CN215181392U - 一种贴合装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体技术领域，公开了一种贴合装置，应用于光罩组件，所述光罩组件包括光罩以及贴合于所述光罩的保护膜和/或金属片，所述贴合装置包括基板以及承载组件，所述基板具有第一表面，所述第一表面设有第一收容槽以及与所述第一收容槽间隔设置的第二收容槽，所述第一收容槽用于放置所述保护膜，所述第二收容槽用于放置所述金属片，所述承载组件可伸缩设于所述第一表面，所述承载组件用于承载所述光罩，以及用于相对所述第一表面伸缩以使所述光罩贴合于所述保护膜和/或所述金属片。采用本实施例的贴合装置，能够兼具贴合保护膜以及贴合金属片两种功能，适用不同使用条件的光罩组件。

Description

一种贴合装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种贴合装置。

背景技术

光刻(Photolithography)是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤，该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构，然后通过刻蚀工艺将光掩模版(又称掩膜版或光罩)上的图形转移到所在衬底上。其中，光罩在用于光刻前，根据使用条件不同，需要进行以下工序中的一项或多项。工序其一为贴合保护膜以对光罩的电路图形进行保护，工序其二为贴合金属片以用于在光刻时提供对位基准。

然而，相关技术中的贴合装置无法兼具贴合保护膜以及贴合金属片两种功能，无法适用不同使用条件的光罩。

实用新型内容

本实用新型实施例公开了一种贴合装置，兼具贴合保护膜以及贴合金属片两种功能，适用不同使用条件的光罩组件。

本实用新型实施例公开了一种贴合装置，应用于光罩组件，所述光罩组件包括光罩以及贴合于所述光罩的保护膜和/或金属片，所述贴合装置包括基板以及承载组件，所述基板具有第一表面，所述第一表面设有第一收容槽以及与所述第一收容槽间隔设置的第二收容槽，所述第一收容槽用于放置所述保护膜，所述第二收容槽用于放置所述金属片，所述承载组件可伸缩设于所述第一表面，所述承载组件用于承载所述光罩，以及用于相对所述第一表面伸缩以使所述光罩贴合于所述保护膜和/或所述金属片。

作为一种可选的实施方式，在本实用新型实施例中，所述保护膜包括膜层以及环设于所述膜层一周的框体，所述第一收容槽用于放置所述框体，所述第一收容槽的槽底设有避空槽，所述避空槽用于避空所述膜层。

作为一种可选的实施方式，在本实用新型实施例中，所述第一收容槽的深度小于或等于所述保护膜的厚度。

作为一种可选的实施方式，在本实用新型实施例中，所述第一表面还设有第一凹槽，所述第一凹槽连通于所述第一收容槽。

作为一种可选的实施方式，在本实用新型实施例中，所述第二收容槽的深度小于或等于所述金属片的厚度。

作为一种可选的实施方式，在本实用新型实施例中，所述光罩组件具有两个所述金属片，所述基板具有两个所述第二收容槽，两个所述第二收容槽间隔设于所述第一表面，一个所述第二收容槽用于放置一个所述金属片。

作为一种可选的实施方式，在本实用新型实施例中，所述贴合装置具有多个所述承载组件，多个所述承载组件间隔分布于所述第一收容槽的外周，各所述承载组件包括弹性件以及支撑柱，所述弹性件的两端分别连接于所述第一表面和所述支撑柱，所述支撑柱远离所述第一表面的一端用于承载所述光罩。

作为一种可选的实施方式，在本实用新型实施例中，所述贴合装置还包括定位组件，所述定位组件设于所述第一表面，所述定位组件用于定位所述光罩在所述第一表面上的投影位置。

作为一种可选的实施方式，在本实用新型实施例中，所述光罩具有相邻的第一侧面以及第二侧面，所述定位组件包括至少四个设于所述第一表面的定位柱，至少四个所述定位柱间隔分布于所述第一收容槽的外周，其中至少两个所述定位柱用于抵接于所述第一侧面，剩余至少两个所述定位柱用于抵接于所述第二侧面。

本实用新型实施例提供了一种贴合装置，通过基板的第一表面设有第一收容槽和第二收容槽，第二收容槽与第一收容槽间隔设置，且第一收容槽和第二收容槽分别用于放置保护膜和金属片，承载组件可伸缩设于第一表面，利用承载组件承载光罩，且可相对第一表面伸缩以使光罩贴合于保护膜和/或金属片。换言之，可根据贴合装置所应用的光罩组件是否具有保护膜和金属片，有选择性的在第一收容槽和第二收容槽分别放置保护膜和金属片，从而使得光罩随承载组件的伸缩移动后贴合上保护膜和/或金属片，即，该贴合装置能够兼具贴合保护膜以及贴合金属片两种功能，适用不同使用条件的光罩组件。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本技术领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例公开的一种贴合装置的结构示意图；

图2是本实用新型实施例公开的一种光罩组件的结构示意图；

图3是本实用新型实施例公开的承载组件的结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型中，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“中”、“竖直”、“水平”、“横向”、“纵向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系。这些术语主要是为了更好地描述本实用新型及其实施例，并非用于限定所指示的装置、元件或组成部分必须具有特定方位，或以特定方位进行构造和操作。

并且，上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外，还可能用于表示其他含义，例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解这些术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“安装”、“设置”、“设有”、“连接”、“相连”应做广义理解。例如，可以是固定连接，可拆卸连接，或整体式构造；可以是机械连接，或电连接；可以是直接相连，或者是通过中间媒介间接相连，又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“第一”、“第二”等主要是用于区分不同的装置、元件或组成部分(具体的种类和构造可能相同也可能不同)，并非用于表明或暗示所指示装置、元件或组成部分的相对重要性和数量。除非另有说明，“多个”的含义为两个或两个以上。

本实用新型公开了一种贴合装置，具贴合保护膜以及贴合金属片两种功能，适用不同使用条件的光罩组件。

请参阅图1，为本实用新型实施例提供的一种贴合装置100的结构示意图，该贴合装置100应用于光罩组件200(如图2)，该光罩组件200包括光罩201以及贴合于光罩201的保护膜202和/或金属片203，该贴合装置100包括基板10以及承载组件11，该基板10具有第一表面10a，该第一表面10a设有第一收容槽101以及与该第一收容槽101间隔设置的第二收容槽102，该第一收容槽101用于放置保护膜202，该第二收容槽102用于放置金属片203，该承载组件11可伸缩设于该第一表面10a，该承载组件11用于承载该光罩201，以及用于相对该第一表面10a伸缩以使该光罩201贴合于该保护膜202和/或该金属片203。

其中，该第一收容槽101和该第二收容槽102的外形应分别与该保护膜202和该金属片203的外形相匹配，在起到放置的作用的同时，还对保护膜202和金属片203在第一表面10a上的位置进行定位，便于光罩201与保护膜202和金属片203贴合时，确保保护膜202和金属片203在光罩201上的位置符合设计要求。

相关技术中，根据光罩组件200的使用条件，光罩组件200具有多种不同的结构，主要区别在于光罩201是否贴合有保护膜202和金属片203。因此，光罩201在用于光刻前需要进行贴合保护膜202和贴合金属片203中的一道或两道工序，以形成符合使用条件的光罩组件200。本实施例通过在基板10的第一表面10a设置第一收容槽101和第二收容槽102，利用第一收容槽101和第二收容槽102分别放置保护膜202和金属片203，通过承载组件11承载光罩201，并利用承载组件11相对第一表面10a伸缩以使光罩201能够与放置于第一收容槽101的保护膜202以及放置于第二收容槽102的金属片203进行贴合，使得该贴合装置100能够兼具贴合保护膜202以及贴合金属片203两种功能，适用不同使用条件的光罩组件200。

例如，当该贴合装置100应用于光罩201仅贴合有保护膜202而不贴合金属片203的光罩组件200时，通过在第一收容槽101放置保护膜202，将光罩201承载于承载组件11上，移动光罩201进行对位，提供外力(外力可通过机械手提供或操作人员直接按压)按压光罩201，从而使得承载组件11相对第一表面10a缩短以带动光罩201向第一表面10a运动，在运动至光罩201与保护膜202接触后，保持一定时间(5s～10s)，此时，保护膜202上的胶层能够与光罩201贴合，从而实现在光罩201上贴合保护膜202。

当该贴合装置100应用于光罩201仅贴合有金属片203而不贴合保护膜202的光罩组件200时，通过在第二收容槽102放置金属片203，并在金属片203上涂覆粘接介质(例如胶水)，将光罩201承载于承载组件11上，移动光罩201进行对位，提供外力(外力可通过机械手提供或操作人员直接按压)按压光罩201，从而使得承载组件11相对第一表面10a缩短以带动光罩201向第一表面10a运动，在运动至光罩201与金属片203接触后，保持一定时间(5s～10s)，此时，金属片203上的粘接介质能够与光罩201贴合，从而实现在光罩201上贴合金属片203。

其中，该贴合装置100的结构请参阅图2，图2示出了包括光罩201以及贴合于光罩201的保护膜202和金属片203的光罩组件200。对于不具有保护膜202或金属片203的光罩组件200，其结构可参照图2的光罩组件200，在图2的光罩组件200的基础上删除保护膜202或金属片203即可，因此不一一图示。

当该贴合装置100应用于光罩201同时贴合有金属片203和保护膜202的光罩组件200时，通过在第一收容槽101放置保护膜202，在第二收容槽102放置金属片203，并在金属片203上涂覆粘接介质(例如胶水)，将光罩201承载于承载组件11上，移动光罩201进行对位，提供外力(外力可通过机械手提供或操作人员直接按压)按压光罩201，从而使得承载组件11相对第一表面10a缩短以带动光罩201向第一表面10a运动，在运动至光罩201与保护膜202和金属片203接触后，保持一定时间(5s～10s)，此时，保护膜202上的胶层能够与光罩201贴合，金属片203上的粘接介质能够与光罩201贴合，从而实现在光罩201上贴合保护膜202和金属片203。

其中，移动光罩201进行对位是指移动光罩201在第一表面10a上的投影位置，从而使得光罩201与保护膜202和金属片203贴合后，保护膜202和金属片203能够贴合在光罩201上正确的位置。

可以得知的是，本实施例的贴合装置100能够根据应用的光罩组件200的不同，有选择性的在第一收容槽101和第二收容槽102分别放置保护膜202和金属片203，从而实现贴合保护膜202和贴合金属片203的功能，贴合装置100的功能较多样，能够适用于不同使用条件的光罩组件200，无需对应不同使用条件的光罩组件200生产或购买不同类型的贴合装置100，能够降低光罩组件200的生产成本。尤其是在应用于光罩201同时贴合有金属片203和保护膜202的光罩组件200时，通过在该贴合装置100上进行一次贴合工序即可为光罩201贴合金属片203和保护膜202，能够提高生产效率，并且减少工序能够减少光罩201从不同工序之间转移的次数，降低光罩201受污染的可能性。

为了确保承载于承载组件11上的光罩201能够与保护膜202和金属片203贴合，本实施例分别对用于放置保护膜202的第一收容槽101的深度和用于放置金属片203的第二收容槽102的深度进行设计，具体如下。

在本实施例中，该第一收容槽101的深度小于或等于该保护膜202的厚度。可以理解的是，当保护膜202放置于该第一收容槽101时，由于第一收容槽101的深度小于或等于该保护膜202的厚度，则该保护膜202背离该第一收容槽101的表面凸出于或齐平于第一表面10a，则承载于承载组件11上的光罩201向第一表面10a运动后，光罩201能够同时与保护膜202背离第一收容槽101的表面以及第一表面10a接触或者先接触保护膜202背离第一收容槽101的表面，从而实现光罩201与保护膜202的贴合，避免光罩201受到第一表面10a的阻挡而无法与保护膜202贴合的情况发生。

进一步地，该第二收容槽102的深度小于或等于该金属片203的厚度。可以理解的是，当金属片203放置于该第二收容槽102时，由于第二收容槽102的深度小于或等于该金属片203的厚度，则该金属片203背离该第二收容槽102的表面凸出于或齐平于第一表面10a，则承载于承载组件11上的光罩201向第一表面10a运动后，光罩201能够同时与金属片203背离第一收容槽101的表面以及第一表面10a接触或者先接触金属片203背离第一收容槽101的表面，从而实现光罩201与金属片203的贴合，避免光罩201受到第一表面10a的阻挡而无法与保护膜202贴合的情况发生。

一些实施例中，如图1和图3所示，该贴合装置100具有多个承载组件11，多个承载组件11间隔分布于该第一收容槽101的外周，各承载组件11包括弹性件111以及支撑柱112，该弹性件111的两端分别连接于该第一表面10a和该支撑柱112，该支撑柱112远离该第一表面10a的一端用于承载该光罩201。可以理解的是，当光罩201承载于支撑柱112上后，通过外力按压光罩201，外力通过光罩201和支撑柱112传递至弹性件111后，弹性件111受力压缩，从而使得支撑柱112和光罩201向第一表面10a靠近，以使光罩201能够与保护膜202和/或金属片203贴合。完成贴合后，可撤去外力，此时，弹性件111复位伸长，支撑柱112和光罩201远离第一表面10a运回复至初始位置，取下光罩201后可对另一光罩201进行贴合。

可选地，该弹性件111可为弹簧或弹片等，可根据实际情况进行选择，满足不同的使用需求。

示例性地，该支撑柱112至少与光罩201承载的部分为软质材料制成，例如橡胶、塑料等。考虑到承载于支撑柱112上的光罩201还需要进行对位，此时，光罩201与支撑柱112之间相互摩擦，为了避免损伤光罩201，采用了上述设计。

一些实施例中，该保护膜202包括膜层202a以及环设于膜层202a一周的框体202b，该第一收容槽101用于放置该框体202b，该第一收容槽101的槽底设有避空槽103，该避空槽103用于避空该膜层202a。可以理解的是，考虑到在没有设置避空槽103时，保护膜202放置于第一收容槽101内时，保护膜202的框体202b和膜层202a均与第一收容槽101的槽底接触，存在污染膜层202a而造成光罩组件200在光刻时影响光刻质量的情况发生。因此，本实施例通过进一步设置避空槽103，当框体202b放置于第一收容槽101时，避空槽103与膜层202a之间未接触，即膜层202a为悬空的状态，与贴合装置100不存在任何接触，能够降低污染膜层202a而造成光罩组件200在光刻时影响光刻质量的风险。

进一步地，该第一表面10a还设有第一凹槽104，该第一凹槽104连通于该第一收容槽101。可以理解的是，考虑到第一收容槽101的外形与保护膜202的外形相匹配，取放该保护膜202的难度较高，因此，本实施例通过该第一凹槽104，在取放该保护膜202时，例如操作人员直接取放该保护膜202，该第一凹槽104能够为操作人员的手指空间，作为扣手位，降低该从该第一凹槽104取放保护膜202的难度，该贴合装置100的贴合保护膜202的操作难度较低。

示例性地，该第一凹槽104的数量可为两个，两个第一凹槽104在第一表面10a上的投影位置分别位于该第一收容槽101的两侧。当操作人员从保护膜202的两侧抓取保护膜202时，两个第一凹槽104能够为操作人员抓取保护膜202时位于保护膜202两侧的手指提供避位。

一些实施例中，该光罩组件200具有两个金属片203，该基板10具有两个第二收容槽102，两个第二收容槽102间隔设于该第一表面10a，一个第二收容槽102用于放置一个金属片203。可以理解的是，通过两个收容槽分别放置一个金属片203，在贴合时光罩201能够一次性贴合两个金属片203，提高贴合效率。

可选地，该第一表面10a还设有第二凹槽105，该第二凹槽105连通于该第二收容槽102。可以理解的是，考虑到第二收容槽102的外形与金属片203的外形相匹配，取放该金属片203的难度较高，因此，本实施例通过该第二凹槽105，在取放该金属片203时，例如操作人员直接取放该金属片203，该第二凹槽105能够为操作人员的手指空间，作为扣手位，降低该从该第二凹槽105取放金属片203的难度，该贴合装置100的贴合金属片203的操作难度较低。

一些实施例中，该贴合装置100还包括定位组件12，该定位组件12设于该第一表面10a，该定位组件12用于定位该光罩201在该第一表面10a上的投影位置。可以理解的是，该光罩201承载于该承载组件11后，能够通过该定位组件12进行定位，确保保护膜202和金属片203在光罩201上的贴合位置符合设计要求。

可选地，该光罩201具有相邻的第一侧面以及第二侧面，该定位组件12包括至少四个设于该第一表面10a的定位柱，至少四个定位柱分布于该第一收容槽101的外周，其中至少两个定位柱用于抵接于该第一侧面，剩余至少两个定位柱用于抵接于第二侧面。可以理解的是，该光罩201承载于该承载组件11后，可移动该光罩201，使得该光罩201的第一侧面抵接于其中至少两个定位柱，第二侧面抵接于剩余至少两个定位柱，从而完成光罩201的对位，定位组件12结构简单，对位方式操作简单，能够降低该贴合装置100的贴合操作难度。

在一些其他实施例中，该定位组件12可为两个定位凸条，其中一个定位凸条的侧面用于抵接于第一侧面，另一个定位凸条的侧面用于抵接于第二侧面，本实施例对此不作具体限定。

本实用新型实施例提供了一种贴合装置100，通过基板10的第一表面10a设有第一收容槽101和第二收容槽102，第二收容槽102与第一收容槽101间隔设置，且第一收容槽101和第二收容槽102分别用于放置保护膜202和金属片203，承载组件11可伸缩设于第一表面10a，利用承载组件11承载光罩201，且可相对第一表面10a伸缩以使光罩201贴合于保护膜202和/或金属片203。换言之，可根据贴合装置100所应用的光罩组件200是否具有保护膜202和金属片203，有选择性的在第一收容槽101和第二收容槽102分别放置保护膜202和金属片203，从而使得光罩201随承载组件11的伸缩移动后贴合上保护膜202和/或金属片203，即，该贴合装置100能够兼具贴合保护膜202以及贴合金属片203两种功能，适用不同使用条件的光罩组件200。

以上对本实用新型施例公开的一种贴合装置进行了详细的介绍，本文应用了个例对本实用新型的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本实用新型的一种贴合装置与其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。

Claims (10)

1.一种贴合装置，其特征在于，应用于光罩组件，所述光罩组件包括光罩以及贴合于所述光罩的保护膜和/或金属片，所述贴合装置包括：

基板，所述基板具有第一表面，所述第一表面设有第一收容槽以及与所述第一收容槽间隔设置的第二收容槽，所述第一收容槽用于放置所述保护膜，所述第二收容槽用于放置所述金属片；以及

承载组件，所述承载组件可伸缩设于所述第一表面，所述承载组件用于承载所述光罩，以及用于相对所述第一表面伸缩以使所述光罩贴合于所述保护膜和/或所述金属片。

2.根据权利要求1所述的贴合装置，其特征在于，所述保护膜包括膜层以及环设于所述膜层一周的框体，所述第一收容槽用于放置所述框体，所述第一收容槽的槽底设有避空槽，所述避空槽用于避空所述膜层。

3.根据权利要求1所述的贴合装置，其特征在于，所述第一收容槽的深度小于或等于所述保护膜的厚度。

4.根据权利要求1至3任一项所述的贴合装置，其特征在于，所述第一表面还设有第一凹槽，所述第一凹槽连通于所述第一收容槽。

5.根据权利要求1至3任一项所述的贴合装置，其特征在于，所述第二收容槽的深度小于或等于所述金属片的厚度。

6.根据权利要求1至3任一项所述的贴合装置，其特征在于，所述光罩组件具有两个所述金属片，所述基板具有两个所述第二收容槽，两个所述第二收容槽间隔设于所述第一表面，一个所述第二收容槽用于放置一个所述金属片。

7.根据权利要求1至3任一项所述的贴合装置，其特征在于，所述第一表面还设有第二凹槽，所述第二凹槽连通于所述第二收容槽。

8.根据权利要求1至3任一项所述的贴合装置，其特征在于，所述贴合装置具有多个所述承载组件，多个所述承载组件间隔位分布于所述第一收容槽的外周，各所述承载组件包括弹性件以及支撑柱，所述弹性件的两端分别连接于所述第一表面和所述支撑柱，所述支撑柱远离所述第一表面的一端用于承载所述光罩。

9.根据权利要求1至3任一项所述的贴合装置，其特征在于，所述贴合装置还包括定位组件，所述定位组件设于所述第一表面，所述定位组件用于定位所述光罩在所述第一表面上的投影位置。

10.根据权利要求9所述的贴合装置，其特征在于，所述光罩具有相邻的第一侧面以及第二侧面，所述定位组件包括至少四个设于所述第一表面的定位柱，至少四个所述定位柱间隔分布于所述第一收容槽的外周，其中至少两个所述定位柱用于抵接于所述第一侧面，剩余至少两个所述定位柱用于抵接于所述第二侧面。

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