JP2009063626A - 真空吸着制御機構装置、フィルム貼付装置、フィルムの貼付方法、表示装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 フィルムを精度よく被貼付物に貼付できるフィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】 フィルム貼付装置１はフィルムを吸着する円筒状の貼付ヘッド３を有し、貼付ヘッド３の端面３ａにはベース体５が設けられている。
貼付ヘッド３の表面３ｂには、複数の吸着穴が設けられている。
各吸着穴は後述する溝部１１の形状に対応した配列形状になるように配列されている。
ベース体５は、貼付ヘッド３と対向する面に設けられた溝部１１を有し、溝部１１は、貼付ヘッド３の表面３ｂの形状に対応した形状を有している。
ベース体５は穴部１３を有し、穴部１３には図示しない減圧源が接続されている。
溝部１１と吸着穴が接した状態では、吸着穴と減圧源が接続され、接しない状態では切断される。
即ち、溝部１１と各吸着穴の相対位置によって、各吸着穴と減圧源が接続される。
【選択図】 図８

Description

本発明は、真空吸着制御機構装置、および真空吸着機構を有するフィルム貼付装置、フィルム貼付装置を用いて行うフィルムの貼付方法およびフィルムの貼付方法を用いて製造された表示装置に関する。

液晶等を用いた表示装置は、表示用電極を有する一対のガラス等の基板の間に液晶等を充填させ、一方の面上に偏向フィルムを貼り付けることにより形成されている。

基板上にフィルムを貼り付ける装置としては、種々の構造のものがあるが、特許文献１に示すような、表面に吸着穴を有する貼付部（貼付ヘッド）を用いたものがある。

具体的には、特許文献１の段落番号〔００２８〕に記載されているように、フィルム支持体２２の湾曲形状を有する吸着面を、複数の吸着穴が穿設されたプレートで構成し、吸着孔に吸着バルブを接続する。

そして、段落番号〔００３７〕に記載するように、フィルム支持体２２を回転させてフィルムを供給する供給装置Ａ側に移動し、吸着バルブを切り替えて吸着孔より脱気することにより、フィルムを吸着する。

フィルムを吸着したら、フィルム支持体２２を回転させて基板（液晶パネル）上に移動して基板上にフィルムを貼付ける。

その後、吸着バルブを切り替え、給気することにより、吸着を解除して、フィルム支持体２２を基板上から切り離す。

また、段落番号〔００４６〕に記載するように、フィルムの貼付の際の位置ずれを防止するために、貼付の際にエアをフィルムに吹き付けている。

特開２００１−４２３１５号公報

しかしながら、このように真空吸着を利用してフィルムを貼り付ける機構では、吸着穴の吸着を吸着バルブによって制御しているため、吸着穴の数に応じた数のバルブを用意する必要があり、構造が複雑になるという問題があった。

また、吸着や貼付の際に、エアを吹き付ける構造とすることにより、装置の構造が複雑になり、また、エアの吹き付けにより、ゴミや空気が貼付面に混入し、貼付精度を低下させる恐れがあるという問題があった。

本発明は、このような問題に鑑みてなされたもので、その目的は、構造が単純で、かつフィルムを精度よく被貼付物に貼付できる真空吸着制御機構装置を提供することにある。

前述した目的を達成するために、第１の発明は、減圧源に接続可能な複数の吸着穴を表面に備えた第１の部材と、複数の前記吸着穴に接触可能に設けられ、かつ前記第１の部材に対して相対的に移動可能に設けられた第２の部材と、を有し、前記第２の部材は、前記第１の部材と前記第２の部材との相対位置に応じた数の吸着穴を前記減圧源と接続する手段を有することを特徴とする真空吸着制御機構装置である。

前記第１の部材は、前記表面が湾曲形状を有し、前記第２の部材は、前記第２の部材の前記第１の部材と対向する面に設けられ、前記湾曲形状に対応した形状を有する溝部と、前記溝部から前記第２の部材の外部に貫通して設けられ、前記減圧源に接続される穴部と、を有し、複数の前記吸着穴は、前記溝部の形状に対応した配列形状となるように配列して設けられ、前記第１の部材または前記第２の部材は、前記湾曲形状の湾曲面に沿って移動可能であり、前記第１の部材または前記第２の部材が移動することにより、前記第２の部材の前記溝部が前記第１の部材に対して相対的に移動し、前記溝部と接触する前記吸着穴が前記減圧源と接続されてもよい。

前記第１の部材は円筒形状を有し、前記溝部は、円弧状の形状を有し、複数の前記吸着穴は、円弧状に並んで配置され、前記第１の部材または前記第２の部材は、前記円筒の軸を中心に回転可能であり、前記第１の部材または前記第２の部材が円筒の軸を中心に回転することにより、前記第２の部材の前記溝部が前記第１の部材に対して相対的に移動し、前記溝部と接触する前記吸着穴が前記減圧源と接続されてもよい。

複数の前記吸着穴は、前記第１の部材の側面および表面を貫通して設けられていてもよい。

前記第１の部材は、被貼付物を保持する貼付ヘッドであり、前記第２の部材は、前記貼付ヘッドの側面に設けられたベース体であってもよい。

前記減圧源は、例えば真空ポンプである
前記真空吸着制御機構装置は、前記第１の部材の前記表面に対向するように設けられ、被貼付物を保持する貼付定盤をさらに有してもよい。

前記第１の部材および／または前記貼付定盤は弾性を有してもよい。

第２の発明は第１の発明に記載の真空吸着制御機構装置を有することを特徴とするフィルム貼付装置である。

前記真空吸着制御機構装置は光学フィルムを吸着、貼付する装置である。

前記貼付定盤は、前記被貼付物を平板状に保持する保持手段を有する。

第３の発明は、第２の発明記載のフィルム貼付装置を用いて、被貼付物にフィルムを貼り付ける工程を有することを特徴とするフィルムの貼付方法である。

第４の発明は、第３の発明記載のフィルムの貼付方法を用いて被貼付物にフィルムを貼り付けることにより製造されたことを特徴とする表示装置。

前記フィルムは可撓性を有してもよい。

前記フィルムは例えば光学フィルムである。

前記被貼付物は、例えば可視光を透過させる基板である。

前記光学フィルムは偏光フィルムまたは位相差フィルムであってもよい。

あるいは、前記フィルムは保護フィルムであってもよい。

前記被貼付物は、ガラスであってもよい。

第１の発明〜第３の発明では真空吸着制御機構装置が、吸着穴を有する第１の部材と、減圧源と吸着穴を接続する第２の部材とを有しており、第２の部材は第１の部材と第２の部材との相対位置に応じた数の吸着穴を減圧源と接続する。

そのため、フィルムを貼り付ける際に、貼付が終了した部分の吸着を逐次解除することができ、構造が単純で、かつフィルムのずれやゴミ、空気の混入を招くことなく、フィルムを精度よく被貼付物に貼付できる。

第４の発明では、表示装置が第３の発明を用いて製造されるので、表示装置の品質を向上させることができる。

本発明によれば、構造が単純で、かつ、フィルムを精度よく被貼付物に貼付できるフィルム貼付装置を提供することができる。

以下、図面に基づいて本発明に好適な実施形態を詳細に説明する。

まず、図１〜図３を参照して、本発明の実施形態に係るフィルム貼付装置１の概略構成を説明する。

ここでは、フィルム貼付装置１として、被貼付物としての液晶パネルのガラス基板に、フィルムとしての可撓性を有する偏向フィルムを貼り付けるためのフィルム貼付装置が例示されている。

図１〜図３（ａ）に示すように、真空吸着制御機構装置としてのフィルム貼付装置１は貼付ヘッド３、ベース体５、軸７および貼付定盤１５を有している。

図１〜図３（ａ）に示すように、フィルム貼付装置１は後述するフィルム１７を吸着する円筒状の貼付ヘッド３を第１の部材として有している。貼付ヘッド３の径は、フィルム１７の寸法に応じて適宜選択される。

貼付ヘッド３を構成する材料は特に限定されないが、少なくともフィルム１７と接する部位は弾性を有する材料であることが好ましく、硬度がSRIS 0101規格で２０〜４０度のゴムや樹脂であるのが、より好ましい。

貼付ヘッド３をこのような材料で構成することにより、ガラス基板１９上にフィルム１７を貼り付ける際に均等に貼付圧力が生じるため、貼付圧力が局所的に集中してガラスが割れるのを防ぐことができ、ガラス基板１９の薄板化が可能となる。

また、均等に貼付圧力が生じるため、貼付の際に貼付面に気泡が混入するのを防ぐことができ、ガラス基板１９の材料として、平坦度の悪い低級ガラスの使用が可能となる。

貼付ヘッド３の端面３ａ（側面）には円盤状のベース体５が第２の部材として設けられている。

なお、ベース体５は、貼付ヘッド３の側面ではなく、他の面に設けられていてもよい。

貼付ヘッド３とベース体５の間は、後述する減圧の際に空気の漏れを防ぐ構造となっており、必要に応じて図示しないシールを設け、機密性を向上させて空気の漏れを制御してもよい。

フィルム貼付装置１はさらに、貼付ヘッド３とベース体５の軸中心に設けられた軸７を有している。

貼付ヘッド３は、軸７を中心にして図２のＣ１、Ｃ２の向きに回転可能である。

一方、ベース体５は回転しない。

また、貼付ヘッド３、ベース体５、軸７は一体となって、図示しないアクチュエータによって、図２のＥ１、Ｅ２、Ｅ３、Ｅ４の向きに移動可能である。

また、貼付ヘッド３の表面３ｂと対向するようにして、被貼付物を保持する平板状の貼付定盤１５が設けられている。

貼付定盤１５は図２のＤ１、Ｄ２の向きに移動可能に設けられている。なお図２の上下、θ（貼付定盤１５の水平度を調整する向き）に移動可能であってもよい。

貼付定盤１５を構成する材料は特に限定されないが、貼付ヘッド３と同様に、弾性を有する材料であることが好ましく、硬度がSRIS 0101規格で２０〜４０度のゴムや樹脂であることがより好ましい。

貼付定盤１５をこのような材料で構成することにより、貼付ヘッド３をこのような材料で構成した場合と同様の効果を奏する。

次に、貼付ヘッド３およびベース体５の構造の詳細について、図３〜図５を用いて説明する。

図３（ａ）及び図４に示すように、貼付ヘッド３の表面３ｂには、吸着穴９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇが設けられている。

吸着穴９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇは貼付ヘッド３の端面３ａ（側面）および表面３ｂを貫通して設けられている。なお、図３（ａ）及び図４では表面３ｂを貫通する部分は吸着部９として拡幅した形状を有しているが、吸着部９の形状はフィルムに合わせて適宜選択可能である。

また、図３（ｂ）に示すように、吸着部９には、金属、樹脂、スポンジ等の多孔質シート等で形成されたこま２３を設けてもよい。

多孔質シート等で形成されたこま２３を設けることにより、後述するフィルム１７の吸着の際に、フィルム１７に孔の跡が転写されるのを防ぐことができる。

なお、こま２３の孔密度は、例えば直径１ｍｍの孔を２ｍｍピッチで設ける程度である。

一方、吸着穴９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇ（の端面３ａ側の貫通面）は後述する溝部１１の形状に対応した配列形状（円弧状）になるように配列されている。

さらに、貼付ヘッド３の中心には軸７を通すためのヘッド軸穴３ｃが設けられている。

図３および図５に示すように、ベース体５は、貼付ヘッド３と対向する面に設けられた溝部１１を有している。

溝部１１は、貼付ヘッド３の表面３ｂの形状に対応した形状、即ち円弧状の形状を有している。

また、ベース体５は、溝部１１からベース体５の貼付ヘッド３と対向する面の反対側の面に貫通して設けられた穴部１３を有している。

なお、図３（ｃ）に示す穴部１３ａのように、ベース体５の側面に貫通するように設けてもよい。

穴部１３には図示しない真空ポンプ等の減圧源が接続されている。

なお、穴部１３の配置は、減圧源との位置関係で適宜選択できる。

さらにベース体５の中心には、軸７を通すためのベース軸穴５ａが設けられている。

ここで、図３に示すように、溝部１１と吸着穴９ａが接した状態では、穴部１３と吸着穴９ａが溝部１１を介して接続されるため、吸着穴９ａと減圧源が接続される。

この状態で減圧源を稼動すると、吸着穴９ａ内が排気され、吸着部９がフィルムを吸着できる。

一方、図３の状態から貼付ヘッド３を図２のＣ１、Ｃ２の向きに回転させて、溝部１１を吸着穴９ａと接触しない位置に移動すると、穴部１３と吸着穴９ａの間は切断され、吸着穴９ａと減圧源が切断される。

この状態では、吸着穴９ａ内は排気されないので、吸着部９はフィルムを吸着できず、既にフィルムを吸着していた場合は、フィルムが吸着穴９ａから離れる。

なお、吸着穴９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇも吸着穴９ａと同様である。

このように、フィルム貼付装置１は、溝部１１と吸着穴９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇの相対位置によって、吸着穴９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇのうち、所定の数の吸着穴と減圧源を接続、切断する。

即ち、ベース体５の溝部１１は、貼付ヘッド３の吸着穴９ａ、９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇとの相対位置に応じた数の吸着穴を減圧源と接続する。

次に、フィルム貼付装置１を用いてフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける手順について、図６〜図１１を用いて説明する。

フィルム貼付装置１を用いてフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付けるためには、フィルム１７を貼付ヘッド３に吸着させる工程と、貼付ヘッド３上のフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける工程が必要となる。

まず、フィルム１７を貼付ヘッド３に吸着させる工程について、図６〜図８を用いて説明する。

最初に、貼付定盤１５上にフィルム１７を載置して平板状に保持する。

フィルム１７は台紙１９ａに貼り付けられており、台紙１９ａとの接触面には図示しない粘着層が設けられている。

なお、フィルム１７の保持の手段としては公知の手段を用いることができ、例えば真空吸着やクランプにより保持する。

次に、貼付ヘッド３をベース体５に対して図２のＣ１、Ｃ２の向きに回転させ、図６に示すように、溝部１１が、吸着穴９ｇのみと接触する位置に貼付ヘッド３の位置を設定する。

次に、この状態で、貼付ヘッド３（とベース体５、軸７）を図２のＥ２、Ｅ３、Ｅ４の向きに移動して吸着穴９ｇをフィルム１７の左端部の表面に接触させ、図示しない減圧源を稼動する。

移動の際は図示しないセンサやカメラ等によってフィルム１７の端部の位置を特定し、その位置に基づいて、図示しないアクチュエータを駆動して貼付ヘッド３（とベース体５、軸７）を移動する。

なお、貼付ヘッド３ではなく、貼付定盤１５を移動して、吸着穴９ｇをフィルム１７の左端部の表面に接触させてもよい。

すると、溝部１１は吸着穴９ｇのみと接触しているため、吸着穴９ｇのみが排気され、フィルム１７の端部の表面が貼付ヘッド３の表面３ｂに吸着される。

なお、吸着力は、フィルム１７の表面粗さや可撓性に依存するが、本実施形態のような液晶パネル用の偏向フィルムであれば、２．０×１０^４Ｐａ〜４．９×１０^４Ｐａ程度が望ましい。

次に、図６の状態から貼付ヘッド３を図６のＣ１の向きに回転させ、また回転と同期するように貼付定盤１５を図６のＤ２の向きに移動させる。

すると、吸着穴９ｆ、９ｅ、９ｄ、９ｃ、９ｂ、９ａの順番にフィルム１７と接触し、フィルム１７と接触した吸着穴から順番に溝部１１と接触して減圧源と接続され、逐次排気されてフィルム１７を吸着する。

即ち、貼付ヘッド３をフィルム１７に接触させて回転させるだけで、フィルム貼付装置１はフィルム１７を吸着する。

例えば、図７は吸着途中を示す図だが、吸着穴９ｇ、９ｆ、９ｅ、９ｄが溝部１１と接触しており、減圧源と接続されて吸気され、フィルム１７を吸着している。

これらの吸着穴は既にフィルム１７と接触した吸着穴であり、フィルム１７と接触した順に溝部１１と接触し、フィルム１７を吸着する。

そして、図８に示すように、全ての吸着穴が溝部１１と接触すると、貼付ヘッド３（とベース体５、軸７）を図２のＥ１の向きに移動させ、貼付定盤１５から離す。

このようにフィルム貼付装置１を用いてフィルム１７を吸着する際には、フィルム１７と接触した吸着穴から順番に溝部１１と接触して減圧源と接続され、フィルム１７を吸着するように吸着穴と溝部１１の相対位置を設定するとよい。

このようにすることで、吸着の際にフィルム１７がずれることがなく、フィルム１７を精度よく貼付ヘッド３に吸着できる。

なお、上記工程ではフィルム１７を吸着すると同時にフィルム１７を台紙１９ａから剥離しているが、台紙１９ａごと吸着し、後で台紙１９ａを剥離してもよい。

また、上記工程では、吸着前のフィルム１７を貼付定盤１５が保持しているが、貼付定盤１５とは別の定盤に保持させてもよい。

次に、吸着したフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける工程について、図９〜図１１を用いて説明する。

最初に、図９に示すように貼付定盤１５上に、ガラス基板１９を保持する。保持手段はフィルム１７を保持する場合と同様である。

なお、貼付定盤１５は、貼付ヘッド３がフィルム１７吸着する際にフィルム１７を保持したものと、ここで説明するガラス基板１９を保持するものと共用することもできるし、各々別々のものとすることもできる。

次に、フィルム１７を吸着した貼付ヘッド３（とベース体５、軸７）を図２のＥ２、Ｅ３、Ｅ４の向きに移動させ、吸着穴９ａを、ガラス基板１９の所望の貼付位置の表面に接触させる。

移動の際は図示しないセンサやカメラ等によってガラス基板１９の端部の位置を特定し、その位置に基づいて、図示しないアクチュエータを駆動して貼付ヘッド３（とベース体５、軸７）を移動する。

なお、貼付ヘッド３ではなく、貼付定盤１５を移動して、吸着穴９ａを、ガラス基板１９の所望の貼付位置に接触させてもよい。

そして、貼付ヘッド３をＣ２の向きに回転させ、また回転と同期するように貼付定盤１５を図９のＤ１の向きに移動させる。

すると、吸着穴９ｂ、９ｃ、９ｄ、９ｅ、９ｆ、９ｇの順番にフィルム１７を介してガラス基板１９に接触し、この順番で溝部１１との接触が解除される。

即ち、ガラス基板１９と接触した吸着穴から順番に溝部１１との接触が解除されて減圧源と切断され、吸着力を失ってフィルム１７から離れる。

そのため、フィルム１７は、吸着が解除されて吸着穴から離れた部分から順にガラス基板１９に貼り付けられる。

例えば、図１０は貼付途中を示す図だが、吸着穴９ｇ、９ｆ、９ｅ、９ｄが溝部１１と接触しており、減圧源と接続されて吸気され、フィルム１７を吸着している。

これらの吸着穴はまだフィルム１７を介してガラス基板１９と接触していない吸着穴であり、フィルム１７と接触した順に溝部１１との接触が解除され、フィルム１７の吸着力を失う。

なお、接触が解除された直後は、解除前の吸着力が維持されるため、フィルム１７が貼付られるまでは、フィルム１７は貼付ヘッド３に保持されている。

図１１に示すように、フィルム１７の貼付が完了すると、貼付ヘッド３の回転を停止し、減圧源の吸気も停止する。

そして、貼付ヘッド３（とベース体５、軸７）を図２の上方に移動させ、貼付定盤１５から離す。

このようにして、ガラス基板１９にフィルム１７が貼り付けられ、液晶パネルが完成する。

このようにフィルム貼付装置１は、フィルム１７をガラス基板１９に貼り付ける際に、フィルム１７を解してガラス基板１９と接触した吸着穴から順番に溝部１１との接触が解除され、フィルム１７から離れる。即ち、接触が解除される位置は、フィルム１７とガラス基板が接触する位置（の近傍）である。

そのため、貼付の際にフィルム１７がずれたり、空気やゴミが混入したりすることがなく、フィルム１７を精度よく貼付できる。

このように、本実施形態によれば、フィルム貼付装置１は複数の吸着穴を有する貼付ヘッド３と、溝部１１を有するベース体５を有し、溝部１１と個々の吸着穴の相対位置によって、個々の吸着穴と減圧源が接続、切断される。

従って、フィルム貼付装置１は吸着の制御のために複数のバルブを設ける必要がなく、構造が単純である。

また、エアの吹き付けが不要であるため、貼付の際にフィルム１７がずれたり、空気やゴミが混入したりすることがなく、フィルム１７を精度よく貼付できる。

さらに、フィルム貼付装置１を用いてガラス基板１９上にフィルム１７を貼り付けて表示装置を製造することにより、製造された表示装置の品質を向上させることができる。

以下、実施例に基づき本発明を具体的に説明する。

本発明の実施例として、図１に示すフィルム貼付装置１を用意し、対角２インチ〜６０インチのガラス基板１９に偏向フィルムの貼付を行った。

なお、貼付に用いた偏向フィルムの表面粗さは０．３μｍ≦Ｒａ≦３．０μｍ、厚さは０．１〜０．５ｍｍである。

また貼付の際の各吸着穴の吸着力は２．０×１０^４Ｐａ〜４．９×１０^４Ｐａ程度とした。

その結果、貼付時に偏向フィルムが貼付ヘッド３から落下することなく、また貼付時の偏向フィルムのスライドにも不都合がないことが確認された。

上記した実施形態では、本発明を、液晶表示基板に偏向フィルムを貼り付ける装置に適用した場合について説明したが、本発明は、何等、これに限定されることなく、被貼付物にフィルムを貼り付けるすべての装置に適用することができる。

また、上記した実施形態では、ベース体５が回転せず、貼付ヘッド３が回転する構造となっているが、逆にベース体５が回転する構造であってもよい。

さらに、本実施形態によれば、貼付ヘッド３は円筒形状を有しているが、貼付ヘッド３の形状は円筒形状には限定されず、吸着穴を有する表面が湾曲形状を有していればよい。

フィルム貼付装置１の斜視図である。 図１のＡ方向矢視図である。 図３（ａ）は図２のＢ−Ｂ断面図であって、図３（ｂ）、図３（ｃ）は図３（ａ）の変形例である。 貼付ヘッド３を示す側面図である。 図５（ａ）はベース体５を示す側面図であって、図５（ｂ）は図５（ａ）の裏面図である。 フィルム貼付装置１を用いてフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける手順を示す図である。 フィルム貼付装置１を用いてフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける手順を示す図である。 フィルム貼付装置１を用いてフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける手順を示す図である。 フィルム貼付装置１を用いてフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける手順を示す図である。 フィルム貼付装置１を用いてフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける手順を示す図である。 フィルム貼付装置１を用いてフィルム１７をガラス基板１９上に貼り付ける手順を示す図である。

符号の説明

１…………フィルム貼付装置
３…………貼付ヘッド
３ａ………端面
３ｂ………表面
３ｃ………ヘッド軸穴
５…………ベース体
５ａ………ベース軸穴
７…………軸
９…………吸着部
９ａ………吸着穴
１１………溝部
１３………穴部
１５………貼付定盤
１７………フィルム
１９………ガラス基板
１９ａ……台紙
２３………こま

Claims (17)

1. 減圧源に接続可能な複数の吸着穴を表面に備えた第１の部材と、
   複数の前記吸着穴に接触可能に設けられ、かつ前記第１の部材に対して相対的に移動可能に設けられた第２の部材と、
   を有し、
   前記第２の部材は、
   前記第１の部材と前記第２の部材との相対位置に応じた数の吸着穴を前記減圧源と接続する手段を有することを特徴とする真空吸着制御機構装置。
2. 前記第１の部材は、前記表面が湾曲形状を有し、
   前記第２の部材は、
   前記第２の部材の前記第１の部材と対向する面に設けられ、前記湾曲形状に対応した形状を有する溝部と、
   前記溝部から前記第２の部材の外部に貫通して設けられ、前記減圧源に接続される穴部と、
   を有し、
   複数の前記吸着穴は、前記溝部の形状に対応した配列形状となるように配列して設けられ、
   前記第１の部材または前記第２の部材は、前記湾曲形状の湾曲面に沿って移動可能であり、
   前記第１の部材または前記第２の部材が移動することにより、前記第２の部材の前記溝部が前記第１の部材に対して相対的に移動し、前記溝部と接触する前記吸着穴が前記減圧源と接続されることを特徴とする請求項１記載の真空吸着制御機構装置。
3. 前記第１の部材は円筒形状を有し、
   前記溝部は、円弧状の形状を有し、
   複数の前記吸着穴は、円弧状に並んで配置され、
   前記第１の部材または前記第２の部材は、前記円筒の軸を中心に回転可能であり、
   前記第１の部材または前記第２の部材が円筒の軸を中心に回転することにより、前記第２の部材の前記溝部が前記第１の部材に対して相対的に移動し、前記溝部と接触する前記吸着穴が前記減圧源と接続されることを特徴とする請求項２記載の真空吸着制御機構装置。
4. 複数の前記吸着穴は、前記第１の部材の側面および表面を貫通して設けられていることを特徴とする請求項２記載の真空吸着制御機構装置。
5. 前記第１の部材は、被貼付物を保持する貼付ヘッドであり、
   前記第２の部材は、前記貼付ヘッドの側面に設けられたベース体であることを特徴とする請求項２記載の真空吸着制御機構装置。
6. 前記減圧源は、真空ポンプであることを特徴とする請求項１記載の真空吸着制御機構装置。
7. 前記第１の部材の前記表面に対向するように設けられ、被貼付物を保持する貼付定盤をさらに有することを特徴とする請求項３記載の真空吸着制御機構装置。
8. 前記第１の部材および／または前記貼付定盤は弾性を有することを特徴とする請求項７記載の真空吸着制御機構装置。
9. 請求項１〜８のいずれかに記載の真空吸着制御機構装置を有することを特徴とするフィルム貼付装置。
10. 前記真空吸着制御機構装置は光学フィルムを吸着、貼付する装置であり、
    前記貼付定盤は、前記被貼付物を平板状に保持する保持手段を有することを特徴とする請求項９記載のフィルム貼付装置。
11. 請求項９記載のフィルム貼付装置を用いて、被貼付物にフィルムを貼り付ける工程を有することを特徴とするフィルムの貼付方法。
12. 請求項１１記載のフィルムの貼付方法を用いて被貼付物にフィルムを貼り付けることにより製造されたことを特徴とする表示装置。
13. 前記フィルムは可撓性を有することを特徴とする請求項１２記載の表示装置。
14. 前記フィルムは光学フィルムであり、
    前記被貼付物は、可視光を透過させる基板であることを特徴とする請求項１２記載の表示装置。
15. 前記光学フィルムは偏光フィルムまたは位相差フィルムであることを特徴とする請求項１４記載の表示装置
16. 前記フィルムは保護フィルムであることを特徴とする請求項１２記載の表示装置。
17. 前記被貼付物は、ガラスであることを特徴とする請求項１４記載の表示装置。

Images