KR100927518B1 - 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토마스크 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토 마스크에 관한 것으로, 특히 유리기판을 진공패널의 상부에 탑재한 상태에서 180도 회전시켜 진공패널의 하부에 위치토록 하는 단계와, 상기 진공패널을 좌우로 유동시켜 접착제 및 포토마스크용 필름을 순차적으로 부착시키는 단계를 통해 유리기판에 포토 마스크용 필름을 자동으로 부착시키도록 한 것을 특징으로 하는 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토 마스크에 관한 것이다.

유리기판, 포토마스크용 필름, 부착방법

Description

유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토마스크{A Sticking Unit of Photo Mask in Glass PCB and a Sticking Method}

본 발명은 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토 마스크에 관한 것으로, 특히 유리기판을 진공패널의 상부에 탑재한 상태에서 180도 회전시켜 진공패널의 하부에 위치토록 하는 단계와, 상기 진공패널을 좌우로 유동시켜 접착제 및 포토마스크용 필름을 순차적으로 부착시키는 단계를 통해 유리기판에 포토 마스크용 필름을 자동으로 부착시키도록 한 것을 특징으로 하는 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법 및 이를 통해 제조되는 포토 마스크에 관한 것이다.

일반적으로 포토마스크는 빛을 이용하여 회로 등의 패턴을 패터닝화하는 포토리소그래피공정에 사용되는 것으로서, 반도체나 LCD/PDP 등의 디스플레이용 패널을 포함하는 고도의 정밀성을 요구하는 전자장치의 제조에 사용되며, 통상 감광액(포토레지스트)이 입혀진 웨이퍼나 스테인리스, LCD/PDP용 유리기판 위에 노광공정을 통해서 회로패턴이 형성되게 하는 제품이다.

이러한 포토마스크로는 통상 에멀전마스크 또는 크롬마스크가 사용되고 때로는 마스크용 필름과 유리기판을 접합한 것을 사용하기도 하는데, 포토마스크를 포토마스크지그 등에 고정시킨 후 노광공정에 의한 회로패턴이 형성되게 한다.

그런데, 종래 노광공정을 위하여 사용되는 포토마스크에 있어서, 필름을 유리기판에 접합하여 사용하는 경우 광투과성을 고려하여 필름의 모서리 부분에 접착테이프를 붙여 유리기판 위에 고정시키는 방식을 이용한다. 상기의 경우 모서리 부분만 접합을 하므로 유리기판과 필름의 접합시 필름의 가운데 부분이 떨어져 노광 작업시 필름이 처지는 문제점이 발생되고 이에 따라 초점 및 얼라인이 맞지 않으므로 패턴형성대상물에 정교한 회로패턴의 형성이 어렵고, 패턴형성대상물 위의 포토레지스트가 필름에 묻어서 노광 횟수가 줄어드는 문제점이 발생되고 있었으며, 이러한 접착테이프에 의한 필름과 유리기판의 모서리 부분 고정방식은 작업의 불편함을 야기할 뿐만 아니라 제조시간을 증대시키고 생산성의 저하를 초래하는 요인이 되고 있다.

즉, 접착 테이프에 의한 부착방법은 노광작업시 필름이 처져서 정교한 회로패턴 형성이 어려울 뿐만 아니라, 손으로 테이프를 부착하므로 작업성이 매우 떨어지는 문제가 있는 것이다.

이를 해결하기 위해 특허등록 제 10-0746491에는 필름을 유리기판에 접착제를 이용하여 부착하되, 필름을 진공압제공장치와 구동롤러를 이용하여 흡착 및 밀착을 가능토록 하여 제조시간의 절감 및 생산성의 향상을 기대할 수 있도록 한 반도체장치 및 디스플레이 패널용 포토마스크 제조장치가 제안되어 있고, 등록특허 제 10-0749801에는 필름을 유리기판에 접착제를 이용하여 부착하되, 필름을 진공압 제공장치와 롤러를 이용하여 흡착 및 밀착을 가능토록 하여 제조시간의 절감 및 생산성의 향상을 기대할 수 있도록 한 반도체장치 및 디스플레이 패널용 포토마스크 제조방법을 제안하고 있다.

그리고, 상기 등록특허는 유리기판에 접착제를 별도로 도포하는 장치 및 방법이 필수적으로 제시되고 있다.

그러나, 상기 특허는 자동화 공정에 의해서 필름을 접착하는 것이 아니고 접착제를 도포하는 공정과 필름을 부착하는 장치가 별도로 구성되기 때문에 작업의 효율성이 떨어지는 문제가 있었다.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결코자 하는 것으로, 유리기판을 진공패널에 장착시킨 상태에서 180도 상하로 회전하는 단계와, 유리기판에 접착제를 부착시큰 단계와, 유리기판에 포토마스크용 필름을 부착시키는 단계를 통해 자동으로 유리기판에 포토마스크용 필름을 접착시키도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 수단으로,

본 발명은, (1) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 준비하고, 상기 유리기판 장착용 진공패널(110)의 중심축상에 진공패널 상하 회전축(120)을 설치하며, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 진공패널 좌우 이송용 레일(140)에 위치시키고, 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부 좌측면에 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 위치시키며, 상기 유리기판 장착용 진공패널(110)의 우측에 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)을 설치하고, 상기 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 배치하며, 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 우측면에 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 위치시키는 공정(S10)과;

(2) 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 유리기판(500)을 배치시키고, 유리기판 장착용 진공패널(110)에 진공압을 제공하여 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)에 달라붙도록 하며, 동시에 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 접착제(400)를 배치시키고 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 진공압을 제공하여 접착제(400)가 진공패널에 달라붙도록 하는 공정(S20)과;

(3) 유리기판 상하 회전축(120)을 회전시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시키며, 이에 따라 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치하는 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치되도록 하는 공정(S30)과;

(4) 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 위치하는 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 좌측으로 이동시키면서 접착제의 최상부층인 제 1 이형지층(410)을 제거하는 공정(S40)과;

(5) 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 좌측 끝단부로 이동하여 접착제(400)의 상부측에 위치하는 제 1 이형지층(410)을 완전히 제거하는 공정(S50)과;

(6) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)이 위치하는 우측으로 이동시키는 공정(S60)과;

(7) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 우측 끝단부까지 완전히 이동시켜 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)과 완전히 겹치도록하는 공정(S70)과;

(8) 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 상승시켜 접착제의 일측 끝단부를 유리기판쪽으로 압박하는 공정(S80)과;

(9) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 이동시켜 접착제 및 포토마 스크 필름 압착수단(300)으로 유리기판에 접착제의 접착층을 순차적으로 접착시키는 공정(S90)과;

(10) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측면 끝단까지 이동시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 장착된 유리기판(500)에 접착제(400)의 접착층(420) 부착을 완료시키는 공정(S100)과;

(11) 유리기판(500)에 접착층(420)의 부착이 마무리된 시점에서 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 하강시키는 공정(S110)과;

(12) 유리기판 상하 회전축(120)을 회전시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치되도록 하는 공정(S120)과;

(13) 포토마스크용 필름(600)을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 상부에 위치시키는 공정(S130)과;

(14) 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부 좌측면 배치된 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 구동하여 접착제(400)의 하부측에 부착되어 있던 제 2 이형지(430)를 제거하는 공정(S140)과;

(15) 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 구동하여 우측 끝단부로 이동시키면서 제 2 이형지층(430)를 완전히 제거하는 공정(S150)과;

(16) 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 좌측 끝단으로 이동시켜 원위치 시키는 공정(S160)과;

(17) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 접착층(420)이 부착 된 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치되도록 하는 공정(S170)과;

(18) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 오른쪽으로 이동시켜 포토마스크용 필름(600)과 접촉되도록 하는 공정(S180)과;

(19) 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 배치되는 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 상승시키는 공정(S190)과;

(20) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 이동시키되 압착수단(300)이 포토마스크용 필름(600)의 하부를 유리기판(500)에 밀착시켜 포토마스크용 필름이 유리기판에 접착되도록 하는 공정(S200)과;

(21) 포토마스크용 필름(600)이 부착된 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 완전히 이동시켜 포토 마스크용 필름을 유리기판에 접착시키는 공정을 완료시키는 공정(S210)과;

(22) 포토마스크용 필름(600)이 부착된 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치되도록 하는 공정(S220)으로 이루어짐이 특징이다.

또한, 상기 제 2 공정(S20)은,

접착제를 배치시에 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)에 일부가 걸처지도록 배치시키는 것이 특징이다.

또한, 상기 제 13공정(S130)은,

포토마스크용 필름(600)을 배치시에 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)에 일부가 걸처지도록 배치시키는 것이 특징이다.

상술한 바와 같이 본 발명은 본 발명은 상기와 같은 문제를 해결코자 하는 것으로, 유리기판을 진공패널에 장착시킨 상태에서 180도 상하로 회전하는 단계와, 유리기판에 접착제를 부착시큰 단계와, 유리기판에 포토마스크용 필름을 부착시키는 단계를 통해 자동으로 유리기판에 포토마스크용 필름을 접착시키도록 함으로서, 전 과정이 자동으로 이루어져 초보 작업자도 손쉽게 유리기판에 필름을 부착할 수 있는 효과가 있다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의하여야 한다. 또한, 하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.

그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 설정된 용어들로서 이는 생산자의 의도 또는 관례에 따라 달라질 수 있으므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.

도 23은 본 발명에 의한 반도체 및 디스플레이 패널용 포토마스크를 나타낸 분해 사시도.

도 23 및 도 24은 본 발명의 전체 동작 순서도.

도 25은 본 발명에 의한 반도체 및 디스플레이 패널용 포토마스크를 나타낸 분해 사시도.

도 26은 본 발명에 의한 도 25의 포토마스크에 대한 결합상태 단면도.

도 27는 본 발명의 포토마스크에 있어 필름마스크의 구조를 보인 단면 상세도.

도 28은 본 발명에 의해 필름 마스크를 유리기판에 부착한 실시예도로서, 본 발명의 포토마스크는 포토마스크용 필름(10)과, 접착층(20)과, 유리기판(30)으로 이루어진다.

상기 포토마스크용 필름(10)은 레이저 플로팅 및 노광에 의한 일정 패턴이 형성되고, 광투과성 접착층(20)을 이용하여 유리기판(30)에 접착하여 이루어진다.

아울러, 상기 포토마스크용 필름(10)은 투명한 PET(Poly Ethylene Terephthalate; 폴리에틸렌 테레프탈레이트)필름(11)의 상면에 보호층(12)과 감광층(13) 및 산란빛 흡수층(14)을 위에서 아래로 순차 형성하고 그 하면에는 정전기방지층(15)과 백코팅층(16)을 형성시킨 상태에서, 상기 PET필름(11)의 상면 즉 보호층(12)의 표면에 캐드/캠(CAD/CAM) 프로그램 출력에 의한 레이저 플로팅을 행하여 패턴을 인쇄한 후 노광을 행하여 감광층(13)에 패턴이 감광되어 형성되는 인쇄필름으로 구성되며, 이때, 상기 PET필름(11)의 상/하면으로 형성되는 각각의 적층구조는 스퍼터링방식에 의한 증착으로 구성되며, 상기 보호층(12)과 감광층(13) 및 산란빛 흡수층(14)이 포토마스크용 필름(10) 상에서 인쇄된 패턴을 갖는 인쇄층(P) 을 형성하게 되고, 상기 PET필름(11)과 정전기방지층(15) 및 백코팅층(16)이 필름층(F)을 형성하게 되는 것이다.

이하에서 도 1 내지 도 22를 통해 본 발명의 포토마스크 제작 장치를 보다 상세히 설명하기로 한다.

본 발명의 포토 마스크 제작장치는 크게 유리기판 구동수단(100)과, 접착제 및 포토마스크용 필름 장착수단(200) 및, 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)으로 이루어진다. 아울러, 본 발명에 작용되는 접착제(400)는 3개층으로 이루어지는바 제 1 이형지층(410)과, 제 1 이형지층 하부에 배치되는 접착층(420)과, 접착제층의 하부에 배치되는 제 2 이형지층(430)으로 이루어진다.

상기 유리기판 구동수단(100)은 유리기판 장착용 진공패널(110)과, 진공패널 상하 회전축(120)과, 제 1 이형지 제거용 롤러(130) 및, 진공패널 좌우 이송용 레일(140)로 이루어진다.

상기 유리기판 장착용 진공패널(110)은 사각패널 형태로서 외부로부터 진공압을 제공받아 진공압이 형성되며, 상부면에 진공 흡입홀이 다수개 형성되어 이루어진다. 상기 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부면에 유리기판(500)을 장착하고 유리기판에 진공압을 제공하여 유리기판이 유리기판 장착용 진공패널(110)에 흡입되어 외부로 이탈되는 것을 방지한다.

상기 진공패널 상하 회전축(120)은 유리기판 장착용 진공패널(110)의 중심축을 가로질러 설치되며 외부로부터 회전동력을 전달받아 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 단위로 상하 방향으로 회전시킴으로서 유리기판 장착용 진 공패널의 상부에 장착되는 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)을 중심으로 상부에 위치되거나 하부에 위치되도록 한다.

상기 제 1 이형지 제거용 롤러(130)는 후술하는 필름 접착제(400)를 구성하는 제 2 이형지층(430)을 한꺼풀 벗겨내는 동작을 하는바, 외부로부터 진공압을 제공받아 접착제에 접촉하면서 회전하여 접착제를 구성하는 이형지를 벗겨내어 접착층이 외부로 들어나도록 한다.

상기 진공패널 좌우 이송용 레일(140)은 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌우로 이동시키는 가이드 역할을 하는바, 접착제를 부착할 경우와 포토마스크용 필름(600)을 부착할 경우 유리기판 장착용 진공패널(110)이 우측으로 유동할 수 있도록 가이드하고 각각의 작업이 마무리되면 유리기판 장착용 진공패널(110)이 좌측으로 유동할 수 있도록 가이드한다.

상기 접착제 및 포토마스크용 필름 장착수단(200)은 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)과, 제 2 이형지 제거용 롤러(220)로 이루어진다.

상기 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)은 사각 프레임 형상으로서 외부로부터 진공압을 제공받아 접착제(400) 및 포토마스크용 필름(600)을 진공패널의 상부면에 임시로 흡입하여 고정시키는 역할을 한다.

상기 제 2 이형지 제거용 롤러(220)는 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 상부에 설치되며 외부로부터 진공압을 제공받은 상태에서 좌우로 유동하여 접착제(400)를 구성하는 제 1 이형지층(410)을 벗겨내는 역할을 한다.

상기 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)은 접착제 및 포토마스크 필 름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 설치되고, 외부 동력을 전달받아 상하로 유동 가능하며 유리기판(500)에 접착층(420) 및 포토마스크 필름(600)을 압착시키는 역할을 한다.

이하에서 본 발명의 동작을 간략하게 설명하면 다음과 같다.

본 발명은 유리기판 장착용 진공패널과, 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널을 배치하는 단계(S10)와;

유리기판 장착용 진공패널에 유리기판을 배치하는 단계(S20)와;

유리기판 상하 회전축을 구동하여 유리기판을 하부로 위치이동 시키는 단계(S30)와;

접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널의 상부에 배치된 접착제로부터 제 1 이형지층을 제거하는 단계(S40)와;

제 2 이형지 롤러를 좌측 끝단으로 이송시켜 제 1 이형지층을 완전히 제거하는 단계(S50)와;

유리기판 장착용 진공패널을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널측으로 이송시키는 단계(S60)와;

유리기판 장착용 진공패널을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널과 겹치는 단계(S70)와;

접착제 및 포토마스크 필름 압착수단을 상승시키는 단계(S80)와;

유리기판 장착용 진공패널을 좌측으로 이송시키면서 접착층을 유리기판에 접착시키는 단계(S90)와;

유리기판 장착용 진공패널을 좌측 끝단으로 이송시켜 접착층을 유리기판에 완전히 부착시키는 단계(S100)와;

접착제 및 포토마스크 필름 압착 수단을 하강 시키는 단계(S110)와;

유리기판이 유리기판 장착용 진공패널 상부에 위치되도록 회전시키는 단계(S120)와;

포토 마스크용 필름을 접착제 및 포토 마스크 필름 장착용 진공패널의 상부에 위치시키는 단계(S130)와;

제 1 이형지 제거용 롤러를 이용하여 제 2 이형지층을 제거하는 단계(S140)와;

제 1 이형지 제거용 롤러를 우측 끝단으로 이송하여 제 2 이형지층을 완전히 제거하는 단계(S150)와;

제 1 이형지 제거용 롤러를 좌측 끝단으로 원위치 시키는 단계(S160)와;

유리기판이 하부에 위치되도록 유리기판 장착용 진공패널을 회전시키는 단계(S170)와;

유리기판 장착용 진공패널을 우측으로 이송시켜 포토 마스크용 필름에 접촉 시키는 단계(S180)와;

접착제 및 포토 마스크 필름 압착수단을 상승시키는 단계(S190)와;

유리기판에 포토마스크 필름을 압착시키면서 좌측으로 이송시키는 단계(S200)와;

유리기판 장착용 진공 패널을 완전히 좌측으로 이송시키는 단계(S210)와;

유리기판 장착용 진공패널을 180도 회전시켜 유리기판이 상부에 위치시키는 단계(S220)로 이루어진다.

이하에서 공정별로 본 발명을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

(1) 제 1 공정(S10):

유리기판 장착용 진공패널(110)을 준비하고, 상기 유리기판 장착용 진공패널(110)의 중심축상에 진공패널 상하 회전축(120)을 설치하며, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 진공패널 좌우 이송용 레일(140)에 위치시키고, 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부 좌측면에 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 위치시키며, 상기 유리기판 장착용 진공패널(110)의 우측에 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)을 설치하고, 상기 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 배치하며, 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 우측면에 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 위치시킨다.

(2) 제 2 공정(S20):

유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 유리기판(500)을 배치시키고, 유리기판 장착용 진공패널(110)에 진공압을 제공하여 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)에 달라붙도록 하며, 동시에 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 접착제(400)를 배치시키고 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패 널(210)에 진공압을 제공하여 접착제(400)가 진공패널에 달라붙도록 한다. 상기 접착제(400)는 상부에 제 1 이형지층(410)과 중간에 접착층(420)과 하부에 제 2 이형지층(430) 등 총 3개의 층으로 이루어져 있다.

(3) 제 3 공정(S30):

유리기판 상하 회전축(120)을 회전시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시키며, 이에 따라 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치하는 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치되도록 한다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)의 중심축상에 설치된 유리기판 상하 회전축(120)을 180도 회전시켜서 유리기판 장착용 진공패널(110)이 180도 회전되도록 하여 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치되도록 하는 것이다.

(4) 제 4 공정(S40):

접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 위치하는 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 좌측으로 이동시키면서 접착제의 최상부층인 제 1 이형지층(410)을 제거한다. 이때 제 2 이형지 제거용 롤러(220)에 진공압을 제공하여 롤러에 제 2 이형지층(410)을 감으면서 제거시킬 수 있다. 즉, 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 이용하여 접착제를 구성하는 제 1 이형지층(410)을 제거토록하여 제 1 이형지층(410) 하부에 위치하는 접착층(420)이 외부로 서서히 들어나도록 한다.

(5) 제 5 공정(S50):

제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 좌측 끝단부로 이동하여 접착제(400)의 상부측에 위치하는 제 1 이형지층(410)을 완전히 제거한다. 이에 따라 접착제(400)의 접착층(420)이 완전히 외부로 들어나게 된다. 즉, 제 2 이형지 제거용 롤러(220)로 접착제(400)의 제 1 이형지층(410)을 완전히 제거토록 함으로서 접착제(400)의 중간측에 배치된 접착층(20)이 외부로 완전히 들어나도록 하는 것이다.

(6) 제 6 공정(S60):

유리기판 장착용 진공패널(110)을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)이 위치하는 우측으로 이동시킨다. 즉, 유리기판(500)이 하부에 장착된 상태로 유리기판 장착용 진공패널(110)을 레일(140)을 따라 우측으로 이동시켜 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210) 위치로 이동시킨다.

(7) 제 7 공정(S70):

유리기판 장착용 진공패널(110)을 우측 끝단부까지 완전히 이동시켜 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)과 완전히 겹치도록하여 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하단에 위치하는 유리기판(500)에 접착제(400)의 접착층(420)이 부착된다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)과 겹치도록 함으로서 유리기판(500)과 접착제(400)의 접착층(420)이 상호 부착되도록 하는 것이다.

(8) 제 8 공정(S80):

접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 배치되는 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 상승시킨다. 즉, 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)은 상하로 유동할 수 있도록 구성되는바, 접착층(420)의 압착을 위하여 잡착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 상승시키며, 상승위치는 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 높이와 동일한 위치까지이다.

(9) 제 9 공정(S90):

접착층(420)이 부착된 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 이동시키되 압착수단(300)이 접착제(400)의 하부에 밀착되어 접착층(420)와 유리기판(500)이 강하게 부착되면서 유리기판 장착용 진공패널(110)이 좌측으로 이동되도록 한다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 이동시키게 되면 접착제(400)의 하부를 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(3300)이 밀착시켜 순차적으로 접착층(420)과 유리기판(500)이 강하게 접착이 이루어지도록 한다. 상기 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)은 롤러로 구성되기 때문에 순차적인 압착이 가능하다.

(10) 제 10 공정(S100):

유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측면 끝단까지 이동시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 장착된 유리기판(500)에 접착제(400)의 접착층(420) 부착이 완료되며, 이때 접착제(400)는 제 1 이형지층(410)은 이미 제거되었기 때문에 접착층(420)과 제 2 이형지층(430)으로 이루어진 상태이며, 상기 접착층(420)이 유리기판(500)의 하부에 밀착 접촉된다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 완전히 이동시키게 되면 유리기판 장착용 패널(110)의 하단에 위치하는 유리기판(500)에 접착층(420)이 강하게 압착된 상태를 유지한다. 특히, 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)으로 접착제(400)를 압착시키면서 부착시키기 때문에 공기가 스며들지 않은 상태로 정밀하게 유리기판(500)에 접착층(420)을 부착시킬 수 있게 된다.

(11) 제 11 공정(S110):

유리기판(500)에 접착층(420)의 부착이 마무리된 시점에서 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 배치되는 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 하강시킨다. 즉, 유리기판(500)에 접착층(420)의 부착이 마무리되면 다음 작업을 위해서 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 하부로 하강시킨다.

(12) 제 12 공정(S120):

유리기판 상하 회전축(120)을 회전시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시키며, 이에 따라 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치하는 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치되도록 한다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 원래 위치로 복귀시키며, 이에 따라 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 접착제(400)가 부착된 유리기판(500)이 위치되는 것이다.

(13) 제 13 공정(S130):

포토마스크용 필름(600)을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 상부에 위치시킨다. 즉, 유리기판(500)에 접착층(420)의 부착이 마무리되면 다음 작업으로 포토마스크용 필름(600)을 유리기판(500)에 접착시키야 하기 때문에 이를 위하여 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210) 상부에 포토마스크용 필름(600)을 배치시키고 진공압을 제공하여 포토마스크용 필름(600)이 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 달라붙어 있도록 한다.

(14) 제 14 공정(S140):

유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부 좌측면 배치된 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 구동하여 접착제(400)의 하부측에 부착되어 있던 제 2 이형지(430)를 제거한다. 즉, 유리기판(500)에 포토마스크용 필름(600)을 부착시키기 위하여 접착제(400)의 하부측에 부착되어 있던 제 2 이형지층(430)을 제거하는바, 현재 공정에서는 유리기판(500)의 상부에 접착층(420)이 배치되고 접착층(420)의 상부에 제 2 이형지층(430)이 배치된 상태이며, 이 상태에서 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 구동하여 진공압을 제공한 상태에서 제 2 이형지층(430)을 흡착시키면서 우측으로 이송되면서 제 2 이형지층(430)의 제거를 시작하는 것이다.

(15) 제 15 공정(S150):

제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 구동하여 우측 끝단부로 이동시키면서 제 2 이형지층(430)를 완전히 제거한다. 이에 따라 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치한 유리기판(500)의 상부에는 접착층(420)만이 존재한다. 즉, 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 우측 끝단까지 구동하면서 제 2 이형지층(430)을 흡착하여 롤러에 감도록 함으로서 제 2 이형지층(430)이 완전히 제거되어 유리기판(500)의 상부에 접착층(420)만이 배치되는 것이다.

(16) 제 16 공정(S160):

제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 좌측 끝단으로 이동시켜 원위치 시킨다. 즉, 제 2 이형지층(430)의 제거작업이 마무리되면 다음 작업을 위해서 제 1 이형지 제거용 롤러(130)는 원래 위치되었던 자리로 원위치 시키는바, 이는 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 우측에 놔두게 되면 다음 작업에 방해가 되기 때문이다.

(17) 제 17 공정(S170):

유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 접착층(420)이 부착된 유 리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치되도록 한다. 즉, 포토마스크용 필름(600)을 부착시키기 위한 선행 작업으로서 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치할 수 있도록 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시키며, 이에 따라 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 유리기판(500)이 위치되고 유리기판(500)의 하부에 접착층(420)이 위치되게 된다.

(18) 제 18 공정(S180):

유리기판 장착용 진공패널(110)을 오른쪽으로 이동시켜 포토마스크용 필름(600)과 접촉되도록 하여 포토 마스크용 필름(600)이 유리기판(500)의 접착층(420)에 부착되도록 한다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 오른쪽으로 이동시키게 되면 유리기판(500) 하부에 접착층(420)이 위치되고 그 하부에 포토마스크용 필름(600)이 위치되어 상기 접착층(420)에 포토마스크용 필름(600)이 부착되는 것이다.

(19) 제 19 공정(S190):

접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 배치되는 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 상승시킨다. 즉, 포토마스크용 필름(600)을 유리기판(500)에 강하게 압착하면서 부착시킬 수 있도록 하기 위해서 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 상부로 상승시키며, 이때 상승위치는 접착제 및 포 토마스크 필름 장착용 진공패널(210) 위치까지이다.

(20) 제 20 공정(S200):

포토마스크용 필름(600)이 부착된 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 이동시키되 압착수단(300)이 포토마스크용 필름(600)의 하부를 유리기판(500)에 밀착시켜 포토마스크용 필름(600)과 유리기판(500)이 강하게 밀착되면서 유리기판 장착용 진공패널(110)이 좌측으로 이동되도록 한다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)이 좌측으로 이동되는 도중에 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)이 포토마스크용 필름(600)을 유리기판(500)에 강하게 압착시키면서 유리기판 장착용 진공패널(110)이 좌측으로 이동되도록 하는 것이다.

(21) 제 21 공정(S210):

포토마스크용 필름(600)이 부착된 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 완전히 이동시킨다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)이 레일(140)을 따라 좌측으로 완전히 이동되도록 함으로서 원래 유리기판 장착용 진공패널(110)의 위치로 복귀시키는 것이다.

(22) 제 22 공정(S220):

포토마스크용 필름(600)이 부착된 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치되도록 한 다. 즉, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 포토마스크용 필름(600)이 부착된 유리기판(500)이 상부로 위치되도록하며, 작업이 마무리되면 유리기판 장착용 진공패널(110)의 진공압을 해제시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)로부터 유리기판(500)을 이탈시킨다.

이상의 설명은 본 발명의 기술사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 즉, 본 발명에 개시된 실시예들은 본 발명의 기술사상을 한정하는 것이 아니라 설명하기 위한 것이기 때문에 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 보호범위는 아래 청구범위의 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위내에 있는 모든 기술사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.

도 1은 유리기판 장착용 진공패널과, 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널을 배치한 동작 상태도.

도 2는 유리기판 장착용 진공패널에 유리기판을 배치한 동작 상태도.

도 3은 유리기판 상하 회전축을 구동하여 유리기판을 하부로 위치이동 시키는 동작 상태도.

도 4는 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널의 상부에 배치된 접착제로부터 제 1 이형지층을 제거하는 동작 상태도.

도 5는 제 2 이형지 롤러를 좌측 끝단으로 이송시켜 제 1 이형지층을 완전히 제거한 동작 상태도.

도 6은 유리기판 장착용 진공패널을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널측으로 이송시키는 동작 상태도.

도 7은 유리기판 장착용 진공패널을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널과 겹치는 동작 상태도.

도 8은 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단을 상승시키는 동작 상태도.

도 9는 유리기판 장착용 진공패널을 좌측으로 이송시키면서 접착층을 유리기판에 접착시키는 동작 상태도.

도 10은 유리기판 장착용 진공패널을 좌측 끝단으로 이송시켜 접착층을 유리기판에 완전히 부착시키는 동작 상태도.

도 11은 접착제 및 포토마스크 필름 압착 수단을 하강 시키는 동작 상태도.

도 12는 유리기판이 유리기판 장착용 진공패널 상부에 위치되도록 회전시키는 동작 상태도.

도 13은 포토 마스크용 필름을 접착제 및 포토 마스크 필름 장착용 진공패널의 상부에 위치시키는 동작 상태도.

도 14는 제 1 이형지 제거용 롤러를 이용하여 제 2 이형지층을 제거하는 동작 상태도.

도 15는 제 1 이형지 제거용 롤러를 우측 끝단으로 이송하여 제 2 이형지층을 완전히 제거하는 동작 상태도.

도 16은 제 1 이형지 제거용 롤러를 좌측 끝단으로 원위치 시키는 동작 상태도.

도 17은 유리기판이 하부에 위치되도록 유리기판 장착용 진공패널을 회전시키는 동작 상태도.

도 18은 유리기판 장착용 진공패널을 우측으로 이송시켜 포토 마스크용 필름에 접촉 시키는 동작 상태도.

도 19는 접착제 및 포토 마스크 필름 압착수단을 상승시키는 동작 상태도.

도 20은 유리기판에 포토마스크 필름을 압착시키면서 좌측으로 이송시키는 동작 상태도.

도 21은 유리기판 장착용 진공 패널을 완전히 좌측으로 이송시키는 동작 상태도.

도 22는 유리기판 장착용 진공패널을 180도 회전시켜 유리기판이 상부에 위 치되도록 하는 동작 상태도.

도 23 및 도 24은 본 발명의 전체 동작 순서도.

도 25은 본 발명에 의한 반도체 및 디스플레이 패널용 포토마스크를 나타낸 분해 사시도.

도 26은 본 발명에 의한 도 25의 포토마스크에 대한 결합상태 단면도.

도 27는 본 발명의 포토마스크에 있어 필름마스크의 구조를 보인 단면 상세도.

도 28은 본 발명에 의해 필름 마스크를 유리기판에 부착한 실시예도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

100: 유리기판 구동수단

110: 유리기판 장착용 진공패널

120: 진공패널 상하 회전축

130: 제 1 이형지 제거용 롤러

140: 진공패널 좌우 이송용 레일

200: 접착제 및 포토마스크용 필름 장착수단

210: 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널

220: 제 2 이형지 제거용 롤러

300: 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단

400: 접착제

410: 제 1 이형지층

420: 접착층

430: 제 2 이형지층

500: 유리기판

600: 포토마스크용 필름

Claims (4)

1. (1) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 준비하고, 상기 유리기판 장착용 진공패널(110)의 중심축상에 진공패널 상하 회전축(120)을 설치하며, 유리기판 장착용 진공패널(110)을 진공패널 좌우 이송용 레일(140)에 위치시키고, 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부 좌측면에 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 위치시키며, 상기 유리기판 장착용 진공패널(110)의 우측에 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)을 설치하고, 상기 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 배치하며, 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 우측면에 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 위치시키는 공정(S10)과;

   (2) 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 유리기판(500)을 배치시키고, 유리기판 장착용 진공패널(110)에 진공압을 제공하여 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)에 달라붙도록 하며, 동시에 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 접착제(400)를 배치시키고 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 진공압을 제공하여 접착제(400)가 진공패널에 달라붙도록 하는 공정(S20)과;

   (3) 유리기판 상하 회전축(120)을 회전시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시키며, 이에 따라 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치하는 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치되도록 하는 공 정(S30)과;

   (4) 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)에 위치하는 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 좌측으로 이동시키면서 접착제의 최상부층인 제 1 이형지층(410)을 제거하는 공정(S40)과;

   (5) 제 2 이형지 제거용 롤러(220)를 좌측 끝단부로 이동하여 접착제(400)의 상부측에 위치하는 제 1 이형지층(410)을 완전히 제거하는 공정(S50)과;

   (6) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)이 위치하는 우측으로 이동시키는 공정(S60)과;

   (7) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 우측 끝단부까지 완전히 이동시켜 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)과 완전히 겹치도록하는 공정(S70)과;

   (8) 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 상승시켜 접착제의 일측 끝단부를 유리기판쪽으로 압박하는 공정(S80)과;

   (9) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 이동시켜 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)으로 유리기판에 접착제의 접착층을 순차적으로 접착시키는 공정(S90)과;

   (10) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측면 끝단까지 이동시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 장착된 유리기판(500)에 접착제(400)의 접착층(420) 부착을 완료시키는 공정(S100)과;

   (11) 유리기판(500)에 접착층(420)의 부착이 마무리된 시점에서 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 하강시키는 공정(S110)과;

   (12) 유리기판 상하 회전축(120)을 회전시켜 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치되도록 하는 공정(S120)과;

   (13) 포토마스크용 필름(600)을 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 상부에 위치시키는 공정(S130)과;

   (14) 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부 좌측면 배치된 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 구동하여 접착제(400)의 하부측에 부착되어 있던 제 2 이형지(430)를 제거하는 공정(S140)과;

   (15) 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 구동하여 우측 끝단부로 이동시키면서 제 2 이형지층(430)를 완전히 제거하는 공정(S150)과;

   (16) 제 1 이형지 제거용 롤러(130)를 좌측 끝단으로 이동시켜 원위치 시키는 공정(S160)과;

   (17) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 접착층(420)이 부착된 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 하부에 위치되도록 하는 공정(S170)과;

   (18) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 오른쪽으로 이동시켜 포토마스크용 필름(600)과 접촉되도록 하는 공정(S180)과;

   (19) 접착제 및 포토마스크 필름 장착용 진공패널(210)의 좌측에 배치되는 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)을 상승시키는 공정(S190)과;

   (20) 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 이동시키되 압착수단(300)이 포토마스크용 필름(600)의 하부를 유리기판(500)에 밀착시켜 포토마스크용 필름이 유리기판에 접착되도록 하는 공정(S200)과;

   (21) 포토마스크용 필름(600)이 부착된 유리기판 장착용 진공패널(110)을 좌측으로 완전히 이동시켜 포토 마스크용 필름을 유리기판에 접착시키는 공정을 완료시키는 공정(S210)과;

   (22) 포토마스크용 필름(600)이 부착된 유리기판 장착용 진공패널(110)을 180도 회전시켜 유리기판(500)이 유리기판 장착용 진공패널(110)의 상부에 위치되도록 하는 공정(S220)으로 이루어짐을 특징으로 하는 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법.
2. 상기 제 2 공정(S20)은,

   접착제를 배치시에 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)에 일부가 걸처지도록 배치시키는 것을 특징으로 하는 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법.
3. 상기 제 13공정(S130)은,

   포토마스크용 필름(600)을 배치시에 접착제 및 포토마스크 필름 압착수단(300)에 일부가 걸처지도록 배치시키는 것을 특징으로 하는 유리기판에 포토마스크용 필름을 자동으로 부착하는 포토 마스크 제조방법.
4. 청구항 1 내지 청구항 3항중 선택된 어느 한항의 제조방법을 이용하여 제조되는 것을 특징으로 하는 포토 마스크.

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