TWI698343B - 玻璃膜層疊體的製造方法及製造裝置 - Google Patents

玻璃膜層疊體的製造方法及製造裝置 Download PDF

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Abstract

本發明的玻璃膜層疊體(LG)的製造方法，具備：在上載台(2)的保持面(5)吸附支撐玻璃(SG)的步驟；在下載台(3)的支撐面(6)載放樹脂膜(8)的步驟；在樹脂膜(8)上載放玻璃膜(GF)的步驟；將樹脂膜(8)吸附於下載台(3)的支撐面(6)的步驟；及在樹脂膜(8)吸附於下載台(3)的支撐面(6)之後，將保持於上載台(2)的支撐玻璃(SG)與支撐於下載台(3)的上述玻璃膜(GF)密接的步驟。

Description

玻璃膜層疊體的製造方法及製造裝置
本發明是關於在支撐玻璃層疊玻璃膜之玻璃膜層疊體的製造方法及製造裝置。
從省空間化的觀點，以近年來普及化的液晶顯示器、電漿顯示器、有機EL顯示器等的平板顯示器來取代以往已普及的CRT型顯示器。
對於使用在平板顯示器等設備的基板或防護玻璃，提升可實現高撓性與更為大型化的需求。在賦予玻璃基板撓性時，形成薄的玻璃基板極有效，專利文獻1揭示有厚度200μm以下的玻璃膜(超薄板玻璃)。
對使用於平板顯示器等設備的玻璃基板施以加工處理或洗淨處理等，種種製造相關處理。但是，形成薄的使用於該等電子設備的玻璃基板時，由於玻璃為脆性材料，會因應力變化導致破損，在進行上述的製造相關處理時，會有操作上極為困難的問題。此外，厚度200μm以下的玻璃膜富於撓性，在進行處理時也會有進行定位困難的問題。
為提升玻璃膜的操作性，專利文獻1揭示有在支撐玻璃上層疊玻璃膜的玻璃膜層疊體。藉此，單體是將不具強度或剛性的玻璃膜層疊於剛性高的支撐玻璃，因此在處理時作為玻璃膜層疊體整體的定位變得容易。
又，玻璃膜層疊體在處理結束後使得玻璃膜不致破損而可迅速從支撐玻璃剝離。另外，使玻璃膜層疊體的厚度與習知的玻璃基板的厚度相同，共用習知的玻璃基板用的電子設備製造生產線，也可製造電子設備。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
專利文獻1：日本特開2011-183792號公報
在製造玻璃膜層疊體時，為了使玻璃膜不產生扭曲，且在玻璃膜與支撐玻璃之間不致產生泡(氣泡)，有將玻璃貼合於支撐玻璃的必要。以往，該貼合是以手操作(手貼合)進行。但是，近年來伴隨著設備之大型化的傾向，以手貼合製造大型的玻璃膜層疊體逐漸變得困難。
本發明是鑒於以上的情況所研創而成，提供也可以製造大型的玻璃膜層疊體的製造方法及製造裝置為目的。
本發明是用於解決上述的課題，本發明的玻璃膜層疊體的製造方法，藉層疊：以具有保持面的上載台保持的支撐玻璃，及以具有支撐面的下載台支撐的玻璃膜來製造玻璃膜層疊體的方法，其特徵為，具備：在上述上載台的上述保持面吸附上述支撐玻璃的步驟；在上述下載台的上述支撐面載放樹脂膜的步驟；在上述樹脂膜上載放上述玻璃膜的步驟；將上述樹脂膜吸附於上述下載台的上述支撐面的步驟；及在上述樹脂膜吸附於上述下載台的上述支撐面之後，將保持於上述上載台的上述支撐玻璃與支撐於上述下載台的上述玻璃膜密接的步驟。
根據以上的構成，在上載台的保持面吸附支撐玻璃，將支撐於下載台的支撐面的玻璃膜密接於支撐玻璃，藉此可形成玻璃膜層疊體。在形成玻璃膜層疊體時，玻璃膜是透過樹脂膜支撐於下載台的支撐面。該樹脂膜是在吸附於支撐面之後，支撐於該樹脂膜的玻璃膜在密接於支撐玻璃時，使其位置不致偏移。並且，在玻璃膜與下載台的支撐面之間間隔著樹脂膜，因此在玻璃膜也不會產生扭曲或泡(氣泡)。
亦即，考慮不使用樹脂膜將玻璃膜密接於支撐玻璃的場合時，該玻璃膜雖吸附於支撐面，但是此時，支撐面的孔或溝槽等的面特性轉印至玻璃膜，該等的凹凸等會在玻璃膜產生。因此，一旦將此玻璃膜密接於支撐玻 璃時，玻璃膜會產生扭曲，在與支撐玻璃之間產生泡等。本發明是將樹脂膜吸附於下載台的支撐面，可防止如上述之玻璃膜層疊體問題的產生。藉此，即使是大型的玻璃膜層疊體仍可適當的製造。
並且，本發明之玻璃膜層疊體的製造方法進一步具備藉搬運裝置將上述玻璃膜朝著預定的搬運方向搬運的步驟，上述搬運裝置是可藉著移動上述樹脂膜來搬運上述玻璃膜。如上述，藉著移動樹脂膜來搬運玻璃膜，可效率良好進行玻璃膜的搬運及對支撐面的設置。
上述搬運裝置是以包含將上述玻璃膜移送至上述樹脂膜的搬入輸送帶為佳。藉此，可進一步有效地搬運玻璃膜層疊體。
並且，上述搬運裝置具備可變更載放著上述玻璃膜之上述樹脂膜的上下位置的位置變更部。上述位置變更部在藉著上述樹脂膜將上述玻璃膜朝上述下載台的上述支撐面搬運時使得上述樹脂膜上升以便使上述樹脂膜從上述支撐面分離，可使得上述樹脂膜吸附於上述支撐面時上升的上述樹脂膜下降。藉此，樹脂膜不與下載台的支撐面接觸即可搬運玻璃膜，可將玻璃膜載放於支撐面的預定位置。
更具體而言，上述位置變更部具備：在上述下載台的上游側支撐上述樹脂膜的可升降的第1支撐部，及在上述下載台的下游側支撐上述樹脂膜的可升降的第2支撐部，上述樹脂膜下降時，在上述第1支撐部下降之後 可以使上述第2支撐部下降。雖也根據玻璃膜的尺寸與重量，但是第1支撐部與第2支撐部同時下降時，會有該玻璃膜的位置偏移之虞。相對於此，本發明是藉位於搬運方向的上游側的第1支撐部下降之後使下游側的第2支撐部下降，維持著玻璃膜與樹脂膜的接觸，防止玻璃膜的位置偏移，確實載放於支撐面的預定位置。
又，上述搬運裝置是以包含將上述支撐玻璃與上述玻璃膜密接所成的玻璃膜層疊體從上述樹脂膜搬出的搬出輸送帶為佳。藉此，可效率良好地搬運玻璃膜層疊體。並且，藉上述搬出輸送帶搬出上述樹脂膜上的上述玻璃膜層疊體時，上述位置變更部是以使得上述樹脂膜上升，以便使上述樹脂膜從上述支撐面分離為佳。藉此，樹脂膜不與下載台的支撐面接觸，即可搬出形成後的玻璃膜層疊體。
本發明是為解決上述的課題的所研創而成，製造具有玻璃膜與支撐玻璃的玻璃膜層疊體的裝置，其特徵為，具備：上載台，具有吸附上述支撐玻璃的保持面，及下載台，具有透過樹脂膜支撐上述玻璃膜的支撐面，上述下載台的上述支撐面是吸附上述樹脂膜所構成，在以上述支撐面吸附著上述樹脂膜的狀態，將保持在上述上載台的上述支撐玻璃與支撐於上述下載台的玻璃膜密接藉此形成玻璃膜層疊體。
根據以上的構成，在上載台的保持面吸附支撐玻璃，將支撐於下載台的支撐面的玻璃膜密接於支撐玻 璃，藉此可形成玻璃膜層疊體。在形成玻璃膜層疊體時，玻璃膜是透過樹脂膜支撐於下載台的支撐面。該樹脂膜是在吸附於支撐面之後，支撐於該樹脂膜的玻璃膜在密接於支撐玻璃時，使其位置不致偏移。並且，在玻璃膜與下載台的支撐面之間間隔著樹脂膜，因此在玻璃膜也不會產生扭曲或泡(氣泡)。
亦即，不使用樹脂膜將玻璃膜密接於支撐玻璃的場合，該玻璃膜雖吸附於支撐面，但是此時，支撐面的孔或溝槽等的面特性轉印至玻璃膜，該等的凹凸等會在玻璃膜產生。因此，一旦將此玻璃膜密接於支撐玻璃時，玻璃膜會產生扭曲，在與支撐玻璃之間產生泡等。本發明是將樹脂膜吸附於下載台的支撐面，可防止如上述之玻璃膜層疊體問題的產生。藉此，即使是大型的玻璃膜層疊體仍可適當的製造。
根據本發明，即使是大型的玻璃膜層疊體仍可製造。
1:玻璃膜層疊體的製造裝置
2:上載台
3:下載台
4:搬運裝置
4a:第1搬運裝置(搬入輸送帶)
4b:第2搬運裝置
4c:第3搬運裝置(搬出輸送帶)
5:保持面
6:支撐面
8:樹脂膜
10:位置變更部
GF‧‧‧玻璃膜
LG‧‧‧玻璃膜層疊體
SG‧‧‧支撐玻璃
第1圖是表示第1實施形態之玻璃膜層疊體的製造裝置的側視圖。
第2圖是表示玻璃膜層疊體的製造方法之一步驟的製 造裝置的側視圖。
第3圖是表示玻璃膜層疊體的製造方法之一步驟的製造裝置的側視圖。
第4圖是表示玻璃膜層疊體的製造方法之一步驟的製造裝置的側視圖。
第5圖是表示玻璃膜層疊體的製造方法之一步驟的製造裝置的側視圖。
第6圖是表示玻璃膜層疊體的製造方法之一步驟的製造裝置的側視圖。
第7圖是表示玻璃膜層疊體的製造方法之一步驟的製造裝置的側視圖。
第8圖是表示玻璃膜層疊體的製造方法之一步驟的製造裝置的側視圖。
第9圖是表示第2實施形態之玻璃膜層疊體的製造裝置的側視圖。
第10圖是表示玻璃膜層疊體的製造方法之一步驟的製造裝置的側視圖。
以下，針對用於實施本發明的形態一邊參閱圖示進行說明。第1圖至第8圖表示本發明之玻璃膜層疊體的製造方法及製造裝置的第1實施形態。並且，藉本發明製造的玻璃膜層疊體LG是在透明的矩形的支撐玻璃SG層疊相同透明之矩形的玻璃膜GF所構成。作為玻璃膜 GF雖是使用厚度200μm以下的超薄板玻璃，但不限於此。
如第1圖表示，本發明的製造裝置1具備：保持支撐玻璃SG的上載台2；支撐玻璃膜GF的下載台3；及搬運玻璃膜GF及玻璃膜層疊體LG的搬運裝置4。
上載台2具有固定支撐玻璃SG的保持面5。如第1圖表示，在保持面5形成有吸附支撐玻璃SG的複數個孔5a。各孔5a是與未圖示的真空泵連接。保持面5是透過該孔5a在與支撐玻璃SG之間產生負壓，藉此吸附該支撐玻璃SG。如上述，上載台2雖是藉真空吸附法吸附支撐玻璃SG，但不限於此，也可構成以靜電吸附法吸附支撐玻璃SG。並且，作為保持面5，也可將自黏性構件使用於其全面，並較理想地使用一部份的面，來保持支撐玻璃SG。
上載台2是藉未圖示的反轉裝置，可變更保持面5朝向上方的第1姿勢(第1圖中以兩點虛線表示的姿勢)，及保持面5朝向下方的第2姿勢(第1圖中以實線表示的姿勢)的姿勢所構成。
下載台3具有支撐玻璃膜GF的支撐面6。如第1圖表示，在支撐面6形成有可吸附搬運裝置4的一部份的複數個孔6a。各孔6a是與未圖示的真空泵連接。支撐面6是透過該孔6a在與搬運裝置4的一部份之間產生負壓，藉此吸附該搬運裝置4的一部份。如上述，下載台3雖是藉真空吸附法吸附搬運裝置4的一部份，但不限於 此，也可構成以靜電吸附法吸附搬運裝置4的一部份。
並且，下載台3是以支撐面6朝向上方的狀態，配置與成為第2姿勢的上載台2的保持面5相對。又，如第1圖表示，下載台3是藉設置在其下部的升降裝置7，構成可上下自由移動。
搬運裝置4，具備：將玻璃膜GF搬運至下載台3的附近位置為止的第1搬運裝置4a；從第1搬運裝置4a接受玻璃膜GF，載放於下載台3之支撐面6的預定位置的第2搬運裝置4b；及從下載台3搬出藉著玻璃膜GF與支撐玻璃SG密接所形成的玻璃膜層疊體LG的第3搬運裝置4c。
第1搬運裝置4a配置在比第2搬運裝置4b的搬運方向更上游側。第1搬運裝置4a是由輥式輸送帶所構成，但不限於此，也可以使用帶式輸送帶其他既有的各種搬運裝置。第1搬運裝置4a將玻璃膜GF朝著第2搬運裝置4b移送，藉此具有作為將此玻璃膜GF搬入下載台3之輸送帶(搬入輸送帶)的功能。
第2搬運裝置4b，具備：搬運玻璃膜GF的樹脂膜8；將此樹脂膜8朝預定的方向移動的驅動部9；及變更樹脂膜8的一部份之上下方向的位置的位置變更部10。
樹脂膜8將其一部份從下載台3的上游側的位置跨下游側的位置呈水平狀架設。樹脂膜8接受第1搬運裝置4a所搬運的玻璃膜GF搬運至下載台3的支撐面6 為止，並將此製造裝置1所製造的玻璃膜層疊體LG朝第3搬運裝置4c移送。
驅動部9為具有位於下載台3的下游側的驅動輥11、及位於下載台3的上游側的被動輥12的捲繞裝置。驅動部9將捲繞在被動輥12的樹脂膜8以驅動輥11捲繞，藉此移動該樹脂膜8。藉此，樹脂膜8可使得從第1搬運裝置4a所接受的玻璃膜GF沿著搬運方向移動。並且，驅動輥11藉著未圖示的馬達等的驅動手段被旋轉驅動。
位置變更部10配置在比下載台3更上游側，並具備：支撐樹脂膜8的可升降的第1支撐部13，及配置在比下載台3更下游側，並支撐樹脂膜8的可升降的第2支撐部14。第1支撐部13具備第1輥15，及使該第1輥15升降的致動器16。第2支撐部14具備第2輥17，及使該第2輥17升降的致動器18。如第1圖表示，樹脂膜8的一部份被以第1輥15及第2輥17，在賦予張力的狀態下呈水平狀支撐著。
位置變更部10是藉第1支撐部13及第2支撐部14的升降動作，變更樹脂膜8的一部份的上下位置。具體而言，位置變更部10是可藉著各致動器16、18的動作，使樹脂膜8的位置在使得各輥15、17上升，從支撐面6向上方分離的第1位置，及使得各輥15、17下降而與支撐面6接觸的第2位置變更。
亦即，位置變更部10藉著樹脂膜8將玻璃膜 GF朝下載台3的支撐面6搬運時使樹脂膜8上升以使得樹脂膜8從支撐面6分離，在樹脂膜8吸附於支撐面6時使上升的樹脂膜8下降。
第3搬運裝置4c是從第2搬運裝置4b的樹脂膜8接受密接玻璃膜GF與支撐玻璃SG所成的玻璃膜層疊體LG，從下載台3搬出的輸送帶(搬出輸送帶)。第3搬運裝置4c是與第1搬運裝置4a同樣，由輥式輸送帶所構成，但不限於此，也可以使用帶式輸送帶其他既有的各種搬運裝置。藉第3搬運裝置4c搬出玻璃膜層疊體LG的場合，第2搬運裝置4b的位置變更部10使樹脂膜8的一部份從第1位置朝第2位置變更。
以下，使用上述構成的製造裝置1，針對製造玻璃膜層疊體LG的方法一邊參閱第1圖至第8圖一邊說明。
首先，如第1圖表示，在位於第1姿勢(兩點虛線表示的姿勢)的上載台2的保持面5載放支撐玻璃SG。之後，藉真空泵的動作，透過孔5a在保持面5吸附支撐玻璃SG。之後，藉反轉裝置的動作，上載台2將其姿勢變更為第2姿勢(以實線表示的姿勢)。
接著如第2圖表示，將第1搬運裝置4a搬運的玻璃膜GF朝著第2搬運裝置4b移送。此時，第2搬運裝置4b使第1輥15及第2輥17同時上升，將樹脂膜8的一部份從第2位置朝第1位置變更。藉此，樹脂膜8的一部份從下載台3的支撐面6分離而位於上方。之後， 第2搬運裝置4b使驅動輥11動作而捲繞樹脂膜8以移動樹脂膜8。藉此，樹脂膜8使得從第1搬運裝置4a接受的玻璃膜GF沿著搬運方向朝下游移動。
如第3圖表示，玻璃膜GF移動至預定位置(支撐玻璃SG的下方位置)時，第2搬運裝置4b停止驅動輥11，並停止樹脂膜8。
之後，位置變更部10將樹脂膜8的一部份從第2位置朝著第1位置變更。具體而言，位置變更部10是如第4圖表示，將第2支撐部14的第2輥17維持在上方位置的狀態，先使得第1支撐部13的第1輥15下降，回到下方位置。第1輥15朝下方位置移動時，第2搬運裝置4b是如第5圖表示，使第2輥17從上方位置下降後回到下方位置。
如上述，在使第1支撐部13的第1輥15下降之後，並使得第2支撐部14的第2輥17下降，可藉此將樹脂膜8上的玻璃膜GF不致產生位置偏移地載放於下載台3的支撐面6。亦即，玻璃膜GF在其厚度為200μm以下的場合，由於非常輕量，因此使得第1輥15與第2輥17同時下降時，會從樹脂膜8浮起，而有產生位置偏移之虞。對此，本實施形態是使上游側的第1輥15先下降，並使得下游側的第2輥17後下降，利用樹脂膜8與玻璃膜GF之間的摩擦力，可藉此防止玻璃膜GF的位置偏移。
當然，也可以使第2輥17先下降，並使得第 1輥15後下降，玻璃膜GF具有足夠重量的場合，也可以使第1輥15與第2輥17同時下降。
如上述，藉第1支撐部13及第2支撐部14的動作使樹脂膜8的一部份下降朝著第2位置移動時，將玻璃膜GF載放於下載台3的支撐面6。下載台3使真空泵動作，將樹脂膜8吸附於支撐面6的孔6a。藉此，樹脂膜8是密接於支撐面6固定。之後，下載台3是如第6圖表示，藉著升降裝置7的動作，向上方移動。藉以使支撐於下載台3的玻璃膜GF與保持在上載台2的支撐玻璃SF密接。在此狀態維持著預定時間之後，上載台2停止真空泵，解除支撐玻璃SG的保持。
之後，如第7圖表示，下載台3藉升降裝置7的動作而下降。如此一來，保持在上載台2的支撐玻璃SG和玻璃膜GF同時與下載台3一起下降。藉著支撐玻璃SG從上載台2分離，於下載台3載放玻璃膜GF與支撐玻璃SG密接所構成的玻璃膜層疊體LG。
接著，第2搬運裝置4b的位置變更部10是如第8圖表示，第1支撐部13的第1輥15及第2支撐部14的第2輥17同時上升，使樹脂膜8的一部份從下載台3的支撐面6向上方分離。並且，第2搬運裝置4b使驅動部9的驅動輥11動作，移動樹脂膜8，將玻璃膜層疊體LG朝向第3搬運裝置4c搬運。最後，玻璃膜層疊體LG從第2搬運裝置4b朝著第3搬運裝置4c移送，被從下載台3搬出。
根據以上說明之本實施形態的玻璃膜層疊體LG的製造方法及製造裝置1，於上載台2的保持面5吸附支撐玻璃SG，並將此支撐玻璃SG與支撐於下載台3的支撐面6的玻璃膜GF密接，可藉此形成玻璃膜層疊體LG。
在形成玻璃膜層疊體LG時，玻璃膜GF是透過樹脂膜8支撐於下載台3的支撐面6。在樹脂膜8吸附於支撐面6之後，支撐於該樹脂膜8的玻璃膜GF在與支撐玻璃SG密接時，其位置不致偏離。並且，由於在玻璃膜GF與下載台3的支撐面6之間間隔著樹脂膜8，因此玻璃膜GF也不會產生扭曲或泡(氣泡)。
亦即，考量不使用樹脂膜8使玻璃膜GF與支撐玻璃SG密接的場合，雖將此玻璃膜GF吸附於支撐面6，但是此時，支撐面6的孔6a等的面特性轉印至玻璃膜GF，該等的凹凸等會在玻璃膜GF產生。因此，一旦將此玻璃膜GF密接於支撐玻璃SG時，玻璃膜GF會產生扭曲，而在與支撐玻璃SG之間產生泡(氣泡)等。本實施形態是將樹脂膜8吸附於下載台3的支撐面6，可防止如上述之玻璃膜層疊體LG問題的產生。藉此，即使是大型的玻璃膜層疊體LG仍可適當的製造。
第9圖及第10圖是表示本發明的玻璃膜層疊體LG的製造方法及製造裝置1的第2實施形態。本實施形態中，下載台3的構成與第1實施形態不同。
如第9圖表示，下載台3具有可上下移動的 隔膜19。該隔膜19是由橡膠等的彈性體所構成。在隔膜19貫穿形成有複數個孔19a。隔膜19是藉著未圖示的泵裝置，可通過該孔19a吸附樹脂膜8。
並且，隔膜19是藉此泵裝置，如第10圖表示可向上方膨脹呈凸起。隔膜19是藉此膨脹，使得支撐在樹脂膜8的玻璃膜GF向上方移動，與保持在上載台2的支撐玻璃SG密接。
玻璃膜GF一旦與支撐玻璃SG密接時，上載台2解除支撐玻璃SG的保持，膨脹的隔膜19會收縮恢復原來的位置。藉此，支撐玻璃SG與玻璃膜GF成為一體，亦即，成為玻璃膜層疊體LG載放在隔膜19上。之後，該玻璃膜層疊體LG與第1實施形態同樣，從第2搬運裝置4b被朝著第3搬運裝置4c移送。
並且，本發明不限於上述實施形態的構成，也不限於上述的作用效果。本發明在不脫離本發明的主旨的範圍內可進行種種的變更。
上述的實施形態雖例示以搬運裝置4搬運玻璃膜GF的構成，但不限於此，也可省略第1搬運裝置4a及第3搬運裝置4c。並且，也可省略第2搬運裝置4b的驅動部9及位置變更部10。此時，玻璃膜GF可藉著作業員載放於下載台3的支撐面6。具體而言，在比玻璃膜GF大的矩形的樹脂膜8載放於支撐面6之後，可將玻璃膜GF載放在此樹脂膜8上，或者可在玻璃膜GF載放於矩形的樹脂膜8之後，將該等載放於支撐面6。
上述的實施形態中，雖是藉升降裝置7使下載台3上升，將玻璃膜GF密接於支撐玻璃SG，但不限於此。例如，也可以使上載台2朝向下載台3下降，將支撐玻璃SG密接於玻璃膜GF，形成玻璃膜層疊體LG。或使得支撐玻璃SG從上載台2落下，將支撐玻璃密接於玻璃膜GF。
上述的實施形態雖是藉驅動輥11捲繞樹脂膜8進行樹脂膜8的移動、回收，但不限於此。例如，也可以未圖示的壓送輥夾持樹脂膜8之表內面來移動樹脂膜8，在未圖示的回收箱內回收該樹脂膜8。
1‧‧‧玻璃膜層疊體的製造裝置
2‧‧‧上載台
3‧‧‧下載台
4‧‧‧搬運裝置
4a‧‧‧第1搬運裝置(搬入輸送帶)
4b‧‧‧第2搬運裝置
4c‧‧‧第3搬運裝置(搬出輸送帶)
5‧‧‧保持面
5a‧‧‧孔
6‧‧‧支撐面
6a‧‧‧孔
7‧‧‧升降裝置
8‧‧‧樹脂膜
9‧‧‧驅動部
10‧‧‧位置變更部
11‧‧‧驅動輥
12‧‧‧被動輥
13‧‧‧第1支撐部
14‧‧‧第2支撐部
15‧‧‧第1輥
16‧‧‧致動器
17‧‧‧第2輥
18‧‧‧致動器
GF‧‧‧玻璃膜
LG‧‧‧玻璃膜層疊體
SG‧‧‧支撐玻璃

Claims (9)

  1. 一種玻璃膜層疊體的製造方法，係藉層疊以具有保持面的上載台保持的支撐玻璃，及以具有支撐面的下載台支撐的玻璃膜製造玻璃膜層疊體的方法，其特徵為，具備：在上述上載台的上述保持面吸附上述支撐玻璃的步驟；在上述下載台的上述支撐面載放樹脂膜的步驟；在上述樹脂膜上載放上述玻璃膜的步驟；將上述樹脂膜吸附於上述下載台的上述支撐面的步驟；及在上述樹脂膜吸附於上述下載台的上述支撐面之後，將保持於上述上載台的上述支撐玻璃與支撐於上述下載台的上述玻璃膜密接的步驟。
  2. 如申請專利範圍第1項記載的玻璃膜層疊體的製造方法，其中，進一步具備藉搬運裝置朝預定的搬運方向搬運上述玻璃膜的步驟，上述搬運裝置藉著移動上述樹脂膜搬運上述玻璃膜。
  3. 如申請專利範圍第2項記載的玻璃膜層疊體的製造方法，其中，上述搬運裝置包括將上述玻璃膜移送至上述樹脂膜的搬入輸送帶。
  4. 如申請專利範圍第2項或第3項記載的玻璃膜層疊體的製造方法，其中，上述搬運裝置具備變更載放有上述玻璃膜之上述樹脂膜的上下位置的位置變更部。
  5. 如申請專利範圍第4項記載的玻璃膜層疊體的製造方法，其中，上述位置變更部在以上述樹脂膜將上述玻璃膜朝著上述下載台的上述支撐面搬運時將上述樹脂膜從上述支撐面分離地使上述樹脂膜上升，並在將上述樹脂膜吸附於上述支撐面時使上升後的上述樹脂膜下降。
  6. 如申請專利範圍第5項記載的玻璃膜層疊體的製造方法，其中，上述位置變更部，具備：可升降的第1支撐部，其用以在上述下載台的上游側支撐上述樹脂膜，及可升降的第2支撐部，其用以在上述下載台的下游側支撐上述樹脂膜，在上述樹脂膜下降時，將上述第1支撐部下降之後使得上述第2支撐部下降。
  7. 如申請專利範圍第2項或第3項記載的玻璃膜層疊體的製造方法，其中，上述搬運裝置包括從上述樹脂膜搬出上述支撐玻璃與上述玻璃膜密接而成的玻璃膜層疊體的搬出輸送帶。
  8. 如申請專利範圍第4項記載的玻璃膜層疊體的製造方法，其中，上述搬運裝置包括從上述樹脂膜搬出上述支撐玻璃與上述玻璃膜密接而成的玻璃膜層疊體的搬出輸送帶，藉上述搬出輸送帶搬出上述樹脂膜上的上述玻離膜層疊體時，上述位置變更部將上述樹脂膜從上述支撐面分離地使上述樹脂膜上升。
  9. 一種玻璃膜層疊體的製造裝置，係製造具有玻璃膜與支撐玻璃的玻璃膜層疊體的裝置，其特徵為，具備：上載台，具有吸附上述支撐玻璃的保持面，及下載台，具 有透過樹脂膜支撐上述玻璃膜的支撐面，上述下載台的上述支撐面構成為吸附上述樹脂膜，在以上述支撐面吸附上述樹脂膜的狀態，密接保持於上述上載台的上述支撐玻璃，及支撐於上述下載台的玻璃膜，藉此形成玻璃膜層疊體。
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