TWI468787B - 暫時性貼合方法及其貼合設備 - Google Patents
暫時性貼合方法及其貼合設備 Download PDFInfo
- Publication number
- TWI468787B TWI468787B TW101114664A TW101114664A TWI468787B TW I468787 B TWI468787 B TW I468787B TW 101114664 A TW101114664 A TW 101114664A TW 101114664 A TW101114664 A TW 101114664A TW I468787 B TWI468787 B TW I468787B
- Authority
- TW
- Taiwan
- Prior art keywords
- glass
- sheet
- carrier
- sheets
- carrier sheet
- Prior art date
Links
Description
本發明關於一種暫時性貼合方法及其貼合設備,尤指一種應用於一觸控顯示螢幕製程上以將複數個玻璃保護片暫時性地貼合於一玻璃承載片上之暫時性貼合方法及其貼合設備。
一般而言,觸控顯示螢幕通常係利用真空貼合方式來完成玻璃保護片以及觸控感應片之貼合。但是由於上述貼合流程須利用人工或機械手臂來進行玻璃保護片以及觸控感應片之取放,因此就會帶來費時費工的貼合流程。除此之外,採用將觸控感應片貼合於玻璃保護片上之設計所帶來的觸控顯示螢幕之整體厚度增加的缺點,亦不利於觸控顯示螢幕薄型化之趨勢,故直接將觸控感應層形成於觸控顯示螢幕之玻璃保護片上之設計因應而生。
為了符合目前觸控顯示螢幕製程之玻璃工件尺寸要求,上述直接將觸控感應層形成於玻璃保護片上之設計係需要先在大片玻璃保護片上形成觸控感應層後,再利用切割製程以切割出符合觸控顯示螢幕之尺寸的小片玻璃保護片,然而,其所切割出來之具有觸控感應層的小片玻璃保護片往往會有強度不足的問題。另一方面,若是改採用先將小片玻璃保護片進行結構強化後再依序於強化後之小片玻璃保護片上形成觸控感應層之設計,則又會導致整體製程費時費工的問題。
本發明之目的之一在於提供一種將複數個玻璃保護片暫時性地貼合於一玻璃承載片上之暫時性貼合方法及其貼合設備,以解決上述之問題。
根據一實施例,本發明之暫時性貼合方法應用於一觸控顯示螢幕製程上,該暫時性貼合方法包含於一玻璃承載片上貼合複數個玻璃保護片、針對該複數個玻璃保護片進行一觸控感應層成型製程以於每一玻璃保護片上形成一觸控感應層,以及自該玻璃承載片上取下該複數個玻璃保護片。
根據另一實施例,本發明之貼合設備應用於一觸控顯示螢幕製程上以用來將複數個玻璃保護片貼合於一玻璃承載片上,該貼合設備包含一承載機台、一機械取放臂,以及一固化燈管裝置。該承載機台具有一承載片平台以及一保護片平台,該承載片平台用來承載該玻璃承載片,該保護片平台用來承載該複數個玻璃保護片。該機械取放臂可活動地設置於該承載機台上,用來分別將該複數個玻璃保護片從該保護片平台運送至該承載片平台以貼合於該玻璃承載片上。該固化燈管裝置設置於該機械取放臂上,用來於該機械取放臂分別將該複數個玻璃保護片貼合於該玻璃承載片上時,照射該複數個玻璃保護片,以使該複數個玻璃保護片固接於該玻璃承載片上。
綜上所述,透過複數個玻璃保護片暫時性地貼合於玻璃承載片上以進行觸控感應層之成型的設計,本發明不僅可有效地解決玻璃保護片經切割後強度不足的問題,同時亦可達到批次式生產之效果,從而大幅地縮短觸控顯示螢幕在將觸控感應層直接形成於玻璃保護片上所需耗費的製程時間。
關於本發明之優點與精神可以藉由以下的實施方式及所附圖式得到進一步的瞭解。
請參閱第1圖,其為根據本發明一實施例所提出之一貼合設備10之上視圖。如第1圖所示,貼合設備10係用來將複數個玻璃保護片12貼合於一玻璃承載片14上,以使後續所欲進行之在玻璃保護片12上形成觸控感應層之製程可經由批次式生產之方式完成,從而縮短觸控顯示螢幕在將觸控感應層直接形成於玻璃保護片上所需耗費的製程時間,其中為了進一步地確保玻璃保護片12能具有足夠之結構強度,玻璃保護片12在貼合於玻璃承載片14上之前可較佳地先進行結構強化。貼合設備10包含一承載機台16、一機械取放臂18,以及一固化燈管裝置20。承載機台16具有一承載片平台22以及一保護片平台24,承載片平台22係用來承載玻璃承載片14,保護片平台24則是用來分別承載複數個玻璃保護片12。至於承載片平台22與保護片平台24之相關承載設計,其係常見於先前技術中,例如保護片平台24係可利用真空吸附方式以吸附住玻璃保護片12,承載片平台22則是可利用真空吸附方式以及伸縮頂針支撐方式以承載玻璃承載片14於其上。
機械取放臂18係可活動地設置於承載機台16上,用來分別將複數個玻璃保護片12從保護片平台24運送至承載片平台22以貼合於玻璃承載片14上(如第1圖所示)。固化燈管裝置20係設置於機械取放臂18上,固化燈管裝置20係可在機械取放臂18將玻璃保護片12貼合於玻璃承載片14上時利用光線照射固化之方式,以使玻璃保護片12固接於玻璃承載片14上。舉例來說,在此實施例中,由第1圖可知,固化燈管裝置20可包含四紫外線固化燈管26,四紫外線固化燈管26係用來於玻璃保護片12貼合於玻璃承載片14上時,照射玻璃保護片12之四邊角,以使玻璃保護片12以四點固化之方式固接於玻璃承載片14上。
接著,請同時參閱第2圖以及第3圖,第2圖為使用第1圖之貼合設備10以進行本發明所提供之暫時性貼合方法之流程圖,第3圖為第1圖之貼合有複數個玻璃保護片12之玻璃承載片14沿剖面線A-A’之剖面示意圖,該暫時性貼合方法包含下列步驟。
步驟200:使用機械承載臂18分別將複數個玻璃保護片12從保護片平台24運送至承載片平台22以貼合於玻璃承載片14上;
步驟202:針對複數個玻璃保護片12進行一觸控感應層成型製程,以於每一玻璃保護片12上形成觸控感應層;
步驟204:自玻璃承載片14上取下複數個玻璃保護片12。
以下係針對上述步驟進行詳細說明。首先,在步驟200中,機械承載臂18可先移動至對應保護片平台24之位置,以將複數個玻璃保護片12分別從保護片平台24運送至承載片平台22上,接著利用如第3圖所示之膠合層13以分別將複數個玻璃保護片12貼合於玻璃承載片14上,其中膠合層13係可較佳地由耐高溫(約250℃)、耐酸鹼、高抗剪應力強度(shear strength)以及低剝離強度(peeling strength)之黏膠材料所組成,而膠合層13之塗佈則是可採用常見應用於玻璃片貼合上之製程,如狹縫式塗佈(slit coating)等。需注意的是,由上述可知,為了使複數個玻璃保護片12可更加穩固地貼合於玻璃承載片14上而不致滑動,貼合設備10係可利用設置於機械承載臂18上之四紫外線固化燈管26照射每一玻璃保護片12之四邊角,以發揮使每一玻璃保護片12以四點固化之方式固接於玻璃承載片14上之效果。
接著可針對貼合於玻璃承載片14上之每一玻璃保護片12進行一觸控感應層成型製程(步驟202),以於每一玻璃保護片12上形成相對應之觸控感應層,藉此,即可達到批次式生產之目的,從而大幅地縮短觸控顯示螢幕在將觸控感應層直接形成於玻璃保護片上所需耗費的製程時間。至於在觸控感應層之成型上,其係可使用一般常見之半導體製程,如光阻塗佈、曝光、顯影、蝕刻等,其相關製程說明常見於先前技術中,故於此不再贅述。
最後,在完成於每一玻璃保護片12上分別形成相對應之觸控感應層的步驟後,即可使每一玻璃保護片12與其所對應之膠合層13分離,藉以使每一玻璃保護片12可從玻璃承載片14上取下(步驟204),其中,在此步驟中所使用之玻璃保護片12與膠合層13分離之方式係可採用一般常見之解膠製程(如加熱解膠、雷射解膠、化學解膠等)來完成,除此之外,其亦可直接彎曲玻璃承載片14以使膠合層13與玻璃保護片12之間產生剝離,接著即可將玻璃保護片12順利地從膠合層13上撕離。至於採用何種解膠方式,其端視實際製程需求以及膠合層13所採用之黏膠特性而定。
綜上所述,透過上述複數個玻璃保護片暫時性地貼合於玻璃承載片上以進行觸控感應層之成型的步驟,本發明不僅可有效地解決上述所提及之玻璃保護片經切割後強度不足的問題,同時亦可達到批次式生產之效果,從而大幅地縮短觸控顯示螢幕在將觸控感應層直接形成於玻璃保護片上所需耗費的製程時間。
值得一提的是,玻璃承載片之設計係可不限於上述實施例。舉例來說,請同時參閱第1圖、第4圖以及第5圖,第4圖為根據本發明另一實施例所提出之複數個玻璃保護片12貼合於一玻璃承載片14’上之立體示意圖,第5圖為第4圖之玻璃承載片14’沿剖面線B-B’之剖面示意圖,在此實施例中所提及的元件與上述實施例中所提及的元件編號相同者,表示其具有相似的功能或相對結構,於此不再贅述。
玻璃承載片14’包含一承載母片28以及一承載子片30,承載子片30係貼合於承載母片28上且在對應複數個玻璃保護片12之位置上形成有複數個容置破孔32,其中容置破孔32可較佳地使用一水刀切割製程而形成於承載子片30上,但不受此限。在此實施例中,貼合設備10可另包含一定位高度計34(如第1圖所示),定位高度計34係設置於機械取放臂18上,定位高度計34係用來控制機械取放臂18,以將玻璃保護片12以與承載子片30共平面之方式經由膠合層13貼合於相對應之容置破孔32內(如第5圖所示)。如此一來,透過具有複數個容置破孔32之承載子片30貼合於承載母片28上以及玻璃保護片12與承載子片30共平面之設計,相較於玻璃承載片14,不僅玻璃承載片14’在對應容置破孔32之位置上的可撓性可進一步地增加,藉以提昇玻璃承載片14’之可彎曲幅度,進而使玻璃保護片12可更加容易地從膠合層13上撕離,同時亦可使後續之觸控感應層成型製程(如光阻塗佈、曝光、顯影、蝕刻等)可在平坦的成型平面上進行,從而提昇觸控感應層之成型品質。除此之外,此設計也可增加玻璃承載片14’在對應容置破孔32之位置以外之區域的結構強度,藉以避免玻璃承載片14’在製程傳輸途中發生結構撓曲而影響到後續觸控感應層之成型品質。
除此之外,玻璃承載片亦可改採用僅為具有複數個容置槽之單片承載片或具有複數個承載子片之設計。首先,在玻璃承載片僅為單片承載片之設計方面,舉例來說,請參閱第6圖,其為根據本發明另一實施例所提出之一玻璃承載片14”貼合有玻璃保護片12之立體示意圖,在此實施例中所提及的元件與上述實施例中所提及的元件編號相同者,表示其具有相似的功能或相對結構,於此不再贅述。
此實施例與上述實施例主要不同之處在於玻璃承載片之結構設計,如第6圖所示,玻璃承載片14”上形成有複數個容置槽36,其中容置槽36可較佳地使用一噴砂製程而形成於玻璃承載片14”上,但不受此限。在此實施例中,定位高度計34係用來控制機械取放臂18,以將玻璃保護片12以與玻璃承載片14”共平面之方式經由膠合層13貼合於相對應之容置槽36內。如此一來,透過玻璃保護片12貼合於玻璃承載片14”之容置槽36內以及玻璃保護片12與玻璃承載片14”共平面之設計,相較於玻璃承載片14,不僅玻璃承載片14”在對應容置槽36之位置上的可撓性可進一步地增加,藉以提昇玻璃承載片14”之可彎曲幅度,進而使玻璃保護片12可更加容易地從膠合層13上撕離,同時亦可使後續觸控感應層之成型製程(如光阻塗佈、曝光、顯影、蝕刻等)可在平坦的成型平面上進行,從而提昇觸控感應層之成型品質。除此之外,此設計也可增加玻璃承載片14”在對應容置槽36之位置以外之區域的結構強度,藉以避免玻璃承載片14”在製程傳輸途中發生結構撓曲而影響到後續觸控感應層之成型品質。
另外,在玻璃承載片具有複數個承載子片之設計方面,舉例來說,請參閱第7圖,其為根據本發明另一實施例所提出之一玻璃承載片14’’’貼合有玻璃保護片12之立體示意圖,在此實施例中所提及的元件與上述實施例中所提及的元件編號相同者,表示其具有相似的功能或相對結構,於此不再贅述。玻璃承載片14’’’與玻璃承載片14’主要不同之處在於承載子片之設計。玻璃承載片14’’’包含承載母片28以及複數個承載子片30’,每一承載子片30’係貼合於承載母片28上且形成有容置破孔32。至於其他相關說明以及其所產生之功效,其係可參照上述實施例以此類推,故於此不再贅述。
以上所述僅為本發明之較佳實施例,凡依本發明申請專利範圍所做之均等變化與修飾,皆應屬本發明之涵蓋範圍。
10...貼合設備
12...玻璃保護片
13...膠合層
16...承載機台
18...機械承載臂
20...固化燈管裝置
22...承載片平台
24...保護片平台
26...紫外線固化燈管
28...承載母片
30、30’...承載子片
32...容置破孔
34...定位高度計
36...容置槽
14、14’、14”、14’’’...玻璃承載片
200、202、204...步驟
第1圖為根據本發明一實施例所提出之貼合設備之上視圖。
第2圖為使用第1圖之貼合設備以進行本發明所提供之暫時性貼合方法之流程圖。
第3圖為第1圖之貼合有複數個玻璃保護片之玻璃承載片沿剖面線A-A’之剖面示意圖。
第4圖為根據本發明另一實施例所提出之複數個玻璃保護片貼合於玻璃承載片上之立體示意圖。
第5圖為第4圖之玻璃承載片沿剖面線B-B’之剖面示意圖。
第6圖為根據本發明另一實施例所提出之玻璃承載片貼合有玻璃保護片之立體示意圖。
第7圖為根據本發明另一實施例所提出之玻璃承載片貼合有玻璃保護片之立體示意圖。
12...玻璃保護片
13...膠合層
14’...玻璃承載片
28...承載母片
30...承載子片
32...容置破孔
Claims (12)
- 一種暫時性貼合方法,其應用於一觸控顯示螢幕製程上,該暫時性貼合方法包含:於一玻璃承載片上貼合複數個玻璃保護片;針對該複數個玻璃保護片進行一觸控感應層成型製程,以於每一玻璃保護片上形成一觸控感應層;以及自該玻璃承載片上取下該複數個玻璃保護片。
- 如請求項1所述之暫時性貼合方法,其中該玻璃承載片包含一承載母片以及一承載子片,於該玻璃承載片上貼合該複數個玻璃保護片之步驟包含:形成複數個容置破孔於該承載子片對應該複數個玻璃保護片之位置上;將該承載子片貼合於該承載母片上;以及以與該承載子片共平面之方式將每一玻璃保護片分別貼合於相對應之容置破孔內。
- 如請求項2所述之暫時性貼合方法,其中形成該複數個容置破孔於該承載子片對應該複數個玻璃保護片之位置上之步驟包含:使用一水刀切割製程以於該承載子片對應該複數個玻璃保護片之位置上形成該複數個容置破孔。
- 如請求項1所述之暫時性貼合方法,其中該玻璃承載片包含一承載母片以及複數個承載子片,於該玻璃承載片上貼合複數個玻璃保護片之步驟包含:於每一承載子片上形成一容置破孔;將該複數個承載子片貼合於該承載母片上;以及以與相對應之承載子片共平面之方式將每一玻璃保護片分別貼合於相對應之容置破孔內。
- 如請求項4所述之暫時性貼合方法,其中於每一承載子片上形成該容置破孔之步驟包含:使用一水刀切割製程以於每一承載子片上形成該容置破孔。
- 如請求項1所述之暫時性貼合方法,其中於該玻璃承載片上貼合該複數個玻璃保護片之步驟包含:形成複數個容置槽於該玻璃承載片對應該複數個玻璃保護片之位置上;以及以與該玻璃承載片共平面之方式將每一玻璃保護片分別貼合於相對應之容置槽內。
- 如請求項1所述之暫時性貼合方法,其中形成該複數個容置槽於該玻璃承載片對應該複數個玻璃保護片之位置上之步驟包含:使用一噴砂製程以於該玻璃承載片對應該複數個玻璃保護片之位置上形成該複數個容置槽。
- 一種貼合設備,其應用於一觸控顯示螢幕製程上以用來將複數個玻璃保護片貼合於一玻璃承載片上,該貼合設備包含:一承載機台,其具有一承載片平台以及一保護片平台,該承載片平台用來承載該玻璃承載片,該保護片平台用來承載該複數個玻璃保護片;一機械取放臂,其可活動地設置於該承載機台上,用來分別將該複數個玻璃保護片從該保護片平台運送至該承載片平台以貼合於該玻璃承載片上;以及一固化燈管裝置,其設置於該機械取放臂上,用來於該機械取放臂分別將該複數個玻璃保護片貼合於該玻璃承載片上時,照射該複數個玻璃保護片,以使該複數個玻璃保護片固接於該玻璃承載片上。
- 如請求項8所述之貼合設備,其中該玻璃承載片包含一承載母片以及一承載子片,該承載子片貼合於該承載母片上且於對應該複數個玻璃保護片之位置上形成有複數個容置破孔,該貼合設備另包含一定位高度計,該定位高度計設置於該機械取放臂上,該定位高度計用來控制該機械取放臂將每一玻璃保護片以與該承載子片共平面之方式分別貼合於相對應之容置破孔內。
- 如請求項8所述之貼合設備,其中該玻璃承載片包含一承載母片以及複數個承載子片,每一承載子片貼合於該承載母片上且形成有一容置破孔,該貼合設備另包含一定位高度計,該定位高度計設置於該機械取放臂上,該定位高度計用來控制該機械取放臂將每一玻璃保護片以與相對應之承載子片共平面之方式分別貼合於相對應之容置破孔內。
- 如請求項8所述之貼合設備,其中該玻璃承載片上形成有複數個容置槽,該貼合設備另包含一定位高度計,該定位高度計設置於該機械取放臂上,該定位高度計用來控制該機械取放臂將每一玻璃保護片以與該玻璃承載片共平面之方式分別貼合於相對應之容置槽內。
- 如請求項8所述之貼合設備,其中該固化燈管裝置包含四紫外線固化燈管,用來於該機械取放臂將每一玻璃保護片貼合於該玻璃承載片上時分別照射每一玻璃保護片之四邊角,以使每一玻璃保護片以四點固化之方式固接於該玻璃承載片上。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101114664A TWI468787B (zh) | 2012-04-25 | 2012-04-25 | 暫時性貼合方法及其貼合設備 |
CN201210201620.2A CN103373036B (zh) | 2012-04-25 | 2012-06-18 | 暂时性贴合方法及其贴合设备 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101114664A TWI468787B (zh) | 2012-04-25 | 2012-04-25 | 暫時性貼合方法及其貼合設備 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TW201344297A TW201344297A (zh) | 2013-11-01 |
TWI468787B true TWI468787B (zh) | 2015-01-11 |
Family
ID=49459152
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW101114664A TWI468787B (zh) | 2012-04-25 | 2012-04-25 | 暫時性貼合方法及其貼合設備 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103373036B (zh) |
TW (1) | TWI468787B (zh) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104679335A (zh) * | 2015-03-07 | 2015-06-03 | 安徽方兴科技股份有限公司 | 一种On-cell触摸屏的制作方法 |
CN107797684A (zh) * | 2016-08-29 | 2018-03-13 | 红河凯立特科技有限公司 | 一种触控面板的制造方法 |
CN107491231B (zh) * | 2017-07-13 | 2021-07-16 | 深圳市志凌伟业技术股份有限公司 | 基于电容式触摸屏的贴合设备以及贴合方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070187868A1 (en) * | 2003-07-29 | 2007-08-16 | Tsuyoshi Aruga | Pasting method and pasting apparatus |
JP2010072471A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Three M Innovative Properties Co | 透明粘着シート、それを含む画像表示装置及び、その画像表示装置の作製方法 |
TWM394529U (en) * | 2010-05-17 | 2010-12-11 | Tpk Touch Solutions Xiamen Inc | Optical adhesive layer and touch display |
US7883991B1 (en) * | 2010-02-18 | 2011-02-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Temporary carrier bonding and detaching processes |
TW201118504A (en) * | 2009-11-23 | 2011-06-01 | Echem Solutions Corp | Touch plate and method for making the same, and touch display panel with the same |
JP2011178879A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Nitto Denko Corp | 保護シートおよびその利用 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09312245A (ja) * | 1996-05-21 | 1997-12-02 | Hoya Corp | 薄膜堆積基板および薄膜堆積基板の作製方法 |
JPH11184619A (ja) * | 1997-12-24 | 1999-07-09 | Sharp Corp | 密着イメージセンサ |
JP4942566B2 (ja) * | 2007-06-29 | 2012-05-30 | 富士通コンポーネント株式会社 | タッチパネルの製造方法 |
US7918019B2 (en) * | 2009-01-09 | 2011-04-05 | Apple Inc. | Method for fabricating thin touch sensor panels |
-
2012
- 2012-04-25 TW TW101114664A patent/TWI468787B/zh active
- 2012-06-18 CN CN201210201620.2A patent/CN103373036B/zh active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20070187868A1 (en) * | 2003-07-29 | 2007-08-16 | Tsuyoshi Aruga | Pasting method and pasting apparatus |
JP2010072471A (ja) * | 2008-09-19 | 2010-04-02 | Three M Innovative Properties Co | 透明粘着シート、それを含む画像表示装置及び、その画像表示装置の作製方法 |
TW201118504A (en) * | 2009-11-23 | 2011-06-01 | Echem Solutions Corp | Touch plate and method for making the same, and touch display panel with the same |
US7883991B1 (en) * | 2010-02-18 | 2011-02-08 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Temporary carrier bonding and detaching processes |
JP2011178879A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Nitto Denko Corp | 保護シートおよびその利用 |
TWM394529U (en) * | 2010-05-17 | 2010-12-11 | Tpk Touch Solutions Xiamen Inc | Optical adhesive layer and touch display |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103373036B (zh) | 2015-06-24 |
CN103373036A (zh) | 2013-10-30 |
TW201344297A (zh) | 2013-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5583140B2 (ja) | フレキシブル基板アセンブリを準備する方法およびその方法により準備されたフレキシブル基板アセンブリ | |
KR101456382B1 (ko) | 전자 장치 및 그 제조 방법 | |
CN106935547B (zh) | 一种柔性显示装置的制作方法及柔性显示装置 | |
US10249527B2 (en) | Method of manufacturing flexible display device | |
TWI536073B (zh) | 電子基材之製程、顯示面板之製程與所應用的接著劑 | |
TW201325904A (zh) | 可撓式元件的取下方法 | |
TWI468787B (zh) | 暫時性貼合方法及其貼合設備 | |
KR20150023202A (ko) | 프로세스 모듈 및 그 제조 방법과, 프로세스 모듈을 이용한 기판 처리 방법 | |
JP2010283097A (ja) | 両面接着シート | |
JP5750980B2 (ja) | パターン構造層付き長尺体およびパターン構造層の貼り合せ方法 | |
CN109155274A (zh) | 剥离装置 | |
CN103325705A (zh) | 半导体器件的检查方法、制造方法以及检查用夹具 | |
JP2014031270A (ja) | シート貼付方法及びシート貼付装置 | |
CN108382049A (zh) | 同时执行剥离和黏附工序的装置和方法 | |
JP2013025373A (ja) | 静電センサの製造方法及び保護フィルム付静電センサ | |
TWI423382B (zh) | 防塵薄膜組件剝離用夾具及剝離方法 | |
TWI242255B (en) | Wafer carrier | |
JP2017537857A (ja) | 剥離を含む加工の方法 | |
JP6003604B2 (ja) | 積層板の加工方法、加工された積層板 | |
CN106783720B (zh) | 一种显示基板及其制作方法 | |
TWI448774B (zh) | 板材堆疊結構及板材堆疊結構製作方法 | |
KR100927518B1 (ko) | 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토마스크 | |
KR100929110B1 (ko) | 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조장치 및 이를 통해 제조되는 포토마스크 | |
CN217214683U (zh) | 一种用于柔性基板的承载装置、贴合装置 | |
CN107734860B (zh) | 一种吸平板面的方法 |