JPH11165251A - 固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置 - Google Patents
固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置Info
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- JPH11165251A JPH11165251A JP33440897A JP33440897A JPH11165251A JP H11165251 A JPH11165251 A JP H11165251A JP 33440897 A JP33440897 A JP 33440897A JP 33440897 A JP33440897 A JP 33440897A JP H11165251 A JPH11165251 A JP H11165251A
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- displacement
- fixed abrasive
- wire row
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
- B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
- B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
- B28D5/0064—Devices for the automatic drive or the program control of the machines
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】切断抵抗が変化してもウエハに反りやＴＴＶが
生じないように切断することのできる固定砥粒ワイヤソ
ーの変位制御方法及び装置を提供する。 【解決手段】ワイヤ列２８がインゴットＩｎの軸芯方向
に沿って変位した時の変位方向と変位量を変位検出セン
サ６７で検出し、検出した結果に基づいて制御手段６９
によりスライド部材８６を駆動する圧電素子８８に印加
する。これによりスライド部材８６はワイヤ列２８の変
位を相殺する方向に変位量と同じ移動量だけ移動し、こ
れに連動してインゴットＩｎが移動する。これにより、
ワイヤ列２８の変位が修正される。従って、インゴット
Ｉｎから切り出されたウエハに反りやＴＴＶが発生しな
い。
生じないように切断することのできる固定砥粒ワイヤソ
ーの変位制御方法及び装置を提供する。 【解決手段】ワイヤ列２８がインゴットＩｎの軸芯方向
に沿って変位した時の変位方向と変位量を変位検出セン
サ６７で検出し、検出した結果に基づいて制御手段６９
によりスライド部材８６を駆動する圧電素子８８に印加
する。これによりスライド部材８６はワイヤ列２８の変
位を相殺する方向に変位量と同じ移動量だけ移動し、こ
れに連動してインゴットＩｎが移動する。これにより、
ワイヤ列２８の変位が修正される。従って、インゴット
Ｉｎから切り出されたウエハに反りやＴＴＶが発生しな
い。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、固定砥粒ワイヤソ
ーのワイヤ列変位制御方法及び装置に係り、特にシリコ
ン、ガラス、セラミック等の硬脆性材料を切断する固定
砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置に関す
る。
ーのワイヤ列変位制御方法及び装置に係り、特にシリコ
ン、ガラス、セラミック等の硬脆性材料を切断する固定
砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】シリコン等の硬脆性材料のインゴットか
らウェーハを切り出す装置の一つにワイヤソーがあり、
固定砥粒ワイヤソーと遊離砥粒ワイヤソーの２種類に大
別される。固定砥粒ワイヤソーは、ワイヤ（ピアノ線や
ステンレス線等）の周面に固定砥粒（ダイヤモンド砥粒
やＳｉＣ、ＣＢＮ等のセラミックス砥粒等）が固着され
た固定砥粒付ワイヤでワイヤ列を形成し、ワイヤ列を走
行させると共に、ノズルからクーラント液をワイヤ列に
供給しながらインゴットをワイヤ列に押し付けるてイン
ゴットを多数枚のウェーハに切断する装置である。一
方、遊離砥粒ワイヤソーは、ワイヤーには砥粒は固定さ
れておらず、砥粒が懸濁した加工液をワイヤ列に吹き付
けてワイヤーに砥粒を付着させることによりインゴット
Ｉｎを切断する装置である。
らウェーハを切り出す装置の一つにワイヤソーがあり、
固定砥粒ワイヤソーと遊離砥粒ワイヤソーの２種類に大
別される。固定砥粒ワイヤソーは、ワイヤ（ピアノ線や
ステンレス線等）の周面に固定砥粒（ダイヤモンド砥粒
やＳｉＣ、ＣＢＮ等のセラミックス砥粒等）が固着され
た固定砥粒付ワイヤでワイヤ列を形成し、ワイヤ列を走
行させると共に、ノズルからクーラント液をワイヤ列に
供給しながらインゴットをワイヤ列に押し付けるてイン
ゴットを多数枚のウェーハに切断する装置である。一
方、遊離砥粒ワイヤソーは、ワイヤーには砥粒は固定さ
れておらず、砥粒が懸濁した加工液をワイヤ列に吹き付
けてワイヤーに砥粒を付着させることによりインゴット
Ｉｎを切断する装置である。
【０００３】更に、固定砥粒ワイヤソーは、そのワイヤ
列の形成方式から次の２つのタイプに分類される。１つ
は、一対のワイヤリール間を走行する固定砥粒付ワイヤ
を２本以上のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形
成するタイプのワイヤソーであり、ワイヤ列は一対のワ
イヤリール及びグルーブローラに連結されたモータを同
期させて駆動することにより走行させる。
列の形成方式から次の２つのタイプに分類される。１つ
は、一対のワイヤリール間を走行する固定砥粒付ワイヤ
を２本以上のグルーブローラに巻き掛けてワイヤ列を形
成するタイプのワイヤソーであり、ワイヤ列は一対のワ
イヤリール及びグルーブローラに連結されたモータを同
期させて駆動することにより走行させる。
【０００４】他の１つは、無端状に形成された複数本の
固定砥粒付エンドレスワイヤを２本以上のグルーブロー
ラに一定間隔で張架してワイヤ列を形成するタイプのワ
イヤソーであり、ワイヤ列はグルーブローラに連結され
たモータを駆動することにより走行させる。このため、
グルーブローラとワイヤーリールを同期させる必要がな
いので、ワイヤ列を高速走行させることができる。
固定砥粒付エンドレスワイヤを２本以上のグルーブロー
ラに一定間隔で張架してワイヤ列を形成するタイプのワ
イヤソーであり、ワイヤ列はグルーブローラに連結され
たモータを駆動することにより走行させる。このため、
グルーブローラとワイヤーリールを同期させる必要がな
いので、ワイヤ列を高速走行させることができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、固定砥
粒ワイヤソーの場合、図８に示すように、インゴットＩ
ｎの切断を続けるに従って、固定砥粒ワイヤ２６とイン
ゴットＩｎの接触長の変化、固定砥粒ワイヤ２６に固着
された固定砥粒の目詰まりや砥粒の脱落によりワイヤ列
２８の切断抵抗が増加すると、ワイヤ列２８がインゴッ
トＩｎの軸芯方向であるＹ−Ｙ方向に変位するという欠
点がある。
粒ワイヤソーの場合、図８に示すように、インゴットＩ
ｎの切断を続けるに従って、固定砥粒ワイヤ２６とイン
ゴットＩｎの接触長の変化、固定砥粒ワイヤ２６に固着
された固定砥粒の目詰まりや砥粒の脱落によりワイヤ列
２８の切断抵抗が増加すると、ワイヤ列２８がインゴッ
トＩｎの軸芯方向であるＹ−Ｙ方向に変位するという欠
点がある。
【０００６】また、ワイヤ周方向の砥粒固着分布、砥粒
径のバラツキ、固定砥粒ワイヤ外径の楕円成分の量や方
向等により、固定砥粒ワイヤ２６がインゴットＩｎの軸
芯方向に沿って図８の向きに変位する場合もあれば、図
８とは逆の向きに変位する場合もある。また、一対のワ
イヤリール間に走行させる方式のワイヤソーの場合に
は、固定砥粒ワイヤ２６の走行方向を反転させることも
考えられ、その時、固定砥粒ワイヤ２６の変位方向が反
転することもある。
径のバラツキ、固定砥粒ワイヤ外径の楕円成分の量や方
向等により、固定砥粒ワイヤ２６がインゴットＩｎの軸
芯方向に沿って図８の向きに変位する場合もあれば、図
８とは逆の向きに変位する場合もある。また、一対のワ
イヤリール間に走行させる方式のワイヤソーの場合に
は、固定砥粒ワイヤ２６の走行方向を反転させることも
考えられ、その時、固定砥粒ワイヤ２６の変位方向が反
転することもある。
【０００７】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、固定砥粒ワイヤのインゴットの軸芯方向に変
位する量、方向が変化してもウエハに反りやＴＴＶが生
じないように切断することのできる固定砥粒ワイヤソー
のワイヤ列変位制御方法及び装置を提供することを目的
とする。
たもので、固定砥粒ワイヤのインゴットの軸芯方向に変
位する量、方向が変化してもウエハに反りやＴＴＶが生
じないように切断することのできる固定砥粒ワイヤソー
のワイヤ列変位制御方法及び装置を提供することを目的
とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、複数のグルーブローラに固定砥粒ワイヤ
を巻き掛けてワイヤ列を形成し、走行する前記ワイヤ列
に被加工物を押し当てて該被加工物を多数枚のウェーハ
に同時に切断する固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制
御方法において、前記ワイヤ列が前記被加工物の軸芯方
向に沿って変位した時の変位方向と変位量を検出し、前
記検出結果に基づいて前記被加工物を前記ワイヤ列の変
位を相殺する方向に前記変位量と同じ移動量だけ移動さ
せることを特徴とする。
成するために、複数のグルーブローラに固定砥粒ワイヤ
を巻き掛けてワイヤ列を形成し、走行する前記ワイヤ列
に被加工物を押し当てて該被加工物を多数枚のウェーハ
に同時に切断する固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制
御方法において、前記ワイヤ列が前記被加工物の軸芯方
向に沿って変位した時の変位方向と変位量を検出し、前
記検出結果に基づいて前記被加工物を前記ワイヤ列の変
位を相殺する方向に前記変位量と同じ移動量だけ移動さ
せることを特徴とする。
【０００９】また、本発明は、上記目的を達成するため
に、複数のグルーブローラに固定砥粒ワイヤを巻き掛け
てワイヤ列を形成し、走行する前記ワイヤ列に被加工物
を押し当てて該被加工物を多数枚のウェーハに同時に切
断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記ワイヤ列が前
記被加工物の軸芯方向に沿って変位した時の変位方向と
変位量を検出する変位検出手段と、前記被加工物を該被
加工物の軸芯方向に沿って移動させる移動手段と、前記
変位検出手段の検出結果に基づいて、前記被加工物が前
記ワイヤ列の変位を相殺する方向に前記変位量と同じ移
動量だけ移動するように前記移動手段を制御する制御手
段と、を備えていることを特徴とする。
に、複数のグルーブローラに固定砥粒ワイヤを巻き掛け
てワイヤ列を形成し、走行する前記ワイヤ列に被加工物
を押し当てて該被加工物を多数枚のウェーハに同時に切
断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、前記ワイヤ列が前
記被加工物の軸芯方向に沿って変位した時の変位方向と
変位量を検出する変位検出手段と、前記被加工物を該被
加工物の軸芯方向に沿って移動させる移動手段と、前記
変位検出手段の検出結果に基づいて、前記被加工物が前
記ワイヤ列の変位を相殺する方向に前記変位量と同じ移
動量だけ移動するように前記移動手段を制御する制御手
段と、を備えていることを特徴とする。
【００１０】本発明によれば、ワイヤ列が前記被加工物
の軸芯方向に沿って変位した時の変位方向と変位量を検
出し、被加工物をワイヤ列の変位を相殺する方向に前記
変位量と同じ移動量だけ移動させるようにしたので、ワ
イヤ列の変位が修正される。従って、被加工物から切り
出されたウエハに反りやＴＴＶが発生しない。
の軸芯方向に沿って変位した時の変位方向と変位量を検
出し、被加工物をワイヤ列の変位を相殺する方向に前記
変位量と同じ移動量だけ移動させるようにしたので、ワ
イヤ列の変位が修正される。従って、被加工物から切り
出されたウエハに反りやＴＴＶが発生しない。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
る固定砥粒ワイヤソーのワイワ列変位制御方法及び装置
の実施の形態について詳説する。本実施の形態では、固
定砥粒付エンドレスワイヤを複数本のグルーブローラに
一定間隔で張架してワイヤ列を形成するエンドレスタイ
プの固定砥粒ワイヤソーの例で説明する。
る固定砥粒ワイヤソーのワイワ列変位制御方法及び装置
の実施の形態について詳説する。本実施の形態では、固
定砥粒付エンドレスワイヤを複数本のグルーブローラに
一定間隔で張架してワイヤ列を形成するエンドレスタイ
プの固定砥粒ワイヤソーの例で説明する。
【００１２】図１及び図２は、本発明に係る固定砥粒ワ
イヤソーの構成を説明する正面図、側面図である。同図
に示すように、固定砥粒ワイヤソー１０は、主として、
インゴットＩｎの切断を行う切断ユニット１２と、イン
ゴットＩｎに送りを与えるワーク送りユニット１４と、
ワイヤ列の変位を制御する変位制御ユニット１３とから
構成される。
イヤソーの構成を説明する正面図、側面図である。同図
に示すように、固定砥粒ワイヤソー１０は、主として、
インゴットＩｎの切断を行う切断ユニット１２と、イン
ゴットＩｎに送りを与えるワーク送りユニット１４と、
ワイヤ列の変位を制御する変位制御ユニット１３とから
構成される。
【００１３】まず、切断ユニット１２の構成から説明す
る。防振台１６、１６、…を介して水平に設置された架
台１８上には、一対のスピンドルブラケット２０Ａ、２
０Ｂが２組、所定の間隔をもって垂直に立設されてい
る。このスピンドルブラケット２０Ａ、２０Ｂには、そ
れぞれ一対のスピンドルユニット２２Ａ、２２Ｂが、互
いに対向するように配設されている。
る。防振台１６、１６、…を介して水平に設置された架
台１８上には、一対のスピンドルブラケット２０Ａ、２
０Ｂが２組、所定の間隔をもって垂直に立設されてい
る。このスピンドルブラケット２０Ａ、２０Ｂには、そ
れぞれ一対のスピンドルユニット２２Ａ、２２Ｂが、互
いに対向するように配設されている。
【００１４】前記一対のスピンドルユニット２２Ａ、２
２Ｂには、それぞれ外周に螺旋状の溝が形成されたグル
ーブローラ２４Ａ、２４Ｂが回動自在に支持されてい
る。切断するワイヤ列２８は、このグルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの溝に固定砥粒付ワイヤ２６を順次巻き掛け
てゆくことにより形成される。前記グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの一方端から繰り出された固定砥粒付ワイヤ
２６は、ガイドローラ３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒ
に順次巻きかけられることにより、グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの他方端にガイドされる。そして、他方端に
ガイドされた固定砥粒付ワイヤ２６は、その両端部をレ
ーザー溶接等でつなぎ合わされて無端状に形成される。
２Ｂには、それぞれ外周に螺旋状の溝が形成されたグル
ーブローラ２４Ａ、２４Ｂが回動自在に支持されてい
る。切断するワイヤ列２８は、このグルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの溝に固定砥粒付ワイヤ２６を順次巻き掛け
てゆくことにより形成される。前記グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの一方端から繰り出された固定砥粒付ワイヤ
２６は、ガイドローラ３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒ
に順次巻きかけられることにより、グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの他方端にガイドされる。そして、他方端に
ガイドされた固定砥粒付ワイヤ２６は、その両端部をレ
ーザー溶接等でつなぎ合わされて無端状に形成される。
【００１５】このように形成されたワイヤ走行路には、
固定砥粒付ワイヤ２６に所定の張力を付与するためのテ
ンションユニット３２が配設される。このテンションユ
ニット３２は、ワイヤ走行路をガイドするガイドローラ
３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒの間に配置されてお
り、一対の固定ガイドローラ３３Ｌ、３３Ｒと、その固
定ガイドローラ３３Ｌ、３３Ｒの間に配設されたテンシ
ョンローラ３６と、テンションローラ３６に吊設された
所定荷重のテンションウエイト４２とから構成される。
これにより、ワイヤ走行路には所定の張力が付与され
る。
固定砥粒付ワイヤ２６に所定の張力を付与するためのテ
ンションユニット３２が配設される。このテンションユ
ニット３２は、ワイヤ走行路をガイドするガイドローラ
３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒの間に配置されてお
り、一対の固定ガイドローラ３３Ｌ、３３Ｒと、その固
定ガイドローラ３３Ｌ、３３Ｒの間に配設されたテンシ
ョンローラ３６と、テンションローラ３６に吊設された
所定荷重のテンションウエイト４２とから構成される。
これにより、ワイヤ走行路には所定の張力が付与され
る。
【００１６】そして、固定砥粒付ワイヤ２６の走行は、
一方のグルーブローラ２４Ａを高速回転させることによ
り行う。すなわち、一方のグルーブローラ２４Ａを駆動
モータ６０で高速回転させることにより走行させる。即
ち、図１に示すように、駆動モータ６０からグルーブロ
ーラ２４Ａへの回転力の伝達はベルト６２で行い、グル
ーブローラ２４Ａの一方端に連結されたスピンドルプー
リ６４と、駆動モータ６０の出力軸に連結されたモータ
プーリ６６とをベルト６２で連結することにより、駆動
モータ６０の回転をグルーブローラ２４Ａに伝達する。
これにより、ワイヤ列２８は図２のＸ−Ｘ方向右向きに
走行する。
一方のグルーブローラ２４Ａを高速回転させることによ
り行う。すなわち、一方のグルーブローラ２４Ａを駆動
モータ６０で高速回転させることにより走行させる。即
ち、図１に示すように、駆動モータ６０からグルーブロ
ーラ２４Ａへの回転力の伝達はベルト６２で行い、グル
ーブローラ２４Ａの一方端に連結されたスピンドルプー
リ６４と、駆動モータ６０の出力軸に連結されたモータ
プーリ６６とをベルト６２で連結することにより、駆動
モータ６０の回転をグルーブローラ２４Ａに伝達する。
これにより、ワイヤ列２８は図２のＸ−Ｘ方向右向きに
走行する。
【００１７】切断ユニット１２は以上のように構成され
る。次に、ワーク送りユニット１４の構成について説明
する。図１及び図２に示すように、前記架台１８上に
は、コラム６８が垂直に立設されている。このコラム６
８には一対のガイドレール７０、７０が前記ワイヤ列２
８に対して垂直に敷設されている。そして、このガイド
レール７０、７０上をワークフィードテーブル７２がス
ライダ７４、７４を介してスライド自在に支持されてい
る。
る。次に、ワーク送りユニット１４の構成について説明
する。図１及び図２に示すように、前記架台１８上に
は、コラム６８が垂直に立設されている。このコラム６
８には一対のガイドレール７０、７０が前記ワイヤ列２
８に対して垂直に敷設されている。そして、このガイド
レール７０、７０上をワークフィードテーブル７２がス
ライダ７４、７４を介してスライド自在に支持されてい
る。
【００１８】また、前記コラム６８には、前記ガイドレ
ール７０、７０に沿ってネジ棒７６が配設されており、
該ネジ棒７６は、その両端部をコラム６８に一体形成さ
れた軸受に回動自在に支持されている。そして、このネ
ジ棒７６の上端部には、前記コラム６８の頂部に設置さ
れたワーク送りモータ７８の出力軸が連結されており、
このワーク送りモータ７８を駆動することにより、ネジ
棒７６が回動する。前記ワークフィードテーブル７２に
は、このネジ棒７６と螺合する図示しないナット部材が
固着されており、ネジ棒７６をワーク送りモータ７８で
回動させることにより、ワークフィードテーブル７２が
Ｚ−Ｚ方向に昇降移動する。
ール７０、７０に沿ってネジ棒７６が配設されており、
該ネジ棒７６は、その両端部をコラム６８に一体形成さ
れた軸受に回動自在に支持されている。そして、このネ
ジ棒７６の上端部には、前記コラム６８の頂部に設置さ
れたワーク送りモータ７８の出力軸が連結されており、
このワーク送りモータ７８を駆動することにより、ネジ
棒７６が回動する。前記ワークフィードテーブル７２に
は、このネジ棒７６と螺合する図示しないナット部材が
固着されており、ネジ棒７６をワーク送りモータ７８で
回動させることにより、ワークフィードテーブル７２が
Ｚ−Ｚ方向に昇降移動する。
【００１９】ワークフィードテーブル７２の先端下側に
は、チルチングユニット８０が設けられ、更にチルチン
グユニット８０の下側には変位制御ユニット１３の構成
要素である移動手段６３が支持される。そして、この移
動手段６３のスライド部材６５にマウンティングブロッ
クＭ及びスライスベースＳを介してインゴットＩｎが装
着される。即ち、インゴットＩｎはスライスベースＳに
接着されると共に、スライスベースＳはマウンティング
ブロックＭに接着される。
は、チルチングユニット８０が設けられ、更にチルチン
グユニット８０の下側には変位制御ユニット１３の構成
要素である移動手段６３が支持される。そして、この移
動手段６３のスライド部材６５にマウンティングブロッ
クＭ及びスライスベースＳを介してインゴットＩｎが装
着される。即ち、インゴットＩｎはスライスベースＳに
接着されると共に、スライスベースＳはマウンティング
ブロックＭに接着される。
【００２０】尚、このチルチングユニット８０は、イン
ゴットＩｎをワイヤ列２８に対して水平、垂直方向に所
定角度傾斜させて保持することができ、インゴットＩｎ
は、このチルチングユニット８０によって結晶方位合わ
せがなされる。次に、ワイヤ列２８の変位を制御する変
位制御ユニット１３について説明する。
ゴットＩｎをワイヤ列２８に対して水平、垂直方向に所
定角度傾斜させて保持することができ、インゴットＩｎ
は、このチルチングユニット８０によって結晶方位合わ
せがなされる。次に、ワイヤ列２８の変位を制御する変
位制御ユニット１３について説明する。
【００２１】変位制御ユニット１３は、主として、ワイ
ヤ列２８がインゴットＩｎの軸芯方向、即ち図１のＹ−
Ｙ方向に沿って変位した時の変位方向と変位量を検出す
る変位検出センサ６７と、インゴットＩｎを該インゴッ
トＩｎの軸芯方向に沿って移動させる移動手段６３と、
変位検出センサ６７の検出結果に基づいてインゴットＩ
ｎがワイヤ列２８の変位を相殺する方向に変位量と同じ
移動量だけ移動するように移動手段６３を制御する制御
手段６９（図３参照）とで構成される。
ヤ列２８がインゴットＩｎの軸芯方向、即ち図１のＹ−
Ｙ方向に沿って変位した時の変位方向と変位量を検出す
る変位検出センサ６７と、インゴットＩｎを該インゴッ
トＩｎの軸芯方向に沿って移動させる移動手段６３と、
変位検出センサ６７の検出結果に基づいてインゴットＩ
ｎがワイヤ列２８の変位を相殺する方向に変位量と同じ
移動量だけ移動するように移動手段６３を制御する制御
手段６９（図３参照）とで構成される。
【００２２】まず、図３及び図４により、変位制御ユニ
ット１３の移動手段６３について説明する。図３は移動
手段６３をＸ−Ｘ方向から見た側面図であり、図４は移
動手段６３をＹ−Ｙ方向から見た部分断面図である。移
動手段６３は、主として、チルチングユニット８０の下
側に固定されたＬ字形状の支持部材８２と、支持部材８
２にスライド自在に支持されたスライド部材８６と、支
持部材８２の垂直板８２Ａとスライド部材８６の側面と
の間に介在された圧電素子８８とで構成される。即ち、
スライド部材８６の上面にはインゴットＩｎの軸芯方向
であるＹ−Ｙ方向に沿って一対のガイドレール９０、９
０が配設され、支持部材８２の水平板８２Ｂの下面には
前記一対のガイドレール９０にそれぞれ２個ずつ係合す
るリニアベアリング８４、８４…が配設される。これに
より、スライド部材８６はガイドレール９０及びリニア
ベアリング８４を介してインゴットＩｎの軸芯方向と同
じＹ−Ｙ方向にスライド可能なように支持部材８２に吊
設される。また、スライド部材８６は、上板部８６Ａ、
背板部８６Ｂ、両側板部８６Ｃ、８６Ｃとから成り、前
面部８６Ｄと底板部８６Ｅが開放された中空四角体形状
に形成される。このスライド部材８６の両側板部８６
Ｃ、８６ＣはＬ字状に向き合った状態に形成され、Ｌ字
の水平部８６Ｆ、８６Ｆ上面には水平基準面が形成され
ると共に、背板部８６Ｂの内面８６Ｇには垂直基準面が
形成される。そして、マウンティングブロックＭをスラ
イド部材８６の開放された前面部８６Ｄからスライド部
材８６内に挿入してマウンティングブロックＭに形成さ
れた水平基準面と垂直基準をスライド部材８６の水平基
準面と垂直基準に当接させる。これにより、スライド部
材８６をスライドさせた時にインゴットＩｎもＹ−Ｙ方
向に正しく移動するように、マウンティングブロックＭ
がスライド部材８６に位置決めされた状態で装着され
る。スライド部材８６に装着されたマウンティングブロ
ックＭは、正しく位置決めされた状態でクランプシリン
ダ９２、９２のロッド９２Ａが伸動作してマウンティン
グブロックＭの上面を押圧し、マウンティングブロック
Ｍをスライド部材８６に固定する。
ット１３の移動手段６３について説明する。図３は移動
手段６３をＸ−Ｘ方向から見た側面図であり、図４は移
動手段６３をＹ−Ｙ方向から見た部分断面図である。移
動手段６３は、主として、チルチングユニット８０の下
側に固定されたＬ字形状の支持部材８２と、支持部材８
２にスライド自在に支持されたスライド部材８６と、支
持部材８２の垂直板８２Ａとスライド部材８６の側面と
の間に介在された圧電素子８８とで構成される。即ち、
スライド部材８６の上面にはインゴットＩｎの軸芯方向
であるＹ−Ｙ方向に沿って一対のガイドレール９０、９
０が配設され、支持部材８２の水平板８２Ｂの下面には
前記一対のガイドレール９０にそれぞれ２個ずつ係合す
るリニアベアリング８４、８４…が配設される。これに
より、スライド部材８６はガイドレール９０及びリニア
ベアリング８４を介してインゴットＩｎの軸芯方向と同
じＹ−Ｙ方向にスライド可能なように支持部材８２に吊
設される。また、スライド部材８６は、上板部８６Ａ、
背板部８６Ｂ、両側板部８６Ｃ、８６Ｃとから成り、前
面部８６Ｄと底板部８６Ｅが開放された中空四角体形状
に形成される。このスライド部材８６の両側板部８６
Ｃ、８６ＣはＬ字状に向き合った状態に形成され、Ｌ字
の水平部８６Ｆ、８６Ｆ上面には水平基準面が形成され
ると共に、背板部８６Ｂの内面８６Ｇには垂直基準面が
形成される。そして、マウンティングブロックＭをスラ
イド部材８６の開放された前面部８６Ｄからスライド部
材８６内に挿入してマウンティングブロックＭに形成さ
れた水平基準面と垂直基準をスライド部材８６の水平基
準面と垂直基準に当接させる。これにより、スライド部
材８６をスライドさせた時にインゴットＩｎもＹ−Ｙ方
向に正しく移動するように、マウンティングブロックＭ
がスライド部材８６に位置決めされた状態で装着され
る。スライド部材８６に装着されたマウンティングブロ
ックＭは、正しく位置決めされた状態でクランプシリン
ダ９２、９２のロッド９２Ａが伸動作してマウンティン
グブロックＭの上面を押圧し、マウンティングブロック
Ｍをスライド部材８６に固定する。
【００２３】また、圧電素子８８の作動方向は、Ｙ−Ｙ
方向と一致するように形成される。従って、圧電素子８
８が作動することにより、スライド部材８６はＹ−Ｙ方
向にスライドし、これに連動してインゴットＩｎもＹ−
Ｙ方向に移動する。次に、図５及び図６により変位制御
ユニットの変位検出センサ６７について説明する。
方向と一致するように形成される。従って、圧電素子８
８が作動することにより、スライド部材８６はＹ−Ｙ方
向にスライドし、これに連動してインゴットＩｎもＹ−
Ｙ方向に移動する。次に、図５及び図６により変位制御
ユニットの変位検出センサ６７について説明する。
【００２４】変位検出センサ６７はインゴットＩｎの近
傍に設けられ、変位検出センサ６７を構成する発光部９
４と受光部９６とがワイヤ列２８を挟んでその下方位置
と上方位置に対向配置される。この発光部９４及び受光
部９６は、インゴットＩｎの軸芯方向（Ｙ−Ｙ方向）に
沿って長尺状に形成され、発光部には図６に示すよう
に、その長手方向に沿って多数の発光素子９８、９８…
が配列されると共に、受光部９６にはその長手方向に沿
って発光素子９８に対応した位置にそれぞれ受光素子１
００、１００…が配列される。尚、図５では、発光部９
４と受光部９６の長さを、ワイヤ列２８の幅方向全体を
カバーする長さに形成したが、インゴットＩｎの切断に
寄与するワイヤ列２８の一部をカバーできる長さであれ
ば良い。そして、発光部９４の各発光素子９８から発し
た光は、ワイヤ列２８を介して受光部９６の各受光素子
１００に受光される。受光部９６の各受光素子１００で
受光される光の光量が移動手段６３の駆動源である圧電
素子８８を制御する制御手段６９に入力され、各受光素
子１００で受光された光量が計測される。制御手段６９
には、各発光素子９８及び対応する受光素子１００のナ
ンバーとナンバー同士の位置及び距離が予め登録されて
おり、ワイヤ列２８のうち例えば一番端のワイヤ２６が
どのナンバーの発光素子９８の光を遮っているかが分か
るようになっている。これにより、ワイヤ列２８がイン
ゴットＩｎの軸芯方向であるＹ−Ｙ方向に変位した時、
一番端のワイヤ２６が光を遮る発光素子９８のナンバー
が変わるので、ワイヤ列２８の変位方向及び変位量を演
算することができる。また、制御手段６９は移動手段６
３の圧電素子８８に接続されると共に、制御手段６９に
は、ワイヤ列２８の変位量と圧電素子８８でスライド部
材８６をワイヤ列２８の変位量だけスライドさせるのに
必要な駆動電圧との関係が予め入力さている。そして、
制御手段６９はワイヤ列２８が変位すると、その変位方
向と変位量とを演算し、演算した結果に基づいて圧電素
子８８に変位量に見合う駆動電圧を印加する。これによ
り、圧電素子８８は、スライダ部材８６を介してインゴ
ットＩｎをワイヤ列２８の変位を相殺する方向に変位量
だけ移動させてワイヤ列２８の変位を逐次修正する。
尚、ワイヤ列２８の変位量が大きく圧電素子８８による
修正の限界を越えている場合には、特に図示しないが、
スライド部材８６をネジ棒でスライドさせるようにして
もよい。この場合には、制御手段６９で演算したワイヤ
列２８の変位方向及び変位量の信号を、ネジ棒を駆動す
るサーボモータに出力してサーボモータの回転方向及び
回転数を制御すればよい。
傍に設けられ、変位検出センサ６７を構成する発光部９
４と受光部９６とがワイヤ列２８を挟んでその下方位置
と上方位置に対向配置される。この発光部９４及び受光
部９６は、インゴットＩｎの軸芯方向（Ｙ−Ｙ方向）に
沿って長尺状に形成され、発光部には図６に示すよう
に、その長手方向に沿って多数の発光素子９８、９８…
が配列されると共に、受光部９６にはその長手方向に沿
って発光素子９８に対応した位置にそれぞれ受光素子１
００、１００…が配列される。尚、図５では、発光部９
４と受光部９６の長さを、ワイヤ列２８の幅方向全体を
カバーする長さに形成したが、インゴットＩｎの切断に
寄与するワイヤ列２８の一部をカバーできる長さであれ
ば良い。そして、発光部９４の各発光素子９８から発し
た光は、ワイヤ列２８を介して受光部９６の各受光素子
１００に受光される。受光部９６の各受光素子１００で
受光される光の光量が移動手段６３の駆動源である圧電
素子８８を制御する制御手段６９に入力され、各受光素
子１００で受光された光量が計測される。制御手段６９
には、各発光素子９８及び対応する受光素子１００のナ
ンバーとナンバー同士の位置及び距離が予め登録されて
おり、ワイヤ列２８のうち例えば一番端のワイヤ２６が
どのナンバーの発光素子９８の光を遮っているかが分か
るようになっている。これにより、ワイヤ列２８がイン
ゴットＩｎの軸芯方向であるＹ−Ｙ方向に変位した時、
一番端のワイヤ２６が光を遮る発光素子９８のナンバー
が変わるので、ワイヤ列２８の変位方向及び変位量を演
算することができる。また、制御手段６９は移動手段６
３の圧電素子８８に接続されると共に、制御手段６９に
は、ワイヤ列２８の変位量と圧電素子８８でスライド部
材８６をワイヤ列２８の変位量だけスライドさせるのに
必要な駆動電圧との関係が予め入力さている。そして、
制御手段６９はワイヤ列２８が変位すると、その変位方
向と変位量とを演算し、演算した結果に基づいて圧電素
子８８に変位量に見合う駆動電圧を印加する。これによ
り、圧電素子８８は、スライダ部材８６を介してインゴ
ットＩｎをワイヤ列２８の変位を相殺する方向に変位量
だけ移動させてワイヤ列２８の変位を逐次修正する。
尚、ワイヤ列２８の変位量が大きく圧電素子８８による
修正の限界を越えている場合には、特に図示しないが、
スライド部材８６をネジ棒でスライドさせるようにして
もよい。この場合には、制御手段６９で演算したワイヤ
列２８の変位方向及び変位量の信号を、ネジ棒を駆動す
るサーボモータに出力してサーボモータの回転方向及び
回転数を制御すればよい。
【００２５】上記のごとく構成された固定砥粒ワイヤソ
ー１０の作用は次の通りである。オペレータは、ワーク
フィードテーブル７２の移動手段６３のスライド部材８
６にインゴットＩｎを支持する。即ち、まず、マウンテ
ィングブロックＭにスライスベースＳを介してインゴッ
トＩｎを接着し、そのマウンティングブロックＭを移動
手段６３のスライド部材９６に装着する。この時、スラ
イド部材８６とマウンティングブロックＭの垂直基準面
同士及び水平基準面同士が一致するように装着し、この
状態でクランプシリンダ９２でマウンティングブロック
Ｍをスライド部材８６に固定する。これにより、スライ
ド部材８６がインゴットＩｎの軸芯方向であるＹ−Ｙ方
向にスライドすると、このスライドに連動してインゴッ
トＩｎもＹ−Ｙ方向に正確に移動する。
ー１０の作用は次の通りである。オペレータは、ワーク
フィードテーブル７２の移動手段６３のスライド部材８
６にインゴットＩｎを支持する。即ち、まず、マウンテ
ィングブロックＭにスライスベースＳを介してインゴッ
トＩｎを接着し、そのマウンティングブロックＭを移動
手段６３のスライド部材９６に装着する。この時、スラ
イド部材８６とマウンティングブロックＭの垂直基準面
同士及び水平基準面同士が一致するように装着し、この
状態でクランプシリンダ９２でマウンティングブロック
Ｍをスライド部材８６に固定する。これにより、スライ
ド部材８６がインゴットＩｎの軸芯方向であるＹ−Ｙ方
向にスライドすると、このスライドに連動してインゴッ
トＩｎもＹ−Ｙ方向に正確に移動する。
【００２６】次に、駆動モータ６０を駆動して、グルー
ブローラ２４Ａを高速回転させ、ワイヤ列２８を高速走
行させる。なお、この際、固定砥粒付ワイヤ２６は無端
状に形成されているので、一定の走行路を周回すること
になる。次に、ワーク送りモータ７８を駆動して、ワー
クフィードテーブル７２をワイヤ列２８に向けて一定の
送り量で送る。この結果、インゴットＩｎが高速走行す
るワイヤ列２８に押し当てられる。
ブローラ２４Ａを高速回転させ、ワイヤ列２８を高速走
行させる。なお、この際、固定砥粒付ワイヤ２６は無端
状に形成されているので、一定の走行路を周回すること
になる。次に、ワーク送りモータ７８を駆動して、ワー
クフィードテーブル７２をワイヤ列２８に向けて一定の
送り量で送る。この結果、インゴットＩｎが高速走行す
るワイヤ列２８に押し当てられる。
【００２７】ワイヤ列２８に押し当てられたインゴット
Ｉｎは、そのワイヤ列２８との接触部を固定砥粒付ワイ
ヤ２６の周面に固着された固定砥粒に研削され、多数枚
のウエハに切断される。なお、この切断に際して、イン
ゴットＩｎとワイヤ列２８の接触部には、図示しないノ
ズルからクーラントが供給される。供給されたクーラン
トは、ワイヤ列２８の下方に設置された図示しないドレ
ンパンで回収され、廃棄される。
Ｉｎは、そのワイヤ列２８との接触部を固定砥粒付ワイ
ヤ２６の周面に固着された固定砥粒に研削され、多数枚
のウエハに切断される。なお、この切断に際して、イン
ゴットＩｎとワイヤ列２８の接触部には、図示しないノ
ズルからクーラントが供給される。供給されたクーラン
トは、ワイヤ列２８の下方に設置された図示しないドレ
ンパンで回収され、廃棄される。
【００２８】そして、ワイヤ列２８によるインゴットＩ
ｎの切断中、変位検出センサ６７はワイヤ列２８のＹ−
Ｙ方向の変位を逐次検出して検出結果を制御手段６９に
送る。制御手段６９ではワイヤ列２８の変位の方向と変
位量を演算し、ワイヤ列２８の変位を相殺するのに必要
な駆動電圧を圧電素子８８に印加する。これにより、イ
ンゴットＩｎはスライド部材８６のスライドに連動して
ワイヤ列２８の変位を相殺する方向に変位量と同じ移動
量だけ移動する。従って、固定砥粒ワイヤ２６とインゴ
ットＩｎの接触長の変化等によりワイヤ列２６が変位し
てもそれを逐次修正することができるので、切断された
ウエハに反りやＴＴＶが発生しない。
ｎの切断中、変位検出センサ６７はワイヤ列２８のＹ−
Ｙ方向の変位を逐次検出して検出結果を制御手段６９に
送る。制御手段６９ではワイヤ列２８の変位の方向と変
位量を演算し、ワイヤ列２８の変位を相殺するのに必要
な駆動電圧を圧電素子８８に印加する。これにより、イ
ンゴットＩｎはスライド部材８６のスライドに連動して
ワイヤ列２８の変位を相殺する方向に変位量と同じ移動
量だけ移動する。従って、固定砥粒ワイヤ２６とインゴ
ットＩｎの接触長の変化等によりワイヤ列２６が変位し
てもそれを逐次修正することができるので、切断された
ウエハに反りやＴＴＶが発生しない。
【００２９】図７は、変位検出センサ６７の別の実施の
形態を示した斜視図である。図７に示すように、ワイヤ
列２８の近傍には変位検出用の溝付きローラ１０２が軸
受部材１０４に回転自在に支持され、溝付きローラ１０
２の溝にはワイヤ列２８を形成する固定砥粒付ワイヤ２
６が係合される。そして、軸受部材１０４はＹ−Ｙ方向
に移動可能な一対の平行なＹ軸板バネ１０６、１０６と
共に前記基台１８に支持される。また、前記軸受部材１
０４の一端側面には反射板１１４が取り付けられると共
に、反射板１１４の近傍には、反射型のレーザ測長器１
１６が固定設置される。これにより、ワイヤ列２８がイ
ンゴットＩｎの軸芯方向に変位し、それに連動して溝付
きローラ１０２が同方向に変位すると、反射板１１４と
レーザ測長器１１６の距離が変化する。この距離の変化
に基づいて前記制御手段６９でワイヤ列２８の変位方向
と変位量を演算し、ワイヤ列２８の変位を相殺するのに
必要な駆動電圧を圧電素子に印加する。これにより、イ
ンゴットＩｎはスライド部材８６のスライドに連動して
ワイヤ列２８の変位を相殺する方向に変位量と同じ移動
量だけ移動する。従って、固定砥粒ワイヤ２６とインゴ
ットＩｎの接触長の変化等によりワイヤ列２６が変位し
てもそれを逐次修正することができる。
形態を示した斜視図である。図７に示すように、ワイヤ
列２８の近傍には変位検出用の溝付きローラ１０２が軸
受部材１０４に回転自在に支持され、溝付きローラ１０
２の溝にはワイヤ列２８を形成する固定砥粒付ワイヤ２
６が係合される。そして、軸受部材１０４はＹ−Ｙ方向
に移動可能な一対の平行なＹ軸板バネ１０６、１０６と
共に前記基台１８に支持される。また、前記軸受部材１
０４の一端側面には反射板１１４が取り付けられると共
に、反射板１１４の近傍には、反射型のレーザ測長器１
１６が固定設置される。これにより、ワイヤ列２８がイ
ンゴットＩｎの軸芯方向に変位し、それに連動して溝付
きローラ１０２が同方向に変位すると、反射板１１４と
レーザ測長器１１６の距離が変化する。この距離の変化
に基づいて前記制御手段６９でワイヤ列２８の変位方向
と変位量を演算し、ワイヤ列２８の変位を相殺するのに
必要な駆動電圧を圧電素子に印加する。これにより、イ
ンゴットＩｎはスライド部材８６のスライドに連動して
ワイヤ列２８の変位を相殺する方向に変位量と同じ移動
量だけ移動する。従って、固定砥粒ワイヤ２６とインゴ
ットＩｎの接触長の変化等によりワイヤ列２６が変位し
てもそれを逐次修正することができる。
【００３０】尚、本実施の形態では、エンドレスタイプ
の固定砥粒ワイヤソーの例で説明したが、これに限定さ
れるものではなく、一対のワイヤリール間を走行する固
定砥粒ワイヤを２本以上のグルーブローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成するタイプの固定砥粒ワイヤソーにも適
用することができる。
の固定砥粒ワイヤソーの例で説明したが、これに限定さ
れるものではなく、一対のワイヤリール間を走行する固
定砥粒ワイヤを２本以上のグルーブローラに巻き掛けて
ワイヤ列を形成するタイプの固定砥粒ワイヤソーにも適
用することができる。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の固定砥粒
ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置によれば、
ワイヤ列の切断抵抗の変化等により生じるワイヤ列の変
位を逐次修正するようにしたので、切断されたウエハに
反りやＴＴＶのない精度の高い切断を行なうことができ
る。
ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置によれば、
ワイヤ列の切断抵抗の変化等により生じるワイヤ列の変
位を逐次修正するようにしたので、切断されたウエハに
反りやＴＴＶのない精度の高い切断を行なうことができ
る。
【図１】本発明の固定砥粒ワイヤソーの全体構成を説明
する正面図
する正面図
【図２】本発明の固定砥粒ワイヤソーの全体構成を説明
する側面図
する側面図
【図３】本発明の固定砥粒ワイヤソーにおける変位制御
ユニットのおもに移動手段を説明する正面図
ユニットのおもに移動手段を説明する正面図
【図４】本発明の固定砥粒ワイヤソーにおける変位制御
ユニットのおもに移動手段を説明する部分断面図
ユニットのおもに移動手段を説明する部分断面図
【図５】本発明の固定砥粒ワイヤソーにおける変位制御
ユニットのおもに変位検出センサについて説明する斜視
図
ユニットのおもに変位検出センサについて説明する斜視
図
【図６】変位検出センサの検出メカニズムを説明する斜
視図
視図
【図７】変位検出センサの別の実施の態様について説明
する斜視図
する斜視図
【図８】インゴット切断中におけるワイヤ列の変位を説
明する説明図
明する説明図
１０…固定砥粒ワイヤソー １２…切断ユニット １３…変位制御ユニット １４…ワーク送りユニット ２４Ａ、２４Ｂ…グルーブローラ ２８…ワイヤ列 Ｉｎ…インゴット ６３…変位制御ユニットの移動手段 ６７…変位制御ユニットの変位検出センサ ６９…変位制御ユニットの制御手段 ８２…支持部材 ８４…リニアベアリング ８６…スライド部材 ８８…圧電素子 ９０…ガイドレール ９２…クランプシリンダ ９４…発光部 ９６…受光部 １０２…溝付きローラ １０４…軸受部材 １０６…Ｙ軸板バネ １０８…Ｘ軸板バネ １１０…スライド台 １１２…レール
Claims (3)
- 【請求項１】複数のグルーブローラに固定砥粒ワイヤを
巻き掛けてワイヤ列を形成し、走行する前記ワイヤ列に
被加工物を押し当てて該被加工物を多数枚のウェーハに
同時に切断する固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御
方において、 前記ワイヤ列が前記被加工物の軸芯方向に沿って変位し
た時の変位方向と変位量を検出し、 前記検出結果に基づいて前記被加工物を前記ワイヤ列の
変位を相殺する方向に前記変位量と同じ移動量だけ移動
させることを特徴とする固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列
変位制御方法。 - 【請求項２】複数のグルーブローラに固定砥粒ワイヤを
巻き掛けてワイヤ列を形成し、走行する前記ワイヤ列に
被加工物を押し当てて該被加工物を多数枚のウェーハに
同時に切断する固定砥粒ワイヤソーにおいて、 前記ワイヤ列が前記被加工物の軸芯方向に沿って変位し
た時の変位方向と変位量を検出する変位検出手段と、 前記被加工物を該被加工物の軸芯方向に沿って移動させ
る移動手段と、 前記変位検出手段の検出結果に基づいて、前記被加工物
が前記ワイヤ列の変位を相殺する方向に前記変位量と同
じ移動量だけ移動するように前記移動手段を制御する制
御手段と、を備えていることを特徴とする固定砥粒ワイ
ヤソーのワイヤ列変位制御装置。 - 【請求項３】前記移動手段を駆動する駆動源として圧電
素子を用いることを特徴とする請求項２の固定砥粒ワイ
ヤソーのワイヤ列変位制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33440897A JPH11165251A (ja) | 1997-12-04 | 1997-12-04 | 固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33440897A JPH11165251A (ja) | 1997-12-04 | 1997-12-04 | 固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11165251A true JPH11165251A (ja) | 1999-06-22 |
Family
ID=18277046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33440897A Pending JPH11165251A (ja) | 1997-12-04 | 1997-12-04 | 固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11165251A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102328357A (zh) * | 2011-10-08 | 2012-01-25 | 陕西汉江机床有限公司 | 数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置 |
| CN103056975A (zh) * | 2011-10-22 | 2013-04-24 | 应用材料瑞士有限责任公司 | 新型晶片锯割系统 |
| JP2015047673A (ja) * | 2013-09-03 | 2015-03-16 | 新日鐵住金株式会社 | 反りの低減が可能なマルチワイヤー加工方法及びマルチワイヤー加工装置 |
| JP2016140954A (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-08 | 新日鐵住金株式会社 | マルチワイヤー加工方法及びマルチワイヤー加工装置 |
| DE102018221921A1 (de) | 2018-12-17 | 2020-06-18 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben mittels einer Drahtsäge |
| DE102018221922A1 (de) | 2018-12-17 | 2020-06-18 | Siltronic Ag | Verfahren zur Herstellung von Halbleiterscheiben mittels einer Drahtsäge, Drahtsäge und Halbleiterscheibe aus einkristallinem Silizium |
| EP3858569A1 (de) | 2020-01-28 | 2021-08-04 | Siltronic AG | Verfahren zum abtrennen einer vielzahl von scheiben von werkstücken mittels einer drahtsäge während einer abfolge von abtrennvorgängen |
| CN114905646A (zh) * | 2022-05-16 | 2022-08-16 | 西安奕斯伟材料科技有限公司 | 多线切割方法及装置 |
| CN115107177A (zh) * | 2022-05-31 | 2022-09-27 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 精度补偿方法及切片机 |
| WO2024086747A1 (en) | 2022-10-19 | 2024-04-25 | Affinia Therapeutics Inc. | Recombinant aavs with improved tropism and specificity |
-
1997
- 1997-12-04 JP JP33440897A patent/JPH11165251A/ja active Pending
Cited By (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102328357A (zh) * | 2011-10-08 | 2012-01-25 | 陕西汉江机床有限公司 | 数控多线硅片切割机床活动可调式导丝辊主轴装置 |
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| JP2016140954A (ja) * | 2015-02-03 | 2016-08-08 | 新日鐵住金株式会社 | マルチワイヤー加工方法及びマルチワイヤー加工装置 |
| CN113226679A (zh) * | 2018-12-17 | 2021-08-06 | 硅电子股份公司 | 借助于线锯生产半导体晶片的方法 |
| EP4300542A2 (de) | 2018-12-17 | 2024-01-03 | Siltronic AG | Verfahren zur herstellung von halbleiterscheiben mittels einer drahtsäge, drahtsäge und halbleiterscheibe aus einkristallinem silizium |
| CN111319148A (zh) * | 2018-12-17 | 2020-06-23 | 硅电子股份公司 | 借助于线锯制造半导体晶片的方法、线锯以及单晶硅半导体晶片 |
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