KR102365098B1 - 기판 가공 장치 - Google Patents

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미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 클램프 장치의 구성을 간소화할 수 있는 기판 가공 장치를 제공한다.
[해결 수단] 기판 가공 장치는 취성 재료 기판을 반송하는 벨트(11)와, 벨트(11)의 위쪽에서부터 벨트(11) 상에 취성 재료 기판을 놓는 전공정 장치와, 벨트(11) 상에 놓여진 취성 재료 기판을 클램핑하는 클램프 장치(40)를 포함한다. 클램프 장치(40)는, 벨트(11)에 대한 위치가 고정되고, 아래쪽에서부터 취성 재료 기판을 지지하는 기판 지지부(51)와, 기판 지지부(51)에 대해서 회전 또는 이동하고, 기판 지지부(51)와의 사이에 취성 재료 기판을 끼우는 암(57)을 구비한다.

Description

기판 가공 장치{SUBSTRATE MACHINING APPARATUS}
본 발명은 취성 재료 기판을 가공하는 기판 가공 장치에 관한 것이다.
기판 가공 장치는 예를 들면, 유리 등에 의해 형성되는 취성 재료 기판을 분단시키기 위하여 이용된다. 특허문헌 1은 종래의 기판 가공 장치의 일례를 개시하고 있다. 이 기판 가공 장치는 취성 재료 기판을 반송하는 벨트, 취성 재료 기판의 반송 방향에 있어서 벨트의 상류 측에 배치되는 위치 결정 장치 및 클램프 장치, 그리고 취성 재료 기판의 반송 방향에 있어서 벨트의 하류 측에 배치되는 스크라이브 장치를 구비한다. 기판 가공 장치는, 벨트에 대한 클램프 장치의 높이를 변경하기 위한 승강 기구를 더 구비한다.
상기 기판 가공 장치에 따르면, 우선, 승강 기구에 의해 클램프 장치가 벨트의 아래쪽의 위치에 퇴피되고, 위치 결정 장치에 의해 취성 재료 기판의 위치가 결정된다. 다음에, 위치 결정 장치에 의해 취성 재료 기판이 벨트 상에 반송된다. 이 때, 취성 재료 기판은 벨트 아래쪽으로 퇴피하고 있는 클램프 장치 위를 통과한다. 다음에, 승강 기구에 의해 클램프 장치가 클램프 가능한 위치에 이동하고, 벨트 상에 놓여 있는 취성 재료 기판이 클램프 장치에 의해 클램핑된다. 다음에, 반송 방향에 있어서 벨트 및 클램프 장치가 이동하도록 벨트 및 클램프 장치가 구동되고, 취성 재료 기판이 스크라이브 장치에 반송된다. 다음에, 스크라이브 장치에 의해 취성 재료 기판에 분단선이 형성된다. 그리고, 이 취성 재료 기판이 분단선을 따라서 분단됨으로써, 소정의 크기의 패널이 형성된다.
그런데, 기판 가공 장치에 요구되는 성능의 하나로 유지 보수성(maintenance)을 들 수 있다. 그러나, 장치의 유지 보수성은 장치에 포함되는 가동부분이 증가함에 따라서 저하한다. 이 때문에, 예를 들어, 가동부분의 1개인 클램프 장치의 구성이 간소화되는 것이 바람직하다. 다른 한편, 특허문헌 1의 기판 가공 장치가 구비하는 승강 기구는 클램프 장치의 구성을 복잡화할 우려가 있다.
본 발명의 목적은, 클램프 장치의 구성을 간소화할 수 있는 기판 가공 장치를 제공하는 것이다.
〔1〕본 발명의 일 형태에 따른 기판 가공 장치는, 취성 재료 기판을 반송하는 벨트와, 상기 벨트의 위쪽에서부터 상기 벨트 상에 상기 취성 재료 기판을 놓는 전(前)공정 장치와, 상기 벨트 상에 놓여진 상기 취성 재료 기판을 클램핑하는 클램프 장치를 구비하고, 상기 클램프 장치는, 상기 벨트에 대한 위치가 고정되고, 아래쪽에서부터 상기 취성 재료 기판을 지지하는 기판 지지부와, 상기 기판 지지부에 대해서 회전 또는 이동하고, 상기 기판 지지부 사이에 상기 취성 재료 기판을 끼우는 암(arm)을 구비한다.
본 기판 가공 장치에 따르면, 전공정 장치에 의해 벨트의 위쪽에서부터 벨트 상에 취성 재료 기판이 놓인다. 이 때문에, 클램프 장치를 구성하는 기판 지지부는, 벨트에 대한 위치가 미리 고정되어 있어도, 취성 재료 기판이 벨트 상에 이동하는 과정에 있어서 취성 재료 기판의 이동을 방해하지 않는다. 그리고, 기판 지지부의 위치가 고정된 구조를 취하는 것이 가능함에 의해, 종래의 기판 가공 장치에 포함되는 클램프 장치의 승강 기구를 생략할 수 있다. 이 때문에, 클램프 장치의 구성이 간소화된다.
〔2〕상기 기판 가공 장치의 일 형태에 따르면, 상기 벨트에 구멍 또는 오목부가 형성되고, 상기 기판 지지부가 상기 구멍 또는 상기 오목부에 배치된다.
본 기판 가공 장치에 따르면, 기판 지지부가 벨트의 주위에 배치될 경우와 비교해서, 기판 가공 장치에 있어서 기판 지지부 및 벨트가 차지하는 영역이 좁아진다. 이 때문에, 기판 가공 장치를 소형화하기 쉽다.
〔3〕상기 기판 가공 장치의 일 형태에 따르면, 상기 전공정 장치는, 상기 벨트의 폭방향에 있어서의 상기 벨트에 대한 상기 취성 재료 기판의 위치를 결정한다.
본 기판 가공 장치에 따르면, 전공정 장치에 의해 위치 결정된 취성 재료 기판이 벨트 및 기판 지지부 상에 놓여진다. 다음에, 클램프 장치의 암이 회전 또는 이동함으로써, 취성 재료 기판이 클램프 장치에 의해 클램핑된다. 이 때문에, 클램프 장치가 취성 재료 기판을 클램핑시킬 때에 결정된 취성 재료 기판의 위치가 어긋나기 어렵다.
〔4〕상기 기판 가공 장치의 일 형태에 따르면, 상기 벨트 및 상기 클램프 장치의 양쪽에 구동력을 전달함으로써 상기 취성 재료 기판의 반송 방향으로 상기 벨트 및 상기 클램프 장치를 이동시키는 구동장치를 더 구비한다.
본 기판 가공 장치에 따르면, 공통의 구동장치에 의해 벨트 및 클램프 장치가 반송 방향으로 이동하므로, 벨트의 이동 속도와 클램프 장치의 이동 속도가 실질적으로 일치한다. 이 때문에, 취성 재료 기판과 벨트 사이에 마찰이 발생하는 것이 억제되어, 취성 재료 기판에 흠집이 생기기 어렵다.
상기 기판 가공 장치의 일 형태에 따르면, 클램프 장치의 구성을 간소화할 수 있다.
도 1은 실시형태의 기판 가공 장치의 정면 측의 사시도;
도 2는 도 1의 기판 가공 장치의 평면도;
도 3은 도 1의 기판 가공 장치의 배면 측의 사시도;
도 4는 도 1의 기판 가공 장치 클램프부의 확대도;
도 5는 도 1의 클램프 장치의 평면도;
도 6은 도 5의 클램프 장치의 측면도;
도 7은 도 6의 클램프 장치 암이 열려 있는 상태의 측면도;
도 8은 도 7의 클램프 장치 암이 닫힌 상태의 측면도;
도 9는 도 3의 기판 가공 장치가 취성 재료 기판을 반송하고 있는 도중의 배면 측의 사시도.
도 1을 참조하여, 기판 가공 장치(1)의 구성에 대해서 설명한다.
기판 가공 장치(1)는 유리 등에 의해 형성되는 취성 재료 기판(300)을 반송하는 반송 장치(10), 취성 재료 기판(300)을 클램핑하는 복수의 클램프 장치(40), 그리고 반송 장치(10)에 의해 반송된 취성 재료 기판(300)에 분단선을 형성하는 스크라이브 장치(90)를 구비한다. 또, 스크라이브 장치(90)보다도 취성 재료 기판(300)의 반송 방향의 하류 측에는, 취성 재료 기판(300)을 분단선을 따라서 분할하는 브레이크 장치(200)가 배치되어 있다. 또한, 기판 가공 장치(1)의 프레임(2)의 옆쪽에는, 반송 장치(10)의 벨트(11)의 폭방향에 있어서의 벨트(11)에 대한 취성 재료 기판(300)의 위치를 결정하고, 벨트(11)의 위쪽에서부터 벨트(11) 상에 취성 재료 기판(300)을 놓는 전공정 장치(100)가 배치되어 있다.
도 2를 참조해서 반송 장치(10)의 구성에 대해서 설명한다.
반송 장치(10)는 취성 재료 기판(300)이 놓이는 벨트(11)(도 1 참조), 기판 가공 장치(1)의 프레임(2)에 부착되어 있는 복수의 지지판(12), 그리고, 벨트(11)가 감기는 롤러(13A, 13B)를 구비한다.
벨트(11)에는 복수의 구멍(11A)(도 4 참조)이 형성되어 있다. 복수의 지지판(12)은 벨트(11)(도 1 참조)의 폭방향으로 간격을 두고 나열되고, 선단부에 복수의 롤러(13A)가 부착되어 있다. 또한, 프레임(2) 중의 지지판(12)보다도 취성 재료 기판(300)의 반송 방향의 상류 측에는 1개의 롤러(13B)가 부착되어 있다.
도 3 및 도 4를 참조해서, 구동장치(20)의 구성에 대해서 설명한다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 구동장치(20)는 프레임(2)의 옆쪽에 형성되어 있는 1쌍의 레일(21), 레일(21)을 따라서 이동하는 1쌍의 가이드(22), 1쌍의 가이드(22)를 연결하는 2매의 가이드 연결판(23), 가이드 연결판(23)과 벨트(11)를 연결하는 벨트 연결부(24) 및 1쌍의 가이드(22)를 이동시키는 모터(25)를 구비한다.
1쌍의 레일(21)은 취성 재료 기판(300)의 반송 방향으로 뻗는 형상이다. 1쌍의 가이드(22)는 모터(25)의 출력 축과 예를 들면 이송 나사 기구(도시 생략)을 개재해서 연결되어 있다.
2매의 가이드 연결판(23)은 1쌍의 가이드(22) 중 한쪽의 가이드(22)로부터 다른 쪽의 가이드(22)에 걸치도록 배치되어 있다.
도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 벨트 연결부(24)는 가이드 연결판(23)의 하부면에서부터 아래쪽으로 뻗는 지주(24A)와, 벨트(11)의 상부면에 부착되어 있는 지주 연결 부재(24B)를 구비한다.
지주 연결 부재(24B)는 취성 재료 기판(300)의 반송 방향으로 뻗는 직방체이며, 1개의 클램프 장치(40)에 대해서 지지판(12)의 단변(短手) 방향으로 간격을 두고 2개 배치되고, 상부면에 지주(24A)가 부착되어 있다.
또, 1쌍의 레일(21)의 아래쪽으로는 케이블 안내 장치(30)가 배치되어 있다. 케이블 안내 장치(30)는 모터(25)의 제어장치(도시 생략)에 전력을 공급하는 케이블(도시 생략)이 수용된 벨트(31)를 구비한다. 벨트(31)의 한쪽 단부인 고정 단부(31A)는 전원(도시 생략)과 접속되어 있고, 다른 쪽 단부인 이동 단부(31B)는 가이드 연결판(32)을 개재해서 레일(21)과 연결되어 있다.
도 3을 참조해서 클램프 장치(90)의 구성에 대해서 설명한다.
복수의 클램프 장치(40)는 지지판(12)의 단변 방향으로 간격을 두고 배치되고, 취성 재료 기판(300)(도 1 참조)의 단부를 클램핑하는 클램브부(50) 및 클램프부(50)를 구동하는 클램프 구동장치(60)를 구비한다.
클램프부(50)는 이웃하는 지지판(12) 사이에 배치되어 있다. 클램프 구동장치(60)는 클램프부(50)보다도 취성 재료 기판(300)(도 1 참조)의 반송 방향의 상류 측에 배치되어 있다.
도 4를 참조해서 클램프부(50)의 구성에 대해서 설명한다.
클램프부(50)는 벨트(11)의 하부면에 부착되어 있는 기판 지지부(51), 벨트(11)의 표면에 부착되어 있는 암 부착대(52), 기판 지지부(51)와의 사이에서 취성 재료 기판(300)(도 1 참조)을 끼우는 암(57), 그리고, 클램프 구동장치(60)의 암 연결 로드(80)와 연결되는 로드 연결부(58)를 구비한다.
기판 지지부(51)의 선단의 지지면(51A)과 벨트(11)의 상부면의 관계는 동일 평면이다.
암 부착대(52)는 2개의 지주 연결 부재(24B)의 단부에 복수의 나사(56)에 의해 고정되어 있는 벽부(53)와, 벽부(53)로부터 취성 재료 기판(300)(도 1 참조)의 반송 방향의 하류 측에 돌출하고, 벨트(11)의 표면에 부착되어 있는 암 배치부(54)를 구비한다.
벽부(53)는, 암 배치부(54)와 일체적으로 형성되고, 암 연결 로드(80)가 삽입되는 구멍(53A)이 형성되어 있다.
암(57)은 암 배치부(54)의 홈(54A)에 배치되어 있다. 암(57)은 암 배치부(54)에 부착된 회전축(55)에 회전 가능하게 부착되어 있다. 또한, 암(57)은 로드 연결부(58)에 부착된 연결 축(58A)에 회전 가능하게 부착되어 있다.
도 5 및 도 6을 참조해서, 클램프 구동장치(60)의 구성에 대해서 설명한다.
클램프 구동장치(60)는, 왕복이동식의 에어 실린더(70), 에어 실린더(70)와 로드 연결부(58)를 연결하는 암 연결 로드(80), 에어 실린더(70)의 동력을 암 연결 로드(80)에 전달하는 동력 전달 부재(61), 그리고, 지주 연결 부재(24B)에 부착되는 규제부재(62)를 구비한다.
에어 실린더(70)는 튜브(71), 튜브(71)의 내부에 배치되는 피스톤(72), 그리고, 피스톤(72)과 연결되어 있는 피스톤 로드(73)를 구비한다. 튜브(71)에는 압축 공기가 송입되는 관(71A) 및 (71B)이 부착되어 있다. 피스톤(72)은 관(71A)을 개재해서 압축 공기가 튜브(71)의 내부에 송입되는 한편, 관(71B)으로부터 공기가 배출됨으로써 전방으로 이동한다. 한편, 피스톤(72)은 관(71B)을 개재해서 압축 공기가 튜브(71)의 내부에 송입되는 한편, 관(71A)을 개재해서 공기가 배출됨으로써 후방으로 이동한다.
동력 전달 부재(61)의 상단부는 피스톤 로드(73)의 단부에 대하여 회전 가능하게 연결되고, 하단부는 암 연결 로드(80)에 대하여 회전 가능하게 연결되어 있다. 또, 동력 전달 부재(61) 중 암 연결 로드(80)와 연결되어 있는 부분은 탄성부재(도시 생략)에 의해 전방에 가압되어 있다.
규제부재(62)는 동력 전달 부재(61)의 전방에의 이동의 한계 위치를 결정한다. 규제부재(62)는 지주 연결 부재(24B)의 상부면에 고정되고, 피스톤 로드(73)가 튜브(71)로부터 돌출함으로써 동력 전달 부재(61)가 접촉하는 오목부(62A)가 형성되어 있다.
암 연결 로드(80)는 이웃하는 지주 연결 부재(24B) 사이에 배치되고, 한쪽 단부가 동력 전달 부재(61)과 연결되며, 다른 쪽 단부가 로드 연결부(58)와 연결되어 있다.
도 7 내지 도 9를 참조해서, 기판 가공 장치(1)의 작용에 대해서 설명한다
도 7에 나타낸 바와 같이, 관(71A)으로부터 압축 공기가 튜브(71)의 내부의 공간에 송입되는 한편, 관(71B)으로부터 공기가 배출됨으로써 피스톤(72)이 전방으로 이동하고, 피스톤 로드(73)가 튜브(71)로부터 돌출한다. 이 때문에, 피스톤 로드(73)와 연결되어 있는 동력 전달 부재(61)가 전방으로 이동해서 규제부재(62)의 오목부(62A)와 접촉하고, 동력 전달 부재(61) 중 피스톤 로드(73)과 연결되어 있는 부분이 회전한다. 그리고, 동력 전달 부재(61) 중 암 연결 로드(80)와 연결되어 있는 부분이 후방으로 이동함으로써, 암 연결 로드(80) 및 로드 연결부(58)가 후방으로 이동한다. 암 연결 로드(80)가 후방으로 이동함으로써, 암(57)이 회전축(55) 둘레를 회전해서, 지지면(51A)의 위쪽이 개방된다. 그리고, 전공정 장치(100)(도 1 참조)에 의해 벨트(11)의 폭방향의 위치 결정이 행해진 취성 재료 기판(300)이 지지면(51A)의 위쪽으로부터 하강하여 지지면(51A)에 놓이게 된다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 관(71A)으로부터 공기가 배출되는 한편, 관(71B)으로부터 압축 공기가 튜브(71)의 내부의 공간에 송입됨으로써, 피스톤(72)이 후방으로 이동한다. 이 때문에, 피스톤 로드(73)가 튜브(71)의 내부로 들어가, 피스톤 로드(73)과 연결되어 있는 동력 전달 부재(61)가 후방으로 이동한다. 이 때문에, 동력 전달 부재(61)가 규제부재(62)의 오목부(62A)로부터 이간된다. 그리고, 탄성부재(도시 생략)의 가압력에 의해 동력 전달 부재(61) 중 암 연결 로드(80)와 연결되어 있는 부분이 전방으로 이동하고, 암 연결 로드(80) 및 로드 연결부(58)가 전방으로 이동한다. 이 때문에, 암(57)이 회전축(55) 둘레를 회전하여, 기판 지지부(51)의 지지면(51A)과의 사이에서 취성 재료 기판(300)을 끼워 클램핑한다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 클램프 장치(40)가 취성 재료 기판(300)을 클램핑한 상태에서 모터(25)에 전력이 공급되고, 이송 나사 기구(도시 생략)에 의해 가이드(22)가 레일(21)을 따라서 이동한다.
1쌍의 가이드(22)를 연결하고 있는 가이드 연결판(23)이 벨트 연결부(24)를 개재해서 벨트(11)와 연결되고, 벨트(11)와 클램프 장치(40)가 연결되어 있다. 이 때문에, 가이드(22)가 레일(21)을 따라서 이동함에 따라서, 벨트(11) 및 클램프 장치(40)도 취성 재료 기판(300)의 반송 방향으로 이동해서, 취성 재료 기판(300)이 스크라이브 장치(90)에 반송된다.
기판 가공 장치(1)에 따르면, 이하의 효과가 얻어진다.
(1) 전공정 장치(100)에 의해 벨트(11)의 위쪽에서부터 벨트(11) 상에 취성 재료 기판(300)이 놓이게 된다. 이 때문에, 클램프 장치(40)를 구성하는 기판 지지부(51)은, 벨트(11)에 대한 위치가 미리 고정되어 있어도, 취성 재료 기판(300)이 벨트(11) 상에 이동하는 과정에 있어서 취성 재료 기판(300)의 이동을 방해하지 않는다. 그리고, 기판 지지부(51)의 위치가 고정된 구조를 취하는 것이 가능함에 의해, 종래의 기판 가공 장치에 포함되는 클램프 장치의 승강 기구를 생략할 수 있다. 이 때문에, 클램프 장치(40)의 구성이 간소화된다.
(2) 기판 지지부(51)가 벨트(11)의 구멍(11A)에 배치되어 있기 때문에, 기판 지지부(51)가 벨트(11) 주위에 배치될 경우와 비교해서, 기판 가공 장치(1)에 있어서 기판 지지부(51) 및 벨트(11)가 차지하는 영역이 좁아진다. 이 때문에, 기판 가공 장치(1)를 소형화하기 쉽다.
(3) 전공정 장치(100)에 의해 위치 결정된 취성 재료 기판(300)이 벨트(11) 및 기판 지지부(51) 상에 놓인다. 다음에, 클램프 장치(40)의 암(57)이 회전함으로써, 취성 재료 기판(300)이 클램프 장치(40)에 의해 클램핑된다. 이 때문에, 클램프 장치(40)가 취성 재료 기판(300)을 클램핑할 때에 결정된 취성 재료 기판(300)의 위치가 어긋나기 어렵다.
(4) 벨트(11)와 클램프 장치(40)가 연결되어 있기 때문에, 벨트(11)의 이동 속도와 클램프 장치(40)의 이동 속도가 실질적으로 일치한다. 이 때문에, 취성 재료 기판(300)과 벨트(11) 사이에 마찰이 발생할 우려가 저감되고, 취성 재료 기판(300)에 흠집이 생기기 어렵다.
(5) 공통의 구동장치(20)에 의해 벨트(11) 및 클램프 장치(40)가 반송 방향으로 이동하므로, 벨트(11)의 이동 속도와 클램프 장치(40)의 이동 속도가 실질적으로 일치한다. 이 때문에, 취성 재료 기판(300)과 벨트(11) 사이에 마찰이 발생하는 것이 억제되어, 취성 재료 기판(300)에 흠집이 생기기 어렵다.
(6) 기판 지지부(51)가 벨트(11)의 구멍(11A)에 배치되어 있기 때문에, 암(57)과 지지면(51A) 사이에 벨트(11)가 개재되지 않는다. 이것에 의해, 암(57)과 지지면(51A)이 직접적으로 취성 재료 기판(300)을 끼워넣을 수 있으므로, 암(57)과 지지면(51A) 사이에 벨트(11)가 개재할 경우와 비교해서 취성 재료 기판(300)을 보다 강하게 클램핑할 수 있다.
(7) 기판 지지부(51)가 벨트(11)의 구멍(11A)에 배치되어 있기 때문에, 기판 지지부(51)가 벨트(11)의 하부면과 간격을 두고 배치되어 있을 경우와 비교해서, 기판 지지부(51)가 취성 재료 기판(300)을 지지했을 때, 벨트(11)가 휘어, 취성 재료 기판(300)의 위치가 어긋나는 일이 억제된다.
(8) 클램프부(50)가 이웃하는 지지판(12) 사이에 배치되어 있기 때문에, 취성 재료 기판(300)의 반송 방향으로 이동했을 때, 지지판(12)의 선단에 부착되어 있는 복수의 롤러(13A)와 간섭하지 않는다. 이 때문에, 취성 재료 기판(300)을 반송하고 있는 도중에, 클램프부(50)가 클램핑하고 있는 취성 재료 기판(300)의 위치가 어긋나기 어렵다.
기판 가공 장치가 취할 수 있는 구체적인 형태는 상기 실시형태에 예시된 형태로 한정되지 않는다. 기판 가공 장치는 상기 실시형태와는 다른 각종 형태를 취할 수 있다. 이하에 나타낸 상기 실시형태의 변형예는 기판 가공 장치가 취할 수 있는 각종 형태의 일례이다.
·상기 실시형태의 변형예에 따르면, 벨트(11)와 클램프 장치(40)가 직접적으로 연결되지 않는다.
·상기 실시형태의 변형예에 따르면, 클램프 장치(40)의 클램프부(50)와 벨트(11)가 중간부재를 개재해서 간접적으로 연결되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 따르면, 클램프 장치(40)의 클램프부(50)가 벨트(11)보다도 취성 재료 기판(300)의 반송 방향의 상류 측에 배치되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 따르면, 벨트(11)에 구멍(11A)이 형성되지 않고, 기판 지지부(51)가 벨트(11)의 하부면에 부착되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 따르면, 벨트(11)에 오목부가 형성되고, 이 오목부에 기판 지지부(51)가 배치되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 따르면, 암(57)의 개폐 동작을 구동하는 모터를 구비한다.
·상기 실시형태의 변형예에 따르면, 기판 지지부(51)와 연결되지 않고, 기판 지지부(51)에 대해서 이동함으로써 기판 지지부(51)의 지지면(51A)에 놓여있던 취성 재료 기판(300)을 클램핑하는 암(57)을 구비한다. 이 변형예의 암(57)은 직접적 또는 간접적으로 벨트(11)와 연결되어 있다.
·상기 실시형태의 변형예에 따르면, 모터(25)의 출력 축이 롤러(13A) 및 (13B) 중 적어도 한쪽의 회전축과 연결되고, 모터(25)가 롤러(13A) 및 (13B) 중 적어도 한쪽을 회전시킴으로써, 벨트(11) 및 클램프 장치(40)를 취성 재료 기판(300)의 반송 방향으로 이동시킨다.
1: 기판 가공 장치 11: 벨트
11A: 구멍 20: 구동장치
40: 클램프 장치 51: 기판 지지부
57: 암 100: 전공정 장치
300: 취성 재료 기판

Claims (4)

  1. 취성 재료 기판을 반송하는 벨트와, 상기 벨트의 위쪽에서부터 상기 벨트 상에 상기 취성 재료 기판을 놓는 전(前)공정 장치와, 상기 벨트 상에 놓여진 상기 취성 재료 기판을 클램핑하는 클램프 장치를 포함하되,
    상기 클램프 장치는 상기 취성 재료 기판을 지지하도록 상기 벨트의 하부면에 부착되는 기판 지지부와, 상기 벨트의 상부면에 부착되는 암 부착대와, 상기 기판 지지부와의 사이에서 상기 취성 재료 기판을 끼울 수 있도록 상기 암 부착대에 대해 동작하는 암(arm)을 구비하는, 기판 가공 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 기판 지지부는 상기 취성 재료 기판을 지지하는 지지면이 상기 벨트의 상부면과 동일 평면이 되도록 상기 벨트의 구멍 또는 오목부에 배치되는, 기판 가공 장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 전공정 장치는, 상기 벨트의 폭방향에 있어서의 상기 벨트에 대한 상기 취성 재료 기판의 위치를 결정하는, 기판 가공 장치.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 벨트 및 상기 클램프 장치의 양쪽에 구동력을 전달함으로써 상기 취성 재료 기판의 반송 방향으로 상기 벨트 및 상기 클램프 장치를 이동시키는 구동장치를 더 포함하는, 기판 가공 장치.
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