JPH11138414A - エンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ - Google Patents
エンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤInfo
- Publication number
- JPH11138414A JPH11138414A JP31339997A JP31339997A JPH11138414A JP H11138414 A JPH11138414 A JP H11138414A JP 31339997 A JP31339997 A JP 31339997A JP 31339997 A JP31339997 A JP 31339997A JP H11138414 A JPH11138414 A JP H11138414A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wire
- fixed abrasive
- abrasive grains
- fixed
- groove
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D61/00—Tools for sawing machines or sawing devices; Clamping devices for these tools
- B23D61/18—Sawing tools of special type, e.g. wire saw strands, saw blades or saw wire equipped with diamonds or other abrasive particles in selected individual positions
- B23D61/185—Saw wires; Saw cables; Twisted saw strips
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ガイドローラ等の磨耗を防止することができ、
かつ、精度の高い切断を行うことができるエンドレスワ
イヤソーの固定砥粒付ワイヤの提供。 【解決手段】固定砥粒付ワイヤＷ2 は、両側部にグルー
ブローラ２４Ａの溝２４ａに嵌合する逆テーパ面Ｔが形
成された断面略扇形形状をしており、その円弧面Ｃにの
み砥粒Ｇが固着されている。これにより、固定砥粒付ワ
イヤＷ2 の振れが防止され、また、グルーブローラ等の
溝の磨耗が抑制される。
かつ、精度の高い切断を行うことができるエンドレスワ
イヤソーの固定砥粒付ワイヤの提供。 【解決手段】固定砥粒付ワイヤＷ2 は、両側部にグルー
ブローラ２４Ａの溝２４ａに嵌合する逆テーパ面Ｔが形
成された断面略扇形形状をしており、その円弧面Ｃにの
み砥粒Ｇが固着されている。これにより、固定砥粒付ワ
イヤＷ2 の振れが防止され、また、グルーブローラ等の
溝の磨耗が抑制される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、エンドレスワイヤ
ソーの固定砥粒付ワイヤに係り、特にシリコン、ガラ
ス、セラミック等の硬脆性材料を切断するエンドレスワ
イヤソーの固定砥粒付ワイヤに関する。
ソーの固定砥粒付ワイヤに係り、特にシリコン、ガラ
ス、セラミック等の硬脆性材料を切断するエンドレスワ
イヤソーの固定砥粒付ワイヤに関する。
【０００２】
【従来の技術】シリコン等の硬脆性材料のインゴットか
らウェーハを切り出す装置の一つに固定砥粒ワイヤソー
がある。この固定砥粒ワイヤソーは、周面に固定砥粒が
固着された固定砥粒付ワイヤを高速走行させ、その高速
走行する固定砥粒付ワイヤにインゴットを押し当てるこ
とにより、インゴットからウェーハを切断する。
らウェーハを切り出す装置の一つに固定砥粒ワイヤソー
がある。この固定砥粒ワイヤソーは、周面に固定砥粒が
固着された固定砥粒付ワイヤを高速走行させ、その高速
走行する固定砥粒付ワイヤにインゴットを押し当てるこ
とにより、インゴットからウェーハを切断する。
【０００３】そして、従来の固定砥粒ワイヤソーは、無
端状に形成された固定砥粒付ワイヤを一対のグルーブロ
ーラに張架し、このグルーブローラを回転駆動すること
により高速走行させていた。
端状に形成された固定砥粒付ワイヤを一対のグルーブロ
ーラに張架し、このグルーブローラを回転駆動すること
により高速走行させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
固定砥粒ワイヤソーでは、ワイヤの周面全体に砥粒が固
着されているため、ワイヤが巻き掛けられるグルーブロ
ーラやガイドローラ等が直ぐに磨耗してしまうという欠
点があった。また、固定砥粒ワイヤソーで精度の高い切
断を行うためには、固定砥粒付ワイヤを高いテンション
で張設しなければならないが、このためにはワイヤの剛
性を高める必要がある。しかし、ワイヤの剛性を高める
ためには、ワイヤの径を大きくしなければならず、ワイ
ヤの径が大きくなるとカーフロス（切断することによっ
て切粉として除去される部分）が大きくなるという問題
があった。
固定砥粒ワイヤソーでは、ワイヤの周面全体に砥粒が固
着されているため、ワイヤが巻き掛けられるグルーブロ
ーラやガイドローラ等が直ぐに磨耗してしまうという欠
点があった。また、固定砥粒ワイヤソーで精度の高い切
断を行うためには、固定砥粒付ワイヤを高いテンション
で張設しなければならないが、このためにはワイヤの剛
性を高める必要がある。しかし、ワイヤの剛性を高める
ためには、ワイヤの径を大きくしなければならず、ワイ
ヤの径が大きくなるとカーフロス（切断することによっ
て切粉として除去される部分）が大きくなるという問題
があった。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ガイドローラ等の磨耗を防止することがで
き、かつ、精度の高い切断を行うことができるエンドレ
スワイヤソーの固定砥粒付ワイヤを提供することを目的
とする。
たもので、ガイドローラ等の磨耗を防止することがで
き、かつ、精度の高い切断を行うことができるエンドレ
スワイヤソーの固定砥粒付ワイヤを提供することを目的
とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
複数本のグルーブローラに巻き掛けられて形成されるワ
イヤ列を一本の無端状の固定砥粒付ワイヤで形成し、前
記グルーブローラを回転駆動して前記ワイヤ列を走行さ
せるとともに、その走行するワイヤ列に被加工物を押し
当てることにより、該被加工物を多数枚のウェーハに同
時に切断するエンドレスワイヤソーにおいて、前記固定
砥粒付ワイヤは、前記被加工物との接触面にのみ砥粒が
固着されていることを特徴とする。
複数本のグルーブローラに巻き掛けられて形成されるワ
イヤ列を一本の無端状の固定砥粒付ワイヤで形成し、前
記グルーブローラを回転駆動して前記ワイヤ列を走行さ
せるとともに、その走行するワイヤ列に被加工物を押し
当てることにより、該被加工物を多数枚のウェーハに同
時に切断するエンドレスワイヤソーにおいて、前記固定
砥粒付ワイヤは、前記被加工物との接触面にのみ砥粒が
固着されていることを特徴とする。
【０００７】本発明によれば、固定砥粒付ワイヤは、被
加工物との接触面にのみ砥粒が固着されている。すなわ
ち、被加工物の切断に必要な部分にのみ砥粒が固着され
ている。したがって、固定砥粒付ワイヤをガイドするグ
ルーブローラ等の溝には、砥粒が接触することはなくな
り、磨耗が抑制される。また、請求項２に係る発明は、
複数本のグルーブローラに巻き掛けられて形成されるワ
イヤ列を一本の無端状の固定砥粒付ワイヤで形成し、前
記グルーブローラを回転駆動して前記ワイヤ列を走行さ
せるとともに、その走行するワイヤ列に被加工物を押し
当てることにより、該被加工物を多数枚のウェーハに同
時に切断するエンドレスワイヤソーにおいて、前記固定
砥粒付ワイヤは、前記グルーブローラの溝に嵌合するよ
うに両側部に逆テーパ面が形成されていることを特徴と
する。
加工物との接触面にのみ砥粒が固着されている。すなわ
ち、被加工物の切断に必要な部分にのみ砥粒が固着され
ている。したがって、固定砥粒付ワイヤをガイドするグ
ルーブローラ等の溝には、砥粒が接触することはなくな
り、磨耗が抑制される。また、請求項２に係る発明は、
複数本のグルーブローラに巻き掛けられて形成されるワ
イヤ列を一本の無端状の固定砥粒付ワイヤで形成し、前
記グルーブローラを回転駆動して前記ワイヤ列を走行さ
せるとともに、その走行するワイヤ列に被加工物を押し
当てることにより、該被加工物を多数枚のウェーハに同
時に切断するエンドレスワイヤソーにおいて、前記固定
砥粒付ワイヤは、前記グルーブローラの溝に嵌合するよ
うに両側部に逆テーパ面が形成されていることを特徴と
する。
【０００８】本発明によれば、固定砥粒付ワイヤは、両
側部にグルーブローラの溝に嵌合する逆テーパ面が形成
されている。これにより、固定砥粒付ワイヤの振れが抑
制され、精度の高い切断を行うことができる。
側部にグルーブローラの溝に嵌合する逆テーパ面が形成
されている。これにより、固定砥粒付ワイヤの振れが抑
制され、精度の高い切断を行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るエンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤの実施の形
態について詳説する。まず、本発明に係る固定砥粒付ワ
イヤが適用されるエンドレスワイヤソーの全体構成につ
いて説明する。
るエンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤの実施の形
態について詳説する。まず、本発明に係る固定砥粒付ワ
イヤが適用されるエンドレスワイヤソーの全体構成につ
いて説明する。
【００１０】図１及び図２に示すように、エンドレスワ
イヤソー１０は、主として、インゴットＩｎの切断を行
う切断ユニット１２と、インゴットＩｎに送りを与える
ワーク送りユニット１４とから構成されている。まず、
切断ユニット１２の構成から説明する。防振台１６、１
６、…を介して水平に設置された架台１８上には、一対
のスピンドルブラケット２０、２０が垂直に立設されて
いる。このスピンドルブラケット２０、２０には、左右
一組のスピンドルユニット２２Ａ、２２Ｂが上下方向に
一対、所定の間隔をもって配設されている。
イヤソー１０は、主として、インゴットＩｎの切断を行
う切断ユニット１２と、インゴットＩｎに送りを与える
ワーク送りユニット１４とから構成されている。まず、
切断ユニット１２の構成から説明する。防振台１６、１
６、…を介して水平に設置された架台１８上には、一対
のスピンドルブラケット２０、２０が垂直に立設されて
いる。このスピンドルブラケット２０、２０には、左右
一組のスピンドルユニット２２Ａ、２２Ｂが上下方向に
一対、所定の間隔をもって配設されている。
【００１１】前記一対のスピンドルユニット２２Ａ、２
２Ｂには、外周に螺旋状の溝が形成されたグルーブロー
ラ２４Ａ、２４Ｂが回動自在に支持されている。固定砥
粒付ワイヤＷは、このグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの
溝に沿ってグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの一方端（入
側）から他方端（出側）に向けて順次巻き掛けられてゆ
く。そして、このグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂに固定
砥粒付ワイヤＷが巻き掛けられることにより、インゴッ
トＩｎを切断するワイヤ列２８が架台１８に対して垂直
に形成される。
２Ｂには、外周に螺旋状の溝が形成されたグルーブロー
ラ２４Ａ、２４Ｂが回動自在に支持されている。固定砥
粒付ワイヤＷは、このグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの
溝に沿ってグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの一方端（入
側）から他方端（出側）に向けて順次巻き掛けられてゆ
く。そして、このグルーブローラ２４Ａ、２４Ｂに固定
砥粒付ワイヤＷが巻き掛けられることにより、インゴッ
トＩｎを切断するワイヤ列２８が架台１８に対して垂直
に形成される。
【００１２】前記グルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの前方
には、ワイヤ列２８を形成した固定砥粒付ワイヤＷをグ
ルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの出側から入側に向けてガ
イドするためのガイドローラ３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、
３０Ｒが設置されている。このガイドローラ３０Ｌ、３
０Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒは、前記グルーブローラ２４Ａ、
２４Ｂの入側と出側にそれぞれ一組ずつ配設されてお
り、前記架台１８上に設置された図示しないフレームに
回転自在に支持されている。前記グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの出側から繰り出された固定砥粒付ワイヤＷ
は、このガイドローラ３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒ
に順次巻きかけてゆくことにより、グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの入側にガイドされる。そして、その入側部
において、その両端部をレーザー溶接等でつなぎ合わさ
れて、無端状に形成される。
には、ワイヤ列２８を形成した固定砥粒付ワイヤＷをグ
ルーブローラ２４Ａ、２４Ｂの出側から入側に向けてガ
イドするためのガイドローラ３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、
３０Ｒが設置されている。このガイドローラ３０Ｌ、３
０Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒは、前記グルーブローラ２４Ａ、
２４Ｂの入側と出側にそれぞれ一組ずつ配設されてお
り、前記架台１８上に設置された図示しないフレームに
回転自在に支持されている。前記グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの出側から繰り出された固定砥粒付ワイヤＷ
は、このガイドローラ３０Ｌ、３０Ｌ、３０Ｒ、３０Ｒ
に順次巻きかけてゆくことにより、グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂの入側にガイドされる。そして、その入側部
において、その両端部をレーザー溶接等でつなぎ合わさ
れて、無端状に形成される。
【００１３】また、前記グルーブローラ２４Ａ、２４Ｂ
の前方には、走行する固定砥粒付ワイヤＷに所定の張力
を付与するテンションユニット３２が設置されている。
このテンションユニット３２は、一対の固定ガイドロー
ラ３４、３４と、その固定ガイドローラ３４、３４の間
に配設されたテンションローラ３６とから構成されてお
り、固定ガイドローラ３４、３４は、前記架台１８上に
設置された図示しないフレーム上に回動自在に支持され
ている。一方、前記テンションローラ３６は、ガイドレ
ール３８上を上下方向に摺動自在に支持されたスライダ
４０上に回動自在に支持されており、所定荷重のテンシ
ョンウェイト４２が吊設されている。両端をつなぎ合わ
された固定砥粒付ワイヤＷは、このテンションユニット
３２の固定ガイドローラ３４、３４及びテンションロー
ラ３６に巻き掛けられることにより、所定の張力が付与
される。
の前方には、走行する固定砥粒付ワイヤＷに所定の張力
を付与するテンションユニット３２が設置されている。
このテンションユニット３２は、一対の固定ガイドロー
ラ３４、３４と、その固定ガイドローラ３４、３４の間
に配設されたテンションローラ３６とから構成されてお
り、固定ガイドローラ３４、３４は、前記架台１８上に
設置された図示しないフレーム上に回動自在に支持され
ている。一方、前記テンションローラ３６は、ガイドレ
ール３８上を上下方向に摺動自在に支持されたスライダ
４０上に回動自在に支持されており、所定荷重のテンシ
ョンウェイト４２が吊設されている。両端をつなぎ合わ
された固定砥粒付ワイヤＷは、このテンションユニット
３２の固定ガイドローラ３４、３４及びテンションロー
ラ３６に巻き掛けられることにより、所定の張力が付与
される。
【００１４】ワイヤ列２８は以上のように形成され、形
成されたワイヤ列２８は、下側に位置するグルーブロー
ラ２４Ｂを高速回転させることによって走行させる。す
なわち、一方のグルーブローラ２４Ｂを駆動モータ４４
で高速回転させることにより高速走行させる。なお、駆
動モータ４４からグルーブローラ２４Ｂへの回転力の伝
達はベルト５０で行い、グルーブローラ２４Ｂの一方端
に連結されたスピンドルプーリ４６と、駆動モータ４４
の出力軸に連結されたモータプーリ４８とをベルト５０
で連結することにより、駆動モータ４４の回転をグルー
ブローラ２４Ｂに伝達する。
成されたワイヤ列２８は、下側に位置するグルーブロー
ラ２４Ｂを高速回転させることによって走行させる。す
なわち、一方のグルーブローラ２４Ｂを駆動モータ４４
で高速回転させることにより高速走行させる。なお、駆
動モータ４４からグルーブローラ２４Ｂへの回転力の伝
達はベルト５０で行い、グルーブローラ２４Ｂの一方端
に連結されたスピンドルプーリ４６と、駆動モータ４４
の出力軸に連結されたモータプーリ４８とをベルト５０
で連結することにより、駆動モータ４４の回転をグルー
ブローラ２４Ｂに伝達する。
【００１５】切断ユニット１２は以上のように構成され
る。次に、切断送りユニット１４の構成について説明す
る。図２に示すように、前記切断ユニット１２が設置さ
れた架台１８上には、その切断ユニット１２の図中右側
にベース５２が設置されている。このベース５２の上部
には一対のガイドレール５４、５４が敷設されており、
該ガイドレール５４、５４上をコラム５６が摺動自在に
支持されている。
る。次に、切断送りユニット１４の構成について説明す
る。図２に示すように、前記切断ユニット１２が設置さ
れた架台１８上には、その切断ユニット１２の図中右側
にベース５２が設置されている。このベース５２の上部
には一対のガイドレール５４、５４が敷設されており、
該ガイドレール５４、５４上をコラム５６が摺動自在に
支持されている。
【００１６】また、前記ベース５２の内部には、前記ガ
イドレール５４、５４に沿ってネジ棒５８が配設されて
おり、該ネジ棒５８は、その両端部をブラケット６０、
６０に回動自在に支持されている。このネジ棒５８の一
方端には、架台１８上に設置されたワーク送りモータ６
２の出力軸が連結されており、このワーク送りモータ６
２を駆動することにより、ネジ棒５８が回動する。前記
コラム５６の下面には、このネジ棒５８と螺合するナッ
ト部材５６Ａが固着されており、前記コラム５６は、こ
のネジ棒５８を回動させることにより移動する。
イドレール５４、５４に沿ってネジ棒５８が配設されて
おり、該ネジ棒５８は、その両端部をブラケット６０、
６０に回動自在に支持されている。このネジ棒５８の一
方端には、架台１８上に設置されたワーク送りモータ６
２の出力軸が連結されており、このワーク送りモータ６
２を駆動することにより、ネジ棒５８が回動する。前記
コラム５６の下面には、このネジ棒５８と螺合するナッ
ト部材５６Ａが固着されており、前記コラム５６は、こ
のネジ棒５８を回動させることにより移動する。
【００１７】前記のごとく移動自在に設けられたコラム
５６は、Ｌ字状に形成されており、その頂部の切断ユニ
ット１２側には、チルチングユニット６４が設けられて
いる。被加工物であるインゴットＩｎは、このチルチン
グユニット６４のワーク保持部に装着される。なお、こ
のチルチングユニット６４は、装着されたインゴットＩ
ｎをワイヤ列２８に対して水平、垂直方向に所定角度傾
斜させて保持することができ、装着されたインゴット
は、このチルチングユニット６４によって結晶方位合わ
せがなされる。
５６は、Ｌ字状に形成されており、その頂部の切断ユニ
ット１２側には、チルチングユニット６４が設けられて
いる。被加工物であるインゴットＩｎは、このチルチン
グユニット６４のワーク保持部に装着される。なお、こ
のチルチングユニット６４は、装着されたインゴットＩ
ｎをワイヤ列２８に対して水平、垂直方向に所定角度傾
斜させて保持することができ、装着されたインゴット
は、このチルチングユニット６４によって結晶方位合わ
せがなされる。
【００１８】また、このチルチングユニット６４へのイ
ンゴットＩｎの装着は、マウンティングブロックＭを介
して行われ、該マウンティングブロックＭにスライスベ
ースＳを介して接着したインゴットＩｎをチルチングユ
ニット６４のワーク保持部にネジ等で固定して装着す
る。エンドレスワイヤソー１０は以上のように構成さ
れ、インゴットＩｎの切断は次のように行われる。
ンゴットＩｎの装着は、マウンティングブロックＭを介
して行われ、該マウンティングブロックＭにスライスベ
ースＳを介して接着したインゴットＩｎをチルチングユ
ニット６４のワーク保持部にネジ等で固定して装着す
る。エンドレスワイヤソー１０は以上のように構成さ
れ、インゴットＩｎの切断は次のように行われる。
【００１９】まず、マウンティングブロックＭにスライ
スベースＳを介してインゴットＩｎを接着し、そのマウ
ンティングブロックＭに接着されたインゴットＩｎをチ
ルチングユニット６４のワーク装着部に装着する。装着
後、インゴットＩｎが所定の結晶方位で切断されるよう
に、チルチングユニット６４によってインゴットＩｎを
ワイヤ列２８に対して所定角度傾斜させる。
スベースＳを介してインゴットＩｎを接着し、そのマウ
ンティングブロックＭに接着されたインゴットＩｎをチ
ルチングユニット６４のワーク装着部に装着する。装着
後、インゴットＩｎが所定の結晶方位で切断されるよう
に、チルチングユニット６４によってインゴットＩｎを
ワイヤ列２８に対して所定角度傾斜させる。
【００２０】次に、駆動モータ４４を駆動して、グルー
ブローラ２４Ｂを高速回転させ、グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂ間に張設されたワイヤ列２８を高速走行させ
る。なお、この際、固定砥粒付ワイヤＷは無端状に形成
されているので、一定の走行路を周回することになる。
次に、ワーク送りモータ６２を駆動して、コラム５６を
切断ユニット１２に向けて一定の送り量で送る。この結
果、インゴットＩｎが高速走行するワイヤ列２８に押し
当てられる。
ブローラ２４Ｂを高速回転させ、グルーブローラ２４
Ａ、２４Ｂ間に張設されたワイヤ列２８を高速走行させ
る。なお、この際、固定砥粒付ワイヤＷは無端状に形成
されているので、一定の走行路を周回することになる。
次に、ワーク送りモータ６２を駆動して、コラム５６を
切断ユニット１２に向けて一定の送り量で送る。この結
果、インゴットＩｎが高速走行するワイヤ列２８に押し
当てられる。
【００２１】ワイヤ列２８に押し当てられたインゴット
Ｉｎは、そのワイヤ列２８との接触部を固定砥粒付ワイ
ヤＷの周面に固着された固定砥粒に研削され、この結
果、多数枚のウェーハに切断される。なお、この切断に
際して、インゴットＩｎとワイヤ列２８との接触部に
は、その接触部上方に設置されたクーラント供給ノズル
６６からクーラントが供給される。そして、供給された
クーラントは、グルーブローラ２４Ｂの下部に設置され
たドレンパン６８で回収、廃棄される。
Ｉｎは、そのワイヤ列２８との接触部を固定砥粒付ワイ
ヤＷの周面に固着された固定砥粒に研削され、この結
果、多数枚のウェーハに切断される。なお、この切断に
際して、インゴットＩｎとワイヤ列２８との接触部に
は、その接触部上方に設置されたクーラント供給ノズル
６６からクーラントが供給される。そして、供給された
クーラントは、グルーブローラ２４Ｂの下部に設置され
たドレンパン６８で回収、廃棄される。
【００２２】このように、エンドレスワイヤソー１０
は、一本の無端状の固定砥粒付ワイヤＷによってワイヤ
列２８を形成し、このワイヤ列２８にインゴットＩｎを
押し当てて切断する。このため、切断される各ウェーハ
は、一本の固定砥粒付ワイヤＷによって切断されること
となり、均一な精度のウェーハが切断される。次に、前
記のごとく構成されたエンドレスワイヤソーに適用され
る本発明に係る固定砥粒付ワイヤの実施の形態について
説明する。
は、一本の無端状の固定砥粒付ワイヤＷによってワイヤ
列２８を形成し、このワイヤ列２８にインゴットＩｎを
押し当てて切断する。このため、切断される各ウェーハ
は、一本の固定砥粒付ワイヤＷによって切断されること
となり、均一な精度のウェーハが切断される。次に、前
記のごとく構成されたエンドレスワイヤソーに適用され
る本発明に係る固定砥粒付ワイヤの実施の形態について
説明する。
【００２３】図３は、本発明に係る固定砥粒付ワイヤの
第１の実施の形態の断面図である。同図に示すように、
第１の実施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ1 は、円形断面
をした素線ワイヤｗ1 の上半分にのみ砥粒Ｇが固着され
ている。すなわち、切断に際してインゴットＩｎの切断
に寄与する部分（インゴットＩｎとの接触部分）にのみ
砥粒Ｇが固着されている。
第１の実施の形態の断面図である。同図に示すように、
第１の実施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ1 は、円形断面
をした素線ワイヤｗ1 の上半分にのみ砥粒Ｇが固着され
ている。すなわち、切断に際してインゴットＩｎの切断
に寄与する部分（インゴットＩｎとの接触部分）にのみ
砥粒Ｇが固着されている。
【００２４】このような構成の固定砥粒付ワイヤＷ1 に
あっては、グルーブローラ２４Ａの溝２４ａに砥粒が接
触しないため、グルーブローラ２４Ａの磨耗を抑制する
ことができる。また、同様にガイドローラ３０Ｒ、３０
Ｌやテンションローラ３６等の磨耗も抑制することがで
きる。なお、固定砥粒付ワイヤＷ1 は、テンションユニ
ット３２によって張力が付与されているので、捩じれて
走行することはなく、常に一定の面がグルーブローラ２
４Ａ等の溝に接触する。したがって、固定砥粒付ワイヤ
Ｗ1 の巻き掛け時に、砥粒Ｇが固着されていない面をグ
ルーブローラ等の溝に嵌め込むようにして張設すれば、
砥粒Ｇがグルーブローラ等の溝に接触することはない。
あっては、グルーブローラ２４Ａの溝２４ａに砥粒が接
触しないため、グルーブローラ２４Ａの磨耗を抑制する
ことができる。また、同様にガイドローラ３０Ｒ、３０
Ｌやテンションローラ３６等の磨耗も抑制することがで
きる。なお、固定砥粒付ワイヤＷ1 は、テンションユニ
ット３２によって張力が付与されているので、捩じれて
走行することはなく、常に一定の面がグルーブローラ２
４Ａ等の溝に接触する。したがって、固定砥粒付ワイヤ
Ｗ1 の巻き掛け時に、砥粒Ｇが固着されていない面をグ
ルーブローラ等の溝に嵌め込むようにして張設すれば、
砥粒Ｇがグルーブローラ等の溝に接触することはない。
【００２５】図４は、本発明に係る固定砥粒付ワイヤの
第２の実施の形態の断面図である。同図に示すように、
第２の実施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ2 は、断面扇形
形状をした素線ワイヤｗ2 の円弧面にのみ砥粒Ｇが固着
されている。すなわち、第２の実施の形態の固定砥粒付
ワイヤＷ2 は、両側部にグルーブローラ２４Ａの溝２４
ａに嵌合する逆テーパ面Ｔが形成されている図４は、本
発明に係る固定砥粒付ワイヤの第２の実施の形態の断面
図である。同図に示すように、第２の実施の形態の固定
砥粒付ワイヤＷ2 は、両側部にグルーブローラ２４Ａの
溝２４ａに嵌合する逆テーパ面Ｔが形成された断面略扇
形形状をしており、その円弧面Ｃにのみ砥粒Ｇが固着さ
れている。
第２の実施の形態の断面図である。同図に示すように、
第２の実施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ2 は、断面扇形
形状をした素線ワイヤｗ2 の円弧面にのみ砥粒Ｇが固着
されている。すなわち、第２の実施の形態の固定砥粒付
ワイヤＷ2 は、両側部にグルーブローラ２４Ａの溝２４
ａに嵌合する逆テーパ面Ｔが形成されている図４は、本
発明に係る固定砥粒付ワイヤの第２の実施の形態の断面
図である。同図に示すように、第２の実施の形態の固定
砥粒付ワイヤＷ2 は、両側部にグルーブローラ２４Ａの
溝２４ａに嵌合する逆テーパ面Ｔが形成された断面略扇
形形状をしており、その円弧面Ｃにのみ砥粒Ｇが固着さ
れている。
【００２６】このような構成の固定砥粒付ワイヤＷ2 に
あっては、固定砥粒付ワイヤＷ2 がグルーブローラ２４
Ａの溝２４ａに嵌合するため、ワイヤの振れを防止する
ことができる。また、円弧面Ｃ、すなわち、インゴット
Ｉｎとの接触部にのみ砥粒Ｇが固着されているため、上
述した第１の実施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ1 と同様
に、グルーブローラやガイドローラ等の磨耗も抑制する
ことができる。
あっては、固定砥粒付ワイヤＷ2 がグルーブローラ２４
Ａの溝２４ａに嵌合するため、ワイヤの振れを防止する
ことができる。また、円弧面Ｃ、すなわち、インゴット
Ｉｎとの接触部にのみ砥粒Ｇが固着されているため、上
述した第１の実施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ1 と同様
に、グルーブローラやガイドローラ等の磨耗も抑制する
ことができる。
【００２７】さらに、このような構成の固定砥粒付ワイ
ヤＷ2 にあっては、同じ横幅Ｄを有する円形断面の固定
砥粒付ワイヤＷ1 と比べて断面積を大きく取ることがで
きので、ワイヤ剛性が向上する。そして、ワイヤ剛性が
向上することにより、ワイヤに高い張力を付与すること
ができるようになり、この結果、同じカーフロスでも高
精度な切断が可能になる。
ヤＷ2 にあっては、同じ横幅Ｄを有する円形断面の固定
砥粒付ワイヤＷ1 と比べて断面積を大きく取ることがで
きので、ワイヤ剛性が向上する。そして、ワイヤ剛性が
向上することにより、ワイヤに高い張力を付与すること
ができるようになり、この結果、同じカーフロスでも高
精度な切断が可能になる。
【００２８】図５は、本発明に係る固定砥粒付ワイヤの
第３の実施の形態の断面図である。同図に示すように、
第３の実施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ3 は、第２の実
施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ2 の近似形態として断面
略三角形状をしている。すなわち、両側部にグルーブロ
ーラ２４Ａの溝２４ａに嵌合する逆テーパ面Ｔが形成さ
れた三角形状をしており、その上面Ｕにのみ砥粒Ｇが固
着されている。
第３の実施の形態の断面図である。同図に示すように、
第３の実施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ3 は、第２の実
施の形態の固定砥粒付ワイヤＷ2 の近似形態として断面
略三角形状をしている。すなわち、両側部にグルーブロ
ーラ２４Ａの溝２４ａに嵌合する逆テーパ面Ｔが形成さ
れた三角形状をしており、その上面Ｕにのみ砥粒Ｇが固
着されている。
【００２９】このような構成の固定砥粒付ワイヤＷ3 に
おいても、上述した第２の実施の形態の固定砥粒付ワイ
ヤＷ2 と同様に、グルーブローラやガイドローラ等の磨
耗を防止しつつ、高精度な切断が可能になる。図６は、
本発明に係る固定砥粒付ワイヤの第４の実施の形態の断
面図である。同図に示すように、第４の実施の形態の固
定砥粒付ワイヤＷ4 は、第２の実施の形態の固定砥粒付
ワイヤＷ2 の近似形態として断面略台形状をしている。
すなわち、両側部にグルーブローラ２４Ａの溝２４ａに
嵌合する逆テーパ面Ｔが形成された台形状をしており、
その上面Ｕにのみ砥粒Ｇが固着されている。
おいても、上述した第２の実施の形態の固定砥粒付ワイ
ヤＷ2 と同様に、グルーブローラやガイドローラ等の磨
耗を防止しつつ、高精度な切断が可能になる。図６は、
本発明に係る固定砥粒付ワイヤの第４の実施の形態の断
面図である。同図に示すように、第４の実施の形態の固
定砥粒付ワイヤＷ4 は、第２の実施の形態の固定砥粒付
ワイヤＷ2 の近似形態として断面略台形状をしている。
すなわち、両側部にグルーブローラ２４Ａの溝２４ａに
嵌合する逆テーパ面Ｔが形成された台形状をしており、
その上面Ｕにのみ砥粒Ｇが固着されている。
【００３０】このような構成の固定砥粒付ワイヤＷ4 に
おいても、前記同様、グルーブローラやガイドローラ等
の磨耗を防止しつつ、高精度な切断が可能になる。な
お、以上の第１〜第４の実施の形態の固定砥粒付ワイヤ
Ｗ1 〜Ｗ4 のうち何れの固定砥粒付ワイヤＷ1 〜Ｗ4 を
使用するかは、グルーブローラの溝形状等を考慮して最
適なものを使用する。
おいても、前記同様、グルーブローラやガイドローラ等
の磨耗を防止しつつ、高精度な切断が可能になる。な
お、以上の第１〜第４の実施の形態の固定砥粒付ワイヤ
Ｗ1 〜Ｗ4 のうち何れの固定砥粒付ワイヤＷ1 〜Ｗ4 を
使用するかは、グルーブローラの溝形状等を考慮して最
適なものを使用する。
【００３１】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
固定砥粒付ワイヤをガイドするグルーブローラ等の磨耗
が抑制されるとともに、被加工物を高精度に切断するこ
とができる。
固定砥粒付ワイヤをガイドするグルーブローラ等の磨耗
が抑制されるとともに、被加工物を高精度に切断するこ
とができる。
【図１】エンドレスワイヤソーの構成を示す正面図
【図２】エンドレスワイヤソーの構成を示す側面図
【図３】本発明に係る固定砥粒付ワイヤの第１の実施の
形態の断面図
形態の断面図
【図４】本発明に係る固定砥粒付ワイヤの第２の実施の
形態の断面図
形態の断面図
【図５】本発明に係る固定砥粒付ワイヤの第３の実施の
形態の断面図
形態の断面図
【図６】本発明に係る固定砥粒付ワイヤの第４の実施の
形態の断面図
形態の断面図
１０…エンドレスワイヤソー ２４Ａ、２４Ｂ…グルーブローラ ２４ａ…溝 ２８…ワイヤ列 ３０Ｌ、３０Ｒ…ガイドローラ ３６…テンションローラ ４４…駆動モータ ５６…コラム ６２…ワーク送りモータ ６４…チルチングユニット Ｉｎ…インゴット Ｗ、Ｗ1 、Ｗ2 、Ｗ3 、Ｗ4 …固定砥粒付ワイヤ ｗ1 、ｗ2 、ｗ3 、ｗ4 …素線ワイヤ Ｇ…砥粒 Ｔ…逆テーパ面
Claims (4)
- 【請求項１】 複数本のグルーブローラに巻き掛けられ
て形成されるワイヤ列を一本の無端状の固定砥粒付ワイ
ヤで形成し、前記グルーブローラを回転駆動して前記ワ
イヤ列を走行させるとともに、その走行するワイヤ列に
被加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数枚
のウェーハに同時に切断するエンドレスワイヤソーにお
いて、 前記固定砥粒付ワイヤは、前記被加工物との接触面にの
み砥粒が固着されていることを特徴とするエンドレスワ
イヤソーの固定砥粒付ワイヤ。 - 【請求項２】 複数本のグルーブローラに巻き掛けられ
て形成されるワイヤ列を一本の無端状の固定砥粒付ワイ
ヤで形成し、前記グルーブローラを回転駆動して前記ワ
イヤ列を走行させるとともに、その走行するワイヤ列に
被加工物を押し当てることにより、該被加工物を多数枚
のウェーハに同時に切断するエンドレスワイヤソーにお
いて、 前記固定砥粒付ワイヤは、前記グルーブローラの溝に嵌
合するように両側部に逆テーパ面が形成されていること
を特徴とするエンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイ
ヤ。 - 【請求項３】 前記固定砥粒付ワイヤは、断面略扇形形
状をしていることを特徴とする請求項２記載のエンドレ
スワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ。 - 【請求項４】 前記固定砥粒付ワイヤは、前記被加工物
との接触面にのみ砥粒が固着されていること特徴とする
請求項２又は３記載のエンドレスワイヤソーの固定砥粒
付ワイヤ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31339997A JPH11138414A (ja) | 1997-11-14 | 1997-11-14 | エンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31339997A JPH11138414A (ja) | 1997-11-14 | 1997-11-14 | エンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11138414A true JPH11138414A (ja) | 1999-05-25 |
Family
ID=18040809
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31339997A Pending JPH11138414A (ja) | 1997-11-14 | 1997-11-14 | エンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11138414A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003340634A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-02 | Cosmo Koki Co Ltd | 不断水式管切断方法 |
| JP2005034937A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Tokusen Kogyo Co Ltd | ソーワイヤマシン |
| WO2011105450A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | 株式会社コベルコ科研 | 樹脂被覆ソーワイヤの設計方法 |
| ITFI20100035A1 (it) * | 2010-03-11 | 2011-09-12 | Giorgini Maggi Mmg S R L | Macchina a filo diamantato per il taglio di materiali lapidei |
| CN106976164A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-07-25 | 无锡斯达新能源科技股份有限公司 | 多线循环切割机用储线及延长线回收装置 |
-
1997
- 1997-11-14 JP JP31339997A patent/JPH11138414A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003340634A (ja) * | 2002-05-28 | 2003-12-02 | Cosmo Koki Co Ltd | 不断水式管切断方法 |
| JP2005034937A (ja) * | 2003-07-18 | 2005-02-10 | Tokusen Kogyo Co Ltd | ソーワイヤマシン |
| JP4504637B2 (ja) * | 2003-07-18 | 2010-07-14 | トクセン工業株式会社 | ソーワイヤマシン |
| WO2011105450A1 (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-01 | 株式会社コベルコ科研 | 樹脂被覆ソーワイヤの設計方法 |
| JP2011194559A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-10-06 | Kobelco Kaken:Kk | 樹脂被覆ソーワイヤの設計方法 |
| ITFI20100035A1 (it) * | 2010-03-11 | 2011-09-12 | Giorgini Maggi Mmg S R L | Macchina a filo diamantato per il taglio di materiali lapidei |
| CN106976164A (zh) * | 2016-08-29 | 2017-07-25 | 无锡斯达新能源科技股份有限公司 | 多线循环切割机用储线及延长线回收装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4803717B2 (ja) | ワイヤソー | |
| EP0803336B1 (en) | Wire saw and work slicing method | |
| US4494523A (en) | Wire saw | |
| JPH11138414A (ja) | エンドレスワイヤソーの固定砥粒付ワイヤ | |
| JP2000218504A (ja) | 固定砥粒付ワイヤ及び固定砥粒ワイヤソーの切断方法 | |
| JPH11198018A (ja) | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー | |
| JPH11165251A (ja) | 固定砥粒ワイヤソーのワイヤ列変位制御方法及び装置 | |
| JPH11138412A (ja) | 固定砥粒付ワイヤソー及びその被加工物切断方法 | |
| JPH1058438A (ja) | ワイヤソーのガイドローラ | |
| JP2000309015A (ja) | ワイヤソーのワイヤ巻掛方法 | |
| JP3032125B2 (ja) | ワイヤソー装置 | |
| JPH11245159A (ja) | ワイヤソーのトラバース装置 | |
| JPH11151655A (ja) | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー | |
| JPH11129152A (ja) | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー | |
| JPH11188599A (ja) | 固定砥粒付ワイヤソーのワイヤ径検出装置 | |
| JPH1177510A (ja) | 固定砥粒ワイヤソー及びその被加工物切断方法 | |
| JP3101662B2 (ja) | ワイヤソーのワイヤ供給方法とそれを用いたワイヤソー | |
| JP3434414B2 (ja) | ワイヤソー及びその切断停止制御方法 | |
| JPH1086143A (ja) | ワイヤソーの溝付ローラ | |
| JP2656719B2 (ja) | ワイヤーソーにおけるローラへの異物巻込防止装置 | |
| JPH10337648A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH11138411A (ja) | 固定砥粒付エンドレスワイヤソー及びそのワイヤ巻掛方法 | |
| JP2000108012A (ja) | ワイヤソー | |
| JPH0569225A (ja) | 無端状カツタおよび切断装置 | |
| JP2000218510A (ja) | 固定砥粒ワイヤソー |