KR101334410B1 - 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법 - Google Patents

기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101334410B1
KR101334410B1 KR1020120112673A KR20120112673A KR101334410B1 KR 101334410 B1 KR101334410 B1 KR 101334410B1 KR 1020120112673 A KR1020120112673 A KR 1020120112673A KR 20120112673 A KR20120112673 A KR 20120112673A KR 101334410 B1 KR101334410 B1 KR 101334410B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
clamping
members
upper substrate
bonding
Prior art date
Application number
KR1020120112673A
Other languages
English (en)
Inventor
이종태
김규정
Original Assignee
주식회사 나래나노텍
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 나래나노텍 filed Critical 주식회사 나래나노텍
Priority to KR1020120112673A priority Critical patent/KR101334410B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101334410B1 publication Critical patent/KR101334410B1/ko

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133—Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333—Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339—Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0204—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work for applying liquid or other fluent material to the edges of essentially flat articles
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs

Abstract

본 발명은 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 장치는 이동 부재에 의해 하부 기판 상으로 이동된 상기 상부 기판의 일측을 클램핑 방식으로 고정 지지하는 제 1 지지 장치; 및 상기 상부 기판의 타측을 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 방법은 a) 이동 부재에 의해 하부 기판 상으로 이동된 상부 기판의 일측을 제 1 지지 장치를 이용하여 클램핑 방식으로 고정 지지하는 단계; 및 b) 상기 상부 기판의 타측을 제 2 지지 장치를 이용하여 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법{Supporting Device and Method of Upper Substrate for Bonding Substrates, and Apparatus and Method of Bonding Substrates Having the Same}
본 발명은 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법에 관한 것이다.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 하부 기판 상에 상부 기판을 합착하기 위해 상부 기판의 일측은 클램핑 유닛을 구비한 제 1 지지 장치를 이용하여 고정 상태로 지지하고, 타측은 롤을 구비한 제 2 지지 장치를 이용하여 승강 가능하게 지지함으로써, 기판 합착 시 상부 기판의 틀어짐 발생이 방지되고, 상부 기판의 파손이 방지되며, 기포 발생이 최소화되거나 방지되고, 합착 기판의 합착 품질이 향상되어 불량 발생 가능성이 크게 감소되는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법에 관한 것이다.
정보화 사회의 발전에 따라, 영상 정보를 출력하는 디스플레이 장치에 대한 요구가 다양해지면서 기존의 음극선관(CRT: Cathode Ray Tube)을 대체하는 플라즈마 디스플레이 패널(PDP: Plasma Display Panel), 액정 디스플레이(LCD: Liquid Crystal Display), 전계 방출 디스플레이(FED: Field Emission Display), 유기 발광 다이오드(OLED: Organic Light Emitting Diode), PC용 모니터, 및 태블릿(Tablet) PC용 모니터 등과 같은 여러 가지 평판표시장치(FPD: Flat Panel Display)가 등장하였다.
상술한 여러 가지 FPD 중에서 휴대폰 화면에서부터 대형 TV 화면에까지 다양하게 쓰이고 있는 PDP 또는 LCD가 가장 대표적인 평판표시장치로 사용되고 있다.
예를 들어, LCD를 제조하기 위해서는 일반적으로 박막 트랜지스터를 구비한 박막 트랜지스터 어레이 기판(제 1 기판)을 준비하는 단계; 컬러 필터층을 구비한 컬러필터 어레이 기판(제 2 기판)을 준비하는 단계; 상기 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계를 포함한다. 이 경우, 제 1 및 제 2 기판을 합착하는 단계는 기판 합착 장치에 의하여 수행된다.
종래 기술에서 사용되는 기판 합착 장치의 일 예로 기판을 고정시키기 위하여 평면형의 스테이지가 사용된다. 이러한 스테이지는 평면형의 정반, 상기 정반에 장착된 정전척(chuck), 및 상기 정반에 형성되어 상기 정전척 사이에 배치된 다수의 홀을 포함한다.
도 1은 종래 기술에 따른 정반을 도시한 사시도이다.
도 1을 참조하면, 종래 기술에 따른 정반(1)은 표면이 평면형의 구조로 형성되어 있고, 상기 표면에는 복수의 홀(2)이 형성되어 있다. 복수의 홀(12)은 진공력을 전달하여 기판을 흡착시켜 고정시킨다.
도 2a 내지 도 2c는 종래 기술에 따른 평면형의 스테이지를 구비한 기판 합착 장치를 이용하여 기판을 합착하는 방법을 도시한 도면이다. 이러한 종래 기술에 따른 평면형의 스테이지를 구비한 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법은 이창훈 등에 의해 2006년 12월 29일자에 "기판 합착 장치 및 기판 합착 방법"이라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제10-2006-0138217호로 출원되어 2008년 7월 3일자에 공개된 대한민국 공개특허 제10-2008-0062424호에 상세히 기술되어 있다.
도 2a 내지 도 2c를 참조하면, 종래 기술에 따른 기판 합착 방법에서는 평면형의 상부 스테이지(10)와 평면형의 하부 스테이지(20) 각각에 제 1 기판(14a)과 제 2 기판(14b)이 고정된다(도2a 참조). 이 경우, 제 1 기판(14a)과 제 2 기판(14b)은 스테이지에 형성된 복수의 홀(도 1 참조)을 통해 전달된 진공력에 의해 스테이지(20)에 고정된다. 제 1 기판(14a)에는 두 기판을 합착시켜 고정시키는 씰(seal)층(16)이 형성되어 있고, 상기 제 2 기판(14b)에는 액정(18)이 적하되어 있다.
그 후, 상부 스테이지(10)를 하강시켜서 제 1 기판(14a)을 제 2 기판(14b)에 근접시킨 후, 하부 스테이지(20)를 좌우 및 전후 방향으로 병진 또는 회전 운동시켜 제 1 기판(14a)과 제 2 기판(14b)이 서로 얼라인(align) 되도록 한다(도 2a 참조). 이 경우, 터보 분자 펌프(TMP: Turbo Molecular Pump) 또는 기계적 부스터 펌프(mechanical booster pump) 등을 사용하여 주변 환경은 진공 환경이 되도록 한다. 주변 환경이 진공 환경이 되면, 진공력에 의하여 기판이 스테이지에 고정되지 못하므로, 상기 스테이지에 장착된 정전척에서 공급하는 정전기력에 의하여 기판이 스테이지에 척킹(chucking)됨으로써 고정된다.
그 후, 상부 스테이지(10)에 고정된 제 1 기판(14a)을 상부 스테이지(10)에서 탈착시킨 후 제 1 기판(14a) 및 제 2 기판(14b)을 합착하고, 상부 스테이지(10)를 상승시킨다(도 2b 참조). 이 경우, 합착된 기판을 탈착시키는 과정은 상기 정전척에서 공급하는 정전기력을 제거하여 합착된 기판을 디척킹(dechucking)시킴으로써 이루어진다. 그 후, N2 가스와 같은 안정한 기체를 사용하여 합착된 기판에 균일하게 압력을 가한다(도 2b 참조). 그 후, 합착된 기판 하부에 UV광(24)을 조사하여 씰층(16)을 경화시킨다(도 2c 참조).
상술한 바와 같은 종래 기술의 기판 합착 방법에 사용되는 공정들은 모두 진공 챔버(chamber)와 같은 진공 환경 하에서 수행된다.
상술한 종래 기술에 따른 기판 합착 장치 및 방법은 진공 환경 하에서 이루어져야 하므로, 진공 챔버, 진공 펌핑 장치, 정전척 등과 같은 장비가 필수적으로 사용되어야 한다. 따라서, 합착 장치의 구성이 복잡해지고, 합착 공정이 증가하여 합착 공정에 요구되는 전체 시간(tact time) 및 비용이 증가한다는 문제가 있었다.
상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 또 다른 종래 기술이 임대경 등에 의해 2011년 5월 12일자에 "유리기판 합착방법 및 유리기판 합착장치"라는 발명의 명칭으로 대한민국 특허출원 제 10-2011-0044754호로 출원되어 2011년 8월 22일자에 등록된 대한민국 특허 제 10-1059952호(이하 "952 특허"라 합니다)에 개시되어 있다.
도 3은 또 다른 종래 기술인 952 특허에 따른 유리기판 합착 방법의 순서도이다.
도 3을 참조하면, 952 특허에 따른 유리기판 합착 방법에서는 상부 기판(110) 또는 하부 기판(120)의 중 어느 일 유리기판의 타 유리기판 방향의 면에 광학 접착(optical clear adhesive, OCA) 필름(130)을 부착하는 S1 단계; 상기 S1 단계에서 일 유리기판에 광학 접착 필름(130)이 부착된 면을 타 유리기판의 일면으로 이송하되, 일 유리기판의 일단이 타단보다 먼저 타 유리기판의 일면에 접촉하는 S2 단계; 및 상기 S2 단계의 일 유리기판의 광학 접착 필름(130)이 부착되지 않은 면을 가압하여 광학 접착 필름(130)을 타 유리기판에 부착시키는 S3 단계를 포함하고 있다.
또한, 952 특허에 따른 유리기판 합착 방법에서는 하부 기판(120)이 하부 스테이지(100) 상에 안착된다. 상부 기판(110)은 상부 스테이지(200) 상에 분리가능하게 흡착된다. 또한, 상부 스테이지(200)의 상부면에 제공되는 롤러(221)를 사용하여 상부 스테이지(200)를 가압한다. 롤러(221)는 롤러 이송 유닛(미도시)에 결합되어 상하 및 좌우로 이동할 수 있다.
상술한 952 특허에 따른 유리기판 합착 방법에서는 상부 기판(110)이 하부 기판(120)의 일단과 맞닿으면 롤러(221)가 롤러 이송 유닛(미도시)에 의해 하강한 후 예를 들어 우측 방향으로 이동하여 상부 스테이지(200)를 순차적으로 가압하게 되어 상부 기판(110)과 하부 기판(120) 사이에 기포가 제거된다.
상술한 952 특허에 따른 유리기판 합착 방법에서는 고가의 진공 장비를 사용할 필요가 없다는 장점이 달성되지만, 여전히 다음과 같은 문제가 발생한다.
좀 더 구체적으로, 952 특허에 따른 유리기판 합착 방법에서는 상부 기판(110)과 하부 기판(120)의 합착을 위해 합착액 대신 투명한 광학 접착(OCA) 필름(130)을 사용한다. 이러한 광학 접착 필름(130)은 양면 접착 필름으로 일면은 상부 기판(110)에 부착되고, 타면은 하부 기판(120)에 부착되어야 한다. 이 경우, 상부 기판(110)을 하부 기판(120)과 경사지게 위치시킨 후 롤러(221)를 이용하여 상부 기판(110) 상에 부착된 광학 접착 필름(130)을 하부 기판(120)과 합착하면, 광학 접착 필름(130)과 하부 기판(120) 사이에 발생할 수 있는 기포가 제거될 수 있다. 그러나, 광학 접착 필름(130) 자체가 상부 기판(110)에 미리 부착되어야 하므로, 필름(130) 상의 광학 접착제(OCA)의 표면의 거칠기로 인하여 광학 접착 필름(130)과 상부 기판(110) 사이에 미세 공간이 형성되어 기포가 발생할 가능성이 높다. 그에 따라, 상부 기판(110) 및 하부 기판(120)이 합착된 기판에 불량이 발생할 수 있다.
또한, 광학 접착 필름(130)과 상부 기판(110) 사이에 기포가 발생하여 합착된 기판에 불량이 발생하면, 상부 기판(110) 및 하부 기판(120)을 분리한 후 광학 접착 필름(130)을 제거하고, 상부 기판(110) 및 하부 기판(120)을 세정하여야 한다. 그 후, 새로운 광학 접착 필름(130)을 사용하여 상술한 합착 방법에 따라 상부 기판(110) 및 하부 기판(120)을 합착하여야 한다. 또는, 불량이 발생한 최종 기판을 폐기하여야 한다. 그 결과, 기판 합착의 공정 시간(tact time)이 길어지거나 비용이 증가한다.
또한, 상부 기판(110)을 경사 상태로 흡착하기 위해서는 상부 스테이지(200)가 롤러(221)와의 기구적인 간섭을 피하기 위해 예를 들어 고가의 진공 장치를 사용하여야 한다.
따라서, 상술한 종래 기술의 기판 합착 방법의 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다.
대한민국 공개 특허 제 10-2008-0062424호 대한민국 특허 제 10-1059952호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 하부 기판 상에 상부 기판을 합착하기 위해 상부 기판의 일측은 클램핑 유닛을 구비한 제 1 지지 장치를 이용하여 고정 상태로 지지하고, 타측은 롤을 구비한 제 2 지지 장치를 이용하여 승강 가능하게 지지함으로써, 기판 합착 시 상부 기판의 틀어짐 발생이 방지되고, 상부 기판의 파손이 방지되며, 기포 발생이 최소화되거나 방지되고, 합착 기판의 합착 품질이 향상되어 불량 발생 가능성이 크게 감소되는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 제 1 특징에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 장치는 이동 부재에 의해 하부 기판 상으로 이동된 상기 상부 기판의 일측을 클램핑 방식으로 고정 지지하는 제 1 지지 장치; 및 상기 상부 기판의 타측을 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 2 특징에 따른 기판 합착 장치는 하부 기판이 장착되는 스테이지; 상기 하부 기판의 측면 가장자리 부분을 따라 폐쇄 경계 씰라인(seal line)을 형성하도록 제 1 합착액을 도포하는 제 1 노즐 장치; 상기 폐쇄 경계 씰라인 내에 제 2 합착액을 전면 도포하는 제 2 노즐 장치; 상기 제 2 합착액을 상기 폐쇄 경계 씰라인 내에 도포하면서 동시에 상기 제 1 합착액 및 상기 제 2 합착액을 함께 가경화하는 경화 장치; 상부 기판을 상기 하부 기판 상으로 이동시키는 이동 부재; 상기 이동 부재에 의해 이동된 상기 상부 기판의 일측을 클램핑 방식으로 고정 지지하는 제 1 지지 장치; 상기 상부 기판의 타측을 롤 방식으로 승강 승강가능하게 지지하는 제 2 지지 장치; 및 상기 상부 기판 상부 표면을 접촉 방식 또는 비접촉 방식으로 가압하면서 이동하여 상기 상부 기판과 상기 하부 기판이 압착된 압착 기판을 형성하는 가압 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 3 특징에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 방법은 a) 이동 부재에 의해 하부 기판 상으로 이동된 상부 기판의 일측을 제 1 지지 장치를 이용하여 클램핑 방식으로 고정 지지하는 단계; 및 b) 상기 상부 기판의 타측을 제 2 지지 장치를 이용하여 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제 4 특징에 따른 기판 합착 방법은 a) 제 1 노즐 장치를 이용하여 스테이지 상에 장착된 하부 기판의 측면 가장자리 부분을 따라 폐쇄 경계 씰라인을 형성하도록 제 1 합착액을 도포하는 단계; b) 제 2 노즐 장치를 이용하여 상기 폐쇄 경계 씰라인 내부에 제 2 합착액을 전면 도포하면서, 동시에 경화 장치를 이용하여 상기 제 1 합착액 및 상기 제 2 합착액을 함께 가경화하는 단계; c) 이동 부재를 이용하여 상부 기판을 상기 하부 기판 상으로 이동시켜 상기 상부 기판의 일측을 제 1 지지 장치를 이용하여 클램핑 방식으로 고정 지지하고, 상기 상부 기판의 타측을 제 2 지지 장치를 이용하여 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 단계; d) 가압 장치를 이용하여 상기 상부 기판의 상부 표면을 접촉 방식 또는 비접촉 방식으로 가압하면서 이동시켜 압착 기판을 얻는 단계; 및 e) 상기 경화 장치를 이용하여 상기 압착 기판 내부의 상기 가경화된 폐쇄 경계 씰라인과 상기 제 2 합착액을 함께 경화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법을 사용하면 다음과 같은 효과가 달성된다.
1. 기판 합착 시 상부 기판의 틀어짐 발생이 방지된다.
2. 상부 기판의 파손이 방지된다.
3. 기포 발생이 최소화되거나 방지된다.
4. 합착 기판의 합착 품질이 향상되어 불량 발생 가능성이 크게 감소된다.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 정반을 도시한 사시도이다.
도 2a 내지 도 2c는 종래 기술에 따른 평면형의 스테이지를 구비한 기판 합착 장치를 이용하여 기판을 합착하는 방법을 도시한 도면이다.
도 3은 또 다른 종래 기술에 따른 유리기판 합착 방법의 순서도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치의 개략적인 평면도 및 정면도를 도시한 도면이다.
도 4c는 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 상부 기판 지지 장치를 도시한 도면이다.
도 4d는 도 4c에 도시된 상부 기판 지지 장치에 사용되는 클램핑 방식의 제 1 지지 장치의 제 1 구현예를 도시한 도면이다.
도 4e는 도 4c에 도시된 상부 기판 지지 장치에 사용되는 클램핑 방식의 제 1지지 장치의 제 2 구현예를 도시한 도면이다.
도 4f 내지 도 4j는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치의 개략적인 평면도 및 정면도를 도시한 도면이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치(400)는 하부 기판(420)이 장착되는 스테이지(100); 상기 하부 기판(420)의 측면 가장자리 부분을 따라 폐쇄 경계 씰라인(seal line)(422)을 형성하도록 제 1 합착액을 도포하는 제 1 노즐 장치(440); 상기 폐쇄 경계 씰라인(422) 내에 제 2 합착액(430)을 전면 도포하는 제 2 노즐 장치(445); 상기 제 2 합착액(430)을 폐쇄 경계 씰라인(422) 내에 도포하면서 동시에 상기 제 1 합착액 및 상기 제 2 합착액(430)을 함께 가경화하는 경화 장치(450); 상부 기판(410)을 상기 하부 기판(420) 상으로 이동시키는 이동 부재(미도시); 상기 이동 부재(미도시)에 의해 이동된 상기 상부 기판(410)의 일측을 클램핑 방식으로 고정 지지하는 제 1 지지 장치(460); 상기 상부 기판(410)의 타측을 롤 방식으로 승강 승강가능하게 지지하는 제 2 지지 장치(470); 및 상기 상부 기판(410)의 상부 표면을 접촉 방식 또는 비접촉 방식으로 가압하면서 이동하여 상기 상부 기판(410)과 상기 하부 기판(420)이 압착된 압착 기판(415)을 형성하는 가압 장치(421)를 포함하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 상기 가경화된 폐쇄 경계 씰라인(422) 및 상기 제 2 합착액(430)은 상기 경화 장치(450) 또는 별도로 제공되는 제 2 경화 장치(미도시)에 의해 경화될 수 있다.
상기 가압 장치(421)는 상부 기판(410)의 상부 표면을 접촉 방식으로 가압하면서 이동하는 롤러(421a)로 구현되거나 또는 상부 기판(410)의 상부 표면을 비접촉 방식으로 가압하면서 이동하는 에어 커튼 발생 장치(421b)로 구현될 수 있다.
또한, 상기 본 발명의 일 실시예에 사용되는 상부 기판(410)의 이동 부재(미도시)는 예를 들어 로봇 암(robot arm) 또는 진공을 이용하여 탈부착이 가능한 픽업 부재(pick-up element)로 구현될 수 있다.
도 4c는 도 4a 및 도 4b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 장치에 사용되는 상부 기판 지지 장치를 도시한 도면이고, 도 4d는 도 4c에 도시된 상부 기판 지지 장치에 사용되는 클램핑 방식의 제 1 지지 장치의 제 1 구현예를 도시한 도면이며, 도 4e는 도 4c에 도시된 상부 기판 지지 장치에 사용되는 클램핑 방식의 제 1 지지 장치의 제 2 구현예를 도시한 도면이다.
도 4c 내지 도 4e를 참조하면, 상부 기판 지지 장치(401)는 이동 부재(미도시)에 의해 하부 기판(420) 상으로 이동된 상부 기판(410)의 일측을 클램핑 방식으로 고정 지지하는 제 1 지지 장치(460); 및 상기 상부 기판(410)의 타측을 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치(470)를 포함한다.
상기 제 1 지지 장치(460)는 상기 상부 기판(410)의 상기 일측을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛(462); 및 상기 클램핑 유닛(462)을 고정 지지하는 고정 부재(464)를 포함한다. 고정 부재(464)는 제 1 고정 베이스(466)에 장착된다.
또한, 상술한 클램핑 유닛(462)은 상부 기판(410)의 일측을 클램핑하는 상부 및 하부 클램핑 부재(462u,462d); 상기 상부 클램핑 부재(462u)의 하부에 제공되며, 상기 상부 기판(410)의 틀어짐을 방지하기 위한 걸림 부재(461); 및 상기 상부 클램핑 부재(462u) 및 상기 걸림 부재(461)가 장착되며, 상기 상부 클램핑 부재(462u) 및 상기 걸림 부재(461)를 승강시키는 제 1 승강 부재(463)로 구성된다(도 4d 참조).
또한, 상술한 클램핑 유닛(462)은 상부 기판(410)의 일측의 양쪽 단부를 각각 클램핑하는 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1) 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2); 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재(462u1,462u2)의 하부에 각각 제공되며, 상기 상부 기판(410)의 틀어짐을 방지하기 위한 한 쌍의 걸림 부재(461); 및 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재(462u1,462u2)) 및 상기 한 쌍의 걸림 부재(461)가 각각 장착되며, 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재(462u1,462u2)) 및 상기 한 쌍의 걸림 부재(461)를 승강시키는 한 쌍의 제 1 승강 부재(463)로 구성된다(도 4e 참조). 이 경우, 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1) 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2)에 의해 클램핑 지지되는 상부 기판(410)의 양쪽 단부를 제외한 상부 기판(410)의 중간 부분이 휘어지지 않도록 지지하기 위해 제 1 및 제 2 하부 클램핑 부재(462d1,462d2)와 동일한 높이에 위치된 보조 지지 부재(465)가 사용되는 것이 바람직하다.
대안적으로, 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1) 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2)에 의해 클램핑 지지되는 상부 기판(410)의 양쪽 단부를 제외한 상부 기판(410)의 중간 부분이 휘어지지 않도록 지지하기 위해, 상기 클램핑 부재(462)가 예를 들어 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1) 및 걸림 부재(461)와 동일한 구성을 갖는 하나 이상의 제 3 상부 및 하부 클램핑 부재(미도시) 및 제 3 걸림 부재(미도시)를 구비할 수 있다.
한편, 상기 제 2 지지 장치(470)는 상부 기판(410)의 타측을 지지하는 롤(472); 및 상기 롤(472)이 승강 가능하게 장착되는 제 2 승강 부재(474)를 포함한다. 제 2 승강 부재(474)는 제 2 고정 베이스(476)에 장착된다.
상술한 제 1 승강 부재(463) 및 제 2 승강 부재(474)는 각각 예를 들어 실린더 또는 액추에이터로 구현될 수 있다.
또한, 상부 및 하부 클램핑 부재(462u,462d), 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1), 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2), 및 보조 지지 부재(465)는 모두 상부 기판(410)을 클램핑할 때 파손 발생을 방지하기 위해 예를 들어 우레탄이나 고무와 같은 연성 재질로 구현되는 것이 바람직하다.
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법을 상세히 기술한다.
좀 더 구체적으로, 도 4f 내지 도 4j는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 4f 내지 도 4j를 도 4a 내지 도 4e와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법에서는, 먼저 제 1 노즐 장치(440)를 이용하여 스테이지(100) 상에 장착된 하부 기판(420)의 측면 가장자리 부분을 따라 폐쇄 경계 씰라인(422)을 형성하도록 제 1 합착액을 도포한다(도 4a 참조). 이 경우, 제 1 합착액은 제 2 합착액(430)과 동일 또는 상이한 재질일 수 있다. 또한, 베이스 부재(B) 상에는 스테이지(100)와 갠트리(G)가 위치되어 있으며, 갠트리(G)에는 제 2 노즐 장치(445) 및 경화 장치(450)가 장착되어 있다(도 4b 참조). 본 발명의 실시예에서는, 설명의 편의상 베이스 부재(B) 및 갠트리(G)가 도 4b에만 도시되어 있다는 점에 유의하여야 한다.
그 후, 갠트리(G)에 장착된 제 2 노즐 장치(445) 및 경화 장치(450)를 이용하여 폐쇄 경계 씰라인(422) 내부에 제 2 합착액(430)을 전면 도포하면서, 동시에 제 1 합착액과 제 2 합착액(430)을 함께 가경화한다(도 4f 참조). 이러한 경화 장치(450)는 예를 들어 자외선(UV) 조사장치로 구현될 수 있다. 또한, 폐쇄 경계 씰라인(422)을 형성하는 제 1 합착액을 도포하기 위해 제 1 노즐 장치(440) 대신 제 2 노즐 장치(445)가 사용될 수도 있다는 점에 유의하여야 한다.
그 후, 이동 부재(미도시)를 이용하여 상부 기판(410)을 하부 기판(420) 상으로 이동시킨다(도 4g 참조). 이 경우, 상부 기판(410)의 일측은 제 1 지지 장치(460)에 의해 클램핑 방식으로 고정 지지되고, 상부 기판(410)의 타측은 제 2 지지 장치(470)에 의해 롤 방식으로 승강 가능하게 지지된다.
좀 더 구체적으로, 상부 기판(410)의 일측은 클램핑 유닛(462)을 구성하는 상부 및 하부 클램핑 부재(462u,462d)(도 4d 참조) 또는 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1) 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2)(도 4e 참조) 내에 장착된다. 이 때, 상부 기판(410)의 일측은 걸림 부재(461)와 접촉하여 틀어짐이 방지된다. 그 후, 제 1 승강 부재(463)/한 쌍의 제 1 승강 부재(463)가 상부 클램핑 부재(462u)/제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재(462u1,462u2), 및 걸림 부재(461)/한 쌍의 걸림 부재(461)를 하강시켜 상부 기판(410)의 일측을 단단히 고정한다. 이 때, 상부 및 하부 클램핑 부재(462u,462d), 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1), 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2), 보조 지지 부재(465)는 각각 연성 재질로 구현되므로 상부 기판(410)의 파손이 방지된다.
또한, 상부 기판(410)의 타측은 제 2 지지 장치(470)를 구성하는 롤(472) 상에 지지된다. 이 때, 롤(472)은 제 2 승강 부재(474)에 의해 클램핑 유닛(462)보다 높은 위치로 상승하여 상부 기판(410)이 이동 부재(미도시)에 의해 하부 기판(420) 상으로 이동되면 상부 기판(410)은 하부 기판(420)에 대해 경사 상태로 지지된다. 통상적으로 상부 기판(410)의 사이즈는 하부 기판(420)의 사이즈 보다 더 크다. 이 때, 상부 기판(410)의 일측은 하부 기판(420)의 일측과 접촉하거나(미도시) 또는 약간 이격된 상태를 유지한다(도 4g 참조).
그 후, 가압 장치(421)를 이용하여 상부 기판(410)의 상부 표면을 접촉 방식(롤러(421a)를 사용하는 경우) 또는 비접촉 방식(에어 커튼 발생 장치(421b)를 사용하는 경우)으로 가압하면서 이동시킨다(도 4h 참조). 이 때, 가압 장치(421)가 경사 상태의 상부 기판(410) 상의 표면을 따라 접촉 방식 또는 비접촉 방식으로 가압하면서 이동함에 따라 상부 기판(410)의 타측을 지지하는 롤(472)이 제 2 승강 부재(474)에 의해 하강하여 상부 기판(410)은 하부 기판(420)의 표면 높이와 실질적으로 동일한 높이로 하강한다(도 4i 참조). 그 결과, 상부 기판(410)과 하부 기판(420)이 압착된 압착 기판(415)이 얻어진다.
그 후, 상술한 경화 장치(450)를 이용하여 압착 기판(415) 내부의 가경화된 폐쇄 경계 씰라인(422) 및 그 내부의 제 2 합착액(430)을 함께 경화(본경화)시켜 최종적으로 합착 기판(415a)이 얻어진다(4j 참조). 대안적으로, 도 4i에 도시된 압착 기판(415)을 별도로 제공되는 제 2 경화 장치(미도시)로 이송한 후 제 2 경화 장치에 의해 압착 기판(415) 내부의 가경화된 폐쇄 경계 씰라인(422)과 그 내부의 제 2 합착액(430)을 함께 경화(본경화)시켜 최종적으로 합착 기판(415)을 얻을 수도 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시예에서는 제 2 합착액(430)이 폐쇄 경계 씰라인(422) 내에 도포되면서 가경화가 동시에 이루어지므로, 가압 장치(421)를 이용하여 상부 기판(410)과 하부 기판(420)을 압착할 때 제 2 합착액(430)이 폐쇄 경계 씰라인(422)을 벗어남이 없이 상부 기판(410)과 하부 기판(420) 사이에서 매우 균일한 상태로 압착된다. 그에 따라, 상부 기판(410)과 하부 기판(420)의 합착면 전체에 걸쳐 균일한 합착력이 형성되어 상부 기판(410)과 하부 기판(420)이 매우 견고하게 합착될 수 있다.
또한, 폐쇄 경계 씰라인(422)과 그 내부의 제 2 합착액(430)이 동시에 가경화되므로, 제 2 합착액(430)의 상부 표면의 평탄도가 매우 균일하게 형성된다. 그에 따라, 상부 기판(410)의 하부면과 제 2 합착액(430)의 상부 표면 사이에 기포가 발생할 가능성이 최소화되거나 실질적으로 제거되어 최종 제품(즉, 합착 기판(415a))의 불량 발생 가능성이 크게 줄어든다.
또한, 상부 기판(410)이 클램핑 유닛(462)의 걸림 부재(461)에 접촉하여 고정 지지되므로 틀어짐 발생이 방지된다.
또한, 상부 기판(410)이 연성 재질로 구현되는 상부 및 하부 클램핑 부재(462u,462d), 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1), 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2), 보조 지지 부재(465)에 의해 클램핑되므로 상부 기판(410)의 파손이 방지된다.
상술한 바와 같은 장점에 의해 합착 기판(415)의 합착 품질이 향상되어 불량 발생 가능성이 크게 감소된다.
도 5a는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 5a를 도 4a 내지 도 4e와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 방법(500)은 a) 이동 부재(미도시)에 의해 하부 기판(420) 상으로 이동된 상부 기판(410)의 일측을 제 1 지지 장치(460)를 이용하여 클램핑 방식으로 고정 지지하는 단계(510); 및 b) 상기 상부 기판(410)의 타측을 제 2 지지 장치(470)를 이용하여 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 단계(520)를 포함한다.
상기 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 방법(500)에서, 상기 a) 단계는 a1) 상기 상부 기판(410)의 상기 일측은 상기 제 1 지지 장치(460)를 구성하는 클램핑 유닛(462)의 상부 및 하부 클램핑 부재(462u,462d) 내에 장착되는 단계; 및 a2) 상기 일측이 상기 상부 클램핑 부재(462u)의 하부에 제공되는 걸림 부재(461)와 접촉하면 제 1 승강 부재(463)에 의해 상기 상부 클램핑 부재(462u) 및 상기 걸림 부재(461)를 하강시켜 상기 일측을 고정하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착용 상부 기판 지지 방법(500)에서, 상기 a) 단계는 a1) 상기 상부 기판(410)의 상기 일측의 양쪽 단부는 각각 상기 제 1 지지 장치(460)를 구성하는 클램핑 유닛(462)의 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1) 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2) 내에 장착되는 단계; 및 a2) 상기 양쪽 단부가 각각 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재(462u1,462u2)의 하부에 각각 제공되는 한 쌍의 걸림 부재(461)와 접촉하면 한 쌍의 제 1 승강 부재(463)에 의해 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재(462u1,462u2) 및 상기 한 쌍의 걸림 부재(461)를 하강시켜 상기 일측을 고정하는 단계를 포함한다.
도 5b는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법의 플로우차트를 도시한 도면이다.
도 5b를 도 4a 내지 도 4j와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법(501)은 a) 제 1 노즐 장치(440)를 이용하여 스테이지(100) 상에 장착된 하부 기판(420)의 측면 가장자리 부분을 따라 폐쇄 경계 씰라인(422)을 형성하도록 제 1 합착액을 도포하는 단계(511); b) 제 2 노즐 장치(445)를 이용하여 상기 폐쇄 경계 씰라인(422) 내부에 제 2 합착액(430)을 전면 도포하면서, 동시에 경화 장치(450)를 이용하여 상기 제 1 합착액 및 상기 제 2 합착액(430)을 함께 가경화하는 단계(521); c) 이동 부재(미도시)를 이용하여 상부 기판(410)을 상기 하부 기판(420) 상으로 이동시켜 상기 상부 기판(410)의 일측을 제 1 지지 장치(460)를 이용하여 클램핑 방식으로 고정 지지하고, 상기 상부 기판(410)의 타측을 제 2 지지 장치(470)를 이용하여 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 단계(531); d) 가압 장치(421)를 이용하여 상기 상부 기판(410)의 상부 표면을 접촉 방식 또는 비접촉 방식으로 가압하면서 이동시켜 압착 기판(415)을 얻는 단계(541); 및 e) 상기 경화 장치(450)를 이용하여 상기 압착 기판(415) 내부의 상기 가경화된 폐쇄 경계 씰라인(422)과 상기 제 2 합착액(430)을 함께 경화시키는 단계(551)를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법(501)의 상기 c) 단계는 c1) 상기 상부 기판(410)의 상기 일측은 상기 제 1 지지 장치(460)를 구성하는 클램핑 유닛(462)의 상부 및 하부 클램핑 부재(462u,462d) 내에 장착되는 단계; 및 c2) 상기 일측이 상기 상부 클램핑 부재(462u)의 하부에 제공되는 걸림 부재(461)와 접촉하면 제 1 승강 부재(463)에 의해 상기 상부 클램핑 부재(462u) 및 상기 걸림 부재(461)를 하강시켜 상기 일측을 고정하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 합착 방법(501)의 상기 c) 단계는 c1) 상기 상부 기판(410)의 상기 일측의 양쪽 단부는 각각 상기 제 1 지지 장치(460)를 구성하는 클램핑 유닛(462)의 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재(462u1,462d1) 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재(462u2,462d2) 내에 장착되는 단계; 및 c2) 상기 양쪽 단부가 각각 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재(462u1,462u2)의 하부에 각각 제공되는 한 쌍의 걸림 부재(461)와 접촉하면 한 쌍의 제 1 승강 부재(463)에 의해 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재(462u1,462u2) 및 상기 한 쌍의 걸림 부재(461)를 하강시켜 상기 일측을 고정하는 단계를 포함한다.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.
1: 정반 2: 홀 10,20,100,200: 스테이지
14a,14b,110,120,410,420: 기판 16: 씰층 18: 액정
130: 광학 접착 필름 221,421a: 롤러
400: 기판 합착 장치 401: 상부 기판 지지 장치 415: 압착 기판
415a: 합착 기판 421: 가압 장치 421b: 에어 커튼 발생 장치
422: 폐쇄 경계 씰라인 430: 합착액 440,445: 노즐 장치
450: 경화 장치 460: 제 1 지지 장치 461: 걸림 부재
462: 클램핑 유닛 462u,462u1,462u2,462d,462d1,462d2: 클램핑 부재
463,474: 승강 부재 464: 고정 부재 465: 보조 지지 부재
466,476: 고정 베이스 470: 제 2 지지 장치 472: 롤
B: 베이스 부재 G: 갠트리

Claims (17)

  1. 기판 합착용 상부 기판 지지 장치에 있어서,
    이동 부재에 의해 하부 기판 상으로 이동된 상기 상부 기판의 일측을 클램핑 방식으로 고정 지지하는 제 1 지지 장치; 및
    상기 상부 기판의 타측을 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 제 2 지지 장치
    를 포함하는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 제 1 지지 장치는
    상기 상부 기판의 상기 일측을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛; 및
    상기 클램핑 유닛을 고정 지지하는 고정 부재
    를 포함하는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은
    상기 상부 기판의 상기 일측을 클램핑하는 상부 및 하부 클램핑 부재;
    상기 상부 클램핑 부재의 하부에 제공되며, 상기 상부 기판의 틀어짐을 방지하기 위한 걸림 부재; 및
    상기 상부 클램핑 부재 및 상기 걸림 부재가 장착되며, 상기 상부 클램핑 부재 및 상기 걸림 부재를 승강시키는 제 1 승강 부재
    로 구성되는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 상부 및 하부 클램핑 부재는 각각 우레탄 또는 고무 재질로 구현되는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치.
  5. 제 2항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은
    상기 상부 기판의 상기 일측의 양쪽 단부를 각각 클램핑하는 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재;
    상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재의 하부에 각각 제공되며, 상기 상부 기판의 틀어짐을 방지하기 위한 한 쌍의 걸림 부재; 및
    상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재 및 상기 한 쌍의 걸림 부재가 장착되며, 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재 및 상기 한 쌍의 걸림 부재를 승강시키는 제 1 승강 부재
    로 구성되는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치.
  6. 제 5항에 있어서,
    상기 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재 및 상기 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재는 각각 우레탄 또는 고무 재질로 구현되는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치.
  7. 제 5항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은 상기 상부 기판의 상기 양쪽 단부를 제외한 상기 상부 기판의 중간 부분이 휘어지지 않도록 지지하기 위해 상기 제 1 및 제 2 하부 클램핑 부재와 동일한 높이에 위치된 보조 지지 부재, 또는 하나 이상의 제 3 상부 및 하부 클램핑 부재 및 제 3 걸림 부재를 추가로 포함하는 기판 합착용 상부 기판 지지 장치.
  8. 기판 합착 장치에 있어서,
    하부 기판이 장착되는 스테이지;
    상기 하부 기판의 측면 가장자리 부분을 따라 폐쇄 경계 씰라인(seal line)을 형성하도록 제 1 합착액을 도포하는 제 1 노즐 장치;
    상기 폐쇄 경계 씰라인 내에 제 2 합착액을 전면 도포하는 제 2 노즐 장치;
    상기 제 2 합착액을 상기 폐쇄 경계 씰라인 내에 도포하면서 동시에 상기 제 1 합착액 및 상기 제 2 합착액을 함께 가경화하는 경화 장치;
    상부 기판을 상기 하부 기판 상으로 이동시키는 이동 부재;
    상기 이동 부재에 의해 이동된 상기 상부 기판의 일측을 클램핑 방식으로 고정 지지하는 제 1 지지 장치; 상기 상부 기판의 타측을 롤 방식으로 승강 승강가능하게 지지하는 제 2 지지 장치; 및
    상기 상부 기판 상부 표면을 접촉 방식 또는 비접촉 방식으로 가압하면서 이동하여 상기 상부 기판과 상기 하부 기판이 압착된 압착 기판을 형성하는 가압 장치
    를 포함하는 기판 합착 장치.
  9. 제 8항에 있어서,
    상기 제 1 지지 장치는
    상기 상부 기판의 상기 일측을 클램핑하기 위한 클램핑 유닛; 및
    상기 클램핑 유닛을 고정 지지하는 고정 부재
    를 포함하고,
    상기 제 2 지지 장치는
    상기 상부 기판의 타측을 지지하는 롤; 및
    상기 롤이 승강 가능하게 장착되는 제 2 승강 부재
    를 포함하는 기판 합착 장치.
  10. 제 9항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은
    상기 상부 기판의 상기 일측을 클램핑하는 상부 및 하부 클램핑 부재;
    상기 상부 클램핑 부재의 하부에 제공되며, 상기 상부 기판의 틀어짐을 방지하기 위한 걸림 부재; 및
    상기 상부 클램핑 부재 및 상기 걸림 부재가 장착되며, 상기 상부 클램핑 부재 및 상기 걸림 부재를 승강시키는 제 1 승강 부재
    로 구성되는 기판 합착 장치.
  11. 제 9항에 있어서,
    상기 클램핑 유닛은
    상기 상부 기판의 상기 일측의 양쪽 단부를 각각 클램핑하는 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재;
    상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재의 하부에 각각 제공되며, 상기 상부 기판의 틀어짐을 방지하기 위한 한 쌍의 걸림 부재; 및
    상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재 및 상기 한 쌍의 걸림 부재가 장착되며, 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재 및 상기 한 쌍의 걸림 부재를 승강시키는 제 1 승강 부재
    로 구성되는 기판 합착 장치.
  12. 기판 합착용 상부 기판 지지 방법에 있어서,
    a) 이동 부재에 의해 하부 기판 상으로 이동된 상부 기판의 일측을 제 1 지지 장치를 이용하여 클램핑 방식으로 고정 지지하는 단계; 및
    b) 상기 상부 기판의 타측을 제 2 지지 장치를 이용하여 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 단계
    를 포함하는 기판 합착용 상부 기판 지지 방법.
  13. 제 12항에 있어서,
    상기 a) 단계는
    a1) 상기 상부 기판의 상기 일측은 상기 제 1 지지 장치를 구성하는 클램핑 유닛의 상부 및 하부 클램핑 부재 내에 장착되는 단계; 및
    a2) 상기 일측이 상기 상부 클램핑 부재의 하부에 제공되는 걸림 부재와 접촉하면 제 1 승강 부재에 의해 상기 상부 클램핑 부재 및 상기 걸림 부재를 하강시켜 상기 일측을 고정하는 단계
    를 포함하는 기판 합착용 상부 기판 지지 방법.
  14. 제 12항에 있어서,
    상기 a) 단계는
    a1) 상기 상부 기판의 상기 일측의 양쪽 단부는 각각 상기 제 1 지지 장치를 구성하는 클램핑 유닛의 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재 내에 장착되는 단계; 및
    a2) 상기 양쪽 단부가 각각 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재의 하부에 각각 제공되는 한 쌍의 걸림 부재와 접촉하면 한 쌍의 제 1 승강 부재에 의해 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재 및 상기 한 쌍의 걸림 부재를 하강시켜 상기 일측을 고정하는 단계
    를 포함하는 기판 합착용 상부 기판 지지 방법.
  15. 기판 합착 방법에 있어서,
    a) 제 1 노즐 장치를 이용하여 스테이지 상에 장착된 하부 기판의 측면 가장자리 부분을 따라 폐쇄 경계 씰라인을 형성하도록 제 1 합착액을 도포하는 단계;
    b) 제 2 노즐 장치를 이용하여 상기 폐쇄 경계 씰라인 내부에 제 2 합착액을 전면 도포하면서, 동시에 경화 장치를 이용하여 상기 제 1 합착액 및 상기 제 2 합착액을 함께 가경화하는 단계;
    c) 이동 부재를 이용하여 상부 기판을 상기 하부 기판 상으로 이동시켜 상기 상부 기판의 일측을 제 1 지지 장치를 이용하여 클램핑 방식으로 고정 지지하고, 상기 상부 기판의 타측을 제 2 지지 장치를 이용하여 롤 방식으로 승강 가능하게 지지하는 단계;
    d) 가압 장치를 이용하여 상기 상부 기판의 상부 표면을 접촉 방식 또는 비접촉 방식으로 가압하면서 이동시켜 압착 기판을 얻는 단계; 및
    e) 상기 경화 장치를 이용하여 상기 압착 기판 내부의 상기 가경화된 폐쇄 경계 씰라인과 상기 제 2 합착액을 함께 경화시키는 단계
    를 포함하는 기판 합착 방법.
  16. 제 15항에 있어서,
    상기 c) 단계는
    c1) 상기 상부 기판의 상기 일측은 상기 제 1 지지 장치를 구성하는 클램핑 유닛의 상부 및 하부 클램핑 부재 내에 장착되는 단계; 및
    c2) 상기 일측이 상기 상부 클램핑 부재의 하부에 제공되는 걸림 부재와 접촉하면 제 1 승강 부재에 의해 상기 상부 클램핑 부재 및 상기 걸림 부재를 하강시켜 상기 일측을 고정하는 단계
    를 포함하는 기판 합착 방법.
  17. 제 15항에 있어서,
    상기 c) 단계는
    c1) 상기 상부 기판의 상기 일측의 양쪽 단부는 각각 상기 제 1 지지 장치를 구성하는 클램핑 유닛의 제 1 상부 및 하부 클램핑 부재 및 제 2 상부 및 하부 클램핑 부재 내에 장착되는 단계; 및
    c2) 상기 양쪽 단부가 각각 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재의 하부에 각각 제공되는 한 쌍의 걸림 부재와 접촉하면 한 쌍의 제 1 승강 부재에 의해 상기 제 1 및 제 2 상부 클램핑 부재 및 상기 한 쌍의 걸림 부재를 하강시켜 상기 일측을 고정하는 단계
    를 포함하는 기판 합착 방법.
KR1020120112673A 2012-10-10 2012-10-10 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법 KR101334410B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120112673A KR101334410B1 (ko) 2012-10-10 2012-10-10 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120112673A KR101334410B1 (ko) 2012-10-10 2012-10-10 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR101334410B1 true KR101334410B1 (ko) 2013-11-29

Family

ID=49858764

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120112673A KR101334410B1 (ko) 2012-10-10 2012-10-10 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101334410B1 (ko)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180077931A (ko) * 2016-12-29 2018-07-09 인베니아 주식회사 기판-글래스 합착 장치
KR20180077929A (ko) * 2016-12-29 2018-07-09 인베니아 주식회사 기판-글래스 합착 장치
KR20180077930A (ko) * 2016-12-29 2018-07-09 인베니아 주식회사 기판-글래스 합착 방법

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100479516B1 (ko) 2000-10-30 2005-03-30 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. 액정 디스플레이 패널의 밀봉 방법과 그 장치
KR20070016582A (ko) * 2005-08-04 2007-02-08 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 클램핑 장치, 이송장치 및 그 검사장치
KR20100019035A (ko) * 2008-08-08 2010-02-18 에이피시스템 주식회사 기판의 앞면과 뒷면을 동시에 임프린팅 할 수 있는 기판 임프린팅 장치
KR20100050952A (ko) * 2008-11-06 2010-05-14 주식회사 에이디피엔지니어링 실런트 경화장치

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100479516B1 (ko) 2000-10-30 2005-03-30 엔이씨 엘씨디 테크놀로지스, 엘티디. 액정 디스플레이 패널의 밀봉 방법과 그 장치
KR20070016582A (ko) * 2005-08-04 2007-02-08 주식회사 에이디피엔지니어링 기판 클램핑 장치, 이송장치 및 그 검사장치
KR20100019035A (ko) * 2008-08-08 2010-02-18 에이피시스템 주식회사 기판의 앞면과 뒷면을 동시에 임프린팅 할 수 있는 기판 임프린팅 장치
KR20100050952A (ko) * 2008-11-06 2010-05-14 주식회사 에이디피엔지니어링 실런트 경화장치

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20180077931A (ko) * 2016-12-29 2018-07-09 인베니아 주식회사 기판-글래스 합착 장치
KR20180077929A (ko) * 2016-12-29 2018-07-09 인베니아 주식회사 기판-글래스 합착 장치
KR20180077930A (ko) * 2016-12-29 2018-07-09 인베니아 주식회사 기판-글래스 합착 방법

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101334406B1 (ko) 개선된 기판 합착 장치 및 합착 방법
KR100855461B1 (ko) 점착척 및 이를 가진 기판합착장치
TWI510442B (zh) Laminated glass substrate manufacturing method
KR102118873B1 (ko) 플렉시블 디스플레이 및 곡면 커버 부재의 합착 장치 및 합착 방법
US20080135127A1 (en) Apparatus and method for attaching substrates
KR102175509B1 (ko) 플렉시블 디스플레이 및 곡면 커버 부재의 합착 장치 및 합착 방법
KR101270246B1 (ko) 개선된 기판 합착 장치 및 합착 방법
KR101334410B1 (ko) 기판 합착용 상부 기판 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
KR102028913B1 (ko) 기판 탈착 장치 및 이를 이용한 평판표시장치의 제조방법
KR101362295B1 (ko) 연성 회로 기판 벤딩 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
KR20180025415A (ko) 개선된 곡면 커버 부재의 합착 장치
JP2004102215A (ja) 基板組立装置
KR101370034B1 (ko) 합착 기판 두께 측정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
JP4343500B2 (ja) 液晶表示装置の製造方法
KR101270247B1 (ko) 개선된 기판 합착 장치 및 합착 방법
KR101356026B1 (ko) 인쇄 회로 기판 지지 장치, 및 이를 구비한 하부 기판 리프트 유닛, 리프트 방법, 및 기판 합착 장치
KR101334411B1 (ko) 기판 합착용 상부 기판 경사 지지 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
KR101431563B1 (ko) 개선된 합착 기판의 얼라인 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
KR20140000495A (ko) 기판 합착 장치용 라미네이팅 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
KR101390513B1 (ko) 플렉시블 패드를 이용한 기판 합착 장치 및 합착 방법
KR101340614B1 (ko) 기판합착장치
KR101334409B1 (ko) 기판 합착용 측면 갭 디스펜싱 장치 및 방법, 및 이를 구비한 기판 합착 장치 및 방법
KR101347080B1 (ko) 기판 합착용 프리 디스펜싱 장치, 및 이를 구비한 기판 합착 장치
JP4954968B2 (ja) 粘着チャック及びこれを有する基板合着装置
KR101415611B1 (ko) 커버 글래스 합착용 갭 조정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 커버 글래스 합착 장치 및 방법

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20161123

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20171107

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20191107

Year of fee payment: 7