TWI597144B - 線鋸及利用線鋸處理工件的方法 - Google Patents

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TWI597144B
TWI597144B TW102123908A TW102123908A TWI597144B TW I597144 B TWI597144 B TW I597144B TW 102123908 A TW102123908 A TW 102123908A TW 102123908 A TW102123908 A TW 102123908A TW I597144 B TWI597144 B TW I597144B
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河津知之
石塚智
日俁亮範
佐竹孝文
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小松Ntc股份有限公司
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    • B28D5/0082Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material for supporting, holding, feeding, conveying or discharging work

Description

線鋸及利用線鋸處理工件的方法
本發明係有關對例如半導體材料、磁性材料、陶瓷等之脆性材料所製成之工件(工作件),藉由線來進行切斷加工之線鋸,及利用該線鋸之工件加工方法。本發明係特別關於,適用於使板狀工件切成片狀之線鋸及工件加工方法。
習知之此種線鋸係例如專利文獻1及專利文獻2所揭示。專利文獻1、2中所記載之習知線鋸係具有沿水平方向平行延伸之4根或一對加工用輥輪,各加工用輥輪係可於其軸線之周圍旋轉。各加工用輥輪之外緣係設有複數個環狀溝,線係沿著該等環狀溝捲繞在加工用輥輪之周圍。並設有:具有上側所配置之相對於一對加工用輥輪之間的線,以選擇性接近及分離方式自由昇降的移動體之傳送裝置,該移動體保持有連接至板之工件。
藉由加工用輥輪之旋轉使線環繞移動,並使傳送裝置之移動體朝向加工傳送方向移動。藉此,工件係朝加工用輥輪間之線移動,藉由線而使工件被切斷成片狀。又,工件切斷後,藉由使傳送裝置之移動體朝向加工傳送方向之反方向送回之方式移動,使切斷後之工件朝向遠離線之方式移動,以使自線進行環繞移動之周圍區域的內側朝向外側傳送出去。
【專利文獻】
【專利文獻1】特開2003-275950號公報
【專利文獻2】特開2010-149248號公報
由於切斷後之工件係以朝向加工傳送方向之反方向送回之 方式移動,此習知技術之構成中,工件之切斷面恐會接觸到加工用輥輪間之線而受到損傷。
特別是,工件為沿加工傳送方向較長的工件之狀況下,被切斷成片狀之工件一旦接觸到線,多有破裂之疑慮。
又,若板狀工件係自其加工傳送方向前端被切斷成片狀,則在加工傳送方向後端處工件必須以懸臂支持。因此,工件之傳送與姿勢係不安定的,難以使工件以所需厚度正確切斷成片狀,亦難以不損傷而自線順利取出工件。
本發明係著眼於此等習知技術所存在之問題點。其目的在於提供一種線鋸及利用此線鋸之工件加工方法,可容易且正確地自工件傳送方向前端切斷板狀的工件。
為達成上述目的,本發明之一態樣,係提供一種線鋸,在複數個加工用輥輪之間捲線,並藉由該加工用輥輪之旋轉使該線在該加工用輥輪之周圍環繞移動,而在工件切斷位置處,藉由該線來切斷板狀工件。該線鋸係包含一工件導引部,導引該工件以立起狀態朝向該工件切斷位置之線沿著工件傳送方向移動。又,該線鋸係包含一工件接收部,在該工件傳送方向中,配置在比該工件導引部更設定於下游側之工件接收位置,並用以將被該線切斷的工件,在維持該立起狀態下將其接收。
又,本發明之其他態樣中,係提供一種線鋸工件加工方法,在複數個加工用輥輪之間捲線,並藉由該加工用輥輪之旋轉使該線在該加工用輥輪之周圍環繞移動,而在工件切斷位置處,藉由該線來切斷板狀工件。該工件加工方法係,使該工件以立起狀態朝著該工件切斷位置之線,沿工件傳送方向移動,藉由該線切斷該工件,並且使被切斷的工件維持該立起狀態,留置於該線環繞移動之周圍區域內側後,自該線之周圍區域內側,沿該加工用輥輪之軸線方向朝外側位置搬出。
因此,本發明中,藉由工件導引部,使立起狀態之工件朝向工件切斷位置之線的方向傳送移動,並藉由線,自工件傳送方向前端切斷。接著,在工件傳送方向下游側之工件接收位置處,藉由工件接收部,來接 收維持立起狀態之被切斷的工件。因此,工件無須固定於傳送裝置,而可朝向加工用輥輪間之線,安定地傳送移動,並可安定地接收切斷後之工件,相對傳送裝置之移動體,不需要額外進行工件之固定作業和拆卸作業。
又,本發明之線鋸中,由於工件係非固定於傳送裝置之移動體,因此工件被切斷後,傳送裝置不會以朝加工傳送方向之相反方向回送移動。亦即,不會如習知構造之方式,須使切斷完成之工件再度移動通過工件切斷位置。因此,可防止切斷完成之工件接觸到線而發生損傷的可能。
若依本發明,不用將工件固定於傳送裝置,可朝向加工用輥輪間之線傳送移動並切斷,並可發揮防止切斷後的工件被線損傷的效果。
31‧‧‧裝置框架
32‧‧‧裝置基底
33‧‧‧裝置蓋
34‧‧‧前部開口(開啟部)
35‧‧‧前門片收容部
36‧‧‧前門片(門片)
37‧‧‧後門片
38‧‧‧前門片收容部
39‧‧‧後門片收容部
41‧‧‧支架
42‧‧‧框架
43‧‧‧框架
44‧‧‧架設材(補強材)
45‧‧‧加工用輥輪
46‧‧‧環狀溝
47‧‧‧線
48‧‧‧馬達
49‧‧‧工件
52‧‧‧插銷
53‧‧‧輥輪部件
54‧‧‧第1線導引輪
55‧‧‧第2線導引輪
56‧‧‧導引輥輪元件
57‧‧‧導引輥輪
67‧‧‧供給托盤(工件導引部)
74‧‧‧導引台
75‧‧‧工件導引部材
76‧‧‧耗材
77‧‧‧工件規制(拘束)部材
87‧‧‧滾珠螺桿
88‧‧‧馬達
89‧‧‧移動部材
90‧‧‧壓出部件
93‧‧‧工件接收部
96‧‧‧輥輪輸送機
99‧‧‧輥輪輸送機
100‧‧‧接收托盤
101‧‧‧缸(搬出部材)
741‧‧‧底部導引面
792‧‧‧側部導引面
97‧‧‧搬出平台
471‧‧‧繞線寬度
421‧‧‧開口
50‧‧‧供給噴嘴
51‧‧‧支軸
58‧‧‧支持桿
59‧‧‧支持板
60‧‧‧固定板
591‧‧‧咬合凹部
592‧‧‧導引溝
61‧‧‧操作拉桿
62‧‧‧支持臂
63‧‧‧軸支部材
64‧‧‧支軸
65‧‧‧固定螺釘
68‧‧‧支持平台
621‧‧‧導引溝
622‧‧‧長孔
631‧‧‧導引溝
70‧‧‧支持台
71‧‧‧咬合突起
72‧‧‧定位部材
73‧‧‧導引桿
742‧‧‧配置部
743、744‧‧‧固定用部材
771‧‧‧咬合部
772‧‧‧規制(拘束)部
773‧‧‧把手
78‧‧‧咬合栓
79‧‧‧導引塊
791‧‧‧凹部
80‧‧‧按壓體
801‧‧‧咬合孔
81‧‧‧咬合栓
82‧‧‧握持把手
83‧‧‧支持塊
84‧‧‧按壓栓
85‧‧‧彈簧
86‧‧‧保持板
91‧‧‧可撓性蓋
94‧‧‧支持平台
95‧‧‧導引軌道
97‧‧‧搬出平台
102‧‧‧檔塊
103‧‧‧保持板
104‧‧‧保持片
891‧‧‧螺母部
圖1係本發明之一實施形態之線鋸的外觀構造由正面側顯示之立體圖。
圖2係圖1之線鋸之外觀構造由背面側顯示之立體圖。
圖3係工件被搬入時之圖1之線鋸之外觀構造由正面側顯示之立體圖。
圖4係工件被搬出時之圖1之線鋸之外觀構造由正面側顯示之立體圖。
圖5係線捲筒穿脫時之圖1之線鋸之外觀構造由背面側顯示之立體圖。
圖6係放大顯示圖1之線鋸之內部結構的概略構成圖。
圖7係圖1之線鋸中之加工用輥輪之支持結構由正面側顯示之立體圖。
圖8係圖7之加工用輥輪之支持結構由背面側顯示之立體圖。
圖9係顯示圖1之線鋸中之加工用輥輪之配置構成、及對加工用輥輪間之線供給加工液用之供給噴嘴的剖面圖。
圖10係放大顯示圖1之線鋸中之加工用輥輪之剖面圖。
圖11係進一步放大顯示圖10之加工用輥輪中之1個輥輪部件之部分剖面圖。
圖12係顯示相對於圖1之線鋸中之加工用輥輪之線的導引結構正面圖。
圖13係顯示圖12之線之導引結構的俯視圖。
圖14係顯示圖12之線之導引結構的側視圖。
圖15係顯示圖12之線之導引結構中之導引輥輪元件的立體圖。
圖16係放大顯示圖15之導引輥輪元件中之1個導引輥輪的立體圖。
圖17係顯示圖6之線鋸之內部結構中之工件導引部及工件接收部的立體圖。
圖18係顯示圖17之工件導引部之支持及驅動結構的立體圖。
圖19係放大顯示圖17之工件導引部及其所支撐之工件的立體圖。
圖20係顯示圖19之工件導引部中之工件之按壓構成的部分放大剖面圖。
圖21係顯示圖1之線鋸中之利用線之工件之切斷狀態的部分放大俯視圖。
圖22係顯示圖17之工件接收部之搬出驅動結構的立體圖。
圖23係顯示圖22之搬出驅動結構之俯視圖。
圖24係顯示圖22之搬出驅動結構之側視圖。
以下,以圖式說明本發明一實施形態之線鋸。
如圖1~圖4所示,線鋸具有一裝置框架31,包含裝置基底32、及該裝置基底32上所配置之裝置蓋33。裝置蓋33上面之前部及前面係形成有前部開口34,且裝置蓋33上面之後部及後面係形成有後部開口35。前部開口34具有幾乎呈倒L字形之截面形狀的複數個(本實施形態中 為4個)前門片36,在彼此重合位置與朝左右方向展開之位置之間以可滑動之方式裝設。又,後部開口35具有幾乎呈倒L字形之截面形狀的複數個(本實施形態中為4個)後門片37,在彼此重合位置與朝左右方向展開之位置之間以可滑動之方式裝設。此實施形態中之右及左係指圖1~圖6、圖17、圖18等圖中之右及左。
板狀之複數個工件49係在未加工狀態下,被搬入裝置框架31內,在裝置框架31內被切斷加工,加工完成之工件49係被搬出裝置框架31。裝置框架31左側之端部設有前門片收容部38。如圖3所示,當未加工之工件49被搬入裝置框架31內時,左側三枚前門片36係以重疊之狀態被收納在前門片收容部38內,前部開口34的左側部被開啟。又,如圖4所示,當加工完成之工件49自裝置框架31內被搬出時,左側三枚前門片36係被收納在前門片收容部38內,且右端一枚前門片36係配置在前部開口34之左端位置,前部開口34的右側部被開啟。再者,裝置框架31右側之端部係設有後門片收容部39。如圖5所示,藉由將全部的後門片37收納在側端部之後門片收容部39內,可完全開啟後部開口35。
如圖6~圖8所示,該裝置框架31中之裝置基底32之右側上面,係固定有支架41。此支架41係包含以鐵板製成之前、後一對框架42、43,以及兩框架42、43之間所架設之,以鐵製方管所構成之作為補強材使用的複數個架設材44。前側之框架42係形成有將加工完成之工件49朝前方搬出用之開口421。支架41之框架42、43之間係有四根加工用輥輪45支撐配置在四角形之頂點位置處。亦即,四根加工用輥輪45係於圖6中之左側之上方及下方,與右側之上方及下方,以相互隔著間隔,沿水平方向彼此平行之方式配置。各加工用輥輪45係可以該軸線為中心旋轉。各加工用輥輪45之外緣面係形成有多數環狀溝46。在加工用輥輪45之環狀溝46之中係以捲繞狀態纏繞著線47。圖3~圖5中省略繪示支架41和加工用輥輪45之內部構造。
如圖7及圖8所示,該支架41中之後側的框架43後面係支撐有分別直接旋轉驅動加工用輥輪45之四台馬達48。然後,藉由該等馬達48使加工用輥輪45分別以相同速度朝相同方向旋轉,以使線47在加工用 輥輪45之周圍環繞移動。在此狀態下,如圖6所示,工件49係沿工件傳送方向(箭頭的方向),朝向工件切斷位置移動。亦即,工件49係朝向左側上方及下方所配置之加工用輥輪45間之線47,朝右方向水平傳送移動。此時,藉由線47,工件49係自傳送方向的前端被切斷成片狀。在此狀況下,各加工用輥輪45藉由複數個馬達48同步且各別旋轉驅動,加工用輥輪45間之線47保持幾乎一定的張力。又,如圖9所示,於工件切斷位置中,在工件49之上方係配置有供給噴嘴50。以線47切斷工件49時,係藉由供給噴嘴50,自斜上方處對工件切斷位置之線47供給漿料(slurry)等之加工液。
如圖9所示,該複數個加工用輥輪45中,與左側上方處所配置之加工用輥輪45相比,左側下方處所配置之加工用輥輪45係配置在朝向更右側方位移的位置。亦即,於工件切斷位置中,與上方所配置之加工用輥輪45相比,下方所配置之加工用輥輪45係配置在沿著工件傳送方向之更下游側。藉此,左側上方及下方所配置之加工用輥輪45間之線47係以愈下方愈往相對於垂直方向朝右側傾斜之狀態而配置。藉由此線47的配置,工件49被切斷時,由於工件49之移動方向係相對於線47呈傾斜,可抑制對於線47所施加的急遽作用之高張力。又,藉由此線47切斷工件49時之碎屑不會被行進中之線47捲入,而會落下。
如圖10及圖11所示,該各加工用輥輪45係包含沿其軸線方向延伸的支軸51,與支軸51上經由插銷52嵌合之複數個圓板狀的輥輪部件53。輥輪部件53係沿著加工用輥輪45之軸線方向,以可替換之方式堆疊形成。複數個輥輪部件53係以對應複數個工件49之位置與厚度之方式並列設置。輥輪部件53之外緣係以特定間距形成該環狀溝46。對應工件49之位置和厚度,支軸51上的各輥輪部件53是可拆裝,得以交換具有不同寬度和不同間距之環狀溝46的輥輪部件。
如圖12~圖14所示,該加工用輥輪45之上方係配置有第1線導引輪54,配置在左側之上方之加工用輥輪45之一端部與未圖示之捲筒之間的線路徑上。又,第2線導引輪55係配置於右側上方之加工用輥輪45之另一端部與未圖示之捲筒之間的線路徑上的位置。當要將捲繞有線47之兩端部之一對捲筒裝拆至裝置框架31內的情況,則如圖5所示,將後部開 口35全部開啟。
右側之上方及下方所配置之加工用輥輪45的右方係分別配置有一對導引輥輪元件56。如圖10及圖14所示,各導引輥輪元件56係具有複數個導引輥輪57,以分別對應加工用輥輪45之複數個輥輪部件53。各導引輥輪57係自上方之加工用輥輪45之輥輪部件53起,至對應該輥輪部件53之相鄰之輥輪部件53下方的加工用輥輪45之輥輪部件53為止,將線47朝斜向導引。線47環繞各輥輪部件53的回數係依該輥輪部件53之環狀溝46之數目而定。由圖14可知,各輥輪部件53之線47的繞線寬度471,亦依該輥輪部件53之環狀溝46之數目而改變。
如圖12~圖16所示,該導引輥輪元件56係與加工用輥輪45之軸線呈平行延伸,且具有以槽材構成之支持桿58。此支持桿58係固定在裝置框架31。分別對應複數個導引輥輪57的複數個支持板59,沿著支持桿58之延長方向(加工用輥輪45之軸線方向),相對於支持桿58,是以可移動之方式支持於支持桿58。各支持板59之基端部具有咬合凹部591,咬合凹部591係咬合於支持桿58。支持板59之咬合凹部591之開放端部,係可移動地裝設有固定板60,該固定板60相對於支持桿58可選擇性地接近及分離。支持板59之側面係以可動方式支撐用於移動操作固定板60之一對操作拉桿61。而且,在使支持板59移動至支持桿58上之特定位置之狀態下,藉由旋動操作兩操作拉桿61,可使固定板60移動至按壓支持桿58的位置,使支持板59被固定在支持桿58上之特定位置。
如圖15及圖16所示,該導引輥輪元件56中之支持板59之前端部係形成有導引線47用之導引溝592。支持板59之側面係有幾乎呈L字形之平面狀的支持臂62,經由軸支部材63之支撐,支持臂62得以支持板59上之導引溝592之軸線為中心而轉動。支持臂62之基部前端及軸支部材63係形成有與支持板59上之導引溝592整合之導引溝621、631。而且,支持臂62之側部前端係經由支軸64可旋轉地支撐該導引輥輪57。
如圖15及圖16所示,在該導引輥輪元件56中之支持臂62之基部,係以導引溝592、621、631之軸線為中心呈圓弧狀延伸之方式形成長孔622。支持板59係經由支持臂62之長孔622螺合至固定螺釘65。而且, 此固定螺釘65在鬆開狀態下,藉由支持臂62以導引溝592、621、631之軸線為中心而轉動,可使導引輥輪57之傾斜角度,依輥輪部件53上之線47的繞線寬度調節。輥輪部件53上之線47的繞線寬度係相當於工件49的板厚。在此狀態下,藉由收緊固定螺釘65,支持臂62係相對於支持板59被固定,導引輥輪57係可保持在調節過的傾斜角度。藉此,可依該輥輪部件53排列的間距之大小而將導引輥輪57之傾斜角度進行調節。
如圖6、圖17及圖18所示,該裝置框架31中之裝置基底32之上面的左側係設有供給托盤67,用以作為使板狀的工件49沿著工件傳送方向移動之工件導引部。藉此,不同於使工件相對於加工用輥輪之間之線由上方供給之習知結構,即使相對於長板狀之工件49,本實施例不需大幅確保裝置框架31之高度方向之尺寸,可使工件49容易地朝工件切斷位置往橫向傳送移動。
裝置基底32上係固定有支持平台68。支持平台68的上面係配置有一對支持台70,用以可拆裝方式支撐搭載有複數枚板狀工件49之供給托盤67。各支持台70上係設有咬合突起71,可咬合於供給托盤67之底面所形成之未圖示的咬合孔。支持平台68之上面係配置有複數個定位部材72,用以使供給托盤67定位至與加工用輥輪45之間之線47相對應之特定位置。支持平台68之後部上面係突設有一對導引桿73,用以導引配置有工件49之供給托盤67往支持台70上搬入。
將未加工之工件49搬入裝置框架31內之時,如圖3所示,左側之3枚前門片36係被收納在前門片收容部38內,並開啟前部開口34之左側部。在此狀態下,複數枚板狀工件49配置於供給托盤67上,藉由起重機懸掛,並自裝置框架31之前部開口34之左側開啟部搬入內部。而且,供給托盤67係一面被導引桿73導引一面被載置於支持台70上,藉由定位部材72定位至特定位置,並且藉由與咬合突起71之咬合,而以不能移動之方式被保持在支持台70上。
如圖17及圖19~圖21所示,該供給托盤67係具有導引台74。導引台74之上面,以突條構成之複數個底部導引面741與複數個凹溝狀之配置部742係彼此交錯地形成。底部導引面741係支撐複數個板狀工件 49之底部,使各工件49以彼此平行狀態下朝右方滑動之方式導引。各配置部742係配置有工件導引部材75。
各工件49於工件傳送方向的後端,亦即各工件49之左端之上部,係安裝有小片狀之可切斷的合成樹脂所構成之耗材76。此耗材76係在工件49被配置在導引台74上之前,使用低融點接著劑接著。
在供給托盤67被搬入裝置框架31內之前,導引台74之右端上部係裝設有工件規制(拘束)部材77,作為滑落防止部材用,其藉由兩側下端之咬合凹部771與導引台74上咬合栓78之咬合而為可拆卸。工件規制部材77係包含規制(拘束)部772,藉由起重機將供給托盤67搬入裝置框架31內之時,用於控制使供給托盤67上之工件49不會朝右側方滑落,以及使工件規制部材77相對於供給托盤67為可拆卸用之把手773。
如圖19及圖20所示,該供給托盤67之各工件導引部材75係具有於導引台74之配置部742上以間隔方式配置之導引塊79。此導引塊79之一側面係形成有側部導引面792,用以導引底部導引面741上之工件49之第一側面。導引塊79係藉由2個楔形之固定用部材743、744的楔形效應(wedge effect)而被固定在配置部742內。因此,藉由拆下固定用部材743、744,可置換導引塊79。為了導引塊79之置換,準備有具有不同厚度之複數種類的導引塊。如圖19所示,最前部之導引塊79係在導引台74上以不能移動之方式固定。
導引塊79之上面係形成有一對凹部791。導引塊79之各凹部791內係裝設有按壓體80,藉由其底面所設之咬合孔801與凹部791之內底面所突設之咬合栓81間之咬合而為可拆卸。按壓體80之上面突設有迴圈狀的握持把手82,用以使按壓體80相對於導引塊79之凹部791為可拆卸。
該各按壓體80係具有支持塊83,支持塊83內部具有可朝向與工件49之側面垂直之方向移動之按壓栓84。各按壓體80係具有使按壓栓84朝向工件49之側面按壓之方式施壓之彈簧85,以及將按壓栓84及彈簧85保持在支持塊83內之保持板86。按壓體80之按壓栓84係藉由彈簧85之彈推力按壓工件49之第二側面,使該工件49可導引地被保持在按 壓栓84與相鄰導引塊79之側部導引面792之間。當工件49之板厚改變時,導引塊79係換成具有不同厚度的導引塊。此時,藉由握持把手82,可使按壓體80替換新使用的導引塊79。
如圖6,圖17,圖18及圖21所示,該裝置框架31之裝置基底32上,滾珠螺桿87係沿著工件49之移動方向(工件傳送方向)延伸,且係以可於該軸線之周圍旋轉之方式被支持。裝置基底32上係配置有用以使滾珠螺桿87旋轉之馬達88。移動部材89係經由螺母部891,以沿著滾珠螺桿87之軸線方向,相對於滾珠螺桿87可相對移動之方式,螺合至滾珠螺桿87。移動部材89之上端係設有壓出部件90,可與工件49之左端所連接之耗材76接合。裝置基底32上係設有可撓性蓋91,用以覆蓋滾珠螺桿87及馬達88之周圍。
藉由該馬達88而使滾珠螺桿87旋轉,藉以使移動部材89朝圖6之右方移動,經由壓出部件90使供給托盤67上之複數個工件49朝工件傳送方向壓出。藉此,各工件49係以平行立起狀態沿著導引台74上之底部導引面741,朝向加工用輥輪45間之線47傳送移動,藉由線47使各工件49從其工件傳送方向的前端被切斷加工成片狀。此時,如圖21之鏈線所示,工件49係橫跨其全長被切斷成片狀,該工件49之左端所連接之耗材76亦被切斷。
如圖1、圖6、圖17及圖22~圖24所示,在該裝置框架31中之裝置基底32之上表面右側處,工件接收位置係被設定在工件傳送方向中之線47之下游側,該工件接收位置係配置有接收被切斷後之工件49用之工件接收部93。亦即,工件接收部93係沿工件傳送方向,被配置在工件切斷位置之下游側。工件接收部93與供給托盤67係並排包夾工件切斷位置之上方及下方所配置之二根加工用輥輪45之間的線47。工件接收部93係具有被固定在裝置基底32上的支持平台94。支持平台94之上面係以與工件傳送方向垂直,沿著前後方向平行延伸之方式鋪設有一對導引軌道95及一對輥輪輸送機96。裝置框架31外側且支持平台94之前方係配置有搬出平台97。搬出平台97之上面係鋪設有一對導引軌道98及一對輥輪輸送機99,是以與支持平台94上之導引軌道95及輥輪輸送機96整合的方式被鋪設。
接收托盤100係以沿著兩導引軌道95、98朝前後方向可移動之方式,支持在該兩輥輪輸送機96、99上。接收托盤100係用以將被切斷加工成片狀之工件49維持於傳送姿勢之立起狀態。接收托盤100係可在圍繞線47之周圍區域的內側與其前方外側之間移動。支持平台94上係配置有作為使接收托盤100朝前後方向移動之搬出部材而使用之缸101。支持平台94之上面的後端及搬出平台97之上面的前端,係各自配置有用以限制接收托盤100移動端位置之檔塊102。工件49被切斷前,接收托盤100係藉由缸101朝向支持平台94上之線周圍區域之內側的工件接收位置移動而設置。此狀態下,接收托盤100係接收維持於立起狀態之被切斷之工件49,切斷完成之工件49係被留置在線47之周圍區域之內側。之後,藉由缸101使接收托盤100朝前方移動,切斷完成之工件49係自線47之周圍區域之內側,沿著加工用輥輪45之軸線方向朝外側移動,而被配置在搬出平台97上。
如圖6、圖17及圖22~圖24所示,該工件接收部93之接收托盤100係具有平板狀之保持板103。保持板103之上面係立設有複數個小片狀之保持片104,用以使各工件49在立起狀態下保持平行。保持片104係朝前後方向以與工件49之板厚相當之間隔而設置,並朝左右方向以間隔方式配置。而且,藉由保持板103上之各保持片104,使被切斷之工件49維持於立起狀態。
接著,說明以前述方式構成之線鋸的作用。
藉由此線鋸來切斷加工工件時,供給托盤67係搭載有維持平行、立起狀態之複數枚之板狀工件49,該工件49係以工件規制部材77規定其位置。如圖3所示,開啟裝置框架31之前部開口34之左側部,使搭載有工件49的供給托盤67,由未圖示之起重機懸掛,由前部開口34之左側開啟部搬入裝置框架31內。搬入後,使工件規制部材77自供給托盤67拆除。而且,供給托盤67載置於支持平台68之支持台70上,藉由定位部材72定位。供給托盤67係藉由咬合突起71之咬合,在該定位狀態以不能移動之方式保持。此處,工件49係載置於供給托盤67之底部導引面741上,藉由導引塊79上之按壓栓84,對鄰接之導引塊79之導引面792按壓。底部導引面741 係可以疊層狀態載置複數枚之工件49,此情況下,底部導引面741之寬度為最大疊層厚度。
而且,如圖1所示,裝置框架31之前部開口34被關閉之後,藉由如圖7及圖8所示之複數個馬達48使各加工用輥輪45同步朝相同方向旋轉,而使線47在加工用輥輪45之周圍環繞移動。再者,如圖6所示之供給托盤67中,藉由馬達88使滾珠螺桿87旋轉,並使移動部材89朝同圖6之右方移動,以使供給托盤67上之複數枚之板狀之工件49經由壓出部件90而被壓入工件傳送方向(箭頭)。藉此,使各工件49沿著供給托盤67之導引台74上之底部導引面741及側部導引面792,以相互平行之狀態沿工件傳送方向移動。此工件49係向配置在工件切斷位置中之上方及下方之加工用輥輪45間之沿上下方向拉伸之線47移動,藉由線47從工件傳送方向的前端被切斷加工成片狀。在切斷之前,依據工件49之厚度、枚數、切斷厚度、供給托盤67上之配置間隔等之諸多條件,藉由具有對應的適切寬度、個數、環狀溝46之間距的輥輪部件53來構成加工用輥輪45。
藉此,被線47切斷之工件49係在如圖6及圖22~圖24所示之工件接收部93之接收托盤100上以傳送姿勢維持於立起狀態。而且,在此狀態下切斷完成之工件49被留置在加工用輥輪45周圍之線47之周圍區域的內側。之後,如圖4所示,裝置框架31之前部開口34之右側部被開啟。此狀態下,藉由缸101使接收托盤100朝前方移動,使切斷完成之工件49自線47之周圍區域之內側沿著加工用輥輪45之軸線方向朝外側移動,而被搬到搬出平台97上。而且,此切斷完成之工件49搬送至後續製程。於此後續製程中,藉由溫水等使耗材76之接著劑被溶解,而自工件49除去耗材76。
因此,若依此實施形態,可獲得以下所示之效果。
(1)此線鋸中,係設置有供給托盤67,其將工件49於立起狀態,以朝加工用輥輪45之間之線47沿著工件傳送方向傳送移動之方式予以導引。接收托盤100係設置在比工件切斷位置位於工件傳送方向中之更下游側之工件接收位置,用以接收維持於立起狀態之被切斷之工件49。
因此,工件49係藉由供給托盤67,朝加工用輥輪45間之 線47以立起狀態傳送移動,藉由線47於工件傳送方向前端被切斷加工。被切斷之工件49係於工件傳送方向中之線47之下游側之工件接收位置,維持於立起狀態藉由接收托盤100來接收。因此,工件49不用固定於傳送裝置,而可以朝加工用輥輪45間之線47傳送移動,對於傳送裝置之移動體,可不需要工件49之固定作業。又,由於切斷後之工件49不必朝向與加工傳送方向反方向以返回之方式移動,可防止切斷後之工件49與線47接觸而損傷,並可防止切斷後之工件49被折斷。
(2)藉由使用在四角形之頂點位置處配置的4根加工用輥輪45,可降低裝置基底32上之加工部的高度,而可降低線鋸之整體高度。
(3)由於設有分別直接旋轉驅動4根加工用輥輪45的4個馬達48,加工用輥輪45間之線47之整體之張力可維持均等。因此,可提高加工精度,並可降低線47被弄斷的可能性。
(4)設置彼此面對面之一對框架42、43,加工用輥輪45係支撐在框架42及43之間,在各加工用輥輪45附近,該框架42、43之間係架設有與加工用輥輪45之軸線平行延伸之補強用的架設材44。因此,可提升加工用輥輪45之支持剛性,並可提升加工精度。
(5)工件切斷位置中之下側之加工用輥輪45(圖6之左側上方之加工用輥輪)係比上側之加工用輥輪45(圖6之左側下方之加工用輥輪)配置在工件傳送方向中之更下游側。藉此,工件切斷位置中之一對加工用輥輪45之間之線47,相對於垂直線,係以愈下方愈遠離工件49之方式傾斜。因此,由於工件49所致之切斷負荷係相對於線47呈傾斜之方式作用,故可降低線47被弄斷之可能性。又,因工件切斷所產生之碎屑係以遠離線47之方式落下,故可有效地提升加工效率及加工精度。
(6)加工用輥輪45係沿著其軸線方向,以可拆式堆疊的複數個輥輪部件53所構成。因此,可替換寬度不同之輥輪部件53和環狀溝46之數量不同之輥輪部件53,而可對應工件49之厚度或疊層枚數的變化等。又,當任一輥輪部件53損傷時,只需更換該損傷的輥輪部件53,而不必更換所有的加工用輥輪45。
(7)該複數個加工用輥輪45中,自1個加工用輥輪45 之輥輪部件53起,至該輥輪部件53相鄰之輥輪部件53所對應之其他加工用輥輪45之輥輪部件53為止,設有用以導引線47的導引輥輪57,該等導引輥輪57係可沿著加工用輥輪45之軸線方向移動(圖16)。因此,在加工用輥輪45之位置中,可依輥輪部件53之寬度和所使用之輥輪部件53之數量而設定線47的行走路徑。
(8)該導引輥輪57之旋轉軸線之傾斜角度係可相對於加工用輥輪45之軸線方向而調節。藉此,可任意設定該線47之行走路徑。因此,可防止加工用輥輪45和導引輥輪57之異常磨耗。
(9)導引未加工工件之工件導引部,係以裝置基底32上之可拆式供給托盤67所構成。又,用以接收加工完成之工件的工件接收部係可藉由輥輪輸送機96自線鋸進行進出,並係以對該輥輪輸送機96為可拆式之接收托盤100構成。因此,可將工件49在線鋸外搭載於供給托盤67上,並可將該供給托盤67搬入線鋸內。又,可將加工完成之工件49連同接收托盤100搬出線鋸之外。因此,可容易地將工件49朝線鋸內搬入及自線鋸搬出,且可不損傷工件49地來進行。
(10)該供給托盤67具有用以使工件49可滑動地導引之軌道狀之底部導引面741。因此,可使工件49沿著供給托盤67之底部導引面741朝傳送方向正確地滑動,且可使工件49被正確切成均等的厚度。
(11)藉由將該供給托盤67之導引塊79替換成不同厚度者,可調節工件導引間隔之寬度。因此,係可容易地對應所傳送移動之工件49的厚度和疊層枚數的變化,因而,可對應處理工件49之種類和切斷加工枚數之變更等之各種的加工態樣。
(12)該工件接收部93係具有使工件49維持立起狀態用之接收托盤100。因此,被線47切斷之工件49係可逕由工件切斷位置傳送出去,而可防止切斷之工件49的損傷。
(13)係設有缸101,其作為用以將該接收托盤100自工件接收位置沿著加工用輥輪45之軸線方向,朝外側位置移動之搬出部材使用。因此,工件49切斷後,可將支撐有工件49之工件接收部93自工件接收位置,沿著加工用輥輪45之軸線方向朝外側位置移動。因此,切斷完成 之工件49係不會干涉加工用輥輪45之間之線47,可以自線47之周圍區域之內側,朝外側傳送出去,可容易地搬送至下一個製程。
(14)該供給托盤67及接收托盤100係在工件傳送方向中,分別配置在工件切斷位置之上游側及下游側。因此,工件49係自供給托盤67上經過工件切斷位置而可順利地傳送至接收托盤100上,並可降低線鋸之加工區域的位置。
(15)該供給托盤67係可裝卸自如地設有將工件49之工件傳送方向前端的位置予以規制用之工件規制部材77。因此,例如,供給托盤67以起重機懸掛時,可防止工件49自托盤67上滑落。又,可定位工件49之傳送開始位置。
(16)該供給托盤67上之工件49係自該工件傳送方向後端,藉由壓出部件90等之壓出裝置沿著工件傳送方向按壓,並朝向線47傳送。因此,可同時壓出全部的工件49,可獲得很高的作業效率。
(17)線鋸之裝置蓋33設有前部開口34,由於前部開口34係於供給托盤67之上方及前方處連續開啟,不會阻礙而可容易地進行供給托盤67之搬入及搬出。
(18)藉此線鋸中之工件加工方法,工件49係朝工件切斷位置中之加工用輥輪45間之線47以彼此平行之立起狀態移動。工件49係經由該線47切斷,維持於立起狀態而被留置於線47之周圍區域的內側。之後,工件49係自該線47之周圍區域之內側,沿著加工用輥輪45之軸線方向朝外側位置移動。
因此,切斷完成之工件49係不被加工用輥輪45之間之線47干涉,自線47之周圍區域之內側朝外側傳送出去,可防止切斷完成之工件49因接觸到線47而發生損傷。
(19)工件49之傳送方向後端位置係連接至耗材76。而且,該耗材76係藉由壓出部件90壓出並使工件49朝線47之方向傳送移動。因此,藉由切斷進行至耗材76之位置為止,可遍及其全長地切斷工件49。又,藉由切斷終止於耗材76之位置,可防止壓出部件90被線47所損傷。
【變化例】
本實施形態係可有以下之變更而具體化。
‧加工用輥輪45之根數為2根、3根或亦可為5根以上。
‧工件49亦可以通過工件傳送方向中之上游側中之上方及下方所配置之一對加工用輥輪45之間之線47,與下游側中之上方及下方所配置之一對加工用輥輪45之間之線47之方式來構成。此狀況下,接收托盤100係設於加工用輥輪45之間之線47之周圍區域的外側,在線47之周圍區域之內側,設有用以在供給托盤67與接收托盤100之間導引工件49之傳送的導引路徑。
‧裝置蓋33之前側的上部亦可以僅開啟供給托盤67之上方之方式構成。
‧取代加工用輥輪45以馬達48直接驅動之構成,加工用輥輪45亦可經由馬達所驅動之鏈來旋轉之方式構成。
‧4根加工用輥輪45中,僅有左側(工件切斷位置)之2根加工用輥輪45以馬達直接驅動,其他的加工用輥輪45係跟隨線47之繞行而從動旋轉之方式構成者亦可。或者,4根加工用輥輪45中,包含左側之2根加工用輥輪45在內3根加工用輥輪45以馬達直接驅動,其他的加工用輥輪45係跟隨線47之繞行而從動旋轉之方式構成者亦可。
31‧‧‧裝置框架
32‧‧‧裝置基底
33‧‧‧裝置蓋
41‧‧‧支架
45‧‧‧加工用輥輪
47‧‧‧線
49‧‧‧工件
67‧‧‧供給托盤
68‧‧‧支持平台
74‧‧‧導引台
75‧‧‧工件導引部材
76‧‧‧耗材
87‧‧‧滾珠螺桿
88‧‧‧馬達
89‧‧‧移動部材
90‧‧‧壓出部件
91‧‧‧可撓性蓋
93‧‧‧工件接收部
94‧‧‧支持平台
100‧‧‧接收托盤
103‧‧‧保持板
104‧‧‧保持片
891‧‧‧螺母部

Claims (21)

  1. 一種線鋸,在複數個加工用輥輪之間捲線,並藉由該加工用輥輪之旋轉使該線在該加工用輥輪之周圍環繞移動,而在工件切斷位置處,藉由該線來切斷板狀工件,其特徵在於包含:一工件導引部,導引該工件以立起狀態,朝向該工件切斷位置之線,沿著工件傳送方向移動;以及一工件接收部,在該工件傳送方向中,配置於比該工件導引部更設定於下游側之工件接收位置,並用以將被該線切斷的工件,在維持該立起狀態下將其接收,該複數個加工用輥輪中之二個加工用輥輪,分別配置在該工件切斷位置之上方及下方,該工件傳送方向係沿著水平方向朝該工件切斷位置之方式配置,沿著該工件傳送方向,該下方之加工用輥輪係配置於比該上方之加工用輥輪更下游側的位置。
  2. 如請求項1所記載之線鋸,其特徵在於,該複數個加工用輥輪係由在四角形之頂點位置處分別配置之四根加工用輥輪所構成。
  3. 如請求項2所記載之線鋸,其特徵在於,該複數個加工用輥輪中之二個加工用輥輪係配置在該工件切斷位置處,該線鋸係具有分別直接驅動該二個加工用輥輪的二個馬達。
  4. 如請求項2或3所記載之線鋸,其特徵在於,該線鋸係具有彼此面對面 之一對框架,該加工用輥輪被支撐在框架之間,各加工用輥輪附近的該框架之間,相對該加工用輥輪之軸線,係架設有平行延伸之補強材。
  5. 如請求項1或2所記載之線鋸,其特徵在於,加工用輥輪係沿其軸線方向,由可拆式而堆疊的複數個輥輪部件所構成。
  6. 如請求項5所記載之線鋸,其特徵在於,該線鋸係包含一導引輥輪,用以將該線由該複數個輥輪部件中之一個輥輪部件導引到其他輥輪部件,該導引輥輪係可沿著加工用輥輪之軸線方向而移動。
  7. 如請求項6所記載之線鋸,其特徵在於,相對於該加工用輥輪之軸線方向,該導引輥輪之旋轉軸線之傾斜角度係可調整。
  8. 如請求項2或3所記載之線鋸,其特徵在於,該複數個加工用輥輪中之二個加工用輥輪,分別配置在該工件切斷位置之上方及下方,該工件傳送方向係沿著水平方向朝該工件切斷位置之方式配置,該工件導引部及該工件接收部,沿著該工件傳送方向,是分別配置在該工件切斷位置之上游側及下游側。
  9. 如請求項1或2所記載之線鋸,其特徵在於,該工件導引部係抵接工件之一側面而使工件處在立起狀態,該工件導引部並具有控制工件之導引方向之側部導引面,以及工件導引部材,該工件導引部材相對於該側部導引 面彈性地按壓該工件。
  10. 如請求項9所記載之線鋸,其特徵在於,該側部導引面以及與該側部導引面鄰接之該工件導引部材之間的間隔係可調整的。
  11. 如請求項1或2所記載之線鋸,其特徵在於,該工件導引部係具有一規制部材,可在該工件之工件傳送方向前端規範該工件之移動的規制位置與自該處退避之退避位置之間移動。
  12. 如請求項1或2所記載之線鋸,其特徵在於,該線鋸係具有一裝置基底,該工件導引部係在該裝置基底上藉由可拆式托盤所構成。
  13. 如請求項12所記載之線鋸,其特徵在於,具有一壓出裝置,將該托盤上之工件朝向該工件傳送方向而壓出。
  14. 如請求項13所記載之線鋸,其特徵在於,該壓出裝置係具有一可接觸該工件之工件傳送方向後端之壓出部件,利用該壓出部件而壓出工件。
  15. 如請求項12所記載之線鋸,其特徵在於,該托盤係具有一滑落防止部材,可在當該托盤傾斜時防止該工件自該托盤滑落的滑落防止位置與自該處退避之退避位置之間移動。
  16. 如請求項1或2所記載之線鋸,其特徵在於,係具有一搬出部材,用以將該工件接收部自該工件接收位置,沿著該加工用輥輪之軸線方向,朝外側位置搬出。
  17. 如請求項1或2所記載之線鋸,其特徵在於,該線鋸係具有一裝置蓋,覆蓋該工件導引部與該工件接收部,該裝置蓋係具有開啟部,在該工件導引部及該工件接收部之前方處開啟,且至少在該工件導引部之上方開啟;以及可選擇性開啟及關閉該開啟部的門片。
  18. 一種線鋸工件加工方法,在複數個加工用輥輪之間捲線,並藉由該加工用輥輪之旋轉使該線在該加工用輥輪之周圍環繞移動,而在工件切斷位置處,藉由該線來切斷板狀工件,其特徵在於:使該工件以立起狀態朝著該工件切斷位置之線,沿工件傳送方向移動,藉由該線切斷該工件,使被切斷之工件維持該立起狀態留置於該線環繞移動之周圍區域內側後,而自該線之周圍區域內側,沿著該加工用輥輪之軸線方向,朝外側位置搬出。
  19. 如請求項18所記載之線鋸工件加工方法,其特徵在於,該工件之工件傳送方向後端接著一耗材,按壓該耗材可使該工件沿該工件傳送方向而移動。
  20. 一種線鋸,包含利用線來切斷工件之加工部、對該加工部供給工件之工件導引部、以及覆蓋該加工部及該工件導引部之裝置蓋,該加工部與該工件導引部係橫向並排,其特徵在於,該裝置蓋具有在該加工部及該工件導引部之前方開啟之開啟部,及可選擇性開啟及關閉該開啟部之門片。
  21. 如請求項20所記載之線鋸,其特徵在於,該線鋸係具有捲收該加工部之線之複數個加工用輥輪,以及分別單獨驅動該複數個加工用輥輪之複數個馬達,藉由該馬達使該加工用輥輪旋轉,使該線環繞移動,藉由該線來切斷該工件。
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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5996308B2 (ja) * 2012-07-10 2016-09-21 コマツNtc株式会社 ワイヤソー
CN104227851B (zh) * 2014-09-23 2016-04-13 厦门银华建材机械设备有限公司 双股数控金刚石串珠绳锯
CN105216128B (zh) * 2015-09-30 2017-07-28 上海日进机床有限公司 应用于硅锭开方的多线切割设备
CN107097362B (zh) * 2016-02-19 2020-04-17 友达晶材股份有限公司 晶圆切片机及其轮组结构与晶圆切片的方法
DE102016108449A1 (de) * 2016-05-06 2017-11-09 Bleichert Automation Gmbh & Co. Kg Transfervorrichtung zum Transfer von Stückgütern
JP6898116B2 (ja) * 2017-03-09 2021-07-07 コマツNtc株式会社 ワイヤソー
CN109571218A (zh) * 2018-12-21 2019-04-05 西安奕斯伟硅片技术有限公司 研磨剂喷淋控制结构、工件切割系统及喷淋方法
CN115041331A (zh) * 2022-07-28 2022-09-13 武汉圣普太阳能科技有限公司 一种反射镜喷漆升降梭车结构

Family Cites Families (51)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4436078A (en) * 1972-09-04 1984-03-13 Bourke Patrick T Apparatus for cutting stone panels
US4699564A (en) * 1986-06-20 1987-10-13 Cetrangolo D L Stone turning apparatus with swing transfer
DE3804873A1 (de) * 1988-02-17 1989-08-31 Mueller Georg Nuernberg Verfahren und vorrichtung zum zerteilen von halbleiter-barren in halbleiter-ronden mit zumindest einer planen oberflaeche
US5056272A (en) * 1990-07-16 1991-10-15 Battaglia Gino C Method and apparatus for reducing thickness of stone slabs
JP2607992B2 (ja) * 1991-07-18 1997-05-07 憲一 石川 硬質脆性材料の加工装置
US5243960A (en) * 1991-12-31 1993-09-14 Stone Panels, Inc. Apparatus for cutting stone laminate panels
US6067976A (en) * 1994-01-10 2000-05-30 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Wafer cut method with wire saw apparatus and apparatus thereof
JPH07308917A (ja) 1994-05-16 1995-11-28 M Setetsuku Kk ワイヤソー装置
US5950643A (en) * 1995-09-06 1999-09-14 Miyazaki; Takeshiro Wafer processing system
JPH09123162A (ja) * 1995-10-27 1997-05-13 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソーのワーク保持装置
JPH10321564A (ja) * 1997-05-20 1998-12-04 Tokyo Seimitsu Co Ltd ウェーハ回収装置
US6279564B1 (en) * 1997-07-07 2001-08-28 John B. Hodsden Rocking apparatus and method for slicing a workpiece utilizing a diamond impregnated wire
DE19729578B4 (de) * 1997-07-10 2004-12-09 Siltronic Ag Drahtsäge und Verfahren, bei denen die Drahtsäge eingesetzt wird
JPH11129152A (ja) * 1997-10-28 1999-05-18 Tokyo Seimitsu Co Ltd 固定砥粒付エンドレスワイヤソー
JPH11165250A (ja) 1997-12-08 1999-06-22 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JPH11179644A (ja) * 1997-12-16 1999-07-06 Tokyo Seimitsu Co Ltd ワイヤソー
JPH11188601A (ja) 1997-12-26 1999-07-13 Tokyo Seiko Co Ltd ワイヤ式切断加工装置における切断用ワイヤへの加工液供給装置
JPH11188600A (ja) * 1997-12-26 1999-07-13 Nippei Toyama Corp ワイヤソー及びワーク搬入出方法
US6139591A (en) * 1998-03-04 2000-10-31 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Wafer separating and cleaning apparatus and process
JP3256503B2 (ja) * 1998-11-05 2002-02-12 日本碍子株式会社 セラミック生素地製品の切断装置
JP2000271848A (ja) * 1999-03-25 2000-10-03 Nippei Toyama Corp ワイヤソーにおけるワークの加工方法
JP2000326324A (ja) * 1999-05-18 2000-11-28 Kashiwara Machine Mfg Co Ltd ワイヤソーによる切断方法
DE19956900B4 (de) * 1999-11-26 2005-09-08 Stama Maschinenfabrik Gmbh Werkzeugmaschine mit Faltenbalg-Dachabdeckung
US6941940B1 (en) * 2000-05-31 2005-09-13 Memc Electronic Materials, S.P.A. Wire saw and process for slicing multiple semiconductor ingots
JP2002264003A (ja) 2001-03-13 2002-09-18 Nippei Toyama Corp ワイヤソーの加工用ローラ及びワイヤソー
DE10141404A1 (de) * 2001-08-23 2003-03-13 Keuro Besitz Gmbh & Co Bandsäge
US6945242B2 (en) 2001-10-17 2005-09-20 Neomax Co., Ltd. Cutting method using wire saw, wire saw device, and method of manufacturing rare-earth magnet
US20030145844A1 (en) * 2002-02-01 2003-08-07 Wacker-Chemie Gmbh Multiwire saw with improved bearing
JP3887574B2 (ja) 2002-03-22 2007-02-28 トーヨーエイテック株式会社 ワイヤソーからのワーク引抜き方法
US6877502B2 (en) * 2003-06-06 2005-04-12 Sean Register Multi-blade concrete cutting saw
JP4148057B2 (ja) * 2003-07-22 2008-09-10 株式会社ジェイテクト 研削盤
US20050087181A1 (en) * 2003-09-29 2005-04-28 Wille Steven L. Method and apparatus of cutting crystalline material
WO2005039824A1 (ja) * 2003-10-27 2005-05-06 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha マルチワイヤソー
JP4397320B2 (ja) * 2003-11-13 2010-01-13 日本碍子株式会社 ワイヤーソー加工装置、及びワイヤーソー加工方法
JP4899062B2 (ja) * 2004-06-03 2012-03-21 エルリコン ソーラー アクチェンゲゼルシャフト,トリューブバハ 工作物を収容するテーブル及びそのテーブル上で工作物を処理する方法
JP2006082173A (ja) * 2004-09-15 2006-03-30 Sumitomo Electric Ind Ltd ワーク支持用治具およびワイヤーソーを用いるワーク切断方法
JP4951914B2 (ja) * 2005-09-28 2012-06-13 信越半導体株式会社 (110)シリコンウエーハの製造方法
US7503831B2 (en) * 2006-04-26 2009-03-17 Siemens Medical Solutions Usa, Inc. System and method for cutting soluble scintillator material
US8028686B2 (en) * 2007-11-21 2011-10-04 Rocksmart, Llc Thin veneer stone saw
US7909028B2 (en) * 2007-12-10 2011-03-22 Sierra Granite Holdings Llc Inlaid stone composite
ITTO20080385A1 (it) * 2008-05-22 2009-11-23 Co Fi Plast Srl Segatrice a piu' utensili a filo per il taglio di materiale in blocchi
JP2010023225A (ja) * 2008-06-20 2010-02-04 Komatsu Ntc Ltd ワイヤソー
JP4684323B2 (ja) * 2008-09-11 2011-05-18 コマツNtc株式会社 ワイヤソーおよびワーク加工方法
US8065995B2 (en) * 2008-11-25 2011-11-29 Cambridge Energy Resources Inc Method and apparatus for cutting and cleaning wafers in a wire saw
JP4825867B2 (ja) 2008-12-25 2011-11-30 コマツNtc株式会社 ワイヤソーシステム
JP4355029B1 (ja) * 2009-04-24 2009-10-28 Tdk株式会社 ワーク切断装置およびワーク切断方法
JP5470593B2 (ja) * 2010-01-14 2014-04-16 株式会社タカトリ ワイヤソーの断線検出装置
JP5443243B2 (ja) 2010-03-31 2014-03-19 トーヨーエイテック株式会社 ワイヤソー
US20130121802A1 (en) * 2011-11-14 2013-05-16 Memc Electronic Materials, Inc. Wafer Transport Cart
US9312066B2 (en) * 2012-01-09 2016-04-12 Apple Inc. Magnetic shape optimization
JP5996308B2 (ja) * 2012-07-10 2016-09-21 コマツNtc株式会社 ワイヤソー

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