JPH11165250A - ワイヤソー - Google Patents
ワイヤソーInfo
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- JPH11165250A JPH11165250A JP9337312A JP33731297A JPH11165250A JP H11165250 A JPH11165250 A JP H11165250A JP 9337312 A JP9337312 A JP 9337312A JP 33731297 A JP33731297 A JP 33731297A JP H11165250 A JPH11165250 A JP H11165250A
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- Japan
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- work
- ingot
- wire
- opening
- wire saw
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0046—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of devices for feeding, conveying or clamping work
Abstract
(57)【要約】
【課題】複数台のワイヤソーを並設した場合において、
インゴットの交換作業を狭いスペースでも効率良く行う
ことができるワイヤソーを提供する。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０の溝付きローラ
１８が設置された加工室１７を覆うカバー３４の上面
に、インゴット３０の搬入搬出用の開口部３６を形成
し、この開口部３６を介してインゴット３０の交換作業
をカバー３４の上方から行うようにした。したがって、
本発明によれば、ワイヤソー１０、１０の設置間隔を狭
くしても、隣接するワイヤソー１０、１０でインゴット
３０の交換作業を同時に行うことができる。よって、ワ
イヤソー１０、１０の設置間隔が狭くても、インゴット
３０の交換作業を効率良く行うことができる。
インゴットの交換作業を狭いスペースでも効率良く行う
ことができるワイヤソーを提供する。 【解決手段】本発明は、ワイヤソー１０の溝付きローラ
１８が設置された加工室１７を覆うカバー３４の上面
に、インゴット３０の搬入搬出用の開口部３６を形成
し、この開口部３６を介してインゴット３０の交換作業
をカバー３４の上方から行うようにした。したがって、
本発明によれば、ワイヤソー１０、１０の設置間隔を狭
くしても、隣接するワイヤソー１０、１０でインゴット
３０の交換作業を同時に行うことができる。よって、ワ
イヤソー１０、１０の設置間隔が狭くても、インゴット
３０の交換作業を効率良く行うことができる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーに係り、
特にシリコン、ガラス、セラミック等の脆性材料（ワー
ク）を多数のウェーハに切断するワイヤソーに関する。
特にシリコン、ガラス、セラミック等の脆性材料（ワー
ク）を多数のウェーハに切断するワイヤソーに関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコンインゴットをウェーハに切断す
るワイヤソーは、ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛け
て溝付ローラ間にワイヤ列を形成し、その走行するワイ
ヤ列に前記インゴットを押し付けることにより、一度の
切断動作で多数枚のウェーハに切断することができる。
このようなワイヤソーは、溝付ローラが設置された加工
室を覆うカバーの側面にインゴットの搬入搬出用の開口
部が形成されており、また、この開口部を開閉する蓋が
前記カバーに設けられている。
るワイヤソーは、ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛け
て溝付ローラ間にワイヤ列を形成し、その走行するワイ
ヤ列に前記インゴットを押し付けることにより、一度の
切断動作で多数枚のウェーハに切断することができる。
このようなワイヤソーは、溝付ローラが設置された加工
室を覆うカバーの側面にインゴットの搬入搬出用の開口
部が形成されており、また、この開口部を開閉する蓋が
前記カバーに設けられている。
【０００３】図６は、前記従来のワイヤソーＡ〜Ｆを工
場１内に縦２列、横３列に設置した状態を示す平面図で
ある。同図のように設置すると、図上二点鎖線Ｇで囲ま
れたスペースを利用してＮｏ．１のワイヤソーＡとＮ
ｏ．４のワイヤソーＤのインゴット交換作業が行われ、
二点鎖線Ｈで囲まれたスペースで、Ｎｏ．２のワイヤソ
ーＢとＮｏ．５のワイヤソーＥのインゴット交換作業が
行われる。そして、二点鎖線Ｉで囲まれたスペースで、
Ｎｏ．３のワイヤソーＣとＮｏ．６のワイヤソーＦのイ
ンゴット交換作業が行われる。
場１内に縦２列、横３列に設置した状態を示す平面図で
ある。同図のように設置すると、図上二点鎖線Ｇで囲ま
れたスペースを利用してＮｏ．１のワイヤソーＡとＮ
ｏ．４のワイヤソーＤのインゴット交換作業が行われ、
二点鎖線Ｈで囲まれたスペースで、Ｎｏ．２のワイヤソ
ーＢとＮｏ．５のワイヤソーＥのインゴット交換作業が
行われる。そして、二点鎖線Ｉで囲まれたスペースで、
Ｎｏ．３のワイヤソーＣとＮｏ．６のワイヤソーＦのイ
ンゴット交換作業が行われる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤソーは、インゴットの搬入搬出用開口部がカバー
の側面に形成されているため、例えばＮｏ．１のワイヤ
ソーＡでインゴット交換作業を行っている場合には、Ｎ
ｏ．４のワイヤソー４ではインゴット交換作業を行うこ
とができず、効率が悪いという欠点がある。
ワイヤソーは、インゴットの搬入搬出用開口部がカバー
の側面に形成されているため、例えばＮｏ．１のワイヤ
ソーＡでインゴット交換作業を行っている場合には、Ｎ
ｏ．４のワイヤソー４ではインゴット交換作業を行うこ
とができず、効率が悪いという欠点がある。
【０００５】このような不具合は、交換作業用スペース
Ｇ〜Ｉを広くすれば解消できるが、前記スペースＧ〜Ｉ
を広くするためには、工場１の敷地を広くしなければな
らないという欠点がある。本発明はこのような事情に鑑
みてなされたもので、ワイヤソーを複数台並設した場合
においてワーク交換作業を狭いスペースでも効率良く行
うことができるワイヤソーを提供することを目的とす
る。
Ｇ〜Ｉを広くすれば解消できるが、前記スペースＧ〜Ｉ
を広くするためには、工場１の敷地を広くしなければな
らないという欠点がある。本発明はこのような事情に鑑
みてなされたもので、ワイヤソーを複数台並設した場合
においてワーク交換作業を狭いスペースでも効率良く行
うことができるワイヤソーを提供することを目的とす
る。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させることにより
走行する前記ワイヤ列にワークを押し付けて多数のウェ
ーハに切断するワイヤソーにおいて、前記複数の溝付ロ
ーラが設置された加工室を覆うカバーの上面にワーク搬
入搬出用の開口部を形成すると共に、該開口部を開閉す
る蓋を設けたことを特徴とする。
成するために、ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させることにより
走行する前記ワイヤ列にワークを押し付けて多数のウェ
ーハに切断するワイヤソーにおいて、前記複数の溝付ロ
ーラが設置された加工室を覆うカバーの上面にワーク搬
入搬出用の開口部を形成すると共に、該開口部を開閉す
る蓋を設けたことを特徴とする。
【０００７】請求項１記載の発明によれば、加工室を覆
うカバーの上面にワーク搬入搬出用の開口部を形成した
ので、ワークの交換作業をカバーの上方から行うことが
できる。したがって、本発明によれば、ワイヤソーの設
置間隔を狭くしても、隣接するワイヤソーでワークの交
換作業を同時に行うことができるので、ワーク交換作業
を狭いスペースでも効率良く行うことができる。
うカバーの上面にワーク搬入搬出用の開口部を形成した
ので、ワークの交換作業をカバーの上方から行うことが
できる。したがって、本発明によれば、ワイヤソーの設
置間隔を狭くしても、隣接するワイヤソーでワークの交
換作業を同時に行うことができるので、ワーク交換作業
を狭いスペースでも効率良く行うことができる。
【０００８】請求項２記載の発明によれば、カバーの開
口部から搬入されてきたワークは、まず、そのワークブ
ロックがワークフィードテーブルの載置部に載置され、
その後に、ワークブロックがクランプ手段によって載置
部との間で挟持されることにより、ワークフィードテー
ブルに固定される。固定されたワークは、ワークフィー
ドテーブルの送り移動によってワイヤ列に押し付けられ
て多数枚のウェーハに切断される。このように、ワーク
フィードテーブルに載置部とクランプ手段とを設けれ
ば、ワークをワークフィードテーブルに容易に固定する
ことができる。なお、クランプ手段による挟持を解除し
た後、ワークの搬入動作と逆の動作を行えば、切断後の
ワークをワイヤソーから搬出することができる。
口部から搬入されてきたワークは、まず、そのワークブ
ロックがワークフィードテーブルの載置部に載置され、
その後に、ワークブロックがクランプ手段によって載置
部との間で挟持されることにより、ワークフィードテー
ブルに固定される。固定されたワークは、ワークフィー
ドテーブルの送り移動によってワイヤ列に押し付けられ
て多数枚のウェーハに切断される。このように、ワーク
フィードテーブルに載置部とクランプ手段とを設けれ
ば、ワークをワークフィードテーブルに容易に固定する
ことができる。なお、クランプ手段による挟持を解除し
た後、ワークの搬入動作と逆の動作を行えば、切断後の
ワークをワイヤソーから搬出することができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って、本発明に
係るワイヤソーの実施の形態について詳説する。図１
は、本発明の実施の形態に係るワイヤソーの一部破断部
を含む全体構造図である。同図に示すワイヤソー１０
は、本体１１内にワイヤリール１２が設置されている。
このワイヤリール１２には、所定長さのワイヤ１４が巻
回されており、このワイヤ１４は、ガイドローラ１６、
１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って加工室１７
に導かれ、ここで３本の溝付きローラ１８、１８、１８
に巻き掛けられることにより、上部２つの溝付ローラ１
８、１８間に水平なワイヤ列２０が形成される。ワイヤ
列２０を形成したワイヤ１４は、前記加工室１７を挟ん
で左右対称に形成されている他方側のワイヤ走行路を通
って図示しないワイヤリールに巻き取られる。
係るワイヤソーの実施の形態について詳説する。図１
は、本発明の実施の形態に係るワイヤソーの一部破断部
を含む全体構造図である。同図に示すワイヤソー１０
は、本体１１内にワイヤリール１２が設置されている。
このワイヤリール１２には、所定長さのワイヤ１４が巻
回されており、このワイヤ１４は、ガイドローラ１６、
１６、…で形成されるワイヤ走行路を通って加工室１７
に導かれ、ここで３本の溝付きローラ１８、１８、１８
に巻き掛けられることにより、上部２つの溝付ローラ１
８、１８間に水平なワイヤ列２０が形成される。ワイヤ
列２０を形成したワイヤ１４は、前記加工室１７を挟ん
で左右対称に形成されている他方側のワイヤ走行路を通
って図示しないワイヤリールに巻き取られる。
【００１０】前記加工室１７の両側に形成されるワイヤ
走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、及びダンサ
ローラ２４等が配設されており（一方側のみ図示）、前
記ワイヤ案内装置２２によってワイヤ１４は、ワイヤリ
ール１２から一定ピッチでガイドされて送り出される。
また、送り出されたワイヤ１４は、走行中に前記ダンサ
ローラ２４によって一定の張力が付与され、これによっ
て、ワイヤ列２０を形成する各ワイヤ１４に切断抵抗に
対抗する張力が付与される。
走行路には、それぞれワイヤ案内装置２２、及びダンサ
ローラ２４等が配設されており（一方側のみ図示）、前
記ワイヤ案内装置２２によってワイヤ１４は、ワイヤリ
ール１２から一定ピッチでガイドされて送り出される。
また、送り出されたワイヤ１４は、走行中に前記ダンサ
ローラ２４によって一定の張力が付与され、これによっ
て、ワイヤ列２０を形成する各ワイヤ１４に切断抵抗に
対抗する張力が付与される。
【００１１】前記一対のワイヤリール１２及び３本のう
ち１本の溝付ローラ１８には、それぞれモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、これらのモ
ータを駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を
高速走行する。前記溝付ローラ１８の上方には、該ワイ
ヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテ
ーブル２８が設置され、インゴット３０は、ワークフィ
ードテーブル２８に固定されている。このワークフィー
ドテーブル２８については後述する。
ち１本の溝付ローラ１８には、それぞれモータ（図示せ
ず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、これらのモ
ータを駆動することにより、前記ワイヤリール１２間を
高速走行する。前記溝付ローラ１８の上方には、該ワイ
ヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィードテ
ーブル２８が設置され、インゴット３０は、ワークフィ
ードテーブル２８に固定されている。このワークフィー
ドテーブル２８については後述する。
【００１２】以上のように構成されたワイヤソー１０に
おいて、インゴット３０は次のように切断される。ま
ず、インゴット３０をワークフィードテーブル２８に固
定した後、ワークフィードテーブル２８をワイヤ列２０
に向けて送り移動させる。そして、そのインゴット３０
を高速走行するワイヤ列２０に押し当てる。この際、前
記ワイヤ列２０には、スラリタンク３２から図示しない
ノズルを介してスラリが供給され、インゴット３０は、
このスラリ中に含有する砥粒のラッピング作用で多数枚
のウェーハに切断される。
おいて、インゴット３０は次のように切断される。ま
ず、インゴット３０をワークフィードテーブル２８に固
定した後、ワークフィードテーブル２８をワイヤ列２０
に向けて送り移動させる。そして、そのインゴット３０
を高速走行するワイヤ列２０に押し当てる。この際、前
記ワイヤ列２０には、スラリタンク３２から図示しない
ノズルを介してスラリが供給され、インゴット３０は、
このスラリ中に含有する砥粒のラッピング作用で多数枚
のウェーハに切断される。
【００１３】ところで図２に示すように、前記ワイヤソ
ー１０の加工室１７を覆うカバー３４の上面３５には、
開口部３６が形成されている。この開口部３６は、外部
から加工室１７へインゴット３０を搬入することがで
き、且つ、加工室１７から外部にインゴット３０を搬出
することができる大きさに形成されている。また、前記
開口部３６には、開口部３６を開閉する蓋３８が設けら
れている。この蓋３８は、開口部３６の縁部に形成され
たレール４０、４０に沿ってスライド移動自在に設けら
れると共に、本体１１上に搭載されたシリンダ装置４２
のロッド４４の先端にピンジョイント４６を介して連結
されている。前記シリンダ装置４２は、蓋３８を開閉す
る方向に設けられている。したがって、前記開口部３６
は、シリンダ装置４２のロッド４６を伸長することによ
って蓋３８で閉じられ、ロッド４６を収縮させることに
よって開放される。
ー１０の加工室１７を覆うカバー３４の上面３５には、
開口部３６が形成されている。この開口部３６は、外部
から加工室１７へインゴット３０を搬入することがで
き、且つ、加工室１７から外部にインゴット３０を搬出
することができる大きさに形成されている。また、前記
開口部３６には、開口部３６を開閉する蓋３８が設けら
れている。この蓋３８は、開口部３６の縁部に形成され
たレール４０、４０に沿ってスライド移動自在に設けら
れると共に、本体１１上に搭載されたシリンダ装置４２
のロッド４４の先端にピンジョイント４６を介して連結
されている。前記シリンダ装置４２は、蓋３８を開閉す
る方向に設けられている。したがって、前記開口部３６
は、シリンダ装置４２のロッド４６を伸長することによ
って蓋３８で閉じられ、ロッド４６を収縮させることに
よって開放される。
【００１４】図３は、インゴット３０の搬入搬出装置５
０の実施例を示す斜視図である。同図に示す搬入搬出装
置５０は、レール５２と搬送ヘッド装置５４とから構成
される。前記レール５２は、工場等の建屋の天井面に沿
って配設されると共に、並設された複数台のワイヤソー
１０、１０…（図３では２台のワイヤソー１０、１０の
み図示）の上方で、且つ前記開口部３６に対向する位置
に配設されている。このレール５２に、前記搬送ヘッド
装置５４がスライド移動自在に設けられている。
０の実施例を示す斜視図である。同図に示す搬入搬出装
置５０は、レール５２と搬送ヘッド装置５４とから構成
される。前記レール５２は、工場等の建屋の天井面に沿
って配設されると共に、並設された複数台のワイヤソー
１０、１０…（図３では２台のワイヤソー１０、１０の
み図示）の上方で、且つ前記開口部３６に対向する位置
に配設されている。このレール５２に、前記搬送ヘッド
装置５４がスライド移動自在に設けられている。
【００１５】搬送ヘッド装置５４は、レール５２にスラ
イド移動自在に係合されたスライダ５６を有し、このス
ライダ５６には走行用モータ５８が設けられている。し
たがって、走行用モータ５８を駆動すると、スライダ５
６がレール５２に沿って走行するので、搬送ヘッド装置
５４をＹ方向の所望の位置に移動させることができる。
イド移動自在に係合されたスライダ５６を有し、このス
ライダ５６には走行用モータ５８が設けられている。し
たがって、走行用モータ５８を駆動すると、スライダ５
６がレール５２に沿って走行するので、搬送ヘッド装置
５４をＹ方向の所望の位置に移動させることができる。
【００１６】前記スライダ５６には、インゴットクラン
プ機構とインゴット送り機構とが搭載されている。前記
インゴットクランプ機構は、一対のクランプアーム６
０、６０とクランプ用モータ６２とから構成される。ク
ランプアーム６０、６０は、ベースプレート６４に図３
上でＹ方向にスライド移動自在に支持され、前記クラン
プ用モータ６２からの駆動力が伝達されることにより、
互いに近づく方向、または互いに離れる方向に移動され
る。また、クランプアーム６０、６０の下部には、イン
ゴット３０のワークブロック３１の端部を挟み込む凹部
６１、６１が形成される。したがって、クランプアーム
６０、６０をクランプ用モータ６２で互いに近づく方向
に駆動し、クランプアーム６０、６０の凹部６１、６１
でワークブロック３１の端部を挟持することにより、イ
ンゴット３０を搬入搬出装置５０に保持させることがで
きる。また、クランプアーム６０、６０をクランプ用モ
ータ６２で互いに離れる方向に駆動すれば、インゴット
３０の保持を解除することができる。
プ機構とインゴット送り機構とが搭載されている。前記
インゴットクランプ機構は、一対のクランプアーム６
０、６０とクランプ用モータ６２とから構成される。ク
ランプアーム６０、６０は、ベースプレート６４に図３
上でＹ方向にスライド移動自在に支持され、前記クラン
プ用モータ６２からの駆動力が伝達されることにより、
互いに近づく方向、または互いに離れる方向に移動され
る。また、クランプアーム６０、６０の下部には、イン
ゴット３０のワークブロック３１の端部を挟み込む凹部
６１、６１が形成される。したがって、クランプアーム
６０、６０をクランプ用モータ６２で互いに近づく方向
に駆動し、クランプアーム６０、６０の凹部６１、６１
でワークブロック３１の端部を挟持することにより、イ
ンゴット３０を搬入搬出装置５０に保持させることがで
きる。また、クランプアーム６０、６０をクランプ用モ
ータ６２で互いに離れる方向に駆動すれば、インゴット
３０の保持を解除することができる。
【００１７】インゴット送り機構は、Ｚ軸ガイド６６と
送り用モータ６８とから構成される。前記Ｚ軸ガイド６
６は、スライダ５６に立設された架台７０に固定されて
おり、このＺ軸ガイド６６に前記ベースプレート６４が
Ｚ軸方向に上下移動自在に係合されている。前記送り用
モータ６８の図示しない出力軸には、ねじ棒７２に連結
されている。このねじ棒７２には、前記ベースプレート
６４のナット部６５が螺合されている。したがって、送
り用モータ６８を正転逆転駆動することにより、インゴ
ット３０をベースプレート６４を介して上下移動させる
ことができる。なお、符号７４はフレキシブルケーブル
であり、このフレキシブルケーブル７４を介して電源装
置（図示せず）から搬入搬出装置５０に電力が供給され
る。
送り用モータ６８とから構成される。前記Ｚ軸ガイド６
６は、スライダ５６に立設された架台７０に固定されて
おり、このＺ軸ガイド６６に前記ベースプレート６４が
Ｚ軸方向に上下移動自在に係合されている。前記送り用
モータ６８の図示しない出力軸には、ねじ棒７２に連結
されている。このねじ棒７２には、前記ベースプレート
６４のナット部６５が螺合されている。したがって、送
り用モータ６８を正転逆転駆動することにより、インゴ
ット３０をベースプレート６４を介して上下移動させる
ことができる。なお、符号７４はフレキシブルケーブル
であり、このフレキシブルケーブル７４を介して電源装
置（図示せず）から搬入搬出装置５０に電力が供給され
る。
【００１８】図４は、ワークフィードテーブル２８にイ
ンゴット３０をセットする状態を示す説明図であり、図
５はワークフィードテーブル２８にインゴット３０を固
定する状態を示す説明図である。図４に示すインゴット
３０は、同図上では図示していないが、図３に示した搬
入搬出装置５０のクランプアーム６０、６０で挟持され
た状態を示している。インゴット３０は、送り用モータ
６８による下降移動によって、カバー３４の上部開口部
３６から加工室１７に搬入されたのち、図４のワークフ
ィードテーブル２８に載置される。前記ワークフィード
テーブル２８は、その表面にインゴット３０を通過させ
るための矩形状の開口部２９が形成されている。また、
前記開口部２９の両短辺側には凹部（載置部）２９Ａ、
２９Ｂが形成される。この凹部２９Ａにワークブロック
３１の短辺側右端部３１Ａが載置され、もう一方側の凹
部２９Ｂにワークブロック３１の短辺側左端部３１Ｂが
載置される。これによって、インゴット３０がワークフ
ィードテーブル２８にセットされる。なお、符号３３は
スライスベースであり、このスライスベース３３を介し
てインゴット３０がワークブロック３１に取り付けられ
ている。また、前記ワークフィードテーブル２８のナッ
ト部２８Ａには、ねじ送り装置７６のねじ棒７８が螺合
されている。また、ワークフィードテーブル２８は、図
５に示すＺ軸ガイド８２に上下移動自在に支持されてい
る。したがって、ねじ送り装置７６のモータ８０を正転
逆転駆動することにより、ワークフィードテーブル２８
をＺ軸ガイド８２に沿って上下移動させることができ
る。
ンゴット３０をセットする状態を示す説明図であり、図
５はワークフィードテーブル２８にインゴット３０を固
定する状態を示す説明図である。図４に示すインゴット
３０は、同図上では図示していないが、図３に示した搬
入搬出装置５０のクランプアーム６０、６０で挟持され
た状態を示している。インゴット３０は、送り用モータ
６８による下降移動によって、カバー３４の上部開口部
３６から加工室１７に搬入されたのち、図４のワークフ
ィードテーブル２８に載置される。前記ワークフィード
テーブル２８は、その表面にインゴット３０を通過させ
るための矩形状の開口部２９が形成されている。また、
前記開口部２９の両短辺側には凹部（載置部）２９Ａ、
２９Ｂが形成される。この凹部２９Ａにワークブロック
３１の短辺側右端部３１Ａが載置され、もう一方側の凹
部２９Ｂにワークブロック３１の短辺側左端部３１Ｂが
載置される。これによって、インゴット３０がワークフ
ィードテーブル２８にセットされる。なお、符号３３は
スライスベースであり、このスライスベース３３を介し
てインゴット３０がワークブロック３１に取り付けられ
ている。また、前記ワークフィードテーブル２８のナッ
ト部２８Ａには、ねじ送り装置７６のねじ棒７８が螺合
されている。また、ワークフィードテーブル２８は、図
５に示すＺ軸ガイド８２に上下移動自在に支持されてい
る。したがって、ねじ送り装置７６のモータ８０を正転
逆転駆動することにより、ワークフィードテーブル２８
をＺ軸ガイド８２に沿って上下移動させることができ
る。
【００１９】一方、図５に示すように、ワークフィード
テーブル２８上にはインゴット３０のクランプ機構８４
が設けられている。なお、前記クランプ機構８４は、図
１、図４上において説明の都合上省略している。クラン
プ機構８４は、クランプアーム８６とシリンダ装置８８
とを主な構成としている。前記クランプアーム８６は、
その下端部がシリンダ装置８８のロッド９０の先端にピ
ン９２を介して回動自在に支持され、前記下端部からや
や上方位置が、ワークフィードテーブル２８上に立設さ
れた架台９４にピン９６を介して回動自在に支持されて
いる。前記シリンダ装置８８は、その上部が前記架台９
４にピン９８を介して回動自在に支持されている。
テーブル２８上にはインゴット３０のクランプ機構８４
が設けられている。なお、前記クランプ機構８４は、図
１、図４上において説明の都合上省略している。クラン
プ機構８４は、クランプアーム８６とシリンダ装置８８
とを主な構成としている。前記クランプアーム８６は、
その下端部がシリンダ装置８８のロッド９０の先端にピ
ン９２を介して回動自在に支持され、前記下端部からや
や上方位置が、ワークフィードテーブル２８上に立設さ
れた架台９４にピン９６を介して回動自在に支持されて
いる。前記シリンダ装置８８は、その上部が前記架台９
４にピン９８を介して回動自在に支持されている。
【００２０】したがって、シリンダ装置８８のロッド９
０を図５上実線で示すように収縮すると、クランプアー
ム８６がピン９６を中心に図上二点鎖線で示す位置から
時計回り方向に回動する。これにより、クランプアーム
８６の押さえ部８７とワークフィードテーブル２８の凹
部２９Ａ、２９Ｂ（図４参照）との間で、ワークブロッ
ク３１Ａ、３１Ｂがクランプされて、インゴット３０が
ワークフィードテーブル２８に固定される。なお、シリ
ンダ装置８８のロッド９０を伸長すれば、クランプアー
ム８６がクランプ位置から退避するので、インゴット３
０の固定を解除することができる。
０を図５上実線で示すように収縮すると、クランプアー
ム８６がピン９６を中心に図上二点鎖線で示す位置から
時計回り方向に回動する。これにより、クランプアーム
８６の押さえ部８７とワークフィードテーブル２８の凹
部２９Ａ、２９Ｂ（図４参照）との間で、ワークブロッ
ク３１Ａ、３１Ｂがクランプされて、インゴット３０が
ワークフィードテーブル２８に固定される。なお、シリ
ンダ装置８８のロッド９０を伸長すれば、クランプアー
ム８６がクランプ位置から退避するので、インゴット３
０の固定を解除することができる。
【００２１】次に、前記の如く構成されたインゴット３
０の搬入搬出装置５０とクランプ機構８４の作用につい
て説明する。まず、図３に示すように、インゴット３０
が搬入搬出装置５０のクランプアーム６０、６０で挟持
された状態で、所定のワイヤソー１０の上方まで搬送さ
れると、そのワイヤソー１０のシリンダ装置４２が駆動
されて蓋３８が開かれ、開口部３６が露出する。
０の搬入搬出装置５０とクランプ機構８４の作用につい
て説明する。まず、図３に示すように、インゴット３０
が搬入搬出装置５０のクランプアーム６０、６０で挟持
された状態で、所定のワイヤソー１０の上方まで搬送さ
れると、そのワイヤソー１０のシリンダ装置４２が駆動
されて蓋３８が開かれ、開口部３６が露出する。
【００２２】次に、搬入搬出装置５０の送りモータ６８
を正転駆動してインゴット３０を下降移動させ、そし
て、ワイヤソー１０の開口部３６を介して加工室１７ま
で搬入し、ワークフィードテーブル２８にセットする。
即ち、インゴット３０がワークフィードテーブル２８に
十分に近づいた位置で、クランプアーム６０、６０をク
ランプ用モータ６２で互いに離れる方向に駆動し、ワー
クフィードテーブル２８の凹部２９Ａにワークブロック
３１の短辺側右端部３１Ａを載置し、凹部２９Ｂにワー
クブロック３１の短辺側左端部３１Ｂを載置する。これ
により、ワークフィードテーブル２８に対するインゴッ
ト３０のセットが終了する。なお、このインゴット３０
のセット時において、クランプ機構８４のクランプアー
ム８６は、インゴット３０に衝突しないように、インゴ
ット３０の搬入経路から退避した位置（図５上で二点鎖
線で示す位置）に位置されている。
を正転駆動してインゴット３０を下降移動させ、そし
て、ワイヤソー１０の開口部３６を介して加工室１７ま
で搬入し、ワークフィードテーブル２８にセットする。
即ち、インゴット３０がワークフィードテーブル２８に
十分に近づいた位置で、クランプアーム６０、６０をク
ランプ用モータ６２で互いに離れる方向に駆動し、ワー
クフィードテーブル２８の凹部２９Ａにワークブロック
３１の短辺側右端部３１Ａを載置し、凹部２９Ｂにワー
クブロック３１の短辺側左端部３１Ｂを載置する。これ
により、ワークフィードテーブル２８に対するインゴッ
ト３０のセットが終了する。なお、このインゴット３０
のセット時において、クランプ機構８４のクランプアー
ム８６は、インゴット３０に衝突しないように、インゴ
ット３０の搬入経路から退避した位置（図５上で二点鎖
線で示す位置）に位置されている。
【００２３】インゴット３０のセットが終了すると、搬
入搬出装置５０の送りモータ６８を逆転駆動してクラン
プアーム６０、６０を上昇させる。そして、クランプア
ーム６０、６０が開口部３６を通過して図３に示した元
の位置に復帰したところで、送りモータ６８を停止す
る。その後、ワイヤソー１０のシリンダ装置４２を駆動
して、開口部３６を蓋３８で閉じる。
入搬出装置５０の送りモータ６８を逆転駆動してクラン
プアーム６０、６０を上昇させる。そして、クランプア
ーム６０、６０が開口部３６を通過して図３に示した元
の位置に復帰したところで、送りモータ６８を停止す
る。その後、ワイヤソー１０のシリンダ装置４２を駆動
して、開口部３６を蓋３８で閉じる。
【００２４】また、クランプアーム６０、６０が開口部
３６を通過すると、クランプ機構８４が駆動される。即
ち、シリンダ装置８８のロッド９０が図５上実線で示す
ように収縮し、クランプアーム８６がピン９６を中心に
図上二点鎖線で示す位置から時計回り方向に回動し、ク
ランプアーム８６の押さえ部８７とワークフィードテー
ブル２８の凹部２９Ａ、２９Ｂ（図４参照）との間で、
ワークブロック３１Ａ、３１Ｂをクランプする。これに
よって、インゴット３０がワークフィードテーブル２８
に固定される。以上が、搬入搬出装置５０によるインゴ
ット３０の搬入動作、及びクランプ機構８４によるイン
ゴット３０の固定動作である。
３６を通過すると、クランプ機構８４が駆動される。即
ち、シリンダ装置８８のロッド９０が図５上実線で示す
ように収縮し、クランプアーム８６がピン９６を中心に
図上二点鎖線で示す位置から時計回り方向に回動し、ク
ランプアーム８６の押さえ部８７とワークフィードテー
ブル２８の凹部２９Ａ、２９Ｂ（図４参照）との間で、
ワークブロック３１Ａ、３１Ｂをクランプする。これに
よって、インゴット３０がワークフィードテーブル２８
に固定される。以上が、搬入搬出装置５０によるインゴ
ット３０の搬入動作、及びクランプ機構８４によるイン
ゴット３０の固定動作である。
【００２５】インゴット３０が固定されると、ワークフ
ィードテーブル２８をねじ送り装置７６で下降移動さ
せ、インゴット３０をワイヤ列２０に押し付けてウェー
ハに切断する。インゴット３０がウェーハに切断される
と、ワークフィードテーブル２８を図５に示したインゴ
ットセット位置まで復帰移動させる。そして、搬入搬出
装置５０とクランプ機構８４とを、先の搬入動作とは逆
の動作を行わせて、ウェーハをワイヤソー１０から搬出
する。以上で、１本のインゴット３０の処理が終了す
る。また、前記搬入搬出装置５０を１本のレール５２に
複数台設けておけば、隣接するワイヤソー１０、１０に
おいてインゴット３０の交換作業を同時に行うことがで
きる。
ィードテーブル２８をねじ送り装置７６で下降移動さ
せ、インゴット３０をワイヤ列２０に押し付けてウェー
ハに切断する。インゴット３０がウェーハに切断される
と、ワークフィードテーブル２８を図５に示したインゴ
ットセット位置まで復帰移動させる。そして、搬入搬出
装置５０とクランプ機構８４とを、先の搬入動作とは逆
の動作を行わせて、ウェーハをワイヤソー１０から搬出
する。以上で、１本のインゴット３０の処理が終了す
る。また、前記搬入搬出装置５０を１本のレール５２に
複数台設けておけば、隣接するワイヤソー１０、１０に
おいてインゴット３０の交換作業を同時に行うことがで
きる。
【００２６】以上説明したように、本実施の形態のワイ
ヤソー１０によれば、加工室１７を覆うカバー３４の上
面３５にワーク搬入搬出用の開口部３６を形成したの
で、インゴット３０の交換作業をカバー３４の上方から
行うことができる。したがって、ワイヤソー１０、１０
の設置間隔を狭くしても、隣接するワイヤソー１０、１
０でインゴット３０の交換作業を同時に行うことができ
るので、インゴット交換作業を狭いスペースでも効率良
く行うことができる。
ヤソー１０によれば、加工室１７を覆うカバー３４の上
面３５にワーク搬入搬出用の開口部３６を形成したの
で、インゴット３０の交換作業をカバー３４の上方から
行うことができる。したがって、ワイヤソー１０、１０
の設置間隔を狭くしても、隣接するワイヤソー１０、１
０でインゴット３０の交換作業を同時に行うことができ
るので、インゴット交換作業を狭いスペースでも効率良
く行うことができる。
【００２７】また、前記ワイヤソー１０によれば、ワー
クフィードテーブル２８にインゴット３０の支持用凹部
２９Ａ、２９Ｂとクランプ機構８４とを設けたので、イ
ンゴット３０をワークフィードテーブル２８に自動で固
定することができる。
クフィードテーブル２８にインゴット３０の支持用凹部
２９Ａ、２９Ｂとクランプ機構８４とを設けたので、イ
ンゴット３０をワークフィードテーブル２８に自動で固
定することができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るワイ
ヤソーによれば、加工室を覆うカバーの上面にワーク搬
入搬出用の開口部を形成したので、ワークの交換作業を
カバーの上方から行うことができる。したがって、本発
明によれば、ワイヤソーの設置間隔を狭くしても、隣接
するワイヤソーでワークの交換を同時に行うことができ
るので、ワーク交換作業を狭いスペースでも効率良く行
うことができる。
ヤソーによれば、加工室を覆うカバーの上面にワーク搬
入搬出用の開口部を形成したので、ワークの交換作業を
カバーの上方から行うことができる。したがって、本発
明によれば、ワイヤソーの設置間隔を狭くしても、隣接
するワイヤソーでワークの交換を同時に行うことができ
るので、ワーク交換作業を狭いスペースでも効率良く行
うことができる。
【００２９】また、本発明によれば、ワークフィードテ
ーブルにワークのワークブロックを載置する載置部とク
ランプ手段とを設けたので、ワークをワークフィードテ
ーブルに容易に固定することができる。
ーブルにワークのワークブロックを載置する載置部とク
ランプ手段とを設けたので、ワークをワークフィードテ
ーブルに容易に固定することができる。
【図１】本実施の形態のワイヤソーの透視図
【図２】図１のワイヤソーの上方からインゴットを搬入
する説明図
する説明図
【図３】インゴットの搬入搬出装置の斜視図
【図４】ワークフィードテーブルの斜視図
【図５】ワークフィードテーブルを含むクランプ装置の
側面図
側面図
【図６】６台のワイヤソーが２列に並設された状態を示
す平面図
す平面図
１０…ワイヤソー １４…ワイヤ １８…溝付ローラ ２８…ワークフィードテーブル ３０…インゴット ３１…ワークブロック ３４…カバー ３６…開口部 ５０…搬入搬出装置 ５４…搬送ヘッド装置 ８４…クランプ機構
Claims (2)
- 【請求項１】ワイヤを複数の溝付ローラに巻き掛けてワ
イヤ列を形成し、前記ワイヤを走行させることにより走
行する前記ワイヤ列にワークを押し付けて多数のウェー
ハに切断するワイヤソーにおいて、 前記複数の溝付ローラが設置された加工室を覆うカバー
の上面にワーク搬入搬出用の開口部を形成すると共に、
該開口部を開閉する蓋を設けたことを特徴とするワイヤ
ソー。 - 【請求項２】前記加工室には、前記ワークを前記ワイヤ
列に向けて送り移動するワークフィードテーブルが設け
られ、該ワークフィードテーブルには、前記開口部から
搬入されてきた前記ワークのワークブロックが載置され
る載置部と、該載置部に載置された前記ワークブロック
を載置部との間で挟持するクランプ手段とが設けられて
いることを特徴とする請求項１記載のワイヤソー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9337312A JPH11165250A (ja) | 1997-12-08 | 1997-12-08 | ワイヤソー |
| US09/205,278 US6135103A (en) | 1997-12-08 | 1998-12-04 | Wire saw for slicing brittle materials with an ingot loading and unloading mechanism |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9337312A JPH11165250A (ja) | 1997-12-08 | 1997-12-08 | ワイヤソー |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11165250A true JPH11165250A (ja) | 1999-06-22 |
Family
ID=18307453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9337312A Pending JPH11165250A (ja) | 1997-12-08 | 1997-12-08 | ワイヤソー |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6135103A (ja) |
| JP (1) | JPH11165250A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014010468A1 (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-16 | コマツＮｔｃ 株式会社 | ワイヤソー及びそのワイヤソーによるワーク加工方法 |
| JP2015090878A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | スライス装置 |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3625408B2 (ja) * | 1999-03-09 | 2005-03-02 | シャープ株式会社 | マルチワイヤソーを用いた加工方法 |
| JP2006326803A (ja) * | 2005-05-30 | 2006-12-07 | Mori Seiki Co Ltd | 工作機械 |
| US20100126488A1 (en) * | 2008-11-25 | 2010-05-27 | Abhaya Kumar Bakshi | Method and apparatus for cutting wafers by wire sawing |
| US8490658B2 (en) * | 2009-02-26 | 2013-07-23 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Automatic winding of wire field in wire slicing machine |
| JP5185419B2 (ja) * | 2011-08-22 | 2013-04-17 | コマツＮｔｃ株式会社 | ワイヤソー |
| US8960657B2 (en) | 2011-10-05 | 2015-02-24 | Sunedison, Inc. | Systems and methods for connecting an ingot to a wire saw |
| EP2586555A1 (en) * | 2011-10-27 | 2013-05-01 | Applied Materials Switzerland Sàrl | Modular wafering concept for wafering plant |
| KR101449572B1 (ko) * | 2013-03-25 | 2014-10-13 | 한국생산기술연구원 | 리프트-업 스윙을 구현하는 와이어 쏘 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH266698A (fr) * | 1947-12-24 | 1950-02-15 | Bechler Andre | Dispositif de protection contre huile et copeaux pour tour automatique à décolleter. |
| DE3608957C2 (de) * | 1986-03-18 | 1994-02-10 | Wernicke & Co Gmbh | Brillenglasrandschleifmaschine |
| US4882881A (en) * | 1987-02-24 | 1989-11-28 | Progressive Blasting Systems, Inc. | Robot positioner and seal arrangement for a closed chamber |
| CH690845A5 (de) * | 1994-05-19 | 2001-02-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Verfahren zum Positionieren eines Werkstücks und Vorrichtung hierfür. |
| DE19519460A1 (de) * | 1995-05-26 | 1996-11-28 | Wacker Siltronic Halbleitermat | Drahtsäge und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Werkstück |
| CH691292A5 (fr) * | 1995-10-03 | 2001-06-29 | Hct Shaping Systems Sa | Dispositif de sciage par fil équipé d'un système de gestion de fil permettant l'utilisation de bobines de fil de très grande longueur. |
| DE29517783U1 (de) * | 1995-11-10 | 1996-01-11 | Hawema Werkzeugschleifmaschine | Schutzkabine |
| CH692331A5 (de) * | 1996-06-04 | 2002-05-15 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | Drahtsäge und Schneidverfahren unter Einsatz derselben. |
-
1997
- 1997-12-08 JP JP9337312A patent/JPH11165250A/ja active Pending
-
1998
- 1998-12-04 US US09/205,278 patent/US6135103A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014010468A1 (ja) * | 2012-07-10 | 2014-01-16 | コマツＮｔｃ 株式会社 | ワイヤソー及びそのワイヤソーによるワーク加工方法 |
| US9475209B2 (en) | 2012-07-10 | 2016-10-25 | Komatsu Ntc Ltd. | Wire saw and workpiece machining method employing same |
| JP2015090878A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | スライス装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6135103A (en) | 2000-10-24 |
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