KR20100102814A

KR20100102814A - 보호필름 자동 부착장치 및 방법

Info

Publication number: KR20100102814A
Application number: KR1020090021061A
Authority: KR
Inventors: 한동희
Original assignee: 한동희
Priority date: 2009-03-12
Filing date: 2009-03-12
Publication date: 2010-09-27
Also published as: KR101004775B1

Abstract

보호필름 자동 부착장치 및 방법이 개시된다.

본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스; 상기 클린 부스 일 측에 설치되어 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛; 및 상기 클린 부스 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛에서 상기 기판을 이송받아 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛을 포함한다.

본 발명은 제1/제2 보호필름 부착기가 클린 부스의 베이스에 고정 설치되고, 제1 턴테이블과 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 실린더에 의해서 이동될 수 있는 구조로 구성됨으로써, 전체 구성이 단순하면서도 보호필름 부착 공정이 원활하고 신속하다.

기판, 보호필름, 세정, 보호필름 부착

Description

보호필름 자동 부착장치 및 방법{AUTOMATIC ATTACHING APPARATUS OF PROTECT FILM AND ATTACHING METHOD THEREOF}

본 발명은 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 관한 것으로, 파티클의 점착 및 스크래치가 발생하지 않도록 기판 양면에 보호필름을 안정적으로 자동 부착할 수 있는 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 관한 것이다.

근래, 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기가 발전함에 따라 이에 적용할 수 있는 경박단소용의 평판표시장치(Flat Panel Display Device)에 대한 요구가 점차 증대되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display), VFD(Vacuum FluorescentDisplay) 등이 활발히 연구되고 있다.

액정표시소자는 하부기판과 상부기판 및 상기 하부기판과 상부기판 사이에 형성된 액정층으로 구성되어 있다. 하부기판은 구동 소자 어레이(Array) 기판으로, 상기 하부기판에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜 지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다.

상부기판은 컬러필터(Color Filter) 기판으로, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러 필터층이 형성되어 있다.

또한, 상기 하부기판 및 상부기판에는 각각 화소 전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정 층의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.

상기 하부기판 및 상부기판은 실링 재(Sealing material)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정 층이 형성되어 상기 하부기판에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정 층을 투과하는 광량을 제어함으로써 정보를 표시하게 된다.

액정표시소자는 투명한 유리기판상에 형성되며, 상기 유리기판상에 소자가 형성되기 전에 상기 기판을 보호하기 위한 보호필름이 부착되어 있다. 소자가 만들어지기 전, 상기 기판은 그 상부 및 하부 면에 상부보호필름 및 하부보호필름이 부착되어 있다.

상기 보호필름은 기판이 이물질로부터 오염되는 것을 방지하고, 표면을 보호하여 스크레치(scratch)가 발생하는 것을 방지한다.

종래 기판에 보호필름을 부착하는 장치는 기판의 단면(일 측면)에만 보호필름을 부착하는 구조로 구성되어, 타 측면에 보호필름을 부착할 때에 대기시간으로 인하여 기판 표면에 파티클 오염이 되는 정체 시간이 존재하고, 보호필름에 파티클(particle)이 오염될 경우, 이를 세정(cleaning)할 수 있는 장치가 없어 불량율이 증가하며, 기판 양면에 보호필름 부착 작업시에는 기판의 일 측면에 부착하는 설비, 및 기판의 타 측면에 부착하는 설비, 즉 2대를 구비하고 작업 인원 또한 2배를 추가해야 하는 단점이 있으며, 대기 시간으로 전체적인 부착 공정이 신속하게 처리되지 못하며, 기판에 스크래치가 발생하여 기판의 품질을 떨어뜨리는 문제점이 있다.

본 발명은 상기한 바와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 제1 턴테이블과 제2 턴테이블을 동시에 구동하여 기판의 양 측면에 보호필름을 연속적으로 부착하여 대기시간으로 인한 오염 발생 및 스크래치 발생을 최소화하고, 세정공정을 부착공정과 동시에 수행하여 오염 등으로 인한 문제점을 개선하며, 제1/제2 보호필름 부착기가 클린 부스의 베이스에 고정 설치되고 제1 턴테이블과 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 실린더에 의해서 이동될 수 있는 구조로 구성됨으로써, 전체 구성이 단순하면서도 보호필름 부착 공정이 원활하고 신속한 보호필름 자동 부착장치 및 방법을 제공하는 데에 그 목적이 있다.

상기한 목적을 해결하기 위해서 본 발명의 보호필름 자동 부착장치는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스; 상기 클린 부스 일 측에 설치되어 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛; 및 상기 클린 부스 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛에서 상기 기판을 이송받아 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛을 포함한다.

여기서 상기 제1 보호필름 부착 유닛은, 상기 클린 부스의 베이스에 회전 플레이트가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트의 후방에는 상기 로딩 플레이트를 일정거리로 이동시키는 실린더가 설치되는 제1 턴테이블; 상기 제1 턴테이블의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트에 상기 기판을 로딩하는 기판 로딩기; 및 상기 제1 턴테이블의 후방에 위치 고정되며, 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 제1 보호필름 부착기를 포함한다.

그리고, 상기 제2 보호필름 부착 유닛은, 상기 제1 턴테이블과 나란히 위치하여 상기 제1 턴테이블로부터 보호필름이 부착된 기판을 이송받으며, 상기 클린 부스의 베이스에 회전 플레이트가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트의 후방에는 상기 로딩 플레이트를 일정거리로 이동시키는 실린더가 설치되는 제2 턴테이블; 상기 제2 턴테이블의 우측 방향에 위치 고정되며, 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 제2 보호필름 부착기; 및 상기 제2 턴테이블의 전방에 위치하여 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트에 흡착된 상기 기판을 언 로딩하는 기판 언 로딩기를 포함한다.

전술한 구성에 있어서, 상기 제1 턴테이블의 좌측 방향에는 제1 기판 세정기가 위치하여 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트에 로딩된 상기 기판의 일 측면을 세정한다. 그리고, 상기 제2 턴테이블의 후방에는 제2 기판 세정기가 위치하여 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트에 로딩된 상기 기판의 타 측면을 세정한다.

전술한 구성에 있어서, 상기 기판 로딩기는 상기 기판을 진공 흡착하는 흡착 판; 상기 흡착판을 이동시키는 리니어 이송 부; 및 상기 리니어 이송 부 상에 설치되며 상기 흡착판을 90°회전시키는 회전모터를 포함한다.

전술한 구성에 있어서, 상기 제1 기판 세정기는 베이스; 상기 베이스와 수직으로 설치되는 가이드; 상기 가이드와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류; 상기 가이드를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류에 결합되는 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 일 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러가 설치되는 전후진 플레이트; 상기 전후진 플레이트를 전후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트 상에 설치되는 전후진 실린더; 상기 베이스에 설치되며, 상기 점착 롤러에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러; 및 상기 전이 테이프 롤러를 회전시키는 전이 테이프 회전모터를 포함한다.

전술한 구성에 있어서, 상기 제1 보호필름 부착기는 상기 클린 부스의 베이스에 고정되는 고정 프레임; 상기 고정 프레임의 상부 일 측에 설치되는 보호필름 권취롤러; 상기 고정 프레임의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러; 상기 보호필름의 텐션을 유지하고 가이드 하는 다수의 텐션롤러; 상기 보호필름을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프; 상기 Z축 클램프가 결합되도록 상기 고정 프레임에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류; 상기 Z축 클램프 이송 스크류를 구동시키는 구동모터; 상기 Z축 클램프를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더; 상기 보호필름을 상기 기판의 일 측면에 밀착시키는 밀착 롤러; 상기 밀착 롤러가 결합되도록 상기 고정 프레임에 수직으로 설치되는 밀착롤러 이송 스크류; 상기 밀착 롤러 이송 스크류를 구동시키는 구동모터; 상기 밀착 롤러를 전후진 시키는 밀착 롤러 실린더; 상기 보호필름을 커팅하는 커터; 및 상기 커터를 전후진 시키는 커터 실린더를 포함한다.

전술한 구성에 있어서, 상기 제2 기판 세정기는 베이스; 상기 베이스와 수직으로 설치되는 가이드; 상기 가이드와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보 모터에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류; 상기 가이드를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류에 결합되는 승강 플레이트; 상기 승강 플레이트의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 타 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러가 설치되는 전후진 플레이트; 상기 전후진 플레이트를 전,후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트 상에 설치되는 전후진 실린더; 상기 베이스에 설치되며, 상기 점착 롤러에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러; 및 상기 전이 테이프 롤러를 회전시키는 전이 테이프 회전모터를 포함한다.

전술한 구성에 있어서, 상기 제2 보호필름 부착기는 상기 클린 부스의 베이스에 고정되는 고정 프레임; 상기 고정 프레임의 상부 일 측에 설치되는 보호필름 권취롤러; 상기 고정 프레임의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러; 상기 보호필름의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러; 상기 보호필름을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프; 상기 Z축 클램프가 결합되도록 상기 고정 프레임에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류; 상기 Z축 클램프 이송 스크류를 구동시키는 구동모터; 상기 Z축 클램프를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더; 상기 보호필름을 상기 기판의 타 측면에 밀착시키는 밀착 롤러; 상기 밀착롤러가 결합되도록 상기 고정 프레임에 수직으로 설치되는 밀착 롤러 이송 스크류; 상기 밀착 롤러 이송 스크류를 구동시키는 구동모터; 상기 밀착 롤러를 전후진 시키는 밀착 롤러 실린더; 상기 보호필름을 커팅하는 커터; 및 상기 커터를 전후진 시키는 커터 실린더를 포함한다.

한편, 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치에 의한 보호필름 부착방법은 기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계; 제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일 측면을 세정하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계; 제1 보호필름 부착기가 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 단계; 상기 제1 턴테이블이 90° 회전하는 단계; 제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 이송받는 단계; 상기 제2 턴테이블이 90° 회전하는 단계; 제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타 측면을 세정하는 단계; 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계; 및 제2 보호필름 부착기가 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 단계;를 포함한다.

전술한 부착방법에 있어서, 본 발명의 제1 보호필름 부착기의 보호필름 부착방법은 구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계; 상기 제1 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 상기 제1 보호필름 부착기 쪽으로 전진시키는 단계; 구동모터가 밀착롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착 롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계; 커터가 보호필름을 커팅하는 단계; 및 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착롤러가 원위 치하는 단계를 포함한다.

전술한 부착방법에 있어서, 본 발명의 제2 보호필름 부착기의 보호필름 부착방법은 구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계; 상기 제2 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 상기 제2 보호필름 부착기 쪽으로 전진시키는 단계; 구동모터가 밀착롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계; 커터가 보호필름을 커팅하는 단계; 및 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착롤러가 원위치하는 단계를 포함한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 제1 턴테이블과 제2 턴테이블을 동시에 구동하여 기판의 양 측면에 보호필름을 연속적으로 부착하여 대기시간으로 인한 오염 발생 및 스크래치 발생을 최소화하고, 세정공정을 부착 공정과 동시에 수행하여 오염 등으로 인한 문제점을 개선한다.

또, 제1/제2 보호필름 부착기가 클린 부스의 베이스에 고정 설치되고, 제1 턴테이블과 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 실린더에 의해서 이동될 수 있는 구조로 구성됨으로써, 전체 구성이 단순하면서도 보호필름 부착 공정이 원활하고 신속하다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 보호필름 자동 부착장치 및 방법에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치를 보인 평면 구성도이고, 도 2는 도 1의 정면도이며, 도 3은 도 1의 우측면도이고, 도 4는 도 1의 제1 턴테이블을 보인 평면도이며, 도 5는 도 4의 제1 턴테이블을 보인 측면도이다.

우선, 도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)는 파티클 발생을 제어하는 클린 부스(10); 상기 클린 부스(10) 일 측에 설치되어 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛(100); 상기 클린 부스(10) 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)에서 상기 기판(G)을 이송받아 상기 기판(G)의 타 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛(200)을 포함한다.

상기 클린 부스(10)의 측면에는 도시하지 않은 도어가 설치되고, 상기 클린 부스(10)의 상부에는 팬 필터(10a)가 설치된다.

여기서 기판(G)은 통상적인 기판 이외에도 터치 스크린 패널(TSP: Touch Screen Panel)용 ITO(Indium-Tin Oxide) 보호필름, 유리 기판 등을 모두 포함하는 개념이며, 이하에서는 편의상 기판이라 칭한다. 즉, 본 발명은 보호필름으로 보호하고자 하는 다양한 대상물에 적용 가능한 것이며, 특정한 용도, 재질, 형상에 한정되지 않는다.

상기 보호필름은 합성수지재의 다양한 종류의 필름이 사용될 수 있으며, 예 를들면 PET(Polyethylene-terephthalate) 필름 등이 사용될 수 있다.

본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)에 있어서, 제1 보호필름 부착 유닛(100)이 일차적으로 기판(G)의 일 측면(전면)에 보호필름(F1)을 부착하고, 연이어 제2 보호필름 부착 유닛(200)이 상기 기판(G)의 타 측면(배면)에 보호필름(F2)을 부착한다.

본 발명의 보호필름 자동 부착장치(1)에서 이러한 일련의 보호필름 부착 공정은 순차적이고 연속적으로 진행되어 다수의 기판(G) 양면에 보호필름(F1)(F2)을 신속하게 부착하는 것이 가능하다.

이하, 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)의 구성을 살펴본다.

상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)은, 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 회전 플레이트(111)가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트(111)의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트(113)가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트(113)의 후방에는 상기 로딩 플레이트(113)를 일정거리로 이동시키는 실린더(115)가 설치되는 제1 턴테이블(110); 상기 제1 턴테이블(110)의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 상기 기판(G)을 로딩하는 기판 로딩기(120); 및 상기 제1 턴테이블(110)의 후방에 위치 고정되며, 상기 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착기(140)를 포함한다.

상기 로딩 플레이트(113)의 배면에는 "ㄱ"자형 스토퍼(113a)가 고정되고, 상기 스토퍼(113a)와 상응하여 상기 회전 플레이트(111)에 고정된 수직 브래킷(113b) 의 배면에는 제1 터치 부(113d)가 설치된다.

또 상기 수직 브래킷(113b)의 전면에는 로딩 플레이트(115)의 배면과 접촉되는 제2 터치 부(113e)가 설치된다.

상기 제1 터치 부(113d) 및 상기 제2 터치 부(113e)에 의해서 상기 로딩 플레이트(115)의 전후진 이동 거리가 감지되고 적절히 조절되는 것이다.

여기서, 상기 기판 로딩기(120), 후술하는 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)의 위치를 제1 턴테이블(110)을 기준으로 전방, 좌측 방향, 후방이라고 하였으나, 이는 설명의 편의를 위한 것이다. 즉, 상기 기판 로딩기(120), 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)는 제1 턴테이블(110)을 기준으로 각각 전방, 좌측 방향, 후방이 아닌 다른 방향에 위치할 수 있으며, 기판 로딩기(120), 제1 기판 세정기(130), 제1 보호필름 부착기(140)가 연속 작동되게 위치하면 어느 방향이라도 무방하다. 이러한 위치에 관한 설명은 후술하는 제2 보호필름 부착 유닛(200)에서도 동일하게 적용된다.

상기 로딩 플레이트(113)에 형성된 진공 흡착홀(H)에는 진공모터(미도시) 등이 연결되어, 이의 동작으로 발생하는 진공력에 의하여 기판(G)을 흡착 고정하는바, 이러한 진공 흡착 구조는 일반적인 바, 이하에서는 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 기판 로딩기(120)는 상기 기판(G)을 진공 흡착하는 흡착판(121); 상기 흡착판(121)을 이동시키는 리니어 이송 부(LM)(122); 및 상기 리니어 이송 부(122) 상에 설치되며 상기 흡착판(121)을 90°회전시키는 회전 모터(123)를 포함한다.

상기 제1 턴테이블(110)의 좌측 방향에는 제1 기판 세정기(130)가 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 로딩된 상기 기판(G)의 일 측면을 세정한다.

도 6을 참조하면, 상기 제1 기판 세정기(130)는 베이스(131)의 수직으로 설치되는 가이드(132); 상기 가이드(132)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(133)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(134); 상기 가이드(132)를 따라 승하강이 가능하도록 상기 이송 스크류(134)에 결합되는 승강 플레이트(135); 상기 승강 플레이트(135)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 일 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(136); 상기 전후진 플레이트(137)를 전후진 시키기 위하여 상기 승강 플레이트(135) 상에 설치되는 전후진 실린더(137); 상기 베이스(131)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및 상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(138);를 포함한다.

도 7 및 도 9를 참조하면, 상기 제1 보호필름 부착기(140)는 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 고정되는 고정 프레임(141); 상기 고정 프레임(141)의 상부 일 측에 설치되는 보호필름 권취롤러(142a); 상기 고정 프레임(141)의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러(142b); 상기 보호필름(F1)의 텐션을 유지하고 가이드 하는 다수의 텐션롤러(142c); 상기 보호필름(F1)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(143); 상기 Z축 클램프(143)가 결합되도록 상기 고정 프레임(141)에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류(S1); 상기 Z축 클램프 이송 스크 류(S1)를 구동시키는 구동모터(M1); 상기 Z축 클램프(143)를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더(144); 상기 보호필름(F1)을 상기 기판(G)의 일 측면에 밀착시키는 밀착롤러(145); 상기 밀착 롤러(145)가 결합되도록 상기 고정 프레임(141)에 수직으로 설치되는 밀착 롤러 이송 스크류(S2); 상기 밀착롤러 이송 스크류(S2)를 구동시키는 구동모터(M2); 상기 밀착 롤러(145)를 전후진 시키는 밀착 롤러 실린더(146); 상기 보호필름(F1)을 커팅하는 커터(147); 및 상기 커터(147)를 전후진 시키는 커터 실린더(148)를 포함한다.

이와 같이 구성된 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)의 동작을 살펴보면 다음과 같다.

우선, 기판 로딩기(120)의 진공 흡착 홀(H)에 의해서 기판(G)이 흡착 고정되고, 흡착판(121)이 리니어 이송 부(122)에 의해서 이동되며, 회전모터(123)가 상기 흡착판(121)을 90° 회전시켜서 수직으로 위치시킨다.

상기 흡착판(121)이 수직으로 위치한 상태에서, 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)가 실린더(115)에 의해서 전진하며, 진공 흡착에 의해서 기판(G)이 로딩 플레이트(113)에 흡착된다(로딩 된다).

그 다음, 회전모터(115)의 구동에 의해서 제1 턴테이블(110)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 90°로 회전된다.

그 다음, 기판 세정기(130)의 서보모터(133)에 의해서 이송 스크류(134)가 정 회전한다. 이때 상기 승강 플레이트(135)는 상기 가이드(132)에 의해 가이드 되면서 상승한다.

그 다음, 상기 전후진 실린더(137)의 구동으로 상기 전후진 플레이트(136)가 적당한 위치로 전진하고, 이때 점착 롤러(R1)가 상기 기판(G)의 일 측면에 접촉된다. 이 상태에서 서보 모터(133)에 의해서 이송 스크류(134)가 역회전하면, 상기 승강 플레이트(135)는 상기 가이드(132)에 의해 가이드 되면서 하강하고, 점착롤러(R1)는 기판(G)의 일 측면에서 파티클을 점착 제거한다.

상기 전이 테이프 롤러(R2)는 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 역할을 하며, 상기 전이 테이프 롤러(R2)는 벨트(B)를 통해서 전이 테이프 회전모터(138)와 연결된다.

그 다음, 회전모터(115)의 구동에 의해서 제1 턴테이블(110)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 다시 90°회전된다.

그 다음, 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)가 실린더(115)에 의해서 제1 보호필름 부착기(140) 쪽으로 전진한다.

구동모터(M1)가 구동하여 이송 스크류(S1)를 회전시키면, 그 이송 스크류(S1)에 결합된 Z축 클램프(145)가 상기 보호필름(F1)을 하방으로 끌어당겨서, 상기 기판(G)의 일 측면에 근접시킨다.

그 다음, 구동모터(M2)가 구동하여 이송 스크류(S2)를 회전시키면, 그 이송 스크류(S2)에 결합된 압착 롤러(145)가 보호필름(F1)을 상기 기판(G)의 일 측면에 부착시킨다. 이어서 커터(147)가 적당한 위치에서 상기 보호필름(F1)을 커팅한다. 여기서 전후진 실린더(144)(146)(148)는 각각 Z축 클램프(145), 압착 롤러(145), 커터(147)의 위치를 전후로 조절하는 역할을 한다.

이와 같이 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)이 부착되면, 이 기판(G)은 상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)으로 이동되는 데, 이를 위해서 제1 턴테이블(110)은 다시 90°회전된다. 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)가 실린더(115)에 의해서 제2 턴테이블(210) 쪽으로 전진한다. 이와 동시에 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)가 실린더(215)에 의해서 제1 턴테이블(110) 쪽으로 전진한다. 적당한 위치에서 일 측면에 보호필름(F1)이 부착된 상기 기판(G)이 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)에 흡착된다.

도 1을 참조하여, 상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)의 구성을 살펴본다.

상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)의 구성요소들은 전술한 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)의 구성요소들과 동일하므로, 이하 이에 대하여 간략하게 설명한다.

상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)은 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 회전 플레이트(211)가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트(211)의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트(213)가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트(213)의 후방에는 상기 로딩 플레이트(213)를 일정거리로 이동시키는 실린더(215)가 설치되는 제2 턴테이블(210); 상기 제2 턴테이블(210)의 전방에 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)에 상기 기판(G)을 로딩하는 기판 로딩기(220); 및 상기 제2 턴테이블(210)의 후방에 위치 고정되며, 상기 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착기(240)를 포함한다.

상기 로딩 플레이트(213)의 배면에는 "ㄱ"자형 스토퍼(213a)가 고정되고, 상기 스토퍼(213a)와 상응하여 상기 회전 플레이트(211)에 고정된 수직 브래킷(213b)의 배면에는 제1 터치 부(213d)가 설치된다.

또 상기 수직 브래킷(213b)의 전면에는 로딩 플레이트(215)의 배면과 접촉되는 제2 터치 부(213e)가 설치된다.

상기 제1 터치 부(213d) 및 상기 제2 터치 부(213e)에 의해서 상기 로딩 플레이트(215)의 전후진 이동 거리가 감지되고 적절히 조절되는 것이다.

상기 로딩 플레이트(213)에 형성된 진공 흡착 홀(H)에는 진공모터(미 도시) 등이 연결되어, 이의 동작으로 발생하는 진공력에 의하여 기판(G)을 흡착 고정하는바, 이러한 진공 흡착구조는 일반적인 바, 이하에서는 이에 대한 구체적인 설명은 생략한다.

상기 제2 턴테이블(210)의 후방에는 제2 기판 세정기(230)가 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)에 로딩된 상기 기판(G)의 타 측면을 세정한다.

도 11을 참조하면, 상기 제2 기판 세정기(230)는 베이스(231)의 수직으로 설치되는 가이드(232); 상기 가이드(232)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(233)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(234); 상기 가이드(232)를 따라 승하강이 가능하도록 상기 이송 스크류(234)에 결합되는 승강 플레이트(235); 상기 승강 플레이트(235)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 타 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이 트(236); 상기 전후진 플레이트(237)를 전후진 시키기 위하여 상기 승강 플레이트(235) 상에 설치되는 전후진 실린더(237); 상기 베이스(231)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및 상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(238)를 포함한다.

도 12 및 도 13을 참조하면, 상기 제2 보호필름 부착기(240)는 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 고정되는 고정 프레임(241); 상기 고정 프레임(241)의 상부 일 측에 설치되는 보호필름 권취롤러(242a); 상기 고정 프레임(241)의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러(242b); 상기 보호필름(F2)의 텐션을 유지하고 가이드 하는 다수의 텐션롤러(242c); 상기 보호필름(F2)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(243); 상기 Z축 클램프(243)가 결합되도록 상기 고정 프레임(241)에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류(S1); 상기 Z축 클램프 이송 스크류(S1)를 구동시키는 구동모터(M1); 상기 Z축 클램프(243)를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더(244); 상기 보호필름(F2)을 상기 기판(G)의 타 측면에 밀착시키는 밀착 롤러(245); 상기 밀착 롤러(245)가 결합되도록 상기 고정 프레임(241)에 수직으로 설치되는 밀착 롤러 이송 스크류(S2); 상기 밀착롤러 이송 스크류(S2)를 구동시키는 구동모터(M2); 상기 밀착 롤러(245)를 전후진 시키는 밀착 롤러 실린더(246); 상기 보호필름(F2)을 커팅하는 커터(247); 및 상기 커터(247)를 전후진 시키는 커터 실린더(248)를 포함한다.

이와 같이 구성된 상기 제2 보호필름 부착 유닛(200)에서의 동작을 살펴보면 다음과 같다.

우선, 회전모터(215)의 구동에 의해서 제2 턴테이블(210)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 90°로 회전된다.

그 다음, 기판 세정기(230)의 서보 모터(233)에 의해서 이송 스크류(234)가 정 회전한다. 이때 상기 승강 플레이트(235)는 상기 가이드(232)에 의해 가이드 되면서 상승한다.

그 다음, 상기 전후진 실린더(237)의 구동으로 상기 전후진 플레이트(236)가 적당한 위치로 전진하고, 이때 점착 롤러(R1)가 상기 기판(G)의 타 측면에 접촉된다. 이 상태에서 서보 모터(233)에 의해서 이송 스크류(234)가 역회전하면, 상기 승강 플레이트(235)는 상기 가이드(232)에 의해 가이드 되면서 하강하고, 점착 롤러(R1)는 기판(G)의 타 측면에서 파티클을 점착 제거한다.

상기 전이 테이프 롤러(R2)는 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 역할을 하며, 상기 전이 테이프 롤러(R2)는 벨트(B)를 통해서 전이 테이프 회전모터(238)와 연결된다.

그 다음, 회전모터(215)의 구동에 의해서 제2 턴테이블(210)은 기판(G)을 흡착 고정한 상태에서 다시 90°회전된다.

그 다음, 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)가 실린더(215)에 의해서 제2 보호필름 부착기(240) 쪽으로 전진한다.

구동모터(M1)가 구동하여 이송 스크류(S1)를 회전시키면, 그 이송 스크류(S1)에 결합된 Z축 클램프(245)가 상기 보호필름(F2)을 하방으로 끌어당겨서, 상기 기판(G)의 타 측면에 근접시킨다.

그 다음, 구동모터(M2)가 구동하여 이송 스크류(S2)를 회전시키면, 그 이송 스크류(S2)에 결합된 압착 롤러(245)가 보호필름(F2)을 상기 기판(G)의 타 측면에 부착시킨다. 이어서 커터(247)가 상기 보호필름(F2)을 커팅한다. 여기서 전후진 실린더(244)(246)(248)는 각각 Z축 클램프(245), 압착 롤러(245), 커터(247)의 위치를 조절하는 역할을 한다.

이와 같이 기판(G)의 양 측면에 보호필름(F1)(F2)이 부착되면, 이 기판(G)은 언 로딩기(미 도시)에 의해서 상기 클린 부스(10) 외부로 이송된다.

이하에서는 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치에서의 보호필름 부착 방법을 설명한다.

도 14는 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치의 보호필름 부착방법을 보인 흐름도이다.

도 14를 참조하면, 본 발명의 보호필름 부착 방법은 기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계(S10); 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S20); 제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일 측면을 세정하는 단계(S30); 상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S40); 제1 보호필름 부착기가 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50); 상기 제1 턴테이블이 90° 회전하는 단계(S60); 제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 이송받는 단계(S70); 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S80); 제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타 측면을 세정하는 단계(S90); 상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S100); 및 제2 보호필름 부착기가 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S110);를 포함한다.

여기서, 상기 제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 이송받는 단계(S70)에서는, 상기 제1 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 전진시키고, 이와 동시에 상기 제2 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 전진시켜서 중간 위치에서 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트와 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 만나게 되고, 이때 진공 흡착 작용에 의하여 상기 제1 턴테이블에 흡착된 기판이 상기 제2 턴테이블로 이송된다. 또한 제1 턴테이블의 실린더만이 동작하여 기판을 전달할 수도 있고, 제2 턴테이블의 실린더만이 동작하여 기판을 전달할 수도 있다.

도 15는 본 발명의 제1 보호필름 부착기의 보호필름 부착방법을 보인 흐름도이다.

도 15를 참조하면, 상기 제1 보호필름 부착기가 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50)에서는, 구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계(S51); 상기 제1 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 상기 제1 보호필름 부착기 쪽으로 전진시키는 단계(S52); 구동모터가 밀착 롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착 롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계(S53); 커터가 보호필름을 커팅하는 단계(S54); 및 상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착 롤러가 원위치하는 단계(S55)를 포함한다.

도 16은 본 발명의 제2 보호필름 부착기의 보호필름 부착방법을 보인 흐름도이다.

도 16을 참조하면, 상기 제2 보호필름 부착기가 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S110)는 구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계(S111); 상기 제2 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 상기 제2 보호필름 부착기 쪽으로 전진시키는 단계(S112); 구동모터가 밀착 롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계(S113); 커터가 보호필름을 커팅하는 단계(S114); 및 상기 제2 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착 롤러가 원위치하는 단계(S115);를 포함한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 제1 턴테이블과 제2 턴테이블을 동시에 구동하여 기판의 양 측면에 보호필름을 연속적으로 부착하여 대기시간으로 인한 오염 발생 및 스크래치 발생을 최소화하고, 세정공정을 부착공정과 동시에 수행하여 오염 등으로 인한 문제점을 개선한다.

또 제1 턴테이블과 제2 턴테이블의 로딩 플레이트가 실린더에 의해서 이동될 수 있는 구조로 구성됨으로써 전체 구성이 단순하면서도 보호필름 부착 공정이 원활하고 신속하다.

본 발명은 바람직한 실시 예와 첨부한 도면을 참조하여 설명되었지만, 본 발명의 개념 및 범위 내에서 상이한 실시 예가 구성될 수 있다. 따라서 본 발명의 범위는 첨부된 청구범위에 의해 정해지며, 본 명세서에 기재된 특정 실시 예에 의해 한정되지 않는 것으로 해석되어야 한다.

도 1은 본 발명에 따른 보호필름 자동 부착장치를 보인 평면 구성도이다.

도 2는 도 1의 정면도이다.

도 3은 도 1의 우측면도이다.

도 4는 도 1의 제1 턴테이블을 보인 평면도이다.

도 5는 도 4의 제1 텐테이블을 보인 측면도이다.

도 6은 도 1의 제1 세정기를 보인 측면도이다.

도 7은 도 1의 제1 보호 필름 부착기를 보인 측면도이다.

도 8은 도 7의 제1 보호 필름 부착기를 보인 정면도이다.

도 9는 도 7의 제1 보호 필름 부착기를 보인 평면도이다.

도 10은 도 1의 제2 턴테이블을 보인 평면도이다.

도 11은 도 1의 제2 세정기를 보인 측면도이다.

도 12는 도 1의 제2 보호 필름 부착기를 보인 측면도이다.

도 13은 도 12의 제2 보호 필름 부착기를 보인 정면도이다.

* 주요부분에 대한 도면부호 *

1: 보호필름 자동 부착장치

10: 클린 부스

11: 베이스

100,200: 제1/제2 보호필름 부착 유닛

G: 기판

F1,F2: 보호필름

110,210: 제1/제2 턴테이블

111,211: 회전 플레이트

113,213: 로딩 플레이트

113a,213a: 스토퍼

113b,213b: 수직 브래킷

113d,213d: 제1 터치 부

113e,213e: 제2 터치 부

115,215: 실린더

120: 기판 로딩기

121: 흡착판

122: 리니어 이송 부

123: 회전 모터

130,230: 제1/제2 기판 세정기

131,231: 베이스

132,232: 가이드

133,233: 서보 모터

134,234: 이송 스크류

135,235: 승강 플레이트

R1: 점착 롤러

136,236: 전후진 플레이트

137,237: 전후진 실린더

138,238: 전이 테이프 회전모터

140,240: 제1/제2 보호필름 부착기

141,241: 고정 프레임

142a,242a: 보호필름 권취 롤러

142b,242b: 보호필름 이형제 권취 롤러

142c,242c: 텐션 롤러

143,243: Z축 클램프

144,244: Z축 클램프 실린더

145,245: 밀착 롤러

146,246: 밀착 롤러 실린더

147,247: 커터

148,248: 커터 실린더

S2: 밀착 롤러 이송 스크류

H: 진공 흡착 홀

R2: 전이 테이프 롤러

S1: Z축 클램프 이송 스크류

M1: 구동모터

M2: 구동모터

Claims

파티클 발생을 제어하는 클린 부스(10); 상기 클린 부스(10) 일 측에 설치되어 기판(G)의 일 측면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착 유닛(100); 및 상기 클린 부스(10) 타 측에 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)과 나란히 설치되며, 상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)에서 상기 기판(G)을 이송하여 상기 기판(G)의 타 측면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착 유닛(200);을 포함하되,

상기 제1 보호필름 부착 유닛(100)은

상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 회전 플레이트(111)가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트(111)의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트(113)가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트(113)의 후방에는 상기 로딩 플레이트(113)를 일정거리로 이동시키는 실린더(115)가 설치되는 제1 턴테이블(110);

상기 제1 턴테이블(110)의 전방에 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 상기 기판(G)을 로딩하는 기판 로딩기(120); 및

상기 제1 턴테이블(110)의 후방에 위치 고정되며, 상기 기판(G)의 일측 면에 보호필름(F1)을 부착하는 제1 보호필름 부착기(140);를 포함하고,

상기 제2 보호필름 부착 유닛(100)은

상기 제1 턴테이블(110)과 나란히 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)로부터 보호필름(F1)이 부착된 기판(G)을 이송받으며, 상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 회전 플레이트(211)가 회전 가능하게 설치되고, 상기 회전 플레이트(211)의 상부 외곽에는 90°씩 네 방향을 향하여 각각 수직으로 로딩 플레이트(213)가 설치되며, 상기 각 로딩 플레이트(213)의 후방에는 상기 로딩 플레이트(213)를 일정거리로 이동시키는 실린더(215)가 설치되는 제2 턴테이블(210);

상기 제2 턴테이블(210)의 우측 방향에 위치 고정되며, 상기 기판(G)의 타측 면에 보호필름(F2)을 부착하는 제2 보호필름 부착기(240); 및

상기 제2 턴테이블(110)의 전방에 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)에 흡착된 상기 기판(G)을 언 로딩하는 기판 언 로딩기;를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착장치.
제1항에 있어서,

상기 제1 턴테이블(110)의 좌측 방향에 제1 기판 세정기(130)가 위치하여 상기 제1 턴테이블(110)의 로딩 플레이트(113)에 로딩된 상기 기판(G)의 일측 면을 세정하며,

상기 제2 턴테이블(210)의 후방에 제2 기판 세정기(230)가 위치하여 상기 제2 턴테이블(210)의 로딩 플레이트(213)에 로딩된 상기 기판(G)의 타측 면을 세정하는 것을 특징으로 보호필름 자동 부착장치.
제1항에 있어서,

상기 기판 로딩기(120)는

상기 기판을 진공 흡착하는 흡착판(121);

상기 흡착판(121)을 이동시키는 리니어 이송 부(122); 및

상기 리니어 이송 부(122) 상에 설치되며 상기 흡착판(121)을 90°회전시키는 회전모터(123);를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착장치.
제2항에 있어서,

상기 제1 기판 세정기(130)는

베이스(131);

상기 베이스(131)와 수직으로 설치되는 가이드(132);

상기 가이드(132)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(133)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(134);

상기 가이드(132)를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류(134)에 결합되는 승강 플레이트(135);

상기 승강 플레이트(135)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판(G)의 일 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플레이트(136);

상기 전후진 플레이트(136)를 전후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트(135) 상에 설치되는 전후진 실린더(137);

상기 베이스(131)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및

상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(138);를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착장치.
제1항에 있어서,

상기 제1 보호필름 부착기(140)는

상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 고정되는 고정 프레임(141);

상기 고정 프레임(141)의 상부 일측에 설치되는 보호필름 권취롤러(142a);

상기 고정 프레임(141)의 상부 타측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러(142b);

상기 보호필름(F1)의 텐션을 유지하고 가이드하는 다수의 텐션롤러(142c);

상기 보호필름(F1)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(143);

상기 Z축 클램프(143)가 결합되도록 상기 고정 프레임(141)에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류(S1);

상기 Z축 클램프 이송 스크류(S1)를 구동시키는 구동모터(M1);

상기 Z축 클램프(143)를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더(144);

상기 보호필름(F1)을 상기 기판(G)의 일 측면에 밀착시키는 밀착롤러(145);

상기 밀착롤러(145)가 결합되도록 상기 고정 프레임(141)에 수직으로 설치되는 밀착롤러 이송 스크류(S2);

상기 밀착롤러 이송 스크류(S2)를 구동시키는 구동모터(M2);

상기 밀착롤러(145)를 전후진 시키는 밀착롤러 실린더(146);

상기 보호필름(F1)을 커팅하는 커터(147); 및

상기 커터(147)를 전후진 시키는 커터 실린더(148);를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착장치.
제2항에 있어서,

상기 제2 기판 세정기(230)는

베이스(231);

상기 베이스(231)와 수직으로 설치되는 가이드(232);

상기 가이드(232)와 인접하여 수직으로 설치되며, 서보모터(233)에 의해서 정/역 회전되는 이송 스크류(234);

상기 가이드(232)를 따라 승하강 가능하도록 상기 이송 스크류(234)에 결합되는 승강 플레이트(235);

상기 승강 플레이트(235)의 하부에 전후진 가능하게 설치되며, 하부에 상기 기판의 타 측면에서 파티클을 흡착 제거하는 점착 롤러(R1)가 설치되는 전후진 플 레이트(236);

상기 전후진 플레이트(236)를 전후진시키기 위하여 상기 승강 플레이트(235) 상에 설치되는 전후진 실린더(237);

상기 베이스(231)에 설치되며, 상기 점착 롤러(R1)에서 파티클을 전이시키는 전이 테이프 롤러(R2); 및

상기 전이 테이프 롤러(R2)를 회전시키는 전이 테이프 회전모터(238);를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착장치.
제1항에 있어서,

상기 제2 보호필름 부착기(240)는

상기 클린 부스(10)의 베이스(11)에 고정되는 고정 프레임(241);

상기 고정 프레임(241)의 상부 일측에 설치되는 보호필름 권취롤러(242a);

상기 고정 프레임(241)의 상부 타 측에 설치되는 보호필름 이형제 권취롤러(242b);

상기 보호필름(F2)의 텐션을 유지하는 다수의 텐션롤러(242c);

상기 보호필름(F2)을 Z축 방향으로 끌어당기는 Z축 클램프(243);

상기 Z축 클램프(243)가 결합되도록 상기 고정 프레임(241)에 수직으로 설치되는 Z축 클램프 이송 스크류(S1);

상기 Z축 클램프 이송 스크류(S1)를 구동시키는 구동모터(M1);

상기 Z축 클램프(243)를 전후진 시키는 Z축 클램프 실린더(244);

상기 보호필름(F2)을 상기 기판(G)의 타측 면에 밀착시키는 밀착롤러(245);

상기 밀착롤러(245)가 결합되도록 상기 고정 프레임(241)에 수직으로 설치되는 밀착롤러 이송 스크류(S2);

상기 밀착롤러 이송 스크류(S2)를 구동시키는 구동모터(M2);

상기 밀착롤러(245)를 전후진 시키는 밀착롤러 실린더(246);

상기 보호필름(F2)을 커팅하는 커터(247); 및

상기 커터(247)를 전후진 시키는 커터 실린더(248)를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착장치.
기판을 제1 턴테이블에 로딩하는 단계(S10);

상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S20);

제1 세정기가 상기 제1 턴테이블에 로딩된 기판의 일측 면을 세정하는 단계(S30);

상기 제1 턴테이블이 90°회전하는 단계(S40);

제1 보호필름 부착기가 상기 기판의 일 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50);

상기 제1 턴테이블이 90° 회전하는 단계(S60);

제2 턴테이블이 상기 제1 턴테이블로부터 상기 기판을 이송하는 단계(S70);

상기 제2 턴테이블이 90° 회전하는 단계(S80);

제2 세정기가 상기 제2 턴테이블에 로딩된 기판의 타 측면을 세정하는 단계(S90);

상기 제2 턴테이블이 90°회전하는 단계(S100); 및

제2 보호필름 부착기가 상기 기판의 타 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S110);를 포함하여 이루어지는 보호필름 자동 부착방법.
제8항에 있어서,

상기 제1 보호필름 부착기/제2 보호필름 부착기가 상기 기판의 일 측면/타 측면에 보호필름을 부착하는 단계(S50)(S110)는 각각,

구동모터가 Z 축 클램프 이송 스크류를 회전시켜서 상기 Z 축 클램프가 상기 보호필름을 하방으로 당기는 단계(S51)(S111);

상기 제1/제2 턴테이블의 실린더가 로딩 플레이트를 전진시키는 단계(S52)(S112);

구동모터가 밀착롤러 이송 스크류를 회전시켜서 상기 밀착롤러가 하방으로 이동하면서 상기 기판에 보호필름을 밀착시키고, 부착하는 단계(S53)(S113);

커터가 보호필름을 커팅하는 단계(S54)(S114); 및

상기 제1 턴테이블의 로딩 플레이트, 상기 Z 축 클램프, 상기 밀착롤러가 원 위치하는 단계(S55)(S115);를 포함하는 것을 특징으로 하는 보호필름 자동 부착방 법.