KR101490208B1 - 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법 - Google Patents

기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치는, 설치대 상에서 기판의 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되며, 상기 기판이 올려 놓여진 상태로 복수의 회전체에 감겨 회전 이동하는 벨트를 구비하는 제1 컨베이어부 및 제2 컨베이어부와, 상기 간격에 설치되어 상기 기판을 스크라이브하는 스크라이브 유닛과, 상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 컨베이어부의 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부와, 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부와의 사이에 설치되며, 적어도 한 쌍의 제1 회전체 및 제2 회전체를 구비하는 댄서(dancer) 회전체 유닛을 포함하고, 상기 제1 회전체는 상기 제2 컨베이어부의 벨트 외측에 위치하고, 상기 제2 회전체는 상기 제2 컨베이어부의 벨트 내측에 위치하며, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 이동가능하게 형성되어, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부가 서로 다른 작동 상태가 될 수 있다.

Description

기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법{PANEL CUTTING DEVICE AND METHOD OF TRANSFERRING PANEL IN THE SAME}
본 발명은 액정 표시 장치 등의 표시 패널에 사용되는 글라스 기판 등의 머더 기판을 포함한 다양한 재료의 머더 기판을 절단하여 반송하는 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서의 기판 반송 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 스크라이브되어 절단된 취성 재료 기판을 다음 단계로 반송할 때, 기판에 손상을 주지 않고 양호한 상태로 반송할 수 있는 기판 절단 장치 및 기판 반송 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정 표시 장치 등의 표시 패널은 보통, 취성 재료 기판인 글라스 기판을 사용하여 형성되어 있다. 액정 표시 장치는 한 쌍의 글라스 기판을 적당한 간격을 두고 접합시키고 그 간격 내에 액정을 봉입함으로써 표시 패널이 된다.
이러한 표시 패널을 제조할 때에는, 머더 글라스 기판을 접합시킨 접합 머더 기판을 분단함으로써, 접합 머더 기판으로부터 복수의 표시 패널을 만드는 가공이 이루어지고 있다. 이러한 접합 머더 기판을 절단하기 위한 기판 절단 장치가 국내공개특허공보 제2006-0125915호(이하, '특허문헌 1'이라 한다)에 개시되어 있다.
도 1은 특허문헌 1의 도 32에 도시된 기판 절단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 절단 시스템(200)은, 위치결정 유닛부(220), 스크라이브 유닛부(240), 브레이크 컨베이어부(260), 스팀 브레이크 유닛부(280), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 구비하고 있다.
위치결정 유닛부(220)가 배치되어 있는 측을 기판 반입 측, 패널 단자 분리부(340)가 배치되어 있는 측을 기판 반출 측이라고 할 때, 기판은 기판 반입 측의 위치결정 유닛부(220)로 공급된 후, 스크라이브 유닛부(240), 브레이크 컨베이어부(260), 스팀 브레이크 유닛부(280), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 따라 차례로 반송되면서 기판 절단 작업이 행해지고, 이후 기판 반출 측으로 반송된다.
즉, 설치대(230)의 상방에 설치된 위치결정 유닛부(220)로 공급되는 기판은 위치결정 유닛부(220)에 형성된 복수의 기판 지지 유닛(도시되지 않음) 상에 올려 놓여지고, 기판 지지 유닛에 설치된 벨트(도시되지 않음) 상에서 기판의 위치가 결정된 후, 벨트의 회전 동작에 의해 다음 단계인 스크라이브 유닛부(240)로 반송된다.
한편, 스크라이브 유닛부(240)는, 설치대(250) 상방에 X 방향을 따라 설치된 절단장치 가이드체(242)와, 이 절단장치 가이드체(242)를 사이에 두고 Y방향을 따라 배치되는 제1 기판 지지 유닛부(241A) 및 제2 기판 지지 유닛부(241B)를 갖는다. 또한, 제1 기판 지지 유닛부(241A)의 제1 기판 지지 유닛(244A)과 제2 기판 지지 유닛부(241B)의 제2 기판 지지 유닛(244B)은 각각 프레임(243A) 및 프레임(243B)에 대하여 평행하게 배치된다.
이 경우, 위치결정 유닛부(220)에서 스크라이브 유닛부(240)로 반송되는 기판은 제1 기판 지지 유닛부(241A)의 제1 기판 지지 유닛(244A)에 올려 놓여지고, 클램프 장치(251)에 의해 클램프된다. 그 후, 제1 기판 지지 유닛(244A)에 설치된 벨트를 회전 이동시킴과 동시에 클램프 장치(251)를 Y 방향을 따라 이동시킴에 따라, 기판이 절단장치 가이드체(242)를 통해 스크라이브되고, 스크라이브된 기판은 제2 기판 지지 유닛부(241B)의 제2 기판 지지 유닛(244B)으로 반송된다.
제2 기판 지지 유닛(244B)으로 반송된 기판은, 제2 기판 지지 유닛(244B)에 설치된 벨트를 회전 이동시킴으로써, 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트와 이격되어 설치된 브레이크 컨베이어부(260)의 벨트(261)로 반송되고, 이후 스팀 브레이크 유닛부(280)에 의해 기판이 완전하게 절단되고, 기판 반송 유닛부(300), 패널 반전 유닛부(320) 및, 패널 단자 분리부(340)를 거치면서 로봇 등에 의해 기판 반출측으로 반출된다.
또한, 통상적으로, 상기 기판 절단 장치(200)의 제2 기판 지지 유닛(224B)에서부터 브레이크 컨베이어부(260)로, 스크라이브되어 절단된 기판을 컨베이어 반송에 의해 복수매 동시에 반송하여 브레이크 컨베이어부(260)로 배출한다. 즉, 스크라이브 작업이 완료되어 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트 상으로 반송된 기판은, 제2 기판 지지 유닛(224B)의 벨트와 브레이크 컨베이어부의 벨트의 회전 이동에 의해 브레이크 컨베이어부로 반송된다. 브레이크 컨베이어부로의 반송이 완료된 기판은, 브레이크 컨베이어부의 회전 이동이 정지된 상태에서, 스팀 브레이크 유닛(280)으로 브레이크 한 후 픽업 로봇 등에 의해 픽업되어 배출 컨베이어부(340) 등으로 배출된다. 또한, 브레이크 컨베이어부의 회전 이동이 정지된 상태라도, 기판의 스크라이브 및 절단을 위해, 스크라이브 유닛부(240)를 구성하는 제1 기판 지지 유닛(244A) 및 제2 기판 지지 유닛(244B)의 벨트는 계속 회전 이동하도록 제어된다.
국내공개특허공보 제2006-0125915호
그러나, 이러한 종래의 기판 절단 장치에서는, 스크라이브된 기판이 스크라이브 유닛부(240)로부터 브레이크 컨베이어부로 반송될 때, 더욱 구체적으로는 제2 기판 지지 유닛(244B)의 컨베이어 벨트로부터 브레이크 컨베이어부로 반송될 때, 제2 기판 지지 유닛(244B)의 컨베이어 벨트와 브레이크 컨베이어부의 벨트 사이에서 컨베이어 벨트를 옮겨 타는 컨베이어 환승이 일어나기 때문에, 제2 기판 지지 유닛(244B)과 브레이크 컨베이어부 사이의 간격으로 더미(dummy) 글라스가 낙하하거나, 기판이 깨지는 글라스 치핑(glass chipping) 등이 발생하게 된다. 이러한 컨베이어 환승으로 인한 문제점에 대해 도 2를 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.
도 2는 종래의 기판 절단 장치를 이용하여 기판을 절단한 후 스크라이브 유닛부로부터 픽업 컨베이어부로 기판이 반송되는 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다. 또한, 도 2에서, 부호 100은 기판 반입측으로부터 반송된 기판을 수취하여 위치결정 및/또는 선회를 행하는 급재부, 부호 110과 120은 각각 상류측 스크라이브부 및 하류측 스크라이브부, 그리고 부호 130은 절단된 기판을 로봇 등에 의해 픽업하여 배출하는 픽업 컨베이어부를 나타낸다.
도 2를 참조하면, 종래의 기판 절단 장치에서, 기판 파지 기구(114)에 파지된 기판은, 상류측 스크라이브부(110)와 하류측 스크라이브부(120) 사이를 왕복 이동하면서, 스크라이브 빔(116)에 설치된 스크라이브 헤드(118)에 접촉되어 스크라이브된다. 그리고, 하류측 스크라이브부(120)의 컨베이어 벨트(135)상에 올려 놓여진 스크라이브된 기판(102a)은 픽업 컨베이어부(130)의 컨베이어 벨트(135)로 반송된다.
그런데, 하류측 스크라이브부(120)의 컨베이어 벨트(135)와 픽업 컨베이어부(130)의 컨베이어 벨트(135) 사이에는 컨베이어 환승부가 존재하기 때문에, 기판(102a)이 픽업 컨베이어부(135) 상의 기판(102b)의 위치로 반송될 때, 스크라이브된 기판(102a)으로부터 더미 글라스가 낙하하게 된다.
또한, 기판(102a)이 하류측 스크라이브부(120)로부터 픽업 컨베이어부(130) 상으로 옮겨 탈 때, 기판(102a)에 출렁거림이 발생하게 되고, 이로 인해 기판의 스크라이브된 부분들끼리 서로 충돌하여 기판의 일부분이 깨지는 글라스 치핑이 발생하게 된다. 설사, 하류측 스크라이브부(120) 및 픽업 컨베이어부(130)의 지면으로부터의 높이를 동일하게 설계한다고 하더라도, 실제로는 하류측 스크라이브부(120)와 픽업 컨베이어부(130)의 높이가 미묘하게 다르게 되거나, 둘 중 어느 한쪽이 경사지게 설치되거나 하기 때문에, 글라스 치핑이 발생하게 된다. 특히, 최근에는 박형화된 기판을 처리하는 경우가 많기 때문에, 이러한 문제는 더욱 심각하게 된다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 그 목적은 컨베이어의 환승으로 인한 전술한 문제점을 방지하고, 스크라이브된 기판에 손상을 주지 않고 기판을 다음 단계까지 반송할 수 있는 기판 절단 장치 및 기판 반송 방법을 제공하는 것이다.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치는, 설치대 상에서 기판의 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되며, 상기 기판이 올려 놓여진 상태로 복수의 회전체에 감겨 회전 이동하는 벨트를 구비하는 제1 컨베이어부 및 제2 컨베이어부와, 상기 간격에 설치되어 상기 기판을 스크라이브하는 스크라이브 유닛과, 상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 컨베이어부의 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부와, 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부와의 사이에 설치되며, 적어도 한 쌍의 제1 회전체 및 제2 회전체를 구비하는 댄서(dancer) 회전체 유닛을 포함하고, 상기 제1 회전체는 상기 제2 컨베이어부의 벨트 외측에 위치하고, 상기 제2 회전체는 상기 제2 컨베이어부의 벨트 내측에 위치하며, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 이동가능하게 형성되어, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부가 서로 다른 작동 상태가 될 수 있다.
또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체가 상기 제2 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 이동할 때, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체의 이동 거리는 상호 동일할 수 있다.
또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체 중 적어도 어느 하나는 상기 제2 컨베이어부의 벨트의 장력을 유지하면서 당해 벨트와 접촉해 있을 수 있다.
또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체는, 구동 모터에 연결된 피니언 기어를 사이에 두고 서로 대향 배치된 상태로 상기 피니언 기어와 맞물려 있는 제1 래크 기어 및 제2 래크 기어에 각각 결합될 수 있다.
또한, 상기 복수의 회전체에는 제3 회전체가 포함되고, 상기 제3 회전체에 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트가 감겨져 있으며, 상기 제3 회전체에 구동 모터가 연결될 수 있다.
또한, 상기 댄서 회전체 유닛에는, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제1 스토퍼와, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제2 스토퍼가 설치될 수 있다.
또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 롤러일 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 반송 방법은, 상기 제2 컨베이어부의 벨트 상에 올려 놓여진 기판을 상기 제1 방향으로 반송하는 기판 반송 방법으로서, 상기 제1 회전체를 상기 제2 컨베이어부의 벨트 외측에 위치시키고, 상기 제2 회전체를 상기 제2 컨베이어부의 벨트 내측에 위치시킨 상태에서, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 상호 반대 방향으로 이동시킴으로써, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부를 서로 다르게 작동시킬 수 있다.
또한, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 왕복 이동시킴으로써, 하류측 제2 컨베이어부의 벨트는 정지된 상태에서, 상류측 제2 컨베이어부의 벨트를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전 이동시켜, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 올려 놓여진 기판을 스크라이브하고, 상기 스크라이브하는 단계에서, 정지된 상태의 하류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 놓여 있는 스크라이브된 기판을 언로드 하고, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트에 감겨진 제3 회전체를 회전시키면서 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 이동시킴으로써, 상류측 제2 컨베이어부의 벨트를 정지시킨 상태에서 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트를 회전 이동 시켜, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 올려 놓여진 더미 기판을 언로드하고, 상기 더미 기판을 언로드하는 단계 이후에도 상기 제3 회전체를 계속 회전시켜, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트 상에 올려 놓여져 있던 스크라이브된 기판이 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트 상으로 반송될 수 있다.
또한, 상기 제3 회전체에는 구동 모터가 연결되고, 상기 스크라이브하는 단계에서는 상기 구동 모터의 작동을 정지시키고, 상기 더미 기판을 언로드하는 단계에서는 상기 구동 모터를 작동시킬 수 있다.
또한, 상기 댄서 회전체 유닛에는 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제1 스토퍼와, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제2 스토퍼가 설치되고, 상기 스크라이브 하는 단계에서는 상기 제2 스토퍼를 작동시킬 수 있다.
또한, 상기 더미기판을 언로드하는 단계에서는 상기 제1스토퍼를 작동시키고, 상기 스크라이브된 기판이 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트로 반송되는 단계에서는, 상기 제1 스토퍼 및 제2 스토퍼의 작동을 모두 해제할 수 있다.
본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 절단 장치 및 기판 절단 장치에서 사용되는 기판 반송 방법에 의하면, 일체로 형성된 제2 컨베이어부의 상류측 제2 컨베이어부와 하류측 제2 컨베이어부 사이에 댄서 회전체 유닛이 구비됨으로써, 종래의 하류측 스크라이브부와 픽업 컨베이어부 사이에 존재하던 컨베이어 환승부 없이, 기판이 상류측 제2 컨베이어부로부터 하류측 제2 컨베이어부로 반송될 수 있다. 따라서, 더미 글라스 낙하나 글라스 치핑과 같은 문제점을 미연에 방지할 수 있다. 또한, 컨베이어 환승부에서 발생할 수 있는 기판 표면상의 흠집이나 손상도 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시 형태에 따른 기판 절단 장치 및 기판 반송 방법에 의하면, 상류측 제2 컨베이어부와 하류측 제2 컨베이어부의 작동을 서로 다르게 작동시킬 수 있기 때문에, 하류측 제2 컨베이어부상의 기판을 픽업하기 위해 하류측 제2 컨베이어부가 정지되어 있는 상태에서도, 상류측 제2 컨베이어부에서 기판의 스크라이브 작업을 계속 진행할 수 있다. 따라서, 기판 절단 장치의 전체적인 처리 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 종래의 기판 절단 시스템의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 종래의 기판 절단 장치에서 스크라이브된 기판이 픽업 컨베이어부로 반송되는 과정을 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치에 있어서의 기판 반송 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 5는 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛이 설치된 기판 절단 장치의 부분 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛의 사시도이다.
도 7은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛의 측면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛에 있어서, 제1 회전체는 하강하고 제2 회전체는 상승해 있는 모습을 나타낸 댄서 회전체 유닛의 측단면도이다.
도 9는 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛에 있어서, 제1 회전체는 상승하고 제2 회전체는 하강해 있는 모습을 나타낸 댄서 회전체 유닛의 측단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시형태에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 간단·명료하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다. 또한, 본 발명의 실시 형태에 대해서는 특허문헌 1 등에 개시된 종래의 기판 절단 장치와 구성 상의 차이점을 중심으로 설명하며, 종래의 기판 절단 장치와 동일하거나 유사한 구성에 대해서는 그의 설명을 생략한다.
한편, 본 발명의 실시 형태에 있어서, 기판에는 복수의 기판으로 절단되는 머더 기판을 포함하고, 또한 강판 등의 금속 기판, 목판, 플라스틱 기판 및 세라믹스 기판, 반도체 기판, 글라스 기판 등의 취성 재료 기판 등의 단판이 포함된다. 또한, 이러한 단판에 한정되지 않고, 한 쌍의 기판끼리를 접합시킨 접합 기판, 한 쌍의 기판끼리를 적층시킨 적층 기판도 포함된다.
도 3은 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치의 주요 구성을 개략적으로 나타내는 측면도이다.
도 3을 참조하면, 본 실시형태에 따른 기판 절단 장치는 제1 컨베이어부(10) 및 제2 컨베이어부(20)와, 스크라이브 유닛(30)과, 댄서(dancer) 회전체 유닛(23)을 포함한다.
제1 컨베이어부(10) 및 제2 컨베이어부(20)는 설치대(도시되지 않음) 상에서 기판 반송 방향인 제1 방향(도 3에서 +Y 방향)을 따라 서로 간격을 두고 배치된다. 제1 컨베이어부(10)에는 복수의 회전체(11), 예컨대 롤러 등에 감겨서 회전 이동하는 벨트(18)가 형성되고, 제2 컨베이어부(20)에도 복수의 회전체(21), 예컨대 롤러 등에 감겨서 회전 이동하는 벨트(28)가 형성된다. 그리고, 본 실시 형태에서는, 복수의 회전체(21) 중 제3 회전체(21a)에 구동 모터(40)가 연결되어 있어, 당해 구동 모터(40)의 작동에 의해 제3 회전체(21a)의 회전이 제어되고, 이로 인해 벨트(28)가 회전 이동하도록 구성된다.
제1 컨베이어부(10)와 제2 컨베이어부(20) 사이의 간격에는 스크라이브 유닛(30)이 배치된다. 스크라이브 유닛(30)은, 설치대를 가로 지르는 방향(도 3에서 +X 방향)으로 연장하여 설치되는 스크라이브 빔(32)과, 이 스크라이브 빔(32)에 설치되어 스크라이브 빔(32)이 연장하는 방향을 따라 이동 가능하게 형성되는 스크라이브 헤드(34)를 구비한다.
또한, 상기 제1 컨베이어부(10)의 벨트(18) 위에는, 제1 방향을 따라 전후 방향(도 3에서 +Y 방향 및 -Y 방향)으로 이동 가능하게 설치된 척 빔(chuck beam; 14)과, 이 척 빔(14)의 일측에 형성되어 기판(2)을 파지하는 척(16)이 설치되어 있다. 그리고, 척 빔(14)이 스크라이브 유닛(30)을 향하여 전후 방향으로 이동함에 따라, 척(16)에 파지되어 있는 기판(2)은 스크라이브 헤드(34)를 지나게 되면서 스크라이브된다.
본 실시 형태에 있어서, 제2 컨베이어부(20)는 기판의 반송 방향에 있어서 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부(22)(이하, '스크라이브 리어 컨베이어부' 라고도 칭한다)와, 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부(24)(이하, '픽업 컨베이어부'라고도 칭한다)로 구분될 수 있다.
스크라이브 리어 컨베이어부(22)는 제1 컨베이어부(10)로부터 스크라이브 유닛(30)을 지나 스크라이브된 기판이 올려 놓여지는 부분이고, 픽업 컨베이어부(24)는, 예컨대 픽업 로봇 등에 의해 기판이 픽업될 수 있도록, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)로부터 반송된 기판(2a)이 일시적으로 올려 놓여지는 부분이다.
이렇게 서로 상이한 기능을 하는 스크라이브 리어 컨베이어부(22) 및 픽업 컨베이어부(24)가, 본 실시 형태에서는 하나의 벨트(28)를 통해 제2 스크라이브부(20)로서 일체로 형성되는데, 이는 스크라이브 리어 컨베이어부(22)와 픽업 컨베이어부(24) 사이에 배치되는 댄서 회전체 유닛(23)을 통해 가능하게 된다.
댄서 회전체 유닛(23)은 스크라이브 리어 컨베이어부(22)와 픽업 컨베이어부(24)의 사이에 설치되며, 적어도 1쌍의 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)를 갖는다. 도 3에는 1쌍의 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)만이 도시되어 있으나, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 2쌍 이상의 회전체가 구비된 댄서 회전체 유닛에도 적용될 수 있다. 또한, 도 3에는, 제1 회전체(23a)가 픽업 컨베이어부(20)의 외측, 즉 벨트(28)의 궤도 바깥쪽에 위치하고, 제2 회전체(23b)가 픽업 컨베이어부(20)의 내측, 즉 벨트(28)의 궤도 안쪽에 위치하고 있지만, 본 발명은 이에 한정되는 것은 아니며, 제1 회전체(23a)가 벨트(28)의 궤도 안쪽에 위치하고, 제2 회전체(23b)가 벨트(28)의 궤도 바깥쪽에 위치하는 구성에도 적용될 수 있다.
댄서 회전체 유닛(23)의 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)는 기판의 반송 방향인 제1 방향과 교차하는 제2 방향(도 3에서 +Z방향 또는 -Z방향)으로 이동 가능하게 형성된다. 또한, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)는 이동할 때 상호 반대 방향으로 이동하도록 형성되어 있다. 예컨대, 제1 회전체(23a)가 -Z방향으로 이동하면, 제2 회전체(23b)는 +Z방향으로 이동하고, 제1 회전체(23a)가 +Z방향으로 이동하면, 제2 회전체(23b)는 -Z방향으로 이동하도록, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)가 상호 연동하여 결합되어 있다. 이와 관련한 제1 회전체(23b) 및 제2 회전체(23b)의 결합 구성에 대해서는 다음에 설명한다.
이와 같이, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)와 픽업 컨베이어부(24) 사이에, 상호 반대 방향으로 이동 가능하게 형성되는 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)를 구비한 댄서 회전체 유닛(23)이 형성됨으로써, 제2 스크라이브부(20)의 벨트(28)의 움직임이 스크라이브 리어 컨베이어부(22) 및 픽업 컨베이어부(24)에서 각각 독립적으로 제어될 수 있다. 즉, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)는 회전 이동하지만, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)는 정지해 있거나, 이와 반대로 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)는 회전 이동 하지만, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)는 정지해 있도록 제어될 수 있다. 이로 인해, 스크라이브 리어 컨베이어부(22) 및 픽업 컨베이어부(24)는 컨베이어의 환승 없이 일체로 형성된 구성(1개의 벨트(28)로 이루어진 구성)이지만, 작동 상태가 서로 다르게 제어될 수 있게 된다.
따라서, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)상에 올려 놓여진 스크라이브된 기판은 제2 스크라이브(20)의 벨트(28)를 따라 제2 픽업 컨베이어부(24)로 컨베이어의 환승 없이 반송될 수 있다. 따라서, 종래의 기판 절단 장치와 같이, 하류측 스크라이브부로부터 픽업 컨베이어부로 기판이 반송될 때, 컨베이어의 환승으로 인한 더미 글라스 낙하 또는 글라스 치핑 등의 문제점을 방지할 수 있고, 컨베이어의 환승으로 인해 기판 표면에 손상이 가해지는 문제점도 방지할 수 있는 효과가 있다. 이에 대해서 도 4a 내지 도 4d를 참조하여 좀 더 구체적으로 설명한다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 일 실시형태에 따른 기판 절단 장치에 있어서의 기판 반송 과정을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 4a는 기판을 스크라이브하기 시작하는 단계를 나타낸 도면이다.
도 4a를 참조하면, 스크라이브 대상이 되는 기판(2)이 척(16)에 파지되어 있다. 또한, 픽업 컨베이어부(24)상에는 스크라이브가 완료된 기판(2a)이 픽업되기 위해 벨트(28)상에 올려 놓여져 있다.
한편, 본 실시 형태에 따른 댄서 회전체 유닛(23)에는, 제1 회전체(23a)를 기준으로 스크라이브 리어 컨베이어부(22)쪽에 형성되는 제1 스토퍼(50a)와, 제1 회전체(23a)를 기준으로 픽업 컨베이어부(24)쪽에 형성되는 제2 스토퍼(50b)가 설치된다. 제1 스토퍼(50a) 및 제2 스토퍼(50b)는 제2 컨베이어부(20)의 벨트(28)의 회전 이동을 더욱 확실히 정지시키기 위한 것으로, 도 4a에서는 제2 스토퍼(50b)가 하강하여 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)의 회전 이동을 더욱 확실히 정지시키고 있다.
도 4b는 기판(2)을 스크라이브함과 동시에, 픽업 컨베이어부(24) 상의 기판(2a)을 픽업하여 반송 컨베이어부(도시되지 않음) 등의 다음 단계로 언로딩하는 단계를 나타내는 도면이다.
도 4a 및 도 4b를 참조하면, 척 빔(14)이 기판 반송 방향(도 4a에서 +Y방향)을 따라 이동하고, 이에 따라 척(16)에 파지되어 있던 기판(2)도 스크라이브 헤드(34)를 지나게 된다. 이와 동시에, 제1 회전체(23a)는 -Z방향으로, 그리고 제2 회전체(23b)는 제1 회전체(23a)의 이동 방향과 반대 방향인 +Z방향으로 이동된다.
이 때, 구동 모터(40)는 작동이 오프(OFF)되어 있고, 벨트(28)는 제3 회전체(21a)에 단단히 감겨져 있는 상태이기 때문에, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)가 이동할 때, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)쪽의 벨트(28)만이 움직이고, 픽업 컨베이어부(24)쪽의 벨트(28)는 움직이지 않게 된다. 도 4b에 나타낸 것처럼, 제2 스토퍼(50b)를 하강시켜, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)를 더욱 확실하게 정지시키도록 해도 좋다.
또한, 본 실시 형태에서, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)가 이동하는 거리는 서로 동일하도록 형성된다. 즉, 제1 회전체(23a)가 -Z방향으로 L만큼의 거리를 이동하면, 제2 회전체(23a)도 +Z 방향으로 L만큼의 거리를 이동하도록 조정되어 있다. 이에 따라, 제1 회전체(23a)가 -Z방향으로 이동한 거리와 제2 회전체(23b)가 +Z방향으로 이동한 거리가 상쇄되면서, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)만이 제1 회전체(23a) 또는 제2 회전체(23b)가 이동한 거리만큼 시계 방향으로 회전하게 된다. 따라서, 척(16)에 파지되어 있는 기판(2)이, 스크라이브 헤드(34)를 지나 스크라이브 리어 컨베이어부(22)에 도달하더라도, 기판(2)이 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에서 계속 이동할 수 있게 된다.
이후, 척 빔(16) 및 척(14)이 기판의 반송 방향과 반대 방향(도 4b에서 -Y 방향)으로 후퇴하면, 이와 동시에 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)는 이전과 반대 방향으로 다시 이동되고, 이에 따라 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)는 제1 회전체(23a) 또는 제2 회전체(23b)가 이동한 거리만큼 다시 반시계 방향으로 회전하게 된다. 그리고, 이러한 과정을 반복함으로써, 척(16)에 파지된 기판(2)의 전면(全面)이 스크라이브된다.
한편, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)는, 전술한 것처럼, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)가 이동하더라도 그의 움직임이 고정되어 있다. 따라서, 기판이 스크라이브되는 과정에서도, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)상에 올려 놓여져 있는, 스크라이브 작업이 완료된 기판(2a)은, 예컨대 픽업 로봇 등에 의해 픽업되어 다음 단계로 언로딩(unloading)될 수 있다.
도 4c는 스크라이브 작업이 완료되어 척 빔(14) 및 척(16)은 초기 위치로 되돌아가고, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)에 남아 있는 더미 기판은 파쇄기로 이송되는 단계를 나타내는 도면이다.
도 4b 및 도 4c를 참조하면, 스크라이브 작업이 완료된 기판(2)은 척(16)으로부터의 결합이 해제되어 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에 올려 놓여지고, 척(16) 및 척 빔(14)은 초기 위치로 되돌아간다.
이 때, 구동 모터(40)를 작동시켜(ON) 제3 회전체(21a)를 시계 방향으로 회전시킴과 아울러, 제1 회전체(23a)를 +Z방향, 그리고 제2 회전체(23b)를 -Z방향으로 이동시키면, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)만이 시계 방향으로 회전 이동하게 되고, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)는 정지 상태로 있게 된다. 이에 따라, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에 있는 기판(2)은 정지된 상태에서, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)상에 올려 놓여져 있던 더미 기판만이 파쇄기로 이송될 수 있다.
또한, 이 경우에, 제2 스토퍼(50b)는 상승하고 제1 스토퍼(50a)는 하강하도록 조정함으로써, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)의 회전 이동은 제한되지 않으면서, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)의 이동을 더욱 확실히 정지시킬 수도 있다.
도 4d는 새로운 기판을 제1 컨베이어부(10) 상에 로딩하고, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에 올려 놓여져 있던 기판을 픽업 컨베이어부(24)로 반송하는 단계를 나타내는 도면이다.
도 4c 및 도 4d를 참조하면, 제1 컨베이어부(10)에서는, 스크라이브될 새로운 기판(2)이 제1 컨베이어부(10)의 벨트(18)상에 로딩되어, 초기 위치로 되돌아간 척 빔(14) 및 척(16)에 파지된다.
제2 컨베이어부(20)에서는, 제1 회전체(23a)가 +Z 방향으로 계속 이동하여 벨트(28)와의 접촉이 해제되면, 벨트(28)는 굴곡이 없는 평평한 상태로 회복되어, 기판이 올려 놓여져서 반송되는 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)와 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28) 사이에 컨베이어 환승부가 없어지게 된다. 그리고, 제1 스토퍼(50a)는 상승시켜 벨트(28)와의 접촉을 해제시킨다.
이때, 구동모터(40)는 계속 작동 중이기 때문에, 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)가 회전 이동함에 따라, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)도 함께 회전 이동하게 되고, 이에 따라 스크라이브 리어 컨베이어부(22)의 벨트(28)상에 올려 놓여져 있던 스크라이브된 기판이 컨베이어의 환승없이 픽업 컨베이어부(24)의 벨트(28)로 반송될 수 있다. 따라서, 스크라이브된 기판에 손상을 주지 않으면서 다음 단계(예컨대, 픽업 단계)의 반송부로 이송할 수 있다.
한편, 본 실시 형태에서, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b) 중 적어도 하나는 벨트(28)의 장력을 유지하면서 접촉해 있다. 이로 인해, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)의 이동에 따라, 벨트(28)도 장력이 유지된 상태로 회전 이동할 수 있게 되어, 벨트(28)상에 올려 놓여 있는 기판도 원활하게 반송될 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)는 롤러일 수 있으며, 롤러 이외에, 벨트(28)에 감긴 상태에서 회전에 의해 벨트(28)를 이동시킬 수 있는 다른 수단으로 구성될 수도 있다.
도 5는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 댄서 회전체 유닛이 설치된 기판 절단 장치의 부분 사시도이다.
도 5를 참조하면, 기판 반송 방향인 제1 방향을 따라, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)는 스크라이브 리어 컨베이어 프레임(22a)상에, 그리고 픽업 컨베이어부(24)는 픽업 컨베이어 프레임(24a)에 설치되어 있다. 픽업 컨베이어부(24)에는 각각 X, Y, Z축으로 이동 가능하게 설치된 픽업 X축 로봇(25a), 픽업 Y축 로봇(25b), 픽업 Z축 로봇(25c)이 설치되어 있고, 픽업 핸드(27)에 의해 픽업된 기판은 이들 로봇의 이동에 의해 원하는 위치로 옮겨져 언로딩된다.
그리고, 스크라이브 리어 컨베이어부(22)와 픽업 컨베이어부(24)의 사이에는 댄서 회전체 유닛(23)이 설치된다. 댄서 회전체 유닛(23)에 대해서는 도 6 및 도 7을 참조하여 설명한다.
도 6은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛의 사시도이고, 도 7은 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛의 측면도이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 본 발명의 일 실시형태에 따른 댄서 회전체 유닛(23)은 구동 모터(232)에 연결된 피니언 기어(234)와, 이 피니언 기어(234)와 맞물린 상태로, 이 피니언 기어(234)를 사이에 두고 서로 대향 배치되는 제1 래크 기어(236a) 및 제2 래크 기어(236b)를 포함한다. 그리고, 제1 래크 기어(236a)에는 연결 부재를 통하여 제1 회전체(23a)가 결합되어 있고, 제2 래크 기어(236b)에는 연결 부재를 통하여 제2 회전체(23b)가 결합되어 있다. 따라서, 구동 모터(232)의 작동에 따라 피니언 기어(234)가 회전하게 되면, 제1 래크 기어(236a) 및 제2 래크 기어(236b)는 Z 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 움직이게 되고, 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)도 가이드(238)를 따라 제1 래크 기어(236a) 및 제2 래크 기어(236b)가 움직이는 방향으로 움직이게 된다.
또한, 댄서 회전체 유닛(23)의 상부에는 벨트(28)의 이동을 제어하는 제1 스토퍼(50a) 및 제2 스토퍼(50b)가 구비된다. 제1 스토퍼(50a) 및 제2 스토퍼(50b)는, 벨트 스토퍼 카운터축(52)에 연결되어 있는 래크 및 피니언(54)과 결합되어 있다. 따라서, 래크 및 피니언(54)의 작동에 따라 제1 스토퍼(50a) 및 제2 스토퍼(50b)도 상승하거나 하강하게 된다.
도 8은 본 발명의 일 실시형태에 있어서, 제1 회전체는 하강하고 제2 회전체는 상승해 있는 모습을 나타낸 댄서 회전체 유닛의 측단면도이고, 도 9는 본 발명의 일 실시형태에 있어서, 제1 회전체는 상승하고 제2 회전체는 하강해 있는 모습을 나타낸 댄서 회전체 유닛의 측단면도이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 제1 회전체(23a)가 -Z방향으로 이동(하강)하면서 벨트(28)도 함께 이동하게 되고, 이와 동시에 제2 회전체(23b)는 +Z방향으로 이동(상승)하면서 벨트(28)도 함께 따라 올라가게 된다(도 8 참조). 그리고, 제1 회전체(23a)가 +Z 방향으로 이동(상승)하면서 벨트(28)는 장력이 유지된 평평한 상태로 회복되고, 이와 동시에 제2 회전체(23b)는 -Z방향으로 이동(하강)하면서 벨트(28)도 함께 이동하게 된다(도 9 참조). 이러한 제1 회전체(23a) 및 제2 회전체(23b)의 이동을 통해, 동일한 벨트(28)라도, 댄서 회전체 유닛(23)의 상류측에 있는 벨트(28)의 움직임과 댄서 회전체 유닛(23)의 하류측에 있는 벨트(28)의 움직임을 서로 다르게 제어할 수 있다. 따라서, 벨트(28)상에 놓여 있는 스크라이브된 기판을 컨베이어의 환승없이 다음 단계로 반송할 수 있고, 이에 따라 컨베이어의 환승으로 인한 더미 글라스 낙하 또는 글라스 치핑 등의 문제점을 방지할 수 있다.
전술한 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위에 기재된 구성 요지를 일탈하지 않는 범위 안에서 여러 가지로 변형 또는 변경하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
2, 2a: 기판 10: 제1 컨베이어부
14: 척 빔 16: 척
18: 벨트 20: 제2 컨베이어부
21: 회전체 21a: 제3 회전체
23: 댄서(dancer) 회전체 유닛
23a: 제1 회전체 23b: 제2 회전체
22: 상류측 제2 컨베이어부(스크라이브 리어 컨베이어부)
22a: 스크라이브 리어 컨베이어 프레임
24: 하류측 제2 컨베이어부(픽업 컨베이어부)
24a: 픽업 컨베이어 프레임
25a: 픽업 X축 로봇 25b: 픽업 Y축 로봇
25c: 픽업 Z축 로봇 27: 픽업 핸드
28: 벨트 30: 스크라이브 유닛
32: 스크라이브 빔 34: 스크라이브 헤드
40: 구동 모터 50a: 제1 스토퍼
50b: 제2 스토퍼 52: 벨트 스토퍼 카운터축
54: 래크 및 피니언 232: 구동 모터
234: 피니언 기어 236a: 제1 래크 기어
236b: 제2 래크 기어 238: 가이드

Claims (13)

  1. 설치대 상에서 기판의 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되며, 상기 기판이 올려 놓여진 상태로 복수의 회전체에 감겨 회전 이동하는 벨트를 구비하는 제1 컨베이어부 및 제2 컨베이어부와,
    상기 간격에 설치되어 상기 기판을 스크라이브하는 스크라이브 유닛과,
    상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 컨베이어부의 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부와, 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부와의 사이에 설치되며, 적어도 한 쌍의 제1 회전체 및 제2 회전체를 구비하는 댄서(dancer) 회전체 유닛을 포함하고,
    상기 제1 회전체는 상기 제2 컨베이어부의 벨트 외측에 위치하고, 상기 제2 회전체는 상기 제2 컨베이어부의 벨트 내측에 위치하며,
    상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 이동가능하도록 상호 연동하게 형성되어, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부가 서로 다른 작동 상태가 될 수 있고,
    상기 제1 회전체 및 제2 회전체가 상기 제2 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 이동할 때, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체의 이동 거리는 상호 동일한 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1 회전체 및 제2 회전체 중 적어도 어느 하나는 상기 제2 컨베이어부의 벨트의 장력을 유지하면서 당해 벨트와 접촉해 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1 회전체 및 제2 회전체는, 구동 모터에 연결된 피니언 기어를 사이에 두고 서로 대향 배치된 상태로 상기 피니언 기어와 맞물려 있는 제1 래크 기어 및 제2 래크 기어에 각각 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 회전체에는 제3 회전체가 포함되고,
    상기 제3 회전체에 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트가 감겨져 있으며, 상기 제3 회전체에 구동 모터가 연결되는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 댄서 회전체 유닛에는, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제1 스토퍼와, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제2 스토퍼가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 회전체 및 제2 회전체는 롤러인 것을 특징으로 하는 기판 절단 장치.
  7. 설치대 상에서 기판의 반송 방향인 제1 방향을 따라 서로 간격을 두고 배치되며, 상기 기판이 올려 놓여진 상태로 복수의 회전체에 감겨 회전 이동하는 벨트를 구비하는 제1 컨베이어부 및 제2 컨베이어부와, 상기 간격에 설치되어 상기 기판을 스크라이브 하는 스크라이브 유닛을 포함하는 기판 절단 장치에서, 상기 제2 컨베이어부의 벨트 상에 올려 놓여진 기판을 상기 제1 방향으로 반송하는 기판 반송 방법으로서,
    상기 기판 절단 장치에는, 상기 제1 방향에 있어서 상기 제2 컨베이어부의 상류측에 대응하는 상류측 제2 컨베이어부와 하류측에 대응하는 하류측 제2 컨베이어부와의 사이에 설치되며, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 이동가능하도록 상호 연동하게 설치된 적어도 한 쌍의 제1 회전체 및 제2 회전체를 구비하는 댄서 회전체 유닛이 구비되고,
    상기 제1 회전체를 상기 제2 컨베이어부의 벨트 외측에 위치시키고, 상기 제2 회전체를 상기 제2 컨베이어부의 벨트 내측에 위치시킨 상태에서, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 상호 반대 방향으로 이동시킴으로써, 일체로 형성된 상기 상류측 제2 컨베이어부 및 하류측 제2 컨베이어부를 서로 다르게 작동시키고,
    상기 제1 회전체 및 제2 회전체가 상기 제2 방향에 있어서 상호 반대 방향으로 이동할 때, 상기 제1 회전체 및 제2 회전체의 이동 거리는 상호 동일한 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 왕복 이동시킴으로써, 하류측 제2 컨베이어부의 벨트는 정지된 상태에서, 상류측 제2 컨베이어부의 벨트를 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회전 이동시켜, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 올려 놓여진 기판을 스크라이브하고,
    상기 스크라이브하는 단계에서, 정지된 상태의 하류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 놓여 있는 스크라이브된 기판을 언로드 하고,
    상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트에 감겨진 제3 회전체를 회전시키면서 상기 제1 회전체 및 제2 회전체를 이동시킴으로써, 상류측 제2 컨베이어부의 벨트를 정지시킨 상태에서 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트를 회전 이동 시켜, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트상에 올려 놓여진 더미 기판을 언로드하고,
    상기 더미 기판을 언로드하는 단계 이후에도 상기 제3 회전체를 계속 회전시켜, 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트 상에 올려 놓여져 있던 스크라이브된 기판이 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트 상으로 반송되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제3 회전체에는 구동 모터가 연결되고, 상기 스크라이브하는 단계에서는 상기 구동 모터의 작동을 정지시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 더미 기판을 언로드하는 단계에서는 상기 구동 모터를 작동시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  11. 제8항에 있어서
    상기 댄서 회전체 유닛에는 상기 상류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제1 스토퍼와, 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트의 회전 이동을 정지시키는 제2 스토퍼가 설치되고, 상기 스크라이브 하는 단계에서는 상기 제2 스토퍼를 작동시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 더미기판을 언로드하는 단계에서는 상기 제1 스토퍼를 작동시키는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 스크라이브된 기판이 상기 하류측 제2 컨베이어부의 벨트로 반송되는 단계에서는, 상기 제1 스토퍼 및 제2 스토퍼의 작동을 모두 해제하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 방법.
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