KR102132436B1 - 기능성 필름 부착장치 - Google Patents

Abstract

기능성 필름 부착장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치는, 전원 인가 시 발생하는 대전된 전위에 의하여 제공되는 척킹력(Chucking Force)을 통해 패널에 부착될 기능성 필름과 부착되는 정전 시트; 및 장치 본체의 일측에 마련되며, 정전 시트를 이용해서 패널에 기능성 필름을 부착시킬 수 있도록 정전 시트가 탑재되는 시트 탑재부를 포함한다.

Description

기능성 필름 부착장치{Apparatus for attaching film to panel using electrostatic chuck sheet}

본 발명은, 기능성 필름 부착장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는, 종전과 달리 정전 시트(Electrostatic chuck sheet)를 이용하기 때문에 공정조건별 척킹력(Chucking Force) 조절 또는 비례 제어가 가능해질 수 있음은 물론 플라즈마 공정 처리가 가능해서 필름의 부착품질을 종래보다 현저하게 높일 수 있으며, 특히 수명이 길 뿐만 아니라 중대형 패널의 필름 부착공정에 적용할 수 있는 기능성 필름 부착장치에 관한 것이다.

최근 반도체 산업 중 전자 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평판디스플레이(Flat Panel Display, FPD) 역시 발전을 계속하고 있다. 평판디스플레이에는 LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.

평판디스플레이 중에서도 특히, OLED는 구동방식에 따라 수동형인 PMOLED와, 능동형인 AMOLED로 나뉜다. AMOLED는 자발광형 디스플레이로서 기존의 디스플레이보다 응답속도가 빠르며, 색감도 자연스럽고 전력 소모가 적다는 장점이 있다. 그리고 AMOLED는 글래스 패널(glass panel)이 아닌 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 플렉시블 패널(flexible panel) 등에 적용하면 플렉시블 디스플레이(Flexible Display)의 기술을 구현할 수 있다.

이러한 OLED 제조 시 여러 종류의 기능성 필름이 사용될 수 있다. 기능성 필름 중에서 편광필름(polarizer film)은 패널(panel)에 부착되어 빛을 편광시키는 역할을 한다.

한편, 종전에는 편광필름과 같은 기능성 필름을 대상체인 패널에 부착시키기 위한 기술로서 세트 테이블(Set Table)을 적용한 롤 투 스테이지(Roll to Stage) 방식 또는 드럼(Drum)을 적용한 드럼 투 스테이지(Drum to Stage) 방식이 일반적이었다.

전자의 롤 투 스테이지 방식은 세트 테이블 상에 대상체인 패널이 배치되고, 어태치 롤러(Attach Roller)가 회전하면서 패널에 기능성 필름을 부착시키는 방식인데, 이러한 방식은 필름의 오버행(Overhang) 현상으로 인한 오차로 고(高)부착 정도 구현에 한계가 있는 문제점이 있다.

참고로, 롤 투 스테이지 방식 방식은 그 특성상 어태치 롤러에 기능성 필름이 제대로 흡착되지 못하고 처지는 현상이 발생할 소지가 크고, 이로 인해 패널과의 얼라인(Align)이 틀어질 수밖에 없어 부착에 오차가 발생하는데, 이를 오버행 현상이라 한다.

이에 반해, 후자의 드럼 투 스테이지 방식은 드럼의 표면에 기능성 필름을 흡착시켜 드럼의 회전 동작에 따라 패널에 기능성 필름을 부착시키는 방식인데, 최초 기능성 필름과 패널의 컨택(contact) 시 넓은 압축 면적으로 패널의 일측 패드(Pad)에 접촉에 의한 손상을 일으킬 수 있고, 또한 드럼의 진공 영역(Vacuum Area) 제한으로 인해 다양한 패널 사이즈(Panel Size) 변경에 제약이 다른 문제점이 있다.

이처럼 현재까지는 패널에 기능성 필름을 부착시키는 방식으로써 롤 투 스테이지 방식과 드럼 투 스테이지 방식이 주류를 이루었다.

다만, 각 방식은 전술한 것처럼 여러 문제점을 발생시키고 있다는 점에서 점착 시트(sheet)를 사용하는 방식이 대안으로 제시되어 왔다. 이는 점착 시트의 점착력을 이용해서 점착 시트에 기능성 필름을 미리 점착시킨 후, 패널에 배치한 다음, 점착 시트를 가압해서 기능성 필름이 패널에 부착되도록 하는 것이다. 기능성 필름이 패널에 부착되고 나면 점착 시트가 기능성 필름에서 박리된다.

이러한 방식은 점착 시트의 점착력을 이용해서 패널에 기능성 필름을 부착시키기 때문에 고(高)부착 정도의 제품 대응이 가능해질 수 있지만, 공정조건별 점착 시트의 점착력 조절이 불가능하고 플라즈마 처리 시 점착 시트의 점착면이 열화될 소지가 커서 필름의 부착품질을 높이는 데 한계가 있다.

그뿐만 아니라 점착 시트는 수명이 짧아 수시로 교체해야 하며, 특히 점착력의 한계로 인해 중대형 패널의 필름 부착공정에는 적용이 어렵다는 점을 고려해볼 때, 이를 해결하기 위한 기술개발이 필요한 실정이다.

대한민국특허청 출원번호 제10-2005-0063468호

따라서 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는, 종전과 달리 정전 시트(Electrostatic chuck sheet)를 이용하기 때문에 공정조건별 척킹력(Chucking Force) 조절 또는 비례 제어가 가능해질 수 있음은 물론 플라즈마 공정 처리가 가능해서 필름의 부착품질을 종래보다 현저하게 높일 수 있으며, 특히 수명이 길 뿐만 아니라 중대형 패널의 필름 부착공정에 적용할 수 있는 기능성 필름 부착장치를 제공하는 것이다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 베이스(base)를 형성하는 베이스 레이어(Base layer); 및 상기 베이스 레이어 상에 형성되되 전원 인가 시 발생하는 대전된 전위에 의하여 척킹력(Chucking Force)을 제공하는 정전척 레이어(Electrostatic chuck layer)를 포함하는 것을 특징으로 하는 정전 시트가 제공될 수 있다.

상기 베이스 레이어가 금속 재질일 수 있다.

상기 금속은 스테인리스 스틸(stainless steel)일 수 있으며, 상기 베이스 레이어에는 복수의 진공홀이 관통 형성될 수 있다.

상기 정전척 레이어로 전원이 인가될 수 있도록 상기 베이스 레이어의 일측에 필름 전극이 돌출되게 마련될 수 있다.

상기 정전척 레이어는, 제1 접착제로 상기 베이스 레이어 상에 접착되는 제1 PI 필름 레이어(polyimide film layer); 상기 제1 PI 필름 레이어 상에 도포되는 구리(Cu) 패턴 레이어; 및 제2 접착제로 상기 구리(Cu) 패턴 레이어 상에 접착되는 제2 PI 필름 레이어를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 전원 인가 시 발생하는 대전된 전위에 의하여 제공되는 척킹력(Chucking Force)을 통해 패널에 부착될 기능성 필름과 부착되는 정전 시트; 및 장치 본체의 일측에 마련되며, 상기 정전 시트를 이용해서 상기 패널에 상기 기능성 필름을 부착시킬 수 있도록 상기 정전 시트가 탑재되는 시트 탑재부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치가 제공될 수 있다.

상기 정전 시트의 양단부에는 상기 정전 시트의 양단부를 지지하는 제1 및 제2 시트 클램프가 마련될 수 있으며, 상기 시트 탑재부는, 상기 장치 본체의 일측에 마련되며, 상기 제1 시트 클램프가 탑재되게 지지하는 제1 클램프 탑재용 지지대; 및 상기 장치 본체의 타측에 마련되며, 상기 제2 시트 클램프가 탑재되게 지지하는 제2 클램프 탑재용 지지대를 포함할 수 있다.

상기 제1 클램프 탑재용 지지대와 상기 제2 클램프 탑재용 지지대 중 적어도 어느 하나에 마련되며, 상기 정전 시트의 장력을 유지시키는 시트 장력 유지부를 더 포함할 수 있다.

상기 장치 본체에 마련되며, 상기 정전 시트에 상기 기능성 필름이 펼쳐진 상태로 부착되도록 한 후, 상기 정전 시트를 이용해서 상기 패널에 상기 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착부를 더 포함할 수 있다.

상기 기능성 필름 부착부는, 상기 정전 시트에 상기 기능성 필름이 부착되도록 하거나 상기 패널에 상기 기능성 필름이 부착되도록 상기 정전 시트 상에서 가압 이동되는 부착 롤러를 포함할 수 있다.

상기 기능성 필름 부착부는, 상기 부착 롤러에 외접되며, 상기 부착 롤러의 회전을 지지하는 백업 롤러를 더 포함할 수 있다.

상기 기능성 필름 부착부는, 상기 부착 롤러 및 상기 백업 롤러를 한 몸체로 지지하는 롤러 지지모듈을 더 포함할 수 있다.

상기 기능성 필름 부착부는, 상기 장치 본체에 마련되며, 상기 롤러 지지모듈을 업/다운(up/down) 구동시키는 모듈 업/다운 구동부를 더 포함할 수 있다.

상기 기능성 필름 부착부는, 상기 기능성 필름을 진공압으로 척킹하는 베큠 블록(Vacuum Block)을 더 포함할 수 있다.

상기 베큠 블록은 블록 지지부에 의해 상기 모듈 업/다운 구동부 또는 상기 롤러 지지모듈과 연결될 수 있다.

상기 기능성 필름 부착부는, 상기 장치 본체에 마련되되 상기 롤러 지지모듈과 연결되며, 상기 롤러 지지모듈이 왕복 구동되도록 주행시키는 모듈 주행부를 더 포함할 수 있다.

상기 정전 시트에 상기 기능성 필름이 부착되도록 하거나 상기 패널에 상기 기능성 필름이 점착되도록 하는 공정조건에 기초하여 상기 모듈 업/다운 구동부와 상기 모듈 주행부의 동작을 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함할 수 있다.

상기 장치 본체의 일측에 배치되며, 상기 정전 시트를 클리닝(Cleaning)하는 시트 클리닝 유닛을 더 포함할 수 있다.

상기 시트 클리닝 유닛은, 클리닝 스테이지; 및 상기 클리닝 스테이지 상에 마련되되 상기 정전 시트가 접하여 상기 정전 시트 상의 오염원이 전이되게 하는 스티키 매트(Sticky Mat)를 포함할 수 있다.

상기 장치 본체의 일측에 배치되며, 상기 패널에 상기 기능성 필름이 부착되는 장소를 형성하는 워킹 스테이지; 및 상기 워킹 스테이지에 연결되며, 상기 패널과 상기 기능성 필름 간의 상대 위치 얼라인(align)을 위해 상기 워킹 스테이지의 위치를 X축, Y축, θ축으로 얼라인시키는 스테이지 얼라인부를 더 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 종전과 달리 정전 시트(Electrostatic chuck sheet)를 이용하기 때문에 공정조건별 척킹력(Chucking Force) 조절 또는 비례 제어가 가능해질 수 있음은 물론 플라즈마 공정 처리가 가능해서 필름의 부착품질을 종래보다 현저하게 높일 수 있으며, 특히 수명이 길 뿐만 아니라 중대형 패널의 필름 부착공정에 적용할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치에 적용되는 정전 시트의 개략적인 측면 구조도이다.
도 2는 도 1의 정면도이다.
도 3은 정전척 레이어의 세부 구조도이다.
도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 부분 구조도로서 패널에 기능성 필름이 부착되는 과정을 단계적으로 도시한 도면들이다.
도 8은 도 4의 A 영역의 확대 구조도이다.
도 9는 시트 클리닝 유닛의 설명을 위한 도면이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 제어블록도이다.
도 11은 시트 클리닝 유닛의 변형예이다.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부도면 및 첨부도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도면 대비 설명에 앞서, 이하에서 설명될 기능성 필름이란 빛을 최적의 조건으로 투과, 편광시키기 위해, LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 중에서 선택된 적어도 어느 한 평판디스플레이에 적용될 수 있는 다양한 종류의 광학 필름(혹은 시트(sheet)), 예컨대 EMI 필름, 프리즘 필름, 보호 필름, 확산 필름, 반사 필름, DBEF, PVA, TAC, OCA, 이형 필름, 보상 필름, 반사 방지 필름, 편광필름(polarizer film) 등이 될 수 있고, 패널은 터치패널을 비롯하여 TSP, 윈도(Window) 등이 될 수 있다. 다만, 이하에서는 이들을 구별하지 않고 기능성 필름과 패널이라는 용어를 사용해서 설명하기로 한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치에 적용되는 정전 시트의 개략적인 측면 구조도이고, 도 2는 도 1의 정면도이며, 도 3은 정전척 레이어의 세부 구조도이고, 도 4 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 부분 구조도로서 패널에 기능성 필름이 부착되는 과정을 단계적으로 도시한 도면들이며, 도 8은 도 4의 A 영역의 확대 구조도이고, 도 9는 시트 클리닝 유닛의 설명을 위한 도면이며, 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 제어블록도이고, 도 11은 시트 클리닝 유닛의 변형예이다.

이들 도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치는 종전과 달리 정전 시트(110, Electrostatic chuck sheet)를 이용하기 때문에 공정조건별 척킹력(Chucking Force) 조절 또는 비례 제어가 가능해질 수 있음은 물론 플라즈마 공정 처리가 가능해서 필름의 부착품질을 종래보다 현저하게 높일 수 있으며, 특히 수명이 길 뿐만 아니라 중대형 패널의 필름 부착공정에 적용할 수 있도록 한다.

이러한 기능성 필름 부착장치는 도 4 내지 도 11에 주로 도시된 바와 같이, 장치 본체(120)와, 패널에 기능성 필름을 부착시키기 위해 마련되는 정전 시트(110)와, 정전 시트(110)를 장치 본체(120)에 탑재시키는 시트 탑재부(130)를 포함할 수 있다.

앞서 기술한 것처럼 본 실시예의 경우에는 정전 시트(110)를 사용한다는 점에서 종래보다 많은 장점을 제공한다.

따라서, 기능성 필름 부착장치의 세부 설명에 앞서 정전 시트(110)에 대해 먼저 살펴본다.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치에 적용되는 정전 시트(110, Electrostatic chuck sheet)는 베이스(base)를 형성하는 베이스 레이어(111)와, 베이스 레이어(111) 상에 형성되되 전원 인가 시 발생하는 대전된 전위에 의하여 척킹력(Chucking Force)을 제공하는 정전척 레이어(113)를 포함할 수 있다.

본 실시예에서 베이스 레이어(111)는 금속 재질로 적용된다. 특히, 베이스 레이어(111)는 스테인리스 스틸(stainless steel)로 적용됨으로써 가벼우면서도 강한 강성을 제공한다. 따라서, 정전척 레이어(113)를 안정적으로 지지할 수 있다.

베이스 레이어(111)의 단부에는 복수의 진공홀(112)이 형성된다. 복수의 진공홀(112)은 예컨대, 정전 시트(110)가 기능성 필름 부착장치에 적용될 때, 진공에 의한 척킹력을 제공하는 통로가 될 수도 있다.

베이스 레이어(111)의 일측에는 정전척 레이어(113)로 전원이 인가될 수 있도록 하는 필름 전극(115)이 마련된다. 필름 전극(115)은 베이스 레이어(111)의 사이드에서 돌출되게 형성되며, 커넥터 방식으로 연결될 수 있게끔 한다.

이처럼 본 실시예의 경우, 정전 시트(110)로 인가되는 전원을 측면에서 연결 가능 구조로 적용함으로써 교체 시 편리성을 높일 수 있도록 한다.

정전척 레이어(113)는 앞서 기술한 것처럼 전원 인가 시 발생하는 대전된 전위에 의하여 척킹력을 제공한다. 다시 말해, 정전척 레이어(113)의 전기적인 척킹력(Chucking Force)에 의해 기능성 필름이 흡착될 수 있게끔 한다.

이러한 정전척 레이어(113)는 제1 접착제(113a)로 베이스 레이어(111) 상에 접착되는 제1 PI 필름 레이어(113b)와, 제1 PI 필름 레이어(113b) 상에 도포되는 구리(Cu) 패턴 레이어(113c)와, 제2 접착제(113d)로 구리(Cu) 패턴 레이어(113c) 상에 접착되는 제2 PI 필름 레이어(113e)를 포함할 수 있다.

참고로, PI 필름(polyimide film)은 영상 400도 이상의 고온이나 영하 269도의 저온을 견디는 필름으로 얇고 굴곡성이 뛰어난 첨단 고기능성 산업용 소재다. PI 필름은 내화학성, 내마모성도 강해 열악한 환경에서 안정적인 성능 유지가 필요한 분야에 널리 쓰인다. 초기에는 항공우주 분야 재료로 개발, 사용됐으나 현재는 산업용 기기와 연성회로기판(FPCB), 전기 전자부품 등 광범위한 분야에 사용되고 있다. 최근 전세계적으로 정보기술(IT) 기기의 성능이 다양해지고 두께가 얇아지면서 발열 문제를 해결하기 위해 방열 시트용 PI 필름의 수요가 늘어나고 있다.

구리(Cu) 패턴 레이어(113c)는 전원 인가를 위한 회로를 이룬다. 따라서, 패널의 모양이나 사이즈에 따라 정전 시트(110)에 형성되는 구리(Cu) 패턴 레이어(113c)의 형태는 달라질 수 있다.

이상 설명한 구조를 갖는 정전 시트(110)는 아래와 같은 많은 장점을 제공할 수 있다.

우선, 본 실시예에 적용되는 정전 시트(110)는 공정조건별 척킹력 조절 또는 비례 제어가 가능하다.

종전의 점착 시트는 공정조건별 점착 시트의 점착력 조절이 불가능하지만 본 실시예에 따른 정전 시트(110)는 인가되는 전원을 조절함으로써 공정조건별 척킹력 조절 또는 비례 제어가 가능하다. 따라서, 공정조건별로 최적의 척킹력을 세팅해서 필름의 부착품질을 높이는데 기여할 수 있다.

예컨대, 필름을 부착하는 실질적인 어태치 공정(Attach Process)을 진행할 때는 척킹력을 약하게 하고, 원필름에서 기능성 필름을 디태치하는 디태치 공정(Detach Process)을 진행할 때는 척킹력을 강하게 하며, 기타 공정(ETC Process)을 진행할 때는 척킹력을 중간쯤으로 컨트롤할 수 있는데, 본 실시예의 경우에는 정전 시트(110)가 적용되기 때문에 이러한 공정조건별 척킹력 조절 또는 비례 제어가 가능해지는 것이다.

다음, 본 실시예에 적용되는 정전 시트(110)는 중대형 패널의 필름 부착공정에 적용이 가능하다.

종전의 점착 시트는 제조 및 수명 등의 문제로 대형화에 어려움이 있어 실질적으로 소형 제품인 모바일 디스플레이(Mobile Display)에만 국한되어 왔다. 하지만, 본 실시예에 적용되는 정전 시트(110)는 종전의 점착 시트와는 달리 대형화 제작이 가능하므로 적용 범위를 중형은 물론 대형 디스플레이까지 확대할 수 있는 이점이 있다.

다음, 본 실시예에 적용되는 정전 시트(110)는 플라즈마 처리 시 사용할 수 있다.

종전의 점착 시트는 플라즈마 처리 시 점착 시트의 점착면이 열화될 소지가 커서 시트의 수명이 감소할 수 있고, 이로 인해 필름의 부착품질을 높이는 데 한계가 있을 수밖에 없었다. 하지만, 본 실시예에 적용되는 정전 시트(110)는 플라즈마 처리에 대한 수명 변화가 없어 활용 범위를 확대할 수 있다. 따라서, 필름의 부착품질 역시, 자연스럽게 높아질 수 있다.

이렇게 많은 장점을 제공하는 정전 시트(110)는 도 4 내지 도 11에 도시된 본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치에 적용될 수 있다.

본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치는 앞서 기술한 것처럼 패널에 기능성 필름을 부착시키기 위해 마련되는 정전 시트(110)와, 정전 시트(110)를 장치 본체(120)에 탑재시키는 시트 탑재부(130)를 포함할 수 있다.

그뿐만 아니라 본 발명의 일 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치는 장치 본체(120)에 마련되되 정전 시트(110)를 이용해서 패널에 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착부(150), 워킹 스테이지(190) 및 시트 클리닝 유닛(195)을 포함한다. 워킹 스테이지(190)와 시트 클리닝 유닛(195)은 장치 본체(120)와는 별개로 마련된다.

장치 본체(120)는 본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 외관 구조를 이룬다. 이러한 장치 본체(120)에는 정전 시트(110)를 비롯한 시트 탑재부(130), 기능성 필름 부착부(150) 등의 구성들이 위치별로 탑재된다.

장치 본체(120)는 별도의 구동부(미도시)에 의해 업/다운(up/down) 구동될 수 있다. 장치 본체(120)는 워킹 스테이지(190)와 이격되어 있으므로 워킹 스테이지(190)와의 간격 조절을 위해 구동부(미도시)에 의해 업/다운(up/down) 구동될 수 있다. 구동부에 대해서는 도시하지 않았으나 실린더 혹은 리니어모터로 구현될 수 있다.

정전 시트(110)는 패널에 기능성 필름을 부착시키기 위해 사용되는 매개체이다. 즉 기능성 필름을 정전 시트(110)에 먼저 부착시킨 후, 기능성 필름과 패널을 상호 얼라인시킨 다음, 정전 시트(110)를 가압함으로써 패널에 기능성 필름이 부착될 수 있도록 하고 있다.

이처럼 정전 시트(110)를 매개로 해서 패널에 기능성 필름을 부착시킬 경우, 기존의 세트 테이블(Set Table)을 적용한 롤 투 스테이지(Roll to Stage) 방식 또는 드럼(Drum)을 적용한 드럼 투 스테이지(Drum to Stage) 방식과 달리 부착 효율과 품질이 우수한 장점이 있다.

특히, 앞서도 자세히 기술한 것처럼 본 실시예에 적용되는 정전 시트(110)는 기존의 점착 시트와는 달리 전원 인가 시 발생하는 대전된 전위에 의하여 척킹력을 제공하며, 이러한 척킹력을 토대로 패널에 기능성 필름이 부착되게 함으로써 부착품질이 더욱 향상될 수 있게끔 한다. 또한, 정전 시트(110)로 전원을 인가하면 기능성 필름이 부착될 수 있고, 인가된 전원을 차단하면 기능성 필름이 박리될 수 있어서 기존처럼 필름을 이탈시키는 기능을 하는 롤러(미도시)를 적용할 필요가 없다. 따라서, 구조의 간소화를 구현할 수 있다.

한편, 정전 시트(110)가 장치 본체(120)의 해당 위치에 탑재될 수 있도록 정전 시트(110)의 양단부에는 제1 및 제2 시트 클램프(116,117)가 결합한다.

제1 및 제2 시트 클램프(116,117)는 정전 시트(110)의 양단부를 지지하는 역할을 겸하는데, 이러한 제1 및 제2 시트 클램프(116,117)를 매개로 해서 시트 탑재부(130)에 정전 시트(110)가 탑재될 수 있다.

시트 탑재부(130)는 장치 본체(120)의 일측에 마련되는 구성으로서 정전 시트(110)가 탑재되는 장소를 이룬다.

전술한 것처럼 정전 시트(110)의 양단부에 제1 및 제2 시트 클램프(116,117)가 결합하는데, 이러한 제1 및 제2 시트 클램프(116,117)가 시트 탑재부(130)에 탑재되는 방식으로 정전 시트(110)가 설치될 수 있다.

시트 탑재부(130)는 장치 본체(120)의 일측에 마련되며, 제1 시트 클램프(116)가 탑재되게 지지하는 제1 클램프 탑재용 지지대(131)와, 장치 본체(120)의 타측에 마련되며, 제2 시트 클램프(117)가 탑재되게 지지하는 제2 클램프 탑재용 지지대(132)를 포함할 수 있다.

이처럼 정전 시트(110)의 일단부를 지지하는 제1 시트 클램프(116)가 제1 클램프 탑재용 지지대(131)에 탑재되고, 정전 시트(110)의 타단부를 지지하는 제2 시트 클램프(117)가 제2 클램프 탑재용 지지대(132)에 탑재되는 형태로 정전 시트(110)가 설치될 수 있는데, 제1 클램프 탑재용 지지대(131)와 제2 클램프 탑재용 지지대(132) 사이에서 늘어지는 정전 시트(110)를 가이드하기 위해 다수의 시트 아이들 롤러(134)가 마련된다.

다수의 시트 아이들 롤러(134)는 제1 클램프 탑재용 지지대(131)와 제2 클램프 탑재용 지지대(132) 사이에 배치되며, 정전 시트(110)를 가이드하는 역할을 한다. 본 실시예에서 다수의 시트 아이들 롤러(134)는 제1 클램프 탑재용 지지대(131)와 제2 클램프 탑재용 지지대(132) 측에 각각 하나씩 회전할 수 있게 배치된다. 시트 아이들 롤러(134)는 무동력 자유 회전롤러로 적용된다.

이와 같은 시트 아이들 롤러(134)들의 작용으로 정전 시트(110)가 가이드되기는 하지만 기능성 필름의 부착 시 정전 시트(110)가 패널 측으로 가압되기 때문에 이러한 동작이 반복적으로 진행되다 보면 정전 시트(110)의 초기 장력이 틀어질 우려가 있다. 이에, 시트 장력 유지부(140)가 마련될 수 있다.

시트 장력 유지부(140)는 제1 클램프 탑재용 지지대(131)와 제2 클램프 탑재용 지지대(132) 중 적어도 어느 하나에 마련되며, 정전 시트(110)의 장력을 유지시키는 역할을 한다.

본 실시예의 경우, 시트 장력 유지부(140)가 제1 클램프 탑재용 지지대(131) 측에 마련된다. 하지만, 이는 하나의 실시예에 불과하다. 즉 시트 장력 유지부(140)는 제2 클램프 탑재용 지지대(132) 측에 마련될 수도 있고, 아니면 제1 클램프 탑재용 지지대(131)와 제2 클램프 탑재용 지지대(132) 모두에 마련될 수도 있을 것이다.

시트 장력 유지부(140)는 제1 클램프 탑재용 지지대(131)를 승하강 구동시키는 액추에이터로 적용될 수 있다. 시트 장력 유지부(140)에 의해 제1 클램프 탑재용 지지대(131)가 승하강될 수 있어서 정전 시트(110)의 장력이 유지될 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치에는 앞서 기술한 것처럼 기능성 필름 부착부(150)가 갖춰진다.

기능성 필름 부착부(150)는 시트 탑재부(130)에 이웃하게 장치 본체(120)에 마련되며, 정전 시트(110)에 기능성 필름이 부착, 즉 척킹되면서 부착되도록 한 후, 정전 시트(110)를 이용해서 패널에 기능성 필름을 부착시키는 역할을 한다.

다시 말해, 기능성 필름 부착부(150)는 기능성 필름을 정전 시트(110)에 먼저 부착시킨 후, 기능성 필름과 패널을 상호 얼라인시킨 다음, 정전 시트(110)를 가압함으로써 패널에 기능성 필름이 부착될 수 있도록 한다. 기능성 필름이 패널에 부착되고 나면 정전 시트(110)가 기능성 필름에서 박리된다.

이러한 역할을 담당하는 기능성 필름 부착부(150)는 롤러 지지모듈(155)에 의해 한 몸체로 연결되는 부착 롤러(151) 및 백업 롤러(152)와, 롤러 지지모듈(155)을 업/다운(up/down) 구동시키는 모듈 업/다운 구동부(160)와, 롤러 지지모듈(155)을 주행시키는 모듈 주행부(170)를 포함할 수 있다.

부착 롤러(151)는 정전 시트(110)의 정전척 레이어(113)에 기능성 필름이 척킹되면서 부착되게 하거나 패널에 기능성 필름이 부착되도록 정전 시트(110) 상에서 가압 이동되는 롤러이다. 다시 말해, 부착 롤러(151)는 정전 시트(110)의 스테인리스 스틸 레이어(111)에서 회전 이동되면서 정전 시트(110)를 일측에서 타측으로 가압한다. 따라서 정전 시트(110)의 정전척 레이어(113)에 기능성 필름이 점착되는 공정이 진행될 수 있고, 또한 패널에 기능성 필름이 부착되는 공정이 진행될 수 있다.

백업 롤러(152)는 부착 롤러(151)에 외접되며, 부착 롤러(151)의 회전을 지지하는 롤러이다. 백업 롤러(152)는 부착 롤러(151)보다 큰 직경을 가질 수 있는데, 이러한 백업 롤러(152)의 작용으로 인해 부착 롤러(151)가 정전 시트(110)의 정전척 레이어(113)에 기능성 필름이 점착되도록 하거나 패널에 기능성 필름이 부착되도록 하는 공정이 잘 진행될 수 있게끔 한다.

이상 설명한 부착 롤러(151) 및 백업 롤러(152)는 롤러 지지모듈(155)에 의해 한 몸체로 지지된다. 따라서 롤러 지지모듈(155)을 업(up)시키면 부착 롤러(151) 및 백업 롤러(152) 역시 함께 업(up)될 수 있고, 롤러 지지모듈(155)을 다운(down)시키면 부착 롤러(151) 및 백업 롤러(152) 역시 함께 다운(down)될 수 있다.

모듈 업/다운 구동부(160)는 장치 본체(120)에 마련되며, 롤러 지지모듈(155)을 업/다운(up/down) 구동시키는 역할을 한다. 본 실시예에서 모듈 업/다운 구동부(160)는 저마찰 실린더를 포함할 수 있다. 저마찰 실린더에는 부착 롤러(151)가 정전 시트(110)에 가압되는 가압력을 감지하는 로드 셀(미도시)이 적용될 수 있다. 로드 셀의 정보에 의해 컨트롤러(180)가 저마찰 실린더의 힘을 컨트롤함으로써 일정한 압력으로 정전 시트(110)를 가압할 수 있으며, 이로 인해 정전 시트(110)에 기능성 필름이 점착되도록 하거나 패널에 기능성 필름이 부착되도록 할 수 있다.

모듈 주행부(170)는 장치 본체(120)에 마련되되 롤러 지지모듈(155) 및 모듈 업/다운 구동부(160)와 연결되며, 롤러 지지모듈(155)이 워킹 스테이지(190) 상에서 왕복 구동되도록 주행시키는 역할을 한다. 모듈 주행부(170)는 리니어모터나 볼스크루의 구조로 적용될 수 있다.

한편, 기능성 필름 부착부(150)는 기능성 필름을 진공압으로 척킹하는 베큠 블록(165, Vacuum Block)을 더 포함한다. 베큠 블록(165)은 블록 지지부(166)에 의해 모듈 업/다운 구동부(160) 또는 롤러 지지모듈(155)과 연결될 수 있다.

베큠 블록(165)은 도 8에 도시된 것처럼 정전 시트(110)의 베이스 레이어(111)에 형성되는 진공홀(112)을 통해 기능성 필름에 진공을 제공한다.

앞서 기술한 것처럼 진공홀(112)은 정전척 레이어(113)와 중첩되지 않게 스테인리스 스틸로 된 베이스 레이어(111)의 단부에 형성되는데, 디태치 공정 시 즉 도 4처럼 원필름으로부터 기능성 필름을 디태치하는 공정 시 진공홀(112)을 통해 진공을 제공해서 흡착력을 보강하는 데 활용할 수 있다. 흡착력이 보강됨에 따라 정전 시트(110)에 기능성 필름이 좀 더 강한 힘으로 부착될 수 있다.

디태치 공정이 완료되면 모듈 업/다운 구동부(160)의 작용으로 도 5처럼 베큠 블록(165)이 상승하여 기능성 필름으로부터 이격되고, 도 6 및 도 7처럼 부착 롤러(151)의 작용으로 패널에 기능성 필름이 라미네이팅되도록 한다.

이러한 동작이 가능해질 수 있도록 본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치에는 컨트롤러(180)가 갖춰진다.

컨트롤러(180)는 정전 시트(110)에 기능성 필름이 부착되도록 하거나 패널에 상기 기능성 필름이 부착되도록 하는 공정조건에 기초하여 모듈 업/다운 구동부(160)와 모듈 주행부(170)의 동작을 컨트롤할 수 있다. 이러한 역할을 수행하는 컨트롤러(180)는 중앙처리장치(181, CPU), 메모리(182, MEMORY), 그리고 서포트 회로(183, SUPPORT CIRCUIT)를 포함할 수 있다.

중앙처리장치(181)는 본 실시예에서 정전 시트(110)에 기능성 필름이 부착되도록 하거나 패널에 기능성 필름이 부착되도록 하는 공정조건에 기초하여 모듈 업/다운 구동부(160)와 모듈 주행부(170)의 동작을 컨트롤하기 위해서 산업적으로 적용될 수 있는 다양한 컴퓨터 프로세서들 중 하나일 수 있다.

메모리(182, MEMORY)는 중앙처리장치(181)와 연결된다. 메모리(182)는 컴퓨터로 읽을 수 있는 기록매체로서 로컬 또는 원격지에 설치될 수 있으며, 예를 들면 랜덤 액세스 메모리(RAM), ROM, 플로피 디스크, 하드 디스크 또는 임의의 디지털 저장 형태와 같이 쉽게 이용가능한 적어도 하나 이상의 메모리일 수 있다.

서포트 회로(183, SUPPORT CIRCUIT)는 중앙처리장치(181)와 결합되어 프로세서의 전형적인 동작을 지원한다. 이러한 서포트 회로(183)는 캐시, 파워 서플라이, 클록 회로, 입/출력 회로, 서브시스템 등을 포함할 수 있다.

본 실시예에서 컨트롤러(180)는 정전 시트(110)에 기능성 필름이 부착되도록 하거나 패널에 상기 기능성 필름이 부착되도록 하는 공정조건에 기초하여 모듈 업/다운 구동부(160)와 모듈 주행부(170)의 동작을 컨트롤하는데, 이러한 일련의 프로세스 등은 메모리(182)에 저장될 수 있다. 전형적으로는 소프트웨어 루틴이 메모리(182)에 저장될 수 있다. 소프트웨어 루틴은 또한 다른 중앙처리장치(미도시)에 의해서 저장되거나 실행될 수 있다.

본 발명에 따른 프로세스는 소프트웨어 루틴에 의해 실행되는 것으로 설명하였지만, 본 발명의 프로세스들 중 적어도 일부는 하드웨어에 의해 수행되는 것도 가능하다. 이처럼, 본 발명의 프로세스들은 컴퓨터 시스템 상에서 수행되는 소프트웨어로 구현되거나 또는 집적 회로와 같은 하드웨어로 구현되거나 또는 소프트웨어와 하드웨어의 조합에 의해서 구현될 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치에는 워킹 스테이지(190)가 마련된다. 워킹 스테이지(190)는 장치 본체(120)의 일측에 배치되며, 패널에 기능성 필름이 부착되는 장소를 형성한다. 워킹 스테이지(190)는 장치 본체(120)와는 다른 별개의 구성일 수 있다.

이러한 워킹 스테이지(190)에는 스테이지 얼라인부(191)가 결합된다. 스테이지 얼라인부(191)는 패널과 기능성 필름 간의 상대 위치 얼라인(align)을 위해 워킹 스테이지(190)의 위치를 X축, Y축, θ축으로 얼라인시키는 역할을 한다.

도면에는 스테이지 얼라인부(191)가 개략적으로 도시되었으나 스테이지 얼라인부(191)는 실린더, 모터 및 볼 스크루의 조합에 의해 적용될 수 있으며, 워킹 스테이지(190)의 위치를 얼라인시킴으로써 패널과 기능성 필름 간의 상대 위치가 얼라인될 수 있도록 한다.

본 실시예의 경우, 패널과 기능성 필름 간의 상대 위치 얼라인(align)을 위하여 스테이지 얼라인부(191)를 워킹 스테이지(190)에 적용하고 워킹 스테이지(190)를 얼라인시키는 것으로 설명하였으나 반대로 워킹 스테이지(190)는 고정시키고 기능성 필름 측의 구조를 얼라인시키는 것을 고려해볼 수도 있을 것인데, 이러한 사항 모두가 본 발명의 권리범위에 속한다고 하여야 할 것이다.

워킹 스테이지(190)의 주변에는 시트 클리닝 유닛(195)이 더 갖춰질 수 있다. 시트 클리닝 유닛(195)은 정전 시트(110)를 클리닝(Cleaning)하는 역할을 한다.

시트 클리닝 유닛(195)을 적용해서 외부요인으로 인해 오염된 정전 시트(110)를 정기적 또는 비정기적으로 클리닝(Cleaning)함으로써 부착품질을 높이고 수명을 증대시킬 수 있다.

본 실시예에서 시트 클리닝 유닛(195)은 스티키 플레이트 타입(Sticky Plate type)으로 적용될 수 있다. 즉 본 실시예에서 시트 클리닝 유닛(195)은 클리닝 스테이지(196)와, 클리닝 스테이지(196) 상에 마련되되 정전 시트(110)가 접하여 정전 시트(110) 상의 오염원이 전이되게 하는 스티키 매트(197, ticky Mat)를 포함할 수 있다.

이에, 도 9에 도시된 것처럼 기능성 필름을 패널에 라미네이팅하는 방식 그대로 정전 시트(110)가 스티키 매트(197)에 접하도록 함으로써 정전 시트(110) 상의 오염원이 제거될 수 있다. 따라서, 정전 시트(110)의 수명을 증대시킬 수 있고, 나아가 부착품질을 높일 수 있다.

본 실시예의 경우에는 시트 클리닝 유닛(195)을 스티키 플레이트 타입(Sticky Plate type)으로 적용하였으나 시트 클리닝 유닛(295)은 도 11처럼 스티키 롤러 타입(Sticky Roller type)으로 변형될 수도 있다. 즉 도 11에 도시된 것처럼 시트 클리닝 유닛(295)은 스티키 롤러(296)와, 스티키 롤러(296)를 구동시키는 롤러 구동 기구(297)를 포함할 수 있다. 이에, 롤러 구동 기구(297)로 스티키 롤러(296)를 상승시킨 상태에서 정전 시트(110)가 스티키 롤러(296)에 접하도록 함으로써 정전 시트(110) 상의 오염원이 제거될 수 있게끔 할 수도 있다.

이하, 본 실시예에 따른 기능성 필름 부착장치의 작용을 간략하게 설명한다.

우선, 도 4처럼 워킹 스테이지(190) 상에 기능성 필름이 로딩되면, 모듈 업/다운 구동부(160)에 의해 롤러 지지모듈(155)이 다운(down)된다.

이어, 도 5처럼 모듈 주행부(170)의 작용으로 롤러 지지모듈(155)이 일측에서 타측으로 이동됨으로써 정전 시트(110)의 정전척 레이어(113)에 기능성 필름이 부착된다. 이때는 베큠 블록(165)을 통한 진공압이 더 제공됨에 따라 기능성 필름의 부착력을 높인다.

정전 시트(110)에 기능성 필름이 점착되고 나면 모듈 업/다운 구동부(160)에 의해 롤러 지지모듈(155)이 업(up)된다. 이때, 베큠 블록(165) 역시, 상승하여 기능성 필름으로부터 이격된다.

다음, 워킹 스테이지(190) 상에 패널이 로딩되고, 모듈 업/다운 구동부(160)에 의해 롤러 지지모듈(155)이 다시 다운(down)된다. 이때, 별도의 비젼(미도시)이 패널과 기능성 필름의 얼라인 마크(align mark)를 촬영하여 패널과 기능성 필름 간의 상대적인 얼라인 조정을 진행한다. 얼라인 조정은 워킹 스테이지(190)에 연결된 스테이지 얼라인부(191)를 통해 진행될 수 있다.

패널과 기능성 필름 간의 얼라인 조정이 완료되면 도 6처럼 모듈 업/다운 구동부(160)에 의해 롤러 지지모듈(155)이 더 다운(down)되어 부착 롤러(151)의 작용으로 기능성 필름이 패널에 접촉되도록 한다.

그런 다음, 도 7처럼 모듈 주행부(170)의 작용으로 롤러 지지모듈(155)이 타측에서 일측으로 이동됨으로써 부착 롤러(151)가 정전 시트(110)를 가압하는 힘으로 인해 패널에 기능성 필름이 부착될 수 있게끔 한다. 패널에 기능성 필름이 부착되고 나면 모듈 업/다운 구동부(160)에 의해 롤러 지지모듈(155)이 다시 업(up)되며, 이의 작용으로 인해 정전 시트(110)가 기능성 필름에서 이탈, 즉 박리된다.

이상 설명한 바와 같은 구조로 작용을 하는 본 실시예에 따르면, 종전과 달리 정전 시트(110)를 이용하기 때문에 공정조건별 척킹력(Chucking Force) 조절 또는 비례 제어가 가능해질 수 있음은 물론 플라즈마 공정 처리가 가능해서 필름의 부착품질을 종래보다 현저하게 높일 수 있으며, 특히 수명이 길 뿐만 아니라 중대형 패널의 필름 부착공정에 적용할 수 있게 된다.

이처럼 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예는 본 발명의 청구범위에 속한다고 하여야 할 것이다.

110 : 정전 시트 111 : 베이스 레이어
112 : 진공홀 113 : 정전척 레이어
113a : 제1 접착제 113b : 제1 PI 필름 레이어
113c : 구리(Cu) 패턴 레이어 113d : 제2 접착제
113e : 제2 PI 필름 레이어 115 : 필름 전극
120 : 장치 본체 130 : 시트 탑재부
131 : 제1 클램프 탑재용 지지대 132 : 제2 클램프 탑재용 지지대
134 : 시트 아이들 롤러 140 : 시트 장력 유지부
150 : 기능성 필름 부착부 151 : 부착 롤러
152 : 백업 롤러 155 : 롤러 지지모듈
160 : 모듈 업/다운 구동부 165 : 베큠 블록
166 : 블록 지지부 170 : 모듈 주행부
180 : 컨트롤러 190 : 워킹 스테이지
191 : 스테이지 얼라인부 195 : 시트 클리닝 유닛

Claims (20)

1. 삭제
2. 삭제
3. 삭제
4. 삭제
5. 삭제
6. 전원 인가 시 발생하는 대전된 전위에 의하여 제공되는 척킹력(Chucking Force)을 통해 패널에 부착될 기능성 필름과 부착되는 정전 시트;
   장치 본체의 일측에 마련되며, 상기 정전 시트를 이용해서 상기 패널에 상기 기능성 필름을 부착시킬 수 있도록 상기 정전 시트가 탑재되는 시트 탑재부; 및
   상기 장치 본체의 일측에 배치되며, 상기 정전 시트를 클리닝(Cleaning)하는 시트 클리닝 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
7. 제6항에 있어서,
   상기 정전 시트의 양단부에는 상기 정전 시트의 양단부를 지지하는 제1 및 제2 시트 클램프가 마련되며,
   상기 시트 탑재부는,
   상기 장치 본체의 일측에 마련되며, 상기 제1 시트 클램프가 탑재되게 지지하는 제1 클램프 탑재용 지지대; 및
   상기 장치 본체의 타측에 마련되며, 상기 제2 시트 클램프가 탑재되게 지지하는 제2 클램프 탑재용 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
8. 제7항에 있어서,
   상기 제1 클램프 탑재용 지지대와 상기 제2 클램프 탑재용 지지대 중 적어도 어느 하나에 마련되며, 상기 정전 시트의 장력을 유지시키는 시트 장력 유지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
9. 제6항에 있어서,
   상기 장치 본체에 마련되며, 상기 정전 시트에 상기 기능성 필름이 펼쳐진 상태로 부착되도록 한 후, 상기 정전 시트를 이용해서 상기 패널에 상기 기능성 필름을 부착시키는 기능성 필름 부착부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
10. 제9항에 있어서,
    상기 기능성 필름 부착부는,
    상기 정전 시트에 상기 기능성 필름이 부착되도록 하거나 상기 패널에 상기 기능성 필름이 부착되도록 상기 정전 시트 상에서 가압 이동되는 부착 롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
11. 제10항에 있어서,
    상기 기능성 필름 부착부는,
    상기 부착 롤러에 외접되며, 상기 부착 롤러의 회전을 지지하는 백업 롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
12. 제11항에 있어서,
    상기 기능성 필름 부착부는,
    상기 부착 롤러 및 상기 백업 롤러를 한 몸체로 지지하는 롤러 지지모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
13. 제12항에 있어서,
    상기 기능성 필름 부착부는,
    상기 장치 본체에 마련되며, 상기 롤러 지지모듈을 업/다운(up/down) 구동시키는 모듈 업/다운 구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
14. 제13항에 있어서,
    상기 기능성 필름 부착부는,
    상기 기능성 필름을 진공압으로 척킹하는 베큠 블록(Vacuum Block)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
15. 제14항에 있어서,
    상기 베큠 블록은 블록 지지부에 의해 상기 모듈 업/다운 구동부 또는 상기 롤러 지지모듈과 연결되는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
16. 제13항에 있어서,
    상기 기능성 필름 부착부는,
    상기 장치 본체에 마련되되 상기 롤러 지지모듈과 연결되며, 상기 롤러 지지모듈이 왕복 구동되도록 주행시키는 모듈 주행부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
17. 제16항에 있어서,
    상기 정전 시트에 상기 기능성 필름이 부착되도록 하거나 상기 패널에 상기 기능성 필름이 점착되도록 하는 공정조건에 기초하여 상기 모듈 업/다운 구동부와 상기 모듈 주행부의 동작을 컨트롤하는 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
18. 삭제
19. 제6항에 있어서,
    상기 시트 클리닝 유닛은,
    클리닝 스테이지; 및
    상기 클리닝 스테이지 상에 마련되되 상기 정전 시트가 접하여 상기 정전 시트 상의 오염원이 전이되게 하는 스티키 매트(Sticky Mat)를 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.
20. 제6항에 있어서,
    상기 장치 본체의 일측에 배치되며, 상기 패널에 상기 기능성 필름이 부착되는 장소를 형성하는 워킹 스테이지; 및
    상기 워킹 스테이지에 연결되며, 상기 패널과 상기 기능성 필름 간의 상대 위치 얼라인(align)을 위해 상기 워킹 스테이지의 위치를 X축, Y축, θ축으로 얼라인시키는 스테이지 얼라인부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기능성 필름 부착장치.

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