JP6439379B2 - 基板加工装置 - Google Patents
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Description
本基板加工装置によれば、基板支持部がベルトの周囲に配置される場合と比較して、基板加工装置において基板支持部およびベルトが占める領域が狭くなる。このため、基板加工装置を小型化しやすい。
本基板加工装置によれば、前工程装置により位置決めされた脆性材料基板がベルトおよび基板支持部上に載せられる。次に、クランプ装置のアームが回転または移動することにより、脆性材料基板がクランプ装置によりクランプされる。このため、クランプ装置が脆性材料基板をクランプするときに決められた脆性材料基板の位置がずれにくい。
基板加工装置1はガラス等により形成される脆性材料基板300を搬送する搬送装置10、脆性材料基板300をクランプする複数のクランプ装置40、および、搬送装置10により搬送された脆性材料基板300に分断線を形成するスクライブ装置90を備える。また、スクライブ装置90よりも脆性材料基板300の搬送方向の下流側には、脆性材料基板300を分断線に沿って分割するブレイク装置200が配置されている。さらに、基板加工装置1のフレーム2の側方には、搬送装置10のベルト11の幅方向におけるベルト11に対する脆性材料基板300の位置を決め、ベルト11の上方からベルト11上に脆性材料基板300を載せる前工程装置100が配置されている。
搬送装置10は脆性材料基板300が載せられるベルト11(図1参照)、基板加工装置1のフレーム2に取り付けられている複数の支持板12、および、ベルト11が巻き付けられるローラ13A,13Bを備える。
図3に示されるように、駆動装置20はフレーム2の側方に形成されている一対のレール21、レール21に沿って移動する一対のガイド22、一対のガイド22を連結する2枚のガイド連結板23、ガイド連結板23とベルト11とを連結するベルト連結部24、および、一対のガイド22を移動させるモータ25を備える。
2枚のガイド連結板23は一対のガイド22のうちの一方のガイド22から他方のガイド22にまたがるように配置されている。
複数のクランプ装置40は支持板12の短手方向に間隔を空けて配置され、脆性材料基板300(図1参照)の端部をクランプするクランプ部50、および、クランプ部50を駆動するクランプ駆動装置60を備える。
クランプ部50はベルト11の下面に取り付けられている基板支持部51、ベルト11の上面に取り付けられているアーム取付台52、基板支持部51との間で脆性材料基板300(図1参照)を挟み込むアーム57、および、クランプ駆動装置60のアーム連結ロッド80と連結されるロッド連結部58を備える。
アーム取付台52は2つの支柱連結部材24Bの端部に複数のねじ56により固定されている壁部53、および、壁部53から脆性材料基板300(図1参照)の搬送方向の下流側に突出し、ベルト11の上面に取り付けられているアーム配置部54を備える。
アーム57はアーム配置部54の溝54Aに配置されている。アーム57はアーム配置部54に取り付けられた回転軸55に回転可能に取り付けられている。また、アーム57はロッド連結部58に取り付けられた連結軸58Aに回転可能に取り付けられている。
クランプ駆動装置60は往復動式のエアシリンダ70、エアシリンダ70とロッド連結部58とを連結するアーム連結ロッド80、エアシリンダ70の動力をアーム連結ロッド80に伝達する動力伝達部材61、および、支柱連結部材24Bに取り付けられる規制部材62を備える。
チューブ71には圧縮空気が送り込まれる管71Aおよび71Bが取り付けられている。ピストン72は管71Aを介して圧縮空気がチューブ71の内部に送り込まれる一方、管71Bから空気が排出されることにより前方に移動する。一方、ピストン72は管71Bを介して圧縮空気がチューブ71の内部に送り込まれる一方、管71Aを介して空気が排出されることにより後方に移動する。
図7〜図9を参照して、基板加工装置1の作用について説明する。
(1)前工程装置100によりベルト11の上方からベルト11上に脆性材料基板300が載せられる。このため、クランプ装置40を構成する基板支持部51は、ベルト11に対する位置が予め固定されていても、脆性材料基板300がベルト11上に移動する過程において脆性材料基板300の移動を妨げない。そして、基板支持部51の位置が固定された構造が取れることにより、従来の基板加工装置に含まれるクランプ装置の昇降機構を省略できる。このため、クランプ装置40の構成が簡素化される。
・上記実施の形態の変形例によれば、クランプ装置40のクランプ部50とベルト11とが中間部材を介して間接的に連結されている。
・上記実施の形態の変形例によれば、ベルト11に孔11Aが形成されず、基板支持部51がベルト11の下面に取り付けられている。
・上記実施の形態の変形例によれば、アーム57の開閉動作を駆動するモータを備える。
Claims (4)
- 脆性材料基板を搬送するベルトと、前記ベルトの上方から前記ベルト上に前記脆性材料基板を載せる前工程装置と、前記ベルト上に載せられた前記脆性材料基板をクランプするクランプ装置とを備え、
前記クランプ装置は、前記脆性材料基板を支持できるように前記ベルトの下面に取り付けられている基板支持部、前記ベルトの上面に取り付けられているアーム取付台、および、前記基板支持部との間で前記脆性材料基板を挟み込むことができるように前記アーム取付台に対して動作するアームとを備える、基板加工装置。 - 前記基板支持部は、前記脆性材料基板を支持する支持面が前記ベルトの上面と面一となるように前記ベルトの孔または凹部に配置されている、請求項1に記載の基板加工装置。
- 前記前工程装置は、前記ベルトの幅方向における前記ベルトに対する前記脆性材料基板の位置を決める、請求項1または2に記載の基板加工装置。
- 前記ベルトおよび前記クランプ装置の両方に駆動力を伝達することにより前記脆性材料基板の搬送方向に前記ベルトおよび前記クランプ装置を移動させる駆動装置をさらに備える、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板加工装置。
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