JP3189864B2 - ワイヤソーのワイヤトラバース装置 - Google Patents
ワイヤソーのワイヤトラバース装置Info
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はワイヤソーのワイヤ
トラバース装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
で多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーのワイ
ヤトラバース装置に関する。
トラバース装置に係り、特に円柱状の半導体インゴッ
ト、セラミック、ガラス等の被加工物を走行するワイヤ
で多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤソーのワイ
ヤトラバース装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック、ガラス
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリール
に巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒
のラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。
等の被加工物を薄板状のウェーハに切断する切断装置の
一つにワイヤソーがある。このワイヤソーは、一方のワ
イヤリールから繰り出されたワイヤを複数個の溝付ロー
ラに巻き掛けてワイヤ列を形成し、他方のワイヤリール
に巻き取るとともに、前記ワイヤ列に砥粒を含む加工液
を供給して被加工物を押し当てることにより、その砥粒
のラッピング作用により前記被加工物を多数の薄板状の
ウェーハに切断するものである。
【０００３】この場合、一方のワイヤリールの下流側と
他方のワイヤリールの上流側とには、それぞれ一方のワ
イヤトラバース装置及び他方のワイヤトラバース装置が
設けられている。一方のワイヤトラバース装置には一対
のタッチローラが一方のワイヤリールの軸線方向に移動
自在に支持され、一方のワイヤリールから繰り出された
ワイヤは一対のタッチローラ間で案内されて複数個の溝
付ローラに導かれる。この一対のタッチローラは、一方
のワイヤリールから繰り出されたワイヤに追従してワイ
ヤリールの軸線方向に移動してワイヤを案内する。
他方のワイヤリールの上流側とには、それぞれ一方のワ
イヤトラバース装置及び他方のワイヤトラバース装置が
設けられている。一方のワイヤトラバース装置には一対
のタッチローラが一方のワイヤリールの軸線方向に移動
自在に支持され、一方のワイヤリールから繰り出された
ワイヤは一対のタッチローラ間で案内されて複数個の溝
付ローラに導かれる。この一対のタッチローラは、一方
のワイヤリールから繰り出されたワイヤに追従してワイ
ヤリールの軸線方向に移動してワイヤを案内する。
【０００４】また、他方のワイヤトラバース装置の上流
側にも、一対のタッチローラが他方のワイヤリールの軸
線方向に移動自在に支持され、一対のタッチローラ間で
案内されたワイヤは他方のワイヤリールに巻き取られ
る。この一対のタッチローラは、他方のワイヤリールに
巻き取られるワイヤの動きに追従してワイヤリールの軸
線方向に移動してワイヤを案内する。
側にも、一対のタッチローラが他方のワイヤリールの軸
線方向に移動自在に支持され、一対のタッチローラ間で
案内されたワイヤは他方のワイヤリールに巻き取られ
る。この一対のタッチローラは、他方のワイヤリールに
巻き取られるワイヤの動きに追従してワイヤリールの軸
線方向に移動してワイヤを案内する。
【０００５】この場合、ワイヤリールの軸線方向に移動
するワイヤの移動速度に同期して一対のタッチローラが
移動すれば、図６に示すようにワイヤ１４の巻径ｒが均
一になるようにワイヤ１４がワイヤリール２６に巻き取
られる。しかしながら、一対のタッチローラをワイヤ１
４に同期させて移動することが困難であり、一対のタッ
チローラはワイヤ１４の移動速度より遅く移動したり、
速く移動する傾向がある。
するワイヤの移動速度に同期して一対のタッチローラが
移動すれば、図６に示すようにワイヤ１４の巻径ｒが均
一になるようにワイヤ１４がワイヤリール２６に巻き取
られる。しかしながら、一対のタッチローラをワイヤ１
４に同期させて移動することが困難であり、一対のタッ
チローラはワイヤ１４の移動速度より遅く移動したり、
速く移動する傾向がある。
【０００６】そして、一対のタッチローラがワイヤ１４
の移動速度より速く移動する場合、ワイヤ１４の巻径ｒ
が大きくなるようにワイヤ１４がワイヤリール２６に巻
き取られる（図７のａ範囲参照）。また、一対のタッチ
ローラがワイヤ１４の移動速度より遅く移動した場合、
ワイヤ１４の巻径ｒが小さくなるようにワイヤ１４がワ
イヤリール２６に巻き取られる（図８のｂ範囲参照）。
の移動速度より速く移動する場合、ワイヤ１４の巻径ｒ
が大きくなるようにワイヤ１４がワイヤリール２６に巻
き取られる（図７のａ範囲参照）。また、一対のタッチ
ローラがワイヤ１４の移動速度より遅く移動した場合、
ワイヤ１４の巻径ｒが小さくなるようにワイヤ１４がワ
イヤリール２６に巻き取られる（図８のｂ範囲参照）。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ワイヤ
１４の巻径ｒが大きくなるように変化する場合、ワイヤ
リール２６の端部で重ねられた状態にワイヤ１４が巻き
取られ、ワイヤ１４の巻径ｒが小さくなるように変化す
る場合、ワイヤリール２６の端部で交差した状態にワイ
ヤ１４が巻き取られる。従って、ワイヤ１４に案内不良
が生じてワイヤ１４が断線するという問題がある。
１４の巻径ｒが大きくなるように変化する場合、ワイヤ
リール２６の端部で重ねられた状態にワイヤ１４が巻き
取られ、ワイヤ１４の巻径ｒが小さくなるように変化す
る場合、ワイヤリール２６の端部で交差した状態にワイ
ヤ１４が巻き取られる。従って、ワイヤ１４に案内不良
が生じてワイヤ１４が断線するという問題がある。
【０００８】また、ワイヤ１４の巻径ｒが変化するとワ
イヤ１４の巻取り速度が変化するので、ワイヤソーの駆
動時にワイヤ１４の走行を制御することができないとい
う問題がある。このため、作業者がワイヤ１４の巻き取
り状態を定期的に確認して、ワイヤ１４の巻径ｒが均一
になるように一対のタッチローラの案内速度や案内スト
ロークを調整する必要があるので、作業者の手間がかか
るという問題がある。
イヤ１４の巻取り速度が変化するので、ワイヤソーの駆
動時にワイヤ１４の走行を制御することができないとい
う問題がある。このため、作業者がワイヤ１４の巻き取
り状態を定期的に確認して、ワイヤ１４の巻径ｒが均一
になるように一対のタッチローラの案内速度や案内スト
ロークを調整する必要があるので、作業者の手間がかか
るという問題がある。
【０００９】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、作業者の手間をかけずにワイヤの巻径が均一に
なるようにワイヤリールにワイヤを巻き取ることができ
るワイヤソーのワイヤトラバース装置を提供することを
目的とする。
もので、作業者の手間をかけずにワイヤの巻径が均一に
なるようにワイヤリールにワイヤを巻き取ることができ
るワイヤソーのワイヤトラバース装置を提供することを
目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、前記目的を達
成するために、ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するスライダを備えたワイヤソーのワイヤトラ
バース装置に於いて、前記ワイヤの巻取り中に前記ワイ
ヤリールに巻き取られたワイヤの巻き取り位置における
巻径を常時検出する検出部と、該検出部で常時検出され
たワイヤの巻径が均一になるように、前記ワイヤを案内
する前記スライダの案内速度を制御して前記ワイヤの移
動速度を調整する制御部と、を備えたことを特徴として
いる。
成するために、ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するスライダを備えたワイヤソーのワイヤトラ
バース装置に於いて、前記ワイヤの巻取り中に前記ワイ
ヤリールに巻き取られたワイヤの巻き取り位置における
巻径を常時検出する検出部と、該検出部で常時検出され
たワイヤの巻径が均一になるように、前記ワイヤを案内
する前記スライダの案内速度を制御して前記ワイヤの移
動速度を調整する制御部と、を備えたことを特徴として
いる。
【００１１】本発明によれば、ワイヤの巻取り中に検出
部でワイヤ巻径を検出し、検出したワイヤ巻径が変化し
て大きくなった場合や小さくなった場合に、制御部でワ
イヤの移動速度を調整してワイヤ巻径を均一にする。従
って、ワイヤ巻径が均一になるように自動的にワイヤを
ワイヤリールに巻き取ることができる。
部でワイヤ巻径を検出し、検出したワイヤ巻径が変化し
て大きくなった場合や小さくなった場合に、制御部でワ
イヤの移動速度を調整してワイヤ巻径を均一にする。従
って、ワイヤ巻径が均一になるように自動的にワイヤを
ワイヤリールに巻き取ることができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るワイヤソーのワイヤトラバース装置の実施の形態につ
いて詳説する。図１には、ワイヤソー１０の全体構成図
が示されている。一方のワイヤリール１２に巻回された
ワイヤ１４は、後述するワイヤトラバース装置１６、複
数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２０を
経由して３本の溝付ローラ２２、２２、２２に順次巻き
掛けられてワイヤ列２４を形成した後、複数の固定ガイ
ドローラ１８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤトラバ
ース装置１６を経て他方のワイヤリール２６に巻き取ら
れる。
るワイヤソーのワイヤトラバース装置の実施の形態につ
いて詳説する。図１には、ワイヤソー１０の全体構成図
が示されている。一方のワイヤリール１２に巻回された
ワイヤ１４は、後述するワイヤトラバース装置１６、複
数の固定ガイドローラ１８、１８、ダンサローラ２０を
経由して３本の溝付ローラ２２、２２、２２に順次巻き
掛けられてワイヤ列２４を形成した後、複数の固定ガイ
ドローラ１８、１８、ダンサローラ２０、ワイヤトラバ
ース装置１６を経て他方のワイヤリール２６に巻き取ら
れる。
【００１３】前記ダンサローラ２０には所定重量の錘４
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
４６、４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６、４６
によって前記ワイヤ１４に付着した加工液４０を除去す
る。
４が吊設され、走行するワイヤ１４に常に所要の張力を
付与する。前記ワイヤ走行路の途中にはワイヤ洗浄装置
４６、４６が設けられ、このワイヤ洗浄装置４６、４６
によって前記ワイヤ１４に付着した加工液４０を除去す
る。
【００１４】前記ワイヤリール１２、２６には、それぞ
れ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結され、前
記３本の溝付ローラ２２、２２、２２うちの１本にも正
逆回転可能な駆動モータ３２が連結される。前記ワイヤ
１４は前記駆動モータ２８、３０、３２を駆動すること
により、一方のワイヤリール１２と他方のワイヤリール
２６の間を往復走行する。
れ正逆回転可能な駆動モータ２８、３０が連結され、前
記３本の溝付ローラ２２、２２、２２うちの１本にも正
逆回転可能な駆動モータ３２が連結される。前記ワイヤ
１４は前記駆動モータ２８、３０、３２を駆動すること
により、一方のワイヤリール１２と他方のワイヤリール
２６の間を往復走行する。
【００１５】前記ワイヤ列２４には、加工液貯留タンク
３８に貯留された加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。このワイヤ列２４の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット５４がワークブロック５６とスラ
イスベース５８を介してワーク送りテーブル４８に支持
されている。前記ワーク送りテーブル４８はモータ５０
で回動するネジ桿５２により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット５４を高速走行するワイヤ列２４に押し当て
る。前記ワイヤ列２４に押しつけられた半導体インゴッ
ト５４は加工液４０によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。
３８に貯留された加工液４０が砥液供給ノズル４２から
供給される。このワイヤ列２４の下方には、被加工物で
ある半導体インゴット５４がワークブロック５６とスラ
イスベース５８を介してワーク送りテーブル４８に支持
されている。前記ワーク送りテーブル４８はモータ５０
で回動するネジ桿５２により上下方向に移動自在に設け
られており、上方に移動させることにより前記半導体イ
ンゴット５４を高速走行するワイヤ列２４に押し当て
る。前記ワイヤ列２４に押しつけられた半導体インゴッ
ト５４は加工液４０によるラッピング作用で多数の薄板
状のウェーハに切断される。
【００１６】以下、前述したワイヤトラバース装置１６
について説明する。ワイヤトラバース装置１６は、一方
のワイヤリール１２及び他方のワイヤリール２６の近傍
にそれぞれ設けられているが、これらのワイヤトラバー
ス装置１６は同様に構成されているので、ワイヤリール
２６の近傍に設けられたワイヤトラバース装置１６につ
いて説明して、ワイヤリール１２の近傍に設けられたワ
イヤトラバース装置１６については説明を省略する。
について説明する。ワイヤトラバース装置１６は、一方
のワイヤリール１２及び他方のワイヤリール２６の近傍
にそれぞれ設けられているが、これらのワイヤトラバー
ス装置１６は同様に構成されているので、ワイヤリール
２６の近傍に設けられたワイヤトラバース装置１６につ
いて説明して、ワイヤリール１２の近傍に設けられたワ
イヤトラバース装置１６については説明を省略する。
【００１７】図２に示すように、ワイヤトラバース装置
１６のリニアモータ６０はワイヤリール２６の左側に平
行に配設されている。リニアモータ６０のステータ６２
は、両側部にガイドレール６４、６４が設けられ、ガイ
ドレール６４、６４にはスライダ６６が矢印Ｙ1 −Ｙ2
方向に移動自在に支持されている。そして、スライダ６
６の巻線に励磁電流を流すことによりスライダ６６がガ
イドレール６４、６４に沿って矢印Ｙ1 −Ｙ2 方向に移
動する。
１６のリニアモータ６０はワイヤリール２６の左側に平
行に配設されている。リニアモータ６０のステータ６２
は、両側部にガイドレール６４、６４が設けられ、ガイ
ドレール６４、６４にはスライダ６６が矢印Ｙ1 −Ｙ2
方向に移動自在に支持されている。そして、スライダ６
６の巻線に励磁電流を流すことによりスライダ６６がガ
イドレール６４、６４に沿って矢印Ｙ1 −Ｙ2 方向に移
動する。
【００１８】図３に示すように、スライダ６６には上部
タッチローラ６８及び下部タッチローラ７０が回動自在
に支持され、上部タッチローラ６８と下部タッチローラ
７０との間には、ワイヤリール２６に巻き取られるワイ
ヤ１４が配される。図３上で、上部タッチローラ６８及
び下部タッチローラ７０の左側にはガイドローラ７２が
回動自在に支持され、上部タッチローラ６８と下部タッ
チローラ７０との間に配されたワイヤ１４はガイドロー
ラ７２を介して、図１上で説明した固定ガイドローラ１
８に案内される。
タッチローラ６８及び下部タッチローラ７０が回動自在
に支持され、上部タッチローラ６８と下部タッチローラ
７０との間には、ワイヤリール２６に巻き取られるワイ
ヤ１４が配される。図３上で、上部タッチローラ６８及
び下部タッチローラ７０の左側にはガイドローラ７２が
回動自在に支持され、上部タッチローラ６８と下部タッ
チローラ７０との間に配されたワイヤ１４はガイドロー
ラ７２を介して、図１上で説明した固定ガイドローラ１
８に案内される。
【００１９】図２に示すように、ワイヤトラバース装置
１６は検出部７４及び制御部７６を備えている。検出部
７４の接触ローラ７８は、上部タッチローラ６８及び下
部タッチローラ７０とガイドローラ７２との間にワイヤ
リール２６と平行に配されると共にワイヤ１４をはさん
でワイヤリール２６の反対側に配されている。この接触
ローラ７８は移動台８０に回動自在に支持され、移動台
８０はガイド８２、８２を介してスライダ６６に矢印Ｘ
1 −Ｘ2 方向（ワイヤリール２６の径方向）に移動自在
に支持されている。
１６は検出部７４及び制御部７６を備えている。検出部
７４の接触ローラ７８は、上部タッチローラ６８及び下
部タッチローラ７０とガイドローラ７２との間にワイヤ
リール２６と平行に配されると共にワイヤ１４をはさん
でワイヤリール２６の反対側に配されている。この接触
ローラ７８は移動台８０に回動自在に支持され、移動台
８０はガイド８２、８２を介してスライダ６６に矢印Ｘ
1 −Ｘ2 方向（ワイヤリール２６の径方向）に移動自在
に支持されている。
【００２０】移動台８０には引張りばね８４の一端が連
結され、引張りばね８４の他端部はスライダ６６に連結
されている。これにより、移動台８０が引張りばね８４
の付勢力で矢印Ｘ1 方向に付勢されるので、接触ローラ
７８がワイヤ１４に当接する。この場合、引張りばね８
４の付勢力はワイヤ１４の引張力より小さく設定されて
いるので、引張りばね８４の付勢力で接触ローラ７８が
ワイヤ１４に当接した場合でもワイヤ１４に弛みが生じ
ない。
結され、引張りばね８４の他端部はスライダ６６に連結
されている。これにより、移動台８０が引張りばね８４
の付勢力で矢印Ｘ1 方向に付勢されるので、接触ローラ
７８がワイヤ１４に当接する。この場合、引張りばね８
４の付勢力はワイヤ１４の引張力より小さく設定されて
いるので、引張りばね８４の付勢力で接触ローラ７８が
ワイヤ１４に当接した場合でもワイヤ１４に弛みが生じ
ない。
【００２１】また、移動台８０にはピン８６が取り付け
られ、ピン８６の端部には被検出部８６Ａが形成されて
いる。ワイヤ１４の巻径ｒが変化してワイヤリール２６
に巻き取られるワイヤ１４の位置が変化すると、被検出
部８６Ａは接触ローラ７８と共に矢印Ｘ1 −Ｘ2 方向に
移動する。被検出部８６Ａの下方には検出器８８が被検
出部８６Ａと対向して配され、検出器８８はブラケット
９０を介してスライダ６６に固定されている。検出器８
８は被検出部８６Ａの変位を検出する。
られ、ピン８６の端部には被検出部８６Ａが形成されて
いる。ワイヤ１４の巻径ｒが変化してワイヤリール２６
に巻き取られるワイヤ１４の位置が変化すると、被検出
部８６Ａは接触ローラ７８と共に矢印Ｘ1 −Ｘ2 方向に
移動する。被検出部８６Ａの下方には検出器８８が被検
出部８６Ａと対向して配され、検出器８８はブラケット
９０を介してスライダ６６に固定されている。検出器８
８は被検出部８６Ａの変位を検出する。
【００２２】制御部７６は、検出器８８が検出した被検
出部８６Ａの変位に基づいて、ワイヤリール２６に巻き
取られたワイヤ１４の巻径ｒを求める。さらに、制御部
７６は、求めたワイヤ１４の巻径ｒが均一になるように
ワイヤ１４をワイヤリール２６の軸線方向に移動する移
動速度や移動ストロークを制御する。前記の如く構成さ
れた前記実施の形態のワイヤソーのワイヤトラバース装
置の作用を説明する。ワイヤ１４をワイヤリール２６に
巻き取り中に、検出器８８で被検出部８６Ａの変位を検
出し、検出された被検出部８６Ａの変位は制御部７６に
入力される。制御部７６は、検出器８８が検出した被検
出部８６Ａの変位に基づいて、ワイヤリール２６に巻き
取られたワイヤ１４の巻径ｒを求める。さらに、制御部
７６は、求めたワイヤ１４の巻径ｒが均一になるように
ワイヤ１４をワイヤリール２６の軸線方向に移動する移
動速度や移動ストロークを制御する。
出部８６Ａの変位に基づいて、ワイヤリール２６に巻き
取られたワイヤ１４の巻径ｒを求める。さらに、制御部
７６は、求めたワイヤ１４の巻径ｒが均一になるように
ワイヤ１４をワイヤリール２６の軸線方向に移動する移
動速度や移動ストロークを制御する。前記の如く構成さ
れた前記実施の形態のワイヤソーのワイヤトラバース装
置の作用を説明する。ワイヤ１４をワイヤリール２６に
巻き取り中に、検出器８８で被検出部８６Ａの変位を検
出し、検出された被検出部８６Ａの変位は制御部７６に
入力される。制御部７６は、検出器８８が検出した被検
出部８６Ａの変位に基づいて、ワイヤリール２６に巻き
取られたワイヤ１４の巻径ｒを求める。さらに、制御部
７６は、求めたワイヤ１４の巻径ｒが均一になるように
ワイヤ１４をワイヤリール２６の軸線方向に移動する移
動速度や移動ストロークを制御する。
【００２３】例えば、図７に示すように、ワイヤリール
２６の端部に近づくに従って巻径ｒが太くなる場合は、
求めたワイヤ１４の巻径ｒが均一になるようにワイヤ１
４の移動速度を速くする。また、図８に示すように、ワ
イヤリール２６の端部に近づくに従って巻径ｒが細くな
る場合は、求めたワイヤ１４の巻径ｒが均一になるよう
にワイヤ１４の移動速度を遅くする。
２６の端部に近づくに従って巻径ｒが太くなる場合は、
求めたワイヤ１４の巻径ｒが均一になるようにワイヤ１
４の移動速度を速くする。また、図８に示すように、ワ
イヤリール２６の端部に近づくに従って巻径ｒが細くな
る場合は、求めたワイヤ１４の巻径ｒが均一になるよう
にワイヤ１４の移動速度を遅くする。
【００２４】しかしながら、ワイヤ１４の移動ストロー
クが不適切な場合は、ワイヤ１４の移動速度を補正して
もワイヤ１４の巻径ｒを均一にすることができないの
で、ワイヤ１４の移動ストロークｓ（図３参照）を補正
する。すなわち、図７に示すように、ワイヤリール２６
の端部に近づくに従って巻径ｒが太くなる場合は、ワイ
ヤ１４の移動ストロークｓを小さく補正する。また、図
８に示すように、ワイヤリール２６の端部に近づくに従
って巻径ｒが細くなる場合は、ワイヤ１４の移動ストロ
ークｓを大きく補正する。
クが不適切な場合は、ワイヤ１４の移動速度を補正して
もワイヤ１４の巻径ｒを均一にすることができないの
で、ワイヤ１４の移動ストロークｓ（図３参照）を補正
する。すなわち、図７に示すように、ワイヤリール２６
の端部に近づくに従って巻径ｒが太くなる場合は、ワイ
ヤ１４の移動ストロークｓを小さく補正する。また、図
８に示すように、ワイヤリール２６の端部に近づくに従
って巻径ｒが細くなる場合は、ワイヤ１４の移動ストロ
ークｓを大きく補正する。
【００２５】前記実施の形態では、ワイヤリール２６に
巻き取られるワイヤ１４の変位を検出してワイヤ１４の
巻径ｒを求める場合について説明したが、これに限ら
ず、図４及び図５に示すその他の実施の形態のように、
ワイヤリール２６に巻き取られたワイヤ１４の外周を直
接測定してワイヤ１４の巻径ｒを求めることも可能であ
る。以下、図４及び図５においてその他の実施の形態を
説明する。尚、図４及び図５上で前記実施の形態と同一
類似部材については同一符号を付して説明を省略する。
巻き取られるワイヤ１４の変位を検出してワイヤ１４の
巻径ｒを求める場合について説明したが、これに限ら
ず、図４及び図５に示すその他の実施の形態のように、
ワイヤリール２６に巻き取られたワイヤ１４の外周を直
接測定してワイヤ１４の巻径ｒを求めることも可能であ
る。以下、図４及び図５においてその他の実施の形態を
説明する。尚、図４及び図５上で前記実施の形態と同一
類似部材については同一符号を付して説明を省略する。
【００２６】図４及び図５に示すように、検出器９４を
スライダ６６に固定する。この検出器９４は、ワイヤリ
ール２６に巻き取られたワイヤ１４に対向する位置に配
置されると共に、巻取り中のワイヤ１４の位置に配置さ
れている（図５参照）。これにより、ワイヤリール２６
に巻き取られたワイヤ１４の巻径ｒを検出器９４で直接
測定することができる。この場合、検出器９４はリニア
近接センサや超音波センサ等が使用される。
スライダ６６に固定する。この検出器９４は、ワイヤリ
ール２６に巻き取られたワイヤ１４に対向する位置に配
置されると共に、巻取り中のワイヤ１４の位置に配置さ
れている（図５参照）。これにより、ワイヤリール２６
に巻き取られたワイヤ１４の巻径ｒを検出器９４で直接
測定することができる。この場合、検出器９４はリニア
近接センサや超音波センサ等が使用される。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明に係るワイヤ
ソーのワイヤトラバース装置によれば、ワイヤの巻取り
中に検出部でワイヤ巻径を検出し、検出したワイヤ巻径
が変化して大きくなった場合や小さくなった場合に、制
御部でワイヤの移動速度を調整してワイヤ巻径を均一に
する。従って、ワイヤ巻径が均一になるように自動的に
ワイヤをワイヤリールに巻き取ることができる。
ソーのワイヤトラバース装置によれば、ワイヤの巻取り
中に検出部でワイヤ巻径を検出し、検出したワイヤ巻径
が変化して大きくなった場合や小さくなった場合に、制
御部でワイヤの移動速度を調整してワイヤ巻径を均一に
する。従って、ワイヤ巻径が均一になるように自動的に
ワイヤをワイヤリールに巻き取ることができる。
【００２８】このように、ワイヤの移動速度を制御部で
自動的に調整してワイヤ巻径を均一にすることにより、
作業者の手間をかけずにワイヤを均一にワイヤリールに
巻き取ることができる。
自動的に調整してワイヤ巻径を均一にすることにより、
作業者の手間をかけずにワイヤを均一にワイヤリールに
巻き取ることができる。
【図１】本発明に係るワイヤソーの全体を示した全体図
【図２】本発明に係るワイヤソーのワイヤトラバース装
置を底面から見た状態の要部拡大図
置を底面から見た状態の要部拡大図
【図３】本発明に係るワイヤソーのワイヤトラバース装
置を側面から見た状態の要部拡大図
置を側面から見た状態の要部拡大図
【図４】本発明に係るワイヤソーのワイヤトラバース装
置の他の実施の形態の底面図
置の他の実施の形態の底面図
【図５】本発明に係るワイヤソーのワイヤトラバース装
置の他の実施の形態の側面図
置の他の実施の形態の側面図
【図６】ワイヤリールに巻き取られたワイヤの状態を説
明した説明図
明した説明図
【図７】ワイヤリールに巻き取られたワイヤの状態を説
明した説明図
明した説明図
【図８】ワイヤリールに巻き取られたワイヤの状態を説
明した説明図
明した説明図
１０…ワイヤソー １２、２６…ワイヤリール １４…ワイヤ １６…ワイヤトラバース装置 ７４…検出部 ７６…制御部 ｒ…ワイヤ巻径 ｓ…移動ストローク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B24B 27/06 B65H 54/28
Claims (1)
- 【請求項１】 ワイヤソーのワイヤリールから繰り出し
又は巻き取られるワイヤに追従して前記ワイヤリールの
軸線方向に移動し、前記ワイヤリールの長手方向に対し
て繰出し角又は巻取り角が略直角になるように前記ワイ
ヤを案内するスライダを備えたワイヤソーのワイヤトラ
バース装置に於いて、前記ワイヤの巻取り中に 前記ワイヤリールに巻き取られ
たワイヤの巻き取り位置における巻径を常時検出する検
出部と、 該検出部で常時検出されたワイヤの巻径が均一になるよ
うに、前記ワイヤを案内する前記スライダの案内速度を
制御して前記ワイヤの移動速度を調整する制御部と、 を備えたことを特徴とするワイヤソーのワイヤトラバー
ス装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17845795A JP3189864B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17845795A JP3189864B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0929610A JPH0929610A (ja) | 1997-02-04 |
| JP3189864B2 true JP3189864B2 (ja) | 2001-07-16 |
Family
ID=16048857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17845795A Expired - Fee Related JP3189864B2 (ja) | 1995-07-14 | 1995-07-14 | ワイヤソーのワイヤトラバース装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3189864B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5177701B2 (ja) * | 2009-02-16 | 2013-04-10 | コマツＮｔｃ株式会社 | トラバース制御方法およびその装置 |
| US8490658B2 (en) * | 2009-02-26 | 2013-07-23 | Saint-Gobain Abrasives, Inc. | Automatic winding of wire field in wire slicing machine |
| JP2012045682A (ja) * | 2010-08-27 | 2012-03-08 | Tokuriki Honten Co Ltd | 固定砥粒ワイヤーソー装置 |
| FR3048903B1 (fr) * | 2016-03-15 | 2018-04-13 | Saint-Gobain Placo | Procede et dispositif de decoupe d'une plaque ou d'un panneau de materiau de construction poreux |
-
1995
- 1995-07-14 JP JP17845795A patent/JP3189864B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0929610A (ja) | 1997-02-04 |
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Legal Events
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