JP6177697B2 - パネル吸着搬送装置 - Google Patents

パネル吸着搬送装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6177697B2
JP6177697B2 JP2014014885A JP2014014885A JP6177697B2 JP 6177697 B2 JP6177697 B2 JP 6177697B2 JP 2014014885 A JP2014014885 A JP 2014014885A JP 2014014885 A JP2014014885 A JP 2014014885A JP 6177697 B2 JP6177697 B2 JP 6177697B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
panel
outer peripheral
suction
adsorption
outer periphery
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2014014885A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015142054A (ja
Inventor
拓巳 小山内
拓巳 小山内
伊藤 靖
靖 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Via Mechanics Ltd
Original Assignee
Via Mechanics Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Via Mechanics Ltd filed Critical Via Mechanics Ltd
Priority to JP2014014885A priority Critical patent/JP6177697B2/ja
Publication of JP2015142054A publication Critical patent/JP2015142054A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6177697B2 publication Critical patent/JP6177697B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Description

本発明は、レーザ加工装置の加工済みパネルを加工テーブルからストッカに移載するために好適なパネル吸着搬送装置に係るものである。
近年、プリント基板やガラス基板に回路を形成したパネル(以下、単にパネルと総称する。)の傷付きや汚れから保護するため、裏面に接着剤の付いた樹脂性フィルム(以下、単にフィルムという。)をパネルの上に貼っている。
フィルムはパネルより大きいものを用い、レーザ加工機でフィルムがパネルからはみ出た部分を切断する必要がある。従来は、特許文献1に記載されたような装置を用いて切断していた。しかしながら、フィルムの裏面に塗られた接着剤により、切断された外周部がパネル本体に付着して容易に分離できない場合があるため、図7の左側(従来)のフローチャートに記されたように、レーザ切断後、人手によって外周部を除去する必要があった。
特開平10−328863号公報
本発明の目的は、レーザ切断後、人手によらず、自動で切断された外周部を除去することにある。
本発明の目的を達成するためには、パネル(7)に大き目のフィルム(9)を貼り、前記パネル(7)からはみ出た外周部(9a)を切断した後、前記パネル(7)を吸着して搬送するためのパネル吸着搬送装置に、前記パネル(7)を吸着するための吸着パッド(3)の周りに前記外周部(9a)を吸着するための吸着機構を有し、かつ上下動及び傾斜させるための独立した複数のシリンダ(2)を有する外周吸着ユニット(1)を設けると良い。
なお、上記カッコ内の符号は、図面と対照するためのものであるが、これにより特許請求の範囲の記載に何等影響を及ぼすものではない。
本発明により、外周吸着ユニットで切断された外周部を吸着したまま傾けることができるので、レーザ切断後、人手によらず、自動で外周部を除去することができる。
本発明に係るパネル吸着搬送装置の平面図(上)及び正面図(下)である。 本発明に係るパネル吸着搬送装置を用いた搬送手順を示す図(その1)である。 本発明に係るパネル吸着搬送装置を用いた搬送手順を示す図(その2)である。 本発明に係る外周吸着ユニットを用いた外周部分離方法の詳細説明図である。 本発明に係る外周吸着ユニットの吸着機構を示す図である。 本発明に係るレーザ切断箇所を示す図である。 本発明と従来の搬送手順を示すフローチャートである。
以下、本発明に係るパネル吸着搬送装置の実施の形態について図を用いて説明する。図1は本発明に係るパネル吸着搬送装置の平面図(上)及び正面図(下)である。正面図の外周吸着ユニット1はA−A断面で示してある。本図は、パネル7に貼り付けたフィルム9の外周部9a(約10mm幅)を図6のようにレーザで切断した後の状態を示す。説明のためにパネル7の厚さを誇張して書かれているが、実際にはあまり厚さがないため、切断された外周部9aは落ちてしまうことはない。ここで、本例では外周部9aをレーザで切断しているが、ブレード等の他の方法で切断しても良い。
図5は本発明に係る外周吸着ユニット1の吸着機構を示す図である。下は外周吸着ユニット1の下面図であり、上はそのB−B断面図である。外周吸着ユニット1の外周部9aに対応する場所にのみ吸着機構を有する。
本発明のパネル吸着搬送装置を使用した搬送手順を図2で説明する。レーザ切断が終了した状態がステップ1である。従来は、この状態で人手によって外周部9aを除去していた。本発明においては、この状態にシリンダ10を駆動して搬出キャリア5を降ろし、吸着パッド3をフィルム9に接触させ、吸着パッド3を吸着させる(ステップ2)。次に外周吸着ユニット用シリンダ2を駆動して外周吸着ユニット1を降ろし、フィルム9及び9aに接触させ、外周部9aを吸着させる(ステップ3)。吸着ユニット8をOFFし、シリンダ10を駆動して搬出キャリア5を持ち上げる(ステップ4)。搬出キャリア5を移動して、コンベアラインの上へパネル7を運ぶ(ステップ5)。シリンダ10を駆動して、パネル7をコンベアラインの上に置く(ステップ6)。各パネル7当たり複数ある外周吸着ユニット用シリンダ2の片側を駆動して外周吸着ユニット1を傾ける(ステップ7)。もう片側の外周吸着ユニット用シリンダ2も駆動して外周吸着ユニット1を持ち上げる(ステップ8)。ステップ7とステップ8を、図4を用いて拡大して説明する。上がステップ7、下がステップ8の拡大図である。このように、ステップ7で外周吸着ユニット1を傾け、かつ吸着パッド3によりフィルム9が押さえられたままであるので、外周部9aの分離が開始され、ステップ8でもう片側の外周吸着ユニット用シリンダ2も駆動して外周吸着ユニット1を持ち上げると外周部9aが完全に分離されることがわかる。
次に図3を用いてその後の手順を説明する。吸着パッド3をOFFにした後、シリンダ10を駆動して搬出キャリア5を持ち上げる(ステップ9)。これにより、搬出キャリア5には切断された外周部9aのみが残り、それを回収トレーまで搬送する(ステップ10)。シリンダ10を駆動して外周部9aを回収トレーに押し付ける(ステップ12)。外周吸着ユニット1の吸着機構をOFFし、シリンダ10を駆動して搬出キャリア5を持ち上げる(ステップ12)。以上で、フィルム9が貼られたパネル7のコンベアラインへの載置と切断された外周部9aの回収が自動で完了する。
1 外周吸着ユニット
2 外周吸着ユニット用シリンダ
3 吸着パッド
4 搬送レール
5 搬出キャリア
6 XY位置決めユニット
7 パネル
8 吸着ユニット
9 フィルム
9a 外周部
10 シリンダ
11 レーザビーム

Claims (1)

  1. パネルに大き目のフィルムを貼り、前記パネルからはみ出た外周部を切断した後、前記パネルを吸着して搬送するためのパネル吸着搬送装置において、
    前記パネルを吸着するための吸着パッドの周りに前記外周部を吸着するための吸着機構を有し、かつ上下動及び傾斜させるための独立した複数のシリンダを有する外周吸着ユニットを設けた
    ことを特徴とするパネル吸着搬送装置。
JP2014014885A 2014-01-29 2014-01-29 パネル吸着搬送装置 Active JP6177697B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014014885A JP6177697B2 (ja) 2014-01-29 2014-01-29 パネル吸着搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014014885A JP6177697B2 (ja) 2014-01-29 2014-01-29 パネル吸着搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015142054A JP2015142054A (ja) 2015-08-03
JP6177697B2 true JP6177697B2 (ja) 2017-08-09

Family

ID=53772217

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014014885A Active JP6177697B2 (ja) 2014-01-29 2014-01-29 パネル吸着搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6177697B2 (ja)

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2589678B2 (ja) * 1986-09-03 1997-03-12 松下電子工業株式会社 半導体基板の裏面処理方法
JP2005011836A (ja) * 2003-06-16 2005-01-13 Shinkawa Ltd ダイピックアップ方法及びダイピックアップ装置
JP2005123403A (ja) * 2003-10-16 2005-05-12 Sekisui Chem Co Ltd Icチップの製造方法及びicチップの製造装置
JP4565977B2 (ja) * 2004-11-25 2010-10-20 株式会社東京精密 フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置
JP5722808B2 (ja) * 2012-01-17 2015-05-27 東京エレクトロン株式会社 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム

Also Published As

Publication number Publication date
JP2015142054A (ja) 2015-08-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6120748B2 (ja) 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体
JP4692924B2 (ja) 保護シート分離方法及び保護シート分離装置
JP5497946B2 (ja) キャリア銅箔除去装置及び方法
JP2009044008A (ja) ウエハの保護テープ剥離方法及び装置
KR20190065134A (ko) 릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치
JP2012216606A (ja) 基板転写方法および基板転写装置
JP2015013783A (ja) 貼り合わせ基板の加工装置
JP2019109292A (ja) 端材除去装置、及び、端材除去方法
JP6582630B2 (ja) 基板分断装置及び基板分断方法
JP2021170659A (ja) 基板処理システム、および基板処理方法
JP6177697B2 (ja) パネル吸着搬送装置
CN108735918B (zh) 柔性器件的制造装置及制造方法
KR20160087056A (ko) 디스플레이 장치 제조장치
TWI468787B (zh) 暫時性貼合方法及其貼合設備
KR102569102B1 (ko) 로봇암이 구비된 디스플레이 제조 시스템
KR102575834B1 (ko) 로봇암이 구비된 디스플레이 제조 시스템
KR20160113462A (ko) 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치
JP2018181815A5 (ja)
JP2017079284A (ja) レーザー加工装置
JP2005246843A (ja) 基板へのフィルム貼付装置
US10622332B1 (en) Substrate separation system and method
CN104392905B (zh) 半导体用薄膜剥离方法及剥离装置
JP5970381B2 (ja) 基板の切断加工方法及び切断加工装置
JP6631785B2 (ja) ガラスフィルム積層体の製造方法及び製造装置
KR101549123B1 (ko) 보강재 분리장치

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160930

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170614

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170711

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170712

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6177697

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350