JP2015142054A - パネル吸着搬送装置 - Google Patents
パネル吸着搬送装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015142054A JP2015142054A JP2014014885A JP2014014885A JP2015142054A JP 2015142054 A JP2015142054 A JP 2015142054A JP 2014014885 A JP2014014885 A JP 2014014885A JP 2014014885 A JP2014014885 A JP 2014014885A JP 2015142054 A JP2015142054 A JP 2015142054A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- panel
- outer periphery
- outer peripheral
- suction
- cut
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】パネル(7)に大き目のフィルム(9)を貼り、パネル(7)からはみ出た外周部(9a)を切断した後、パネル(7)を吸着して搬送するためのパネル吸着搬送装置に、パネル(7)を吸着するための吸着パッド(3)の周りに外周部(9a)を吸着するための吸着機構を有し、かつ上下動及び傾斜させるための独立した複数のシリンダ(2)を有する外周吸着ユニット(1)を設けるとよい。これにより外周吸着ユニット(1)で切断された外周部(9a)を吸着したまま傾けることができるので、レーザ切断後、人手によらず、自動で外周部(9a)を除去するができる。
【選択図】図4
Description
2 外周吸着ユニット用シリンダ
3 吸着パッド
4 搬送レール
5 搬出キャリア
6 XY位置決めユニット
7 パネル
8 吸着ユニット
9 フィルム
9a 外周部
10 シリンダ
11 レーザビーム
Claims (1)
- パネルに大き目のフィルムを貼り、前記パネルからはみ出た外周部を切断した後、前記パネルを吸着して搬送するためのパネル吸着搬送装置において、
前記パネルを吸着するための吸着パッドの周りに前記外周部を吸着するための吸着機構を有し、かつ上下動及び傾斜させるための独立した複数のシリンダを有する外周吸着ユニットを設けた
ことを特徴とするパネル吸着搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014014885A JP6177697B2 (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | パネル吸着搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014014885A JP6177697B2 (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | パネル吸着搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015142054A true JP2015142054A (ja) | 2015-08-03 |
JP6177697B2 JP6177697B2 (ja) | 2017-08-09 |
Family
ID=53772217
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014014885A Active JP6177697B2 (ja) | 2014-01-29 | 2014-01-29 | パネル吸着搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6177697B2 (ja) |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6362328A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-18 | Matsushita Electronics Corp | 半導体基板の裏面処理方法 |
JP2005011836A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-13 | Shinkawa Ltd | ダイピックアップ方法及びダイピックアップ装置 |
JP2005123403A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Sekisui Chem Co Ltd | Icチップの製造方法及びicチップの製造装置 |
JP2006156456A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置 |
JP2013149656A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Tokyo Electron Ltd | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム |
-
2014
- 2014-01-29 JP JP2014014885A patent/JP6177697B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6362328A (ja) * | 1986-09-03 | 1988-03-18 | Matsushita Electronics Corp | 半導体基板の裏面処理方法 |
JP2005011836A (ja) * | 2003-06-16 | 2005-01-13 | Shinkawa Ltd | ダイピックアップ方法及びダイピックアップ装置 |
JP2005123403A (ja) * | 2003-10-16 | 2005-05-12 | Sekisui Chem Co Ltd | Icチップの製造方法及びicチップの製造装置 |
JP2006156456A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | フィルム剥離方法およびフィルム剥離装置 |
JP2013149656A (ja) * | 2012-01-17 | 2013-08-01 | Tokyo Electron Ltd | 剥離装置、剥離システム、剥離方法および剥離プログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6177697B2 (ja) | 2017-08-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6120748B2 (ja) | 剥離装置、剥離システム、剥離方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 | |
KR101152221B1 (ko) | 보호시트 분리방법 및 보호시트 분리장치 | |
JP5497946B2 (ja) | キャリア銅箔除去装置及び方法 | |
KR20190065134A (ko) | 릴리스 필름 박리 방법 및 릴리스 필름 박리 장치 | |
JP2012216606A (ja) | 基板転写方法および基板転写装置 | |
JP2015013783A (ja) | 貼り合わせ基板の加工装置 | |
CN108735918B (zh) | 柔性器件的制造装置及制造方法 | |
JP2021170659A (ja) | 基板処理システム、および基板処理方法 | |
JP2019109292A (ja) | 端材除去装置、及び、端材除去方法 | |
JP6582630B2 (ja) | 基板分断装置及び基板分断方法 | |
JP6177697B2 (ja) | パネル吸着搬送装置 | |
JP2018181815A5 (ja) | ||
KR20160113462A (ko) | 디스플레이 제조방법 및 이에 사용될 수 있는 디스플레이 제조장치 | |
KR20160087056A (ko) | 디스플레이 장치 제조장치 | |
TWI468787B (zh) | 暫時性貼合方法及其貼合設備 | |
KR102569102B1 (ko) | 로봇암이 구비된 디스플레이 제조 시스템 | |
KR102575834B1 (ko) | 로봇암이 구비된 디스플레이 제조 시스템 | |
JP2017079284A (ja) | レーザー加工装置 | |
JP2005246843A (ja) | 基板へのフィルム貼付装置 | |
JP5970381B2 (ja) | 基板の切断加工方法及び切断加工装置 | |
CN104392905B (zh) | 半导体用薄膜剥离方法及剥离装置 | |
JP6631785B2 (ja) | ガラスフィルム積層体の製造方法及び製造装置 | |
US10622332B1 (en) | Substrate separation system and method | |
JP2019119643A (ja) | 端材除去装置及び端材除去方法 | |
JP2005047123A (ja) | スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160930 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170614 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170711 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170712 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6177697 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |