CN105541096A - 基板加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能简化夹紧装置的构成的基板加工装置。基板加工装置具备：搬送带(11)，搬送脆性材料基板；前步骤装置，将脆性材料基板自搬送带(11)的上方载置于搬送带(11)上；及夹紧装置(40)，将载置于搬送带(11)上的脆性材料基板夹紧。夹紧装置(40)具备：基板支撑部(51)，相对于搬送带(11)的位置固定，且自下方支撑脆性材料基板；及机械臂(57)，相对于基板支撑部(51)旋转或移动，将脆性材料基板夹入机械臂(57)与基板支撑部(51)之间。

Description

基板加工装置

技术领域

本发明涉及一种加工脆性材料基板的基板加工装置。

背景技术

基板加工装置是用于例如分断由玻璃等形成的脆性材料基板。专利文献1公开了现有基板加工装置的一个例子。该基板加工装置具备：搬送带，搬送脆性材料基板；定位装置及夹紧装置，在脆性材料基板的搬送方向上配置于搬送带的上游侧；及刻划装置，在脆性材料基板的搬送方向上配置于搬送带的下游侧。基板加工装置还具备升降机构，所述升降机构用来变更夹紧装置相对于搬送带的高度。

根据所述基板加工装置，首先利用升降机构使夹紧装置退避至搬送带的下方位置，并利用定位装置决定脆性材料基板的位置。接着，利用定位装置将脆性材料基板搬送至搬送带上。此时，脆性材料基板在退避至搬送带下方的夹紧装置上通过。然后，利用升降机构将夹紧装置移动至可夹紧的位置，利用夹紧装置将载置于搬送带上的脆性材料基板夹紧。接着，以搬送带及夹紧装置沿着搬送方向移动的方式驱动搬送带及夹紧装置，将脆性材料基板搬送至刻划装置。然后，利用刻划装置在脆性材料基板上形成分断线。接着，沿着分断线将该脆性材料基板分断，由此形成特定大小的面板。

[背景技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]再公表专利WO2005/087458号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

基板加工装置要求的性能之一可列举维护性。但是，随着装置所含的活动部分增加，装置维护性会降低。因此，例如期望能简化活动部分之一的夹紧装置的构成。另一方面，专利文献1的基板加工装置具备的升降机构有可能使得夹紧装置的构成复杂化。

本发明的目的在于提供一种能简化夹紧装置的构成的基板加工装置。

[解决问题的技术手段]

(1)本发明的一实施方式的基板加工装置具备：搬送带，搬送脆性材料基板；前步骤装置，将所述脆性材料基板自所述搬送带的上方载置于所述搬送带上；及夹紧装置，将载置于所述搬送带上的所述脆性材料基板夹紧；且所述夹紧装置具备：基板支撑部，相对于所述搬送带的位置固定，且自下方支撑所述脆性材料基板；及机械臂，相对于所述基板支撑部旋转或移动，将所述脆性材料基板夹入机械臂与所述基板支撑部之间。

根据本基板加工装置，利用前步骤装置，将脆性材料基板从搬送带的上方载置于搬送带上。因此，构成夹紧装置的基板支撑部即便相对于搬送带的位置预先被固定，在脆性材料基板在搬送带上移动的过程中也不会妨碍脆性材料基板的移动。而且，通过采用基板支撑部的位置被固定的构造，可以省去现有基板加工装置包含的夹紧装置的升降机构。因此，夹紧装置的构成被简化。

(2)根据所述基板加工装置的一实施方式，在所述搬送带上形成有孔或凹部，所述基板支撑部配置于所述孔或所述凹部。

根据本基板加工装置，与将基板支撑部配置于搬送带周围的情况相比，基板加工装置中基板支撑部及搬送带所占据的区域变小。因此，基板加工装置容易小型化。

(3)根据所述基板加工装置的一实施方式，所述前步骤装置决定所述搬送带的宽度方向上所述脆性材料基板相对于所述搬送带的位置。

根据本基板加工装置，将利用前步骤装置定位后的脆性材料基板载置于搬送带及基板支撑部上。接着，夹紧装置的机械臂旋转或移动，由此利用夹紧装置将脆性材料基板夹紧。因此，夹紧装置夹紧脆性材料基板时决定的脆性材料基板的位置不易偏移。

(4)根据所述基板加工装置的一实施方式，还具备驱动装置，所述驱动装置通过对所述搬送带及所述夹紧装置两者传达驱动力，使所述搬送带及所述夹紧装置沿着所述脆性材料基板的搬送方向移动。

根据本基板加工装置，由于搬送带及夹紧装置是利用共通的驱动装置沿着搬送方向移动，因此搬送带的移动速度与夹紧装置的移动速度实质上一致。因此，抑制脆性材料基板与搬送带之间产生摩擦的情况，从而不易损伤脆性材料基板。

[发明的效果]

根据所述基板加工装置的一实施方式，可简化夹紧装置的构成。

附图说明

图1是实施方式的基板加工装置的正面侧的立体图。

图2是图1的基板加工装置的俯视图。

图3是图1的基板加工装置的背面侧的立体图。

图4是图1的基板加工装置的夹紧部的放大图。

图5是图1的夹紧装置的俯视图。

图6是图5的夹紧装置的侧视图。

图7是图6的夹紧装置的机械臂打开的状态的侧视图。

图8是图7的夹紧装置的机械臂闭合的状态的侧视图。

图9是图3的基板加工装置正在搬送脆性材料基板的背面侧的立体图。

具体实施方式

参照图1，对基板加工装置1的构成进行说明。

基板加工装置1具备：搬送装置10，搬送由玻璃等形成的脆性材料基板300；多个夹紧装置40，夹紧脆性材料基板300；及刻划装置90，在由搬送装置10搬送的脆性材料基板300上形成分断线。

此外，在比刻划装置90更靠脆性材料基板300的搬送方向下游侧，配置有断开装置200，所述断开装置200沿着分断线将脆性材料基板300分割。而且，在基板加工装置1的框架2的侧方配置有前步骤装置100，所述前步骤装置100决定搬送装置10的搬送带11的宽度方向上脆性材料基板300相对于搬送带11的位置，并将脆性材料基板300自搬送带11的上方载置于搬送带11上。

参照图2，对搬送装置10的构成进行说明。

搬送装置10具备：搬送带11(参照图1)，供脆性材料基板300载置；多个支撑板12，安装在基板加工装置1的框架2上；及滚筒13A、13B，供搬送带11卷绕。

搬送带11形成有多个孔11A(参照图4)。多个支撑板12在搬送带11(参照图1)的宽度方向空开间隔而排列，且前端安装有多个滚筒13A。此外，在框架2中比支撑板12更靠脆性材料基板300的搬送方向的上游侧，安装有一个滚筒13B。

参照图3及图4，对驱动装置20的构成进行说明。

如图3所示，驱动装置20具备：一对轨道21，形成在框架2的侧方；一对导件22，沿着轨道21移动；2块导件连结板23，连结一对导件22；搬送带连结部24，连结导件连结板23与搬送带11；及马达25，使一对导件22移动。

一对轨道21为沿着脆性材料基板300的搬送方向延伸的形状。一对导件22经由例如进给螺杆机构(省略图示)而与马达25的输出轴连结。

2块导件连结板23配置成自一对导件22中的一导件22跨及另一导件22。

如图3及图4所示，搬送带连结部24具备自导件连结板23的下表面朝下方延伸的支柱24A、及安装在搬送带11上表面的支柱连结构件24B。

支柱连结构件24B是沿着脆性材料基板300的搬送方向延伸的长方体，相对于1个夹紧装置40而在支撑板12的短边方向空开间隔地配置2个，且在上表面安装有支柱24A。

此外，在一对轨道21的下方配置有缆线引导装置30。缆线引导装置30具备搬送带31，所述搬送带31收容有向马达25的控制装置(省略图示)供给电力的缆线(省略图示)。作为搬送带31的一端部的固定端31A与电源(省略图示)连接，作为另一端部的移动端31B经由导件连结板32而与轨道21连结。

参照图3，对夹紧装置40的构成进行说明。

多个夹紧装置40在支撑板12的短边方向空开间隔而配置，具备夹紧脆性材料基板300(参照图1)的端部的夹紧部50、及驱动夹紧部50的夹紧驱动装置60。

夹紧部50配置在相邻的支撑板12之间。夹紧驱动装置60配置在比夹紧部50更靠脆性材料基板300(参照图1)的搬送方向的上游侧。

参照图4，对夹紧部50的构成进行说明。

夹紧部50具备：基板支撑部51，安装在搬送带11的下表面；机械臂安装台52，安装在搬送带11的上表面；机械臂57，将脆性材料基板300(参照图1)夹入机械臂57与基板支撑部51之间；及杆连结部58，与夹紧驱动装置60的机械臂连结杆80连结。

基板支撑部51的前端的支撑面51A与搬送带11的上表面的关系为同一平面。

机械臂安装台52具备：壁部53，利用多个螺钉56而被固定在2个支柱连结构件24B的端部；及机械臂配置部54，自壁部53向脆性材料基板300(参照图1)的搬送方向的下游侧突出，且安装在搬送带11的上表面。

壁部53是与机械臂配置部54一体地成形，形成有供机械臂连结杆80插入的孔53A。

机械臂57是配置在机械臂配置部54的槽54A内。机械臂57安装成可绕安装于机械臂配置部54的旋转轴55旋转。此外，机械臂57安装成可绕安装于杆连结部58的连结轴58A旋转。

参照图5及图6，对夹紧驱动装置60的构成进行说明。

夹紧驱动装置60具备：往复移动式气缸70；机械臂连结杆80，连结气缸70与杆连结部58；动力传达构件61，将气缸70的动力传达至机械臂连结杆80；及规制构件62，安装于支柱连结构件24B。

气缸70具备管体71、配置在管体71内部的活塞72、及与活塞72连结的活塞杆73。

在管体71中安装有送入压缩空气的管71A及71B。活塞72经由管71A将压缩空气送入管体71的内部，另外自管71B排出空气，由此向前方移动。另一方面，活塞72经由管71B将压缩空气送入管体71内部，另外经由管71A排出空气，由此向后方移动。

动力传达构件61的上端可旋转地连结于活塞杆73的端部，下端可旋转地连结于机械臂连结杆80。此外，动力传达构件61中与机械臂连结杆80连结的部分通过弹性构件(省略图示)而朝前方被赋能。

规制构件62决定动力传达构件61向前方移动的极限位置。规制构件62被固定在支柱连结构件24B的上表面，且形成因活塞杆73自管体71突出而供动力传达构件61接触的凹部62A。

机械臂连结杆80配置在相邻的支柱连结构件24B之间，一端部与动力传达构件61连结，另一端部与杆连结部58连结。

参照图7～图9，对基板加工装置1的作用进行说明。

如图7所示，自管71A向管体71内部的空间送入压缩空气，另一方面，自管71B排出空气，由此活塞72向前方移动，活塞杆73自管体71突出。因此，与活塞杆73连结的动力传达构件61向前方移动而接触规制构件62的凹部62A，动力传达构件61中与活塞杆73连结的部分旋转。然后，动力传达构件61中与机械臂连结杆80连结的部分朝后方移动，由此机械臂连结杆80及杆连结部58向后方移动。由于机械臂连结杆80朝后方移动，机械臂57绕旋转轴55旋转，支撑面51A的上方开放。然后，将利用前步骤装置100(参照图1)经过搬送带11的宽度方向定位的脆性材料基板300自支撑面51A的上方降下而载置于支撑面51A。

如图8所示，自管71A排出空气，另一方面自管71B向管体71的内部空间送入压缩空气，由此活塞72朝后方移动。

因此，活塞杆73进入管体71的内部，与活塞杆73连结的动力传达构件61朝后方移动。因此，动力传达构件61离开规制构件62的凹部62A。然后，通过弹性构件(省略图示)的赋能力，动力传达构件61中与机械臂连结杆80连结的部分朝前方移动，机械臂连结杆80及杆连结部58朝前方移动。因此，机械臂57绕旋转轴55旋转，将脆性材料基板300夹入机械臂57与基板支撑部51的支撑面51A之间并夹紧。

如图9所示，在夹紧装置40夹紧脆性材料基板300的状态下向马达25供给电力，导件22利用进给螺杆机构(省略图示)而沿着轨道21移动。

连结一对导件22的导件连结板23是经由搬送带连结部24而与搬送带11连结，从而将搬送带11与夹紧装置40连结。因此，随着导件22沿着轨道21移动，搬送带11及夹紧装置40也沿着脆性材料基板300的搬送方向移动，脆性材料基板300被搬送至刻划装置90。

根据基板加工装置1，获得以下的效果。

(1)利用前步骤装置100将脆性材料基板300自搬送带11上方载置于搬送带11上。因此，构成夹紧装置40的基板支撑部51即便相对于搬送带11的位置被预先固定，在脆性材料基板300在搬送带11上移动的过程中也不会妨碍脆性材料基板300的移动。而且，通过采用基板支撑部51的位置被固定的构造，可以省略现有基板加工装置包含的夹紧装置的升降机构。因此，夹紧装置40的构成被简化。

(2)由于基板支撑部51配置在搬送带11的孔11A内，因此与基板支撑部51配置在搬送带11周围的情况相比，基板加工装置1中基板支撑部51及搬送带11所占据的区域变小。因此，基板加工装置1容易小型化。

(3)将利用前步骤装置100定位后的脆性材料基板300载置于搬送带11及基板支撑部51上。接着，夹紧装置40的机械臂57旋转，由此脆性材料基板300被夹紧装置40夹紧。因此，当夹紧装置40夹紧脆性材料基板300时决定的脆性材料基板300的位置不易偏移。

(4)由于搬送带11与夹紧装置40连结，因此搬送带11的移动速度与夹紧装置40的移动速度实质上一致。因此，减小脆性材料基板300与搬送带11之间产生摩擦的可能性，从而不易损伤脆性材料基板300。

(5)由于搬送带11及夹紧装置40是利用共通的驱动装置20沿着搬送方向移动，因此搬送带11的移动速度与夹紧装置40的移动速度实质上一致。

因此，抑制脆性材料基板300与搬送带11之间产生摩擦的情况，从而不易损伤脆性材料基板300。

(6)由于基板支撑部51配置在搬送带11的孔11A内，因此机械臂57与支撑面51A之间并不介置搬送带11。由此，机械臂57与支撑面51A可以直接夹入脆性材料基板300，相比于机械臂57与支撑面51A之间介置搬送带11的情况，可以更牢固地夹紧脆性材料基板300。

(7)由于基板支撑部51配置在搬送带11的孔11A内，因此相比于基板支撑部51与搬送带11的下表面空开间隔而配置的情况，抑制基板支撑部51支撑脆性材料基板300时，搬送带11弯曲而脆性材料基板300的位置偏移的情况。

(8)由于夹紧部50配置在相邻的支撑板12之间，因此沿着脆性材料基板300的搬送方向移动时，不会与安装在支撑板12前端的多个滚筒13A干渉。因此，搬送脆性材料基板300的过程中，夹紧部50夹紧的脆性材料基板300的位置不易偏移。

基板加工装置可采用的具体形态并不限定于所述实施方式中例示的形态。基板加工装置可以采用与所述实施方式不同的各种形态。以下所示的所述实施方式的变化例是基板加工装置可采用的各种形态的一个例子。

·根据所述实施方式的变化例，搬送带11与夹紧装置40并不直接连结。

·根据所述实施方式的变化例，夹紧装置40的夹紧部50与搬送带11经由中间构件而间接连结。

·根据所述实施方式的变化例，夹紧装置40的夹紧部50配置在比搬送带11更靠脆性材料基板300的搬送方向的上游侧。

·根据所述实施方式的变化例，搬送带11上并不形成孔11A，且基板支撑部51安装在搬送带11的下表面。

·根据所述实施方式的变化例，搬送带11上形成有凹部，在此凹部内配置基板支撑部51。

·根据所述实施方式的变化例，具备驱动机械臂57的开闭动作的马达。

·根据所述实施方式的变化例，具备机械臂57，该机械臂57不与基板支撑部51连结，而是相对于基板支撑部51移动，由此夹紧载置于基板支撑部51的支撑面51A上的脆性材料基板300。该变化例的机械臂57直接或间接连结搬送带11。

·根据所述实施方式的变化例，马达25的输出轴与滚筒13A及13B的至少一者的旋转轴连结，马达25使滚筒13A及13B的至少一者旋转，由此使搬送带11及夹紧装置40沿着脆性材料基板300的搬送方向移动。

[符号的说明]

1基板加工装置

11搬送带

11A孔

20驱动装置

40夹紧装置

51基板支撑部

57机械臂

100前步骤装置

300脆性材料基板

Claims (5)

1.一种基板加工装置，具备：搬送带，搬送脆性材料基板；前步骤装置，将所述脆性材料基板自所述搬送带的上方载置于所述搬送带上；及夹紧装置，将载置于所述搬送带上的所述脆性材料基板夹紧；且

所述夹紧装置具备：基板支撑部，相对于所述搬送带的位置固定，且自下方支撑所述脆性材料基板；及机械臂，相对于所述基板支撑部旋转或移动，将所述脆性材料基板夹入机械臂与所述基板支撑部之间。

2.根据权利要求1所述的基板加工装置，其中在所述搬送带形成有孔或凹部，所述基板支撑部配置于所述孔或所述凹部内。

3.根据权利要求1或2所述的基板加工装置，其中所述前步骤装置决定所述搬送带的宽度方向上所述脆性材料基板相对于所述搬送带的位置。

4.根据权利要求1或2所述的基板加工装置，还具备驱动装置，所述驱动装置通过对所述搬送带及所述夹紧装置两者传达驱动力，使所述搬送带及所述夹紧装置沿着所述脆性材料基板的搬送方向移动。

5.根据权利要求3所述的基板加工装置，还具备驱动装置，所述驱动装置通过对所述搬送带及所述夹紧装置两者传达驱动力，使所述搬送带及所述夹紧装置沿着所述脆性材料基板的搬送方向移动。