JPH11245159A - ワイヤソーのトラバース装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】コンパクトな構成のワイヤソーのトラバース装
置の提供。 【解決手段】ワイヤ１４をガイドする第１ガイドローラ
７０及び第２ガイドローラ７２はスライドテーブル５２
上に配設されている。このスライドテーブル５２の背面
部にはナット回転型のボールネジ５６が取り付けられて
おり、該ボールネジ５６は本体フレーム６に固定された
ネジ棒４８に螺合されている。サーボモータ６８を駆動
すると、このボールネジ５６が回転し、これにより、ス
ライドテーブル５３がガイドレール４４に沿って移動す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのトラバ
ース装置に係り、特にシリコン、ガラス、セラミックス
等の硬脆性材料を切断するワイヤソーのトラバース装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】トラバース装置は、ワイヤリールから繰
り出し又は巻き取られるワイヤをワイヤリールに対して
略直角にガイドする装置であり、通常、ワイヤ案内用の
ガイドローラを備えた走行体をワイヤリールの軸線に沿
って往復移動させることによりワイヤをガイドする。

【０００３】ところで、このトラバース装置の駆動方式
についてみると、ネジ駆動方式、リニアモータ方式、レ
バー方式、ラック・ピニオン方式、ベルト方式等種々の
駆動方式が考案されているが、実際のワイヤソーに組み
込まれているものとしてはネジ駆動方式あるいはリニア
モータ方式のものが多い。両者を比較した場合、動きの
スムーズさや設置面積の点ではリニアモータ方式が優れ
ているといえるが、コスト面を考慮すると構成や制御が
単純なネジ駆動方式の方が優れているといえる。

【０００４】ここで、従来のネジ駆動方式のトラバース
装置についてみると、従来のトラバース装置は、ネジ棒
側を回転させることによって駆動していた。たとえば、
特公平５─３４１２３号公報に開示されているトラバー
ス装置では、ガイドローラを備えた走行体をワイヤリー
ルの軸線に沿ってスライド自在に支持し、その走行体に
ワイヤリールの軸線に沿って配設されたネジ棒を螺合さ
せ、該ネジ棒をモータで回転させることによって、ガイ
ドローラをワイヤリールに沿って往復移動させていた。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ネジ駆動方式のトラバース装置では、ネジ棒を駆動する
モータがネジ棒の同軸上に連結されていたため、そのモ
ータを設置した長さ分だけ装置の全長が長くなるという
欠点があった。本発明は、このような事情に鑑みてなさ
れたもので、コンパクトな構成のワイヤソーのトラバー
ス装置を提供することを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る発明は、
前記目的を達成するために、ワイヤソーのワイヤリール
から繰り出し又は巻き取られるワイヤをワイヤリールに
対して略直角にガイドするワイヤソーのトラバース装置
において、トラバース装置本体と、前記トラバース装置
本体に設けられ、前記ワイヤリールの軸線に沿って配設
されたガイド部材と、前記ガイド部材にスライド自在に
設けられた走行体と、前記走行体に設けられ、前記ワイ
ヤリールから繰り出し又は巻き取られるワイヤをガイド
するガイドローラと、前記トラバース装置本体に設けら
れ、前記ガイド部材に沿って配設されたネジ棒と、前記
走行体に回動自在に設けられ、前記ネジ棒と螺合するナ
ット部材と、前記走行体に設けられ、前記ナット部材を
回転させることにより、前記走行体を前記ガイド部材に
沿ってスライド移動させる回転駆動手段と、からなるこ
とを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、ネジ棒がトラバース装置
本体に固定されている。そして、このネジ棒に螺合する
ナット部材を、走行体に設けられた回転駆動手段で回転
させることにより、走行体がガイド部材に沿って走行す
る。また、請求項２に係る発明は、前記目的を達成する
ために、ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し又は巻
き取られるワイヤをワイヤリールに対して略直角にガイ
ドするワイヤソーのトラバース装置において、トラバー
ス装置本体と、前記トラバース装置本体に設けられ、前
記ワイヤリールの軸線に沿って配設されたガイド部材
と、前記ガイド部材にスライド自在に設けられた走行体
と、前記走行体に設けられ、前記ワイヤリールから繰り
出し又は巻き取られるワイヤをガイドするガイドローラ
と、前記走行体に設けられ、前記ガイド部材に沿って配
設されたネジ棒と、前記トラバース装置本体に回動自在
に設けられ、前記ネジ棒と螺合するナット部材と、前記
トラバース装置本体に設けられ、前記ナット部材を回転
させることにより、前記走行体を前記ガイド部材に沿っ
てスライド移動させる回転駆動手段と、からなることを
特徴とする。

【０００８】本発明によれば、ネジ棒が走行体に固定さ
れている。そして、このネジ棒に螺合するナット部材
を、トラバース装置に設けられた回転駆動手段で回転さ
せることにより、走行体がガイド部材に沿って走行す
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのトラバース装置の好ましい実施の形態に
ついて詳説する。まず、本実施の形態のトラバース装置
が適用されるワイヤソーについて説明する。

【００１０】図１は、ワイヤソー１０の全体構成を示す
斜視図である。同図に示すように、ワイヤリール１２に
巻かれたワイヤ１４は、多数のガイドローラ１６、１
６、…で形成されるワイヤ走行路を経て３本のグルーブ
ローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃに巻き掛けられる。そし
て、その３本のグルーブローラ１８Ａ、１８Ｂ、１８Ｃ
に巻き掛けられることによって水平なワイヤ列２０を形
成する。ワイヤ列２０を形成したワイヤ１４は、ワイヤ
列２０を挟んで左右対称に形成された他方側のワイヤ走
行路を経て図示しないワイヤリールに巻き取られる。

【００１１】前記ワイヤ列２０の両側に形成されたワイ
ヤ走行路には、それぞれトラバース装置２２、ダンサロ
ーラ２４及びワイヤ洗浄装置２６が配設されている（各
々一方側のみ図示）。トラバース装置２２は、ワイヤリ
ール１２から繰り出し又は巻き取られるワイヤ１４をワ
イヤリール１２に対して略直角にガイドする。また、ダ
ンサローラ２４は、走行するワイヤ１４に一定の張力を
付与し、ワイヤ洗浄装置２６は、ワイヤ１４に付着した
スラリをワイヤ１４から除去する。なお、トラバース装
置２２の構成については、後に更に詳述する。

【００１２】前記一対のワイヤリール１２及びグルーブ
ローラ１８Ｃには、それぞれ正逆回転可能なモータ（図
示せず）が連結されており、前記ワイヤ１４は、このモ
ータを駆動することにより、一対のワイヤリール１２間
を高速で往復走行する。前記ワイヤ列２０の上方には、
ワイヤ列２０に対して垂直に昇降移動するワークフィー
ドテーブル２８が設置されている。ワークフィードテー
ブル２８にはチルチングユニット３０が備えられてお
り、被加工物であるインゴット３２は、このチルチング
ユニット３０の下部に保持される。そして、このチルチ
ングユニット３０によって、インゴット３２の結晶方位
合わせがなされる。

【００１３】ワイヤソー１０は以上のように構成され
る。次に、このワイヤソー１０によるインゴット３２の
切断方法について説明する。まず、インゴット３２をチ
ルチングユニット３０のワーク保持部に装着する。そし
て、そのチルチングユニット３０を用いてインゴット３
２の結晶方位合わせを行う。

【００１４】次に、モータ（図示せず）を駆動してワイ
ヤリール１２及びグルーブローラ１８Ｃを高速回転さ
せ、ワイヤ１４を高速走行させる。そして、そのワイヤ
１４の走行が安定したところで、ワークフィードテーブ
ル２８を下降させ、高速走行するワイヤ列２０にインゴ
ット３２を押し当てる。この際、ワイヤ列２０とインゴ
ット３２との接触部には、図示しないノズルからスラリ
が供給され、インゴット３２は、このスラリ中に含有さ
れる砥粒のラッピング作用で多数枚のウェーハに切断さ
れる。

【００１５】なお、インゴット３２の加工に供したスラ
リは、ワイヤ列２０の下方位置に設置されたオイルパン
３６を介してスラリタンク３４に回収され、循環供給さ
れる。この際、スラリは加工時に発生する熱を吸熱して
温度上昇するので、回収したスラリは、熱交換機３８に
循環されて一定温度に冷却される。次に、以上のように
構成されたワイヤソー１０に適用されるトラバース装置
２２の第１の実施の形態について説明する。

【００１６】上述したように、トラバース装置２２は、
ワイヤ１４の繰り出し時には、ワイヤ１４がワイヤリー
ル１２の軸線に対して略直角に繰り出されるようにガイ
ドするとともに、ワイヤ１４の巻取り時には、ワイヤ１
４がワイヤリール１２に一定ピッチで巻き取られるよう
にガイドするものである。図２に示すように、ワイヤリ
ール１２の近傍には、ワイヤリール１２の軸線に沿って
一対のガイドレール４４、４４が敷設されている。この
一対のガイドレール４４、４４は、ワイヤソー本体（図
示せず）に固定された本体フレーム４６に所定の間隔を
もって敷設されている。

【００１７】前記一対のガイドレール４４、４４間には
ガイドレール４４、４４に沿って一本のネジ棒４８が配
設されており、該ネジ棒４８は、その両端部が前記本体
フレーム４６に固定されている。図３及び図４に示すよ
うに、前記ガイドレール４４、４４上には、リニアガイ
ド５０、５０、…を介してスライドテーブル５２がスラ
イド自在に設けられている。このスライドテーブル５２
の背面部には、ブラケット５４を介してナット回転型の
ボールネジ５６が設けられており、該ボールネジ５６は
前記ネジ棒４８に螺合されている。

【００１８】ここで、前記ボールネジ５６は、内蔵する
ナット部材（図示せず）がベアリング（図示せず）によ
って回動自在に支持されている。そして、このナット部
材を回転させることにより、スライドテーブル５２がガ
イドレール４４、４４上をスライド移動する。なお、こ
のナット部材を回転させる機構は、以下のとおりであ
る。

【００１９】図３及び図４に示すように、前記スライド
テーブル５２の正面部には、モータブラケット５８が固
着されており、該モータブラケット５８には図示しない
ボルトによってサーボモータ６０が固定されている。こ
のサーボモータ６０の出力軸６０ａには、駆動プーリ６
２が固着されており、該駆動プーリ６２にはタイミング
ベルト６４が巻き掛けられている。

【００２０】一方、前記ボールネジ５６のナット部材に
は、その上端部に従動プーリ６６が固着されている。こ
の従動プーリ６６には、前記駆動プーリ６２に巻き掛け
られたタイミングベルト６４が巻き掛けられている。以
上の構成により、前記サーボモータ６０を駆動すると、
その出力軸６０ａに固着された駆動プーリ６２が回転
し、その回転がタイミングベルト６４を介して従動プー
リ６６に伝達される。そして、その従動プーリ６６が回
転することにより、ナット部材が回転し、この結果、ス
ライドテーブル５２がガイドレール４４、４４上をスラ
イド移動する。

【００２１】なお、スライドテーブル５２の位置は、サ
ーボモータ６０に装着したアブソリュート型エンコーダ
６８によって検出する。このアブソリュート型エンコー
ダ６８は、絶対値で出力されるので、仮に電源が切断さ
れたり、回転軸が不用意に移動されても、電源再投入時
に即現在値を読み込むことができる。したがって、電源
投入時に原点復帰などの動作を行わなくても、スライド
テーブル５２の現在位置を正確に検出することができ
る。

【００２２】スライドテーブル５２は、前記のごとくガ
イドレール４４、４４上をスライド移動し、このスライ
ドテーブル５２上にワイヤリール１２から繰り出される
又は巻き取られるワイヤ１４をガイドする第１ガイドロ
ーラ７０と第２ガイドローラ７２が設けられている。第
１ガイドローラ７０は、前記モータブラケット５８に固
着されたアーム７４の先端に水平に配置されており、そ
のアーム７４の先端に配設された第１スピンドルユニッ
ト７６に装着されて回動自在に支持されている。

【００２３】一方、第２ガイドローラ７２は、前記スラ
イドテーブル５２に固着されたブラケット７８の先端に
垂直に配置されており、そのブラケット７８の先端に配
設された第２スピンドルユニット８０に装着されて回動
自在に支持されている。ワイヤリール１２から繰り出さ
れたワイヤ１４は、図２に示すように、まず、第１ガイ
ドローラ７０に巻き掛けられて水平にガイドされたの
ち、第２ガイドローラ７２に巻き掛けられて垂直方向に
方向転換される。そして、ワイヤソー本体（図示せず）
に配設された第３ガイドローラ８２を経て他方側のワイ
ヤリールに向かって走行する。

【００２４】また、ワイヤリール１２に巻き取られるワ
イヤ１４は、第２ガイドローラ７２に巻き掛けられて水
平方向に方向転換されたのち、第１ガイドローラ７０に
ガイドされてワイヤリール１２に巻き取られる。ここ
で、前記スライドテーブル５２は、ワイヤ１４の繰り出
し時には、第１ガイドローラ７０によってガイドされる
ワイヤ１４が、ワイヤリール１２の軸線に対して略直角
にガイドされるように移動し、ワイヤ１４の巻取り時に
は、第１ガイドローラ７０によってガイドされるワイヤ
１４が、ワイヤリール１２に一定ピッチで巻き取られる
ように移動する。

【００２５】なお、ワイヤ１４をガイドする第１ガイド
ローラ７０及び第２ガイドローラ７２には、ワイヤガイ
ド用の溝が２溝形成されている。溝が２溝形成されてい
るのは、ガイドローラ７０の寿命を伸ばすためであり、
一方の溝が磨耗した場合、ガイドローラを反転させて他
方側の溝を使用する。次に、前記のごとく構成された本
実施の形態のトラバース装置２２の作用について説明す
る。

【００２６】前記のごとく構成されたトラバース装置２
２において、ワイヤリール１２から繰り出されたワイヤ
１４をワイヤリール１２の軸線に対して常に直角な状態
でガイドするためには、ワイヤ１４の繰出位置の変位に
追従して、第１ガイドローラ７０及び第２ガイドローラ
７２を移動させる必要がある。また、ワイヤリール１２
に巻き取られるワイヤ１４を常に一定ピッチで巻き取る
ためには、ワイヤ１４の巻取位置の変位に追従して、第
１ガイドローラ７０及び第２ガイドローラ７２を移動さ
せる必要がある。

【００２７】ここで、前記第１ガイドローラ７０及び第
２ガイドローラ７２は、スライドテーブル５２上に設け
られているので、このスライドテーブル５２を移動させ
ることによって、第１ガイドローラ７０及び第２ガイド
ローラ７２を移動させることになる。そして、このスラ
イドテーブル５２は、スライドテーブル５２に備えられ
たサーボモータ６０を駆動することによってガイドレー
ル４４、４４上を移動する。

【００２８】すなわち、スライドテーブル５２に備えら
れているサーボモータ６０を駆動することによって駆動
プーリ６２が回転し、その駆動プーリ６２の回転がタイ
ミングベルト６４を介して従動プーリ６６に伝達され
て、従動プーリ６６が回転する。そして、この従動プー
リ６６が回転することによって、従動プーリ６６が固着
されているボールネジ５６のナット部材が回転する。

【００２９】ここで、このボールネジ５６のナット部材
は、本体フレーム４６に固定されたネジ棒４８に螺合さ
れているので、このナット部材が回転することによって
ネジ棒４８に沿って移動する。そして、このボールネジ
５６のナット部材がネジ棒４８に沿って移動する結果、
スライドテーブル５２がガイドレール４４、４４に沿っ
て移動する。

【００３０】なお、前記サーボモータ６０は、図示しな
い制御装置から出力される制御信号に基づいて駆動され
ており、該制御装置は、あらかじめ設定された制御プロ
グラムに従ってサーボモータ６０の駆動を制御する。す
なわち、第１ガイドローラ７０及び第２ガイドローラ７
２によってガイドされるワイヤ１４が、ワイヤリール１
２の軸線に対して常に略直角に繰り出されるように、又
はワイヤリール１２に一定ピッチで巻き取られるように
サーボモータ６０の駆動を制御する。

【００３１】このように、本実施の形態のトラバース装
置２２によれば、駆動用のサーボモータ６０がスライド
テーブル５２に設けられているので、従来のネジ棒側を
回転させて駆動するタイプのトラバース装置２２に比
べ、装置の全長が短くなり、コンパクトな構成になる。
このことは、ワイヤリール１２を垂直に設置するタイプ
のワイヤソーにとって特に有効である。

【００３２】すなわち、トラバース装置の設置位置は、
インゴットの切断位置（グルーブローラの設置位置）と
の関係によって決められるが、保守点検等の作業性やイ
ンゴットの搬出入の面を考慮すると、インゴットの切断
位置は低くならざるを得ず、この結果、トラバース装置
の床面からの設置位置も制限される。そして、従来の全
長が長いトラバース装置では、スペース的に設置が困難
であるという問題があった。

【００３３】しかしながら、本実施の形態のトラバース
装置２２は、従来のトラバース装置よりも大幅に装置の
全長を短くすることができるので、このような問題点が
生じることもなくなる。また、駆動用のサーボモータ６
０をスライドテーブル５２上に設置することにより、サ
ーボモータ６０の保守、点検が容易になり、メンテナン
ス性が向上する。

【００３４】なお、ワイヤ１４がワイヤリール１２の軸
線に対して常に略直角に繰り出されるように、ワイヤリ
ール１２の軸線に対するワイヤ１４の角度を検出し、こ
の検出結果に基づいてサーボモータ６０の駆動を制御す
るようにしてもよい。なお、この際、ワイヤ１４の角度
を検出するユニットセンサは、スライドテーブル５２上
に設置する。

【００３５】次に、本発明に係るワイヤソーのトラバー
ス装置の第２の実施の形態について説明する。図５は、
第２の実施の形態のトラバース装置１００の構成を示す
側面断面図である。ワイヤソー本体（図示せず）に固定
された本体フレーム１０２には、所定の間隔をもって一
対のガイドレール１０４、１０４が敷設されている。こ
のガイドレール１０４、１０４上には、リニアガイド１
０６、１０６…を介してスライドテーブル１０８がスラ
イド自在に設けられている。

【００３６】前記スライドテーブル１０８の背面部に
は、前記ガイドレール１０４、１０４に沿って一本のネ
ジ棒１１０が配設されており、該ネジ棒１１０は、その
両端部が前記スライドテーブル１０８の背面部に固定さ
れた支持部材１１２、１１２に支持されている。前記ス
ライドテーブル１０８の背面部に配設されたネジ棒１１
０には、ナット回転型のボールネジ１１４が螺合されて
おり、該ボールネジ１１４は、本体フレーム１０２に設
けられたブラケット１１６に図示しないボルトによって
固定されている。

【００３７】ここで、このボールネジ１１４は、前述し
た第１の実施の形態のボールネジ５６と同様に内蔵する
ナット部材（図示せず）がベアリング（図示せず）によ
って回動自在に支持されており、このナット部材を回転
させることによってスライドテーブル１０８がガイドレ
ール１０４、１０４に沿って移動する。そして、このボ
ールネジ１１４のナット部材は、次の機構によって回転
駆動される。

【００３８】図５に示すように、前記本体フレーム１０
２上には、モータブラケット１１８を介してサーボモー
タ１２０が設けられている。このサーボモータ１２０の
出力軸には、駆動プーリ１２２が固着されており、該駆
動プーリ１２２にはタイミングベルト６４が巻き掛けら
れている。一方、前記ボールネジ１１４のナット部材に
は従動プーリ１２６が固着されており、該従動プーリ１
２６には、前記駆動プーリ１２２に巻き掛けられたタイ
ミングベルト１２４が巻き掛けられている。

【００３９】以上の構成により、前記サーボモータ１２
０を駆動すると、その出力軸に固着された駆動プーリ１
２２が回転し、その回転がタイミングベルト１２４を介
して従動プーリ１２６に伝達される。そして、その従動
プーリ１２６が回転することにより、ナット部材が回転
し、この結果、スライドテーブル１０８がガイドレール
１０４、１０４に沿って移動する。

【００４０】なお、スライドテーブル１０８の位置は、
前記第１の実施の形態と同様に、サーボモータ１２０に
装着したアブソリュート型エンコーダ１２８によって検
出する。前記のごとくスライド移動するスライドテーブ
ル１０８上には、ワイヤリール１２から繰り出されたワ
イヤ１４をガイドする第１ガイドローラ１３０と第２ガ
イドローラ１３２が設けられている。

【００４１】第１ガイドローラ１３０は、前記スライド
テーブル１０８に固着されたアーム１３４の先端に水平
に配置されており、そのアーム１３４の先端に配設され
た第１スピンドルユニット１３６に装着されて回動自在
に支持されている。一方、第２ガイドローラ１３２は、
前記スライドテーブル５２に固着された支持ブラケット
１３８の先端に垂直に配置されており、その支持ブラケ
ット１３８の先端に配設された第２スピンドルユニット
１４０に装着されて回動自在に支持されている。

【００４２】ワイヤリール１２から繰り出されたワイヤ
１４は、まず、第１ガイドローラ１３０に巻き掛けられ
て水平にガイドされたのち、第２ガイドローラ１３２に
巻き掛けられて垂直方向に方向転換される。そして、ワ
イヤソー本体に配設された第３ガイドローラを経て他方
側のワイヤリールに向かって走行する（図２参照）。次
に、前記のごとく構成された本実施の形態のトラバース
装置１００の作用について説明する。

【００４３】本体フレーム１０２に備えられているサー
ボモータ１２０を駆動すると、その出力軸に固着されて
いる駆動プーリ１２２が回転する。そして、その駆動プ
ーリ１２２の回転がタイミングベルト１２４を介して従
動プーリ１２６に伝達されて、従動プーリ１２６が回転
する。従動プーリ１２６が回転すると、その従動プーリ
１２６に固着されているボールネジ１１４のナット部材
が回転し、この結果、そのナット部材に螺合されている
ネジ棒１１０が、その軸線に沿って移動する。そして、
このネジ棒１１０が軸線に沿って移動することにより、
スライドテーブル１０８がガイドレール１０４、１０４
に沿って移動する。

【００４４】このように、本実施の形態のトラバース装
置１００によれば、駆動用のサーボモータ１２０が本体
フレーム１０２の内側に設置されているので、全長が短
く、コンパクトな構成になる。なお、上述した実施の形
態では、遊離砥粒タイプのワイヤソーに本発明に係るト
ラバース装置を適用した実施の形態で説明したが、本発
明に係るトラバース装置は、固定砥粒タイプのワイヤソ
ー（ワイヤに固定砥粒付ワイヤ（ワイヤの周面に砥粒が
固着したワイヤ）を使用したワイヤソー）にも同様に適
用することができる。

【００４５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
全長が短く、コンパクトな構成のトラバース装置とな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】ワイヤソーの全体構成を示す斜視図

【図２】第１の実施の形態のトラバース装置の構成を示
す正面図

【図３】第１の実施の形態のトラバース装置の要部の構
成を示す側面断面図

【図４】図３のＡ−Ａ断面図

【図５】第２の実施の形態のトラバース装置の構成を示
す側面断面図

【符号の説明】

１０…ワイヤソー １２…ワイヤリール １４…ワイヤ １８Ａ〜１８Ｃ…グルーブローラ ２０…ワイヤ列 ２２、１００…トラバース装置 ２８…ワークフィードテーブル ３２…インゴット ４４、１０４…ガイドレール ４６、１０２…本体フレーム ４８、１１０…ネジ棒 ５２、１０８…スライドテーブル ５６、１１４…ボールネジ ６０、１２０…サーボモータ ６２、１２２…駆動プーリ ６４、１２４…タイミングベルト ６６、１２６…従動プーリ ６８、１２８…アブソリュート型エンコーダ ７０、１３０…第１ガイドローラ ７２、１３２…第２ガイドローラ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
   又は巻き取られるワイヤをワイヤリールに対して略直角
   にガイドするワイヤソーのトラバース装置において、 トラバース装置本体と、 前記トラバース装置本体に設けられ、前記ワイヤリール
   の軸線に沿って配設されたガイド部材と、 前記ガイド部材にスライド自在に設けられた走行体と、 前記走行体に設けられ、前記ワイヤリールから繰り出し
   又は巻き取られるワイヤをガイドするガイドローラと、 前記トラバース装置本体に設けられ、前記ガイド部材に
   沿って配設されたネジ棒と、 前記走行体に回動自在に設けられ、前記ネジ棒と螺合す
   るナット部材と、 前記走行体に設けられ、前記ナット部材を回転させるこ
   とにより、前記走行体を前記ガイド部材に沿ってスライ
   ド移動させる回転駆動手段と、 からなることを特徴とするワイヤソーのトラバース装
   置。
2. 【請求項２】 ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
   又は巻き取られるワイヤをワイヤリールに対して略直角
   にガイドするワイヤソーのトラバース装置において、 トラバース装置本体と、 前記トラバース装置本体に設けられ、前記ワイヤリール
   の軸線に沿って配設されたガイド部材と、 前記ガイド部材にスライド自在に設けられた走行体と、 前記走行体に設けられ、前記ワイヤリールから繰り出し
   又は巻き取られるワイヤをガイドするガイドローラと、 前記走行体に設けられ、前記ガイド部材に沿って配設さ
   れたネジ棒と、 前記トラバース装置本体に回動自在に設けられ、前記ネ
   ジ棒と螺合するナット部材と、 前記トラバース装置本体に設けられ、前記ナット部材を
   回転させることにより、前記走行体を前記ガイド部材に
   沿ってスライド移動させる回転駆動手段と、からなるこ
   とを特徴とするワイヤソーのトラバース装置。