JP6365705B2 - 基板分断装置及び基板分断装置における基板搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、液晶表示装置などの表示パネルに使用されるガラス基板などのマザー基板を含む様々な材料のマザー基板を分断して搬送する基板分断装置及び基板分断装置における基板搬送方法に関し、さらに詳細には、スクライブされて分断された脆性材料基板を次の段階へ搬送する時、基板に損傷を与えずに良好な状態で搬送することができる基板分断装置及び基板搬送方法に関する。

一般的に、液晶表示装置などの表示パネルは、通常、脆性材料基板であるガラス基板を使用して形成されている。液晶表示装置は、一対のガラス基板を適当な間隔を置いて接合させ、該間隔内に液晶を封入することにより表示パネルとなる。
このような表示パネルを製造する時には、マザーガラス基板を接合させた接合マザー基板を分断することにより、接合マザー基板から複数の表示パネルを作る加工がなされている。このような接合マザー基板を分断するための基板分断装置が、韓国公開特許公報第２００６−０１２５９１５号（以下、特許文献１という）に開示されている。

図１は、特許文献１の図３２に示された基板分断装置の主要構成を概略的に示す斜視図である。
図１を参照すると、基板分断装置２００は、位置決めユニット部２２０、スクライブユニット部２４０、ブレイクコンベア部２６０、スチームブレイクユニット部２８０、パネル反転ユニット部３２０及びパネル端子分離部３４０を備えている。

位置決めユニット部２２０が配置されている側を基板搬入側、パネル端子分離部３４０が配置されている側を基板搬出側としたとき、基板は、基板搬入側の位置決めユニット部２２０に供給された後、スクライブユニット部２４０、ブレイクコンベア部２６０、スチームブレイクユニット部２８０、パネル反転ユニット部３２０及びパネル端子分離部３４０に順次搬送されながら基板分断作業が行われ、この後基板搬出側に搬送される。

すなわち、設置台２３０の上方に設置された位置決めユニット部２２０に供給される基板は、位置決めユニット部２２０に形成された複数の基板支持ユニット（不図示）上に載置され、基板支持ユニットに設置されたベルト（不図示）上で基板の位置が決められた後、ベルトの回転動作によって次の段階であるスクライブユニット部２４０に搬送される。

一方、スクライブユニット部２４０は、設置台２５０の上方にＸ方向に沿って設置された分断装置ガイド体２４２と、この分断装置ガイド体２４２を間に挟んでＹ方向に沿って配置される第１の基板支持ユニット部２４１Ａ及び第２の基板支持ユニット部２４１Ｂを有する。また、第１の基板支持ユニット部２４１Ａの第１の基板支持ユニット２４４Ａと第２の基板支持ユニット部２４１Ｂの第２の基板支持ユニット２４４Ｂは、それぞれフレーム２４３Ａ及びフレーム２４３Ｂに対して平行に配置される。

この場合、位置決めユニット部２２０からスクライブユニット部２４０に搬送される基板は、第１の基板支持ユニット部２４１Ａの第１の基板支持ユニット２４４Ａに載置され、クランプ装置２５１によってクランプされる。その後、第１の基板支持ユニット２４４Ａに設置されたベルトを回転させると同時に、クランプ装置２５１をＹ方向に沿って移動させることにより、基板が分断装置ガイド体２４２を介してスクライブされ、スクライブされた基板は第２の基板支持ユニット部２４１Ｂの第２の基板支持ユニット２４４Ｂに搬送される。

第２の基板支持ユニット２４４Ｂに搬送された基板は、第２の基板支持ユニット２４４Ｂに設置されたベルトを回転させることにより、第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルトと離隔されて設置されたブレイクコンベア部２６０のベルト２６１に搬送され、この後スチームブレイクユニット部２８０によって基板が完全に分断され、基板搬送ユニット部３００、パネル反転ユニット部３２０及びパネル端子分離部３４０を経てロボットなどによって基板搬出側に搬出される。

また、通常は、スクライブ作業が完了し、第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルト上に搬送された基板は、第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルトとブレイクコンベア部２６０のベルト２６１の回転によってブレイクコンベア部２６０に搬送される。ブレイクコンベア部２６０への搬送が完了した基板は、ブレイクコンベア部２６０のベルト２６１の回転が停止された状態でスチームブレイクユニット２８０によりブレイクされた後、ピックアップロボットなどによってピックアップされ、基板搬送ユニット部３００に排出される。また、ブレイクコンベア部２６０のベルト２６１の回転が停止された状態でも、基板のスクライブのために、スクライブユニット部２４０を構成する第１の基板支持ユニット２４４Ａ及び第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルトは、引き続き回転するように制御される。

韓国公開特許公報第２００６−０１２５９１５号

しかしながら、このような従来の基板分断装置では、スクライブされた基板がスクライブユニット部２４０からブレイクコンベア部２６０に搬送される時、さらに具体的には、第２の基板支持ユニット２４４Ｂからブレイクコンベア部２６０に搬送される時、第２の基板支持ユニット２４４Ｂのベルトとブレイクコンベア部２６０のベルト２６１との間でベルトの乗り移りが起こるため、第２の基板支持ユニット２４４Ｂとブレイクコンベア部２６０との間で端材が落下したり、または基板が割れるガラスチッピングなどが発生したりするようになる。このようなベルトの乗り移りによる問題点について図２を参照してより具体的に説明する。

図２は、従来の基板分断装置において、スクライブユニット部からピックアップコンベア部に基板が搬送される過程を概略的に示した図である。図２において、符号１００は基板搬入側から搬送された基板を受け取り、位置決め及び／又は旋回を行う給材部、符号１１０と１２０はそれぞれ上流側スクライブ部及び下流側スクライブ部、そして符号１３０は分断された基板をロボットなどによってピックアップして排出するピックアップコンベア部を示す。

図２を参照すると、従来の基板分断装置において、基板把持機構１１４に把持された基板は、上流側スクライブ部１１０と下流側スクライブ部１２０との間を往復移動しながら、スクライブビーム１１６に設置されたスクライブヘッド１１８によってスクライブされる。そして、下流側スクライブ部１２０のコンベアベルト１３４上に載置されたスクライブ済みの基板１０２ａは、ピックアップコンベア部１３０のコンベアベルト１３５に搬送される。

ところで、下流側スクライブ部１２０のコンベアベルト１３４とピックアップコンベア部１３０のコンベアベルト１３５との間には、コンベア乗り移り部が存在するため、基板１０２ａがピックアップコンベア部１３５上の基板１０２ｂの位置に搬送される時、スクライブされた基板１０２ａから端材が落下するようになる。
また、基板１０２ａが下流側スクライブ部１２０からピックアップコンベア部１３０の上に乗り移る時、基板１０２ａに波打ちが発生するようになり、これにより基板１０２ａのスクライブされた部分同士が互いに衝突して基板の一部分が割れるガラスチッピングが発生するようになる。たとえ下流側スクライブ部１２０及びピックアップコンベア部１３０の地面からの高さを等しく設計したとしても、実際には下流側スクライブ部１２０とピックアップコンベア部１３０の高さが微妙に異なったり、またはいずれか一方が傾いて設置されたりするため、ガラスチッピングが発生するようになる。特に、最近は薄型化された基板を処理する場合が多いため、このような問題はさらに深刻になる。

本発明は上述のような問題点を解決するために案出されたものであって、その目的はコンベアの乗り移りによる前述のような問題点を防止し、スクライブされた基板に損傷を与えずに基板を次の段階までに搬送することができる基板分断装置及び基板搬送方法を提供することにある。

前記の目的を達成するために、本発明の一実施形態に係る基板分断装置は、設置台上で基板の搬送方向である第１の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第１のコンベア部及び第２のコンベア部と、前記第１のコンベア部と前記第２のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットと、前記第１の方向において前記第２のコンベア部の上流側に位置する上流側第２のコンベア部と下流側に位置する下流側第２のコンベア部との間に設置され、少なくとも第１のローラ及び第２のローラを備えるダンサーローラユニットを含み、前記第１のローラは、前記第２のコンベア部のベルト外側に位置し、前記第２のローラは、前記第２のコンベア部のベルト内側に位置し、前記第１のローラ及び前記第２のローラは、前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに反対方向に移動可能に形成され、一体に形成された前記上流側第２のコンベア部と前記下流側第２のコンベア部とが互いに異なる作動状態になり得る。

前記基板分断装置において、前記第１のローラ及び第２のローラが、前記第２の方向において互いに反対方向に移動する時、前記第１のローラの移動距離と第２のローラの移動距離は同一であってもよい。

前記基板分断装置において、前記第１のローラ及び第２のローラのうち少なくともいずれか一つは、前記第２のコンベア部のベルトの張力を維持しながら、該ベルトと接触していてもよい。

前記基板分断装置において、前記第１のローラ及び第２のローラは、ギア駆動モータに連結されたピニオンギアを挟んで互いに対向配置された状態で前記ピニオンギアと噛合する第１のラックギア及び第２のラックギアにそれぞれ結合されていてもよい。

前記基板分断装置において、前記複数のローラには第３のローラが含まれ、前記第３のローラに前記下流側第２のコンベア部のベルトが巻かれており、前記第３のローラにベルト駆動モータが連結されていてもよい。

前記基板分断装置において、前記ダンサーローラユニットには、前記上流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第１のストッパと、前記下流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第２のストッパが設けられていてもよい。

また、本発明の一実施形態に係る基板搬送方法は、設置台上で基板の搬送方向である第１の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第１のコンベア部及び第２のコンベア部と、前記第１のコンベア部と前記第２のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットとを含む基板分断装置において、前記第２のコンベア部のベルト上に載置された基板を前記第１の方向に搬送する基板搬送方法であって、前記基板分断装置には、前記第１の方向において前記第２のコンベア部の上流側に位置する上流側第２のコンベア部と下流側に位置する下流側第２のコンベア部との間に、前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに反対方向に移動可能な少なくとも第１のローラと第２のローラを有するダンサーローラユニットが備えられ、前記第１のローラを前記第２のコンベア部のベルト外側に位置させ、前記第２のローラを前記第２のコンベア部のベルト内側に位置させた状態で、前記第１のローラと前記第２のローラを互いに反対方向に移動させることにより、一体に形成された前記上流側第２のコンベア部と前記下流側第２のコンベア部を互いに異なるように作動させることを特徴とする。

前記基板搬送方法において、前記第１のローラと第２のローラを往復移動させることにより、下流側第２のコンベア部のベルトを停止させた状態で、上流側第２のコンベア部のベルトを時計方向又は反時計方向に回転させ、前記上流側第２のコンベア部のベルト上に載置された基板をスクライブし、前記スクライブする段階において、停止された状態の下流側第２のコンベア部のベルト上に置かれているスクライブ済みの基板をアンロードし、前記下流側第２のコンベア部のベルトに巻かれた第３のローラを回転させながら前記第１のローラ及び第２のローラを移動させることにより、上流側第２のコンベア部のベルトを停止させた状態で前記下流側第２のコンベア部のベルトを回転させ、前記下流側第２のコンベア部のベルト上に残置された端材をアンロードし、前記端材のアンロード後も前記第３のローラを引き続き回転させ、前記上流側第２のコンベア部のベルト上に載置されていたスクライブ済みの基板を前記下流側第２のコンベア部のベルト上に搬送してもよい。

前記基板搬送方法において、前記第３のローラにはベルト駆動モータが連結され、前記基板をスクライブする段階では前記ベルト駆動モータの作動を停止させてもよい。

前記基板搬送方法において、前記端材をアンロードする段階では前記ベルト駆動モータを作動させてもよい。

前記基板搬送方法において、前記ダンサーローラユニットには前記上流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第１のストッパと、前記下流側第２のコンベア部のベルトの回転を停止させる第２のストッパが設置され、前記基板をスクライブする段階では前記第２のストッパを作動させてもよい。

前記基板搬送方法において、前記端材をアンロードする段階では前記第１のストッパを作動させてもよい。

前記基板搬送方法において、スクライブされた基板が前記下流側第２のコンベア部のベルトに搬送される段階では、前記第１のストッパ及び第２のストッパの作動を全て解除してもよい。

本発明の一実施形態に係る基板分断装置及び基板搬送方法によると、一体に形成された第２のコンベア部の上流側第２のコンベア部と下流側第２のコンベア部との間にダンサーローラユニットが備えられることにより、従来の下流側スクライブ部とピックアップコンベア部との間に存在していたコンベア乗り移り部なしで、基板を上流側第２のコンベア部から下流側第２のコンベア部に搬送することができる。よって、端材の落下やガラスチッピングのような問題点を未然に防止することができる。また、コンベア乗り移り部で発生し得る基板表面上の傷や損傷も未然に防止することができる。
また、本発明の一実施形態に係る基板分断装置及び基板搬送方法によると、上流側第２のコンベア部と下流側第２のコンベア部を互いに異なるように作動させることができるため、下流側第２のコンベア部上の基板をピックアップするために下流側第２のコンベア部が停止されている状態でも、上流側第２のコンベア部で基板のスクライブ作業を引き続き進行することができる。したがって、基板分断装置の全体的な処理効率を向上することができる。

図１は、従来の基板分断システムの主要構成を概略的に示す斜視図である。 図２は、従来の基板分断装置でスクライブされた基板がピックアップコンベア部に搬送される過程を概略的に示す図である。 図３は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置の主要構成を概略的に示す側面図である。 図４（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置における基板搬送過程を概略的に示した図である。 図５は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットが設置された基板分断装置の部分斜視図である。 図６は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットの斜視図である。 図７は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットの側面図である。 図８は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットにおいて、第１のローラは下降し、第２のローラは上昇している様子を示すダンサーローラユニットの側断面図である。 図９は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットにおいて、第１のローラは上昇し、第２のローラは下降している様子を示すダンサーローラユニットの側断面図である。

以下、添付の図面を参照し、本発明の実施形態について詳細に説明する。しかし、本発明は種々の異なる形態で具現されることができ、ここで説明する実施形態に限定されない。図面において本発明を簡単かつ明瞭に説明するために説明と関係ない部分は省略しており、明細書全体を通じて同一又は類似の構成要素については同一の参照符号を付した。また、本発明の実施形態については、特許文献１などに開示された従来の基板分断装置との構成上の相違点を中心に説明し、従来の基板分断装置と同一であるか類似の構成については、その説明を省略する。
一方、本発明の実施形態において、“基板”には複数の基板に分断されるマザー基板を含み、また鋼板などの金属基板、木板、プラスチック基板及びセラミックス基板、半導体基板、ガラス基板などの脆性材料基板などの単板が含まれる。また、このような単板に限定されず、一対の基板同士を接合させた接合基板、一対の基板同士を積層させた積層基板も含まれる。

図３は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置の主要構成を概略的に示す側面図である。
図３を参照すると、本実施形態に係る基板分断装置は、第１のコンベア部１０及び第２のコンベア部２０と、スクライブユニット３０と、ダンサーローラユニット２３を含む。
第１のコンベア部１０及び第２のコンベア部２０は、設置台（不図示）上で基板搬送方向である第１の方向（図３において＋Ｙ方向）に沿って互いに間隔を置いて配置される。第１のコンベア部１０には複数のローラ１１に巻かれて回転するベルト１８が設けられ、第２のコンベア部２０にも複数のローラ２１に巻かれて回転するベルト２８が設けられる。そして、本実施形態では、複数のローラ２１のうち、第３のローラ２１ａにベルト駆動モータ４０が連結されているため、該ベルト駆動モータ４０の作動によって第３のローラ２１ａの回転が制御され、これによりベルト２８が回転するように構成される。

第１のコンベア部１０と第２のコンベア部２０との間には、スクライブユニット３０が配置される。スクライブユニット３０は、設置台を横切る方向（図３において＋Ｘ方向）に延長して設けられたスクライブビーム３２と、このスクライブビーム３２に取り付けられ、スクライブビーム３２が延びる方向に沿って移動可能なスクライブヘッド３４を備える。
また、前記第１のコンベア部１０のベルト１８の上には、第１の方向に沿って前後（図３において＋Ｙ方向及び−Ｙ方向）に移動可能に設置されたチャックビーム１４と、このチャックビーム１４の一側に形成され、基板２を把持するチャック１６が設置されている。そして、チャックビーム１４がスクライブユニット３０に向かって前後方向に移動することによって、チャック１６に把持されている基板２はスクライブヘッド３４の下部を通過しながらスクライブされる。

本実施形態において、第２のコンベア部２０は基板の搬送方向において上流側に位置する上流側第２のコンベア部２２（以下、スクライブリアコンベア部ともいう）と、下流側に位置する下流側第２のコンベア部２４（以下、ピックアップコンベア部ともいう）に区分され得る。

スクライブリアコンベア部２２は、第１のコンベア部１０からスクライブユニット３０を通ってスクライブされた基板が載置される部分であり、ピックアップコンベア部２４は、例えばピックアップロボットなどによって基板がピックアップされ得るように、スクライブリアコンベア部２２から搬送された基板２ａが一時的に載置される部分である。

このように互いに異なる機能をするスクライブリアコンベア部２２及びピックアップコンベア部２４が、本実施形態では一つのベルト２８を介して第２のコンベア部２０として一体に形成されるが、これはスクライブリアコンベア部２２とピックアップコンベア部２４との間に配置されるダンサーローラユニット２３を通じて可能となる。

ダンサーローラユニット２３は、スクライブリアコンベア部２２とピックアップコンベア部２４との間に設置され、少なくとも１対の第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂを有する。図３には、１対の第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂのみが図示されているが、本発明はこれに限定されるものではなく、２対以上のローラが備えられたダンサーローラユニットにも適用され得る。また、図３には、第１のローラ２３ａが第２のコンベア部２０の外側、すなわちベルト２８の軌道外側に位置し、第２のローラ２３ｂが第２のコンベア部２０の内側、すなわちベルト２８の軌道内側に位置しているが、本発明はこれに限定されるものではなく、第１のローラ２３ａがベルト２８の軌道内側に位置し、第２のローラ２３ｂがベルト２８の軌道外側に位置する構成にも適用され得る。

ダンサーローラユニット２３の第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂは、基板の搬送方向である第１の方向と交差する第２の方向（図３において＋Ｚ方向又は−Ｚ方向)に
移動可能に形成される。また、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂは、移動する時に相互反対方向に移動するように形成されている。例えば、第１のローラ２３ａが−Ｚ方向に移動すると、第２のローラ２３ｂは＋Ｚ方向に移動し、第１のローラ２３ａが＋Ｚ方向に移動すると、第２のローラ２３ｂは−Ｚ方向に移動するように、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが相互連動して結合されている。この結合構成については、後に詳しく述べる。

このように、スクライブリアコンベア部２２とピックアップコンベア部２４との間に、相互反対方向に移動可能に形成される第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂを備えたダンサーローラユニット２３が形成されることによって、第２のスクライブ部２０のベルト２８の動きがスクライブリアコンベア部２２及びピックアップコンベア部２４においてそれぞれ独立的に制御できる。すなわち、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８は回転するがピックアップコンベア部２４のベルト２８は停止しているか、これとは逆にピックアップコンベア部２４のベルト２８は回転するがスクライブリアコンベア部２２のベルト２８は停止しているように制御され得る。これにより、スクライブリアコンベア部２２及びピックアップコンベア部２４はコンベアの乗り移りなしで一体に形成された構成（１個のベルト２８からなる構成）であるが、作動状態が互いに異なるように制御され得るようになる。

したがって、スクライブリアコンベア部２２上に載置されたスクライブ済みの基板をベルト２８に沿って第２のピックアップコンベア部２４に乗り移りなしで搬送できるようになる。よって、従来の基板分断装置のように、下流側のスクライブ部からピックアップコンベア部に基板が搬送される時、コンベアの乗り移りによる端材の落下又はガラスチッピングなどの問題点を防止することができ、コンベアの乗り移りによって基板表面に損傷が加わる問題点も防止することができるという効果がある。これについて 図４（ａ）乃至（
ｄ）を参照してより具体的に説明する。

図４（ａ）乃至（ｄ）は、本発明の一実施形態に係る基板分断装置における基板搬送過程を概略的に示した図である。
図４（ａ）は、基板をスクライブし始める段階を示した図である。
図４（ａ）を参照すると、スクライブ対象となる基板２がチャック１６に把持されている。また、ピックアップコンベア部２４上にはスクライブが完了した基板２ａが載置されてピックアップされるのを待っている。

一方、本実施形態に係るダンサーローラユニット２３には、第１のローラ２３ａを基準としてスクライブリアコンベア部２２の方に形成される第１のストッパ５０ａと、第１のローラ２３ａを基準としてピックアップコンベア部２４の方に形成される第２のストッパ５０ｂが設置される。第１のストッパ５０ａ及び第２のストッパ５０ｂは、第２のコンベア部２０のベルト２８の回転を確実に停止させるためのものであって、図４（ａ）では、第２のストッパ５０ｂが下降してピックアップコンベア部２４のベルト２８の回転を確実に停止させている。

図４（ｂ）は、基板２をスクライブすると同時に、ピックアップコンベア部２４上の基板２ａをピックアップして搬送コンベア部（不図示）等の次の段階にアンローディングする段階を示す図である。

図４（ａ）及び（ｂ）を参照すると、チャックビーム１４が基板搬送方向（図４（ｂ）において＋Ｙ方向）に沿って移動し、これによってチャック１６に把持されていた基板２もスクライブヘッド３４の下部を通過するようになる。これと同時に、第１のローラ２３ａは−Ｚ方向に、第２のローラ２３ｂは第１のローラ２３ａの移動方向と反対の＋Ｚ方向に移動される。

この時、ベルト駆動モータ４０は作動がオフになっており、ベルト２８は第３のローラ２１ａに堅く巻かれている状態であるため、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが移動する時、スクライブリアコンベア部２２の方のベルト２８のみが動き、ピックアップコンベア部２４の方のベルト２８は動かなくなる。図４（ｂ）に示したように、第２のストッパ５０ｂを下降させ、ピックアップコンベア部２４のベルト２８をより確実に停止させるようにしてもよい。

また、本実施形態において、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが移動する距離は互いに同一であるように形成される。すなわち、第１のローラ２３ａが−Ｚ方向に距離Ｌだけ移動すると、第２のローラ２３ｂも＋Ｚ方向に距離Ｌを移動するように調整されている。これにより、第１のローラ２３ａが−Ｚ方向に移動した距離と第２のローラ２３ｂが＋Ｚ方向に移動した距離が相殺されながら、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８のみが第１のローラ２３ａ又は第２のローラ２３ｂが移動した距離分、時計方向に回転するようになる。よって、チャック１６に把持されている基板２が、スクライブヘッド３４の下部を通過してスクライブリアコンベア部２２に到逹した後も、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８上で引き続き移動することができるようになる。

この後、チャックビーム１６及びチャック１４が基板の搬送方向と反対方向(図４（ｂ）において−Ｙ方向)に後退すると、これと同時に第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが先程とは反対の方向、すなわち第１のローラ２３ａが＋Ｚ方向、第２のローラ２３ｂが−Ｚ方向に再度移動し、これによりスクライブリアコンベア部２２のベルト２８は第１のローラ２３ａ又は第２のローラ２３ｂが移動した距離分、今度は反時計方向に回転するようになる。そして、このような過程を繰り返すことにより、チャック１６に把持された基板２の全面がスクライブされる。

一方、ピックアップコンベア部２４のベルト２８は、前述のように、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂが移動しても、その動きが固定されている。よって、基板がスクライブされる過程でも、ピックアップコンベア部２４のベルト２８上に載置されているスクライブ作業が完了した基板２ａは、例えばピックアップロボットなどによってピックアップされ、次の段階にアンローディングされ得る。

図４（ｃ）は、スクライブ作業が完了してチャックビーム１４及びチャック１６は初期位置に戻り、ピックアップコンベア部２４のベルト２８に残っている端材が破砕機に移送される段階を示す図である。
図４（ｂ）及び(ｃ)を参照すると、スクライブ作業が完了した基板２はチャック１６による把持が解除され、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８上に載置され、チャック１６及びチャックビーム１４は初期位置に戻る。

この時、ベルト駆動モータ４０を作動させ、第３のローラ２１ａを時計方向に回転させるとともに、第１のローラ２３ａを＋Ｚ方向、そして第２のローラ２３ｂを−Ｚ方向に移動させると、ピックアップコンベア部２４のベルト２８のみが時計方向に回転するようになり、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８は停止状態のままになる。これによって、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８上にある基板２は停止した状態で、ピックアップコンベア部２４のベルト２８上に残置されていた端材のみを破砕機に移送することができる。

また、この場合に、第２のストッパ５０ｂは上昇し、第１のストッパ５０ａは下降するように調整することによって、ピックアップコンベア部２４のベルト２８の回転を制限することなく、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８の移動のみをより確実に停止させることもできる。

図４（ｄ）は、新しい基板を第１のコンベア部１０上にローディングし、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８上に載置されていた基板をピックアップコンベア部２４に搬送する段階を示す図である。
図４（ｄ）を参照すると、第１のコンベア部１０では、スクライブされる新しい基板２が第１のコンベア部１０のベルト１８上にローディングされ、初期位置に戻ったチャックビーム１４及びチャック１６に把持される。

第２のコンベア部２０では、第１のローラ２３ａが＋Ｚ方向に引き続き移動してベルト２８との接触が解除されると、ベルト２８は屈曲のない平らな状態に回復し、基板が載置されて搬送されるスクライブリアコンベア部２２のベルト２８とピックアップコンベア部２４のベルト２８との間にコンベア乗り移り部がなくなる。そして、第１のストッパ５０ａを上昇させてベルト２８との接触を解除させる。
この時、ベルト駆動モータ４０は引き続き作動中であるため、ピックアップコンベア部２４のベルト２８が回転することによって、スクライブリアコンベア部２２のベルト２８も共に回転するようになり、これによってスクライブリアコンベア部２２のベルト２８上に載置されていたスクライブ済みの基板がコンベアの乗り移りなしでピックアップコンベア部２４のベルト２８に搬送され得る。よって、スクライブされた基板に損傷を与えずに次の段階（例えば、ピックアップ段階）の搬送部に移送することができる。

一方、本実施形態において、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂのうち少なくとも一つはベルト２８の張力を維持しながら接触している。これにより、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂの移動によって、ベルト２８も張力が維持された状態で回転することができるようになり、ベルト２８上に載置されている基板も円滑に搬送することができる。

また、本実施形態において、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂは、ベルト２８に巻かれた状態で回転によりベルト２８を移動させることができる他の手段でも構成することができる。

図５は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニットが設置された基板分断装置の部分斜視図である。
図５を参照すると、基板搬送方向である第１の方向に沿って、スクライブリアコンベアフレーム２２ａ上にスクライブリアコンベア部２２が設けられ、ピックアップコンベアフレーム２４ａ上にピックアップコンベア部２４が設けられている。ピックアップコンベア部２４には、それぞれＸ、Ｙ、Ｚ軸に移動可能なピックアップＸ軸ロボット２５ａ、ピックアップＹ軸ロボット２５ｂ、ピックアップＺ軸ロボット２５ｃが設置されており、ピックアップハンド２７によってピックアップされた基板はこれらのロボットの移動によって所望の位置に移されてアンローディングされる。

そして、スクライブリアコンベア部２２とピックアップコンベア部２４との間にはダンサーローラユニット２３が設置される。ダンサーローラユニット２３については図６及び図７を参照して説明する。

図６は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニット２３の斜視図であり、図７は、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニット２３の側面図である。
図６及び図７を参照すると、本発明の一実施形態に係るダンサーローラユニット２３は、ギア駆動モータ２３２に連結されたピニオンギア２３４と、このピニオンギア２３４と噛み合った状態で、このピニオンギア２３４を挟んで互いに対向配置される第１のラックギア２３６ａ及び第２のラックギア２３６ｂを含む。そして、第１のラックギア２３６ａには連結部材を介して第１のローラ２３ａが結合されており、第２のラックギア２３６ｂには連結部材を介して第２のローラ２３ｂが結合されている。よって、ギア駆動モータ２３２の作動によってピニオンギア２３４が回転すると、第１のラックギア２３６ａ及び第２のラックギア２３６ｂは、Ｚ方向において互いに反対方向に動くようになり、第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂもガイド２３８に沿って第１のラックギア２３６ａ及び第２のラックギア２３６ｂが動く方向に動くようになる。

また、ダンサーローラユニット２３の上部にはベルト２８の移動を制御する第１のストッパ５０ａ及び第２のストッパ５０ｂが備えられる。第１のストッパ５０ａ及び第２のストッパ５０ｂは、ベルトストッパカウンター軸５２に連結されているラック及びピニオン５４と結合されている。よって、ラック及びピニオン５４の作動によって第１のストッパ５０ａ及び第２のストッパ５０ｂも上昇したり、または下降するようになる。

図８は、本発明の一実施形態において、第１のローラは下降し、第２のローラは上昇している様子を示したダンサーローラユニットの側断面図であり、図９は、本発明の一実施形態において、第１のローラは上昇し、第２のローラは下降している様子を示したダンサーローラユニットの側断面図である。

図８を参照すると、第１のローラ２３ａが−Ｚ方向に下降することによってベルト２８も共に下降し、これと同時に第２のローラ２３ｂは＋Ｚ方向に上昇することによってベルト２８も共に上昇する。
また、図９を参照するとそして、第１のローラ２３ａが＋Ｚ方向に上昇するとベルト２８は張力が維持された平らな状態に回復し、これと同時に第２のローラ２３ｂは−Ｚ方向に下降してベルト２８も共に下降する。
このような第１のローラ２３ａ及び第２のローラ２３ｂの移動によって、一つのベルト２８であってもダンサーローラユニット２３の上流側にあるベルト２８の動きとダンサーローラユニット２３の下流側にあるベルト２８の動きを互いに異なるように制御することができる。よって、ベルト２８上に置かれているスクライブ済みの基板をコンベアの乗り移りなしで次の段階に搬送することができ、これによってコンベアの乗り移りによる端材の落下又はガラスチッピングなどの問題点を防止することができる。

以上のように、本発明の望ましい実施例について説明したが、本発明はこれに限定されるのではなく、特許請求の範囲に記載した構成要旨を逸脱しない範囲の中で種々の変形又は変更して実施することが可能であり、これもまた本発明の範囲に属するのは言うまでもない。

２、２ａ 基板
１０ 第１のコンベア部
１４ チャックビーム
１６ チャック
１８ ベルト
２０ 第２のコンベア部
２１ ローラ
２１ａ 第３のローラ
２２ 上流側第２のコンベア部（スクライブリアコンベア部）
２２ａ スクライブリアコンベアフレーム
２３ ダンサーローラユニット
２３ａ 第１のローラ
２３ｂ 第２のローラ
２４ 下流側第２のコンベア部（ピックアップコンベア部）
２４ａ ピックアップコンベアフレーム
２５ａ ピックアップＸ軸ロボット
２５ｂ ピックアップＹ軸ロボット
２５ｃ ピックアップＺ軸ロボット
２７ ピックアップハンド
２８ ベルト
３０ スクライブユニット
３２ スクライブビーム
３４ スクライブヘッド
４０ ベルト駆動モータ
５０ａ 第１のストッパ
５０ｂ 第２のストッパ
５２ ベルトストッパカウンター軸
５４ ラック及びピニオン
２３２ ギア駆動モータ
２３４ ピニオンギア
２３６ａ 第１のラックギア
２３６ｂ 第２のラックギア
２３８ ガイド

Claims (2)

1. 設置台上で基板の搬送方向である第１の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第１のコンベア部及び第２のコンベア部と、
   前記第１のコンベア部と前記第２のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットと、
   前記第１の方向において前記第２のコンベア部の上流側に位置する上流側第２のコンベア部と下流側に位置する下流側第２のコンベア部との間に設置され、少なくとも第１のローラ及び第２のローラを備えるダンサーローラユニットを含み、
   前記第１のローラは、前記第２のコンベア部のベルト外側に位置し、前記第２のローラは、前記第２のコンベア部のベルト内側に位置し、
   前記第１のローラ及び前記第２のローラは、前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに反対方向に移動可能に形成され、一体に形成された前記上流側第２のコンベア部と前記下流側第２のコンベア部とが互いに異なる作動状態になり得ることを特徴とする基板分断装置。
2. 設置台上で基板の搬送方向である第１の方向に沿って互いに間隔を置いて配置され、前記基板が載置された状態で複数のローラに巻かれて回転するベルトを備える第１のコンベア部及び第２のコンベア部と、前記第１のコンベア部と前記第２のコンベア部の間に設置されて前記基板をスクライブするスクライブユニットとを含む基板分断装置において、前記第２のコンベア部のベルト上に載置された基板を前記第１の方向に搬送する基板搬送方法であって、
   前記基板分断装置には、前記第１の方向において前記第２のコンベア部の上流側に位置する上流側第２のコンベア部と下流側に位置する下流側第２のコンベア部との間に、前記第１の方向と交差する第２の方向において互いに反対方向に移動可能な少なくとも第１のローラと第２のローラを有するダンサーローラユニットが備えられ、
   前記第１のローラを前記第２のコンベア部のベルト外側に位置させ、前記第２のローラを前記第２のコンベア部のベルト内側に位置させた状態で、前記第１のローラと前記第２のローラを互いに反対方向に移動させることにより、一体に形成された前記上流側第２のコンベア部と前記下流側第２のコンベア部を互いに異なるように作動させることを特徴とする基板搬送方法。