께의 확보가 가능하며, 상부 기판의 자중에 의한 영향이 제거되고, 종래 기술에서 상부 기판의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 보호막 형성 공정, 식각(etching) 공정, 세정 공정, 및 보호막 제거(stripping) 공정과 같은 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하며, 상부 기판과 하부 기판의 사이즈가 동일한 경우에도 라미네이션 롤 방식의 합착 방법을 사용이 가능하고, 그에 따라 상부 기판의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소되며, 대면적 합착 기판의 제조에 적합하고 또한 양산이 가능한 지그 타입 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 기판 합착 장치는 하부 기판이 장착되는 스테이지; 상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치; 클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드; 에어 흡입 관로를 통해 상기 지그 타입 플렉시블 패드의 일측면에 연결되며, 상기 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 제어하는 진공 펌핑 장치; 상기 클램핑 영역을 고정 지지하는 제 1 지지 장치; 상기 지지롤 영역을 지지하는 지지롤; 상기 지지롤을 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치; 및 상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동하여 상기 하부 기판 상에 합착시키는 라미네이팅 롤을 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 기판 합착 장치는 하부 기판이 장착되는 스테이지; 상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치; 클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 상기 흡착 영역의 양 측면에 제공되는 한 쌍의 갭 블록 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드; 에어 흡입 관로를 통해 상기 지그 타입 플렉시블 패드의 일측면에 연결되며, 상기 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 제어하는 진공 펌핑 장치; 상기 클램핑 영역을 고정 지지하는 제 1 지지 장치; 상기 지지롤 영역을 지지하는 지지롤; 상기 지지롤을 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치; 및 상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동하여 상기 하부 기판 상에 합착시키는 라미네이팅 롤을 포함하고, 상기 한 쌍의 갭 블록 영역은 상기 상부 기판이 상기 하부 기판에 합착될 때 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 간의 갭을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 기판의 합착 방법은 a) 하부 기판을 스테이지 상에 장착한 후 노즐 장치를 이용하여 상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하는 단계; b) 클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드를 이용하여 상기 상부 기판을 상기 흡착 영역에 진공 흡착 방식으로 흡착하는 단계; c) 상기 지그 타입 플렉시블 패드를 상기 하부 기판 상으로 이송하여 상기 상부 기판이 경사 상태를 유지하도록 상기 클램핑 영역을 제 1 지지 장치에 지지시키고, 상기 지지롤 영역을 제 2 지지 장치의 지지롤 상에 지지시키는 단계; d) 라미네이팅 롤을 이용하여 상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동시키면서 상기 라미네이팅 롤의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 상기 제 2 지지 장치를 하강시켜 상기 상부 기판을 상기 하부 기판에 합착시키는 단계; 및 e) 상기 상부 기판의 진공 흡착 상태를 해제하여 상기 상부 기판을 상기 흡착 영역으로부터 분리하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따른 기판의 합착 방법은 a) 하부 기판을 스테이지 상에 장착한 후 노즐 장치를 이용하여 상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하는 단계; b) 클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 상기 흡착 영역의 양 측면에 제공되는 한 쌍의 갭 블록 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드를 이용하여 상기 상부 기판을 상기 흡착 영역에 진공 흡착 방식으로 흡착하는 단계; c) 상기 지그 타입 플렉시블 패드를 상기 하부 기판 상으로 이송하여 상기 상부 기판이 경사 상태를 유지하도록 상기 클램핑 영역을 제 1 지지 장치에 지지시키고, 상기 지지롤 영역을 제 2 지지 장치의 지지롤 상에 지지시키는 단계; d) 라미네이팅 롤을 이용하여 상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동시키면서 상기 라미네이팅 롤의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 상기 제 2 지지 장치를 하강시켜 상기 상부 기판을 상기 하부 기판에 합착시키는 단계; 및 e) 상기 상부 기판의 진공 흡착 상태를 해제하여 상기 상부 기판을 상기 흡착 영역으로부터 분리하는 단계를 포함하되, 상기 한 쌍의 갭 블록 영역은 상기 상부 기판이 상기 하부 기판에 합착될 때 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 간의 갭을 일정하게 유지하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 지그 타입 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법을 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다.
1. 얇은 두께의 상부 기판을 사용하더라도 하부 기판에 의해 합착 글래가 후속 포토 공정에 사용하기에 충분한 두께의 확보가 가능하다.
2. 지그 타입의 플렉시블 패드를 사용하므로 합착 시 상부 기판의 자중에 의한 영향이 제거될 뿐만 아니라, 상부 기판에 크랙(crack) 발생 또는 파손 발생 가능성이 실질적으로 제거된다.
3. 상부 기판의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 종래 기술의 복잡하고 번거로운 공정의 사용이 불필요하다.
4. 상부 기판 및 하부 기판이 동일한 사이즈인 경우에도 라미네이션 롤 방식의 합착 방법의 사용이 가능하다.
5. 상부 기판의 파손 등이 방지되어 최종 제품의 전체 제조 비용 및 제조 시간이 크게 감소된다.
6. 대면적 합착 기판의 제조에 적합할 뿐만 아니라 양산이 가능하다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1a는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위해 사용되는 포토 인라인 장치를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 1b 내지 도 1c는 종래 기술에 따른 평판디스플레이(FPD)를 제조하기 위한 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2a는 종래 기술에 따른 라미네이팅 롤을 구비한 합착 장치를 사용하여 상부 기판을 하부 기판 상에 합착하는 것을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 상부 기판과 하부 기판이 합착된 합착 기판을 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드를 설명하기 위한 도면이다.
도 3b는 도 3a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드의 대안적인 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 3c 내지 도 3g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치 및 방법을 도시한 도면이다.
도 3h는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드를 설명하기 위한 도면이다.
도 3i는 도 3h에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드의 대안적인 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 4a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판의 합착 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판의 합착 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.
도 3a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드를 설명하기 위한 도면이고, 도 3b는 도 3a에 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드의 대안적인 실시예를 설명하기 위한 도면이며, 도 3c 내지 도 3g는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치 및 방법을 도시한 도면이다.
도 3a 내지 도 3g를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치(300)는 하부 기판(320)이 장착되는 스테이지(324); 상기 하부 기판(320) 상에 합착액(321)을 도포하기 위한 노즐 장치(326); 클램핑 영역(311a), 상부 기판(310)을 진공 흡착하는 흡착 영역(311c), 및 지지롤 영역(311b)을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드(311); 에어 흡입 관로(381)를 통해 상기 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 일측면에 연결되며, 상기 흡착 영역(311c)의 진공 흡착 상태를 제어하는 진공 펌핑 장치(380); 상기 클램핑 영역(311a)을 고정 지지하는 제 1 지지 장치(360); 및 상기 지지롤 영역(311b)을 지지하는 지지롤(364); 상기 지지롤(364)을 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치(362); 및 상기 상부 기판(310)을 가압하면서 상기 상부 기판(310) 상에서 수평 방향으로 이동하여 상기 하부 기판(320) 상에 합착시키는 라미네이팅 롤(350)을 포함한다.
이하에서는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치(300)에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 3a를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 지그 타입 플렉시블 패드(311)는 클램핑 영역(311a), 흡착 영역(311c), 및 지지롤 영역(311b)을 구비한다. 흡착 영역(311c)은 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 일측면에 연결되는 에어 흡입 관로(381)를 통해 진공 펌핑 장치(380)와 연결된다. 에어 흡입 관로(381) 상에는 개폐 밸브(384)가 제공되어 있으며, 이러한 개폐 밸브(384)의 개방 및 폐쇄 동작을 통해 흡착 영역(311c)의 진공 흡착 상태 및 진공 해제 상태가 제어된다. 지그 타입 플렉시블 패드(311)가 상부 기판(310) 상으로 이동한 후 진공 펌핑 장치(380)에 의해 진공 펌핑이 이루어지면 상부 기판(310)은 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 흡착 영역(311c)에 흡착 고정된다.
또한, 개폐 밸브(384)는 예를 들어 에어 공급 관로(383)를 통해 에어 공급 장치(382)와 연결된다. 이러한 에어 공급 장치(382)의 사용은 선택 사양으로 필수적으로 사용되어야 하는 것은 아니라는 점에 유의하여야 한다.
상술한 진공 펌핑 장치(380)의 진공 펌핑 및 해제 동작, 개폐 밸브(384)의 개방 및 폐쇄 동작, 및 에어 공급 장치(382)의 에어 공급 및 차단 동작은 모두 진공 펌핑 장치(380), 개폐 밸브(384), 및 에어 공급 장치(382)와 각각 연결되는 컨트롤러(미도시)에 의해 제어된다.
또한, 도 3b를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예의 대안적인 실시예에서는, 진공 펌핑 장치(380) 및 에어 공급 장치(382)가 각각 에어 흡입 관로(381) 및 에어 공급 관로(383)를 통해 흡착 영역(311c)에 개별적으로 연결된다. 그에 따라, 에어 흡입 관로(381) 상에는 제 1 개폐 밸브(384a)가 제공되고, 에어 공급 관로(381) 상에는 제 2 개폐 밸브(384b)가 제공된다. 따라서, 진공 펌핑 장치(380)의 진공 펌핑 및 해제 동작과 제 1 개폐 밸브(384a)의 개방 및 폐쇄 동작, 및 에어 공급 장치(382)의 에어 공급 및 차단 동작과 제 2 개폐 밸브(384b)의 개방 및 폐쇄 동작은 각각 개별적으로 제어된다.
한편, 도 3a 및 도 3b에 도시된 실시예에서, 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 흡착 영역(311c)의 폭(Wc)은 상부 기판(310)의 폭(Wg)과 동일하다.
이하에서는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 장치(300) 및 방법을 상세히 기술한다.
다시 도 3a 내지 도 3g를 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에서는, 먼저 스테이지(324) 상에 하부 기판(320)을 진공 흡착 방식으로 고정 장착시킨 후, 노즐 장치(326)를 이용하여 하부 기판(320) 상에 합착액(321)을 도포한다(도 3c 참조).
또한, 지그 타입 플렉시블 패드(311)를 상부 기판(310) 상으로 이송한 후 도 3a 또는 도 3b에 도시된 진공 펌핑 장치(380)를 이용하여 상부 기판(310)을 흡착 영역(311c)에 진공 흡착한다(도 3c 참조). 그 후, 상부 기판(310)이 흡착된 지그 타입 플렉시블 패드(311)를 하부 기판(320) 상으로 이송하여 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 클램핑 영역(311a)은 제 1 지지 장치(360)에 지지되고, 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 지지롤 영역(311b)은 제 2 지지 장치(262)의 지지롤(264) 상에 지지되도록 위치시킨다(도 3d 참조). 이 경우, 지지롤(264) 상에 지지된 지지롤 영역(311b)의 높이가 제 1 지지 장치(360)에 지지된 클램핑 영역(311a)의 높이보다 더 높아, 지그 타입 플렉시블 패드(311)에 진공 흡착된 상부 기판(310)은 경사 상태를 유지한다. 또한, 이 상태에서 클램핑 영역(311a)에 가까운 상부 기판(310)의 일측면은 하부 기판(320) 상에 도포된 합착액(321)과 접촉하거나 또는 약간 이격되어 위치될 수 있다.
그 후, 라미네이팅 롤(350)을 상부 기판(310)을 가압하면서 상부 기판(310) 상에서 수평 방향으로 이동시켜 상부 기판(310)을 하부 기판(320)을 합착시킨다(도 3e 및 도 3f 참조). 이 경우, 라미네이팅 롤(350)의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 제 2 지지 장치(362)가 하강한다. 그에 따라, 상부 기판(310)에 접촉하는 지지롤(364)의 높이가 합착 완료 시점에 하부 기판(320)의 표면 높이와 실질적으로 동일한 높이로 하강한다(도 3f 참조). 본 발명에서는 상부 기판(310)과 하부 기판(320)의 합착 완료 시점까지 지그 타입 플렉시블 패드(311)는 상부 기판(310)의 진공 흡착 상태를 계속 유지한다는 점에 유의하여야 한다.
그 후, 진공 펌핑 장치(380)의 진공 흡착 상태를 해제시키면 상부 기판(310)이 지그 타입 플렉시블 패드(311)와 분리되면서 최종적으로 상부 기판(310)과 하부 기판(320)이 합착된 합착 기판(315)이 형성된다(도 3g 참조). 이 때, 상술한 에어 공급 장치(382)를 사용하는 경우, 흡착 영역(311c)에서 진공 상태가 해제됨과 동시에 에어 가압력이 인가되므로 상부 기판(310)은 에어 가압력에 의해 하부 기판(320) 상에 도포된 합착액(321)에 더욱 견고하게 접촉된다.
그 후, 스테이지의 상부에 제공되는 가경화 장치(미도시)를 이용하여 합착 기판(315)의 4측면을 가경화시킨 후, 합착 기판(315)을 본경화 장치(미도시)로 이송하여 본경화를 수행한다.
도 3h는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드를 설명하기 위한 도면이고, 도 3i는 도 3h에 도시된 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드의 대안적인 실시예를 설명하기 위한 도면이다.
도 3h 및 도 3i를 도 3c 내지 도 3g와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 장치(300)는 하부 기판(320)이 장착되는 스테이지(324); 상기 하부 기판(320) 상에 합착액(321)을 도포하기 위한 노즐 장치(326); 클램핑 영역(311a), 상부 기판(310)을 진공 흡착하는 흡착 영역(311c), 상기 흡착 영역(311c)의 양 측면에 제공되는 한 쌍의 갭 블록 영역(311d), 및 지지롤 영역(311b)을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드(311); 에어 흡입 관로(381)를 통해 상기 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 일측면에 연결되며, 상기 흡착 영역(311c)의 진공 흡착 상태를 제어하는 진공 펌핑 장치(380); 상기 클램핑 영역(311a)을 고정 지지하는 제 1 지지 장치(360); 및 상기 지지롤 영역(311b)을 지지하는 지지롤(364); 상기 지지롤(364)을 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치(362); 및 상기 상부 기판(310)을 가압하면서 상기 상부 기판(310) 상에서 수평 방향으로 이동하여 상기 하부 기판(320) 상에 합착시키는 라미네이팅 롤(350)을 포함한다.
도 3h 및 도 3i는 이하에서는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 장치(300)에 사용되는 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.
다시 도 3h 및 도 3i를 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 지그 타입 플렉시블 패드(311)가 흡착 영역(311c)의 양 측면에 제공되는 한 쌍의 갭 블록 영역(311d)을 추가로 구비한다는 점을 제외하고는 도 3a 및 도 3b에 각각 도시된 본 발명의 제 1 실시예에 따른 지그 타입 플렉시블 패드(311)와 실질적으로 동일하므로, 양자의 차이점을 제외한 동일한 구성요소 및 동작에 대해서는 그 설명을 생략하기로 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 지그 타입 플렉시블 패드(311)에 사용되는 한 쌍의 갭 블록 영역(311d)은 라미네이팅 롤(350)을 이용하여 상부 기판(310)을 가압하면서 상부 기판(310) 상에서 수평 방향으로 이동시켜 상부 기판(310)을 하부 기판(320)을 합착시킬 때, 상부 기판(310)이 과도하게 가압되거나 불균일하게 가압되는 것을 방지하여 상부 기판(310)이 합착액(321)을 개재하여 하부 기판(320) 상에 일정한 갭을 유지하면서 합착되도록 해준다.
좀 더 구체적으로, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 지그 타입 플렉시블 패드(311)는 흡착 영역(311c)의 양 측면에 한 쌍의 갭 블록 영역(311d)을 구비한다. 그에 따라, 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 폭(W)은 흡착 영역(311c)의 폭(Wc)과 2x 하나의 갭 블록 영역(311d)의 폭(Wd)의 합(sum)으로, W = Wc + 2Wd로 주어진다. 여기서, 흡착 영역(311c)의 폭(Wc)은 상부 기판(310)의 폭(Wg)과 동일하다. 지그 타입 플렉시블 패드(311)가 한 쌍의 갭 블록 영역(311d)을 구비하므로, 라미네이팅 롤(350)이 상부 기판(310)을 가압하면서 상부 기판(310) 상에서 수평 방향으로 이동할 때, 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 흡착 영역(311c)에서는 상부 기판(310)이 하부 기판(320)에 의해 지지되지만, 한 쌍의 갭 블록 영역(311d)에서는 상부 기판(310)이 지지되지 않는다. 따라서, 예를 들어 라미네이팅 롤(350)이 상부 기판(310)을 과도하게 가압하는 경우, 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 한 쌍의 갭 블록 영역(311d)이 흡착 영역(311c)보다 더 아래로 휘어지면서 흡착 영역(311c)이 상방향으로 힘을 받게 된다. 그 결과, 라미네이팅 롤(350)은 흡착 영역(311c)에서 상부 기판(310)을 일정 높이 이하로 가압하는 것이 방지된다. 이러한 갭 블록 영역(311d)의 기능은 라미네이팅 롤(350)이 상부 기판(310)을 불균일하게 가압하는 경우에도 적용된다. 이러한 방식으로, 한 쌍의 갭 블록 영역(311d)은 상부 기판(310)을 하부 기판(320)에 합착할 때 상부 기판(310)과 하부 기판(320) 간의 갭을 일정하게 유지할 수 있다.
상술한 본 발명의 실시예들에 사용되는 상부 기판(310)은 예를 들어 베어 글래스(bare glass)이고, 하부 기판(320)은 캐리어 글래스(carrier glass)일 수 있지만, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치(300)는 예를 들어 임의의 2개의 기판을 합착하여 합착 기판을 제조하는데 적용될 수 있다는 점에 유의하여야 한다.
또한, 상술한 본 발명의 실시예들에 따라 제조된 합착 기판(315)은 상부 기판(310)과 하부 기판(320)이 합착된 것으로 그 두께가 하부 기판(320)에 의해 증가되므로, 도 1a에 도시된 포토 인라인 장치(101)로 제공되어 패턴이 형성되는 후속 포토 공정에 사용될 때 충분한 두께의 확보가 가능하다. 좀 더 구체적으로, 하부 기판(320)의 두께가 예를 들어 0.1T 내지 1.0T이고, 상부 기판(310)의 두께가 예를 들어 0.1T 내지 0.4T인 경우에도, 합착 기판(315)의 두께는 0.6T 내지 1.4T를 가지므로 후속 포토 공정에 사용될 때 파손 등의 문제가 발생하지 않는다.
또한, 상부 기판(310)은 합착이 완료될 때까지 지그 타입 플렉시블 패드(311)에 의해 진공 흡착되므로 상부 기판(310)의 자중에 의한 영향이 제거된다. 따라서, 대면적 기판의 합착 시에도 용이하게 적용할 수 있다.
또한, 베어 글라스와 같은 상부 기판(310)의 포토 공정 후 두께를 감소시키기 위한 복잡하고 번거로운 별도의 추가 공정의 사용이 불필요할 뿐만 아니라, 포토 공정이 완료된 후 예를 들어 자외선 경화 장치 등을 이용하여 합착액(321)을 용융시켜 하부 기판(320)을 상부 기판(310)로부터 분리함으로써, 포토 공정에 의해 패턴이 형성된 얇은 두께의 상부 기판(310)(즉, 패턴이 형성된 베어 글래스)을 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에서는 상부 기판(310) 대신 지그 타입 플렉시블 패드(311)의 클램핑 영역(311a) 및 지지롤 영역(311b)이 각각 제 1 지지 장치(360) 및 지지롤(364)에 지지되므로, 본 발명은 합착 기판(315)을 구성하는 상부 기판(310) 및 하부 기판(320)의 사이즈가 동일한 경우에도 적용될 수 있다. 그 결과, 도 2b에 도시된 바와 같은 합착 기판(215)의 양쪽 측면부(215a)에서의 두께(Ti)와 합착 부분의 두께(Tf)와의 차이에 따른 취약성 문제가 발생하지 않는다.
상술한 장점들로 인하여, 본 발명은 특히 대면적 합착 기판의 제조에 적합할 뿐만 아니라 양산이 가능해진다.
도 4a는 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4a를 도 3a 내지 도 3g와 함께 참조하면, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 방법(400)은 a) 하부 기판(320)을 스테이지(324) 상에 장착한 후 노즐 장치(326)를 이용하여 상기 하부 기판(320) 상에 합착액(321)을 도포하는 단계(410); b) 클램핑 영역(311a), 상부 기판(310)을 진공 흡착하는 흡착 영역(311c), 및 지지롤 영역(311b)을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드(311)를 이용하여 상기 상부 기판(310)을 상기 흡착 영역(311c)에 진공 흡착 방식으로 흡착하는 단계(420); c) 상기 지그 타입 플렉시블 패드(311)를 상기 하부 기판(320) 상으로 이송하여 상기 상부 기판(310)이 경사 상태를 유지하도록 상기 클램핑 영역(311a)을 제 1 지지 장치(360)에 지지시키고, 상기 지지롤 영역(311b)을 제 2 지지 장치(262)의 지지롤(264) 상에 지지시키는 단계(430); d) 라미네이팅 롤(350)을 이용하여 상기 상부 기판(310)을 가압하면서 상기 상부 기판(310) 상에서 수평 방향으로 이동시키면서 상기 라미네이팅 롤(350)의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 상기 제 2 지지 장치(362)를 하강시켜 상기 상부 기판(310)을 상기 하부 기판(320)에 합착시키는 단계(440); 및 e) 상기 상부 기판(310)의 진공 흡착 상태를 해제하여 상기 상부 기판(310)을 상기 흡착 영역(311c)으로부터 분리하는 단계(450)를 포함한다.
상술한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 방법(400)에서, 상기 d) 단계에서 상기 상부 기판(310)과 상기 하부 기판(320)의 합착 완료 시점까지 상기 지그 타입 플렉시블 패드(311)는 상기 상부 기판(310)의 상기 진공 흡착 상태를 계속 유지한다.
또한, 본 발명의 제 1 실시예에 따른 기판 합착 방법(400)에서, 상기 e) 단계에서 상기 상부 기판(310)의 상기 진공 흡착 상태가 해제됨과 동시에 에어 공급 장치(382)를 이용하여 상기 흡착 영역(311c)에 에어 가압력을 인가하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
도 4b는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 4b를 도 3h 및 도 3i를 도 3c 내지 도 3g와 함께 참조하면, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 방법(400)은 a) 하부 기판(320)을 스테이지(324) 상에 장착한 후 노즐 장치(326)를 이용하여 상기 하부 기판(320) 상에 합착액(321)을 도포하는 단계(410); b) 클램핑 영역(311a), 상부 기판(310)을 진공 흡착하는 흡착 영역(311c), 상기 흡착 영역(311c)의 양 측면에 제공되는 한 쌍의 갭 블록 영역(311d), 및 지지롤 영역(311b)을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드(311)를 이용하여 상기 상부 기판(310)을 상기 흡착 영역(311c)에 진공 흡착 방식으로 흡착하는 단계(420); c) 상기 지그 타입 플렉시블 패드(311)를 상기 하부 기판(320) 상으로 이송하여 상기 상부 기판(310)이 경사 상태를 유지하도록 상기 클램핑 영역(311a)을 제 1 지지 장치(360)에 지지시키고, 상기 지지롤 영역(311b)을 제 2 지지 장치(262)의 지지롤(264) 상에 지지시키는 단계(430); d) 라미네이팅 롤(350)을 이용하여 상기 상부 기판(310)을 가압하면서 상기 상부 기판(310) 상에서 수평 방향으로 이동시키면서 상기 라미네이팅 롤(350)의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 상기 제 2 지지 장치(362)를 하강시켜 상기 상부 기판(310)을 하부 기판(320)을 합착시키는 단계(440); 및 e) 상기 상부 기판(310)의 진공 흡착 상태를 해제하여 상기 상부 기판(310)을 상기 흡착 영역(311c)으로부터 분리하는 단계(450)를 포함하되, 상기 한 쌍의 갭 블록 영역(311d)은 상기 상부 기판(310)이 상기 하부 기판(320)에 합착될 때 상기 상부 기판(310)과 상기 하부 기판(320) 간의 갭을 일정하게 유지한다.
상술한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 방법(400)에서, 상기 d) 단계에서 상기 상부 기판(310)과 상기 하부 기판(320)의 합착 완료 시점까지 상기 지그 타입 플렉시블 패드(311)는 상기 상부 기판(310)의 상기 진공 흡착 상태를 계속 유지한다.
또한, 본 발명의 제 2 실시예에 따른 기판 합착 방법(400)에서, 상기 e) 단계에서 상기 상부 기판(310)의 상기 진공 흡착 상태가 해제됨과 동시에 에어 공급 장치(382)를 이용하여 상기 흡착 영역(311c)에 에어 가압력을 인가하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
101: 포토 인라인 장치 110,210,310: 상부 기판 120: 패턴
130: 보호막 140: 식각조 142: 식각액
200,300: 합착 장치 211: 상부 스테이지 215,315: 합착 기판
215a; 측면부 220,320: 하부 기판 221,321: 합착액
224,324: 스테이지 250,350: 라미네이팅 롤
260,262,360,362: 지지 장치 264,364: 지지롤 310a: 상부 기판 카세트
311: 지그 타입 플렉시블 패드 311a: 클램핑 영역 311b: 지지롤 영역
311c: 흡착 영역 311d: 갭 블록 영역 326: 노즐 장치
380: 진공 펌핑 장치 381: 에어 흡입 관로 382: 에어 공급 장치
383: 에어 공급 관로 384: 개폐 밸브

Claims (16)

  1. 기판 합착 장치에 있어서,
    하부 기판이 장착되는 스테이지;
    상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치;
    클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드;
    에어 흡입 관로를 통해 상기 지그 타입 플렉시블 패드의 일측면에 연결되며, 상기 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 제어하는 진공 펌핑 장치;
    상기 클램핑 영역을 고정 지지하는 제 1 지지 장치;
    상기 지지롤 영역을 지지하는 지지롤;
    상기 지지롤을 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치; 및
    상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동하여 상기 하부 기판 상에 합착시키는 라미네이팅 롤
    을 포함하는 기판 합착 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 흡착 영역은 에어 흡입 관로를 통해 상기 진공 펌핑 장치와 연결되며,
    상기 에어 흡입 관로 상에는 개폐 밸브가 제공되는
    기판 합착 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 개폐 밸브는 에어 공급 관로를 통해 에어 공급 장치와 연결되는 기판 합착 장치.
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 흡착 영역은 각각 에어 흡입 관로 및 에어 공급 관로를 통해 상기 진공 펌핑 장치 및 에어 공급 장치와 개별적으로 연결되며,
    상기 에어 흡입 관로 상에는 제 1 개폐 밸브가 제공되고,
    상기 에어 공급 관로 상에는 제 2 개폐 밸브가 제공되는
    기판 합착 장치.
  5. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상부 기판과 상기 하부 기판의 합착 완료 시점까지 상기 지그 타입 플렉시블 패드는 상기 상부 기판의 상기 진공 흡착 상태를 계속 유지하는 기판 합착 장치.
  6. 기판 합착 장치에 있어서,
    하부 기판이 장착되는 스테이지;
    상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하기 위한 노즐 장치;
    클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 상기 흡착 영역의 양 측면에 제공되는 한 쌍의 갭 블록 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드;
    에어 흡입 관로를 통해 상기 지그 타입 플렉시블 패드의 일측면에 연결되며, 상기 흡착 영역의 진공 흡착 상태를 제어하는 진공 펌핑 장치;
    상기 클램핑 영역을 고정 지지하는 제 1 지지 장치;
    상기 지지롤 영역을 지지하는 지지롤;
    상기 지지롤을 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치; 및
    상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동하여 상기 하부 기판 상에 합착시키는 라미네이팅 롤
    을 포함하고,
    상기 한 쌍의 갭 블록 영역은 상기 상부 기판이 상기 하부 기판에 합착될 때 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 간의 갭을 일정하게 유지하는
    기판 합착 장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 흡착 영역은 에어 흡입 관로를 통해 상기 진공 펌핑 장치와 연결되며,
    상기 에어 흡입 관로 상에는 개폐 밸브가 제공되는
    기판 합착 장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 개폐 밸브는 에어 공급 관로를 통해 에어 공급 장치와 연결되는 기판 합착 장치.
  9. 제 6항에 있어서,
    상기 흡착 영역은 각각 에어 흡입 관로 및 에어 공급 관로를 통해 상기 진공 펌핑 장치 및 에어 공급 장치와 개별적으로 연결되며,
    상기 에어 흡입 관로 상에는 제 1 개폐 밸브가 제공되고,
    상기 에어 공급 관로 상에는 제 2 개폐 밸브가 제공되는
    기판 합착 장치.
  10. 제 6항 내지 제 9항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 상부 기판과 상기 하부 기판의 합착 완료 시점까지 상기 지그 타입 플렉시블 패드는 상기 상부 기판의 상기 진공 흡착 상태를 계속 유지하는 기판 합착 장치.
  11. 기판 합착 방법에 있어서,
    a) 하부 기판을 스테이지 상에 장착한 후 노즐 장치를 이용하여 상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하는 단계;
    b) 클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드를 이용하여 상기 상부 기판을 상기 흡착 영역에 진공 흡착 방식으로 흡착하는 단계;
    c) 상기 지그 타입 플렉시블 패드를 상기 하부 기판 상으로 이송하여 상기 상부 기판이 경사 상태를 유지하도록 상기 클램핑 영역을 제 1 지지 장치에 지지시키고, 상기 지지롤 영역을 제 2 지지 장치의 지지롤 상에 지지시키는 단계;
    d) 라미네이팅 롤을 이용하여 상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동시키면서 상기 라미네이팅 롤의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 상기 제 2 지지 장치를 하강시켜 상기 상부 기판을 상기 하부 기판에 합착시키는 단계; 및
    e) 상기 상부 기판의 진공 흡착 상태를 해제하여 상기 상부 기판을 상기 흡착 영역으로부터 분리하는 단계
    를 포함하는 기판 합착 방법.
  12. 제 11항에 있어서,
    상기 d) 단계에서 상기 상부 기판과 상기 하부 기판의 합착 완료 시점까지 상기 지그 타입 플렉시블 패드는 상기 상부 기판의 상기 진공 흡착 상태를 계속 유지하는 기판 합착 방법.
  13. 제 11항 또는 제 12항에 있어서,
    상기 e) 단계에서 상기 상부 기판의 상기 진공 흡착 상태가 해제됨과 동시에 에어 공급 장치를 이용하여 상기 흡착 영역에 에어 가압력을 인가하는 단계를 추가로 포함하는 기판 합착 방법.
  14. 기판 합착 방법에 있어서,
    a) 하부 기판을 스테이지 상에 장착한 후 노즐 장치를 이용하여 상기 하부 기판 상에 합착액을 도포하는 단계;
    b) 클램핑 영역, 상부 기판을 진공 흡착하는 흡착 영역, 상기 흡착 영역의 양 측면에 제공되는 한 쌍의 갭 블록 영역, 및 지지롤 영역을 구비하는 지그 타입 플렉시블 패드를 이용하여 상기 상부 기판을 상기 흡착 영역에 진공 흡착 방식으로 흡착하는 단계;
    c) 상기 지그 타입 플렉시블 패드를 상기 하부 기판 상으로 이송하여 상기 상부 기판이 경사 상태를 유지하도록 상기 클램핑 영역을 제 1 지지 장치에 지지시키고, 상기 지지롤 영역을 제 2 지지 장치의 지지롤 상에 지지시키는 단계;
    d) 라미네이팅 롤을 이용하여 상기 상부 기판을 가압하면서 상기 상부 기판 상에서 수평 방향으로 이동시키면서 상기 라미네이팅 롤의 수평 방향 이동 속도에 대응하여 상기 제 2 지지 장치를 하강시켜 상기 상부 기판을 상기 하부 기판에 합착시키는 단계; 및
    e) 상기 상부 기판의 진공 흡착 상태를 해제하여 상기 상부 기판을 상기 흡착 영역으로부터 분리하는 단계
    를 포함하되,
    상기 한 쌍의 갭 블록 영역은 상기 상부 기판이 상기 하부 기판에 합착될 때 상기 상부 기판과 상기 하부 기판 간의 갭을 일정하게 유지하는
    기판 합착 방법.
  15. 제 14항에 있어서,
    상기 d) 단계에서 상기 상부 기판과 상기 하부 기판의 합착 완료 시점까지 상기 지그 타입 플렉시블 패드는 상기 상부 기판의 상기 진공 흡착 상태를 계속 유지하는 기판 합착 방법.
  16. 제 14항 또는 제 15항에 있어서,
    상기 e) 단계에서 상기 상부 기판의 상기 진공 흡착 상태가 해제됨과 동시에 에어 공급 장치를 이용하여 상기 흡착 영역에 에어 가압력을 인가하는 단계를 추가로 포함하는 기판 합착 방법.
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