KR101606553B1 - 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템 - Google Patents

반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반데르발스 힘만을 이용하여 흡착력을 제공할 수 있는 흡착 부재를 이용함으로써 전압 인가 및 진공 라인 형성 없이도 피흡착 부재를 지지할 수 있도록 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템을 제공하고자 한 것이다.
이를 위해, 본 발명은 베이스 기판과, 상기 베이스 기판으로부터 이격 설치되어 피흡착 부재를 지지하기 위해 제공된 피흡착 기판과, 상기 베이스 기판 및 피흡착 기판에 설치되어 반데르발스 힘을 이용한 흡착력에 의해 피흡착 부재를 흡착시키기 위한 흡착부와, 상기 베이스 기판 및 피흡착 기판을 회전시키기 위한 회전부, 그리고 상기 베이스 기판 및 피흡착 기판 중 어느 한 기판을 이송 이키기 위한 이송부를 포함하여 이루어진 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템을 제공한다.

Description

반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템{Chuck system having member with adhesive strength based on Van der Waals' Force}
본 발명은 피흡착 부재를 흡착시키기 위한 척 시스템에 관한 것으로서, 베이스 기판에 반데르발스 힘을 이용한 흡착력을 갖는 흡착 부재를 제공하여 척의 기능을 수행할 수 있도록 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템에 관한 것이다.
반도체 소자 및 LCD의 제조나 능동형 유기발광 다이오드(AMOLED; Active Matrix Organic Light Emitting Diode) 프로세서에서 사용되는 유기금속 화학 증착(MOCVD; Metal organic chemical vapor deposition)용 증착기, 플라즈마 처리장치, 전자 노광장치, 이온 주입장치 등이나, 액정 패널의 제조에 사용되는 이온 도핑장치 등에서는, 처리 대상물이 되는 반도체 웨이퍼나 유리 기판에 손상을 주지 않으면서 이들 처리 대상물들을 확고하게 지지하는 것이 요구되고 있다.
최근에는 처리하는 대상인 반도체 웨이퍼나 유리 기판상에 손상을 주지 않으면서 진공 상태나 대기 상태에서도 흡착과 탈착이 가능한 정전 척의 개발 문제에 관심이 집중되고 있다. 또한, 디스플레이장치의 대형화 추세에 따라 LCD나 LED 디스플레이 장치에 사용되는 유리 기판이 대형화되고 있는데, 이러한 대형 유리 기판의 흡착 및 탈착 과정에서의 손상 방지는 초미의 관심사가 되고 있다.
종래의 고전압을 사용하는 전기적인 정전 흡착 방식 및 진공을 이용한 진공 흡착 방식의 경우, 아래와 같은 점에서 이와 같은 반도체 웨이퍼나 유리 기판에 발생 가능한 손상의 엄격한 관리를 달성하기 어렵다.
먼저, 종래 고전압을 이용하는 정전 척에서는 피흡착 부재를 견고하게 흡착하고 있도록 하기 위해 고전압을 인가할 필요가 있는데, 이러한 고전압 사용으로 인한 아크(arc) 발생의 문제가 있었다.
예를 들어 AMOLED공정의 MOCVD증착 공정에서 이와 같은 종래의 정전 척을 사용할 경우에는 정천 척에 인가되어지는 고전압에 의해 발생하는 아크 및 전극 배선 패턴 주위에서 발생하는 전자기력으로 인해 증착 물질이 요구되는 위치에 균일하게 증착되지 않음에 따라 막질이 저하되는 문제가 있었다.
또한, 피흡착 부재의 종류에 따라 제조 공정 중에는 전압을 인가할 수가 없는 공정이 있을 경우도 있는데, 종래의 정전 척의 경우 이와 같이 전압을 인가할 수 없는 공정에서는 피흡착 부재에 흡착력을 제공할 수 없어 사용이 어려운 문제점이 있었다.
다음, 종래 진공을 이용한 진공 척에는 피흡착 부재를 견고하게 흡착시키기 위해 진공 라인 및 진공 홀을 형성할 필요가 있는데, 이러한 진공 라인 및 진공 홀은 통상적으로 중앙부위에 하나만을 형성하는 단일 접점 구조를 이룸으로써 근본적으로 피흡착 부재의 안착 시 가하는 진공 압력이 하나의 진공 라인 및 진공 홀에만 의존하였다. 따라서 진공 압이 피흡착 부재에 균일하게 전달되지 않아 피흡착 부재의 흡착 균일도가 저하되는 문제점이 있었고, 이를 극복하기 위해 다수의 진공 라인 및 진공 홀을 형성하게 되면 설비비용이 증대되는 문제점이 있었다.
본 발명은 상기와 같은 종래 문제를 해결하고자 창출된 것으로, 본 발명의 목적은 반데르발스 힘만을 이용하여 흡착력을 제공할 수 있는 흡착 부재를 이용함으로써 전압 인가 및 진공 라인 형성 없이도 피흡착 부재를 지지할 수 있도록 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템을 제공하고자 한 것이다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 일 실시예에서는 베이스 기판과, 상기 베이스 기판으로부터 이격 설치되어 피흡착 부재를 지지하기 위해 제공된 피흡착 기판과, 상기 베이스 기판 및 피흡착 기판에 설치되어 반데르발스 힘을 이용한 흡착력에 의해 피흡착 부재를 흡착시키기 위한 흡착부와, 상기 베이스 기판 및 피흡착 기판을 회전시키기 위한 회전부, 그리고 상기 베이스 기판 및 피흡착 기판 중 어느 한 기판을 이송 이키기 위한 이송부를 포함하여 이루어진 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템을 제공한다.
이때, 상기 베이스 기판 및 피흡착 기판은 원통 형상의 드럼 타입으로 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 흡착부는 상기 베이스 기판 및 피흡착 기판의 둘레면에 설치되는 플렉시블 형태의 박막 기판 및 상기 박막 기판의 상부면에 설치되는 흡착 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 흡착 부재는 상기 박막 기판에 라미네이팅 공정 및 본딩 공정 중 어느 한 공정에 의해 설치되는 것을 특징으로 한다.
삭제
한편, 상기 박막 기판과 흡착 부재 사이에는 상기 흡착 부재의 내구성을 확보하기 위한 강도보강 필름이 설치되되, 상기 강도보강 필름은 폴리이미드 필름 또는 폴리에스테르 필름 중 어느 한 필름이 사용되는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 다른 실시예에서는 베이스 기판과, 제1 베이스 기판으로부터 이격 설치된 제2 베이스 기판과, 상기 제1 베이스 기판 및 제2 베이스 기판에 벨트 형식으로 감기도록 설치되어 반데르발스 힘을 이용한 흡착력에 의해 피흡착 부재를 흡착시키기 위한 흡착부, 그리고 상기 제1 베이스 기판 및 제2 베이스 기판을 회전시키기 위한 회전부를 포함하여 이루어진 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템을 제공한다.
이때, 상기 흡착부는 상기 제1 베이스 기판 및 제2 베이스 기판에 감기도록 연결 설치된 플렉시블 형태의 박막 기판 및 상기 박막 기판 상부면에 설치되는 흡착 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 흡착 부재는 상기 박막 기판에 라미네이팅 공정 및 본딩 공정 중 어느 한 공정에 의해 설치되는 것을 특징으로 한다.
삭제
이때, 상기 박막 기판과 흡착 부재 사이에는 흡착 부재의 내구성을 확보하기 위한 강도보강 필름이 설치되되, 상기 강도보강 필름은 폴리이미드 필름 또는 폴리에스테르 필름 중 어느 한 필름이 사용되는 것을 특징으로 한다.
한편, 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템은 상기 제1 베이스 기판 및 제2 베이스 기판을 지지하기 위한 스테이지부가 더 포함된 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 스테이지부는 상기 제1 베이스 기판 및 제2 베이스 기판이 설치되는 베이스 플레이트와, 상기 베이스 플레이트 양측에 돌출 형성되어 상기 제1 베이스 기판 및 제2 베이스 기판의 설치 위치를 가이드 하기 위한 제1 가이드 부재, 그리고 상기 제1 가이드 부재의 상단에 상하 이동이 가능하도록 형성되어 상기 피흡착 부재의 안착 위치를 가이드 하기 위한 제2 가이드 부재를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 베이스 플레이트에는 상기 베이스 플레이트를 상·하, 좌·우로 이동시켜 상기 피흡착 부재를 정렬시키기 위한 얼라인 블록이 더 설치된 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템은 반데르발스 힘만을 이용하여 흡착력을 제공할 수 있는 흡착 부재를 적용함으로써, 전압 인가 없이도 피흡착 부재에 흡착력을 제공하여 전압 인가가 불가능한 공정에서도 피흡착 부재를 견고하게 흡착 지지할 수 있으며, 아크나 전극 배선 주위의 전자기력으로 인한 증착 불균형을 방지하고 막질을 현저히 개선할 수 있는 효과를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 반데르발스 힘만을 이용하여 흡착력을 제공할 수 있는 흡착 부재를 적용함으로써, 종래 진공 척에 적용된 진공 라인을 이용하지 않는 것에 의해 진공 라인을 형성하기 위한 설비비용을 최대한 줄일 수 있는 효과를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 베이스 플레이트에 얼라인 블록이 설치된 것에 의해 피흡착 부재를 평행하게 정렬시켜 공정을 진행함에 따라 공정 효율을 현저히 향상시킬 수 있는 효과를 제공할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템의 베이스 기판에 흡착부가 설치된 상태를 나타낸 사시도.
도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템의 작동을 개략적으로 나타낸 개략도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템을 개략적으로 나타낸 개략도.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템의 작동을 개략적으로 나타낸 개략도.
이하, 상기 목적이 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예가 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예를 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용되며 이에 따른 부가적인 설명은 하기에서 생략된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템의 베이스 기판에 흡착부가 설치된 상태를 나타낸 사시도이고, 도 2a 내지 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템의 작동을 개략적으로 나타낸 개략도.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템(이하 "척 시스템"이라고 칭함)은 드럼 타입 구조로 제작된 것이 제시되며, 이러한 척 시스템은 크게 베이스 기판(100)과, 피흡착 기판(200)과, 흡착부(300)와, 회전부(미도시), 그리고 이송부(미도시)를 포함하여 이루어진다.
베이스 기판(100)은 통상의 금속 기판으로 제조되는 원통 형상의 드럼 타입으로 형성되어, 그 둘레면에 설치되는 흡착부(300)를 지지하는 역할을 수행한다.
피흡착 기판(200)은 베이스 기판(100)과 동일하게 통상의 금속 기판으로 제조되는 원통 형상의 드럼 타입으로 형성되어, 그 둘레면에 설치되는 피흡착 부재(210)를 지지하는 역할을 수행한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 흡착부(300)는 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(100)에 설치되어 반데르발스 힘에 기초한 흡착력에 의해 피흡착 부재(210)를 흡착시키는 역할을 수행한다.
이때, 흡착부(300)는 베이스 기판(100)에 설치되는 것을 기본으로 하되, 필요에 따라 피흡착 부재(210)를 흡착시켜 지지하기 위해 피흡착 기판(200)에 설치될 수도 있다. 본 발명의 일 실시예에서는 흡착부(300)가 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(300)에 설치된 것이 제시된다.
이러한 흡착부(300)는 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(300)의 둘레면에 설치되는 박막 기판(310)과, 박막 기판(310) 상부면에 설치되는 흡착 부재(320)를 포함한다.
이때, 박막 기판(310)은 플렉시블 형태의 금속 기판으로 본 발명의 일 실시예에서는 스텐리스 스틸 시트가 사용된 것이 제시되며, 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)의 둘레면에 본딩 공정에 의해 접착 설치된 것이 제시된다. 한편, 본딩 공정에 의해 베이스 기판(100)과 박막 기판(310) 사이 및 피흡착 기판(200)과 박막 기판(310) 사이에는 제1 접착부(330)가 형성된다.
또한, 박막 기판(310)의 상부면에는 흡착 부재(320)가 설치되는 바, 흡착 부재(320)는 반데르발스 힘을 이용하여 흡착력을 제공하여 피흡착 부재(210)를 흡착시키는 역할을 수행하며, 흡착 부재(320)로는 현재까지 몇 가지 개발되어 있는 제품들이 있는데, 이들 제품들 중 어느 것을 사용해도 무관하다. 본 발명에 일 실시예에 따른 척 시스템에 사용되는 흡착 부재(320)는 반데르발스 힘에 기초하여 흡착력을 제공할 수 있는 부재이면 어느 것이든 사용 가능하지만, 본 발명의 일 실시예에 따른 척 시스템에서는 이러한 흡착 부재(320)를 이온 필름(본 출원인의 출원 상표)이 사용된 것을 제시한다.
본 발명의 일 실시예에 따른 척 시스템은 박막 기판(310)에 대해 흡착 부재(320)가 본딩 공정에 의해 접착 설치된 것이 제시되며, 이때, 박막 기판(320)과 흡착 부재(320) 사이에는 본딩 공정에 의해 제2 접착부(340)가 형성된다.
또한, 도시되지는 않았지만 롤투롤 방식과 롤투플레이트 방식을 이용한 라미네이팅 공정을 통해 흡착 부재(320)를 박막 기판에 설치할 수도 있다.
한편, 박막 기판(310)과 흡착 부재(320) 사이에는 흡착 부재(320)의 내구성을 확보하기 위한 강도보강 필름(350)이 더 설치되되, 본 발명의 일 실시예에서는 강도보강 필름(350)은 폴리이미드 또는 폴리에스테르 필름 중 어느 한 필름이 사용된 것이 제시된다.
더욱 구체적으로, 흡착 부재(320)의 두께가 대략 10 ~ 20 나노 마이크로미터의 박막이므로 박막 기판(310)에 대해 흡착 부재(320)를 설치 시, 내구성을 향상시키기 위한 별도의 부재가 필요로 하는바, 이를 보완하기 위해 강도보강 필름(350)이 설치된 것이다. 한편, 강도보강 필름(350)으로 폴리이미드 또는 폴리에스테르 필름을 사용하게 되면 반도체 및 플렉시블 디스플레이의 증착 및 코팅 공정 시, LED포토 센서 등으로부터 색상 인식에 유리한 효과를 높일 수가 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 회전부(미도시) 및 이송부(미도시)는 도시되지는 않았지만, 드럼 타입의 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)을 회전 및 이송시키기 위해 제공된 것이다. 즉, 회전부는 피흡착 기판(200)에 흡착되어 지지된 피흡착 부재(210)를 베이스 기판(100)과 접촉시켜 회전시킴으로써, 피흡착 부재(210)를 베이스 기판(100) 측으로 흡착될 수 있도록 하는 역할을 수행하고, 이송부는 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200) 중 어느 한 구성을 이송시켜 상호 접촉시킬 수 있도록 하는 역할을 수행한다. 회전부 및 이송부는 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)을 통상적으로 회전 및 이송시킬 수 있는 구조면 어느 구조라도 가능하여 본 발명의 일 실시예에서는 굳이 제한하지는 않는다.
상기 전술한 바와 같은, 본 발명의 일 실시예에 따른 척 시스템의 작동 과정을 설명하면 이하와 같다.
먼저, 다시 도 2a 내지 도 2c에 도시된 바와 같이, 이송부를 이용하여 흡착 부재(320)가 설치된 베이스 기판(100)을 피흡착 부재(210)가 설치된 피흡착 기판(200) 측으로 이동시켜 상호 접촉이 이루어지도록 한다.
다음, 상호 접촉된 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)을 회전부에 의해 회전시키면, 베이스 기판(100)에 설치된 흡착 부재(320)가 반데르발스 힘이 작용하여 피흡착 기판(200)에 설치된 피흡착 부재(210)를 흡착시켜 베이스 기판(100)이 피흡착 부재(210)를 지지한 상태가 된다.
다음, 베이스 기판(100)에 의해 지지된 피흡착 부재(210)를 이용하여 반도체 및 플렉시블 디스플레이 증착 및 코팅 공정 등을 진행한다.
한편, 반도체 및 플렉시블 디스플레이 증착 및 코팅 공정 등이 완료되면, 다시 베이스 기판(100)의 흡착 부재(320)에 흡착된 피흡착 부재(210)를 피흡착 기판(200)으로 이동시킨다. 이때, 베이스 기판(100)에 피흡착 부재(210)를 흡착시키는 과정과 동일하게 진행을 하되, 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)을 반대로 회전시켜 베이스 기판(100)에 지지된 피흡착 부재(210)를 피흡착 기판(200)으로 흡착될 수 있도록 한다. 이때, 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)에 흡착부(300)가 설치된 상태라 피흡착 부재(210)가 상호 이동 장착이 가능한 것이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템의 구조를 개략적으로 나타낸 개략도이며, 도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템의 작동 과정을 개략적으로 나타낸 개략도이다. 이때, 도 4a 내지 도 4d의 상부에 도시된 도면은 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템의 작동 과정에 따라 흡착 부재에 피흡착 부재가 흡착, 정렬, 탈거되는 상태를 예시적으로 나타낸 것이다.
본 발명의 일 실시예에서는 척 시스템이 드럼 타입으로 형성된 구조를 제시하였지만, 본 발명의 다른 실시예에서는 도 3에 도시된 바와 같이, 벨트 타입으로 형성된 구조를 제시하며, 이러한 척 시스템은 크게 제1 베이스 기판(500)과, 제2 베이스 기판(600)과, 흡착부(700), 그리고 회전부(미도시)를 포함하여 이루어질 수 있다.
이때, 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스(600) 기판은 통상의 금속 기판으로 제조되는 원통 형상으로 각각 제조되어 상호 이격되도록 설치되며, 흡착부(700)를 지지하는 역할을 수행한다.
더욱 구체적으로, 흡착부(700)는 상호 이격 설치된 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)에 벨트 형식으로 감기도록 설치되어 반데르발스 힘에 기초한 흡착력에 의해 피흡착 부재(210)를 흡착시키기 역할을 수행한다.
이러한 흡착부(700)는 베이스 기판의 둘레면에 설치되는 박막 기판(710)과, 박막 기판(710) 상부면에 설치되는 흡착 부재(720)를 포함한다.
이때, 박막 기판(710)은 플렉시블 형태의 금속 기판으로서, 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)에 벨트 형식으로 감싸도록 설치된다.
박막 기판(710)의 상부면에는 흡착 부재(720)가 설치되는 바, 흡착 부재(720)는 반데르발스 힘을 이용하여 흡착력을 제공하여 피흡착 부재(210)를 흡착시키는 역할을 수행하며, 흡착 부재(720)로는 본 발명의 일 실시예에서 제시된 동일한 흡착 부재가 사용한 것을 제시한다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 척 시스템은 본 발명의 일 실시예에서 전술한 바와 같이, 박막 기판(710)에 대해 흡착 부재(720)가 본딩 공정에 의해 접착 설치된 것이 제시되며, 이때 박막 기판(710)과 흡착 부재(720) 사이에는 본딩 공정에 의해 제1 접착부(730)가 형성된다.
또한, 라미네이팅 공정을 통해 흡착 부재인 흡착 부재(720)를 박막 기판(710)에 설치할 수도 있다.
한편, 본 발명의 다른 실시예에서는 본 발명의 일 실시예와 동일하게 박막 기판(710)과 흡착 부재(720) 사이에는 흡착 부재(720)의 내구성을 확보하기 위한 강도보강 필름(750)이 더 설치되되, 강도보강 필름(750)은 폴리이미드 또는 폴리에스테르 필름 중 어느 한 필름이 사용된 것이 제시된다.
도 4a 내지 도 4d에 도시된 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 척 시스템은 상기 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)이 지지하기 위한 스테이지부(800)가 더 설치될 수 있으며, 이러한 스테이지부(800)는 베이스 플레이트(810)와, 제1 가이드 부재(820), 그리고 제2 가이드 부재(830)를 포함하여 이루어진다.
이때, 베이스 플레이트(810)의 상부에 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)이 설치되며, 각 베이스 기판(500,600)을 지지하는 역할을 수행한다.
또한, 제1 가이드 부재(820)는 베이스 플레이트(810) 양측에 돌출 형성되어 상기 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)의 설치 위치를 가이드 하기 위해 제공된 것이다.
또한, 제2 가이드 부재(830)는 제1 가이드 부재(820)의 상단에 상하 이동이 가능하도록 제공되어 피흡착 부재(210)의 안착 위치를 가이드 하기 위해 제공된 것이다. 이때, 제2 가이드 부재(830)는 흡착부(700)로부터 피흡착 부재(210)를 탈거시킬 경우 하부측으로 이동되어 피흡착 부재(210)가 외부측으로 이동되면서 탈거될 수 있도록 하는 역할도 수행한다.
한편, 베이스 플레이트(810)에는 베이스 플레이트(810)를 상·하, 좌·우로 이동시켜 피흡착 부재(210)를 정렬시키기 위한 얼라인 블록(900)이 더 설치될 수 있다.
즉, 흡착부(700)에 피흡착 부재(210)가 흡착되는 과정에서 피흡착 부재(210)는 낙하 되는 방식으로 흡착되는 바, 낙하 되는 과정에서 흡착부(700)에 대해 평행하게 낙하 되지 않을 경우가 발생할 수 있다. 이때 베이스 플레이트(810)의 설치된 얼라인 블록(900)을 이용하여 베이스 플레이트(810)를 정렬시킴으로써, 피흡착 부재(210)가 평행한 상태로 공정을 진행할 수 있도록 하기 위해 제공된 것이다.
상기에서 전술한 바와 같은 본 발명의 다른 실시예에 따른 척 시스템의 작동 과정을 설명하면 이하와 같다.
먼저, 도 4a에 도시된 바와 같이, 피흡착 부재(210)를 지지하고 있는 피흡착 기판(미도시)을 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)의 상부 측으로 이송시킨 다음, 흡착부(700) 측으로 피흡착 부재(210)를 낙하시킨다. 이때, 흡착 부재(720)는 반데르발스 힘을 이용한 흡착력이 작용되어 피흡착 부재(210)를 흡착시켜 각 베이스 기판(500,600)이 피흡착 부재(210)를 지지한 상태가 된다.
한편, 피흡착 부재(210)가 흡착부(700)에 대해 평행하지 않은 상태로 낙하 되었을 경우, 언라인 블록(900)을 이용하여 베이스 플레이트(810)를 상·하, 좌·우 이동시킴으로써, 피흡착 부재(210)를 정렬시킨다.
다음, 도 4b에 도시된 바와 같이, 정렬이 완료된 피흡착 부재(210)를 가지고 반도체 및 플렉시블 디스플레이 증착 및 코팅 공정 등을 진행한다.
한편, 도 4c는 척 시스템을 반대로 회전시켜 공정을 진행할 수 있는 예를 나타낸 도면이다.
다음, 반도체 및 플렉시블 디스플레이 증착 및 코팅 공정 등이 완료되면, 도 4d에 도시된 바와 같이, 회전부를 이용하여 제1 베이스 기판(500) 및 제2 기판(600)을 회전시켜 흡착부(700)에 흡착된 피흡착 부재(720)를 탈거하는 과정을 진행한다. 이때, 제2 가이드 부재(830)를 하부측으로 이동시켜 피흡착 부재(210)가 외부로 이동되면서 탈거될 수 있도록 한다.
이상 각 실시예에서 전술한 바와 같이, 본 발명에 따른 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템을 사용하여 피흡착 부재(210)를 흡착 및 피흡착 시킴에 따라 종래의 전압 및 진공 라인을 형성할 필요가 없고, 단순한 구조로 시스템을 구성하여 정전 척 역할을 수행할 수 있게 된다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 특정한 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형의 실시가 가능하고 이러한 변형은 본 발명의 범위에 속한다.
100: 베이스 기판 200: 피흡착 기판
210: 피흡착 부재 300,700: 흡착부
310,710: 박막 기판 320,720: 흡착 부재
330,730: 제1 접착부 340: 제2 접착부
350,750: 강도보강 필름 500: 제1 베이스 기판
600: 제2 베이스 기판 800: 스테이지부
810: 베이스 플레이트 820: 조절부
830: 가이드 부재 900: 얼라인 블록

Claims (14)

  1. 베이스 기판(100);
    상기 베이스 기판(100)으로부터 이격 설치되어 피흡착 부재(210)를 지지하기 위해 제공된 피흡착 기판(200);
    상기 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)에 설치되어 반데르발스 힘을 이용한 흡착력에 의해 피흡착 부재(210)를 흡착시키기 위한 흡착부(300);
    상기 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)을 회전시키기 위한 회전부; 그리고,
    상기 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200) 중 어느 한 기판을 이송 이키기 위한 이송부;를 포함하여 이루어지되,
    상기 흡착부(300)는, 상기 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)의 둘레면에 설치되는 플렉시블 형태의 박막 기판(310); 및 상기 박막 기판(310)의 상부면에 설치되는 흡착 부재(320)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 베이스 기판(100) 및 피흡착 기판(200)은 원통 형상의 드럼 타입으로 형성된 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 2 항에 있어서,
    상기 흡착 부재(320)는,
    상기 박막 기판에 라미네이팅 공정 및 본딩 공정 중 어느 한 공정에 의해 설치되는 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 박막 기판(310)과 흡착 부재(320) 사이에는 상기 흡착 부재(320)의 내구성을 확보하기 위한 강도보강 필름(350)이 설치되되,
    상기 강도보강 필름(350)은 폴리이미드 필름 또는 폴리에스테르 필름 중 어느 한 필름이 사용되는 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  7. 제1 베이스 기판(500);
    상기 제1 베이스 기판(500)으로부터 이격 설치된 제2 베이스 기판(600);
    상기 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)에 벨트 형식으로 감기도록 설치되어 반데르발스 힘을 이용한 흡착력에 의해 피흡착 부재(210)를 흡착시키기 위한 흡착부(700); 그리고,
    상기 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)을 회전시키기 위한 회전부; 를 포함하여 이루어진 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 흡착부(700)는,
    상기 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(700)에 감기도록 연결 설치된 플렉시블 형태의 박막 기판(710); 및
    상기 박막 기판(710) 상부면에 설치되는 흡착 부재(720)를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  9. 삭제
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 흡착 부재(720)는,
    상기 박막 기판(710)에 라미네이팅 공정 및 본딩 공정 중 어느 한 공정에 의해 설치되는 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 박막 기판(710)과 흡착 부재(720) 사이에는 흡착 부재(720)의 내구성을 확보하기 위한 강도보강 필름(750)이 설치되되,
    상기 강도보강 필름(750)은 폴리이미드 필름 또는 폴리에스테르 필름 중 어느 한 필름이 사용되는 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  12. 제 7 항, 제8항, 제10 및 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서,
    반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템은,
    상기 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)을 지지하기 위한 스테이지부(800)가 더 포함된 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 스테이지부(800)는,
    상기 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)이 설치되는 베이스 플레이트(810);
    상기 베이스 플레이트(810) 양측에 돌출 형성되어 상기 제1 베이스 기판(500) 및 제2 베이스 기판(600)의 설치 위치를 가이드 하기 위한 제1 가이드 부재(820); 그리고,
    상기 제1 가이드 부재(820)의 상단에 상하 이동이 가능하도록 형성되어 상기 피흡착 부재(210)의 안착 위치를 가이드 하기 위한 제2 가이드 부재(830); 를 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
  14. 제 13 항 에 있어서,
    상기 베이스 플레이트(810)에는,
    상기 베이스 플레이트(810)를 상·하, 좌·우로 이동시켜 상기 피흡착 부재(210)를 정렬시키기 위한 얼라인 블록(900)이 더 설치된 것을 특징으로 하는 반데르발스 힘에 기초한 흡착력을 갖는 부재를 구비하는 척 시스템.
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